JP2734013B2 - 断熱方法 - Google Patents
断熱方法Info
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Description
関する。
半導体、炭素材料などの分野で1,500℃を超える温度で
熱処理をするような高温炉が多く使用されるようになっ
た。これらは黒鉛などのヒーターによる抵抗加熱法、あ
るいは、高周波を用いて黒鉛ルツボを発熱させる高周波
誘導加熱法により被加熱物を加熱する方法が一般的であ
る。熱処理の際の炉内の雰囲気は被加熱物にもよるが、
通常は窒素ガス、アルゴンガスなどを用いて不活性ガス
雰囲気とする。そして、断熱材には、高温下でも、耐え
うるような炭素繊維を主成分とするカーボンファイバー
(CF)断熱材等の炭素質断熱材や、“アルミナイファイ
バー”、“セラミックファイバー”などの名称で呼ばれ
ているアルミナとシリカを主成分とする繊維などからな
る断熱材などが使用される。一般に、たとえばCF断熱材
は3,000℃近くアルミナ/シリカ系断熱材は、アルミナ
の比率増加により高くなるが、1,700〜1,800℃までの高
温に対して使用されている。
等の炭素質断熱材よりもアルミナ/シリカ系断熱材を使
って経済的負担を少なくする方法がとられているが、1,
500℃以上の熱処理を不活性雰囲気下で行なう高温処理
炉では、通常、CF断熱材等の炭素質断熱材が多用されて
いる。これは、不活性雰囲気下で炭素が3,000℃位まで
安定であるためである。しかしながら、炭素質断熱材は
高価であり、かつ、熱処理回数に応じて徐々に消耗など
が起こり、断熱性能が低下するため、一定期間後に取り
かえる必要があり、経済的負担が大きいことが一般に知
られている。
質断熱材、この炭素質断熱材の外側のより低温部に1,60
0〜1,700℃の耐熱温度をもつより安価なアルミナ/シリ
カ系断熱材を配置して炭素質断熱材の使用量(断熱材の
厚み)を減らし断熱材を経済的に安くすることを試み
た。しかしながら、炭素質断熱材の外側をアルミナ/シ
リカ系断熱材で覆って、被加熱物を2,000℃以上に高周
波加熱した際、二つの断熱材の接触面に炭素とアルミナ
もしくはシリカが反応して生成したと考えられる綿状の
物質が生成し、熱処理回数に応じて増えるため、断熱材
としての使用上、耐久性の点で問題があることがわかっ
た。この現象は炭素質断熱材の外側のアルミナ/シリカ
系断熱材に面した側の温度をアルミナ/シリカ系断熱材
の耐熱温度より低い1,400℃としても、また、炭素質断
熱材とアルミナ/シリカ系断熱材の間に間隔を置いても
見られ、事実上断熱材としての使用は難しいことがわか
った。
ルミナ/シリカ系断熱材を組合わせて使用する場合には
その高温炉で使用する最高加熱温度において炭素質断熱
材のアルミナ/シリカ系断熱材に面する側の温度を1,30
0℃以下とすれば、その接触の有無にかかわらずこの現
象が起きないことを見出し本発明にしたった。
する断熱材として被加熱物に面する高温側に炭素質断熱
材、その外側にアルミナ/シリカ系断熱材を組合わせて
使用するに際して、炭素質断熱機材に面するアルミナ/
シリカ系断熱材部の最高温度を1,000℃以上1,300℃以下
となるように組み合わせて使用することを特徴とする断
熱方法にある。
である前述の各種高温炉が挙げられる。
しては、CF断熱材のほか、泡状の気孔を有するフオーム
状炭素質断熱材等の非繊維状の炭素質断熱材が挙げら
れ、黒鉛質のものであってもよい。
とシリカを種々の比率で含むものが用いられ、たとえば
“アルミナファイバー”“セラミックファイバー”など
の名称で呼ばれているアルミナとシリカを主成分とする
繊維等よりなる断熱材が好適に使用される。
材の形態は制限されず、たとえば、フエルト状、ペーパ
ー状、ボード状などが挙げられる。
面するアルミナ/シリカ系断熱材部の最高加熱温度を1,
000℃以上1,300℃以下となるように組み合わせて使用す
る。
一方1,000℃未満であるとコスト的にアルミナ/シリカ
系断熱材を用いる意味を実質的に失なうことになる。
さ、最高使用温度等により炭素質断熱材の厚みを調整す
ることにより行なうことができる。
が、本発明はこれらの実施例に限定されるものではな
い。なお、実験に用いたアルミナファイバーボードは、
単独で実験条件の温度に保持した場合でも、バインダー
の消失などにより重量減があるので、以下の実施例にお
ける重量減は、単独で保持した場合の重量減を差引いて
表示した。
00℃、最高使用温度1,600℃、嵩密度0.18g/cm3の結晶質
のAl2O3を主体とするアルミナ/シリカ系断熱ボード
(“アルミナファイバーボード”)を嵩密度0.16g/cm3
のCF成形断熱材上部に設置し、Arガス雰囲気下、1,300
℃又は1,400℃にてそれぞれ4時間加熱保持し冷却し
た。又、上記の各断熱材を1,600℃にて1時間加熱保持
し冷却した。冷却後の前記各断熱材の重量変化結果を表
−1に示す。1,400℃及び1,600℃で加熱保持したもの
は、冷却後取り出したCF断熱材は周辺が白くコーティン
グされており、Al2O3を主体とする断熱ボードのCF断熱
材接触面側を観察したところ、ファイバーの脆化が観察
された。この結果は両者を接触させても、約10mmの間隔
を置いても同様であった。
00℃、最高使用温度1,800℃、嵩密度0.70g/cm3の結晶質
のAl2O3を主体とするアルミナ/シリカ系断熱ボード
(“アルミナファイバーボード)を嵩密度0.16g/cm3のC
F成形断熱材上部に設置しArガス雰囲気下1,000℃、1,30
0℃又は1,400℃の各温度にて、それぞれ4時間加熱保持
したのち冷却した。冷却後の前記各断熱材の重量変化結
果を表−2に示す。尚、1,400℃にて4時間加熱保持し
たものは冷却後取り出したCF断熱材は実施例−1と同様
な現象が見られた。
も殆んど同様であった。
以上、好ましくは2,000℃以上に加熱する高温炉に使う
断熱材としてカーボンファイバー断熱材等の炭素質断熱
材とアルミナ/シリカ系断熱材を組みあわせた有利な断
熱方法を提供しようとするものである。本方法によれ
ば、炭素質断熱材のみの断熱性能により断熱するよりも
安価なアルミナ/シリカ系断熱材を組合わせているため
に経済的に安くなる。また、断熱材の交換に際し、より
高温側にある炭素質断熱材のみを交換すれば良く高温炉
の運転経費を安くできるので有利である。
Claims (1)
- 【請求項1】非酸化性雰囲気下で高温炉の断熱材とし
て、被加熱物に面する高温側の炭素質断熱材とその外側
のアルミナ/シリカ系断熱材を組合わせて使用する際、
炭素質断熱材に面するアルミナ/シリカ系断熱材部の最
高加熱温度が1,000℃以上1,300℃以下となるように組み
合わせて使用することを特徴とする断熱方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP26877088A JP2734013B2 (ja) | 1988-10-25 | 1988-10-25 | 断熱方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP26877088A JP2734013B2 (ja) | 1988-10-25 | 1988-10-25 | 断熱方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH02115689A JPH02115689A (ja) | 1990-04-27 |
JP2734013B2 true JP2734013B2 (ja) | 1998-03-30 |
Family
ID=17463062
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP26877088A Expired - Lifetime JP2734013B2 (ja) | 1988-10-25 | 1988-10-25 | 断熱方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2734013B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4926445B2 (ja) * | 2004-10-21 | 2012-05-09 | 新日鐵化学株式会社 | 黒鉛材料耐酸化処理炉および黒鉛材料の耐酸化処理方法 |
JP4782537B2 (ja) * | 2004-10-21 | 2011-09-28 | 新日鐵化学株式会社 | 炭素材料焼成炉および炭素材料の焼成方法 |
-
1988
- 1988-10-25 JP JP26877088A patent/JP2734013B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH02115689A (ja) | 1990-04-27 |
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