JP2765490B2 - 磁界波形測定システム - Google Patents

磁界波形測定システム

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Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明はコンピュータのクロック
信号などの周期的な信号や静電気放電に伴う非周期的な
電流などにより発生した磁界の時間軸波形を測定するた
めの測定システムに関する。
【0002】
【従来の技術】従来、磁界波形の測定には、図8に示す
ようにケーブルに流れる電流がその周囲に作る磁界を測
定するための電流プローブ32とオシロスコープ33
(ソニー・テクトロニクス編:電流プローブの測定技
術)の組み合わせによる測定システム31や、図10に
示すように出力段に積分回路43をつないだループプロ
ーブ42とオシロスコープ44の組み合わせた測定シス
テム41(Haga,et.al.]“A Measu
rement of Electrical andM
agnetic Field Radiated fr
om VDT,”Proceedings of 19
94 International Symposiu
m on Electromagnetic Comp
atibility,EMC’94 SENDAI,1
9P302,pp.647−650)が用いられてい
た。
【0003】図9を用いて電流プローブ32の原理を説
明する。電流プローブ32は図9に示すようにリング状
のフェライトコア34に2次コイル35を巻き、変成器
を形成させるもので、リング状コア34の中に被測定ケ
ーブル36を通して使用する。被測定ケーブル36を通
すために、リング状コア34は線路を分割して開閉でき
る構造をなす。被測定ケーブル36を流れる高周波の電
流はその周囲に高周波磁界を発生させる。この磁界をリ
ング状コア34で検出し、2次側の負荷に誘起された電
圧を測定することにより、変成器の巻き数比と負荷値か
ら電流値を換算して求める。
【0004】一方、ループプローブ42の次段に積分回
路43をつないだ測定法41では、ループプローブ42
の出力電圧が自己インダクタンスの影響を無視しうる低
周波帯においてファラデーの電磁誘導の法則に従い鎖交
磁束の時間微分に比例する特性を利用したものである。
時間微分された電圧波形を電気的な時間積分回路43を
通過させることにより磁界の時間軸波形が測定できる。
【0005】その他に、図11に示すように本来、周波
数特性を測定するために利用される広帯域アンテナ45
を用い、アンテナの入力電界強度と出力電圧の関係を示
すアンテナ係数を用いて電磁界の時間軸波形を測定する
手段も提案されている(例えば、馬杉ら著「間接ESD
にともなう電磁パルスの測定と解析」、電子情報通信学
会論文誌B−II、No.9、pp647−654参
照)。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】コンピュータのクロッ
ク信号や静電気放電に伴い発生した電磁界は広い帯域に
わたる周波数成分を有しているため、時間軸波形の測定
精度向上のためには広帯域な周波数特性を有するプロー
ブやアンテナが必要とされる。
【0007】従来技術による電流プローブ32は内部で
電流プローブの特性を補正する機能がないため、周波数
特性が変成器のコア34によって制限され、測定周波数
範囲は出力電圧と出力電流の関係が1:1を満足する範
囲に限られる。また、被測定ケーブル36を電流プロー
ブ32に挿入して測定するため、フラットケーブルなど
の幅広のケーブルやプリント配線基板上の伝送線路など
の磁界、および電流を測定することができないという欠
点を有していた。
【0008】ループプローブ42の次段に積分回路43
を設ける測定システム41は、前述のようにループプロ
ーブ42の出力電圧が磁界強度の時間変化の微分に比例
していることに基づいている。ところが、ループプロー
ブではその自己インダクタンスの影響が無視できなくな
