JP2819175B2 - Waveguide type optical attenuator and optical integrated circuit - Google Patents
Waveguide type optical attenuator and optical integrated circuitInfo
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Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は光集積回路に利用する。時に伝搬光を減衰さ
せる導波路型光減衰器に関する。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Industrial Application Field] The present invention is used for an optical integrated circuit. The present invention relates to a waveguide type optical attenuator that sometimes attenuates propagating light.
本発明は、LiNbO3基板上に形成された導波路型光減衰
器において、 プロトン交換により形成されたLiNbO3導波路のモード
変換効果を利用することにより、 減衰量の設定が容易で製造方法が簡単な導波路型光減
衰器を提供するものである。The present invention relates to a waveguide type optical attenuator formed on a LiNbO 3 substrate, wherein the mode conversion effect of a LiNbO 3 waveguide formed by proton exchange is utilized to facilitate setting of the amount of attenuation and a manufacturing method. A simple waveguide type optical attenuator is provided.
光集積回路内で伝搬光を減衰させる光減衰器として、
従来は、金属クラッディングを利用したものや、方解石
／ガラス導波路型のものが用いられている。前者は、導
波路表面に金属クラッディングを設け、この金属クラッ
ディッグによるTMモードの吸収を利用するものである。
後者は、イオン交換ガラス導波路上に方解石を接触さ
せ、この方解石の常光、異常光に対する屈折率の差を利
用して特定の偏光を導波路外に導くことにより、導波路
伝搬光を減衰させるものである。As an optical attenuator that attenuates propagating light in an optical integrated circuit,
Conventionally, those utilizing metal cladding and those of calcite / glass waveguide type have been used. In the former, a metal cladding is provided on the waveguide surface, and the absorption of the TM mode by the metal cladding is utilized.
The latter attenuates waveguide-propagating light by bringing calcite into contact with the ion-exchange glass waveguide and guiding specific polarized light out of the waveguide using the difference in the refractive index of this calcite against ordinary light and extraordinary light. Things.
しかし、金属クラッディングを利用したものは、減衰
量が36dB/cmと大きく、小さい減衰量を実現することは
困難であった。また、方解石／ガラス導波路型のもの
は、方解石とガラスとの接触面を高精度に研磨する必要
があり、製造が困難である欠点があった。さらにこれら
の光減衰器は、光減衰量を高精度に設定することが困難
であった。However, those using metal cladding had a large attenuation of 36 dB / cm, and it was difficult to achieve a small attenuation. Further, the calcite / glass waveguide type has a drawback that the contact surface between the calcite and the glass needs to be polished with high precision, which makes production difficult. Further, it is difficult for these optical attenuators to set the optical attenuation with high accuracy.
本発明は、以上の課題を解決し、減衰量の設定が容易
で製造方法が簡単な導波路型光減衰器を提供することを
目的とする。An object of the present invention is to solve the above problems and to provide a waveguide type optical attenuator in which the amount of attenuation can be easily set and the manufacturing method is simple.
本発明の導波路型光減衰器は、LiNbO3基板上にLi原子
の一部がＨ原子に置換されて形成された光導波路を備
え、この光導波路はこの光導波路を伝搬するTMモードの
光の一部が変換されて生じるTEモードの光を導波路外に
放射させTMモードの光を減衰させる構造であることを特
徴とする。The waveguide type optical attenuator of the present invention includes an optical waveguide formed by replacing a part of Li atoms with H atoms on a LiNbO 3 substrate, and the optical waveguide is a TM mode light propagating through the optical waveguide. Is characterized by having a structure in which TE mode light generated by conversion of a part of the light is emitted outside the waveguide to attenuate TM mode light.
この導波路型光減衰器の減衰量は、LiNbO3基板の結晶
方向に対する光導波路の方向およびその長さにより設定
される。The attenuation of this waveguide type optical attenuator is set by the direction of the optical waveguide with respect to the crystal direction of the LiNbO 3 substrate and its length.
