JP2748839B2 - 圧電式アクチュエータの製造方法 - Google Patents
圧電式アクチュエータの製造方法Info
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- JP2748839B2 JP2748839B2 JP34789793A JP34789793A JP2748839B2 JP 2748839 B2 JP2748839 B2 JP 2748839B2 JP 34789793 A JP34789793 A JP 34789793A JP 34789793 A JP34789793 A JP 34789793A JP 2748839 B2 JP2748839 B2 JP 2748839B2
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Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、圧電式アクチュエータ
の製造方法に係り、とくに、積層された複数の板状圧電
部材から成る圧電式アクチュエータを効率良く生産する
ための圧電式アクチュエータの製造方法に関する。
の製造方法に係り、とくに、積層された複数の板状圧電
部材から成る圧電式アクチュエータを効率良く生産する
ための圧電式アクチュエータの製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】積層型圧電素子のインクジェット印字構
造については、既に特開昭63−295269号公報に
開示されている。かかる従来例にあっては、ヘッド毎に
製造を行うため、コストが高くなるという不都合があっ
た。
造については、既に特開昭63−295269号公報に
開示されている。かかる従来例にあっては、ヘッド毎に
製造を行うため、コストが高くなるという不都合があっ
た。
【0003】これに対し、特開平4−45951号公報
記載のものは、同一基板上に複数個の圧電素子ブロック
が配置され、切断等により複数個のヘッドを製造する方
法が示されている。この公報記載のものは、高密度化が
可能となり、比較して安価なヘッドを作ることができる
という利点がある。
記載のものは、同一基板上に複数個の圧電素子ブロック
が配置され、切断等により複数個のヘッドを製造する方
法が示されている。この公報記載のものは、高密度化が
可能となり、比較して安価なヘッドを作ることができる
という利点がある。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記特
開平4−45951号公報記載のものは、これによって
得られるインクジェットヘッドは、1つの圧電素子ブロ
ックを同一方向にn等分して複数個の圧電素子を備えた
圧電素子ブロックからなるアレイ状の圧電素子ヘッドを
得るようになっているが、工程が複雑で生産性が悪いと
いう不都合が生じていた。
開平4−45951号公報記載のものは、これによって
得られるインクジェットヘッドは、1つの圧電素子ブロ
ックを同一方向にn等分して複数個の圧電素子を備えた
圧電素子ブロックからなるアレイ状の圧電素子ヘッドを
得るようになっているが、工程が複雑で生産性が悪いと
いう不都合が生じていた。
【0005】
【発明の目的】本発明は、かかる従来例の有する不都合
を改善し、とくに工程の単純化を図ると同時に生産性向
上を図り得る圧電式アクチュエータの製造方法を提供す
ることを、その目的とする。
を改善し、とくに工程の単純化を図ると同時に生産性向
上を図り得る圧電式アクチュエータの製造方法を提供す
ることを、その目的とする。
【0006】
【課題を解決するための手段】本発明では、四角形の板
状に形成された複数の圧電素子部材を積層すると共に,
当該各圧電素子部材の相互間に共通電極と個別電極を交
互に順次挿入配置し,同時にこの積層された圧電素子全
体における一方の面には個別電極が,又他方の面には共
通電極が各々位置するように当該個別電極と共通電極を
組み込むことにより圧電素子ブロックの大枠を形成する
第1の工程を備えている。
状に形成された複数の圧電素子部材を積層すると共に,
当該各圧電素子部材の相互間に共通電極と個別電極を交
互に順次挿入配置し,同時にこの積層された圧電素子全
体における一方の面には個別電極が,又他方の面には共
通電極が各々位置するように当該個別電極と共通電極を
組み込むことにより圧電素子ブロックの大枠を形成する
第1の工程を備えている。
【0007】また、各個別電極として、両端縁からその
中心線に向けて複数の切込溝が等間隔に且つ左右対称に
切り込まれて成る切込溝付き電極部材を複数枚使用する
と共に,当該各切込溝付き電極部材の各切込溝が同じ位
置に配置されるように当該各個別電極を前記圧電素子ブ
ロック内に組み込むことにより当該圧電素子ブロックを
特定する第2の工程を備えている。
中心線に向けて複数の切込溝が等間隔に且つ左右対称に
切り込まれて成る切込溝付き電極部材を複数枚使用する
と共に,当該各切込溝付き電極部材の各切込溝が同じ位
置に配置されるように当該各個別電極を前記圧電素子ブ
