JP2789458B2 - 液体気化のための流量制御装置 - Google Patents
液体気化のための流量制御装置Info
- Publication number
- JP2789458B2 JP2789458B2 JP29526188A JP29526188A JP2789458B2 JP 2789458 B2 JP2789458 B2 JP 2789458B2 JP 29526188 A JP29526188 A JP 29526188A JP 29526188 A JP29526188 A JP 29526188A JP 2789458 B2 JP2789458 B2 JP 2789458B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- liquid
- temperature detecting
- temperature
- flow rate
- flow
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
- G01F1/00—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow
- G01F1/68—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using thermal effects
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
- G01F1/00—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow
- G01F1/68—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using thermal effects
- G01F1/684—Structural arrangements; Mounting of elements, e.g. in relation to fluid flow
- G01F1/6847—Structural arrangements; Mounting of elements, e.g. in relation to fluid flow where sensing or heating elements are not disturbing the fluid flow, e.g. elements mounted outside the flow duct
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
- G01F1/00—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow
- G01F1/68—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using thermal effects
- G01F1/684—Structural arrangements; Mounting of elements, e.g. in relation to fluid flow
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
- G01F1/00—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow
- G01F1/68—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using thermal effects
- G01F1/684—Structural arrangements; Mounting of elements, e.g. in relation to fluid flow
- G01F1/688—Structural arrangements; Mounting of elements, e.g. in relation to fluid flow using a particular type of heating, cooling or sensing element
-
- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05D—SYSTEMS FOR CONTROLLING OR REGULATING NON-ELECTRIC VARIABLES
- G05D7/00—Control of flow
- G05D7/06—Control of flow characterised by the use of electric means
-
- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05D—SYSTEMS FOR CONTROLLING OR REGULATING NON-ELECTRIC VARIABLES
- G05D7/00—Control of flow
- G05D7/06—Control of flow characterised by the use of electric means
- G05D7/0617—Control of flow characterised by the use of electric means specially adapted for fluid materials
- G05D7/0629—Control of flow characterised by the use of electric means specially adapted for fluid materials characterised by the type of regulator means
- G05D7/0635—Control of flow characterised by the use of electric means specially adapted for fluid materials characterised by the type of regulator means by action on throttling means
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T137/00—Fluid handling
- Y10T137/7722—Line condition change responsive valves
- Y10T137/7758—Pilot or servo controlled
- Y10T137/7759—Responsive to change in rate of fluid flow
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Fluid Mechanics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Automation & Control Theory (AREA)
