JP2728042B2 - 基板アライメント装置 - Google Patents
基板アライメント装置Info
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- JP2728042B2 JP2728042B2 JP23616195A JP23616195A JP2728042B2 JP 2728042 B2 JP2728042 B2 JP 2728042B2 JP 23616195 A JP23616195 A JP 23616195A JP 23616195 A JP23616195 A JP 23616195A JP 2728042 B2 JP2728042 B2 JP 2728042B2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- detecting
- sensors
- alignment device
- sensor
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- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
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- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Length Measuring Devices Characterised By Use Of Acoustic Means (AREA)
- Liquid Crystal (AREA)
- Control Of Conveyors (AREA)
- Attitude Control For Articles On Conveyors (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、基板アライメント
装置に関し、基板からの発塵を防止した基板アライメン
ト装置に関する。
装置に関し、基板からの発塵を防止した基板アライメン
ト装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】カラー液晶装置等の製造過程において、
基板となるガラス板を搬送する際に基板の位置ずれを補
正するために基板アライメント装置が用いられる。図６
は従来の基板アライメント装置を示し、この装置におい
て、基板５はベース１２のテーブル１５に載せられ、基
板５の両側からシリンダ１１を用いて基板５の端面を押
して基板５のアライメントを実施していた。
基板となるガラス板を搬送する際に基板の位置ずれを補
正するために基板アライメント装置が用いられる。図６
は従来の基板アライメント装置を示し、この装置におい
て、基板５はベース１２のテーブル１５に載せられ、基
板５の両側からシリンダ１１を用いて基板５の端面を押
して基板５のアライメントを実施していた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】この従来の基板アライ
メント装置では、シリンダ１１で基板の端面を押して基
板５をアライメントするため、基板５表面側に発塵して
いた。さらに、基板裏面側がテーブル１５面と摺動する
ため発塵により最終製品の歩留まりが悪かった。
メント装置では、シリンダ１１で基板の端面を押して基
板５をアライメントするため、基板５表面側に発塵して
いた。さらに、基板裏面側がテーブル１５面と摺動する
ため発塵により最終製品の歩留まりが悪かった。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明は、上記の点にか
んがみてなされたもので、基板を截置する回転自在の回
転テーブルと、基板の隣り合う２辺のうちの一辺の少な
くとも２箇所において端部の位置を検出するとともに、
他辺の少なくとも１箇所において端部の位置を検出する
検出手段と、前記検出手段からの出力に基づいて基板の
位置および基準方向に対する傾きを計算する手段と、求
められた傾きに応じて前記テーブルを回転させる回転手
段とを備えたことを特徴とする。
んがみてなされたもので、基板を截置する回転自在の回
転テーブルと、基板の隣り合う２辺のうちの一辺の少な
くとも２箇所において端部の位置を検出するとともに、
他辺の少なくとも１箇所において端部の位置を検出する
検出手段と、前記検出手段からの出力に基づいて基板の
位置および基準方向に対する傾きを計算する手段と、求
められた傾きに応じて前記テーブルを回転させる回転手
段とを備えたことを特徴とする。
【０００５】
【発明の実施の形態】次に本発明について図面を参照し
て説明する。図１は本発明の一実施例の装置の全体斜視
図、図２はその一部破断側面図である。本アライメント
