JP2787924B2 - 電子線マイクロアナライザー - Google Patents
電子線マイクロアナライザーInfo
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- JP2787924B2 JP2787924B2 JP1167509A JP16750989A JP2787924B2 JP 2787924 B2 JP2787924 B2 JP 2787924B2 JP 1167509 A JP1167509 A JP 1167509A JP 16750989 A JP16750989 A JP 16750989A JP 2787924 B2 JP2787924 B2 JP 2787924B2
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- Japan
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- electron beam
- ray
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Links
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 title claims description 22
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 claims description 16
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 7
- 238000002441 X-ray diffraction Methods 0.000 claims description 6
- 238000000441 X-ray spectroscopy Methods 0.000 claims description 2
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 5
- 238000013507 mapping Methods 0.000 description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 2
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Landscapes
- Transforming Light Signals Into Electric Signals (AREA)
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は、電子線マイクロアナライザーに関する。
（従来の技術） 電子線マイクロアナライザーは電子線で励起された試
料から放出されるＸ線によって元素の定性分析或は濃度
分布データを、また、励起された試料から放出される２
次電子から試料表面形状のデータを得て、これらのデー
タをCRTに表示しているが、２次電子線像或はＸ線によ
る元素マッピング像の上で目視上特異な箇所でＸ線によ
る詳細分析を行うような場合、従来、これらの２種のデ
ータの表示方法としては、２次電子による試料面の形状
情報を走査型電子顕微鏡像としてCRTに表示し、Ｘ線デ
ータは２次電子による走査型電子顕微鏡とは別の画面
（CRT）によって、輝度変調或はＹ軸変調を行い、Ｘ線
強度を明るさ或はグラフの高さで表現して画面表示した
りして、両データを別々に表示しているが、これらの両
データを別々に観察していたのでは、両データの相互の
位置関係を直観的に知ることができず、両データ間の位
置関係が不正確になると云う問題があり、両データが１
画面に同時に見える方が望ましい。そこで、２次電子線
像とＸ線による元素分布像を一つのCRT画面に重畳して
表示する方法もあるが、重畳すれば、２次電子線像,X線
像何れもが不鮮明になり、観察しにくくなると云う問題
があった。
料から放出されるＸ線によって元素の定性分析或は濃度
分布データを、また、励起された試料から放出される２
次電子から試料表面形状のデータを得て、これらのデー
タをCRTに表示しているが、２次電子線像或はＸ線によ
る元素マッピング像の上で目視上特異な箇所でＸ線によ
る詳細分析を行うような場合、従来、これらの２種のデ
ータの表示方法としては、２次電子による試料面の形状
情報を走査型電子顕微鏡像としてCRTに表示し、Ｘ線デ
ータは２次電子による走査型電子顕微鏡とは別の画面
（CRT）によって、輝度変調或はＹ軸変調を行い、Ｘ線
強度を明るさ或はグラフの高さで表現して画面表示した
りして、両データを別々に表示しているが、これらの両