- Measuring Volume Flow (AREA)
- Flow Control (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、液体タンクから所定流量の液体を気化室に
供給するための液体気化用の流量制御装置に関するもの
である。
供給するための液体気化用の流量制御装置に関するもの
である。
従来より、この種の液体用流量制御装置に使用される
液体の微小流量を測定する手段としては、例えば、−
定時間容器内に液体を入れ、その重量を基準にして測る
方法、容積が既知の容器を液体が満たす時間を基準に
して測定する方法、羽根車等を用いる方法、感熱セ
ンサ若しくは圧力センサを流路内に入れ、流速から流量
を得る方法、液体が流れる管にヒータを巻設し、ヒー
タ自体若しくはヒータ前後の温度に基づいて測る方法等
がある。
液体の微小流量を測定する手段としては、例えば、−
定時間容器内に液体を入れ、その重量を基準にして測る
方法、容積が既知の容器を液体が満たす時間を基準に
して測定する方法、羽根車等を用いる方法、感熱セ
ンサ若しくは圧力センサを流路内に入れ、流速から流量
を得る方法、液体が流れる管にヒータを巻設し、ヒー
タ自体若しくはヒータ前後の温度に基づいて測る方法等
がある。
しかしながら、上記の各手段にはそれぞれ次のような
欠点がある。即ち、及びは、インラインでの測定並
びに瞬時流量の測定ができず、そして、は、羽根車の
大きさ等から微小流量の測定が困難であり、又、はセ
ンサ部のシールドや接液部の材質に難があり、更に、
は測定感度に難があると共に、ヒータの液体加熱によっ
て気泡が発生する。そして、低沸点液体の測定には不向
きである等である。
欠点がある。即ち、及びは、インラインでの測定並
びに瞬時流量の測定ができず、そして、は、羽根車の
大きさ等から微小流量の測定が困難であり、又、はセ
ンサ部のシールドや接液部の材質に難があり、更に、
は測定感度に難があると共に、ヒータの液体加熱によっ
て気泡が発生する。そして、低沸点液体の測定には不向
きである等である。
本発明は、上述の事柄に留意してなされたもので、そ
の目的とするところは、上述の欠点を悉く解消した測定
精度の高い流量計を使用した液体気化のための流量制御
装置を提供することにある。
の目的とするところは、上述の欠点を悉く解消した測定
精度の高い流量計を使用した液体気化のための流量制御
装置を提供することにある。
上述の目的を達成するため、本発明に係る液体気化の
ための流量制御装置は液体タンクと、該液体タンクから
液体を送り出す手段と、前記液体タンクからの供給流路
中に設けられる流量計と、その下流側に設けたバルブと
を備え、所定流量の液体を気化室に送給するようにした
液体気化のための流量制御装置であって、前記流量計は
液体が流れる管の一部を電子冷却素子で冷却するように
構成すると共に、前記管の冷却部分よりも上流側の管表
面に温度検出第1素子を、前記電子冷却素子の表面に温
度検出第2素子を、前記電子冷却素子で冷却される管表
面に温度検出第3素子を、それぞれ設け、前記温度検出
第1素子の検出温度と温度検出第2素子の検出温度との
差が常に所定値になるように、前記電子冷却素子を制御
しつつ、前記温度検出第3素子の検出温度と前記温度検
出第2素子の検出温度との差に基づいて前記管内を流れ
る液体の流量を測定するように構成し、前記流量計から
の流量出力信号と予め定められた設定信号とを比較制御
回路によって比較し、両信号が一致するようにバルブ駆
動回路へ制御信号を送出し、そのバルブ駆動回路から前
記バルブに対して制御出力を送出することにより前記バ
ルブの開度を調整して所定流量の液体を前記気化室に供
給するように構成したことを特徴とするものである。
ための流量制御装置は液体タンクと、該液体タンクから
液体を送り出す手段と、前記液体タンクからの供給流路
中に設けられる流量計と、その下流側に設けたバルブと
を備え、所定流量の液体を気化室に送給するようにした
液体気化のための流量制御装置であって、前記流量計は
液体が流れる管の一部を電子冷却素子で冷却するように
構成すると共に、前記管の冷却部分よりも上流側の管表
面に温度検出第1素子を、前記電子冷却素子の表面に温
度検出第2素子を、前記電子冷却素子で冷却される管表
面に温度検出第3素子を、それぞれ設け、前記温度検出
第1素子の検出温度と温度検出第2素子の検出温度との
差が常に所定値になるように、前記電子冷却素子を制御
しつつ、前記温度検出第3素子の検出温度と前記温度検
出第2素子の検出温度との差に基づいて前記管内を流れ
る液体の流量を測定するように構成し、前記流量計から
の流量出力信号と予め定められた設定信号とを比較制御
回路によって比較し、両信号が一致するようにバルブ駆
動回路へ制御信号を送出し、そのバルブ駆動回路から前
記バルブに対して制御出力を送出することにより前記バ
ルブの開度を調整して所定流量の液体を前記気化室に供
給するように構成したことを特徴とするものである。
上記流量計においては、液体が流れる管を電子冷却素
子で冷却するようにしているので、気泡が発生せず、従
って、低沸点液体の測定が可能になる。又、液体中に溶
存するガスの影響を受けない。更に、液体の流れによっ
て生じる温度差、即ち、液体の温度上昇分を検出してい
るだけであるから、取り付け姿勢の影響を受けることが
ない。したがって、精度の高い測定ができると共に、バ
ルブの開度調整により安定かつ確実に所定流量の液体を
気化室に供給することができる。
子で冷却するようにしているので、気泡が発生せず、従
って、低沸点液体の測定が可能になる。又、液体中に溶
存するガスの影響を受けない。更に、液体の流れによっ
て生じる温度差、即ち、液体の温度上昇分を検出してい
るだけであるから、取り付け姿勢の影響を受けることが
ない。したがって、精度の高い測定ができると共に、バ
ルブの開度調整により安定かつ確実に所定流量の液体を
気化室に供給することができる。
以下、本発明の実施例を、図面に基づいて説明する。
第1図は、液体タンクから送り出される液体ソースのフ
ローを表わす図面、第2図は液体気化のための流量制御
装置の要部を表わす一部を断面した正面図である。これ
らの図において、Aは液体タンクで、この液体タンクA
には、例えば半導体素子の被覆材料になるアルコラート
系のテトラエトキシシランSi(OC2H5)4や光ファイバ
ーの原料になる四塩化シラン等の液体ソースBが貯溜さ
れている。
第1図は、液体タンクから送り出される液体ソースのフ
ローを表わす図面、第2図は液体気化のための流量制御
装置の要部を表わす一部を断面した正面図である。これ
らの図において、Aは液体タンクで、この液体タンクA
には、例えば半導体素子の被覆材料になるアルコラート
系のテトラエトキシシランSi(OC2H5)4や光ファイバ
ーの原料になる四塩化シラン等の液体ソースBが貯溜さ
れている。
そして液体タンクAから液体を送り出す手段、例えば