装置は、レーザ検出センサＳ１〜Ｓ４と、ベース３と、
レーザ検出センサＳ１〜Ｓ４をベース３に固定するブラ
ケット２と、基板５を載せる回転テーブル６と、ベース
３に固定されるモータ９と、モータ９の回転軸に取り付
けられたプーリ８と、プーリ８の動力を回転テーブル６
に伝達するベルト７と、回転テーブル６の軸を支持して
ベース３に固定するベアリング１０とを備えている。
て説明する。図１は本発明の一実施例の装置の全体斜視
図、図２はその一部破断側面図である。本アライメント
装置は、レーザ検出センサＳ１〜Ｓ４と、ベース３と、
レーザ検出センサＳ１〜Ｓ４をベース３に固定するブラ
ケット２と、基板５を載せる回転テーブル６と、ベース
３に固定されるモータ９と、モータ９の回転軸に取り付
けられたプーリ８と、プーリ８の動力を回転テーブル６
に伝達するベルト７と、回転テーブル６の軸を支持して
ベース３に固定するベアリング１０とを備えている。
【０００６】図３はレーザ検出センサＳ１の拡大図であ
り、レーザ検出センサＳ１はレーザ光を回転多面鏡等を
用いて高速走査する投光部３１と、投光部３１からのレ
ーザ光３３を受光する受光部（例えばＣＣＤ等から成
る）３２とから構成されている。投光部３１と受光部３
２との間に基板５の端部ａが配置される。投光部３１か
らは、受光部３２へ向けて、例えば図３のＹ方向に長さ
３０ｍｍ程度の帯状のレーザ光３３が照射され、この光
が基板５端部ａにより遮断されることにより端部ａの位
置が検出される。
り、レーザ検出センサＳ１はレーザ光を回転多面鏡等を
用いて高速走査する投光部３１と、投光部３１からのレ
ーザ光３３を受光する受光部（例えばＣＣＤ等から成
る）３２とから構成されている。投光部３１と受光部３
２との間に基板５の端部ａが配置される。投光部３１か
らは、受光部３２へ向けて、例えば図３のＹ方向に長さ
３０ｍｍ程度の帯状のレーザ光３３が照射され、この光
が基板５端部ａにより遮断されることにより端部ａの位
置が検出される。
【０００７】他のセンサＳ２〜４についても同様の構成
である。レーザ検出センサＳ１〜Ｓ４は、基板５の隣り
合う２辺ａ，ｂのうち、一辺ａに沿ってＳ１，Ｓ２が配
置され、他辺ｂに沿ってＳ３，Ｓ４が配置されている。
レーザ検出センサＳ１〜Ｓ４としては、例えば、キーエ
ンス社製の「レーザ判別センサ、ＬＸ２シリーズ」等を
使用することができる。
である。レーザ検出センサＳ１〜Ｓ４は、基板５の隣り
合う２辺ａ，ｂのうち、一辺ａに沿ってＳ１，Ｓ２が配
置され、他辺ｂに沿ってＳ３，Ｓ４が配置されている。
レーザ検出センサＳ１〜Ｓ４としては、例えば、キーエ
ンス社製の「レーザ判別センサ、ＬＸ２シリーズ」等を
使用することができる。
【０００８】図４は本装置の回路構成のブロック図であ
る。センサＳ１〜Ｓ４からの信号は入力部４１を介して
ＣＰＵ４２へ入力される。ＣＰＵ４２においては、セン
サからの信号に基づいて、基板５の位置（ｘ，ｙ）およ
び基準方向（実施例ではＹ方向）に対する傾き（θ）を
計算する。すなわち、センサＳ１，Ｓ２はベース３に所
定距離だけ隔てられて固定され、センサＳ１，Ｓ２によ
って基板５の端部２箇所の位置を検出すれば、その２点
の位置から基板５の一辺ａのＹ方向に対する傾きθが計
算できるわけである。
る。センサＳ１〜Ｓ４からの信号は入力部４１を介して
ＣＰＵ４２へ入力される。ＣＰＵ４２においては、セン
サからの信号に基づいて、基板５の位置（ｘ，ｙ）およ
び基準方向（実施例ではＹ方向）に対する傾き（θ）を
計算する。すなわち、センサＳ１，Ｓ２はベース３に所
定距離だけ隔てられて固定され、センサＳ１，Ｓ２によ
って基板５の端部２箇所の位置を検出すれば、その２点
の位置から基板５の一辺ａのＹ方向に対する傾きθが計
算できるわけである。
【０００９】ＣＰＵ４２の計算結果は、出力部４３を介
してモータ駆動回路４４およびハンドラ駆動回路４５へ
出力される。モータ駆動回路４４は、ＣＰＵ４２から与
えられた傾きθだけ回転テーブル６が回転するようにモ
ータ９を駆動する。また、ハンドラ駆動回路４５は、回
転テーブル６に截置された基板５の裏面を支持して基板
５を次工程へ搬送するハンドラ装置（図示せず）を駆動
する。
してモータ駆動回路４４およびハンドラ駆動回路４５へ
出力される。モータ駆動回路４４は、ＣＰＵ４２から与
えられた傾きθだけ回転テーブル６が回転するようにモ
ータ９を駆動する。また、ハンドラ駆動回路４５は、回
転テーブル６に截置された基板５の裏面を支持して基板
５を次工程へ搬送するハンドラ装置（図示せず）を駆動
する。
【００１０】次に図５のフローチャートを用いて本装置
の動作について説明する。まず、レーザ検出センサＳ
１，Ｓ２からの信号を取り込み（ステップ５０１）、基
板５の辺ａのＹ軸方向に対する傾きθを求める（ステッ