光導波路は減衰量の異なる枝路を含むことができる。
このとき、枝路に分岐される光の強度を制御する電極を
その枝路の分岐点に設けることができる。それぞれの枝
路に伝搬した光については、それぞれ別々の出射端から
出射してもよく、同じ基板上で合波した後に出射しても
よい。The optical waveguide can include branches with different attenuation.
At this time, an electrode for controlling the intensity of light branched to the branch can be provided at the branch point of the branch. Light that has propagated to each branch may be emitted from separate emission ends, or may be emitted after being multiplexed on the same substrate.
大きな減衰量を得る場合には、LiNbO3基板および光導
波路がMgOを不純物として含むことが望ましい。To obtain a large attenuation, it is desirable that the LiNbO 3 substrate and the optical waveguide contain MgO as an impurity.
このような導波路型光導波路は、他の光学素子と共に
LiNbO3基板上に集積することができる。Such a waveguide type optical waveguide is used together with other optical elements.
It can be integrated on a LiNbO 3 substrate.
LiNbO3基板上にプロトン交換により光導波路を形成
し、この光導波路にTMモードの光を伝搬させると、その
一部がTEモードに変換されて導波路方向とは別の方向に
放射される。この現象については、渡辺、山本、吉田、
山本、土方、第50回応用物理学会学術講演会、論文番号
29a−ZH−５、「プロトン交換LiNbO3導波路における偏
光モード変換放射損失」に示されている。このモード変
換により、TMモードの伝搬光は減衰してしまう。そこ
で、これを光減衰器として利用することができる。When an optical waveguide is formed on a LiNbO 3 substrate by proton exchange, and TM mode light is propagated through the optical waveguide, a part of the light is converted into a TE mode and emitted in a direction different from the waveguide direction. About this phenomenon, Watanabe, Yamamoto, Yoshida,
Yamamoto, Hijikata, 50th JSAP Scientific Lecture, Paper No.
29a-ZH-5, are shown in the "polarization mode conversion radiation loss in the proton exchange LiNbO 3 waveguide". Due to this mode conversion, TM mode propagating light is attenuated. Then, this can be used as an optical attenuator.
また、渡辺他の論文には示されていないが、本発明者
の研究では、モード変換効率が伝搬方向により変化する
ことが判明した。すなわち、伝搬方向がLiNbO3結晶方向
でｘ方向のときには変換効率が最大となり、ｙ方向のと
きには最少となる。換言すれば、伝搬方向がｘ方向のと
きにはTMモード伝搬光の減衰量が最大となり、ｙ方向の
ときには減衰量が最少となる。したがって、伝搬方向お
よび伝搬長、すなわち光導波路の方向および長さを適当
に組み合わせることにより、減衰量を広い範囲で任意に
設定できる。Although not shown in Watanabe et al.'S paper, the present inventor's research has revealed that the mode conversion efficiency changes depending on the propagation direction. That is, the conversion efficiency is maximum when the propagation direction is the LiNbO 3 crystal direction in the x direction, and is minimum when the propagation direction is the y direction. In other words, when the propagation direction is the x direction, the attenuation amount of the TM mode propagation light is maximum, and when the propagation direction is the y direction, the attenuation amount is minimum. Therefore, by appropriately combining the propagation direction and the propagation length, that is, the direction and the length of the optical waveguide, the attenuation can be arbitrarily set in a wide range.
短い導波路長で大きな減衰量が必要な場合には、MgO
がドープされたLiNbO3基板を用いて光導波路を形成する
とよい。LiNbO3基板および光導波路にMgOがドープされ
ていると、モード変換効率が高く、TMモードの減衰量も
大きくなる。If a short waveguide length requires a large amount of attenuation, use MgO
It is preferable to form an optical waveguide using a LiNbO 3 substrate doped with. When the LiNbO 3 substrate and the optical waveguide are doped with MgO, the mode conversion efficiency is high and the attenuation amount of the TM mode is large.