データを別々に観察していたのでは、両データの相互の
位置関係を直観的に知ることができず、両データ間の位
置関係が不正確になると云う問題があり、両データが１
画面に同時に見える方が望ましい。そこで、２次電子線
像とＸ線による元素分布像を一つのCRT画面に重畳して
表示する方法もあるが、重畳すれば、２次電子線像,X線
像何れもが不鮮明になり、観察しにくくなると云う問題
があった。
（発明が解決しようとする課題） 本発明は、試料面の形状或は元素分布の全体像と指定
箇所の元素濃度表示を１画面に同時に行えるようにし
て、しかも、一目で分析結果が明瞭に把握できるように
することを目的とする。
箇所の元素濃度表示を１画面に同時に行えるようにし
て、しかも、一目で分析結果が明瞭に把握できるように
することを目的とする。
（課題を解決するための手段） 電子線マイクロアナライザーにおいて、２次電子線像
を画面表示する手段と、分析元素及び同画面上でＸ線分
析箇所を指定する手段と、試料面上の上記指定箇所で指
定された元素につきＸ線分析を行うＸ線分光手段と、Ｘ
線検出信号強度を表示画面上で任意基点からの垂直方向
距離のデータに変換し、上記２次電子線像の指定箇所の
各点を基点として２次電子像に重ねて表示させる手段を
設けることにより上記Ｘ線検出信号強度を棒グラフ状に
表示した。
を画面表示する手段と、分析元素及び同画面上でＸ線分
析箇所を指定する手段と、試料面上の上記指定箇所で指
定された元素につきＸ線分析を行うＸ線分光手段と、Ｘ
線検出信号強度を表示画面上で任意基点からの垂直方向
距離のデータに変換し、上記２次電子線像の指定箇所の
各点を基点として２次電子像に重ねて表示させる手段を
設けることにより上記Ｘ線検出信号強度を棒グラフ状に
表示した。
（作用） 電子線により励起された試料から放出された２次電子
線像により試料の表面形状を表示することができ、励起
された試料から放出された特性Ｘ線から試料の元素濃度
を測定することができる。本発明は、両方の測定データ
を同時に同一画面に表示させることにより、一目で試料
面の形状とか元素分布と、特定点或は線上の詳細分析の
結果および位置関係が把握できる。その際２次電子像は
試料面の映像で、Ｘ線データはグラフ表示であり、両方
のデータ表示様式が異なっているから、両画像を視覚上
区別して見ることが容易であり、明瞭さを失わず２種の
画像を見ることができ、試料面の全体像の上で分析を行
った箇所に、分析結果をグラフ表示するので、表示グラ
フの位置関係が一目で正確に把握できる。
線像により試料の表面形状を表示することができ、励起
された試料から放出された特性Ｘ線から試料の元素濃度
を測定することができる。本発明は、両方の測定データ
を同時に同一画面に表示させることにより、一目で試料
面の形状とか元素分布と、特定点或は線上の詳細分析の
結果および位置関係が把握できる。その際２次電子像は
試料面の映像で、Ｘ線データはグラフ表示であり、両方
のデータ表示様式が異なっているから、両画像を視覚上
区別して見ることが容易であり、明瞭さを失わず２種の
画像を見ることができ、試料面の全体像の上で分析を行
った箇所に、分析結果をグラフ表示するので、表示グラ
フの位置関係が一目で正確に把握できる。
（実施例） 第１図に本発明の一実施例を示す。第１図において、
Ｓは試料、１は電子銃、２は電子銃１から放射された電
子を収束させる収束レンズ、３は電子線の絞り、４は走
査コイル、５は対物レンズ、６は試料を移動させるX,Y
駆動ステージ、７は走査信号発生器、８は走査信号増幅
器、９は分光結晶、10はＸ線検出器、11は波高分析器、
12は２次電子検出器である。13はフレームメモリでＸ線
データを記憶し、14はフレームメモリで２次電子線デー
タを記憶する。15はパソコンである。16はX,Y駆動ステ
ージ６を制御するステージコントローラ、17はキーボー
ドで測定元素の指定及び表示方法の指定を行う。18はマ
ウスで分析位置の指定を行う。19はCRTで測定データを
表示する。
Ｓは試料、１は電子銃、２は電子銃１から放射された電
子を収束させる収束レンズ、３は電子線の絞り、４は走
査コイル、５は対物レンズ、６は試料を移動させるX,Y
駆動ステージ、７は走査信号発生器、８は走査信号増幅
器、９は分光結晶、10はＸ線検出器、11は波高分析器、
12は２次電子検出器である。13はフレームメモリでＸ線
データを記憶し、14はフレームメモリで２次電子線デー
タを記憶する。15はパソコンである。16はX,Y駆動ステ
ージ６を制御するステージコントローラ、17はキーボー
ドで測定元素の指定及び表示方法の指定を行う。18はマ
ウスで分析位置の指定を行う。19はCRTで測定データを
表示する。
測定動作について説明する。先ず、試料Ｓの測定範囲
を電子線で走査して、２次電子を２次電子検出器12で検
