JP2730361B2 - 表面電位検出装置 - Google Patents
表面電位検出装置Info
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- JP2730361B2 JP2730361B2 JP3316202A JP31620291A JP2730361B2 JP 2730361 B2 JP2730361 B2 JP 2730361B2 JP 3316202 A JP3316202 A JP 3316202A JP 31620291 A JP31620291 A JP 31620291A JP 2730361 B2 JP2730361 B2 JP 2730361B2
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、物体の表面電位を非接
触状態で検出するための表面電位検出装置（以下、電位
センサという）に係り、特には、振動容量型といわれる
電位センサに関する。
触状態で検出するための表面電位検出装置（以下、電位
センサという）に係り、特には、振動容量型といわれる
電位センサに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来から、複写機やプリンタの感光体ド
ラムなどの表面電位を検出する際に用いられる電位セン
サのうちには、図１及び図２で示すように構成されて振
動容量型といわれるものがある。すなわち、この振動容
量型といわれる電位センサは、圧電音叉１と、回路基板
２と、これらを収納する導電性ケース３とを備えたもの
であり、この回路基板２上には、図３で示すように構成
されて単電源型といわれる音叉駆動回路５や各種の信号
処理回路（図示していない）が組みつけられている。
ラムなどの表面電位を検出する際に用いられる電位セン
サのうちには、図１及び図２で示すように構成されて振
動容量型といわれるものがある。すなわち、この振動容
量型といわれる電位センサは、圧電音叉１と、回路基板
２と、これらを収納する導電性ケース３とを備えたもの
であり、この回路基板２上には、図３で示すように構成
されて単電源型といわれる音叉駆動回路５や各種の信号
処理回路（図示していない）が組みつけられている。
【０００３】そして、被検出面Ｓと対面する導電性ケー
ス３の所定部位には開口窓部３ａが形成されており、こ
の開口窓部３ａを介して被検出面Ｓと対面する圧電音叉
１の外側に位置する脚部１ａの自由端側外面にはフレキ
シブル基板６を介して検出電極７が貼着されている。そ
こで、この検出電極７に対しては、被検出面Ｓから放射
された電気力線が開口窓部３ａを通ったうえで入射する
ことになる。
ス３の所定部位には開口窓部３ａが形成されており、こ
の開口窓部３ａを介して被検出面Ｓと対面する圧電音叉
１の外側に位置する脚部１ａの自由端側外面にはフレキ
シブル基板６を介して検出電極７が貼着されている。そ
こで、この検出電極７に対しては、被検出面Ｓから放射
された電気力線が開口窓部３ａを通ったうえで入射する
ことになる。
【０００４】また、この圧電音叉１の脚部１ａ，１ｂそ
れぞれの基端側内面には、これらを開閉操作するための
圧電セラミックス振動子８，９が貼着されており、その
外側に位置する脚部１ａに貼着された圧電セラミックス
振動子８には音叉駆動回路５の駆動電極５ａが接続され
る一方、圧電音叉１の内側に位置する脚部１ｂに貼着さ
れた圧電セラミックス振動子９には、同じ音叉駆動回路
５のフィードバック電極５ｂが接続されている。なお、
この駆動電極５ａからは、図４で示すような波形の出力
電圧が出力されることになる。
れぞれの基端側内面には、これらを開閉操作するための
圧電セラミックス振動子８，９が貼着されており、その
外側に位置する脚部１ａに貼着された圧電セラミックス
振動子８には音叉駆動回路５の駆動電極５ａが接続され
る一方、圧電音叉１の内側に位置する脚部１ｂに貼着さ
