JP2744448B2 - 光情報記録再生装置 - Google Patents
光情報記録再生装置Info
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- JP2744448B2 JP2744448B2 JP63325295A JP32529588A JP2744448B2 JP 2744448 B2 JP2744448 B2 JP 2744448B2 JP 63325295 A JP63325295 A JP 63325295A JP 32529588 A JP32529588 A JP 32529588A JP 2744448 B2 JP2744448 B2 JP 2744448B2
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Description
【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、光情報記録媒体を用いて情報の記録、再生
等を行う光情報記録再生装置に関する。
等を行う光情報記録再生装置に関する。
従来の技術 従来、光情報記録再生装置に回折格子（グレーテイン
グ）を用いたものとしては、まず、第一の従来例として
特開昭61−230634号公報に開示されているものがある。
すなわち、第６図に示すように、半導体レーザ１から出
射されたレーザ光はコリメートレンズ２で平行化され、
偏光ビームスプリツタ３に入射する。この場合、その入
射光の偏光方向は偏光ビームスプリツタ３の溝と平行方
向の状態となるようにしてあるため回折して1/4波長板
４に入射し円偏光波となり、対物レンズ５により集光さ
れ光情報記録媒体としての光デイスク６に照射されこれ
により情報の記録が行われる。また、その光デイスク６
からの反射光は前記1/4波長板４で直線偏光波に変換さ
れこれにより偏光ビームスプリツタ３を透過し、光情報
検出光学系７に導かれ臨界角回折格子８に入射する。こ
こでは、その入射光は２回の臨界角回折と全反射を生じ
回折光となつて４分割された受光素子９に入射し、これ
によりそれら分割された受光素子９により差信号をとつ
てフオーカスエラー信号の検出や、トラツクエラー信号
の検出を行つている。
グ）を用いたものとしては、まず、第一の従来例として
特開昭61−230634号公報に開示されているものがある。
すなわち、第６図に示すように、半導体レーザ１から出
射されたレーザ光はコリメートレンズ２で平行化され、
偏光ビームスプリツタ３に入射する。この場合、その入
射光の偏光方向は偏光ビームスプリツタ３の溝と平行方
向の状態となるようにしてあるため回折して1/4波長板
４に入射し円偏光波となり、対物レンズ５により集光さ
れ光情報記録媒体としての光デイスク６に照射されこれ
により情報の記録が行われる。また、その光デイスク６
からの反射光は前記1/4波長板４で直線偏光波に変換さ
れこれにより偏光ビームスプリツタ３を透過し、光情報
検出光学系７に導かれ臨界角回折格子８に入射する。こ
こでは、その入射光は２回の臨界角回折と全反射を生じ
回折光となつて４分割された受光素子９に入射し、これ
によりそれら分割された受光素子９により差信号をとつ
てフオーカスエラー信号の検出や、トラツクエラー信号
の検出を行つている。
また、第二の従来例として、第７図に示すように、デ
ユアルグレーテイング10を用いたものがある。すなわ
ち、半導体レーザ11からの出射光はコリメートレンズ12
により平行化された後、２枚の整形プリズム13を介して
ビームスプリツタ14により反射され対物レンズ15により
集光され光磁気デイスク16に照射され、これにより情報
の記録が行われる。また、この光磁気デイスク16からの
反射光は前記ビームスプリツタ14を透過して光情報検出
光学系17に導かれ、集光レンズ18により集光されデユア
ルグレーテイング10の表裏面にそれぞれ形成されたグレ
ーテイング19を透過又は回折する。このうち、透過して
そのまま直進した０次光Ｔは４分割受光素子20に導か
れ、回折された１次光Ｋは２分割受光素子21に導かれ
る。そして、光磁気信号は０次光Ｔと１次光Ｋとの光量
差により検出し、また、フオーカスエラー信号は０次光
Ｔを用い非点収差法により検出し、トラツクエラー信号
は１次光Ｋを用いプシユプル法等により検出する。
ユアルグレーテイング10を用いたものがある。すなわ
ち、半導体レーザ11からの出射光はコリメートレンズ12
により平行化された後、２枚の整形プリズム13を介して
ビームスプリツタ14により反射され対物レンズ15により