出して、検出信号をフレームメモリ14に記憶させる。記
憶させた２次電子検出データを呼び出して、２次電子線
像をCRT19に表示する。CRT19に表示された２次電子線像
上で、Ｘ線分析を行う分析位置をマウス18を用いて指定
し、キーボードでその分析位置で測定する分析元素を指
定する。分析位置データは画面上の指定点におけるX,Y
走査信号の値を座標データとしたもので、パソコン15に
取込まれる。但し、指定する位置及び分析元素は複数で
も良い。上記指定を行った後、Ｘ線分析動作をスタート
させる。パソコンは上記座標データに基づき、ステージ
コントローラ16を駆動し、試料面上の分析位置をＸ線分
光器の焦点に位置させ、Ｘ線を分光検出し、検出した信
号強度に対応する高さの柱や棒のグラフのイメージデー
タを作成し、２次電子像の上記指定した分析位置をグラ
フ起点として上記イメージデータを映像信号に重ね、第
２図に示すように、CRT19上で指定された２次電子線像
上に指定元素の濃度を表示する。表示する柱や棒のグラ
フは、第４図に示すように、指定した元素の数に応じ
て、複数本表示しても良い。また、第３図に示すよう
に、２次電子線像の代わりに或る元素のＸ線マッピング
像をバックに指定点における他元素の濃度を棒グラフで
表示しても良い。第３図の例では、，マッピング像はコ
ンピュータグラフィックにより斜視図として表示されて
いる。また、柱や棒グラフの上方に濃度を数字で表示す
ることも可能である。
を電子線で走査して、２次電子を２次電子検出器12で検
出して、検出信号をフレームメモリ14に記憶させる。記
憶させた２次電子検出データを呼び出して、２次電子線
像をCRT19に表示する。CRT19に表示された２次電子線像
上で、Ｘ線分析を行う分析位置をマウス18を用いて指定
し、キーボードでその分析位置で測定する分析元素を指
定する。分析位置データは画面上の指定点におけるX,Y
走査信号の値を座標データとしたもので、パソコン15に
取込まれる。但し、指定する位置及び分析元素は複数で
も良い。上記指定を行った後、Ｘ線分析動作をスタート
させる。パソコンは上記座標データに基づき、ステージ
コントローラ16を駆動し、試料面上の分析位置をＸ線分
光器の焦点に位置させ、Ｘ線を分光検出し、検出した信
号強度に対応する高さの柱や棒のグラフのイメージデー
タを作成し、２次電子像の上記指定した分析位置をグラ
フ起点として上記イメージデータを映像信号に重ね、第
２図に示すように、CRT19上で指定された２次電子線像
上に指定元素の濃度を表示する。表示する柱や棒のグラ
フは、第４図に示すように、指定した元素の数に応じ
て、複数本表示しても良い。また、第３図に示すよう
に、２次電子線像の代わりに或る元素のＸ線マッピング
像をバックに指定点における他元素の濃度を棒グラフで
表示しても良い。第３図の例では、，マッピング像はコ
ンピュータグラフィックにより斜視図として表示されて
いる。また、柱や棒グラフの上方に濃度を数字で表示す
ることも可能である。
（発明の効果） 本発明によれば、試料面が形状或は元素分布の全体像
と指定箇所の濃度表示が１画面で同時にできるようにな
ったことで、両データの位置関係が一目で正確に把握で
き、分析結果を正確に把握できるようになった。
と指定箇所の濃度表示が１画面で同時にできるようにな
ったことで、両データの位置関係が一目で正確に把握で
き、分析結果を正確に把握できるようになった。
第１図は本発明の一実施例の構成図、第２図は本発明の
CRT表示例１、第３図は本発明のCRT表示例２、第４図は
本発明のCRT表示例３である。 Ｓ……試料、１……電子銃、２……収束レンズ、３……
絞り、４……走査コイル、５……対物レンズ、６……X,
Y駆動ステージ、７……走査信号発生器、８……走査信
号増幅器、９……分光結晶、10……Ｘ線検出器、11……
波高分析器、12……２次電子検出器、13,14……フレー
ムメモリ、15……パソコン、16……ステージコントロー
ラ、17……キーボード、18……マウス、19……CRT。
CRT表示例１、第３図は本発明のCRT表示例２、第４図は
本発明のCRT表示例３である。 Ｓ……試料、１……電子銃、２……収束レンズ、３……
絞り、４……走査コイル、５……対物レンズ、６……X,
Y駆動ステージ、７……走査信号発生器、８……走査信
号増幅器、９……分光結晶、10……Ｘ線検出器、11……
波高分析器、12……２次電子検出器、13,14……フレー
ムメモリ、15……パソコン、16……ステージコントロー
ラ、17……キーボード、18……マウス、19……CRT。
Claims (1)
- 【請求項１】２次電子線像を画面表示する手段と、分析
元素及び同画面上でＸ線分析箇所を指定する手段と、試
料面上の上記指定箇所で指定された元素につきＸ線分析