モード変換の生じる原理については、プロトン交換に
よりLiNbO3結晶のｙ軸方向に歪が生じ、この歪によりr
51に起因して結晶軸の軸回転が起こり、モード変換が生
じるものと考えられる。LiNbO3によるモード変換につい
ては、例えばカザンスキイの論文（IEEE J.Quantum ele
ctron.,Vol.25,No.4,April 1989, p.736）に説明されて
いる。Regarding the principle of mode conversion, proton exchange causes distortion in the y-axis direction of LiNbO 3 crystal, and this distortion causes r
It is considered that the rotation of the crystal axis occurs due to 51 and mode conversion occurs. For mode conversion by LiNbO 3 , see, for example, Kazanskiy's paper (IEEE J. Quantum ele
ctron., Vol. 25, No. 4, April 1989, p. 736).
第１図は本発明第一実施例の導波路型光減衰器の斜視
図であり、第２図は光導波路に沿った断面図である。FIG. 1 is a perspective view of a waveguide type optical attenuator according to a first embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a cross-sectional view along an optical waveguide.
この導波路型光減衰器は、LiNbO3基板１上にLi原子の
一部がＨ原子に置換されて形成された光導波路２を備え
る。このような光導波路２はプロトン交換により形成さ
れる。この光導波路２にTMモードの光を伝搬させると、
その一部がTEモードに変換されてLiNbO3基板１に放射さ
れる。これに伴って、光導波路２を伝搬するTMモードの
光が減衰する。The waveguide type optical attenuator includes an optical waveguide 2 formed by replacing a part of Li atoms with H atoms on a LiNbO 3 substrate 1. Such an optical waveguide 2 is formed by proton exchange. When TM mode light propagates through the optical waveguide 2,
A part thereof is converted to the TE mode and emitted to the LiNbO 3 substrate 1. Accordingly, the TM mode light propagating through the optical waveguide 2 is attenuated.
LiNbO3基板１に放射されたTEモードの光が再び光導波
路２に戻ったり、光導波路２の出射光に混入したりする
ことを防止するため、LiNbO3基板１の裏面には吸収層が
設けられることが望ましい。このような層として、簡単
にはLiNbO3基板１の裏面を粗面に加工すればよい。In order to prevent the TE mode light emitted to the LiNbO 3 substrate 1 from returning to the optical waveguide 2 again and being mixed into the light emitted from the optical waveguide 2, an absorption layer is provided on the back surface of the LiNbO 3 substrate 1. It is desirable that As such a layer, the back surface of the LiNbO 3 substrate 1 may be simply processed into a rough surface.
TMモード伝搬光の伝搬長あたりの減衰量は、LiNbO3の
結晶方向に対する光導波路の方向によって異なる。伝搬
方向に対する減衰量の測定値を第１表に示す。この表
は、ｚカットLiNbO3基板に厚さ、幅、長さがそれぞれ１
μｍ、２μｍ、10mmの光導波路を形成し、この光導波路
に偏光方向がLiNbO3のｚ軸と平行な波長13μｍの光を入
射したときの値である。The attenuation per propagation length of TM mode propagation light differs depending on the direction of the optical waveguide with respect to the crystal direction of LiNbO 3 . Table 1 shows the measured values of the attenuation in the propagation direction. This table shows that z-cut LiNbO 3 substrate has a thickness, width and length of 1 each.
The values are obtained when an optical waveguide having a thickness of 2 μm, 2 μm, and 10 mm is formed, and light having a wavelength of 13 μm that is parallel to the z-axis of LiNbO 3 is incident on the optical waveguide.
このように減衰量が導波路方向で異なることから、結
晶方向に対する光導波路の方向およびその長さを選択す
ることにより、減衰量を任意に設定できる。 Since the amount of attenuation differs in the waveguide direction as described above, the amount of attenuation can be arbitrarily set by selecting the direction of the optical waveguide with respect to the crystal direction and the length thereof.