ガス供給管42に設けられたバルブ41を開いて窒素あるい
はアルゴン等の不活性ガスで液体タンクA内を加圧する
ことにより、液体ソースBを液体を前記液体タンクAか
らの供給流路D中に設けられる液体流量制御部Cへ送り
出す。尚、この液体を送り出すのにポンプを用いてもよ
いし位置エネルギを利用してもよい。
ガス供給管42に設けられたバルブ41を開いて窒素あるい
はアルゴン等の不活性ガスで液体タンクA内を加圧する
ことにより、液体ソースBを液体を前記液体タンクAか
らの供給流路D中に設けられる液体流量制御部Cへ送り
出す。尚、この液体を送り出すのにポンプを用いてもよ
いし位置エネルギを利用してもよい。
液体流量制御部Cは、第2図に示すごとく、流量計30
と、その下流側に設けられるバルブ31を備えている。そ
して、前記流量計30は、第3図乃至第5図にも示すごと
く以下のようになっている。即ち、一対の支持ブロック
44,44によって、例えば、外径が2.0mm、内径が1.9mmの
ステンレスよりなる管1が支持されており、この管1に
前記液体タンクAからの液体が管1左端の継手43から矢
印L方向に流される。
と、その下流側に設けられるバルブ31を備えている。そ
して、前記流量計30は、第3図乃至第5図にも示すごと
く以下のようになっている。即ち、一対の支持ブロック
44,44によって、例えば、外径が2.0mm、内径が1.9mmの
ステンレスよりなる管1が支持されており、この管1に
前記液体タンクAからの液体が管1左端の継手43から矢
印L方向に流される。
2は管1の一部を冷却するための電子冷却素子で、そ
の電子冷却素子2では、一方(図示する例では上方)に
凹部3が形成され、他方(下方)に多数のフィン4…が
形成されると共に、凹部3を囲む周壁3Aに相対向する切
欠部5A,5Bを形成してなる例えばアルミニウムよりなる
ヒートシンク6の凹部3内に収容されている。
の電子冷却素子2では、一方(図示する例では上方)に
凹部3が形成され、他方(下方)に多数のフィン4…が
形成されると共に、凹部3を囲む周壁3Aに相対向する切
欠部5A,5Bを形成してなる例えばアルミニウムよりなる
ヒートシンク6の凹部3内に収容されている。
電子冷却素子2の上面2Aには、例えば第4図に示すよ
うに、管1の外形に沿う形状を有する溝7を上面に備え
ると共に、側部に素子ホルダ8A,8Bを突設してなる管ホ
ルダ9と、この管ホルダ9より例えば所定距離離れて位
置する素子ホルダ10とが設けられている。これらのホル
ダ9,10は熱伝導性の優れたアルミニウム又は銅等よりな
り、前記上面2Aに密着して設けられている。
うに、管1の外形に沿う形状を有する溝7を上面に備え
ると共に、側部に素子ホルダ8A,8Bを突設してなる管ホ
ルダ9と、この管ホルダ9より例えば所定距離離れて位
置する素子ホルダ10とが設けられている。これらのホル
ダ9,10は熱伝導性の優れたアルミニウム又は銅等よりな
り、前記上面2Aに密着して設けられている。
そして、管1は前記切欠部5A,5Bの間において溝7の
表面に密着するように設けられ、溝7に当接する部分1A
が電子冷却素子2によって冷却される。この場合、被冷
却部分1Aと電子冷却素子2との熱的結合を密にするため
及び振動影響が生じないようにするため、当接部分1Aと
溝7の密着する部分にはサーマルコンパウンドが充填さ
れたり、銀ペーストを用いている。11はヒートシング6
の切欠部5A,5Bにおける管1の周囲の隙間を充填する断
熱材である。
表面に密着するように設けられ、溝7に当接する部分1A
が電子冷却素子2によって冷却される。この場合、被冷
却部分1Aと電子冷却素子2との熱的結合を密にするため
及び振動影響が生じないようにするため、当接部分1Aと
溝7の密着する部分にはサーマルコンパウンドが充填さ
れたり、銀ペーストを用いている。11はヒートシング6
の切欠部5A,5Bにおける管1の周囲の隙間を充填する断
熱材である。
12は管1の被冷却部分1Aよりも上流側の非冷却部分1B
の温度を検出する温度検出第1素子で、前記ホルダ9,10
と同様の材料よりなる素子ホルダ13を介して管表面に設
けられている。14は電子冷却素子2の温度を検出する温
度検出第2素子で、素子ホルダ10に取り付けられてい
る。15は電子冷却素子2によって冷却される管1の被冷
却部分1Aの温度を検出する温度検出第3素子で、管ホル
ダ9の上流側素子ホルダ8Aに取り付けられててる。尚、
この温度検出第3素子15を素子ホルダ8Aに代えてこれよ
りも下流側に素子ホルダ8Bに取り付けるようにしてもよ
い。
の温度を検出する温度検出第1素子で、前記ホルダ9,10
と同様の材料よりなる素子ホルダ13を介して管表面に設
けられている。14は電子冷却素子2の温度を検出する温
度検出第2素子で、素子ホルダ10に取り付けられてい
る。15は電子冷却素子2によって冷却される管1の被冷
却部分1Aの温度を検出する温度検出第3素子で、管ホル
ダ9の上流側素子ホルダ8Aに取り付けられててる。尚、
この温度検出第3素子15を素子ホルダ8Aに代えてこれよ
りも下流側に素子ホルダ8Bに取り付けるようにしてもよ
い。
16A,16Bは管1の被冷却部分1A、電子冷却素子2の上
面2A及び温度検出第1素子12を被覆する例えばスチロー
ルよりなる断熱材である。尚、これら断熱材16A,16Bは
一体的に形成してあってもよい。
面2A及び温度検出第1素子12を被覆する例えばスチロー
ルよりなる断熱材である。尚、これら断熱材16A,16Bは
一体的に形成してあってもよい。
第5図は上記電子冷却素子2及び温度検出素子12,14,
15を含む電気系ブロック図であり、同図において、17,1
8,19はそれぞれ温度検出素子12,14,15を定電流制御する
定電流回路、20は温度検出第1素子12の検出温度aと温
度検出第2素子14の検出温度bとに基づいて電子冷却素
子2を制御し、もって前記両検出温度の差a−bが所定
の値になるように制御する定温度制御回路、21は温度検
出第3素子15の検出温度cと温度検出第2素子14の検出
温度bとの差をとり、これを増幅する増幅器、22は温度
補正回路、23はリニアライザ、24は出力点である。
15を含む電気系ブロック図であり、同図において、17,1
8,19はそれぞれ温度検出素子12,14,15を定電流制御する
定電流回路、20は温度検出第1素子12の検出温度aと温
度検出第2素子14の検出温度bとに基づいて電子冷却素
子2を制御し、もって前記両検出温度の差a−bが所定
の値になるように制御する定温度制御回路、21は温度検
出第3素子15の検出温度cと温度検出第2素子14の検出
温度bとの差をとり、これを増幅する増幅器、22は温度
補正回路、23はリニアライザ、24は出力点である。
而して、上記構成の流量計において、温度検出素子1
2,14,15に対してそれぞれ定電流回路17,18,19によって
所定の大きさ(例えば0.3mA)の電流を流すとに、温度
検出第1素子12の検出温度aと温度検出第2素子14の検
出温度bとの差a−bが所定の値(例えば8℃)となる
ように、定温度制御回路20において例えばPIDを用いて