ロック内に組み込むことにより当該圧電素子ブロックを
特定する第2の工程を備えている。
【0008】更に、圧電素子ブロックを個別電極の中心
線に沿って切断し二分する第3の工程と、この二分され
た圧電素子ブロックの切断面側に位置する切込溝の底部
の一部又は全部を切除する第4の工程とを備えている、
という構成を採っている。これによって前述した目的を
達成しようとするものである。
線に沿って切断し二分する第3の工程と、この二分され
た圧電素子ブロックの切断面側に位置する切込溝の底部
の一部又は全部を切除する第4の工程とを備えている、
という構成を採っている。これによって前述した目的を
達成しようとするものである。
【0009】
【作 用】積層された複数の圧電素子部材の一方の電極
を成す複数の各個別電極として,両端縁からその中心線
に向けて複数の切込溝が等間隔に且つ左右対称に切り込
まれて成る切込溝付き電極部材を使用すると共に,当該
各切込溝付き電極部材の各切込溝が同じ位置に配置され
たので、アレイ状圧電素子の電極間の幅を自由に設定す
ることができるようになり、この切込溝付き電極部材の
パターンを左右対称にしたので、生産能力を倍増させる
ことができる。
を成す複数の各個別電極として,両端縁からその中心線
に向けて複数の切込溝が等間隔に且つ左右対称に切り込
まれて成る切込溝付き電極部材を使用すると共に,当該
各切込溝付き電極部材の各切込溝が同じ位置に配置され
たので、アレイ状圧電素子の電極間の幅を自由に設定す
ることができるようになり、この切込溝付き電極部材の
パターンを左右対称にしたので、生産能力を倍増させる
ことができる。
【0010】そして、二分されて成る各圧電素子は、個
々の圧電素子部材の二つの外部導通電極間に所定の電圧
を与えることで、その厚さ方向へ伸縮する圧電ヘッドと
して機能する。
々の圧電素子部材の二つの外部導通電極間に所定の電圧
を与えることで、その厚さ方向へ伸縮する圧電ヘッドと
して機能する。
【0011】
【実施例】以下、本発明の一実施例を図1乃至図7に基
づいて説明する。
づいて説明する。
【0012】この図1乃至図7において、符号1は絶縁
性部材からなる基板を示し、符号2は圧電素子ブロック
2を示す。この圧電素子ブロック2は、圧電式アクチュ
エータの母体を成すもので、当該圧電素子ブロック2を
二分することによって圧電式アクチュエータの原型が出
来上がるようになっている。
性部材からなる基板を示し、符号2は圧電素子ブロック
2を示す。この圧電素子ブロック2は、圧電式アクチュ
エータの母体を成すもので、当該圧電素子ブロック2を
二分することによって圧電式アクチュエータの原型が出
来上がるようになっている。
【0013】図2乃至図4に、圧電素子ブロック2の製
造工程の一部を示す。この内、図2に、圧電素子ブロッ
ク2を構成する積層部材の単位体を示す説明図である。
この積層部材の単位体は、図2における上方から、個別
電極3,四角形の板状に形成された板状の圧電素子部材
4,板状の導電材料からなる共通電極5,および圧電素
子部材4が順次積層されて形成されるようになってい
る。そして、このようにして形成された積層部材の単位
体が複数順次大まかに積層されて、前述した圧電素子ブ
ロック2が形成され、これをもって第1の工程が完了す
る。
造工程の一部を示す。この内、図2に、圧電素子ブロッ
ク2を構成する積層部材の単位体を示す説明図である。
この積層部材の単位体は、図2における上方から、個別
電極3,四角形の板状に形成された板状の圧電素子部材
4,板状の導電材料からなる共通電極5,および圧電素
子部材4が順次積層されて形成されるようになってい
る。そして、このようにして形成された積層部材の単位
体が複数順次大まかに積層されて、前述した圧電素子ブ
ロック2が形成され、これをもって第1の工程が完了す
る。
【0014】図1において、最上位に位置する板状の部
材40 および最下位に位置する板状の部材4n は、絶縁
性保護部材を示す。この絶縁性保護部材40 ,4n は、
本実施例では圧電素子部材で形成されているが、他の絶
縁部材で構成してもよい。
材40 および最下位に位置する板状の部材4n は、絶縁
性保護部材を示す。この絶縁性保護部材40 ,4n は、
本実施例では圧電素子部材で形成されているが、他の絶
縁部材で構成してもよい。
【0015】また、前述した個別電極3は、本実施例で
は、両端縁からその中心線に向けて複数の切込溝31が
等間隔に且つ左右対称に切り込まれて成る切込溝付き電
極部材が使用されている。そして、当該各切込溝付き電
極部材の各切込溝31が同じ位置に配置されるように前
述した圧電素子ブロック2の各構成部材が整頓され、こ
れをもって第2の工程が完了する。
は、両端縁からその中心線に向けて複数の切込溝31が
等間隔に且つ左右対称に切り込まれて成る切込溝付き電
極部材が使用されている。そして、当該各切込溝付き電
極部材の各切込溝31が同じ位置に配置されるように前
述した圧電素子ブロック2の各構成部材が整頓され、こ
れをもって第2の工程が完了する。
【0016】この第2の工程においては、上述したよう
に各個別電極3の切込溝31側の外端縁を圧電素子部材
