JP2824375B2 - 光遅延回路 - Google Patents
光遅延回路Info
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- JP2824375B2 JP2824375B2 JP5005878A JP587893A JP2824375B2 JP 2824375 B2 JP2824375 B2 JP 2824375B2 JP 5005878 A JP5005878 A JP 5005878A JP 587893 A JP587893 A JP 587893A JP 2824375 B2 JP2824375 B2 JP 2824375B2
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Description
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は、入射されたパルスレ
ーザ光を遅延して外部に出射させる光遅延回路に関する
ものである。
ーザ光を遅延して外部に出射させる光遅延回路に関する
ものである。
【0002】
【従来の技術】図4は例えば日本原子力学会「1992
春の年会」(1992年3月28〜30日,東海大)刊
Laser−J 実験機本試験レ−ザシステム運転実
績(II)に示された従来の光遅延回路の構成を示す構
成図である。図において、1は図示しないレーザ発振器
より入射されたパルスレーザ光、2はパルスレーザ光1
の光軸を中心にして所定角度傾斜させて設置された平面
部分反射鏡であり、この平面部分反射鏡2は光分岐点2
aに入射されたパルスレーザ光1を透過させると共に、
パルスレーザ光1の一部を入射方向と直角方向に反射さ
せてパルスレーザ光1を透過光と反射光に分岐する。
春の年会」(1992年3月28〜30日,東海大)刊
Laser−J 実験機本試験レ−ザシステム運転実
績(II)に示された従来の光遅延回路の構成を示す構
成図である。図において、1は図示しないレーザ発振器
より入射されたパルスレーザ光、2はパルスレーザ光1
の光軸を中心にして所定角度傾斜させて設置された平面
部分反射鏡であり、この平面部分反射鏡2は光分岐点2
aに入射されたパルスレーザ光1を透過させると共に、
パルスレーザ光1の一部を入射方向と直角方向に反射さ
せてパルスレーザ光1を透過光と反射光に分岐する。
【0003】3aは平面部分反射鏡2より入射された反
射光を直角に下方向に反射させる全反射鏡、3bは全反
射鏡3aより入射された反射光を全反射鏡3aに対する
反射方向と逆方向に反射させる全反射鏡、3cは全反射
鏡3bより入射された反射光を直角に上方向に反射させ
る全反射鏡、3dは全反射鏡3cより入射された反射光
を入射し平面部分反射鏡2の光分岐点2aに反射させる
全反射鏡である。
射光を直角に下方向に反射させる全反射鏡、3bは全反
射鏡3aより入射された反射光を全反射鏡3aに対する
反射方向と逆方向に反射させる全反射鏡、3cは全反射
鏡3bより入射された反射光を直角に上方向に反射させ
る全反射鏡、3dは全反射鏡3cより入射された反射光
を入射し平面部分反射鏡2の光分岐点2aに反射させる
全反射鏡である。
【0004】尚、全反射鏡3d,3aは平面部分反射鏡
2を中心とした左右方向にそれぞれ等距離で配置されて
いる。また全反射鏡3cは全反射鏡3aとの対角線上に
それぞれの反射面が対向するように配置されている。更
に、全反射鏡3bは全反射鏡3dとの対角線上にそれぞ
れの反射面が対向するように配置されている。
2を中心とした左右方向にそれぞれ等距離で配置されて
いる。また全反射鏡3cは全反射鏡3aとの対角線上に
それぞれの反射面が対向するように配置されている。更
に、全反射鏡3bは全反射鏡3dとの対角線上にそれぞ
れの反射面が対向するように配置されている。
【0005】次に動作について説明する。入射されたパ
ルスレーザ光1は、平面部分反射鏡2への入射方向と同
方向に直進する透過光と入射方向と直角方向に反射され
る反射光に光分岐点2aで分岐される。そして、平面部
分反射鏡2で反射されたパルスレーザ光1は全反射鏡3
aにより直角に下方向に反射させられて全反射鏡3b入
射させられる。
ルスレーザ光1は、平面部分反射鏡2への入射方向と同
方向に直進する透過光と入射方向と直角方向に反射され
る反射光に光分岐点2aで分岐される。そして、平面部
分反射鏡2で反射されたパルスレーザ光1は全反射鏡3
aにより直角に下方向に反射させられて全反射鏡3b入