電子冷却素子2を制御する。
2,14,15に対してそれぞれ定電流回路17,18,19によって
所定の大きさ(例えば0.3mA)の電流を流すとに、温度
検出第1素子12の検出温度aと温度検出第2素子14の検
出温度bとの差a−bが所定の値(例えば8℃)となる
ように、定温度制御回路20において例えばPIDを用いて
電子冷却素子2を制御する。
この条件下において、管1内に液体が流れていないと
きは、電子冷却素子2の表面2A上は全て同一温度である
から、温度検出第3素子15の検出温度cと温度検出第2
素子14の検出温度bとは等しく、即ち、c−bはゼロで
ある。そして、管1内に液体が流れているときは、温度
検出第3素子15の検出温度cは前記液体の流量に比例し
て上昇するので、温度検出第3素子15の検出温度cと温
度検出第2素子14の検出温度bとの間に差が生ずる。従
って、上記a−bを所定の値になるようにして、c−b
を得ることにより、管1内に流れる液体の流量を求める
ことができるのである。
きは、電子冷却素子2の表面2A上は全て同一温度である
から、温度検出第3素子15の検出温度cと温度検出第2
素子14の検出温度bとは等しく、即ち、c−bはゼロで
ある。そして、管1内に液体が流れているときは、温度
検出第3素子15の検出温度cは前記液体の流量に比例し
て上昇するので、温度検出第3素子15の検出温度cと温
度検出第2素子14の検出温度bとの間に差が生ずる。従
って、上記a−bを所定の値になるようにして、c−b
を得ることにより、管1内に流れる液体の流量を求める
ことができるのである。
ところで、上記実施例において、微小流量範囲の測定
に関しては、温度検出第3素子15は管1の被冷却部分1A
において上流側に設ける程、高感度な出力が得られる。
そして、必要な感度に応じて、この温度検出第3素子15
を、上流側の位置(例えば素子ホルダ8A)から下流側の
位置(例えば素子ホルダ8B)までの間の何れの位置に置
くこともできる。又、複数の素子ホルダを設けておいて
もよいことは云うまでもない。
に関しては、温度検出第3素子15は管1の被冷却部分1A
において上流側に設ける程、高感度な出力が得られる。
そして、必要な感度に応じて、この温度検出第3素子15
を、上流側の位置(例えば素子ホルダ8A)から下流側の
位置(例えば素子ホルダ8B)までの間の何れの位置に置
くこともできる。又、複数の素子ホルダを設けておいて
もよいことは云うまでもない。
本発明は上記実施例に限られるものではなく、例えば
温度検出素子12,14,15は上記リニアサーミスタ、白金温
度計、抵抗温度素子、巻線、熱電対等を用いてもよい。
又、管1はステンレス以外に、アルミニウム、銅、ニッ
ケル等の金属材料や、管1の肉厚を薄くした場合にはフ
ッ化エチレン樹脂、ポリマー系等によって構成してもよ
い。又、上記流量計は、空気やアルゴンあるいは腐食性
ガス等の流量測定にも使用できる。
温度検出素子12,14,15は上記リニアサーミスタ、白金温
度計、抵抗温度素子、巻線、熱電対等を用いてもよい。
又、管1はステンレス以外に、アルミニウム、銅、ニッ
ケル等の金属材料や、管1の肉厚を薄くした場合にはフ
ッ化エチレン樹脂、ポリマー系等によって構成してもよ
い。又、上記流量計は、空気やアルゴンあるいは腐食性
ガス等の流量測定にも使用できる。
前記バルブ31としては、例えば、特開昭62− 13884
号公報に開示された如きピエゾスタックより成る弁体駆
動部を備えたバルブが使用される。
号公報に開示された如きピエゾスタックより成る弁体駆
動部を備えたバルブが使用される。
そして、前記流量計30からの流量出力信号と予じめ定
められた設定信号とを比較制御回路33によって比較し
て、この両信号が一致するようにバルブ駆動回路35へ信
号を送り、前記バルブ31の開度を調整して所定流量の液
体を気化室32へ送り出す。気化室32は、前記液体流量制
御部Cを通って送られてくる液体と十分気化できるよう
に所定温度以上に保持されており、液体流量制御Cによ
って流量制御された液体は気化室32で気化される。
められた設定信号とを比較制御回路33によって比較し
て、この両信号が一致するようにバルブ駆動回路35へ信
号を送り、前記バルブ31の開度を調整して所定流量の液
体を気化室32へ送り出す。気化室32は、前記液体流量制
御部Cを通って送られてくる液体と十分気化できるよう
に所定温度以上に保持されており、液体流量制御Cによ
って流量制御された液体は気化室32で気化される。
そしてキャリアガスの開閉弁36を開けることにより、
気体流量制御装置(例えば特開昭62−13884号公報に開
示されたマスフローコントローラ)37によって制御され
た窒素、アルゴン、水素、酸素等のキャリアガスが気化
室32に送られ、キャリアガスによって上記気化された液
体ソースは、例えば反応炉38へ送り出される。以上のご
とく本実施例においては液体ソースは液状態で流量制御
され、気化されるため、ガス流量に換算すると比較的大
流量のガスが安定して供給されることになる。
気体流量制御装置(例えば特開昭62−13884号公報に開
示されたマスフローコントローラ)37によって制御され
た窒素、アルゴン、水素、酸素等のキャリアガスが気化
室32に送られ、キャリアガスによって上記気化された液
体ソースは、例えば反応炉38へ送り出される。以上のご
とく本実施例においては液体ソースは液状態で流量制御
され、気化されるため、ガス流量に換算すると比較的大
流量のガスが安定して供給されることになる。
以上説明したように、本発明に係る液体気化のための
流量制御装置は、流量計によって管内を流れる液体の流
量を非接触で測定し、かつ液体の微小流量を測定できる
ことは勿論のこと、液体が流れる管を電子冷却素子で冷
却するようにしているので、気泡が発生せず、従って、
低沸点液体等気体を発生し易い液体の測定が可能にな
る。又、液体中に溶存するガスの影響を受けず、しか
も、液体の流れによって生じる温度差、即ち、液体の温
度上昇分を検出しているだけであり、取り付け姿勢の影
響を受けることがないから、精度の高い測定が可能にな
ると共に、バルブの開度を調整することにより、安定か
つ確実に所定流量の液体を気化室に供給することができ
る。
流量制御装置は、流量計によって管内を流れる液体の流
量を非接触で測定し、かつ液体の微小流量を測定できる
ことは勿論のこと、液体が流れる管を電子冷却素子で冷
却するようにしているので、気泡が発生せず、従って、
低沸点液体等気体を発生し易い液体の測定が可能にな
る。又、液体中に溶存するガスの影響を受けず、しか
も、液体の流れによって生じる温度差、即ち、液体の温
度上昇分を検出しているだけであり、取り付け姿勢の影
響を受けることがないから、精度の高い測定が可能にな
ると共に、バルブの開度を調整することにより、安定か
つ確実に所定流量の液体を気化室に供給することができ
る。
図面は本発明の一実施例を示すもので、第1図は液体タ
ンクから送り出される液体ソースのフローを表す図面、
第2図は液体用流量制御装置の要部を示す一部を断面し