ここで、LiNbO3の結晶対称性について補足しておく。
LiNbO3は、よく知られているように、ｘ軸およびｙ軸に
対して三回対称性をもつ。したがって、ｘ軸から60゜ま
たは120゜傾いた方向もまた結晶的にｘ軸と等価であ
る。また、ｘ軸ｙ軸とは互いに直交し、ｘ軸から30゜傾
いた方向はｙ軸と等価である。Here, the crystal symmetry of LiNbO 3 will be supplemented.
As is well known, LiNbO 3 has a three-fold symmetry with respect to the x-axis and the y-axis. Therefore, a direction inclined 60 ° or 120 ° from the x-axis is also crystallographically equivalent to the x-axis. The x-axis and the y-axis are orthogonal to each other, and a direction inclined by 30 ° from the x-axis is equivalent to the y-axis.
LiNbO3基板および光導波路がMgO を不純物として含む
場合には、伝搬光の減衰量が増加する。実用的には、Mg
O がドープされたLiNbO3基板に、プロトン交換により光
導波路を形成する。第２表にMgO がドープされた場合の
減衰量の測定値を示す。この表は、MgO がドープされた
ｚカットLiNbO3基板を用いたことを除いて、第１表と同
等の条件で測定したものである。When the LiNbO 3 substrate and the optical waveguide contain MgO as an impurity, the amount of attenuation of propagating light increases. Practically, Mg
An optical waveguide is formed on a LiNbO 3 substrate doped with O 2 by proton exchange. Table 2 shows the measured attenuation values when MgO is doped. This table was measured under the same conditions as in Table 1 except that a z-cut LiNbO 3 substrate doped with MgO was used.
したがって、短い導波路長で大きな減衰量が必要な場
合には、MgO がドープされたLiNbO3を用いるとよい。例
えばｘ軸方向に光導波路で12dBの減衰量を得るには、ノ
ンドープのLiNbO3の用いた場合には導波路長を40mmと
し、MgO ドープLiNbO3を用いた場合には20mmとする。 Therefore, when a large attenuation is required with a short waveguide length, LiNbO 3 doped with MgO may be used. For example, to obtain the attenuation of 12dB at the optical waveguide in the x-axis direction, in the case of using the non-doped LiNbO 3 is a waveguide length and 40 mm, and 20mm in the case of using the MgO-doped LiNbO 3.
第３図は本発明第二実施例の導波路型光減衰器を含む
光集積回路の平面図である。FIG. 3 is a plan view of an optical integrated circuit including a waveguide type optical attenuator according to a second embodiment of the present invention.
第一実施例では、導波路型光減衰器が個別素子として
形成され、光導波路２が直線状に形成された例を示し
た。これに対して本実施例は、モノリシック光集積回路
中に形成され、光導波路２が折れ曲がった形状に形成さ
れている。In the first embodiment, an example is shown in which the waveguide type optical attenuator is formed as an individual element, and the optical waveguide 2 is formed linearly. On the other hand, this embodiment is formed in a monolithic optical integrated circuit, and the optical waveguide 2 is formed in a bent shape.
すなわち、MgO がドープされたLiNbO3基板１上には光
回路が集積され、その一部に光減衰部３が設けられる。
光減衰部３の光導波路２は、プロトン交換により形成さ
れた導波路であり、領域Ｉ、II、III、IV、Ｖ、VIおよ
びVIIに分かれている。領域Ｉは前段の光回路の出射端
に光学的に結合し、領域VIIは後段の光回路の入射端に
結合する。That is, an optical circuit is integrated on a LiNbO 3 substrate 1 doped with MgO, and an optical attenuator 3 is provided in a part thereof.
The optical waveguide 2 of the optical attenuator 3 is a waveguide formed by proton exchange, and is divided into regions I, II, III, IV, V, VI, and VII. Region I is optically coupled to the outgoing end of the preceding optical circuit, and region VII is coupled to the incoming end of the subsequent optical circuit.
