JP2755733B2 - ２軸式真空ポンプを運転する方法並びに２軸式真空ポンプ - Google Patents
２軸式真空ポンプを運転する方法並びに２軸式真空ポンプInfo
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C18/00—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids
- F04C18/08—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing
- F04C18/12—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing of other than internal-axis type
- F04C18/123—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing of other than internal-axis type with radially or approximately radially from the rotor body extending tooth-like elements, co-operating with recesses in the other rotor, e.g. one tooth
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C23/00—Combinations of two or more pumps, each being of rotary-piston or oscillating-piston type, specially adapted for elastic fluids; Pumping installations specially adapted for elastic fluids; Multi-stage pumps specially adapted for elastic fluids
- F04C23/001—Combinations of two or more pumps, each being of rotary-piston or oscillating-piston type, specially adapted for elastic fluids; Pumping installations specially adapted for elastic fluids; Multi-stage pumps specially adapted for elastic fluids of similar working principle
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
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- F04C29/00—Component parts, details or accessories of pumps or pumping installations, not provided for in groups F04C18/00 - F04C28/00
- F04C29/0007—Injection of a fluid in the working chamber for sealing, cooling and lubricating
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
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- F04C2220/00—Application
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- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Applications Or Details Of Rotary Compressors (AREA)
- Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、請求項１の上位概念に記載の２軸式真空ポ
ンプを運転するための方法に関する。本発明はさらに、
この運転方法の実施用に適合する２軸式真空ポンプに関
する（請求項２）。
ンプを運転するための方法に関する。本発明はさらに、
この運転方法の実施用に適合する２軸式真空ポンプに関
する（請求項２）。
ノーシイ（Northey）原理とは、２つのロータを有
し、各ロータが１つの突起部と１つの切欠き部とを備え
ているコンプレッサを発明したイギリス人の名前に由来
しており、このコンプレッサの原理をノーシイ原理と呼
んでいる。
し、各ロータが１つの突起部と１つの切欠き部とを備え
ているコンプレッサを発明したイギリス人の名前に由来
しており、このコンプレッサの原理をノーシイ原理と呼
んでいる。
従来技術 この原理を用いた２軸真空ポンプはEU−A87107089号
明細書（特開昭63−302194号公報）により公知であり、
２つのロータは吸込室において互いに噛合いかつ接触せ
ずに回転運動する。各ロータに設けられた各切欠き部は
吸込室の側部遮板にある入口開口部と出口開口部を制御
する。ロータの同期的な回転運動により、シールギャッ
プでシールされた、最初に拡大されかつ再び縮小される
吸入容積部が形成される。この吸入容積部が吸込側から
流入するガスを圧縮し吐出側に搬送する。
明細書（特開昭63−302194号公報）により公知であり、
２つのロータは吸込室において互いに噛合いかつ接触せ
ずに回転運動する。各ロータに設けられた各切欠き部は
吸込室の側部遮板にある入口開口部と出口開口部を制御
する。ロータの同期的な回転運動により、シールギャッ
プでシールされた、最初に拡大されかつ再び縮小される
吸入容積部が形成される。この吸入容積部が吸込側から
流入するガスを圧縮し吐出側に搬送する。
発明が解決しようとする課題 本発明の課題は、ノーシイ原理（Northey−Prinzip）
に基づく２軸式真空ポンプの運転方法、並びにこの種の
２軸式真空ポンプを改良して、運転中も該ポンプをガス
で洗浄することができ、かつガス洗浄によってポンプ特
性（最終圧力、吸入容量等）が著しく損なわれることの
ないようにすることにある。
に基づく２軸式真空ポンプの運転方法、並びにこの種の
２軸式真空ポンプを改良して、運転中も該ポンプをガス
で洗浄することができ、かつガス洗浄によってポンプ特
性（最終圧力、吸入容量等）が著しく損なわれることの
ないようにすることにある。
課題を解決するための手段 本発明では、請求項１及び２に記載の特徴によって上
記課題を解決することができた。
記課題を解決することができた。
発明の効果 上記のような形式で運転されないしは構成される２軸
式真空ポンプにあっては、夫々出口側に送られた吸入容
積部内に、洗浄ガスを流入せしめることができ、しかも
この洗浄ガスの流入は、ポンプの最終圧力又は吸入容量
に悪影響を及ぼすことがない。塵状の粒子は洗浄ガスの
助けを借り、浮遊状に維持されて運び出される。これ以
外の形式ではこの塵状の粒子は、ピストンの上又は吸入
室壁部に沈着する怖れがある。反応性のガス（例えばCC
L4、BCL3、HCL、O2又はそれに類似のもの）が、ポンプ
によって洗浄ガス入口部に輸送されると特に有利であ
る。ガスの活性は、洗浄ガスによって著しく減少せしめ
られる。このことにより、入口開口部が既に閉鎖されて
出口開口部が未だ開放されていない時、洗浄ガスが常に
吸入容積部内に流入しても、これがポンプ特性に悪影響
を及ぼすことがないようになる。
式真空ポンプにあっては、夫々出口側に送られた吸入容
積部内に、洗浄ガスを流入せしめることができ、しかも
この洗浄ガスの流入は、ポンプの最終圧力又は吸入容量
に悪影響を及ぼすことがない。塵状の粒子は洗浄ガスの
助けを借り、浮遊状に維持されて運び出される。これ以
外の形式ではこの塵状の粒子は、ピストンの上又は吸入
室壁部に沈着する怖れがある。反応性のガス（例えばCC
L4、BCL3、HCL、O2又はそれに類似のもの）が、ポンプ
によって洗浄ガス入口部に輸送されると特に有利であ
る。ガスの活性は、洗浄ガスによって著しく減少せしめ
られる。このことにより、入口開口部が既に閉鎖されて
出口開口部が未だ開放されていない時、洗浄ガスが常に
吸入容積部内に流入しても、これがポンプ特性に悪影響
を及ぼすことがないようになる。
実施例 本発明のその他の利点と詳細とは、本発明の実施例の
図面に基づいてこれを説明する。
図面に基づいてこれを説明する。
第１図に図示の実施例は、２本の軸２及び３並びに３
対のロータ対4,5ないし6,7ないし8,9を備えた３段式真
空ポンプ１である。ロータの軸方向の長さは、吸入側か
ら圧力側へと減少している。回転ピストンは噛合式（第
２図参照）で、吸入室11,12,13内を回転しており、該吸
入室は遮板14,15,16,17とケーシングリング18,19,20と
から形成されている。
対のロータ対4,5ないし6,7ないし8,9を備えた３段式真
空ポンプ１である。ロータの軸方向の長さは、吸入側か
ら圧力側へと減少している。回転ピストンは噛合式（第
２図参照）で、吸入室11,12,13内を回転しており、該吸
入室は遮板14,15,16,17とケーシングリング18,19,20と
から形成されている。
垂直に配置されたポンプケーシングの近くには駆動モ
ータ22がある。下方の軸受遮板17の下部には、同一直径
の歯車23,24を備えた軸2,3が装備されており、該軸2,3
は、ロータ対4,5ないし6,7ないし8,9の運動の同期のた
めに使用されている。駆動モータ22も、その下方側部に
歯車25を有している。駆動結合は、歯車24及び25と係合
している別の歯車26によって達成されている。
ータ22がある。下方の軸受遮板17の下部には、同一直径
の歯車23,24を備えた軸2,3が装備されており、該軸2,3
は、ロータ対4,5ないし6,7ないし8,9の運動の同期のた
めに使用されている。駆動モータ22も、その下方側部に
歯車25を有している。駆動結合は、歯車24及び25と係合
している別の歯車26によって達成されている。
軸2,3は、上方の軸受遮板14内及び下方の軸受遮板17
内で、転がり軸受27を介して支持されている。上方の軸
受遮板14には、水平に配置された接続フランジ28が装着
されており、該フランジ28はポンプの入口部29を形成し
ている。入口通路31は、端面側で第１段の吸入室11内に
開口している（開口部32）。端面側に配置された第１段
の出口開口部は符号33で示されており、連絡通路34内に
案内されている。遮板15内にある連絡通路34は、第２段
の入口開口部35と連結している。軸受遮板16も同様に構
成されている。最下方（第３段）のポンプ段の下部に
は、出口部36が設けられており、該出口部36は、下方軸
受遮板17内で端面側出口部37と連結している。
内で、転がり軸受27を介して支持されている。上方の軸
受遮板14には、水平に配置された接続フランジ28が装着
されており、該フランジ28はポンプの入口部29を形成し
ている。入口通路31は、端面側で第１段の吸入室11内に
開口している（開口部32）。端面側に配置された第１段
の出口開口部は符号33で示されており、連絡通路34内に
案内されている。遮板15内にある連絡通路34は、第２段
の入口開口部35と連結している。軸受遮板16も同様に構
成されている。最下方（第３段）のポンプ段の下部に
は、出口部36が設けられており、該出口部36は、下方軸
受遮板17内で端面側出口部37と連結している。
第２図から、ロータには夫々突起部38と切欠き部39と
が設けられていることが判る。通常ロータは半径r1の円
形デイスクの形をしている。ロータはその夫々の吸入室
11,12,13内で、回転軸線40及び41を中心に非接触に噛合
って回転している。
が設けられていることが判る。通常ロータは半径r1の円
形デイスクの形をしている。ロータはその夫々の吸入室
11,12,13内で、回転軸線40及び41を中心に非接触に噛合
って回転している。
入口部及び出口部の制御は、切欠き部39によって行わ
れる。入口側のロータ６は入口開口部35を開閉し、出口
側のロータ７は出口開口部42を開閉している。両ロータ
は常に２つの室（吸入容積部）43,44を形成しており、
その内の拡大する吸入容積部43は、入口開口部35と連通
している。ロータの回転によって縮小する吸入容積部44
は、出口開口部42と連通している。
れる。入口側のロータ６は入口開口部35を開閉し、出口
側のロータ７は出口開口部42を開閉している。両ロータ
は常に２つの室（吸入容積部）43,44を形成しており、
その内の拡大する吸入容積部43は、入口開口部35と連通
している。ロータの回転によって縮小する吸入容積部44
は、出口開口部42と連通している。
本発明では、洗浄ガス導管の開口部45が吸入室12内に
設けられている。第１図に示されているように、洗浄ガ
ス導管の部分は、側部遮板16内で長孔46と横孔47とによ
り形成されている。横孔47は吸入室12,13内に設けられ
た開口部45,48に導かれている。その結果、２軸式の多
段真空ポンプ１の出口側の両方の段には、洗浄ガスが供
給されるようになる。孔46は、ポンプの外方に案内され
ている導管49を介して洗浄ガス溜51、例えば窒素瓶に連
結されている。
設けられている。第１図に示されているように、洗浄ガ
ス導管の部分は、側部遮板16内で長孔46と横孔47とによ
り形成されている。横孔47は吸入室12,13内に設けられ
た開口部45,48に導かれている。その結果、２軸式の多
段真空ポンプ１の出口側の両方の段には、洗浄ガスが供
給されるようになる。孔46は、ポンプの外方に案内され
ている導管49を介して洗浄ガス溜51、例えば窒素瓶に連
結されている。
第２図から第４図には、吸入室12内における開口部45
の正確な位置が示されている。該開口部45は、出口側の
ロータ７により開閉されるもので、回転軸線41を中心に
した半径r2の円周上に位置している。また同円周上には
出口開口部42も位置している。これによって洗浄ガスの
供給も、ロータ７内の切欠き部39によって制御すること
が可能となる。それ以外では、開口部45の位置は、洗浄
ガス供給時（第３図）の吸入容積部44が、入口開口部35
に対しても、出口開口部42に対しても共に閉鎖されるよ
うに、選択されている。この条件は、洗浄ガス導管の開
口部45が、ロータ７の回転方向に関して、出口開口部42
の手前に位置している場合に充足される。出口開口部42
と洗浄ガス導管の開口部45との間で、いかなる時点にお
いても短絡が生ずることがないようにするために、洗浄
ガス導管の開口部45の位置と出口開口部42の開始端部と
によって決定される角度αが、ロータ７の切欠き部39の
幅によって決定される角度βよりも、大きくなっていな
ければならない。角度αの最大の大きさは、いかなる時
点においても、入口開口部35と洗浄ガス導管の開口部45
との間に短絡が発生することは許されないという、不可
欠の条件によって決定される。
の正確な位置が示されている。該開口部45は、出口側の
ロータ７により開閉されるもので、回転軸線41を中心に
した半径r2の円周上に位置している。また同円周上には
出口開口部42も位置している。これによって洗浄ガスの
供給も、ロータ７内の切欠き部39によって制御すること
が可能となる。それ以外では、開口部45の位置は、洗浄
ガス供給時（第３図）の吸入容積部44が、入口開口部35
に対しても、出口開口部42に対しても共に閉鎖されるよ
うに、選択されている。この条件は、洗浄ガス導管の開
口部45が、ロータ７の回転方向に関して、出口開口部42
の手前に位置している場合に充足される。出口開口部42
と洗浄ガス導管の開口部45との間で、いかなる時点にお
いても短絡が生ずることがないようにするために、洗浄
ガス導管の開口部45の位置と出口開口部42の開始端部と
によって決定される角度αが、ロータ７の切欠き部39の
幅によって決定される角度βよりも、大きくなっていな
ければならない。角度αの最大の大きさは、いかなる時
点においても、入口開口部35と洗浄ガス導管の開口部45
との間に短絡が発生することは許されないという、不可
欠の条件によって決定される。
図面は本発明の実施例を示すもので、第１図は本発明の
多段ポンプの縦断面図、第２図、第３図、第４図は中間
ロータ対の位置で切断した断面図である。 １…真空ポンプ、2,3…軸、4;5,6;7,8;9…ロータ対、1
1,12,13…吸入室、14,15,16,17…遮板、18,19,20…ケー
シングリング、22…駆動モータ、23,24,25,26…歯車、1
7…転がり軸受、28…接続フランジ、29…入口部、31…
入口通路、32…開口部、33…出口開口部、34…連絡通
路、35…入口開口部、36…出口部、37…出口開口部、38
…突起部、39…切欠き部、40,41…軸線、42…出口開口
部、43,44…吸入容積部、45…開口部、46,47…洗浄ガス
導管、48…開口部、49…導管、51…洗浄ガス溜、α，β
…角度
多段ポンプの縦断面図、第２図、第３図、第４図は中間
ロータ対の位置で切断した断面図である。 １…真空ポンプ、2,3…軸、4;5,6;7,8;9…ロータ対、1
1,12,13…吸入室、14,15,16,17…遮板、18,19,20…ケー
シングリング、22…駆動モータ、23,24,25,26…歯車、1
7…転がり軸受、28…接続フランジ、29…入口部、31…
入口通路、32…開口部、33…出口開口部、34…連絡通
路、35…入口開口部、36…出口部、37…出口開口部、38
…突起部、39…切欠き部、40,41…軸線、42…出口開口
部、43,44…吸入容積部、45…開口部、46,47…洗浄ガス
導管、48…開口部、49…導管、51…洗浄ガス溜、α，β
…角度
Claims (5)
- 【請求項１】ノーシイ原理に基づく２軸式真空ポンプを
運転する方法であって、吸入室（11,12,13）内で同期的
かつ非接触に回転する、夫々突起部（38）と切欠き部
（39）とを備えた２つのロータ（4,5;6,7;8,9）を有
し、該ローラの１方が入口開口部（32,35）を制御し、
他方が出口開口部（33,37,42）を制御する形式のものに
おいて、入口開口部の閉鎖後出口側に送られた吸入容積
部（44）内に、出口開口部が開放される前に、洗浄ガス
を送り込み、そして洗浄ガスの供給を、出口側ロータ
（5,7,9）を使用して制御することを特徴とする、２軸
式真空ポンプを運転する方法。 - 【請求項２】吸入室（11,12,13）内で同期的かつ非接触
に回転する２つのロータ（4,5;6,7;8,9）を備えた、請
求項１記載の方法を実施するためのポンプであって、ロ
ータは夫々回転軸線（40,41）を中心に旋回可能に支承
されており、ロータには夫々突起部（38）と切欠き部
（39）とが装備されており、吸入室を制限している側部
遮板（14,15,16）の一方に、一方のロータにより開閉さ
れる吸入開口部（32,35）が配設されており、前記一方
のロータの回転軸線（40）から前記吸入開口部までの距
離は、該軸線（40）から該ロータの切欠き部（39）まで
の距離に一致し、他方の側部遮板（15,16,17）には、他
方のロータにより開閉される出口開口部（33,42,37）が
配設されており、前記他方のロータの回転軸線（41）か
ら前記出口開口部までの距離は、該軸線（41）から該ロ
ータの切欠き部（39）までの距離に一致している形式の
ものにおいて、吸入室内に洗浄ガス導管（46,47）が開
口し、洗浄ガス導管の開口部（45,48）は、前記他方の
ロータ（5,7,9）により開閉されるようになっており、
該他方のロータの回転軸線（41）から該開口部（45,4
8）までの距離は、該軸線（41）から該ロータの前記切
欠き部（39）までの距離に一致していることを特徴とす
る、２軸式真空ポンプを運転する方法の実施用に適合す
る２軸式真空ポンプ。 - 【請求項３】吸入容積部が、洗浄ガスの供給時に入口開
口部（35）と出口開口部（42）とに対して閉鎖されてい
るように、洗浄ガス導管（46,47）の開口部（45,48）の
位置が、選択されていることを特徴とする、請求項２記
載のポンプ。 - 【請求項４】出口開口部（42）と洗浄ガス導管の開口部
（45,48）とが、前記他方のロータ（5,7,9）の回転軸線
（41）の周りの１つの円周上に位置しており、開口部
（45,48）は、ロータの回転方向に関して、出口開口部
（42）の手前に位置しており、開口部（45,48）の位置
と出口開口部（42）の開始端部とによって決定される角
度（α）が、ロータの切欠き部の幅によって決定される
角度（β）よりも大きいことを特徴とする、請求項２又
は３記載のポンプ。 - 【請求項５】ポンプが３段に構成されており、出口側ポ
ンプ段の吸込室（12,13）内には、夫々洗浄ガス導管（4
6,47）の開口部（45,48）が設けられていることを特徴
とする、請求項２、３又は４のいずれか１項記載のポン
プ。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| EP88117650A EP0370117B1 (de) | 1988-10-24 | 1988-10-24 | Zweiwellenvakuumpumpe und Verfahren zu ihrem Betrieb |
| EP88117650.7 | 1988-10-24 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02153291A JPH02153291A (ja) | 1990-06-12 |
| JP2755733B2 true JP2755733B2 (ja) | 1998-05-25 |
Family
ID=8199480
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1275118A Expired - Lifetime JP2755733B2 (ja) | 1988-10-24 | 1989-10-24 | ２軸式真空ポンプを運転する方法並びに２軸式真空ポンプ |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5049050A (ja) |
| EP (1) | EP0370117B1 (ja) |
| JP (1) | JP2755733B2 (ja) |
| DE (1) | DE3887149D1 (ja) |
Families Citing this family (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE4038704C2 (de) * | 1990-12-05 | 1996-10-10 | K Busch Gmbh Druck & Vakuum Dr | Drehkolbenpumpe |
| JPH06505079A (ja) * | 1991-03-04 | 1994-06-09 | バルツァース ウント ライボルト ドイチュラント ホールディング アクチエンゲゼルシャフト | 多段式の乾式運転型の真空ポンプに不活性ガスを供給する不活性ガス供給装置 |
| DE19819538C2 (de) | 1998-04-30 | 2000-02-17 | Rietschle Werner Gmbh & Co Kg | Druck-Saug-Pumpe |
| JP2001304115A (ja) * | 2000-04-26 | 2001-10-31 | Toyota Industries Corp | 真空ポンプにおけるガス供給装置 |
| EP1552152B1 (en) * | 2002-10-14 | 2013-03-20 | Edwards Limited | Rotary piston vacuum pump with washing installation |
| JP3991918B2 (ja) * | 2003-05-19 | 2007-10-17 | 株式会社豊田自動織機 | ルーツポンプ |
| KR20100091063A (ko) * | 2009-02-09 | 2010-08-18 | 삼성전자주식회사 | 회전체 크리닝 장치 및 이를 갖는 진공 펌프 |
| DE202014007117U1 (de) | 2014-09-05 | 2015-12-09 | Oerlikon Leybold Vacuum Gmbh | Klauenpumpe |
| GB201701000D0 (en) | 2017-01-20 | 2017-03-08 | Edwards Ltd | Multi-stage vacuum booster pump coupling |
Family Cites Families (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE1915269A1 (de) * | 1969-03-26 | 1970-10-08 | Siemens Ag | Roots-Geblaese |
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