た正面図、第3図は流量計の分解斜視図、第4図は要部
の拡大斜視図、第5図は電気系ブロック図である。 1……液体タンク、30……流量計、31……バルブ、41,4
2……液体を送り出す手段。
ンクから送り出される液体ソースのフローを表す図面、
第2図は液体用流量制御装置の要部を示す一部を断面し
た正面図、第3図は流量計の分解斜視図、第4図は要部
の拡大斜視図、第5図は電気系ブロック図である。 1……液体タンク、30……流量計、31……バルブ、41,4
2……液体を送り出す手段。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 山口 正男 京都府京都市南区吉祥院宮の東町2番地 株式会社エステック内 (56)参考文献 特開 平1−107114(JP,A) 特開 昭60−236030(JP,A) 特開 昭62−13884(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.6,DB名) G01F 1/68 G05D 7/06
Claims (1)
- 【請求項1】液体タンクと、該液体タンクから液体を送
り出す手段と、前記液体タンクからの供給流路中に設け
られる流量計と、その下流側に設けたバルブとを備え、
所定流量の液体を気化室に送給するようにした液体気化
のための流量制御装置であって、前記流量計は液体が流
れる管の一部を電子冷却素子で冷却するように構成する
と共に、前記管の冷却部分よりも上流側の管表面に温度
検出第1素子を、前記電子冷却素子の表面に温度検出第
2素子を、前記電子冷却素子で冷却される管表面に温度
検出第3素子を、それぞれ設け、前記温度検出第1素子
の検出温度と温度検出第2素子の検出温度との差が常に
所定値になるように、前記電子冷却素子を制御しつつ、
前記温度検出第3素子の検出温度と前記温度検出第2素
子の検出温度との差に基づいて前記管内を流れる液体の
流量を測定するように構成し、前記流量計からの流量出
力信号と予め定められた設定信号とを比較制御回路によ
って比較し、両信号が一致するようにバルブ駆動回路へ
制御信号を送出し、そのバルブ駆動回路から前記バルブ
に対して制御出力を送出することにより前記バルブの開
度を調整して所定流量の液体を前記気化室に供給するよ
うに構成したことを特徴とする液体気化のための流量制
御装置。
Priority Applications (6)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP29526188A JP2789458B2 (ja) | 1988-11-22 | 1988-11-22 | 液体気化のための流量制御装置 |
KR1019890004808A KR960003389B1 (ko) | 1988-11-22 | 1989-04-12 | 유량측정방법 및 이 방법에 사용하는 유량계 및 이 유량계를 사용한 액체용 유량제어장치 |
EP89106624A EP0370162B1 (en) | 1988-11-22 | 1989-04-13 | Method and apparatus for measuring and controlling a fluid flow rate |
DE68923249T DE68923249T2 (de) | 1988-11-22 | 1989-04-13 | Verfahren und Vorrichtung zum Messen und Steuern eines Flüssigkeitsdurchflusses. |
US07/337,926 US4947889A (en) | 1988-11-22 | 1989-04-14 | Method of measuring flow rate and flow meter for use in said method as well as apparatus for controlling flow rate of liquid using said flow meter |
US07/461,238 US5048332A (en) | 1988-11-22 | 1990-01-05 | Flow meter for measuring fluid flow with multiple temperature sensors |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP29526188A JP2789458B2 (ja) | 1988-11-22 | 1988-11-22 | 液体気化のための流量制御装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH02141620A JPH02141620A (ja) | 1990-05-31 |
JP2789458B2 true JP2789458B2 (ja) | 1998-08-20 |
Family
ID=17818302
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP29526188A Expired - Fee Related JP2789458B2 (ja) | 1988-11-22 | 1988-11-22 | 液体気化のための流量制御装置 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US4947889A (ja) |
EP (1) | EP0370162B1 (ja) |
JP (1) | JP2789458B2 (ja) |
KR (1) | KR960003389B1 (ja) |
DE (1) | DE68923249T2 (ja) |
Families Citing this family (38)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5359878A (en) * | 1991-02-26 | 1994-11-01 | Dxl International, Inc. | Apparatus and method for in-line calibration verification of mass flow meters |
US5203537A (en) * | 1992-03-09 | 1993-04-20 | Teledyne Industries, Inc. | Piezoceramic valve actuator sandwich assembly and valve incorporating such an assembly |
US5233868A (en) * | 1992-04-13 | 1993-08-10 | Coats Montgomery R | Non-intrusive mass flow measuring apparatus and method |
KR940011791B1 (ko) * | 1992-04-15 | 1994-12-26 | 금성일렉트론주식회사 | 온도안정화 매스 플로우 컨트롤러 센서 |