れた圧電セラミックス振動子９には、同じ音叉駆動回路
５のフィードバック電極５ｂが接続されている。なお、
この駆動電極５ａからは、図４で示すような波形の出力
電圧が出力されることになる。
【０００５】したがって、音叉駆動回路５からの出力に
よって圧電音叉１を駆動させると、その外側に位置する
脚部１ａに貼着された検出電極７が被検出面Ｓと対面し
ながらその法線方向に沿って振動することになり、表面
電位をもつ被検出面Ｓと検出電極７との間で振動容量コ
ンデンサが形成される。そして、このとき、被検出面Ｓ
の表面電位によって発生した電界は検出電極７にコンデ
ンサ容量と表面電位に応じた電荷を誘起することにな
り、この検出電極７には表面電位に比例した交流電流が
流れることになる結果、被検出面Ｓの表面電位が被検出
電圧として検出されることになる。
よって圧電音叉１を駆動させると、その外側に位置する
脚部１ａに貼着された検出電極７が被検出面Ｓと対面し
ながらその法線方向に沿って振動することになり、表面
電位をもつ被検出面Ｓと検出電極７との間で振動容量コ
ンデンサが形成される。そして、このとき、被検出面Ｓ
の表面電位によって発生した電界は検出電極７にコンデ
ンサ容量と表面電位に応じた電荷を誘起することにな
り、この検出電極７には表面電位に比例した交流電流が
流れることになる結果、被検出面Ｓの表面電位が被検出
電圧として検出されることになる。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】ところで、前記従来構
造とされた電位センサを用いて被検出面Ｓの表面電位を
検出した際におけるセンサ出力電圧と被検出電圧との関
係を精査してみると、図５で示すように、両電圧の相関
関係を示す線図の原点付近で被検出電圧のリニアリティ
（直線性）が急激に悪化しており、被検出電圧が低電位
である場合ほど検出誤差が大きく現れることが明らかと
なった。そこで、このようなリニアリティの悪化が生じ
る原因について発明者が種々検討したところ、音叉駆動
回路５、特には、その駆動電極５ａで発生した電磁ノイ
ズが検出電極７に混入することに起因してリニアリティ
の悪化が生じるのであり、駆動電極５ａの出力電圧が高
い場合ほど大きな電磁ノイズが発生することが判明し
た。
造とされた電位センサを用いて被検出面Ｓの表面電位を
検出した際におけるセンサ出力電圧と被検出電圧との関
係を精査してみると、図５で示すように、両電圧の相関
関係を示す線図の原点付近で被検出電圧のリニアリティ
（直線性）が急激に悪化しており、被検出電圧が低電位
である場合ほど検出誤差が大きく現れることが明らかと
なった。そこで、このようなリニアリティの悪化が生じ
る原因について発明者が種々検討したところ、音叉駆動
回路５、特には、その駆動電極５ａで発生した電磁ノイ
ズが検出電極７に混入することに起因してリニアリティ
の悪化が生じるのであり、駆動電極５ａの出力電圧が高
い場合ほど大きな電磁ノイズが発生することが判明し
た。
【０００７】そして、発明者がさらに調査したところに
よれば、従来の電位センサにおいては、駆動電極５ａの
出力電圧が高ければ圧電音叉１を閉じるように変位し、
また、駆動電極５ａの出力電圧が低ければ圧電音叉１を
開くように変位する圧電セラミックス振動子８，９が圧
電音叉１の脚部１ａ，１ｂに貼着されている場合のある
ことが分かった。すなわち、このようになっていると、
駆動電極５ａの出力電圧が高くなるほど圧電音叉１の外
側に位置する脚部１ａが駆動電極５ａに近づくことにな
り、この脚部１ａに貼着された検出電極７に対して電磁
ノイズが混入しやすくなる結果、ますますリニアリティ
の悪化が増大することになってしまう。
よれば、従来の電位センサにおいては、駆動電極５ａの
出力電圧が高ければ圧電音叉１を閉じるように変位し、
また、駆動電極５ａの出力電圧が低ければ圧電音叉１を
開くように変位する圧電セラミックス振動子８，９が圧
電音叉１の脚部１ａ，１ｂに貼着されている場合のある