射させられる。
【0006】全反射鏡3bは、入射されたパルスレーザ
光1を全反射鏡3aに対する入射方向と逆方向に反射さ
せて全反射鏡3cに入射させる。そして、全反射鏡3c
は入射されたパルスレーザ光1を直角に上方向に反射さ
せて全反射鏡3dに入射させる。この結果、パルスレー
ザ光1は平面部分反射鏡2の光分岐点2aに戻り、再び
平面部分反射鏡2により入射方向と直角に下方向に反射
される反射光と入射方向と同方向に直進する透過光に分
岐される。
光1を全反射鏡3aに対する入射方向と逆方向に反射さ
せて全反射鏡3cに入射させる。そして、全反射鏡3c
は入射されたパルスレーザ光1を直角に上方向に反射さ
せて全反射鏡3dに入射させる。この結果、パルスレー
ザ光1は平面部分反射鏡2の光分岐点2aに戻り、再び
平面部分反射鏡2により入射方向と直角に下方向に反射
される反射光と入射方向と同方向に直進する透過光に分
岐される。
【0007】この時点で分岐された反射光は、パルスレ
ーザ光1が光遅延回路に入射された時刻から遅延光路長
で決まる時間分遅れて出射されるパルスレーザ光1とな
る。また、分岐された透過光は再度全反射鏡3a〜3d
間を反射されながら平面部分反射鏡2に入射され、反射
光と透過光に分岐される。この時、平面部分反射鏡2よ
り反射光となって光遅延回路より出射されるパルスレー
ザ光1の光強度は、平面部分反射鏡2の反射率、入射さ
れるパルスレーザ光1の光強度とパルス幅とレーザ発振
周波数、及び遅延光路長で決まる。
ーザ光1が光遅延回路に入射された時刻から遅延光路長
で決まる時間分遅れて出射されるパルスレーザ光1とな
る。また、分岐された透過光は再度全反射鏡3a〜3d
間を反射されながら平面部分反射鏡2に入射され、反射
光と透過光に分岐される。この時、平面部分反射鏡2よ
り反射光となって光遅延回路より出射されるパルスレー
ザ光1の光強度は、平面部分反射鏡2の反射率、入射さ
れるパルスレーザ光1の光強度とパルス幅とレーザ発振
周波数、及び遅延光路長で決まる。
【0008】更に、光遅延回路の影響を受けるパルスレ
ーザ光1の光軸は、光遅延回路を構成する平面部分反射
鏡2の材質、平面部分反射鏡2の厚さも含む寸法、及び
パルスレーザ光1の平面部分反射鏡2に対する入射角度
で決まる。従って、これら光軸決定要素のいずれかと入
射されたパルスレーザ光1との間に不整合が発生すると
光遅延回路より出射されるパルスレーザ光1の光軸にず
れが生じる。そこで、光遅延回路より出射されるパルス
レーザ光1の光軸が予め設定された光軸と常に一致する
ように平面部分反射鏡2と全面反射鏡3a〜3dの距離
及び各反射鏡2,3a〜3dの取り付け角度等を調整す
る。また、レーザ発振器より光学系を通して平面部分反
射鏡2に入射されるパルスレーザ光1の入射角度がずれ
た場合は、光学系により入射角度を補正した後に、光遅
延回路より出射されるパルスレーザ光1の光軸が予め設
定した光軸に一致するように平面部分反射鏡2と全面反
射鏡3a〜3dの距離及び各反射鏡2,3a〜3dの取
り付け角度等を調整する。
ーザ光1の光軸は、光遅延回路を構成する平面部分反射
鏡2の材質、平面部分反射鏡2の厚さも含む寸法、及び
パルスレーザ光1の平面部分反射鏡2に対する入射角度
で決まる。従って、これら光軸決定要素のいずれかと入
射されたパルスレーザ光1との間に不整合が発生すると
光遅延回路より出射されるパルスレーザ光1の光軸にず
れが生じる。そこで、光遅延回路より出射されるパルス
レーザ光1の光軸が予め設定された光軸と常に一致する
ように平面部分反射鏡2と全面反射鏡3a〜3dの距離
及び各反射鏡2,3a〜3dの取り付け角度等を調整す
る。また、レーザ発振器より光学系を通して平面部分反
射鏡2に入射されるパルスレーザ光1の入射角度がずれ
た場合は、光学系により入射角度を補正した後に、光遅
延回路より出射されるパルスレーザ光1の光軸が予め設
定した光軸に一致するように平面部分反射鏡2と全面反
射鏡3a〜3dの距離及び各反射鏡2,3a〜3dの取
り付け角度等を調整する。
【0009】
【発明が解決しようとする課題】従来の光遅延回路は以
上のように構成されているので、光遅延回路より出射さ
れるパルスレーザ光の光軸を予め設定した光軸に一致さ
せようとすると、平面部分反射鏡や全面反射鏡の取り付
け位置等を調整し光軸を調整する必要があった。しかし
ながら、回路の構成要素である反射鏡の数が多くなると
光軸調整が複雑になり、しかも光軸調整後であっても各