US5303731A (en) * | 1992-06-30 | 1994-04-19 | Unit Instruments, Inc. | Liquid flow controller |
US5620524A (en) * | 1995-02-27 | 1997-04-15 | Fan; Chiko | Apparatus for fluid delivery in chemical vapor deposition systems |
US6503221B1 (en) * | 1997-06-12 | 2003-01-07 | Abbott Laboratories | Temperature compensation system for regulating flow through tubing in a pump |
NL1014797C2 (nl) * | 2000-03-30 | 2001-10-02 | Berkin Bv | Massadebietmeter. |
EP1251198A1 (de) * | 2001-03-20 | 2002-10-23 | PROTECHNA Herbst GmbH & Co. KG | Textilpartikelabsaugvorrichtung für Textilmaschinen und Verfahren zum èberwachen derselben |
US6962164B2 (en) * | 2001-04-24 | 2005-11-08 | Celerity Group, Inc. | System and method for a mass flow controller |
KR20050031109A (ko) * | 2002-07-19 | 2005-04-01 | 셀레리티 그룹 아이엔씨 | 질량 유량 제어기 내의 압력 보상을 위한 방법 및 장치 |
DE10247312B3 (de) * | 2002-10-10 | 2004-08-12 | Siemens Ag | Messvorrichtung und Verfahren zur Ermittlung einer Temperaturkompensationskurve für mindestens eine Messgröße eines Fluids, sowie dafür geeignete Kühlvorrichtung und Verwendung einer Kühlvorrichtung bei einer Messvorrichtung zur Ermittlung einer Temperaturkompensationskurve |
US7216019B2 (en) * | 2004-07-08 | 2007-05-08 | Celerity, Inc. | Method and system for a mass flow controller with reduced pressure sensitivity |
IL171764A (en) * | 2005-11-03 | 2011-02-28 | G R T Dev Ltd | Apparatus and method for measuring a fluid flow- rate within a narrow conduit |
US9026370B2 (en) | 2007-12-18 | 2015-05-05 | Hospira, Inc. | User interface improvements for medical devices |
US8571798B2 (en) * | 2009-03-03 | 2013-10-29 | Baker Hughes Incorporated | System and method for monitoring fluid flow through an electrical submersible pump |
US8251091B2 (en) * | 2009-09-17 | 2012-08-28 | Hitachi Metals, Ltd. | Temperature insensitive mass flow controller |
CA2844807C (en) | 2011-08-19 | 2022-07-26 | Hospira, Inc. | Systems and methods for a graphical interface including a graphical representation of medical data |
WO2013090709A1 (en) | 2011-12-16 | 2013-06-20 | Hospira, Inc. | System for monitoring and delivering medication to a patient and method of using the same to minimize the risks associated with automated therapy |
US9995611B2 (en) | 2012-03-30 | 2018-06-12 | Icu Medical, Inc. | Air detection system and method for detecting air in a pump of an infusion system |
CA3089257C (en) | 2012-07-31 | 2023-07-25 | Icu Medical, Inc. | Patient care system for critical medications |
US9454158B2 (en) | 2013-03-15 | 2016-09-27 | Bhushan Somani | Real time diagnostics for flow controller systems and methods |
CA2913421C (en) | 2013-05-24 | 2022-02-15 | Hospira, Inc. | Multi-sensor infusion system for detecting air or an occlusion in the infusion system |
WO2014194065A1 (en) | 2013-05-29 | 2014-12-04 | Hospira, Inc. | Infusion system and method of use which prevents over-saturation of an analog-to-digital converter |
ES2838450T3 (es) | 2013-05-29 | 2021-07-02 | Icu Medical Inc | Sistema de infusión que utiliza uno o más sensores e información adicional para hacer una determinación de aire en relación con el sistema de infusión |