ことが分かった。すなわち、このようになっていると、
駆動電極５ａの出力電圧が高くなるほど圧電音叉１の外
側に位置する脚部１ａが駆動電極５ａに近づくことにな
り、この脚部１ａに貼着された検出電極７に対して電磁
ノイズが混入しやすくなる結果、ますますリニアリティ
の悪化が増大することになってしまう。
【０００８】本発明は、このような知見に基づいて創案
されたものであって、被検出電圧のリニアリティを改善
することができ、検出誤差の低減化を図ることができる
電位センサの提供を目的としている。
されたものであって、被検出電圧のリニアリティを改善
することができ、検出誤差の低減化を図ることができる
電位センサの提供を目的としている。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明は、このような目
的を達成するために、回路基板と平行で、かつ被検出面
の法線方向に沿って振動するよう基端部が支持台を介し
たうえで回路基板に固定された圧電音叉と、同一極性の
高電圧と低電圧とを交互に出力して圧電音叉を駆動する
音叉駆動回路とを備えており、圧電音叉の脚部それぞれ
に貼着された圧電セラミックス振動子の一方には音叉駆
動回路の駆動電極が接続され、かつ、駆動電極と被検出
面との間の上記法線方向に沿った間隔が、検出電極と被
検出面との間の上記法線方向に沿った間隔よりも長く設
定された表面電位検出装置において、圧電セラミックス
振動子は、駆動電極の出力電圧が高ければ圧電音叉を開
くように、また、低ければ圧電音叉を閉じるように変位
するものであることを特徴としている。
的を達成するために、回路基板と平行で、かつ被検出面
の法線方向に沿って振動するよう基端部が支持台を介し
たうえで回路基板に固定された圧電音叉と、同一極性の
高電圧と低電圧とを交互に出力して圧電音叉を駆動する
音叉駆動回路とを備えており、圧電音叉の脚部それぞれ
に貼着された圧電セラミックス振動子の一方には音叉駆
動回路の駆動電極が接続され、かつ、駆動電極と被検出
面との間の上記法線方向に沿った間隔が、検出電極と被
検出面との間の上記法線方向に沿った間隔よりも長く設
定された表面電位検出装置において、圧電セラミックス
振動子は、駆動電極の出力電圧が高ければ圧電音叉を開
くように、また、低ければ圧電音叉を閉じるように変位
するものであることを特徴としている。
【００１０】
【作用】上記構成によれば、駆動電極の出力電圧が高け
れば圧電音叉の脚部それぞれは開くことになり、検出電
極はこれが貼着された脚部とともに駆動電極から遠ざか
ることになるから、この検出電極に対しては駆動電極で
発生した電磁ノイズが混入しにくくなる。また、駆動電
極の出力電圧が低い場合には、圧電音叉の脚部が閉じる
ことによって検出電極が駆動電極に近づくことになる
が、この場合には、駆動電極で発生する電磁ノイズ自体
が小さいのであるから、この電磁ノイズが検出電極に混
入しても大きな悪影響は生じないことになる。
れば圧電音叉の脚部それぞれは開くことになり、検出電
極はこれが貼着された脚部とともに駆動電極から遠ざか
ることになるから、この検出電極に対しては駆動電極で
発生した電磁ノイズが混入しにくくなる。また、駆動電
極の出力電圧が低い場合には、圧電音叉の脚部が閉じる
ことによって検出電極が駆動電極に近づくことになる
が、この場合には、駆動電極で発生する電磁ノイズ自体
が小さいのであるから、この電磁ノイズが検出電極に混
入しても大きな悪影響は生じないことになる。
【００１１】
【実施例】以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明
する。
する。
【００１２】図１は本実施例にかかる電位センサの構造
を簡略化して示す一部破断平面図、図２はその要部構造
を拡大して示す断面図であり、図３はその音叉駆動回路
の構成を示す等価回路図である。なお、本実施例にかか
る電位センサの基本構造は従来例と異なっておらず、こ