プ５０２）。次に、この傾きθを是正するようにモータ
９が回転される（ステップ５０３）。次いでセンサＳ
１，Ｓ２を再び用い、またＳ３，Ｓ４の値を入力し（ス
テップ５０４）、基板５の位置（ｘ，ｙ）を求める（ス
テップ５０５）。求めた位置（ｘ，ｙ）はハンドラ駆動
回路４５へ出力され（ステップ５０６）、この位置デー
タに基づいてハンドラ装置が駆動されて基板５は次工程
へ搬送される。
の動作について説明する。まず、レーザ検出センサＳ
１，Ｓ２からの信号を取り込み（ステップ５０１）、基
板５の辺ａのＹ軸方向に対する傾きθを求める（ステッ
プ５０２）。次に、この傾きθを是正するようにモータ
９が回転される（ステップ５０３）。次いでセンサＳ
１，Ｓ２を再び用い、またＳ３，Ｓ４の値を入力し（ス
テップ５０４）、基板５の位置（ｘ，ｙ）を求める（ス
テップ５０５）。求めた位置（ｘ，ｙ）はハンドラ駆動
回路４５へ出力され（ステップ５０６）、この位置デー
タに基づいてハンドラ装置が駆動されて基板５は次工程
へ搬送される。
【００１１】以上のように、本装置によれば従来のよう
に基板５の端面を押すことはないので、端面から塵が発
生して基板表面に付着するということはなくなる。ま
た、レーザ検出センサＳ１〜Ｓ４を使用しているので、
基板５を装置上に載せただけで、すなわち一回の測定に
より基板５の位置や傾きθを検出することができる。ま
た回転テーブル６を使用しているため、従来のように、
基板５がテーブル上を摺動することは無く、したがって
発塵もなくなる。
に基板５の端面を押すことはないので、端面から塵が発
生して基板表面に付着するということはなくなる。ま
た、レーザ検出センサＳ１〜Ｓ４を使用しているので、
基板５を装置上に載せただけで、すなわち一回の測定に
より基板５の位置や傾きθを検出することができる。ま
た回転テーブル６を使用しているため、従来のように、
基板５がテーブル上を摺動することは無く、したがって
発塵もなくなる。
【００１２】上記実施例においては、検出手段として、
レーザ検出センサＳ１〜Ｓ４を使用したが、検出手段と
しては、レーザ光ではなく、他の光センサあるいは超音
波センサを使用してもよいし、センサの形式も、透過型
ではなく反射型のものを使用してもよい。
レーザ検出センサＳ１〜Ｓ４を使用したが、検出手段と
しては、レーザ光ではなく、他の光センサあるいは超音
波センサを使用してもよいし、センサの形式も、透過型
ではなく反射型のものを使用してもよい。
【００１３】例えば、反射型の光センサを基板の裏面側
に位置するようにすれば、すなわち、基板の裏面側に配
置した投光部から光を基板の端部へ照射し、その反射光
を同じく基板の裏面側に配置した受光部にて受光して基
板端部の位置を検出するようにすれば、基板表面に塵等
の影響を与えることがないので、防塵上好ましい。
に位置するようにすれば、すなわち、基板の裏面側に配
置した投光部から光を基板の端部へ照射し、その反射光
を同じく基板の裏面側に配置した受光部にて受光して基
板端部の位置を検出するようにすれば、基板表面に塵等
の影響を与えることがないので、防塵上好ましい。
【００１４】また、基板５の辺ｂ側にはセンサを２個設
けたが、ここは１個でもよい。もちろん２個のセンサで
検知することにより精度がより高くなる。
けたが、ここは１個でもよい。もちろん２個のセンサで
検知することにより精度がより高くなる。
【００１５】
【発明の効果】本発明では、レーザ検出センサを使用
し、非接触かつ高精度に基板の検出を行うことが可能と
なり、アライメント時に基板表面側に発塵することがな
く、さらに基板裏面側の発塵を最小限に抑えることがで
きるという効果がある。
し、非接触かつ高精度に基板の検出を行うことが可能と
なり、アライメント時に基板表面側に発塵することがな
く、さらに基板裏面側の発塵を最小限に抑えることがで
きるという効果がある。
【図１】本発明の一実施例の全体斜視図
【図２】図１の装置の一部破断側面図
【図３】レーザ検出センサの拡大図
【図４】図１の装置の回路構成を示すブロック図
【図５】実施例の動作を説明するフローチャート
【図６】従来の基板アライメント装置の全体斜視図
１ レーザ検出センサ ２ ブラケット ３ ベース ４ ブロック ５ 基板 ６ 回転テーブル ７ ベルト ８ プーリ ９ モータ １０ ベアリング １１ シリンダ １２ ベース １５ テーブル
フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｈ０１Ｌ 21/68 Ｈ０１Ｌ 21/68
Claims (3)
- 【請求項１】 基板を截置する回転自在の回転テーブル
と、基板の隣り合う２辺のうちの一辺の少なくとも２箇
所において端部の位置を検出するとともに、他辺の少な
くとも１箇所において端部の位置を検出する検出手段
と、前記検出手段の出力に基づいて、前記基板の位置お
よび基準方向に対する傾きを計算する手段と、前記求め
られた傾きに応じて前記テーブルを回転させる回転手段
とを備えたことを特徴とする基板アライメント装置。 - 【請求項２】 前記検出手段が、光または超音波を走査
して、前記基板の端部の位置を検出する請求項１に記載
の装置。 - 【請求項３】 前記検出手段が、前記基板の裏面側に配
置された反射型センサによって構成される請求項２に記
載の装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23616195A JP2728042B2 (ja) | 1995-08-22 | 1995-08-22 | 基板アライメント装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23616195A JP2728042B2 (ja) | 1995-08-22 | 1995-08-22 | 基板アライメント装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0961775A JPH0961775A (ja) | 1997-03-07 |
| JP2728042B2 true JP2728042B2 (ja) | 1998-03-18 |
Family
ID=16996679
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23616195A Expired - Lifetime JP2728042B2 (ja) | 1995-08-22 | 1995-08-22 | 基板アライメント装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2728042B2 (ja) |
Families Citing this family (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100596469B1 (ko) * | 1999-06-21 | 2006-07-03 | 엘지.필립스 엘시디 주식회사 | 기판얼라인장치 |
| KR100531416B1 (ko) * | 2003-09-17 | 2005-11-29 | 엘지.필립스 엘시디 주식회사 | Ｓｌｓ 장비 및 이를 이용한 실리콘 결정화 방법 |
| JP2007057813A (ja) * | 2005-08-24 | 2007-03-08 | Hitachi Kokusai Electric Inc | 基板の位置決め方法及びそれを用いた試料台、並びに、寸法測定装置または基板加工装置 |
| JP4702888B2 (ja) * | 2006-02-17 | 2011-06-15 | 株式会社山武 | 位置検出方法および位置合わせ方法 |
| DE102006041658A1 (de) * | 2006-08-24 | 2008-03-13 | Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh | Verfahren und Vorrichtung zum Ausrichten einer ebenen Tischoberfläche |
| DE102006041657A1 (de) * | 2006-08-24 | 2008-03-13 | Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh | Verfahren und Vorrichtung zum Ausrichten einer ebenen Tischoberfläche |
| JP4822342B2 (ja) * | 2006-09-26 | 2011-11-24 | 株式会社山武 | 位置検出方法 |
| JP5311006B2 (ja) * | 2008-07-24 | 2013-10-09 | 凸版印刷株式会社 | 周辺露光装置および周辺露光方法 |
| JP5281350B2 (ja) * | 2008-09-29 | 2013-09-04 | 株式会社オーク製作所 | 周辺露光装置及び周辺露光方法 |
| JP6308046B2 (ja) * | 2014-06-24 | 2018-04-11 | 大日本印刷株式会社 | カット紙の搬送不良検知システム |
-
1995
- 1995-08-22 JP JP23616195A patent/JP2728042B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0961775A (ja) | 1997-03-07 |
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