を行うＸ線分光手段と、Ｘ線検出信号強度を表示画面上
で任意基点からの垂直方向距離のデータに変換し、上記
２次電子線像の指定箇所の各点を基点として２次電子像
に重ねて表示させる手段を設けることにより上記Ｘ線検
出信号強度を棒グラフ状に表示することを特徴とする電
子線マイクロアナライザー。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1167509A JP2787924B2 (ja) | 1989-06-29 | 1989-06-29 | 電子線マイクロアナライザー |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1167509A JP2787924B2 (ja) | 1989-06-29 | 1989-06-29 | 電子線マイクロアナライザー |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0334249A JPH0334249A (ja) | 1991-02-14 |
| JP2787924B2 true JP2787924B2 (ja) | 1998-08-20 |
Family
ID=15851001
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1167509A Expired - Lifetime JP2787924B2 (ja) | 1989-06-29 | 1989-06-29 | 電子線マイクロアナライザー |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2787924B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002039976A (ja) * | 2000-07-19 | 2002-02-06 | Shimadzu Corp | 電子線マイクロアナライザーの測定データ補正方法 |
| JP2002062270A (ja) * | 2000-08-21 | 2002-02-28 | Jeol Ltd | 電子線を用いた表面分析装置における面分析データ表示方法 |
| JP2017532564A (ja) * | 2014-10-27 | 2017-11-02 | ケーエルエー−テンカー コーポレイション | 自動化された判定に基づくエネルギー分散型ｘ線測定法及びその装置 |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP6868468B2 (ja) * | 2017-05-29 | 2021-05-12 | 日本電子株式会社 | 画像処理装置、表面分析装置、および画像処理方法 |
| GB201711621D0 (en) | 2017-07-19 | 2017-08-30 | Oxford Instr Nanotechnology Tools Ltd | Improved navigation for electron microscopy |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4974085A (ja) * | 1972-11-14 | 1974-07-17 | ||
| JPS6271864U (ja) * | 1985-10-25 | 1987-05-08 | ||
| JPS62154542A (ja) * | 1985-12-27 | 1987-07-09 | Jeol Ltd | Ｘ線分析装置 |
-
1989
- 1989-06-29 JP JP1167509A patent/JP2787924B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002039976A (ja) * | 2000-07-19 | 2002-02-06 | Shimadzu Corp | 電子線マイクロアナライザーの測定データ補正方法 |
| JP2002062270A (ja) * | 2000-08-21 | 2002-02-28 | Jeol Ltd | 電子線を用いた表面分析装置における面分析データ表示方法 |
| JP2017532564A (ja) * | 2014-10-27 | 2017-11-02 | ケーエルエー−テンカー コーポレイション | 自動化された判定に基づくエネルギー分散型ｘ線測定法及びその装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0334249A (ja) | 1991-02-14 |
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