集光され光磁気デイスク16に照射され、これにより情報
の記録が行われる。また、この光磁気デイスク16からの
反射光は前記ビームスプリツタ14を透過して光情報検出
光学系17に導かれ、集光レンズ18により集光されデユア
ルグレーテイング10の表裏面にそれぞれ形成されたグレ
ーテイング19を透過又は回折する。このうち、透過して
そのまま直進した０次光Ｔは４分割受光素子20に導か
れ、回折された１次光Ｋは２分割受光素子21に導かれ
る。そして、光磁気信号は０次光Ｔと１次光Ｋとの光量
差により検出し、また、フオーカスエラー信号は０次光
Ｔを用い非点収差法により検出し、トラツクエラー信号
は１次光Ｋを用いプシユプル法等により検出する。
発明が解決しようとする課題 まず、第一の従来例では、追記型の光デイスク及びCD
には適用できるが、光磁気デイスクの信号検出には適用
することができず、また、このような従来の構成ではグ
レーテイングに付随して生じる波長変動に応じて回折角
度が変動する問題を解決することができない。また、第
二の従来例では、デユアルグレーテイングを透過、回折
した０次光及び１次光のビーム間隔の精度が悪いためス
ポツト位置のズレが生じやすく、その結果、信号検出に
誤差が生じやすくなり、光情報信号検知器の配置も厳密
な寸法精度をもって行なわなければならないものであ
る。
には適用できるが、光磁気デイスクの信号検出には適用
することができず、また、このような従来の構成ではグ
レーテイングに付随して生じる波長変動に応じて回折角
度が変動する問題を解決することができない。また、第
二の従来例では、デユアルグレーテイングを透過、回折
した０次光及び１次光のビーム間隔の精度が悪いためス
ポツト位置のズレが生じやすく、その結果、信号検出に
誤差が生じやすくなり、光情報信号検知器の配置も厳密
な寸法精度をもって行なわなければならないものであ
る。
課題を解決するための手段 半導体レーザから出射されたレーザ光を光情報記録媒
体に照射して情報の記録を行うと共に、その光情報記録
媒体からの反射光を集光レンズにより集光して光情報検
出光学系に導き情報の再生や、トラツクエラー信号及び
フオーカスエラー信号を検出する光情報記録再生装置に
おいて、前記光情報記録媒体により反射され前記集光レ
ンズにより集光された光の光路上に、一面に等ピツチの
直線状をした第一回折格子が形成されこの面と相対する
側の面にピツチの異なる同心円状をなす第二回折格子が
形成されたデユアルグレーテイングを配設し、このデユ
アルグレーテイングにより、回折されて進む１次光の光
路上に配置された少なくとも３分割された第一受光素子
と回折されずに直進する０次光の光路上に配置された少
なくとも３分割された第二受光素子とを有する光情報信
号検知器を設けた。
体に照射して情報の記録を行うと共に、その光情報記録
媒体からの反射光を集光レンズにより集光して光情報検
出光学系に導き情報の再生や、トラツクエラー信号及び
フオーカスエラー信号を検出する光情報記録再生装置に
おいて、前記光情報記録媒体により反射され前記集光レ
ンズにより集光された光の光路上に、一面に等ピツチの
直線状をした第一回折格子が形成されこの面と相対する
側の面にピツチの異なる同心円状をなす第二回折格子が
形成されたデユアルグレーテイングを配設し、このデユ
アルグレーテイングにより、回折されて進む１次光の光
路上に配置された少なくとも３分割された第一受光素子
と回折されずに直進する０次光の光路上に配置された少
なくとも３分割された第二受光素子とを有する光情報信
号検知器を設けた。
作用 デユアルグレーテイングの両面に形成される回折格子
のうち一方の第二回折格子に同心円状をしたピツチの異
なる形状にして集光機能をもたせるようにしたことによ
り、０次光と１次光との結像点の光軸方向に対する距離
間隔を広くとることができ、光情報記録再生器の配置を
容易に行なうことができる。
のうち一方の第二回折格子に同心円状をしたピツチの異
なる形状にして集光機能をもたせるようにしたことによ
り、０次光と１次光との結像点の光軸方向に対する距離
間隔を広くとることができ、光情報記録再生器の配置を
容易に行なうことができる。
実施例 本発明の一実施例の基礎となる構成を第１図ないし第
４図（ａ）（ｂ）（ｃ）に基づいて説明する。なお、こ
こでは、本発明に係る光情報検出光学系についてのみ述
べる。
４図（ａ）（ｂ）（ｃ）に基づいて説明する。なお、こ
こでは、本発明に係る光情報検出光学系についてのみ述
べる。
デユアルグレーテイング22は、平行平板型をしてお