の外端縁と同一の面上に設定されるようになっている。
また、図3ないし図4に示すように、この部分における
共通電極5の外端縁は、各個別電極3の切込溝31側の
外端縁側より内側に配置されている。これによって、各
個別電極3を、これに対応した外部導通電極6に導通し
やすいようにすると共に当該個別電極3の外部導通電極
6に共通電極5が触れるのを確実に防止している。
に各個別電極3の切込溝31側の外端縁を圧電素子部材
の外端縁と同一の面上に設定されるようになっている。
また、図3ないし図4に示すように、この部分における
共通電極5の外端縁は、各個別電極3の切込溝31側の
外端縁側より内側に配置されている。これによって、各
個別電極3を、これに対応した外部導通電極6に導通し
やすいようにすると共に当該個別電極3の外部導通電極
6に共通電極5が触れるのを確実に防止している。
【0017】図5に、外部導通電極6,6,・・,7,
7,・・に例を示す。この各外部導通電極6,7の内、
一方の外部導通電極6は、前述したように各個別電極3
に導通される位置に固定装備されている。また、他方の
各外部導通電極7は、前述した各共通電極5にのみ導通
される位置に固定装備されている。
7,・・に例を示す。この各外部導通電極6,7の内、
一方の外部導通電極6は、前述したように各個別電極3
に導通される位置に固定装備されている。また、他方の
各外部導通電極7は、前述した各共通電極5にのみ導通
される位置に固定装備されている。
【0018】図6に、一方の外部導通電極6と各個別電
極3とを含む部分縦断面図を示す。また、図7に、他方
の外部導通電極7と各共通電極5とを含む部分縦断面図
を示す。この図6乃至図7において、符号8は導電性接
着剤を示し、符号9は絶縁性接着剤を示しす。これによ
って個別電極3と共通電極5とが交差することなく独立
した電極を構成し得るようになっている。
極3とを含む部分縦断面図を示す。また、図7に、他方
の外部導通電極7と各共通電極5とを含む部分縦断面図
を示す。この図6乃至図7において、符号8は導電性接
着剤を示し、符号9は絶縁性接着剤を示しす。これによ
って個別電極3と共通電極5とが交差することなく独立
した電極を構成し得るようになっている。
【0019】更に、圧電素子ブロック2は、その後、第
3の工程で各個別電極の中心線Kに沿って切断し二分さ
れ、続いて、この二分された圧電素子ブロック2の各切
断面側に位置する前述した各切込溝31の底部の一部又
は全部が、第4の工程にて切除される。符号Cは各切込
溝31の切り込み位置を示す。
3の工程で各個別電極の中心線Kに沿って切断し二分さ
れ、続いて、この二分された圧電素子ブロック2の各切
断面側に位置する前述した各切込溝31の底部の一部又
は全部が、第4の工程にて切除される。符号Cは各切込
溝31の切り込み位置を示す。
【0020】圧電素子ブロック2は、具体的には、絶縁
性の1上に配置されたのち、切断面Kで切断されて二分
割され、その後、各切込溝31の底部が、同じ場所に位
置する他の部材と共に切除され、これによってアレイ状
の二つの圧電素子が形成される。
性の1上に配置されたのち、切断面Kで切断されて二分
割され、その後、各切込溝31の底部が、同じ場所に位
置する他の部材と共に切除され、これによってアレイ状
の二つの圧電素子が形成される。
【0021】このように、上記実施例では、積層された
複数の圧電素子部材4の一方の電極を成す複数の各個別
電極3として,両端縁からその中心線に向けて複数の切
込溝31が等間隔に且つ左右対称に切り込まれて成る切
込溝付き電極部材を使用すると共に,当該各切込溝付き
電極部材の各切込溝31を同じ位置に配置したので、ア
レイ状圧電素子の電極間の幅を自由に設定することがで
きるようになり、この切込溝付き電極部材のパターンを
左右対称にしたので、生産能力を倍増させることができ
る。
複数の圧電素子部材4の一方の電極を成す複数の各個別
電極3として,両端縁からその中心線に向けて複数の切
込溝31が等間隔に且つ左右対称に切り込まれて成る切
込溝付き電極部材を使用すると共に,当該各切込溝付き
電極部材の各切込溝31を同じ位置に配置したので、ア
レイ状圧電素子の電極間の幅を自由に設定することがで
きるようになり、この切込溝付き電極部材のパターンを
左右対称にしたので、生産能力を倍増させることができ
る。
【0022】そして、二分されて成る各圧電素子は、個
々の圧電素子部材の外部導通電極6,7間に所定の電圧
を与えることでA方向へ伸縮する圧電ヘッドとなる。
々の圧電素子部材の外部導通電極6,7間に所定の電圧
を与えることでA方向へ伸縮する圧電ヘッドとなる。
【0023】
【発明の効果】以上、説明したように本発明は、圧電素
子ブロック形成時に共通導電材料と個別導電材料とを特
殊な形状にて積層することで、同一基板上に、圧電素子
ブロックを形成し、二列の複数個の圧電ヘッドを得るこ
とができ、同時に、同一の圧電素子ブロックで二列に生
産し得るため、精度が良好で且つ安価で,しかも小型で
高密度のヘッドを得ることができるという従来にない優
れた圧電式アクチュエータの製造方法を提供すことがで
きる。