領域Ｉ〜VIIの方向およびその長さあたりの減衰量
は、 領域Ｉ、III、Ｖ、VII:y軸方向、0.5dB/cm 領域II:y軸から30゜傾斜、6dB/cm 領域IV:y軸およびｘ軸に対して15゜傾斜、3dB/cm 領域VI:y軸に対して60゜傾斜（ｙ軸）、0.5dB/cm である、ここで、例えば長さが、 領域Ｉ＋領域III＋領域Ｖ＋領域VI＋領域VII＝20mm、 領域II＝5mm、 領域IV＝10mm とすると、それぞれの減衰量が1dB、3dB、3dBとなる。
したがって、光減衰部３により減衰量は7dBとなる。た
だし、ここでは光導波路２の折れ曲がりによる損失は考
慮していない。The directions of the regions I to VII and the attenuation per length thereof are as follows: regions I, III, V, VII: y-axis direction, 0.5 dB / cm region II: 30 ° tilt from y-axis, 6 dB / cm region IV: y 15 ° tilt with respect to axis and x-axis, 3 dB / cm region VI: tilt at 60 ° with respect to y-axis (y-axis), 0.5 dB / cm, for example, where the length is: region I + region III + region Assuming that V + region VI + region VII = 20 mm, region II = 5 mm, and region IV = 10 mm, the attenuation amounts are 1 dB, 3 dB, and 3 dB, respectively.
Therefore, the attenuation by the light attenuator 3 is 7 dB. However, the loss due to the bending of the optical waveguide 2 is not considered here.
第４図は本発明第三実施例導波路型光減衰器の平面図
である。FIG. 4 is a plan view of a waveguide type optical attenuator according to a third embodiment of the present invention.
この実施例は、光導波路２が減衰量の異なる枝路20、
21、22、23を含み、枝路21、22、23に分岐される光の強
度を制御する電極31、32、33かそれぞれの枝路21、22、
23の分岐点に設けられたことが第一実施例と異なる。Li
NbO3基板１、光導波路２および枝路20、21、22、23はMg
O を不純物として含む。In this embodiment, the optical waveguide 2 has the branches 20 having different attenuations,
21, 22, 23, the electrodes 31, 32, 33 for controlling the intensity of light branched to the branches 21, 22, 23 or the respective branches 21, 22,
It differs from the first embodiment in that it is provided at 23 branch points. Li
The NbO 3 substrate 1, the optical waveguide 2 and the branches 20, 21, 22, and 23 are made of Mg.
Contains O as an impurity.
枝路20はｙ軸方向に直線状であり、枝路21〜23はｙ軸
に対して15゜傾いた後に再びｙ軸方向に折れ曲がってい
る。枝路21〜23の傾いた部分の長さは、それぞれ30mm、
20mm、10mmである。枝路20〜23を伝搬した光は、それぞ
別個の出射端40〜43から出射される。The branch 20 is straight in the y-axis direction, and the branches 21 to 23 are bent again in the y-axis direction after being inclined by 15 ° with respect to the y-axis. The length of the inclined portions of the branches 21 to 23 is 30 mm, respectively.
20 mm and 10 mm. The light propagating through the branches 20 to 23 is emitted from separate emission ends 40 to 43, respectively.
ｙ軸方向の損失がないとすると、電極31〜33のいずれ
にも電圧を印加しない場合には、伝搬光は枝路20を通過
し、出射端40から減衰量0dBで出射される。電極31に電
圧を印加した場合には、伝搬光は枝路21を通過し、9dB
減衰して出射端41から出射される。同様に、電極32、33
に個別に電圧を印加すると、それぞれ伝搬光が枝路22、
23を通過し、6dB、3dB減衰して出射端42、43から出射さ
れる。Assuming that there is no loss in the y-axis direction, when no voltage is applied to any of the electrodes 31 to 33, the propagating light passes through the branch 20 and is emitted from the emission end 40 with an attenuation of 0 dB. When a voltage is applied to the electrode 31, the propagating light passes through the branch 21 and is 9 dB.
The light is attenuated and emitted from the emission end 41. Similarly, electrodes 32, 33
When a voltage is individually applied to each of the
The light passes through 23, is attenuated by 6 dB and 3 dB, and is emitted from emission ends 42 and 43.