り、集光レンズ23に位置する側の面に等ピツチの直線状
をした第一回折格子24が形成され、これと相対する側の
面に同様な等ピツチの直線状をした第二回折格子25が形
成されている。このデユアルグレーテイング22は、光情
報記録媒体としての図示しない光磁気デイスクから反射
された光が光情報検出光学系26の集光レンズ23により集
光された光路上に位置して設けられている。また、これ
ら第一回折格子24及び第二回折格子25を有するデユアル
グレーテイング22を通過して２分割された０次光Ｔ及び
１次光Ｋのうち、１次光Ｋの光路上に位置して受光面a,
b,cをもつ第一受光素子27が配置され、０次光Ｔの光路
上に位置して受光面d,e,fをもつ第二受光素子28が配置
された光情報信号検知器29が設けられている。この場
合、光情報信号検知器29は、１次光Ｋの集光点Ｐの後方
に位置し、しかも、０次光Ｔの集光点Ｑの前方に位置す
る、PQ間に挟まれた状態になつている。
り、集光レンズ23に位置する側の面に等ピツチの直線状
をした第一回折格子24が形成され、これと相対する側の
面に同様な等ピツチの直線状をした第二回折格子25が形
成されている。このデユアルグレーテイング22は、光情
報記録媒体としての図示しない光磁気デイスクから反射
された光が光情報検出光学系26の集光レンズ23により集
光された光路上に位置して設けられている。また、これ
ら第一回折格子24及び第二回折格子25を有するデユアル
グレーテイング22を通過して２分割された０次光Ｔ及び
１次光Ｋのうち、１次光Ｋの光路上に位置して受光面a,
b,cをもつ第一受光素子27が配置され、０次光Ｔの光路
上に位置して受光面d,e,fをもつ第二受光素子28が配置
された光情報信号検知器29が設けられている。この場
合、光情報信号検知器29は、１次光Ｋの集光点Ｐの後方
に位置し、しかも、０次光Ｔの集光点Ｑの前方に位置す
る、PQ間に挟まれた状態になつている。
このような構成において、光磁気デイスクからの反射
光は光情報検出光学系26内の集光レンズ23により集光さ
れ収束光となり、この状態でデユアルグレーテイング22
の第一回折格子24に入射しその偏光方向成分毎に分離さ
れ、回折しないで直進する０次光Ｔと回折されて進む１
次光Ｋとの２つの光に分離される。さらに、０次光Ｔは
第二回折格子25により回折されずそのまま直進してい
き、１次光Ｋはその第二回折格子25によりさらに回折さ
れて進んでいく。そして、第一，第二回折格子24,25は
共に収束機能をもたないため、それら０次光Ｔ及び１次
光Ｋの集光位置は集光レンズ23により決定され、集光点
P,Qの位置にそれぞれ結像する。この場合、１次光Ｋは
回折されるため光路長が０次光Ｔに比べ多少長くなり、
その分、集光点Ｐの位置は前方となる。そして、これら
２つの集光点P,Qの間に位置して配置された光情報信号
検知器29の第一受光素子27及び第二受光素子28に、０次
光Ｔ及び１次光Ｋを第３図に示すようにそれぞれ入射さ
せることにより、第一受光素子27には１次光Ｋの収束後
の状態のビームが照射され、また、第二受光素子28には
０次光Ｔの収束前の状態のビームが照射されることにな
る。
光は光情報検出光学系26内の集光レンズ23により集光さ
れ収束光となり、この状態でデユアルグレーテイング22
の第一回折格子24に入射しその偏光方向成分毎に分離さ
れ、回折しないで直進する０次光Ｔと回折されて進む１
次光Ｋとの２つの光に分離される。さらに、０次光Ｔは
第二回折格子25により回折されずそのまま直進してい
き、１次光Ｋはその第二回折格子25によりさらに回折さ
れて進んでいく。そして、第一，第二回折格子24,25は
共に収束機能をもたないため、それら０次光Ｔ及び１次
光Ｋの集光位置は集光レンズ23により決定され、集光点
P,Qの位置にそれぞれ結像する。この場合、１次光Ｋは
回折されるため光路長が０次光Ｔに比べ多少長くなり、
その分、集光点Ｐの位置は前方となる。そして、これら
２つの集光点P,Qの間に位置して配置された光情報信号
検知器29の第一受光素子27及び第二受光素子28に、０次
光Ｔ及び１次光Ｋを第３図に示すようにそれぞれ入射さ
せることにより、第一受光素子27には１次光Ｋの収束後
の状態のビームが照射され、また、第二受光素子28には
０次光Ｔの収束前の状態のビームが照射されることにな
る。
そこで、今、フオーカスエラー信号、トラツクエラー
信号、光磁気信号を検出する方法について説明する。ま
ず、フオーカスエラー信号を検出する場合、初期の合焦
点の位置にある時には第一受光素子27及び第二受光素子