子ブロック形成時に共通導電材料と個別導電材料とを特
殊な形状にて積層することで、同一基板上に、圧電素子
ブロックを形成し、二列の複数個の圧電ヘッドを得るこ
とができ、同時に、同一の圧電素子ブロックで二列に生
産し得るため、精度が良好で且つ安価で,しかも小型で
高密度のヘッドを得ることができるという従来にない優
れた圧電式アクチュエータの製造方法を提供すことがで
きる。
【図1】本発明の実施例に於ける第1乃至第2の工程で
形成される圧電素子ブロックを示す概略斜視図である。
形成される圧電素子ブロックを示す概略斜視図である。
【図2】図1の圧電素子ブロックの一部を示す圧電素子
の単位体の構成を示す説明図である。
の単位体の構成を示す説明図である。
【図3】図1の圧電素子ブロックの一部を示す部分斜視
図である。
図である。
【図4】図3の平面図である。
【図5】図1の圧電素子ブロックに外部導通電極を付し
た場合の一例を示す一部省略した斜視図である。
た場合の一例を示す一部省略した斜視図である。
【図6】図5における一方の外部導通電極と各個別電極
とを含む部分縦断面図である。
とを含む部分縦断面図である。
【図7】図5における他方の外部導通電極と各共通電極
とを含む部分縦断面図である。
とを含む部分縦断面図である。
1 基板 2 圧電素子ブロック 3 個別電極 4 圧電素子部材 5 共通電極 6 一方の外部導通電極 7 他方の外部導通電極 8 導電性接着剤 9 絶縁性接着剤 31 切込溝 K 切断ライン C 切込溝の底部用の切断ライン
Claims (1)
- 【請求項1】 四角形の板状に形成された複数の圧電素
子部材を積層すると共に,当該各圧電素子部材の相互間
に共通電極と個別電極とを交互に順次挿入配置し,同時
にこの積層された圧電素子全体における一方の面には個
別電極が,又他方の面には共通電極が各々位置するよう
に当該個別電極と共通電極を組み込むことにより圧電素
子ブロックの大枠を形成する第1の工程と、 前記各個別電極として、両端縁からその中心線に向けて
複数の切込溝が等間隔に且つ左右対称に切り込まれて成
る切込溝付き電極部材を複数枚使用すると共に,当該各
切込溝付き電極部材の各切込溝が同じ位置に配置される
ように当該各個別電極を前記圧電素子ブロック内に組み
込むことにより当該圧電素子ブロックを特定する第2の
工程と、 前記圧電素子ブロックを前記個別電極の中心線に沿って
切断し二分する第3の工程と、 この二分された圧電素子ブロックの切断面側に位置する
前記切込溝の底部の一部又は全部を切除する第4の工程
とを備えていることを特徴とした圧電式アクチュエータ
の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP34789793A JP2748839B2 (ja) | 1993-12-24 | 1993-12-24 | 圧電式アクチュエータの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP34789793A JP2748839B2 (ja) | 1993-12-24 | 1993-12-24 | 圧電式アクチュエータの製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH07183589A JPH07183589A (ja) | 1995-07-21 |
JP2748839B2 true JP2748839B2 (ja) | 1998-05-13 |
Family
ID=18393348
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP34789793A Expired - Fee Related JP2748839B2 (ja) | 1993-12-24 | 1993-12-24 | 圧電式アクチュエータの製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2748839B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2000063978A2 (en) * | 1999-04-20 | 2000-10-26 | Seagate Technology Llc | Electrode patterning for a differential pzt activator |
JP5977031B2 (ja) * | 2012-01-27 | 2016-08-24 | 京セラ株式会社 | 液体吐出ヘッド、およびそれを用いた記録装置 |
-
1993
- 1993-12-24 JP JP34789793A patent/JP2748839B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH07183589A (ja) | 1995-07-21 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 19980120 |
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