る高い周波数帯においてはループプローブの出力がもは
や磁界強度の時間変化の微分に比例しなくなるため、
周波域の周波数成分を持つ波形に対しては測定精度が悪
くなるという欠点を有していた。
【0009】図12は直径10mmのループ面積を持つル
ープにおいて、被測定磁界強度H(f)と出力電圧V
(f)の振幅の比(a)と位相差(b)の周波数特
性の例を示した図である。それぞれの図において横軸は
周波数を対数目盛りで表示し、縦軸は、振幅比ではd
B、位相差ではラジアンで表示した。108 Hz以下
の周波数帯では振幅比は周波数に対し直線的に変化し、
位相もほぼ−π/2ラジアンで一定であり、被測定磁界
の時間微分に比例した特性を示す。一方、108Hzを
越える周波数帯域では振幅比は直線から逸脱し、位相も
−π/2ラジアンから大きく変化するため、もはや被測
定磁界の時間微分特性に比例しない。このような周波数
領域を含む波形を図10に示すような測定システム41
で測定した結果を図13に示す。(a)の実際の磁界波
形に対し、測定された波形は(b)のようになり、積分
回路の付加による補正だけでは磁界の時間軸波形が再現
できない。
【0010】電磁界の周波数特性を測定するための広帯
域アンテナ45を用い、この電磁界強度と出力電圧のア
ンテナ係数により補正する測定法では、通常のアンテナ
では振幅のみが校正されており、位相差に関するデータ
がないことから、その補正にあたってはアンテナの出力
電圧信号に対し複雑な処理(馬杉ら著「間接ESDにと
もなう電磁パルスの測定と解析」、電子情報通信学会論
文誌B−II、No.9、pp.647−654参照)を
施す必要があった。
【0011】本発明の目的は広帯域な周波数成分を有す
る磁界および電流の時間軸波形を被測定物の形状による
制約を受けず、かつ精度よく測定するための測定システ
ムを提供することにある。
【0012】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明においては、磁界測定用プローブと、該磁界
測定用プローブの出力電圧波形を測定する電圧波形測定
装置と、波形処理装置とで構成され、前記波形処理装置
は前記電圧波形測定装置で測定した電圧波形を受け取
り、該電圧波形を前記磁界測定用プローブの被測定磁界
強度と出力電圧との関係を示す校正係数を用いて磁界波
形に変換する数値演算部と、前記磁界測定用プローブ
校正係数を記憶する磁界測定用プローブ校正データ記憶
部と、演算処理された磁界波形を表示する表示部とで構
成される磁界波形測定システムにおいて、前記波形処理
装置の数値演算部は、前記電圧波形測定装置から受け取
った電圧波形データをフーリエ変換する機能と、該フー
リエ変換したデータと記憶部に記憶した磁界測定用プロ
ーブの校正係数とを、各周波数成分ごとにそれぞれの振
幅同士は掛け合わせ、それぞれの位相同士は足し合わせ
て周波数軸における磁界データを得る機能と、該磁界デ
ータを逆フーリエ変換して磁界波形を求める機能とを有
することを特徴とする。
【0013】
【0014】また、磁界測定用プローブと、オシロスコ
ープとで構成され、前記オシロスコープは、測定した前
記磁界測定用プローブの出力電圧波形を数値データに変
換する波形データ−数値データ変換機能と、前記電圧波
形データを受け取り、該電圧波形データを前記磁界測定
用プローブの被測定磁界強度と出力電圧との関係を示す
校正係数を用いて磁界波形データに変換する機能と、前
記プローブの校正係数を記憶する磁界測定用プローブ校
正データ記憶機能と、前記校正係数を用いて変換された
磁界波形を表示する演算処理データ表示機能とを有する
磁界波形測定システムにおいて、前記電圧波形データを
磁界波形データに変換する機能は、波形データ−数値デ
ータ変換機能から受け取った電圧波形データをフーリエ
変換する機能と、前記電圧波形をフーリエ変換したデー
タと磁界測定用プローブ校正データ記憶機能で記憶した
磁界測定用プローブの校正係数とを、各周波数成分ごと
にそれぞれの振幅同士は掛け合わせ、それぞれの位相同
