JP2782679B2 - Resist processing equipment - Google Patents
Resist processing equipmentInfo
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Description
【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は、レジスト処理装置に関する。Description: TECHNICAL FIELD The present invention relates to a resist processing apparatus.
（従来の技術） 一般に、吐出液量に精度が要求される工程、例えば半
導体製造における半導体ウエハのレジスト塗布工程にお
いては、ベローズポンプと称される液吐出用ポンプが使
用されている。(Prior Art) In general, in a process that requires precision in the amount of liquid to be discharged, for example, a resist coating step on a semiconductor wafer in semiconductor manufacturing, a liquid discharging pump called a bellows pump is used.
このベローズポンプを使用した装置例として、実開昭
58-180630、特開昭59-100524、特開昭59-100525、特公
昭61-50658号公報等にて開示されたものがある。As an example of equipment using this bellows pump,
58-180630, JP-A-59-100524, JP-A-59-100525, and JP-B-61-50658.
そして、上記ベローズポンプは一般に次のような動作
にて使用されている。The bellows pump is generally used in the following operation.
第２図に示すように、ベローズポンプ（１）の軸
（２）に連結したエアーシリンダ（３）に、エアー供給
源（４）から供給される圧縮空気をソレノイドバルブ
（５）内を流通させスピードコントローラ（６）を介し
て流入させる。この時エアーシリンダー（３）、ベロー
ズポンプ（１）を引張る方向すなわちベローズポンプ
（１）のベローズ内容積を増加させる方向に動作し、そ
の結果逆止弁（７）を通して容器（８）内のレジスト液
（９）をベローズポンプ（１）内に吸引する。そして、
センサー（10）が軸（２）を検出して動作する位置に停
止する。As shown in FIG. 2, compressed air supplied from an air supply source (4) flows through a solenoid valve (5) to an air cylinder (3) connected to a shaft (2) of a bellows pump (1). Inflow through the speed controller (6). At this time, it operates in the direction of pulling the air cylinder (3) and the bellows pump (1), that is, in the direction of increasing the inner volume of the bellows of the bellows pump (1). As a result, the resist in the container (8) passes through the check valve (7). The liquid (9) is sucked into the bellows pump (1). And
It stops at the position where the sensor (10) detects the axis (2) and operates.
次に、ソレノイドバルブ（５）を動作させて圧縮空気
の流通を切換え、スピードコントローラ（11）を介して
エアーシリンダー（３）を上記と逆に動作させる。この
時、エアーシリンダー（３）は、ベローズポンプ（１）
を押す方向すなわちベローズポンプ（１）のベローズ内
容積を減少させる方向に動作し、その結果逆止弁（12）
を通してレジスト液（13）を吐出する。そして、例えば
センサー（10）がオフになった時点から制御装置（13）
により所定の吐出量になるまでの時間を計り、所定の時
間になればソレノイド（５）を当初の状態に戻し、再び
ベローズポンプ（１）でレジスト液（９）を吸引する。
以後、上記動作をくり返す。Next, the flow of the compressed air is switched by operating the solenoid valve (5), and the air cylinder (3) is operated via the speed controller (11) in the reverse manner. At this time, the air cylinder (3) is connected to the bellows pump (1).
In the direction in which the bellows pump (1) is pressed, that is, in the direction to reduce the bellows internal volume of the bellows pump (1).
The resist solution (13) is ejected through the nozzle. Then, for example, when the sensor (10) is turned off, the control device (13)
The time until the discharge amount reaches the predetermined value is measured. When the predetermined time has elapsed, the solenoid (5) is returned to the initial state, and the bellows pump (1) sucks the resist solution (9) again.
Thereafter, the above operation is repeated.
（発明が解決しようとする課題） しかしながら、上述の従来装置では、吐出量を時間で
制御する構成のため、エアー供給源のエアー供給圧力が
変動したり、ソレノイドバルブの動作の変化、スピード
コントローラ、エアーシリンダー動作の変化などがある
と、上記時間と吐出量との関係が変動する可能性が大で
あり、吐出量に再現性があるとは言い難い。(Problems to be Solved by the Invention) However, in the above-described conventional device, since the discharge amount is controlled by time, the air supply pressure of the air supply source fluctuates, the operation of the solenoid valve changes, the speed controller, If there is a change in the operation of the air cylinder or the like, the relationship between the time and the discharge amount is likely to fluctuate, and it is difficult to say that the discharge amount has reproducibility.
本発明は，上述の従来事情に対処してなされたもの
で，吐出量が正確で安定しているレジスト処理装置を提
供しようとするものである。SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above-described conventional circumstances, and has as its object to provide a resist processing apparatus in which the ejection amount is accurate and stable.
（課題を解決するための手段） 請求項１は，ベローズを変位させてベローズ内容積を
増減することによりレジスト液を吸引吐出するベローズ
ポンプを備えたレジスト処理装置において，上記ベロー
ズ内容積の変位量を連続的に検出する検出手段と，該検
出手段による検出に基づいてベローズポンプの吐出量を
連続的に制御可能な制御手段と，ベローズポンプによる
レジスト液の吸引速度を調整するスピードコントロー
ラ，および／またはベローズポンプによるレジスト液の
吐出速度を調整するスピードコントローラを備え，上記
制御手段は，上記ベローズ内容積の変位量が所定値に達
した場合に，ベローズポンプを吐出状態から吸引状態に
切り替えるように構成されていることを特徴とする。(1) A resist processing apparatus comprising a bellows pump for sucking and discharging a resist liquid by displacing a bellows to increase and decrease the inner volume of the bellows, wherein the amount of displacement of the inner volume of the bellows is settled. Detecting means for continuously detecting pressure, control means capable of continuously controlling the discharge amount of the bellows pump based on the detection by the detecting means, a speed controller for adjusting the suction speed of the resist solution by the bellows pump, and / or Alternatively, a speed controller for adjusting the discharge speed of the resist solution by the bellows pump is provided, and the control means switches the bellows pump from the discharge state to the suction state when the displacement amount of the bellows internal volume reaches a predetermined value. It is characterized by comprising.
ここで，「変位量を連続的に検出する」とは，後述す
る実施例において行われるように，例えばスリット板と
光センサーなどを用いることによって，ベローズポンプ
の作動の上限と下限の間においてベローズ内容積の変位
量を連続的に検出することを意味している。Here, "continuously detecting the amount of displacement" means that the bellows pump is operated between the upper and lower limits of the operation of the bellows pump by using, for example, a slit plate and an optical sensor, as will be described in an embodiment described later. This means that the displacement of the internal volume is continuously detected.
そして，上記検出手段は，請求項２に記載したよう
に，上記ベローズ内容積の変位量を連続的に検出する第
一のセンサと，上記ベローズ内容積の変位量の原点を設
定する第二のセンサを備えた構成とすることができる。The detecting means may be a first sensor for continuously detecting the displacement of the bellows internal volume, and a second sensor for setting the origin of the displacement of the bellows internal volume. A configuration including a sensor can be adopted.
（作用） 本発明レジスト処理装置では，ベローズポンプのベロ
ーズ内容積の変位量を駆動軸の移動量に基づいて連続的
に検出することができ，ベローズ内容積の変位量が所定
値に達した場合に，ベローズポンプを吐出状態から吸引
状態に切り替えることにより，レジスト液の吐出量を正
確に細かく制御できる。(Operation) The resist processing apparatus of the present invention can continuously detect the displacement of the bellows internal volume of the bellows pump based on the amount of movement of the drive shaft, and when the displacement of the bellows internal volume reaches a predetermined value. In addition, by switching the bellows pump from the discharge state to the suction state, the discharge amount of the resist liquid can be precisely and precisely controlled.
また，本発明レジスト処理装置では，スピードコント
ローラによってベローズポンプによるレジスト液の吸引
吐出速度を調整することも可能であり，例えば駆動用エ
アー供給源などの外部条件に変動があったような場合で
も，その変動が吸引量や吐出量に影響をおよぶすことを
回避でき，吸引吐出量を正確に維持できる。In the resist processing apparatus of the present invention, the speed of suction and discharge of the resist solution by the bellows pump can be adjusted by a speed controller. For example, even when external conditions such as a driving air supply source fluctuate, there is no problem. The fluctuation can be prevented from affecting the suction amount and the discharge amount, and the suction and discharge amount can be accurately maintained.
（実施例） 以下，本発明レジスト処理装置の一実施例を図面を参
照して説明する。(Embodiment) An embodiment of the resist processing apparatus of the present invention will be described below with reference to the drawings.
先ず、構成を説明する。 First, the configuration will be described.
ベローズ（100）を有したベローズポンプ（101）の吸
引口（102）は逆止弁（103）に配管接続されており、こ
の逆止弁（103）を介して容器（104）に収容されている
レジスト液（105）を吸引可能に構成されている。一
方、ベローズポンプ（101）の吐出口（106）は逆止弁
（107）に配管接続されており、さらにノズル（108）が
上記逆止弁（107）に配管接続されている。そして、逆
止弁（107）を介してノズル（108）先端からレジスト液
（109）を吐出可能に構成されている。The suction port (102) of the bellows pump (101) having the bellows (100) is connected to the check valve (103) by a pipe, and is housed in the container (104) via the check valve (103). The resist liquid (105) can be sucked. On the other hand, the discharge port (106) of the bellows pump (101) is connected to the check valve (107) by a pipe, and the nozzle (108) is connected to the check valve (107) by a pipe. The resist liquid (109) can be discharged from the tip of the nozzle (108) via the check valve (107).
次に、ベローズポンプ（101）の駆動用の軸（110）に
は、例えば直進動作型のエアーシリンダー（111）が取
着されており、このエアーシリンダー（111）を動作さ
せることにより、上記ベローズポンプ（101）が吸引吐
出動作を行う。Next, an air cylinder (111) of, for example, a rectilinear operation type is attached to a driving shaft (110) of the bellows pump (101), and the bellows is operated by operating the air cylinder (111). The pump (101) performs a suction / discharge operation.
また、エアーシリンダー（111）のエアー供給口Ａ（1
12）はベローズポンプ（111）の吸引速度を調整するた
めのスピードコントローラ（113）に、エアー供給口Ｂ
（114）はベローズポンプ（101）の吐出速度を調整する
ためのスピードコントローラ（115）にそれぞれ接続さ
れている。なおこのスピードコントローラＡ（113）、
Ｂ（115）はソレノイドバルブ（116）に配管接続されて
おり、エアー供給源（117）から供給される圧縮空気の
流通を上記ソレノイドバルブ（116）によって切換える
ことにより、例えば常時はベローズポンプ（101）が吸
引状態にありソレノイドバルブ（116）が動作時には吐
出状態になるように構成されている。In addition, the air supply port A (1
12) is a speed controller (113) for adjusting the suction speed of the bellows pump (111).
(114) is connected to a speed controller (115) for adjusting the discharge speed of the bellows pump (101). Note that this speed controller A (113)
B (115) is connected to the solenoid valve (116) by a pipe, and the flow of compressed air supplied from the air supply source (117) is switched by the solenoid valve (116). ) Is in a suction state and the solenoid valve (116) is in a discharge state when operated.
また、吐出量制御手段としてベローズポンプ（101）
の軸（110）の一端部には、光を透過する複数の穴例え
ばスリット（118）が所定間隔、形状に設けられた帯板
状のスリット板（119）が取着されている。そして、こ
のスリット板（119）の中間付近には、上記スリット（1
18）を検出するセンサー例えば透過型の光センサーＡ
（120）が配置され、またベローズポンプ（101）が吸引
状態のときのスリット板（119）先端位置付近にもこの
スリット板（119）の有無を検出する透過型の光センサ
ーＢ（121）が配置されている。In addition, a bellows pump (101)
At one end of the shaft (110), a strip-shaped slit plate (119) in which a plurality of holes for transmitting light, for example, slits (118) are provided at predetermined intervals and a shape is attached. In the vicinity of the middle of the slit plate (119), the slit (1
18) A sensor for detecting, for example, a transmission type optical sensor A
A transmission type optical sensor B (121) for detecting the presence or absence of the slit plate (119) is also provided near the tip position of the slit plate (119) when the bellows pump (101) is in the suction state. Are located.
そして、例えば上記光センサーＢ（121）がスリット
板（119）を検出した位置を原点とし、スリット板（11
9）が吐出状態となって移動する際に通過するスリット
（118）を透過型の光センサーＡ（120）で検出し、計数
制御部（122）によって上記通過したスリット（118）数
を計数する。For example, the position where the optical sensor B (121) detects the slit plate (119) is set as the origin, and the slit plate (11
The slit (118) that passes when 9) moves in the ejection state is detected by the transmission-type optical sensor A (120), and the number of the slits (118) that have passed is detected by the counting control unit (122). .
このスリット（118）数と軸（110）の移動距離は比例
するので、このスリット（118）数とベローズ（100）の
内容積の変位量は比例関係にある。Since the number of the slits (118) and the moving distance of the shaft (110) are proportional, the number of the slits (118) and the displacement of the inner volume of the bellows (100) are in a proportional relationship.
上記スリット（118）の計数値が所定の数値に達する
とソレノイドバルブ（116）の動作を復帰して、ベロー
ズポンプ（101）を吐出状態から吸引状態に切換え可能
に構成されている。上記のように吐出量を制御する手段
が設けられている。When the count value of the slit (118) reaches a predetermined value, the operation of the solenoid valve (116) is restored, and the bellows pump (101) can be switched from the discharge state to the suction state. The means for controlling the ejection amount is provided as described above.
次に、動作について説明する。 Next, the operation will be described.
先ず、ソレノイドバルブ（116）にエアー供給源（11
7）から圧縮空気を供給し、この圧縮空気をスピードコ
ントローラＡ（113）によって流量調整してエアーシリ
ンダー（111）のエアー供給口Ａ（112）に供給する。エ
アーシリンダー（111）は動作してベローズ（100）の内
容積が増加する方向、第１図において下方向に軸（11
0）を移動させる。First, connect the air supply source (11) to the solenoid valve (116).
The compressed air is supplied from 7), the flow rate of the compressed air is adjusted by the speed controller A (113), and the compressed air is supplied to the air supply port A (112) of the air cylinder (111). The air cylinder (111) operates to increase the internal volume of the bellows (100), and the shaft (11) moves downward in FIG.
Move 0).
この時、ベローズ（100）の内容積は増加しようと
し、吐出口（106）側の逆止弁（107）は閉状態、吸引口
（102）側の逆止弁（103）は開状態になるので、吸引口
（102）側の逆止弁（103）を介して容器（104）に収容
されているレジスト液（105）をベローズポンプ（101）
内に吸引する。なお、この時点でベローズポンプ（10
1）内にはレジスト液（105）が満杯になっているものと
する。At this time, the inner volume of the bellows (100) tends to increase, and the check valve (107) on the discharge port (106) side is closed, and the check valve (103) on the suction port (102) side is open. Therefore, the resist solution (105) contained in the container (104) is transferred to the bellows pump (101) through the check valve (103) on the suction port (102) side.
Suction into. At this point, the bellows pump (10
It is assumed that the resist solution (105) is full in 1).
軸（110）とスリット板（119）は、定められたストロ
ーク分だけエアーシリンダー（111）によって下方向に
移動して停止する。ここで、光センサーＢ（121）でス
リット板（119）を検出し、ここを原点すなわち吐出の
原点位置と共に、スリット（118）計数の０点とする。The shaft (110) and the slit plate (119) are moved downward by the air cylinder (111) by a predetermined stroke and stopped. Here, the slit plate (119) is detected by the optical sensor B (121), and this is set as the zero point of the slit (118) counting together with the origin, that is, the discharge origin position.
次に、計数制御部（122）によりソレノイドバルブ（1
16）を動作させてエアーシリンダー（111）に供給する
圧縮空気の流れを切換え、スピードコントローラＢ（11
5）を介してエアー供給口Ｂ（114）に供給する。エアー
シリンダー（111）はベローズ（100）の内容積が減少す
る方向、第１図において上方向に軸（110）を移動する
ように動作する。Next, the solenoid valve (1
16) is operated to switch the flow of the compressed air supplied to the air cylinder (111), and the speed controller B (11
The air is supplied to the air supply port B (114) through 5). The air cylinder (111) operates to move the shaft (110) upward in FIG. 1 in a direction in which the internal volume of the bellows (100) decreases.
同時に、スリット板（119）も上方向に移動するので
光センサーＡ（120）で通過するスリット（118）を検出
し計数制御部（122）で計数する。At the same time, since the slit plate (119) also moves upward, the slit (118) passing through the optical sensor A (120) is detected and counted by the counting control unit (122).
この時、ベローズ（100）の内容積は減少しようと
し、吸引口（102）側の逆止弁（103）は閉状態、吐出口
（106）側の逆止弁（107）は開状態になるので、吐出口
（106）側の逆止弁（107）を介してノズル（108）先端
からレジスト液（109）を吐出する。At this time, the inner volume of the bellows (100) tends to decrease, the check valve (103) on the suction port (102) side is closed, and the check valve (107) on the discharge port (106) side is open. Therefore, the resist liquid (109) is discharged from the tip of the nozzle (108) through the check valve (107) on the discharge port (106) side.
計数制御部（122）で計数していたスリット（118）の
計数値が予め設定された値に達する、すなわちベローズ
ポンプ（101）によるレジスト液（109）の吐出量が設定
量に達すると、上記計数制御部（122）によりソレノイ
ドバルブ（116）の動作を復帰させて吐出を終え、上記
した動作により再び吸引状態になる。When the count value of the slit (118) counted by the count control unit (122) reaches a preset value, that is, when the discharge amount of the resist solution (109) by the bellows pump (101) reaches the set amount, The operation of the solenoid valve (116) is returned by the counting control unit (122) to end the discharge, and the suction operation is resumed by the above operation.
したがって、スリット（118）数を計数することによ
り、つまりベローズ（100）内容積の変位量を検出する
ことによりレジスト液（109）の吐出量を制御すること
ができる。Therefore, the discharge amount of the resist liquid (109) can be controlled by counting the number of slits (118), that is, by detecting the displacement amount of the inner volume of the bellows (100).
例えば、ベローズポンプ（101）のベローズ（100）内
径を20mmφ、スリット板（119）のスリット（118）の間
隔を0.5mmとすると、スリット（118）の計数値が10でベ
ローズ（100）が5mm縮むので約1.57cc、計数値が20で約
3.14ccというようにスリット（118）の計数値に比例し
た量だけ吐出させることができる。しかも、ベローズ
（100）の内容量の変位を直接検出することにより吐出
量を制御することができるので、従来の時間制御による
場合のように、エアー供給圧力の変位、ソレノイドバル
ブ、エアーシリンダーの動作変化等の影響を受けること
はない。For example, if the inner diameter of the bellows (100) of the bellows pump (101) is 20 mmφ and the interval between the slits (118) of the slit plate (119) is 0.5 mm, the count value of the slit (118) is 10 and the bellows (100) is 5 mm. As it shrinks, about 1.57cc, count value is about 20
Discharge can be performed in an amount proportional to the count value of the slit (118), such as 3.14 cc. In addition, since the discharge amount can be controlled by directly detecting the displacement of the internal volume of the bellows (100), the displacement of the air supply pressure, the operation of the solenoid valve, and the operation of the air cylinder are the same as with the conventional time control. It is not affected by changes.
なお、上記実施例ではスリット板として帯板状のスリ
ット板（119）を使用したものについて説明したが、他
の形状例えば分解能を上げるために円板状のものを使用
して直線運動を回転運動に変換する機構（図示せず）に
より上記円板状のスリット板（図示せず）を回転させて
スリットを検出するように構成してもよい。In the above-described embodiment, a slit plate (119) is used as the slit plate. However, other shapes such as a disk-shaped slit plate are used to increase the resolution, and the linear motion is changed to the rotational motion. The disk-shaped slit plate (not shown) may be rotated by a mechanism (not shown) for converting to a slit to detect the slit.
さらに、センサーＡ（120）、Ｂ（121）として透過型
の光センサーを使用したが、反射型の光センサーを使用
してもよい。Further, although the transmission type optical sensors are used as the sensors A (120) and B (121), reflection type optical sensors may be used.
上述のように本発明レジスト処理装置は、吐出量が正
確で安定しているので、上記説明のレジスト液を吐出す
る場合には半導体製造における半導体ウエハのレジスト
塗布工程のスピンコーターや、医薬品、食料品等の製造
に際し使用される高精度の液吐出装置として適用するこ
とができる。As described above, the resist processing apparatus of the present invention has an accurate and stable discharge amount. Therefore, when the above-described resist liquid is discharged, a spin coater in a resist coating step of a semiconductor wafer in semiconductor manufacturing, a medicine, a food, or the like. It can be applied as a high-precision liquid ejection device used in the production of products and the like.
（発明の効果） 本発明レジスト処理装置は吐出量が正確であり、駆動
用エアー供給源などの外部条件の変動の影響を受けず
に、安定したレジスト液の吐出ができる。更に、本発明
レジスト処理装置は、レジスト液の吐出量を任意に設定
することも可能である。(Effect of the Invention) The resist processing apparatus of the present invention has a precise discharge amount, and can discharge a resist liquid stably without being affected by fluctuations in external conditions such as a driving air supply source. Further, the resist processing apparatus of the present invention can arbitrarily set the discharge amount of the resist liquid.
第１図は本発明レジスト処理装置の一実施例を示す構成
図、第２図は従来例を示す図である。 100……ベローズ、101……ベローズポンプ、103,107…
…逆止弁、110……軸、111……エアーシリンダー、116
……ソレノイドバルブ、118……スリット、119……スリ
ット板、120……センサーＡ、121……センサーＢ、122
……計数制御部。FIG. 1 is a block diagram showing one embodiment of the resist processing apparatus of the present invention, and FIG. 2 is a diagram showing a conventional example. 100 …… Bellows, 101 …… Bellows pumps, 103,107…
... check valve, 110 ... shaft, 111 ... air cylinder, 116
…… solenoid valve, 118 …… Slit, 119 …… Slit plate, 120 …… Sensor A, 121 …… Sensor B, 122
... Count control unit.
Claims (2)
減することによりレジスト液を吸引吐出するベローズポ
ンプを備えたレジスト処理装置において， 上記ベローズ内容積の変位量を連続的に検出する検出手
段と， 該検出手段による検出に基づいてベローズポンプの吐出
量を連続的に制御可能な制御手段と， ベローズポンプによるレジスト液の吸引速度を調整する
スピードコントローラ，および／またはベローズポンプ
によるレジスト液の吐出速度を調整するスピードコント
ローラを備え， 上記制御手段は，上記ベローズ内容積の変位量が所定値
に達した場合に，ベローズポンプを吐出状態から吸引状
態に切り替えるように構成されていることを特徴とする
レジスト処理装置。1. A resist processing apparatus comprising a bellows pump for sucking and discharging a resist liquid by displacing a bellows to increase and decrease the inner volume of the bellows, wherein a detecting means for continuously detecting a displacement amount of the inner volume of the bellows is provided. Control means for continuously controlling the discharge amount of the bellows pump based on the detection by the detection means; a speed controller for adjusting the suction speed of the resist liquid by the bellows pump; and / or the discharge speed of the resist liquid by the bellows pump. A speed controller for adjusting the pressure of the bellows pump, wherein the control means switches the bellows pump from a discharge state to a suction state when the displacement amount of the bellows internal volume reaches a predetermined value. Resist processing equipment.
位量を連続的に検出する第一のセンサと，上記ベローズ
内容積の変位量の原点を設定する第二のセンサを備えて
いる請求項１に記載のレジスト処理装置。2. The apparatus according to claim 1, wherein said detecting means includes a first sensor for continuously detecting a displacement amount of said bellows internal volume, and a second sensor for setting an origin of said displacement amount of said bellows internal volume. Item 2. The resist processing apparatus according to item 1.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63077050A JP2782679B2 (en) | 1988-03-30 | 1988-03-30 | Resist processing equipment |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63077050A JP2782679B2 (en) | 1988-03-30 | 1988-03-30 | Resist processing equipment |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
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| JPH01249162A JPH01249162A (en) | 1989-10-04 |
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