電圧印加による伝搬路の切り替えについては、例えば
西原浩、春名正光、栖原敏明共著、オーム社刊「光集積
回路」第１版または第２版、第310頁〜第313頁、特に第
312頁〜313頁に示されている。Regarding the switching of the propagation path by voltage application, for example, Hiroshi Nishihara, Masamitsu Haruna, Toshiaki Suhara, Ohmsha, “Optical Integrated Circuit,” 1st or 2nd edition, pp. 310-313, especially
It is shown on pages 312-313.
本実施例では光導波路が四つの枝路に分岐された例を
示したが、枝路の数は何本でも本発明を同様に実施でき
る。また、減衰部分の導波路方向および長さを適当に選
択することにより、減衰量を任意に設定できる。In the present embodiment, an example is shown in which the optical waveguide is branched into four branches, but the present invention can be implemented in any number of branches. Also, by appropriately selecting the waveguide direction and the length of the attenuating portion, the amount of attenuation can be arbitrarily set.
第５図は本発明第四実施例導波路型光減衰器の平面図
である。FIG. 5 is a plan view of a waveguide type optical attenuator according to a fourth embodiment of the present invention.
この実施例は、枝路20〜23が再び一本に合流すること
が第三実施例と大きく異なる。また、枝路21、22、23の
減衰部分の角度がｙ軸に対して45゜であることが第三実
施例と異なるが、その効果は同等である。枝路21〜23の
合流角度は60゜であり、これはｙ軸と結晶的に等価なの
で、その損失は小さい。This embodiment is significantly different from the third embodiment in that the branches 20 to 23 merge again into one. Further, the difference between the third embodiment and the third embodiment is that the angle of the attenuating portion of each of the branches 21, 22, and 23 is 45 ° with respect to the y-axis, but the effect is the same. The junction angle of the branches 21 to 23 is 60 °, which is crystallographically equivalent to the y-axis, so that the loss is small.
したがって、ｙ軸方向の損失がないとすると、電極31
〜33のいずれにも電圧を印加しない場合には、伝搬光は
枝路20を通過し、出射端40から減衰量0dBで出射され
る。電極31に電圧を印加した場合には、伝搬光は枝路21
を通過し、9dB減衰した後に枝路20に合流し、出射端40
から出射される。同様に、電極32、33に個別に電圧を印
加すると、それぞれ伝搬光が枝路22、23を通過し、6d
B、3dB減衰して出射端40から出射される。Therefore, if there is no loss in the y-axis direction, the electrode 31
When a voltage is not applied to any of .about.33, the propagating light passes through the branch 20, and is emitted from the emission end 40 with an attenuation of 0 dB. When a voltage is applied to the electrode 31, the propagating light
, And after being attenuated by 9 dB, merges into the branch 20, and exits 40
Is emitted from. Similarly, when a voltage is individually applied to the electrodes 32 and 33, the propagating light passes through the branches 22 and 23, respectively, and
B, the light is emitted from the emission end 40 after being attenuated by 3 dB.
また、信号光の干渉の問題がなければ、電極31〜33の
電圧により枝路21〜23への分岐比を変化させることによ
り、減衰量を連続的に変化させることができる。In addition, if there is no problem of signal light interference, the attenuation can be continuously changed by changing the branching ratio to the branches 21 to 23 by the voltages of the electrodes 31 to 33.
第二実施例ないし第四実施例の説明では、光路の折れ
曲がり、分岐、合流による伝搬光の減衰については無視
したが、実用上は無視できないことがある。その場合に
は、実験的にその減衰量を求め、その値を考慮して光導
波路の角度および長さを設定するこにより本発明を実施
できる。In the description of the second to fourth embodiments, the attenuation of the propagating light due to the bending, branching, and merging of the optical path is neglected, but it may not be negligible in practical use. In this case, the present invention can be implemented by experimentally obtaining the attenuation and setting the angle and length of the optical waveguide in consideration of the value.