士は足し合わせて周波数軸における磁界データを得る機
能と、該磁界データを逆フーリエ変換して磁界波形デー
タを求める機能とを有することを特徴とする。
【0015】
【作用】磁界波形の測定には、校正係数が既知の磁界測
定用プローブを用いる。校正係数とは測定に関わる帯域
において被測定磁界と、前記磁界測定用プローブを波形
測定用受信機の入力インピーダンスに等しいインピーダ
ンスで終端したときの出力電圧との比C(f)である。
fは周波数、終端のインピーダンスは通常50オームが
用いられる。校正係数C(f)は振幅比と位相差のデー
タからなる。磁界測定用プローブの出力電圧波形v
(t)のフーリエ変換をV(f)とし、受信磁界の周波
数特性をH(f)とすれば、V(f)、C(f)、H
(f)の間には H(f)=C(f)V(f) (1) の関係がある。(1)式は振幅と位相差でそれぞれ別々
の計算を行う。振幅の項は乗算し、位相差の項は加算す
る。H(f)を逆フーリエ変換することにより磁界の時
間軸波形h(t)が求まる。
【0016】この方法はオシロスコープなどの電圧波形
測定装置の測定可能周波数帯域とループプローブなどの
磁界測定用プローブの校正係数の周波数帯域で、波形の
測定が可能であり、磁界測定用プローブの周波数特性に
よる制限を受けない。
【0017】測定可能な周波数帯域は電圧波形測定装置
の周波数帯域もしくは磁界測定用プローブの校正可能周
波数帯域から決定される。
【0018】磁界測定用プローブの校正係数は標準磁界
発生源としてグランドプレーンが十分に広くかつ整合終
端したマイクロストリップ線路を用いることにより測定
することができる(例えば、佐々木ら著、“磁界測定用
ループプローブの校正”1994年電子情報通信学会春
季全国大会予稿集B−285参照)。
【0019】
【実施例】以下に本発明の実施例を図面を参照して説明
する。
【0020】図1は本発明による測定システム1を示す
ブロック図である。本測定システム1は磁界測定用プロ
ーブ2、電圧波形を測定し、該波形を数値データに変換
し、外部に転送可能な電圧波形測定装置3、波形処理装
置4で構成する。波形処理装置4は電圧波形測定装置3
から送られた時間軸波形の数値データに対し演算を行う
数値演算部5と磁界測定用プローブ2の被測定磁界強度
H(f)と出力電圧V(f)の比に関する振幅と位相の
校正係数データを入力し記憶する機能を有する磁界測定
用プローブ校正データ記憶部6、演算されたデータを出
力し時間軸波形として表示する表示部7で構成される。
【0021】波形処理装置4にはコンピュータやワーク
ステーションなどの情報処理装置を用い、この情報処理
装置に前記の機能を有効とするようなソフトウェアーを
組み込んでもよい。
【0022】波形処理装置4内部での数値処理の様子を
図2に示す。ステップ52では、電圧波形測定装置など
で測定した電圧の時間軸tにおける波形データv(t)
をフーリエ変換し、電圧の周波数軸fのデータV(f)
を得る。V(f)はそれぞれの周波数に対して振幅と位
相差のデータを有している。ステップ54では、前記V
(f)と校正データ記憶部6に記憶した磁界測定用プロ
ーブの校正係数C(f)との演算により周波数軸fにお
ける磁界のデータH(f)を得る。ここで、C(f)は
振幅と位相差のデータで構成される。該校正係数C
(f)と前記電圧の周波数軸データV(f)とは、それ
ぞれの周波数において、振幅は掛け合わせ、位相差は足
し合わせて周波数軸fにおける磁界データH(f)を得
る。ステップ55では、H(f)を逆フーリエ変換する
ことにより時間軸波形h(t)を求める。ステップ56
では、該時間軸のデータh(t)を表示部7で表示
【0023】コンピュータのクロック信号など周期性を
有する信号は周波数軸のデータが離散的になるため、H
(f)からh(t)への変換においては、逆フーリエ変
換手法を用いなくてもそれぞれの周波数における振幅と
位相差を持つ正弦波の足し合わせとして求めることがで
きる。静電気放電に伴う電流などの作る非周期性の磁界
の場合には周波数スペクトルは連続となり、逆フーリエ