れを構成する圧電セラミックス振動子の変位方向が異な
るのみであるから、従来例と同一の図１ないし図３に基
づいて本実施例の説明を行うこととする。
を簡略化して示す一部破断平面図、図２はその要部構造
を拡大して示す断面図であり、図３はその音叉駆動回路
の構成を示す等価回路図である。なお、本実施例にかか
る電位センサの基本構造は従来例と異なっておらず、こ
れを構成する圧電セラミックス振動子の変位方向が異な
るのみであるから、従来例と同一の図１ないし図３に基
づいて本実施例の説明を行うこととする。
【００１３】本実施例にかかる電位センサは振動容量型
といわれるものであり、この電位センサは、回路基板２
と平行で、かつ被検出面Ｓの法線方向に沿って振動する
圧電音叉１と、これを駆動する単電源型の音叉駆動回路
５や各種の信号処理回路（図示していない）が組みつけ
られた回路基板２と、アルミニウムなどからなる箱型の
導電性ケース３とを備えており、圧電音叉１及び回路基
板２のそれぞれは導電性ケース３内に位置決めしたうえ
で収納されている。なお、回路基板２上に配設される信
号処理回路としては、圧電音叉１を駆動するための音叉
駆動回路５のほか、ソースフォロワ回路、バンドパスフ
ィルタ／増幅回路、整流回路、電源回路及び増幅／オフ
セット調整回路などがあり、音叉駆動回路５の駆動電極
５ａからは図４で示すような波形、つまり、同一極性の
高電圧Ｈと低電圧Ｌとが交互に繰り返される波形の出力
電圧が圧電音叉１を駆動すべく出力されていることは従
来例と同様である。
といわれるものであり、この電位センサは、回路基板２
と平行で、かつ被検出面Ｓの法線方向に沿って振動する
圧電音叉１と、これを駆動する単電源型の音叉駆動回路
５や各種の信号処理回路（図示していない）が組みつけ
られた回路基板２と、アルミニウムなどからなる箱型の
導電性ケース３とを備えており、圧電音叉１及び回路基
板２のそれぞれは導電性ケース３内に位置決めしたうえ
で収納されている。なお、回路基板２上に配設される信
号処理回路としては、圧電音叉１を駆動するための音叉
駆動回路５のほか、ソースフォロワ回路、バンドパスフ
ィルタ／増幅回路、整流回路、電源回路及び増幅／オフ
セット調整回路などがあり、音叉駆動回路５の駆動電極
５ａからは図４で示すような波形、つまり、同一極性の
高電圧Ｈと低電圧Ｌとが交互に繰り返される波形の出力
電圧が圧電音叉１を駆動すべく出力されていることは従
来例と同様である。
【００１４】また、この回路基板２の所定位置には略Ｕ
字形とされた圧電音叉１の基端部が支持台１５を介して
固定されており、この圧電音叉１の脚部１ａ，１ｂのう
ちの外側、すなわち、被検出面Ｓ側に位置する脚部１ａ
の自由端側外面にはフレキシブル基板６を介して検出電
極７が貼着されている。そして、この検出電極７は、ソ
ースフォロワ回路（図示していない）のゲート電極１１
に接続されている。さらに、この検出電極７と対向する
導電性ケース３の所定部位には、被検出面Ｓと対面する
開口窓部３ａが形成されている。そこで、この開口窓部
３ａを介して被検出面Ｓと対面することになる検出電極
７には、被検出面Ｓからの電気力線が開口窓部３ａを通
って入射することになる。なお、この際における駆動電
極５ａと被検出面Ｓとの間の前記法線方向に沿った間隔
は、検出電極７と被検出面Ｓとの間の前記法線方向に沿
った間隔よりも長く設定されている。
字形とされた圧電音叉１の基端部が支持台１５を介して
固定されており、この圧電音叉１の脚部１ａ，１ｂのう
ちの外側、すなわち、被検出面Ｓ側に位置する脚部１ａ
の自由端側外面にはフレキシブル基板６を介して検出電
極７が貼着されている。そして、この検出電極７は、ソ
ースフォロワ回路（図示していない）のゲート電極１１
に接続されている。さらに、この検出電極７と対向する
導電性ケース３の所定部位には、被検出面Ｓと対面する
開口窓部３ａが形成されている。そこで、この開口窓部
３ａを介して被検出面Ｓと対面することになる検出電極