28にそれぞれ照射される０次光Ｔ及び１次光Ｋのスポツ
ト径は第４図（ｂ）に示すように共に等しい大きさであ
るが、光磁気デイスクの焦点位置がズレると第４図
（ａ）に示すように前方にピントがズレている時には０
次光Ｔのスポツト径は小さくなり１次光Ｋのスポツト径
は大きくなり、これとは逆に、第４図（ｃ）に示すよう
に後方にピントがズレている時には０次光Ｔのスポツト
径は大きくなり１次光Ｋのスポツト径は小さくなる。こ
のように光磁気デイスクの焦点位置がズレると２つのス
ポツト径は相反するように変化する関係を利用して、
（ａ＋ｃ−ｂ）−（ｄ＋ｆ−ｅ）を求めることによつて
フオーカスエラー信号を検出することができる。また、
３分割された受光素子27,28のうち両側の光量差を利用
して、（ａ＋ｄ）−（ｃ＋ｆ）を求めることによりトラ
ツクエラー信号を検出することができる。さらに、受光
素子27,28の光量差、すなわち、０次光と１次光との光
量差（ａ＋ｂ＋ｃ）−（ｄ＋ｅ＋ｆ）を求めることによ
り光磁気信号を検出することができる。
信号、光磁気信号を検出する方法について説明する。ま
ず、フオーカスエラー信号を検出する場合、初期の合焦
点の位置にある時には第一受光素子27及び第二受光素子
28にそれぞれ照射される０次光Ｔ及び１次光Ｋのスポツ
ト径は第４図（ｂ）に示すように共に等しい大きさであ
るが、光磁気デイスクの焦点位置がズレると第４図
（ａ）に示すように前方にピントがズレている時には０
次光Ｔのスポツト径は小さくなり１次光Ｋのスポツト径
は大きくなり、これとは逆に、第４図（ｃ）に示すよう
に後方にピントがズレている時には０次光Ｔのスポツト
径は大きくなり１次光Ｋのスポツト径は小さくなる。こ
のように光磁気デイスクの焦点位置がズレると２つのス
ポツト径は相反するように変化する関係を利用して、
（ａ＋ｃ−ｂ）−（ｄ＋ｆ−ｅ）を求めることによつて
フオーカスエラー信号を検出することができる。また、
３分割された受光素子27,28のうち両側の光量差を利用
して、（ａ＋ｄ）−（ｃ＋ｆ）を求めることによりトラ
ツクエラー信号を検出することができる。さらに、受光
素子27,28の光量差、すなわち、０次光と１次光との光
量差（ａ＋ｂ＋ｃ）−（ｄ＋ｅ＋ｆ）を求めることによ
り光磁気信号を検出することができる。
次に、前述の構造に基づいて形成された本発明の一実
施例を第５図（ａ）（ｂ）（ｃ）に基づいて説明する。
これは、デユアルグレーテイング22に形成される片方の
回折格子の表面形状を変えた場合の例である。すなわ
ち、デユアルグレーテイング22は、集光レンズ23に位置
する側の第一回折格子24は前述の場合と変わらず等ピツ
チの直線形状となつているが、これと反対側に位置する
第二回折格子30はピツチの異なる同心円状の一部をなす
ように形成されている。従つて、集光レンズ23以外にこ
のようなピツチの異なる同心円状をなす第二回折格子30
を設け集光機能をもたせたことによつて回折される１次
光Ｋはより一層手前の位置に集光点Ｐをもつようになる
ため、その分、３分割された受光素子27,28をもつ光情
報信号検知器29の配置に裕度をもたせることができる。
施例を第５図（ａ）（ｂ）（ｃ）に基づいて説明する。
これは、デユアルグレーテイング22に形成される片方の
回折格子の表面形状を変えた場合の例である。すなわ
ち、デユアルグレーテイング22は、集光レンズ23に位置
する側の第一回折格子24は前述の場合と変わらず等ピツ
チの直線形状となつているが、これと反対側に位置する
第二回折格子30はピツチの異なる同心円状の一部をなす
ように形成されている。従つて、集光レンズ23以外にこ
のようなピツチの異なる同心円状をなす第二回折格子30
を設け集光機能をもたせたことによつて回折される１次
光Ｋはより一層手前の位置に集光点Ｐをもつようになる
ため、その分、３分割された受光素子27,28をもつ光情
報信号検知器29の配置に裕度をもたせることができる。
また、本実施例の応用として、集光レンズ23の焦点距
離を短くして光情報検出光学系26全体の構成の小型化を
図ろうとする場合、第１図のような構成で０次光Ｔに非
点収差が発生し、信号検出の際に無視できないほどの悪
影響を及ぼすことも考えられるため、このような時には
片面の第二回折格子30をピツチの異なる曲線形状にする
ことによつて１次光Ｋにも非点収差を発生させ相殺して
検出される信号への悪影響を除去し、これにより小型化
を図ることも可能となる。ただし、この場合、１次光Ｋ
だけに集光機能を持たせるとその収束の状態が０次光Ｔ
と異なりスポツト径の変化の仕方が同じでなくなるた