変換を実行する必要がある。フーリエ変換、逆フーリエ
変換はともにFFTなの既に提供されている計算手段も
しくは手法による。
【0024】次に実際の測定例を示す。50オームの特
性インピーダンスを持ち、整合終端したマイクロストリ
ップ線路基板近傍の磁界波形を測定した。図3は測定ブ
ロック11である。パルス発生器16を用いて周波数1
0MHzのパルス状の繰り返し電流をマイクロストリッ
プ線路15に供給した。この電流によりマイクロストリ
ップ線路基板15の近傍に発生した高周波磁界を磁界測
定用プローブ12を用いて測定する。磁界測定用プロー
12としては直径10mmのループ面を有するループプ
ローブ12を用いた。ループプローブ12の出力電圧波
形は電圧波形測定装置として波形を数値データに変換可
能なディジタイジングオシロスコープ13を用いて測定
した。
【0025】図4に測定に用いたループプローブ12の
被測定磁界強度とその出力電圧の振幅比および位相差の
関係である校正係数を示す。図5に(a)方形波および
(b)三角波の電流を供給したときのループプローブ1
2の出力電圧波形v(t)を示す。
【0026】数値データに変換された電圧波形v(t)
を波形処理装置14に転送し図2に示したデータ処理を
施した後の磁界の時間軸波形を図6に実線で示す。縦軸
測定した磁界強度からマイクロストリップ線路15を
流れる電流に換算した値である。図6の破線は50オー
ムの入力インピーダンスの受信機にてマイクロストリッ
プ線路15のストリップ導体−グランドプレーン間の電
圧を測定し、その入力インピーダンスで除すことにより
求めた電流の時間軸波形である。
【0027】伝送線路上を流れる高周波電流は高周波磁
界を発生させる。したがって、本実施例のように電流近
傍の高周波磁界波形を測定することにより、伝送線路上
を流れる高周波電流の波形が求められる。
【0028】図7は本発明による第2の実施例である測
定システム21のブロック図である。本測定システム2
1は校正係数が既知のループプローブ22とオシロスコ
ープ23で構成する。オシロスコープ23は前記プロー
ブの出力電圧波形を数値データに変換する機能24、こ
の数値データを四則演算したり、フーリエ変換、逆フー
リエ変換の計算を可能とする演算機能25とループプロ
ーブ22の校正係数を入力し記憶する機能26電圧波
形データを磁界波形データに演算した後、磁界波形デー
タを表示する機能27を有している。ループプローブ2
2の出力電圧の処理は図2と同様の流れによる。
【0029】
【発明の効果】以上説明したように本発明による磁界の
時間軸波形測定システムは、被測定磁界波形の周波数成
分が磁界測定用プローブの校正係数の周波数帯域に含ま
れている限り、磁界測定用プローブの周波数特性による
制限をうけず磁界波形を測定できるため、コンピュータ
のクロック信号や静電気放電などに伴う広帯域な周波数
成分を有する磁界および電流の時間軸波形を精度よく測
定できる効果を有する。また、磁界測定用プローブとし
てループアンテナを用いればケーブルなどを貫通させる
必要がないため、被測定対象による制約を受けない。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1実施例に係る磁界波形測定システ
ムのブロック図。
【図2】数値データの処理フローを示す図。
【図3】磁界波形の測定例を表すブロック図。
【図4】ループプローブの校正係数の周波数特性図。
【図5】出力電圧波形図。
【図6】磁界波形図。
【図7】本発明の第2の実施例に係る磁界波形測定シス
テムのブロック図。
【図8】従来技術による電流波形測定ブロック図。
【図9】従来技術による電流プローブを示す図。
【図10】従来技術による磁界波形測定ブロック図。
【図11】従来技術による電磁界波形測定ブロック図。
【図12】ループプローブの校正係数の周波数特性図。
【図13】従来技術による磁界波形の測定結果を示す
図。
【符号の説明】