７には、被検出面Ｓからの電気力線が開口窓部３ａを通
って入射することになる。なお、この際における駆動電
極５ａと被検出面Ｓとの間の前記法線方向に沿った間隔
は、検出電極７と被検出面Ｓとの間の前記法線方向に沿
った間隔よりも長く設定されている。
【００１５】さらに、この圧電音叉１の脚部１ａ，１ｂ
それぞれの基端側内面には圧電セラミックス振動子８，
９が貼着されており、圧電セラミックス振動子８には音
叉駆動回路５の駆動電極５ａが接続される一方、圧電セ
ラミックス振動子９には同じ音叉駆動回路５のフィード
バック電極５ｂが接続されている。なお、ここで、圧電
セラミックス振動子８にはフィードバック電極５ｂが接
続され、また、圧電セラミックス振動子９には駆動電極
５ａが接続されていても同様であることは勿論である。
そして、これらの圧電セラミックス振動子８，９は、駆
動電極５ａの出力電圧が高ければ圧電音叉１を開くよう
に、また、駆動電極５ａの出力電圧が低ければ圧電音叉
１を閉じるように変位するよう分極方向などが予め調整
されている。
それぞれの基端側内面には圧電セラミックス振動子８，
９が貼着されており、圧電セラミックス振動子８には音
叉駆動回路５の駆動電極５ａが接続される一方、圧電セ
ラミックス振動子９には同じ音叉駆動回路５のフィード
バック電極５ｂが接続されている。なお、ここで、圧電
セラミックス振動子８にはフィードバック電極５ｂが接
続され、また、圧電セラミックス振動子９には駆動電極
５ａが接続されていても同様であることは勿論である。
そして、これらの圧電セラミックス振動子８，９は、駆
動電極５ａの出力電圧が高ければ圧電音叉１を開くよう
に、また、駆動電極５ａの出力電圧が低ければ圧電音叉
１を閉じるように変位するよう分極方向などが予め調整
されている。
【００１６】したがって、音叉駆動回路５からの出力に
よって圧電音叉１を駆動させると、その外側に位置する
脚部１ａに貼着された検出電極７は被検出面Ｓと対面し
ながらその法線方向に沿って振動することになる結果、
被検出面Ｓの表面電位が被検出電圧として検出されるこ
とになる。そして、このとき、駆動電極５ａの出力電圧
が高ければ圧電音叉１の脚部１ａ，１ｂそれぞれは開く
ことになり、検出電極７はこれが貼着された脚部１ａと
ともに駆動電極５ａから遠ざかることになるから、この
検出電極７に対しては駆動電極５ａで発生した電磁ノイ
ズが混入しにくくなる。また、駆動電極５ａの出力電圧
が低い場合には、圧電音叉１の脚部１ａ，１ｂが閉じる
ことによって検出電極７が駆動電極５ａに近づくことに
なるが、この場合には、駆動電極５ａで発生する電磁ノ
イズ自体が小さいのであるから、この電磁ノイズが検出
電極７に混入しても大きな悪影響は生じないことにな
る。
よって圧電音叉１を駆動させると、その外側に位置する
脚部１ａに貼着された検出電極７は被検出面Ｓと対面し
ながらその法線方向に沿って振動することになる結果、
被検出面Ｓの表面電位が被検出電圧として検出されるこ
とになる。そして、このとき、駆動電極５ａの出力電圧
が高ければ圧電音叉１の脚部１ａ，１ｂそれぞれは開く
ことになり、検出電極７はこれが貼着された脚部１ａと
ともに駆動電極５ａから遠ざかることになるから、この
検出電極７に対しては駆動電極５ａで発生した電磁ノイ
ズが混入しにくくなる。また、駆動電極５ａの出力電圧
が低い場合には、圧電音叉１の脚部１ａ，１ｂが閉じる
ことによって検出電極７が駆動電極５ａに近づくことに
なるが、この場合には、駆動電極５ａで発生する電磁ノ
イズ自体が小さいのであるから、この電磁ノイズが検出
電極７に混入しても大きな悪影響は生じないことにな
る。
【００１７】ところで、本発明の発明者が本実施例に係
る電位センサの特性試験を実施してみたところ、被検出
電圧が５０ｖである場合のリニアリティが１％程度改善
されることが確認されている。すなわち、本実施例に係
る電位センサを用いた場合であっても、センサ出力電圧
と被検出電圧との間には図５で示したと同様の相関関係
がみられるのであるが、両電圧の相関関係を示す線図の
原点付近における被検出電圧のリニアリティは従来例よ
りも改善されることになるのである。なお、このリニア
リティは（Ｖ1−Ｖ0）／Ｖ0×１００％という式によっ
て表されるものであり、Ｖ0は図５中の被検出電圧１０
０Ｖ時のセンサ出力電圧ａと、被検出電圧８００Ｖ時の
センサ出力電圧ｂの出力電圧値を用いてセンサの特性を
直線近似した際の被検出電圧５０Ｖ時の仮想的な出力電
圧値を示し、また、Ｖ1は被検出電圧５０Ｖ時の実際的
な出力電圧値を示している。
る電位センサの特性試験を実施してみたところ、被検出
電圧が５０ｖである場合のリニアリティが１％程度改善
されることが確認されている。すなわち、本実施例に係
る電位センサを用いた場合であっても、センサ出力電圧
と被検出電圧との間には図５で示したと同様の相関関係
がみられるのであるが、両電圧の相関関係を示す線図の
原点付近における被検出電圧のリニアリティは従来例よ
りも改善されることになるのである。なお、このリニア
リティは（Ｖ1−Ｖ0）／Ｖ0×１００％という式によっ
て表されるものであり、Ｖ0は図５中の被検出電圧１０
０Ｖ時のセンサ出力電圧ａと、被検出電圧８００Ｖ時の
センサ出力電圧ｂの出力電圧値を用いてセンサの特性を
直線近似した際の被検出電圧５０Ｖ時の仮想的な出力電
圧値を示し、また、Ｖ1は被検出電圧５０Ｖ時の実際的
な出力電圧値を示している。
【００１８】
【発明の効果】以上説明したように、本発明に係る電位
センサにおいては、圧電音叉の脚部それぞれに貼着され
た圧電セラミックス振動子を駆動電極の出力電圧が高け
れば圧電音叉を開くように、また、低ければ圧電音叉を
閉じるように変位するものとしている。そこで、駆動電
極の出力電圧が高ければ圧電音叉の脚部に貼着された検
出電極は駆動電極から遠ざかることになり、この検出電
極に対しては駆動電極で発生した電磁ノイズが混入しに
くくなる。また、駆動電極の出力電圧が低い場合には、
圧電音叉の脚部が閉じることによって検出電極が駆動電
極に近づくことになるが、この場合には、駆動電極で発
生する電磁ノイズ自体が小さいのであるから、この電磁
ノイズが検出電極に混入しても大きな悪影響は生じない
ことになる。
センサにおいては、圧電音叉の脚部それぞれに貼着され
た圧電セラミックス振動子を駆動電極の出力電圧が高け
れば圧電音叉を開くように、また、低ければ圧電音叉を
閉じるように変位するものとしている。そこで、駆動電
極の出力電圧が高ければ圧電音叉の脚部に貼着された検
出電極は駆動電極から遠ざかることになり、この検出電
極に対しては駆動電極で発生した電磁ノイズが混入しに
くくなる。また、駆動電極の出力電圧が低い場合には、
圧電音叉の脚部が閉じることによって検出電極が駆動電
極に近づくことになるが、この場合には、駆動電極で発
生する電磁ノイズ自体が小さいのであるから、この電磁
ノイズが検出電極に混入しても大きな悪影響は生じない
ことになる。
【００１９】その結果、本発明に係る電位センサによれ
ば、これによって非接触状態で検出される被検出物体の
表面電位を示す被検出電圧のリニアリティを改善するこ
とができ、この被検出電圧が低電位である場合に大きく
現れることになる検出誤差の低減化を図ることができる
という効果が得られる。
ば、これによって非接触状態で検出される被検出物体の
表面電位を示す被検出電圧のリニアリティを改善するこ
とができ、この被検出電圧が低電位である場合に大きく
現れることになる検出誤差の低減化を図ることができる
という効果が得られる。
【図１】本実施例及び従来例に係る電位センサの構造を
簡略化して示す一部破断平面図である。
簡略化して示す一部破断平面図である。
【図２】本実施例及び従来例に係る電位センサの要部構
造を拡大して示す断面図である。
造を拡大して示す断面図である。
【図３】本実施例及び従来例に係る音叉駆動回路の構成
を示す等価回路図である。
を示す等価回路図である。
【図４】本実施例及び従来例に係る音叉駆動回路の駆動
電極からの出力電圧の波形を示す特性図である。
電極からの出力電圧の波形を示す特性図である。
【図５】本実施例及び従来例に係る電位センサの出力電
圧と被検出電圧との関係を示す特性図である。
圧と被検出電圧との関係を示す特性図である。
１ 圧電音叉 １ａ 脚部 １ｂ 脚部 ５ 音叉駆動回路 ５ａ 駆動電極 ８ 圧電セラミックス振動子 ９ 圧電セラミックス振動子 Ｓ 被検出面
Claims (1)
- 【請求項１】 回路基板（２）と平行で、かつ被検出面
（Ｓ）の法線方向に沿って振動するよう基端部が支持台
（１５）を介したうえで回路基板（２）に固定された圧
電音叉（１）と、同一極性の高電圧と低電圧とを交互に
出力して圧電音叉（１）を駆動する音叉駆動回路（５）
とを備えており、圧電音叉（１）の脚部（１ａ，１ｂ）
それぞれに貼着された圧電セラミックス振動子（８，
９）の一方には音叉駆動回路（５）の駆動電極（５ａ）
が接続され、かつ、駆動電極（５ａ）と被検出面（Ｓ）
との間の上記法線方向に沿った間隔が、検出電極（７）
と被検出面（Ｓ）との間の上記法線方向に沿った間隔よ
りも長く設定された表面電位検出装置において、 圧電セラミックス振動子（８，９）は、駆動電極（５
ａ）の出力電圧が高ければ圧電音叉（１）を開くよう
に、また、低ければ圧電音叉（１）を閉じるように変位
するものであることを特徴とする表面電位検出装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3316202A JP2730361B2 (ja) | 1991-11-29 | 1991-11-29 | 表面電位検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3316202A JP2730361B2 (ja) | 1991-11-29 | 1991-11-29 | 表面電位検出装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05149986A JPH05149986A (ja) | 1993-06-15 |
| JP2730361B2 true JP2730361B2 (ja) | 1998-03-25 |
Family
ID=18074436
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3316202A Expired - Lifetime JP2730361B2 (ja) | 1991-11-29 | 1991-11-29 | 表面電位検出装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2730361B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003090852A (ja) * | 2001-09-19 | 2003-03-28 | Tdk Corp | プローブ、及び表面電位検出装置 |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60120267A (ja) * | 1983-12-02 | 1985-06-27 | Murata Mfg Co Ltd | 非接触型表面電位検出装置 |
| JP2591907Y2 (ja) * | 1991-09-24 | 1999-03-10 | 株式会社村田製作所 | 表面電位検出装置 |
-
1991
- 1991-11-29 JP JP3316202A patent/JP2730361B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH05149986A (ja) | 1993-06-15 |
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