以上説明したように、本発明の導波路型光減衰器は、
光導波路の方向および長さを最適に設定することによ
り、所望の減衰量を容易に得ることができる。また、そ
の製造はLiNbO3のをプロトン交換するだけであり、精密
な加工を必要とせずに製造できる効果がある。As described above, the waveguide-type optical attenuator of the present invention includes:
By optimally setting the direction and length of the optical waveguide, a desired amount of attenuation can be easily obtained. In addition, the production is only proton exchange of LiNbO 3 , and there is an effect that it can be produced without requiring precise processing.
第１図は本発明第一実施例導波路型光減衰器の斜視図。 第２図は第一実施例の光導波路に沿った断面図。 第３図は本発明第二実施例導波路型光減衰器を含む光集
積回路の平面図。 第４図は本発明第三実施例導波路型光減衰器の平面図。 第５図は本発明第四実施例導波路型光減衰器の平面図。 １……LiNbO3基板、２……光導波路、３……光減衰部、
20〜23……枝路、31〜33……電極、40〜43……出射端。FIG. 1 is a perspective view of a waveguide type optical attenuator according to a first embodiment of the present invention. FIG. 2 is a sectional view taken along the optical waveguide of the first embodiment. FIG. 3 is a plan view of an optical integrated circuit including a waveguide type optical attenuator according to a second embodiment of the present invention. FIG. 4 is a plan view of a waveguide type optical attenuator according to a third embodiment of the present invention. FIG. 5 is a plan view of a waveguide type optical attenuator according to a fourth embodiment of the present invention. 1 LiNbO 3 substrate 2 Optical waveguide 3 Optical attenuator
20-23 ... branch, 31-33 ... electrode, 40-43 ... emission end.
Claims (6)
換されて形成された光導波路を備え、 この光導波路はこの光導波路を伝搬するTMモードと光の
一部が変換されて生じるTEモードの光を導波路外に放射
させTMモードの光を減衰させる構造である 導波路型光減衰器。1. An optical waveguide formed by replacing a part of Li atoms with H atoms on a LiNbO 3 substrate, and the optical waveguide is converted into a TM mode propagating through the optical waveguide and a part of light. A waveguide-type optical attenuator that emits TE-mode light generated outside the waveguide and attenuates TM-mode light.
路の方向およびその長さにより設定された請求項１記載
の導波路型光減衰器。2. The waveguide type optical attenuator according to claim 1, wherein the amount of attenuation is set by the direction of the optical waveguide with respect to the crystal direction of LiNbO 3 and the length thereof.
項２記載の導波路型光減衰器。3. The waveguide type optical attenuator according to claim 2, wherein the optical waveguide includes branches having different amounts of attenuation.
がその枝路の分岐点に設けられた請求項３記載の導波路
型光減衰器。4. The waveguide type optical attenuator according to claim 3, wherein an electrode for controlling the intensity of light branched to the branch is provided at a branch point of the branch.
として含む請求項１記載の導波路型光減衰器。5. The waveguide type optical attenuator according to claim 1, wherein the LiNbO 3 substrate and the optical waveguide contain MgO as an impurity.
路型光減衰器が他の光学素子と共にLiNbO3基板上に集積
された光集積回路。6. An optical integrated circuit in which the waveguide type optical attenuator according to claim 1 is integrated with another optical element on a LiNbO 3 substrate.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1159190A JP2819175B2 (en) | 1990-01-19 | 1990-01-19 | Waveguide type optical attenuator and optical integrated circuit |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| JP1159190A JP2819175B2 (en) | 1990-01-19 | 1990-01-19 | Waveguide type optical attenuator and optical integrated circuit |
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| JP2819175B2 true JP2819175B2 (en) | 1998-10-30 |
Family
ID=11782148
Family Applications (1)
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1990
- 1990-01-19 JP JP1159190A patent/JP2819175B2/en not_active Expired - Fee Related
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| JPH03215804A (en) | 1991-09-20 |
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