1 磁界波形測定システム 2 波形測定用プローブ 3 電圧波形測定装置 4 波形処理装置 5 数値演算部 6 磁界測定用プローブ校正データ記憶部 7 波形データ表示部 11 測定ブロック図 12 ループプローブ 13 ディジタイジングオシロスコープ 14 波形処理装置 15 マイクロストリップ線路 16 パルス発生器 21 磁界波形測定システム 22 磁界測定用プローブ 23 オシロスコープ 24 波形データ−数値データ変換機能 25 演算機能 26 磁界測定用プローブ校正データ記憶機能 27 演算処理データ表示機能 31 電流波形測定システム 32 電流プローブ 33 オシロスコープ 34 リング状コア 35 2次コイル 36 被測定ケーブル 41 磁界波形測定システム 42 ループプローブ 43 積分回路 44 オシロスコープ 45 広帯域アンテナ 51 電圧の時間軸波形の数値データv(t) 52 フーリエ変換処理 53 磁界測定用プローブの校正データC(f) 54 磁界の周波数特性を売るための計算処理 55 磁界の時間軸波形データh(t) 56 データの表示

Claims (3)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】磁界測定用プローブと、該磁界測定用プロ
    ーブの出力電圧波形を測定する電圧波形測定装置と、波
    形処理装置とで構成され、前記波形処理装置は前記電圧
    波形測定装置で測定した電圧波形を受け取り、該電圧波
    形を前記磁界測定用プローブの被測定磁界強度と出力電
    圧との関係を示す校正係数を用いて磁界波形に変換する
    数値演算部と、前記磁界測定用プローブの校正係数を記
    憶する磁界測定用プローブ校正データ記憶部と、演算処
    理された磁界波形を表示する表示部とで構成される磁界
    波形測定システムにおいて、前記 波形処理装置の数値演
    算部は、前記電圧波形測定装置から受け取った電圧波形
    データをフーリエ変換する機能と、該フーリエ変換した
    データと記憶部に記憶した磁界測定用プローブの校正係
    数とを、各周波数成分ごとにそれぞれの振幅同士は掛け
    合わせ、それぞれの位相同士は足し合わせて周波数軸に
    おける磁界データを得る機能と、該磁界データを逆フー
    リエ変換して磁界波形を求める機能とを有することを特
    徴とする磁界波形測定システム。
  2. 【請求項2】磁界測定用プローブと、オシロスコープと
    で構成され、前記オシロスコープは、測定した前記磁界
    測定用プローブの出力電圧波形を数値データに変換する
    波形データ−数値データ変換機能と、前記電圧波形デー
    タを受け取り、該電圧波形データを前記磁界測定用プロ
    ーブの被測定磁界強度と出力電圧との関係を示す校正係
    数を用いて磁界波形データに変換する機能と、前記プロ
    ーブの校正係数を記憶する磁界測定用プローブ校正デー
    タ記憶機能と、前記校正係数を用いて変換された磁界波
    形を表示する演算処理データ表示機能とを有する磁界波
    形測定システムにおいて、 前記電圧波形データを磁界波
    形データに変換する機能は、波形データ−数値データ変
    換機能から受け取った電圧波形データをフーリエ変換す
    る機能と、前記電圧波形をフーリエ変換したデータと磁
    界測定用プローブ校正データ記憶機能で記憶した磁界測
    定用プローブの校正係数とを、各周波数成分ごとにそれ
    ぞれの振幅同士は掛け合わせ、それぞれの位相同士は足
    し合わせて周波数軸における磁界データを得る機能と、
    該磁界データを逆フーリエ変換して磁界波形データを求
    める機能とを有することを特徴とする磁界波形測定シス
    テム
  3. 【請求項3】 磁界測定用プローブとしては、ループプロ
    ーブを用いることを特徴とする請求項1、2のいずれか
    に記載の磁界波形測定システム。
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