反射鏡の取り付け位置の経時変化により、長時間光軸を
安定させることが困難であった。更に、光遅延回路内の
空気の揺らぎによりパルスレーザ光の光波面歪みや光軸
に揺らぎ等が生じて光軸が安定しないという問題点があ
った。
上のように構成されているので、光遅延回路より出射さ
れるパルスレーザ光の光軸を予め設定した光軸に一致さ
せようとすると、平面部分反射鏡や全面反射鏡の取り付
け位置等を調整し光軸を調整する必要があった。しかし
ながら、回路の構成要素である反射鏡の数が多くなると
光軸調整が複雑になり、しかも光軸調整後であっても各
反射鏡の取り付け位置の経時変化により、長時間光軸を
安定させることが困難であった。更に、光遅延回路内の
空気の揺らぎによりパルスレーザ光の光波面歪みや光軸
に揺らぎ等が生じて光軸が安定しないという問題点があ
った。
【0010】この発明は上記のような問題点を解決する
ためになされたもので、光軸調整が容易でしかも長時間
光軸を安定化し得る光遅延回路を得ることを目的とす
る。
ためになされたもので、光軸調整が容易でしかも長時間
光軸を安定化し得る光遅延回路を得ることを目的とす
る。
【0011】
【課題を解決するための手段】請求項1の発明に係る光
遅延回路は、第1の窓と第2の窓とを有し、前記第1の
窓から入射されたレーザ光を前記第2の窓から外部に出
射する真空容器と、この真空容器内に設けられ、前記入
射されたレーザ光を透過させると共に、レーザ光の入射
経路に対して直角方向にレーザ光を反射させる光分岐手
段と、前記真空容器に設けられ、前記光分岐手段を間に
して双方の反射面が対向するように配置された第1反射
手段及び第2反射手段とを備え、前記光分岐手段によっ
て反射されたレーザ光を前記第1反射手段によって前記
第2反射手段に向けて反射した後に、前記第2反射手段
によって反射されたレーザ光を前記光分岐手段によって
前記第1反射手段に向けて透過させると共に、前記第2
の窓に反射させるようにしたものである。
遅延回路は、第1の窓と第2の窓とを有し、前記第1の
窓から入射されたレーザ光を前記第2の窓から外部に出
射する真空容器と、この真空容器内に設けられ、前記入
射されたレーザ光を透過させると共に、レーザ光の入射
経路に対して直角方向にレーザ光を反射させる光分岐手
段と、前記真空容器に設けられ、前記光分岐手段を間に
して双方の反射面が対向するように配置された第1反射
手段及び第2反射手段とを備え、前記光分岐手段によっ
て反射されたレーザ光を前記第1反射手段によって前記
第2反射手段に向けて反射した後に、前記第2反射手段
によって反射されたレーザ光を前記光分岐手段によって
前記第1反射手段に向けて透過させると共に、前記第2
の窓に反射させるようにしたものである。
【0012】
【0013】
【作用】この請求項1の発明における光遅延回路は、真
空容器の第1の窓より入射されたレーザ光が光分岐手段
によって第1反射手段に向けて反射されると、レーザ光
は第1反射手段より第2反射手段に向かって反射され、
更に第2反射手段によって反射されて光分岐手段に入射
される。その結果、光分岐手段は入射されたレーザ光の
一部を第1反射手段へ透過させると共に、そのレーザ光
の一部を第2の窓の方向に反射させて真空容器の外部に
出射させることで、真空容器に入射されたレーザ光は遅
延して出射される。
空容器の第1の窓より入射されたレーザ光が光分岐手段
によって第1反射手段に向けて反射されると、レーザ光
は第1反射手段より第2反射手段に向かって反射され、
更に第2反射手段によって反射されて光分岐手段に入射
される。その結果、光分岐手段は入射されたレーザ光の
一部を第1反射手段へ透過させると共に、そのレーザ光
の一部を第2の窓の方向に反射させて真空容器の外部に
出射させることで、真空容器に入射されたレーザ光は遅
延して出射される。
【0014】
【0015】
実施例1.以下、この発明の一実施例を図について説明
する。図1は本実施例における光遅延回路の構成を示す
構成図である。図において、1Aは本実施例における光
遅延回路の光学系を収容した真空容器であり、この真空
容器1Aは対向する壁面のそれぞれにパルスレーザ光1
を入射する第1の窓1A1と入射されたパルスレーザ光
1を真空容器1Aの外部に出射させる第2の窓1A2を
備えている。
する。図1は本実施例における光遅延回路の構成を示す
構成図である。図において、1Aは本実施例における光
遅延回路の光学系を収容した真空容器であり、この真空
容器1Aは対向する壁面のそれぞれにパルスレーザ光1