US10342917B2 (en) | 2014-02-28 | 2019-07-09 | Icu Medical, Inc. | Infusion system and method which utilizes dual wavelength optical air-in-line detection |
AU2015266706B2 (en) | 2014-05-29 | 2020-01-30 | Icu Medical, Inc. | Infusion system and pump with configurable closed loop delivery rate catch-up |
US11344668B2 (en) | 2014-12-19 | 2022-05-31 | Icu Medical, Inc. | Infusion system with concurrent TPN/insulin infusion |
US10850024B2 (en) | 2015-03-02 | 2020-12-01 | Icu Medical, Inc. | Infusion system, device, and method having advanced infusion features |
ES2912378T3 (es) | 2016-05-13 | 2022-05-25 | Icu Medical Inc | Sistema de bomba de infusión con purga automática de línea común |
US11324888B2 (en) | 2016-06-10 | 2022-05-10 | Icu Medical, Inc. | Acoustic flow sensor for continuous medication flow measurements and feedback control of infusion |
US10983538B2 (en) | 2017-02-27 | 2021-04-20 | Flow Devices And Systems Inc. | Systems and methods for flow sensor back pressure adjustment for mass flow controller |
JP6904231B2 (ja) * | 2017-12-13 | 2021-07-14 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理方法、記憶媒体及び原料ガス供給装置 |
US10089055B1 (en) | 2017-12-27 | 2018-10-02 | Icu Medical, Inc. | Synchronized display of screen content on networked devices |
US11278671B2 (en) | 2019-12-04 | 2022-03-22 | Icu Medical, Inc. | Infusion pump with safety sequence keypad |
AU2021311443A1 (en) | 2020-07-21 | 2023-03-09 | Icu Medical, Inc. | Fluid transfer devices and methods of use |
US11135360B1 (en) | 2020-12-07 | 2021-10-05 | Icu Medical, Inc. | Concurrent infusion with common line auto flush |
KR102531171B1 (ko) | 2022-08-27 | 2023-05-10 | 경도계전 주식회사 | 유량계 검사 시스템 |
Family Cites Families (18)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
NL83702C (ja) * | 1946-05-21 | 1900-01-01 | ||
US3142170A (en) * | 1960-12-01 | 1964-07-28 | Honeywell Regulator Co | Control apparatus |
US3336804A (en) * | 1964-03-09 | 1967-08-22 | Heinz F Poppendiek | Means and techniques useful in fluid flow determinations |
DE1573028A1 (de) * | 1966-10-10 | 1970-10-22 | Licentia Gmbh | Einrichtung zur Durchflussmengenvergleichspruefung,insbesondere von hohlen elektrischen Leitern einer elektrischen Maschine,und Durchflussmengenvergleichspruefung mittels der Einrichtung |
GB1127568A (en) * | 1967-06-01 | 1968-09-18 | Ford Motor Co | Flowmeters |
US4016759A (en) * | 1975-09-18 | 1977-04-12 | Teledyne, Inc. | Fluid flowmeter |
US4199981A (en) * | 1977-02-16 | 1980-04-29 | Wen Young | Flow control device for fluids flowing in a closed conduit |
US4135396A (en) * | 1978-04-24 | 1979-01-23 | The Trane Company | Temperature compensating fluid velocity sensing apparatus |
DE2856289C2 (de) * | 1978-12-27 | 1987-01-02 | Babcock-BSH AG vormals Büttner-Schilde-Haas AG, 4150 Krefeld | Vorrichtung zur thermischen Massenstrommessung |
US4354504A (en) * | 1979-09-04 | 1982-10-19 | Bro William J | Thermal diffusion flow probe |
US4384578A (en) * | 1981-04-16 | 1983-05-24 | The United States Of America As Represented By The Administrator Of The National Aeronautics And Space Administration | Bio-medical flow sensor |