め、信号検出後の電気的な補正も考慮しなければならな
い。
離を短くして光情報検出光学系26全体の構成の小型化を
図ろうとする場合、第１図のような構成で０次光Ｔに非
点収差が発生し、信号検出の際に無視できないほどの悪
影響を及ぼすことも考えられるため、このような時には
片面の第二回折格子30をピツチの異なる曲線形状にする
ことによつて１次光Ｋにも非点収差を発生させ相殺して
検出される信号への悪影響を除去し、これにより小型化
を図ることも可能となる。ただし、この場合、１次光Ｋ
だけに集光機能を持たせるとその収束の状態が０次光Ｔ
と異なりスポツト径の変化の仕方が同じでなくなるた
め、信号検出後の電気的な補正も考慮しなければならな
い。
発明の効果 本発明は上述のように、半導体レーザから出射された
レーザ光を光情報記録媒体に照射して情報の記録を行う
と共に、その光情報記録媒体からの反射光を集光レンズ
により集光して光情報検出光学系に導き情報の再生や、
トラツクエラー信号及びフオーカスエラー信号を検出す
る光情報記録再生装置において、前記光情報記録媒体に
より反射され前記集光レンズにより集光された光の光路
上に、一面に等ピツチの直線状をした第一回折格子が形
成されこの面と相対する側の面にピツチの異なる同心円
状をなす第二回折格子が形成されたデユアルグレーテイ
ングを配設し、このデユアルグレーテイングにより、回
折されて進む１次光の光路上に配置された少なくとも３
分割された第一受光素子と回折されずに直進する０次光
の光路上に配置された少なくとも３分割された第二受光
素子とを有する光情報信号検知器を設けたので、デユア
ルグレーテイングの片面をピツチの異なる曲線形状にし
て１状光に集光させる機能をもたることで０次光及び１
次光の集光点の光軸方向に対する距離間隔を広くとるこ
とができ、これにより３分割された受光素子をもつ光情
報信号検知器の配置を容易に行うことができると云う効
果を有するものである。
レーザ光を光情報記録媒体に照射して情報の記録を行う
と共に、その光情報記録媒体からの反射光を集光レンズ
により集光して光情報検出光学系に導き情報の再生や、
トラツクエラー信号及びフオーカスエラー信号を検出す
る光情報記録再生装置において、前記光情報記録媒体に
より反射され前記集光レンズにより集光された光の光路
上に、一面に等ピツチの直線状をした第一回折格子が形
成されこの面と相対する側の面にピツチの異なる同心円
状をなす第二回折格子が形成されたデユアルグレーテイ
ングを配設し、このデユアルグレーテイングにより、回
折されて進む１次光の光路上に配置された少なくとも３
分割された第一受光素子と回折されずに直進する０次光
の光路上に配置された少なくとも３分割された第二受光
素子とを有する光情報信号検知器を設けたので、デユア
ルグレーテイングの片面をピツチの異なる曲線形状にし
て１状光に集光させる機能をもたることで０次光及び１
次光の集光点の光軸方向に対する距離間隔を広くとるこ
とができ、これにより３分割された受光素子をもつ光情
報信号検知器の配置を容易に行うことができると云う効
果を有するものである。
第１図は本発明の一実施例の基礎となる構成を示す光情
報検出光学系の平面図、第２図（ａ）は第一回折格子の
正面図、第２図（ｂ）はデユアルグレーテイングの側面
図、第２図（ｃ）は第二回折格子の正面図、第３図は光
情報信号検知器の正面図、第４図（ａ）（ｂ）（ｃ）は
フオーカスエラー信号の検出原理を示す説明図、第５図
（ａ）は本発明の一実施例を示す第一回折格子の正面
図、第５図（ｂ）はそのデユアルグレーテイングの側面
図、第５図（ｃ）はその第二回折格子の正面図、第６図
は第一の従来例を示す平面図、第７図（ａ）は第二の従
来例を示す平面図、第７図（ｂ）はその各種信号の検出
回路を示す回路図である。 22……デユアルグレーテイング、23……集光レンズ、24
……第一回折格子、27……第一受光素子、28……第二受
光素子、29……光情報信号検知器、30……第二回折格
子、Ｋ……１次光、Ｔ……０次光
報検出光学系の平面図、第２図（ａ）は第一回折格子の
正面図、第２図（ｂ）はデユアルグレーテイングの側面
図、第２図（ｃ）は第二回折格子の正面図、第３図は光
情報信号検知器の正面図、第４図（ａ）（ｂ）（ｃ）は
フオーカスエラー信号の検出原理を示す説明図、第５図
（ａ）は本発明の一実施例を示す第一回折格子の正面
図、第５図（ｂ）はそのデユアルグレーテイングの側面
図、第５図（ｃ）はその第二回折格子の正面図、第６図
は第一の従来例を示す平面図、第７図（ａ）は第二の従
来例を示す平面図、第７図（ｂ）はその各種信号の検出
回路を示す回路図である。 22……デユアルグレーテイング、23……集光レンズ、24
……第一回折格子、27……第一受光素子、28……第二受
光素子、29……光情報信号検知器、30……第二回折格
子、Ｋ……１次光、Ｔ……０次光
Claims (1)
- 【請求項１】半導体レーザから出射されたレーザ光を光
情報記録媒体に照射して情報の記録を行うと共に、その
光情報記録媒体からの反射光を集光レンズにより集光し
て光情報検出光学系に導き情報の再生や、トラツクエラ
ー信号及びフオーカスエラー信号を検出する光情報記録
再生装置において、前記光情報記録媒体により反射され
前記集光レンズにより集光された光の光路上に、一面に
等ピツチの直線状をした第一回折格子が形成されこの面
と相対する側の面にピツチの異なる同心円状をなす第二
回折格子が形成されたデユアルグレーテイングを配設
し、このデユアルグレーテイングにより、回折されて進
む１次光の光路上に配置された少なくとも３分割された
第一受光素子と回折されずに直進する０次光の光路上に
配置された少なくとも３分割された第二受光素子とを有
する光情報信号検知器を設けたことを特徴とする光情報
記録再生装置。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63325295A JP2744448B2 (ja) | 1988-12-23 | 1988-12-23 | 光情報記録再生装置 |
| US07/454,366 US5015835A (en) | 1988-12-23 | 1989-12-21 | Optical information reading and writing device with diffraction means |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63325295A JP2744448B2 (ja) | 1988-12-23 | 1988-12-23 | 光情報記録再生装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02172030A JPH02172030A (ja) | 1990-07-03 |
| JP2744448B2 true JP2744448B2 (ja) | 1998-04-28 |
Family
ID=18175220
Family Applications (1)
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|---|---|---|---|
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| JP (1) | JP2744448B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
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|---|---|---|---|---|
| JP2761180B2 (ja) * | 1993-06-30 | 1998-06-04 | 株式会社リコー | 微小変位測定装置及び光ピックアップ装置 |
Citations (1)
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|---|---|---|---|---|
| JPS63209029A (ja) * | 1987-02-25 | 1988-08-30 | Fujitsu Ltd | 光ピツクアツプ装置 |
-
1988
- 1988-12-23 JP JP63325295A patent/JP2744448B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (1)
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|---|---|---|---|---|
| JPS63209029A (ja) * | 1987-02-25 | 1988-08-30 | Fujitsu Ltd | 光ピツクアツプ装置 |
Also Published As
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|---|---|
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