を入射する第1の窓1A1と入射されたパルスレーザ光
1を真空容器1Aの外部に出射させる第2の窓1A2を
備えている。
【0016】更に、真空容器1Aに収容された光遅延回
路の光学系は、入射されたパルスレーザ光1を透過させ
ると共に、パルスレーザ光1を入射方向と直角方向に反
射する光分岐手段としてのキューブビームスプリッタ4
と、このキューブビームスプリッタ4で反射されたパル
スレーザ光1を斜面5A1より入射した後、第1直角面
5A2により第2直角面5A3に反射させ、再び第2直
角面5A3により斜面5A1に向けて反射して射出させ
る第1反射手段としての第1プリズム5Aと、第1プリ
ズム5Aから出射されたパルスレーザ光1を斜面5B1
より入射した後、第1直角面5B2により第2直角面5
B3に反射させ、再び第2直角面5B3により斜面5B
1に向けて反射させ、反射されたパルスレーザ光1をキ
ューブビームスプリッタ4に入射する第2反射手段とし
ての第2プリズム5Bより構成されている。ここで、4
aは入射されたパルスレーザ光1を反射光と透過光に分
岐する光分岐点である。尚、第1プリズム5Aの斜面5
A1と第2プリズム5Bの斜面5B1は、キューブビー
ムスプリッタ4を介して対向している。
路の光学系は、入射されたパルスレーザ光1を透過させ
ると共に、パルスレーザ光1を入射方向と直角方向に反
射する光分岐手段としてのキューブビームスプリッタ4
と、このキューブビームスプリッタ4で反射されたパル
スレーザ光1を斜面5A1より入射した後、第1直角面
5A2により第2直角面5A3に反射させ、再び第2直
角面5A3により斜面5A1に向けて反射して射出させ
る第1反射手段としての第1プリズム5Aと、第1プリ
ズム5Aから出射されたパルスレーザ光1を斜面5B1
より入射した後、第1直角面5B2により第2直角面5
B3に反射させ、再び第2直角面5B3により斜面5B
1に向けて反射させ、反射されたパルスレーザ光1をキ
ューブビームスプリッタ4に入射する第2反射手段とし
ての第2プリズム5Bより構成されている。ここで、4
aは入射されたパルスレーザ光1を反射光と透過光に分
岐する光分岐点である。尚、第1プリズム5Aの斜面5
A1と第2プリズム5Bの斜面5B1は、キューブビー
ムスプリッタ4を介して対向している。
【0017】次に、実施例1の動作について説明する。
図示しないパルスレーザ発振器より入射されて真空容器
1Aの第1の窓1A1を透過したパルスレーザ光1は、
キューブビームスプリッタ4の光分岐点4aに入射され
ると一部は第2の窓1A2方向に透過し、一部は入射方
向と直角方向に反射されて第1プリズム5Aの斜面5A
1より第1直角面5A2に入射される。この入射された
パルスレーザ光1は第1直角面5A2により下方へ直角
方向に反射されて第2直角面5A3に入射される。そし
て、この入射されたパルスレーザ光1は第2直角面5A
3によって直角方向に反射されて再び斜面5A1より出
射される。
図示しないパルスレーザ発振器より入射されて真空容器
1Aの第1の窓1A1を透過したパルスレーザ光1は、
キューブビームスプリッタ4の光分岐点4aに入射され
ると一部は第2の窓1A2方向に透過し、一部は入射方
向と直角方向に反射されて第1プリズム5Aの斜面5A
1より第1直角面5A2に入射される。この入射された
パルスレーザ光1は第1直角面5A2により下方へ直角
方向に反射されて第2直角面5A3に入射される。そし
て、この入射されたパルスレーザ光1は第2直角面5A
3によって直角方向に反射されて再び斜面5A1より出
射される。
【0018】出射されたパルスレーザ光1は、第2プリ
ズム5Bの斜面5B1より第1直角面5B2に入射され
る。この入射されたパルスレーザ光1は第1直角面5B
2により上方へ直角方向に反射されて第2直角面5B3
に入射される。パルスレーザ光1は第2直角面5B3に
よって直角方向に反射されて再び斜面5B1より出射さ
れる。
ズム5Bの斜面5B1より第1直角面5B2に入射され
る。この入射されたパルスレーザ光1は第1直角面5B
2により上方へ直角方向に反射されて第2直角面5B3
に入射される。パルスレーザ光1は第2直角面5B3に
よって直角方向に反射されて再び斜面5B1より出射さ
れる。
【0019】斜面5B1より出射されたパルスレーザ光
1はキューブビームスプリッタ4の光分岐点4aに入射
され、そこで第2の窓1A2方向に反射されるパルスレ
ーザ光と第1プリズム5Aの斜面5A1方向に透過する