US4487213A (en) * | 1982-09-09 | 1984-12-11 | Omicron Technology Corporation | Mass flow controller apparatus |
DE3440526A1 (de) * | 1984-11-06 | 1986-05-15 | Walter 7036 Schönaich Bürkle | Verfahren und einrichtung zum fuehlen von stroemungsgeschwindigkeiten und/oder durchfluessen |
US4685331A (en) * | 1985-04-10 | 1987-08-11 | Innovus | Thermal mass flowmeter and controller |
US4679585A (en) * | 1986-01-10 | 1987-07-14 | Mks Instruments, Inc. | Flowmeter-controlled valving |
DE3606853A1 (de) * | 1986-03-03 | 1987-09-10 | Vdo Schindling | Messsonde |
DE3638138A1 (de) * | 1986-11-08 | 1988-05-11 | Bosch Gmbh Robert | Vorrichtung zur bestimmung der masse eines stroemenden mediums |
JPH0514505A (ja) * | 1991-06-28 | 1993-01-22 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 通話中着信付加装置 |
-
1988
- 1988-11-22 JP JP29526188A patent/JP2789458B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
1989
- 1989-04-12 KR KR1019890004808A patent/KR960003389B1/ko not_active IP Right Cessation
- 1989-04-13 EP EP89106624A patent/EP0370162B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1989-04-13 DE DE68923249T patent/DE68923249T2/de not_active Expired - Fee Related
- 1989-04-14 US US07/337,926 patent/US4947889A/en not_active Expired - Lifetime
-
1990
- 1990-01-05 US US07/461,238 patent/US5048332A/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE68923249D1 (de) | 1995-08-03 |
JPH02141620A (ja) | 1990-05-31 |
DE68923249T2 (de) | 1996-02-08 |
US5048332A (en) | 1991-09-17 |
EP0370162B1 (en) | 1995-06-28 |
KR900008353A (ko) | 1990-06-04 |
EP0370162A3 (en) | 1992-03-11 |
KR960003389B1 (ko) | 1996-03-09 |
EP0370162A2 (en) | 1990-05-30 |
US4947889A (en) | 1990-08-14 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2789458B2 (ja) | 液体気化のための流量制御装置 | |
JP3114139B2 (ja) | 熱伝導率計 | |
EP0203622B1 (en) | Thermal mass flowmeter and controller | |
JP4945581B2 (ja) | 流量計 | |
US5285673A (en) | Method for in-line calibration verification of mass flow meters | |
JP4709499B2 (ja) | 熱式の質量流量計 | |
US5576487A (en) | Apparatus for calibrating a fluid mass flowmeter | |
KR20060134161A (ko) | 저속 유체의 유속을 정확하게 측정하고 제어하는 방법 및시스템 | |
WO1991019959A1 (en) | Thermal mass flow sensor | |
JP2001304934A (ja) | 質量流量計 | |
US7107835B2 (en) | Thermal mass flow sensor | |
JPH0368325B2 (ja) | ||
US5216918A (en) | Fluid mass flow detecting | |
US5575854A (en) | Semiconductor treatment apparatus | |
GB2138566A (en) | Thermal mass flow sensor for fluids | |
KR101713671B1 (ko) | 나노유체의 열전도도를 측정하기 위한 장치 및 방법 | |
US4400975A (en) | Apparatus for monitoring liquid flow rates | |
JP4095362B2 (ja) | 流量計 | |
KR0151723B1 (ko) | 열플럭스 질량유량계 | |
US20220397438A1 (en) | Non-invasive thermometer | |
JP2004069667A (ja) | 液体用熱式質量流量計 | |
GB2173905A (en) | Fluid-flow monitoring apparatus | |
JP2001165739A (ja) | 測定装置の動作方法 | |
JP5119208B2 (ja) | 差圧流量計 | |
JP2619735B2 (ja) | 熱流量センサ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080612 Year of fee payment: 10 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |