JP2770669B2 - クライオ冷凍機 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は、クライオ冷凍機の改
良に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、クライオ冷凍機として図７に示す
ようなものがある。このクライオ冷凍機は、閉じられた
第１シリンダ１と、この第１シリンダ１内に摺動自在に
嵌合されると共に内部に蓄冷材としての銅メッシュスク
リーン２を収納した第１室３を有する第１ディスプレー
サ４と、第１シリンダ１の一端に連なる第２シリンダ５
と、この第２シリンダ５内に摺動自在に嵌合されると共
に第１ディスプレーサ４の一端に接続されて内部に蓄冷
材としての鉛球６を収納した第２室７を有する第２ディ
スプレーサ８と、一体に構成された第１,第２ディスプ
レーサ４,８の夫々を第１シリンダ１あるいは第２シリ
ンダ５内において摺動運動させるクランク９を有してい
る。

【０００３】図７において、圧縮機１０から吐出された
高圧のヘリウムガスは、バルブ１１を介して導入口１２
から第１シリンダ１内に導入される。そして、第１シリ
ンダ１内に導入されたヘリウムガスは第１ディスプレー
サ４の第１室３内に導かれ、第１室３内の銅メッシュス
クリーン２と冷熱交換を行って冷却される(第１ステー
ジ)。こうして冷却されたヘリウムガスは更に第２ディ
スプレーサ８内の第２室７に導かれ、第２室７内の鉛球
６と冷熱交換を行って更に冷却される(第２ステージ)。

【０００４】そうした後、上記バルブ１１によって高圧
側が閉鎖され、さらにバルブ１３によって低圧側が開放
される。そうすると、第１シリンダ１,第１室３および
第２室７内に導入されている高圧のヘリウムガスが一気
に膨張されてガス温度が低下する。こうして、ヘリウム
ガスの膨張によって得られた冷熱は鉛球６および銅メッ
シュスクリーン２から成る蓄冷材に蓄積される。膨張お
よび冷熱交換を終了した後のヘリウムガスは、クランク
９による第１,第２ディスプレーサ４,８の第１,第２シ
リンダ１,５内における摺動運動によって、排出口１４
から第１,第２シリンダ１,５外に排出される。

【０００５】上述のようなクライオ冷凍機は、通常上記
第１ステージ温度が約５０Ｋ〜８０Ｋ、第２ステージ温
度が約１５Ｋ〜２０Ｋで使用される。この場合における
クライオ冷凍機の冷凍能力には設置方向による差異は見
られない。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来のクライオ冷凍機は、第１ステージ温度が５０Ｋ以下
であって第２ステージ温度が１５Ｋ以下で使用すると、
設置方向によって冷凍能力が変化するという問題があ
る。

【０００７】この原因は次のように考えられる。すなわ
ち、上記第１,第２シリンダ１,５内に導入されたヘリウ
ムガスが極低温になることで、ヘリウムの密度等が変化
して重力の影響を受け易くなる。したがって、クライオ
冷凍機の配置方向が図７に示すような配置の場合には、
ヘリウムガスは重力によって第２室７内を均一に流れて
効率良く冷熱交換が行われる。これに対して、逆さまに
配置した場合にはヘリウムガスは第２室７内を均一に流
れにくくなり、冷熱交換が効率良く行われないようにな
る。また、横向きに配置した場合には、第２室７内にお
けるヘリウムガスの流れに偏りが生じ、上述の二つの例
の中間的な冷熱交換効率を呈することになる。

【０００８】そこで、この発明の目的は、極低温下で横
向きに使用しても一定の冷凍能力を呈するクライオ冷凍
機を提供することにある。

【０００９】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、請求項１に係る発明は、図１に例示するように、閉
じられたシリンダと,このシリンダ内に嵌合されると共
に内部に蓄冷材を収納した室２２を有するディスプレー
サ２１と,上記シリンダに設けられた冷媒ガスの導入口
および排出口と,上記シリンダ内および室２２内に導入
された高圧の冷媒ガスを膨張させる膨張手段を有するク
ライオ冷凍機において、金属製の薄板を所定の間隔で巻
き上げて形成されると共に,上記ディスプレーサ２１に
おける室２２内に収納されて上記室２２内を軸に沿って
仕切るロール材２３を備えて、上記蓄冷材は、上記ロー
ル材２３の層間に充填されていることを特徴としてい
る。

【００１０】また、請求項２に係る発明は、図３(a)に
例示するように、閉じられたシリンダと,このシリンダ
内に嵌合されると共に内部に蓄冷材を収納した室２２を
有するディスプレーサ２１と,上記シリンダに設けられ
た冷媒ガスの導入口および排出口と,上記シリンダ内お
よび室２２内に導入された高圧の冷媒ガスを膨張させる
膨張手段を有するクライオ冷凍機において、矩形を成す
複数の金属製薄板の一側を互いに当接する一方他側を所
定角度に開いて放射状断面に形成されると共に,上記デ
ィスプレーサ２１における室２２内に収納されて上記室
２２内を軸に沿って仕切る仕切材２５を備えて、上記蓄
冷材は、上記仕切材２５の薄板間に充填されていること
を特徴としている。

【００１１】また、請求項３に係る発明は、図３(b)に
例示するように、閉じられたシリンダと,このシリンダ
内に嵌合されると共に内部に蓄冷材を収納した室２２を
有するディスプレーサ２１と,上記シリンダに設けられ
た冷媒ガスの導入口および排出口と,上記シリンダ内お
よび室２２内に導入された高圧の冷媒ガスを膨張させる
膨張手段を有するクライオ冷凍機において、矩形を成す
金属製薄板で形成されると共に,上記ディスプレーサ２
１における室２２内に収納されて上記室２２内を軸に沿
って２つに仕切る仕切板２６を備えて、上記蓄冷材は、
上記仕切板２６の両側に形成された空間に充填されてい
ることを特徴としている。

【００１２】また、請求項４に係る発明は、図４に例示
するように、閉じられたシリンダと,このシリンダ内に
嵌合されると共に内部に蓄冷材を収納した室２２を有す
るディスプレーサ２１と,上記シリンダに設けられた冷
媒ガスの導入口および排出口と,上記シリンダ内および
室２２内に導入された高圧の冷媒ガスを膨張させる膨張
手段を有するクライオ冷凍機において、金属製の薄板の
半面に多数の孔２９を設けて形成されると共に,上記室
２２を軸に垂直方向に仕切って上記室２２内を流れる冷
媒ガスの流路の一部を狭め,上記冷媒ガスの流速を速め
る多孔板２７を備えて、上記蓄冷材は、上記多孔板２７
によって仕切られて成る複数の小室２８内に充填されて
いることを特徴としている。

【００１３】また、請求項５に係る発明は、図５に例示
するように、閉じられたシリンダと,このシリンダ内に
嵌合されると共に内部に蓄冷材を収納した室２２を有す
るディスプレーサ２１と,上記シリンダに設けられた冷
媒ガスの導入口および排出口と,上記シリンダ内および
室２２内に導入された高圧の冷媒ガスを膨張させる膨張
手段を有するクライオ冷凍機において、金属製の薄板の
中心部に孔３１を設けて形成されると共に,上記室２２
を軸に垂直方向に仕切って上記室２２内を流れる冷媒ガ
スの流路の一部を狭め,上記冷媒ガスの流速を速める仕
切板３０を備えて、上記蓄冷材は、上記仕切板３０によ
って仕切られて成る複数の小室３２内に充填されている
ことを特徴とを特徴としている。

【００１４】

【作用】請求項１に係る発明では、横向きに配置された
上記ディスプレーサ２１内に導入された冷媒ガスは、金
属製の薄板を所定の間隔を有して巻き上げられたロール
材２３の各層間に導かれる。こうして、ロール材２３の
各層間に導入されて偏流とはならずに各層内を水平に流
れる冷媒ガスによって、各層内に充填された蓄冷材との
冷熱交換が効率良く実施される。

【００１５】また、請求項２に係る発明では、横向きに
配置された上記ディスプレーサ２１内に導入された冷媒
ガスは、矩形を成す複数の金属製薄板の一側を互いに当
接する一方他側を所定角度に開いて放射状断面に形成さ
れた仕切材２５の各薄板間に導かれる。こうして、仕切
材２５の各薄板間に導入されて偏流とはならずに各薄板
間を水平に流れる冷媒ガスによって、各薄板間に充填さ
れた蓄冷材との冷熱交換が効率良く実施される。

【００１６】また、請求項３に係る発明では、横向きに
配置された上記ディスプレーサ２１内に導入された冷媒
ガスは、矩形を成す金属製薄板で形成された仕切板２６
の上下に形成された空間に導かれる。こうして、仕切板
２６の上下に形成された空間に導入されて偏流とはなら
ずに各空間を水平に流れる冷媒ガスによって、上記各空
間に充填された蓄冷材との冷熱交換が効率良く実施され
る。

【００１７】また、請求項４に係る発明では、横向きに
配置された上記ディスプレーサ２１内に導入された冷媒
ガスは、上記ディスプレーサ２１の室２２内を軸に垂直
に仕切る多孔板２７の半面に設けられた多数の孔２９を
通過する際に流速が速められる。こうして、上記室２２
が仕切られて形成された各小室２８内を流速が速められ
て偏流とはならずに流れる冷媒ガスによって、上記各小
室２８内に充填された蓄冷材との冷熱交換が効率良く実
施される。

【００１８】また、請求項５に係る発明では、横向きに
配置された上記ディスプレーサ２１内に導入された冷媒
ガスは、上記ディスプレーサ２１の室２２内を軸に垂直
に仕切る仕切板３０の中心部に設けられた孔３１を通過
する際に流速が速められる。こうして、上記室２２が仕
切られて形成された各小室３２内を流速が速められて偏
流とならずに流れる冷媒ガスによって、上記各小室３２
内に充填された蓄冷材との冷熱交換が効率良く実施され
る。

【００１９】

【実施例】以下、この発明を図示の実施例により詳細に
説明する。尚、以下に述べる総ての実施例におけるクラ
イオ冷凍機は、図７に示すクライオ冷凍機と同様に第
１,第２シリンダ内に一体となって嵌合する第１,第２デ
ィスプレーサを有しているものとする。

【００２０】図１は本実施例のクライオ冷凍機における
第２ディスプレーサ２１の斜視図である。この第２ディ
スプレーサ２１内の円筒状を成す第２室２２には、銅あ
るいはステンレスの薄板を所定の間隔を有して渦巻き状
に巻き上げたロール材２３を挿入する。そして、ロール
材２３の各層間には蓄冷材としての鉛球(図示せず)を充
填する。

【００２１】このように構成されたクライオ冷凍機が、
例えば横向きに配置されて第２ディスプレーサ２１も図
１に示すように横向きになった場合には、第２室２２内
に導入されたヘリウムガスが重力の影響を受けて下側に
流れようとする。ところが、第２室２２内にはロール材
２３が挿入されており、第２室２２内が水平方向に層状
に分割されている。したがって、一旦ロール材２３の各
層間に侵入したヘリウムガスは、偏流とはならずにその
層内を水平方向に第２室２２の底部に向かって(図中右
方向に向かって)流れ、その間に各層内の鉛球と冷熱交
換を行うことになる。こうして、ロール材２３の作用に
よって第２室２２内におけるヘリウムガスの偏流が防止
されて、総ての鉛球とヘリウムガスとの間で効率の良い
冷熱交換が実施できるのである。

【００２２】図２は図１に示す実施例の変形例である。
このクライオ冷凍機における第２ディスプレーサ２１の
円筒状を成す第２室２２内には、銅あるいはステンレス
の薄板によって形成された異なる半径を有する複数の円
筒を同軸に重ねて成る円筒材２４を挿入する。そして、
円筒材２４の各層間には鉛球(図示せず)を充填する。し
たがって、一旦円筒材２４の各層間に侵入したヘリウム
ガスは偏流とならずにその層内を水平方向に第２室２２
の底部に向かって流れ、その間に各層内の鉛球と冷熱交
換を行うことになる。こうして、円筒材２４の作用によ
って横向きの第２室２２内におけるヘリウムガスの偏流
が防止されて、効率の良い冷熱交換が実施できる。

【００２３】図３は、上記各実施例とはさらに異なる実
施例を示す。このクライオ冷凍機では、第２ディスプレ
ーサ２１における第２室２２内を軸に沿って仕切板で仕
切るようにしている。すなわち、図３(a)においては、
円筒状を成す第２室２２の半径と略等しい幅と第２室２
２の奥行きと略等しい長さを有する銅あるいはステンレ
スの薄板を、長手方向の一側を互いに当接する一方他側
を４５度の角度に開いて放射状の断面を成す仕切材２５
を形成する。このように形成された仕切材２５を第２室
２２内に挿入して第２室２２内を軸に沿って８つの領域
に仕切り、各領域に鉛球(図示せず)を充填する。

【００２４】したがって、一旦仕切材２５の上記各領域
内に侵入したヘリウムガスはその領域内を水平方向に第
２室２２の底部に向かって流れ、その間に各領域内の鉛
球と冷熱交換を行うことになる。こうして、仕切材２５
の作用によって横向きの第２室２２内におけるヘリウム
ガスの偏流が防止されて、効率の良い冷熱交換が実施で
きる。

【００２５】図３(b)は図３(a)を簡略化した実施例であ
り、１枚の仕切板２６によって第２室２２内を上下２層
に仕切った例である。この場合には、仕切板２６は水平
に配列される必要があり、この点で本実施例におけるク
ライオ冷凍機の配置には制限がある。しかしながら、そ
の構造は簡単である。

【００２６】図４は、上記各実施例とはさらに異なる実
施例を示す。このクライオ冷凍機では、第２ディスプレ
ーサ２１における円筒状の第２室２２内を多孔板で仕切
るようにしている。すなわち、図４(b)に示すように、
第２室２２と同じ直径を有する円形の銅あるいはステン
レス製の薄板の半面に多数の孔２９,２９,…を設けて多
孔板２７を形成する。このように形成された２枚の多孔
板２７,２７によって第２室２２内を３つの小室２８,２
８,２８に仕切り、各小室２８内に鉛球(図示せず)を充
填する。その際に、２枚の多孔板２７における多数の孔
２９が設けられた上記半面側が上側になるように配置す
る。

【００２７】図４(a)に示すように形成された横向きの
第２ディスプレーサ２１における第２室２２内にヘリウ
ムガスが導入されると、多孔板２７に形成された孔２９
を通過する際にヘリウムガスが加速される。したがっ
て、第２室２２内に形成された各小室２８間をヘリウム
ガスが移動する毎にヘリウムガスの流速が大きくなって
偏流が防止されるのである。この場合、上記多孔板２７
は多数の孔２９が設けられた上記半面側が上側になるよ
うに配置されているので、小室２８内に導入されたヘリ
ウムガスが重力の影響で下側に流れ出す前に上側の孔２
９によって加速されるので偏流が防止されるのである。
つまり、この点で本実施例におけるクライオ冷凍機の配
置には制限がある。

【００２８】図５は図４に示す実施例における変形例で
あり、第２室２２を複数の小室３２に仕切る仕切板３０
の中央には一つの孔３１が設けられいる。したがって、
仕切板３０に形成された孔３１を通過して横向きの各小
室３２間をヘリウムガスが移動する際に、ヘリウムガス
の流速が大きくなって偏流が防止されるのである。その
際に、上記仕切板３０の孔３１は中央に設けられている
ので、本実施例におけるクライオ冷凍機の配置には制限
はないのである。尚、本実施例においては仕切板３０の
中央に一つの孔３１を設けているが、仕切板の３０の中
央部に複数の小孔を設けてもよい。

【００２９】図６は、上述したヘリウムガスの流速を上
げる実施例における他の実施例である。本実施例におけ
るクライオ冷凍機においては、第２ディスプレーサ３５
における第２室３６の形状を底面(図中右方)の直径が上
面(図中左方)の直径よりも細い円錐形に形成する。そし
て、この円錐形の第２室３６内には鉛球(図示せず)を充
填する。このように、第２室３６を円錐形に形成するこ
とによって、横向きの第２室３６内を上記上面から底面
に向かって水平方向に流れるヘリウムガスの流速が次第
に速くなって偏流が防止されるのである。

【００３０】尚、上述のヘリウムガスの流速を上げる構
造を有するクライオ冷凍機は、図４,図５および図６に
示すような横向き配置ばかりではなく、逆向き(第２デ
ィスプレーサ３５が第１ディスプレーサの上側に位置す
る)に配置しても冷凍能力の低下を防止できる。

【００３１】このように、上記各実施例においては、ロ
ール材２３,円筒材２４,仕切材２５,仕切板２６の作用
によって、第２室２２を横向けにした場合における重力
の影響によるヘリウムガスの偏流を防止できる。また、
第２室２２内を軸に垂直に仕切る多孔板２７,仕切板３
０に設けられた孔２９,３１によってヘリウムガスの流
速を上げて、第２室２２を横向けにした場合におけるヘ
リウムガスの偏流を防止できる。さらに、第２室３６を
先細の円錐形に形成することによってヘリウムガスの流
速を上げて、第２室３６を横向けにした場合におけるヘ
リウムガスの偏流を防止できる。したがって、上記構成
の第２室２２,３６を横向けに配置して極低温で使用し
ても、第２室２２,３６内に充填された鉛球とヘリウム
ガスとの冷熱交換が効率良く実施されるのである。

【００３２】上記各実施例においては、シリンダを第
１,第２シリンダの２つのシリンダで形成し、ディスプ
レーサを第１,第２ディスプレーサで形成している。し
かしながら、この発明はこれに限定されるものではな
い。また、図４および図５に示す実施例における多孔板
２７あるいは仕切板３０の枚数や多孔板２７の孔２９の
数には特に制限はない。また、図６に示す実施例におい
ては、第２室３６を円錐形に形成しているがこの発明は
これに限定されるものではない。要は、第２ディスプレ
ーサ３５の軸に沿って第２ディスプレーサ３５の底部に
向かって細くなるように形成されればよいのである。ま
た、上記各第２室２２,３６は、必ずしも円形断面に形
成する必要はない。

【００３３】また、上記蓄冷材は上述の銅あるいは鉛に
限定されるものではなく、エルビウム３ニッケル(Ｅr₃
Ｎi)等でもよい。また、２種類以上を混合してもよい。

【００３４】

【発明の効果】以上より明らかなように、請求項１に係
る発明のクライオ冷凍機は、金属製の薄板を所定の間隔
で巻き上げて形成されたロール材でディスプレーサにお
ける室内を軸に沿って仕切り、蓄冷材を上記ロール材の
層間に充填したので、横向きに設置されても室内を流れ
る冷媒ガスは偏流することなくロール材の層間を水平に
流れて、上記蓄冷材と効率良く冷熱交換できる。したが
って、この発明によるクライオ冷凍機は、極低温下で横
向きに使用しても一定の冷凍能力を呈する。

【００３５】また、請求項２に係る発明のクライオ冷凍
機は、矩形を成す複数の金属製薄板の一側を互いに当接
する一方他側を所定角度に開いて放射状断面に形成され
た仕切材でディスプレーサにおける室内を軸に沿って仕
切り、蓄冷材を上記仕切材の薄板間に充填したので、横
向きに設置されても上記室内を流れる冷媒ガスは偏流す
ることなく仕切材の薄板間を水平に流れて、上記蓄冷材
と効率良く冷熱交換できる。したがって、この発明によ
るクライオ冷凍機は、極低温下で横向きに使用しても一
定の冷凍能力を呈する。

【００３６】また、請求項３に係る発明のクライオ冷凍
機は、矩形を成す金属製薄板で形成された仕切板でディ
スプレーサにおける室内を軸に沿って２つに仕切り、蓄
冷材を上記仕切板の両側に形成された空間に充填したの
で、横向きに設置されても室内を流れる冷媒ガスは偏流
することなく仕切板の上下の空間を水平に流れて、上記
蓄冷材と効率良く冷熱交換できる。したがって、この発
明によれば、極低温下で横向きに使用しても一定の冷凍
能力を呈するクライオ冷凍機を容易に提供できる。

【００３７】また、請求項４に係る発明のクライオ冷凍
機は、金属製の薄板の半面に多数の孔を設けて形成され
た多孔板でディスプレーサにおける室内を軸に垂直に仕
切って、上記ディスプレーサ内を流れる冷媒ガスの流路
の一部を狭め、蓄冷材を上記仕切られて成る各小室内に
充填したので、横向きに設置されても室内を流れる冷媒
ガスは上記多孔板に設けられた孔を通過する際に流速が
速められて偏流となることが防止されて、上記蓄冷材と
効率良く冷熱交換できる。したがって、この発明による
クライオ冷凍機は、極低温下で横向きに使用しても一定
の冷凍能力を呈する。

【００３８】また、請求項５に係る発明のクライオ冷凍
機は、金属製の薄板の中心部に孔を設けて形成された仕
切板でディスプレーサの室内を軸に垂直に仕切って、上
記ディスプレーサ内を流れる冷媒ガスの流路の一部を狭
め、蓄冷材を上記仕切られて成る各小室内に充填したの
で、横向きに設置されても室内を流れる冷媒ガスは上記
仕切板に設けられた孔を通過する際に流速が速められて
偏流となることが防止されて、上記蓄冷材と効率良く冷
熱交換できる。したがって、この発明によるクライオ冷
凍機は、極低温下で横向きに使用しても一定の冷凍能力
を呈する。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明のクライオ冷凍機に係る第２ディスプ
レーサの一実施例における斜視図である。

【図２】図１とは異なる第２ディスプレーサの斜視図で
ある。

【図３】図１および図２とは異なる第２ディスプレーサ
の斜視図である。

【図４】図１,図２および図３とは異なる第２ディスプ
レーサの斜視図である。

【図５】図１,図２,図３および図４とは異なる第２ディ
スプレーサの斜視図である。

【図６】図１,図２,図３,図４および図５とは異なる第
２ディスプレーサの斜視図である。

【図７】従来のクライオ冷凍機の概略断面図である。

【符号の説明】

２１,３５…第２ディスプレーサ、 ２２,３６…第２
室、 ２３…ロール材、 ２４…円筒材、 ２５…仕切材、 ２６,３０…仕切
板、 ２７…多孔板、 ２８,３２…小
室、 ２９,３１…孔。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.⁶，ＤＢ名) F25B 9/14 510 F25B 9/14 530

Claims (5)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 閉じられたシリンダと、このシリンダ内
   に嵌合されると共に内部に蓄冷材を収納した室(２２)を
   有するディスプレーサ(２１)と、上記シリンダに設けら
   れた冷媒ガスの導入口および排出口と、上記シリンダ内
   および室(２２)内に導入された高圧の冷媒ガスを膨張さ
   せる膨張手段を有するクライオ冷凍機において、 金属製の薄板を所定の間隔で巻き上げて形成されると共
   に、上記ディスプレーサ(２１)における室(２２)内に収
   納されて上記室(２２)内を軸に沿って仕切るロール材
   (２３)を備えて、 上記蓄冷材は、上記ロール材(２３)の層間に充填されて
   いることを特徴とするクライオ冷凍機。
2. 【請求項２】 閉じられたシリンダと、このシリンダ内
   に嵌合されると共に内部に蓄冷材を収納した室(２２)を
   有するディスプレーサ(２１)と、上記シリンダに設けら
   れた冷媒ガスの導入口および排出口と、上記シリンダ内
   および室(２２)内に導入された高圧の冷媒ガスを膨張さ
   せる膨張手段を有するクライオ冷凍機において、 矩形を成す複数の金属製薄板の一側を互いに当接する一
   方他側を所定角度に開いて放射状断面に形成されると共
   に、上記ディスプレーサ(２１)における室(２２)内に収
   納されて上記室(２２)内を軸に沿って仕切る仕切材(２
   ５)を備えて、 上記蓄冷材は、上記仕切材(２５)の薄板間に充填されて
   いることを特徴とするクライオ冷凍機。
3. 【請求項３】 閉じられたシリンダと、このシリンダ内
   に嵌合されると共に内部に蓄冷材を収納した室(２２)を
   有するディスプレーサ(２１)と、上記シリンダに設けら
   れた冷媒ガスの導入口および排出口と、上記シリンダ内
   および室(２２)内に導入された高圧の冷媒ガスを膨張さ
   せる膨張手段を有するクライオ冷凍機において、 矩形を成す金属製薄板で形成されると共に、上記ディス
   プレーサ(２１)における室(２２)内に収納されて上記室
   (２２)内を軸に沿って２つに仕切る仕切板(２６)を備え
   て、 上記蓄冷材は、上記仕切板(２６)の両側に形成された空
   間に充填されていることを特徴とするクライオ冷凍機。
4. 【請求項４】 閉じられたシリンダと、このシリンダ内
   に嵌合されると共に内部に蓄冷材を収納した室(２２)を
   有するディスプレーサ(２１)と、上記シリンダに設けら
   れた冷媒ガスの導入口および排出口と、上記シリンダ内
   および室(２２)内に導入された高圧の冷媒ガスを膨張さ
   せる膨張手段を有するクライオ冷凍機において、 金属製の薄板の半面に多数の孔(２９)を設けて形成され
   ると共に、上記室(２２)を軸に垂直方向に仕切って上記
   室(２２)内を流れる冷媒ガスの流路の一部を狭め、上記
   冷媒ガスの流速を速める多孔板(２７)を備えて、 上記蓄冷材は、上記多孔板(２７)によって仕切られて成
   る複数の小室(２８)内に充填されていることを特徴とす
   るクライオ冷凍機。
5. 【請求項５】 閉じられたシリンダと、このシリンダ内
   に嵌合されると共に内部に蓄冷材を収納した室(２２)を
   有するディスプレーサ(２１)と、上記シリンダに設けら
   れた冷媒ガスの導入口および排出口と、上記シリンダ内
   および室(２２)内に導入された高圧の冷媒ガスを膨張さ
   せる膨張手段を有するクライオ冷凍機において、 金属製の薄板の中心部に孔(３１)を設けて形成されると
   共に、上記室(２２)を軸に垂直方向に仕切って上記室
   (２２)内を流れる冷媒ガスの流路の一部を狭め、上記冷
   媒ガスの流速を速める仕切板(３０)を備えて、 上記蓄冷材は、上記仕切板(３０)によって仕切られて成
   る複数の小室(３２)内に充填されていることを特徴とす
   るクライオ冷凍機。