パルスレーザ光に分岐される。ここで反射されたパルス
レーザ光は、第1の窓1A1より入射されたパルスレー
ザ光1が遅延光路長(各プリズム内における光通過距離
と各プリズム間における光通過距離の総和)で決まる時
間分遅延して第2の窓1A2より外部に出射されること
になる。一方、透過したパルスレーザ光は再び第1プリ
ズム5Aと第2プリズム5Bの間で反射を繰り返しキュ
ーブビームスプリッタ4に入射される。
1はキューブビームスプリッタ4の光分岐点4aに入射
され、そこで第2の窓1A2方向に反射されるパルスレ
ーザ光と第1プリズム5Aの斜面5A1方向に透過する
パルスレーザ光に分岐される。ここで反射されたパルス
レーザ光は、第1の窓1A1より入射されたパルスレー
ザ光1が遅延光路長(各プリズム内における光通過距離
と各プリズム間における光通過距離の総和)で決まる時
間分遅延して第2の窓1A2より外部に出射されること
になる。一方、透過したパルスレーザ光は再び第1プリ
ズム5Aと第2プリズム5Bの間で反射を繰り返しキュ
ーブビームスプリッタ4に入射される。
【0020】なお、光遅延回路より出射されるパルスレ
ーザ光の光強度は、キューブビームスプリッタ4の反射
率、入射されるパルスレーザ光の光強度とパルス幅とレ
ーザ発振周波数、及び遅延光路長で決まる。
ーザ光の光強度は、キューブビームスプリッタ4の反射
率、入射されるパルスレーザ光の光強度とパルス幅とレ
ーザ発振周波数、及び遅延光路長で決まる。
【0021】キューブビームスプリッタ4を第1の窓1
A1を透過するパルスレーザ光1の光軸に対して垂直に
設置すると、キューブビームスプリッタ4から出射され
たパルスレーザ光1の光軸は変化することがない。更
に、第1プリズム5Aより反射されるパルスレーザ光1
がキューブビームスプリッタ4の光分岐点4aに入射さ
れ、ここで反射されたパルスレーザ光1と第1の窓1A
1 を直進してきたパルスレーザ光1とは第1のプリズム
5Aと第2のプリズム5Bの取り付け角度を調整するこ
とで簡単に光軸を常に一致させることができる。また、
光学系を真空容器1A中に収納することで空気の揺らぎ
による光波面歪みや光軸の揺らぎを防止することができ
る。
A1を透過するパルスレーザ光1の光軸に対して垂直に
設置すると、キューブビームスプリッタ4から出射され
たパルスレーザ光1の光軸は変化することがない。更
に、第1プリズム5Aより反射されるパルスレーザ光1
がキューブビームスプリッタ4の光分岐点4aに入射さ
れ、ここで反射されたパルスレーザ光1と第1の窓1A
1 を直進してきたパルスレーザ光1とは第1のプリズム
5Aと第2のプリズム5Bの取り付け角度を調整するこ
とで簡単に光軸を常に一致させることができる。また、
光学系を真空容器1A中に収納することで空気の揺らぎ
による光波面歪みや光軸の揺らぎを防止することができ
る。
【0022】上記、説明ではキューブビームスプリッタ
4より反射されたパルスレーザ光1をキューブビームス
プリッタ4に入射させる光学系に、プリズムを使用した
場合について説明したが、この発明に関連する技術の一
例としてキューブビームスプリッタ4にパルスレーザ光
1を入射させる手段として光ファイバーを使用してもよ
い。
4より反射されたパルスレーザ光1をキューブビームス
プリッタ4に入射させる光学系に、プリズムを使用した
場合について説明したが、この発明に関連する技術の一
例としてキューブビームスプリッタ4にパルスレーザ光
1を入射させる手段として光ファイバーを使用してもよ
い。
【0023】次に、動作について説明する。図示しない
パルスレーザ発振器より入射されて真空容器1Aの第1
の窓1A1を透過したパルスレーザ光1は、キューブビ
ームスプリッタ4の光分岐点4aに入射されると一部は
第2の窓1A2方向に透過し、一部は入射方向と直角方
向に反射されて第1凸レンズ6Aで集光され光ファイバ
ー7に入射される。この入射されたパルスレーザ光1は
光ファイバー7内を通過して第2凸レンズ6Bに向かっ
て出射されると、第2凸レンズ6Bで集光されてキュー
ブビームスプリッタ4に入射される。
パルスレーザ発振器より入射されて真空容器1Aの第1
の窓1A1を透過したパルスレーザ光1は、キューブビ
ームスプリッタ4の光分岐点4aに入射されると一部は
第2の窓1A2方向に透過し、一部は入射方向と直角方
向に反射されて第1凸レンズ6Aで集光され光ファイバ
ー7に入射される。この入射されたパルスレーザ光1は
光ファイバー7内を通過して第2凸レンズ6Bに向かっ
て出射されると、第2凸レンズ6Bで集光されてキュー
ブビームスプリッタ4に入射される。
【0024】この結果、入射されたパルスレーザ光1は
キューブビームスプリッタ4の光分岐点4aに入射さ
れ、そこで第2の窓1A2方向に反射されるパルスレー
ザ光と第1凸レンズ6A方向に透過するパルスレーザ光
に分岐される。ここで反射されたパルスレーザ光は、第
1の窓1A1より入射されたパルスレーザ光1が遅延光
路長(光ファイバー7の長さ等)で決まる時間分遅延し
て第2の窓1A2より外部に出射するパルスレーザ光1
となる。一方、透過したパルスレーザ光は再び第1凸レ
ンズ6Aで集光されて光ファイバー7に入射される。
キューブビームスプリッタ4の光分岐点4aに入射さ
れ、そこで第2の窓1A2方向に反射されるパルスレー
ザ光と第1凸レンズ6A方向に透過するパルスレーザ光
に分岐される。ここで反射されたパルスレーザ光は、第
1の窓1A1より入射されたパルスレーザ光1が遅延光
路長(光ファイバー7の長さ等)で決まる時間分遅延し
て第2の窓1A2より外部に出射するパルスレーザ光1
となる。一方、透過したパルスレーザ光は再び第1凸レ
ンズ6Aで集光されて光ファイバー7に入射される。
【0025】以上のような構成により、キューブビーム
スプリッタ4より出射されるパルスレーザ光1の光軸調
整は、光ファイバー7より出射されたパルスレーザ光1
をキューブビームスプリッタ4の光分岐点4aに集光さ
せる第2凸レンズ6Bの位置調整のみでよくなる。更
に、遅延光路に光ファイバー7を使用することで光学系
が簡易化される。
スプリッタ4より出射されるパルスレーザ光1の光軸調
整は、光ファイバー7より出射されたパルスレーザ光1
をキューブビームスプリッタ4の光分岐点4aに集光さ
せる第2凸レンズ6Bの位置調整のみでよくなる。更
に、遅延光路に光ファイバー7を使用することで光学系
が簡易化される。
【0026】実施例2. 実施例1では光分岐手段としてキューブビームスプリッ
タ4を使用してパルスレーザ光1の光軸変化を無くすよ
うにしたが、従来技術のように光分岐手段に平面部分反
射鏡2を用いても良く、その時、平面部分反射鏡の厚み
によって生じる光軸の変化を所定の厚みを有するガラス
製の補償板で補償するようにする。
タ4を使用してパルスレーザ光1の光軸変化を無くすよ
うにしたが、従来技術のように光分岐手段に平面部分反
射鏡2を用いても良く、その時、平面部分反射鏡の厚み
によって生じる光軸の変化を所定の厚みを有するガラス
製の補償板で補償するようにする。
【0027】図3は平面部分反射鏡2によって生じる光
軸変化を補償板によって補償するようにした本実施例に
おける光遅延回路の構成図である。尚、図中、図1、図
4と同一符号は同一又は相当部分を示す。図において、
8は一定の厚みを有する補償板であり、この補償板8は
平面部分反射鏡2より第2の窓1A2を透過するパルス
レーザ光1の光軸を中心にして所定の角度傾斜させて設
置されている。補償板8は一定の厚みを有してるため
に、入射されたパルスレーザ光1の光軸は補償板8の厚
み分屈折するので、補償板8を透過したパルスレーザ光
1の光軸は入射時よりもずれる。
軸変化を補償板によって補償するようにした本実施例に
おける光遅延回路の構成図である。尚、図中、図1、図
4と同一符号は同一又は相当部分を示す。図において、
8は一定の厚みを有する補償板であり、この補償板8は
平面部分反射鏡2より第2の窓1A2を透過するパルス
レーザ光1の光軸を中心にして所定の角度傾斜させて設
置されている。補償板8は一定の厚みを有してるため
に、入射されたパルスレーザ光1の光軸は補償板8の厚
み分屈折するので、補償板8を透過したパルスレーザ光
1の光軸は入射時よりもずれる。
【0028】次に、実施例3の動作について説明する。
第2プリズム5Bの斜面5B1より第1直角面5B2に
入射されたパルスレーザ光1は第1直角面5B2により
上方へ直角方向に反射されて第2直角面5B3に入射さ
れる。そして、この入射されたパルスレーザ光1は第2
直角面5B3によって直角方向に反射されて再び斜面5
B1より出射される。
第2プリズム5Bの斜面5B1より第1直角面5B2に
入射されたパルスレーザ光1は第1直角面5B2により
上方へ直角方向に反射されて第2直角面5B3に入射さ
れる。そして、この入射されたパルスレーザ光1は第2
直角面5B3によって直角方向に反射されて再び斜面5
B1より出射される。
【0029】斜面5B1より出射されたパルスレーザ光
1は平面部分反射鏡2の光分岐点2aに戻り、再び平面
部分反射鏡2により入射方向と直角に下方向に反射され
る反射光と、入射方向と同方向に直進する透過光に分岐
される。ここで第1の窓1A 1 を直進してきたパルスレ
ーザ光1は平面部分反射鏡2の屈折率と厚さにより入射
光軸から平行にずれて出射される。だが、このパルスレ
ーザ光1は補償板8を透過する時、補償板8の厚みによ
りその光軸は予め設定された光軸の方向に屈折される。
そのため、補償板8の挿入角度を調整することで、平面
部分反射鏡2で生じる光軸ずれは補正できる。従って、
補償板8を透過して第2の窓1A2より外部に出射され
るパルスレーザ光1の光軸は光遅延回路に入射されたパ
ルスレーザ光1の光軸と一致する。
1は平面部分反射鏡2の光分岐点2aに戻り、再び平面
部分反射鏡2により入射方向と直角に下方向に反射され
る反射光と、入射方向と同方向に直進する透過光に分岐
される。ここで第1の窓1A 1 を直進してきたパルスレ
ーザ光1は平面部分反射鏡2の屈折率と厚さにより入射
光軸から平行にずれて出射される。だが、このパルスレ
ーザ光1は補償板8を透過する時、補償板8の厚みによ
りその光軸は予め設定された光軸の方向に屈折される。
そのため、補償板8の挿入角度を調整することで、平面
部分反射鏡2で生じる光軸ずれは補正できる。従って、
補償板8を透過して第2の窓1A2より外部に出射され
るパルスレーザ光1の光軸は光遅延回路に入射されたパ
ルスレーザ光1の光軸と一致する。
【0030】
【発明の効果】請求項1の発明によれば、第1の窓と第
2の窓とを有し、前記第1の窓から入射されたレーザ光
を前記第2の窓から外部に出射する真空容器と、この真
空容器内に設けられ、前記入射されたレーザ光を透過さ
せると共に、レーザ光の入射経路に対して直角方向にレ
ーザ光を反射させる光分岐手段と、前記真空容器に設け
られ、前記光分岐手段を間にして双方の反射面が対向す
るように配置された第1反射手段及び第2反射手段とを
備え、前記光分岐手段によって反射されたレーザ光を前
記第1反射手段によって前記第2反射手段に向けて反射
した後に、前記第2反射手段によって反射されたレーザ
光を前記光分岐手段によって前記第1反射手段に向けて
透過させると共に、前記第2の窓に反射させるようにし
たので、温度変化による空気の揺らぎに起因するレーザ
光の光軸の揺らぎ、光波面の揺らぎを排除して光軸の安
定化を計れると共に、光軸調整が極めて容易になるとい
う効果がある。
2の窓とを有し、前記第1の窓から入射されたレーザ光
を前記第2の窓から外部に出射する真空容器と、この真
空容器内に設けられ、前記入射されたレーザ光を透過さ
せると共に、レーザ光の入射経路に対して直角方向にレ
ーザ光を反射させる光分岐手段と、前記真空容器に設け
られ、前記光分岐手段を間にして双方の反射面が対向す
るように配置された第1反射手段及び第2反射手段とを
備え、前記光分岐手段によって反射されたレーザ光を前
記第1反射手段によって前記第2反射手段に向けて反射
した後に、前記第2反射手段によって反射されたレーザ
光を前記光分岐手段によって前記第1反射手段に向けて
透過させると共に、前記第2の窓に反射させるようにし
たので、温度変化による空気の揺らぎに起因するレーザ
光の光軸の揺らぎ、光波面の揺らぎを排除して光軸の安
定化を計れると共に、光軸調整が極めて容易になるとい
う効果がある。
【0031】
【図1】この発明の実施例1における光遅延回路の構成
を示す構成図である。
を示す構成図である。
【図2】この発明の実施例1に関連した技術の一例を示
す図である。
す図である。
【図3】この発明の実施例3における光遅延回路の構成
を示す構成図である。
を示す構成図である。
【図4】従来の光遅延回路の構成を示す構成図である。
1 パルスレーザ光 1A 真空容器 1A1,1A2 第1の窓,第2の窓 4 キューブビームスプリッタ 5A,5B 第1プリズム,第2プリズム 6A,6B 第1凸レンズ,第2凸レンズ 7 光ファイバ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.6,DB名) G02B 27/00 H04B 10/10 H04B 10/105 H04B 10/22
Claims (1)
- 【請求項1】 第1の窓と第2の窓とを有し、前記第1
の窓から入射されたレーザ光を前記第2の窓から外部に
出射する真空容器と、この真空容器内に設けられ、前記
入射されたレーザ光を透過させると共に、レーザ光の入
射経路に対して直角方向にレーザ光を反射させる光分岐
手段と、前記真空容器に設けられ、前記光分岐手段を間
にして双方の反射面が対向するように配置された第1反
射手段及び第2反射手段とを備え、前記光分岐手段によ
って反射されたレーザ光を前記第1反射手段によって前
記第2反射手段に向けて反射した後に、前記第2反射手
段によって反射されたレーザ光を前記光分岐手段によっ
て前記第1反射手段に向けて透過させると共に、前記第
2の窓に反射させるようにしたことを特徴とする光遅延
回路。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP5005878A JP2824375B2 (ja) | 1993-01-18 | 1993-01-18 | 光遅延回路 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP5005878A JP2824375B2 (ja) | 1993-01-18 | 1993-01-18 | 光遅延回路 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH06214187A JPH06214187A (ja) | 1994-08-05 |
JP2824375B2 true JP2824375B2 (ja) | 1998-11-11 |
Family
ID=11623170
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP5005878A Expired - Lifetime JP2824375B2 (ja) | 1993-01-18 | 1993-01-18 | 光遅延回路 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2824375B2 (ja) |
Families Citing this family (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6389045B1 (en) | 1999-04-19 | 2002-05-14 | Lambda Physik Ag | Optical pulse stretching and smoothing for ArF and F2 lithography excimer lasers |
JP2005148549A (ja) * | 2003-11-18 | 2005-06-09 | Gigaphoton Inc | 光学的パルス伸長器および露光用放電励起ガスレーザ装置 |
JP4299185B2 (ja) * | 2004-04-27 | 2009-07-22 | 株式会社ディスコ | レーザー加工装置 |
US7321605B2 (en) | 2004-05-24 | 2008-01-22 | Asml Holding, N.V. | Helical optical pulse stretcher |
US7084959B2 (en) | 2004-05-27 | 2006-08-01 | Asml Holding N.V. | Compact pulse stretcher |
US7432517B2 (en) | 2004-11-19 | 2008-10-07 | Asml Netherlands B.V. | Pulse modifier, lithographic apparatus, and device manufacturing method |
US7715101B2 (en) * | 2007-09-24 | 2010-05-11 | Asml Netherlands B.V. | Electromagnetic radiation pulse duration control apparatus and method |
CN103337780B (zh) * | 2013-07-09 | 2015-05-20 | 上海朗研光电科技有限公司 | 基于偏振分束的脉冲分离展宽结构 |
-
1993
- 1993-01-18 JP JP5005878A patent/JP2824375B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH06214187A (ja) | 1994-08-05 |
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