JP2719504B2 - 液晶ディスプレイ基板用ガラス - Google Patents

液晶ディスプレイ基板用ガラス

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JP2719504B2 JP7038281A JP3828195A JP2719504B2 JP 2719504 B2 JP2719504 B2 JP 2719504B2 JP 7038281 A JP7038281 A JP 7038281A JP 3828195 A JP3828195 A JP 3828195A JP 2719504 B2 JP2719504 B2 JP 2719504B2
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    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03CCHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C3/00Glass compositions
    • C03C3/04Glass compositions containing silica
    • C03C3/076Glass compositions containing silica with 40% to 90% silica, by weight
    • C03C3/089Glass compositions containing silica with 40% to 90% silica, by weight containing boron
    • C03C3/091Glass compositions containing silica with 40% to 90% silica, by weight containing boron containing aluminium

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Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は液晶ディスプレイ基板用
ガラスに係り、特にアクティブマトリクス駆動方式の汎
用液晶ディスプレイに用いる基板用ガラスとして好適
な、液晶ディスプレイ基板用ガラスに関する。
【0002】
【従来の技術】液晶ディスプレイは、CRT(カソード
レイチューブ、ブラウン管)に比べて消費電力が低く、
低電圧で駆動させることができ、軽量化や薄型化が容易
である等の利点を有している。中でも、TFT(薄膜ト
ランジスタ)形の電界効果トランジスタを用いたアクテ
ィブマトリクス駆動方式の液晶ディスプレイは、非常に
多くの走査電極を設けることができるために画素の高密
度化や高精細化が容易であり、デューティー比が高く、
かつ透過表示が可能なため、CRTに代わるフルカラー
ディスプレーとして注目されている。ここにデューティ
ー比とは液晶ディスプレイにおける解像度を表す指標で
あり、デューティー比が高いほど解像度が高いことにな
る。
【0003】このTFT形の電界効果トランジスタを用
いたアクティブマトリクス駆動方式の液晶ディスプレイ
は、ガラスや石英等の透明基板上に形成する半導体トラ
ンジスタの材質により、アモルファスシリコン(α−S
i)TFT形やポリシリコン(P−Si)TFT形等に
分けることができる。
【0004】α−SiTFTおよびP−SiTFTは、
いずれも、透明基板上にα−Si膜またはP−Si膜を
成膜した後、フォトリソグラフィーに基づくパターニン
グ工程を繰返し行うことにより成形される。このため、
TFTが形成される透明基板には、TFTの材料の線膨
張係数に近似する線膨張係数を有することの他に、耐熱
性に優れること、化学的耐久性に優れること等が要求さ
れる。
【0005】このような要求を満たす透明基板として
は、シリカガラスがあるが、高価であるため、汎用の液
晶ディスプレイ用基板としては不適である。このため、
α−SiTFT形の汎用液晶ディスプレイにおいては、
シリカガラスに代わるものとして、バリウム硼珪酸無ア
ルカリガラスが多用されている。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、バリウ
ム硼珪酸無アルカリガラスは、歪点が低く、線膨脹係数
も大きいため、これをP−SiTFT形の液晶ディスプ
レイの基板として使用した場合、P−SiTFTはα−
SiTFTより高温下で形成されるために、耐熱性等の
面で難点が生じる。
【0007】したがって本発明の目的は、上記バリウム
硼珪酸無アルカリガラスの欠点を解消し、α−SiTF
TだけでなくP−SiTFT形の汎用液晶ディスプレイ
の基板としても好適な、液晶ディスプレイ基板用ガラス
を提供することにある。
【0008】
【課題を解決するための手段】本発明は上記目的を達成
するためになされたものであり、本発明の液晶ディスプ
レイ基板用ガラスは、モル%表示による各成分の含有量
が SiO2 62%以上68%以下 B23 8%以上12%未満 A123 9%以上13%以下 MgO 1%以上5%以下 CaO 3%以上7%以下 であり、液晶ディスプレイ基板用ガラスを製造する際に
要求される耐失透性と熔融性とを維持できる範囲内で、
ガラスの平均線膨脹係数α 100-300 が34×10 -7 〜3
9×10 -7 deg -1 cm -1 、歪点が630℃以上となるよう
にSrOおよびBaOを必須成分として含むことを特徴
とするものである。
【0009】以下、本発明を詳細に説明する。
【0010】本発明の液晶ディスプレイ基板用ガラス
は、上述のように、SiO2、B23、A123、MgO、
CaOを含有し、各成分の含有量は、モル%表示でそれ
ぞれ上記の値に限定される。これらの限定理由は、以下
の通りである。
【0011】SiO2の含有量が68モル%を超えると
粘性が高くなって熔融性が低下し、62モル%未満では
得られるガラスの歪点が低下し過ぎる。
【0012】また、B23の含有量が12モル%以上で
は得られるガラスの歪点が低下し過ぎると共に耐硝酸性
が低下し、8モル%未満では粘性が高くなって熔融性が
低下すると共に、得られるガラスの耐弗酸性が低下す
る。
【0013】A123の含有量が13モル%を超えると
得られるガラスの耐失透性が低下すると共に、このガラ
スに弗酸を接触させたときに、弗酸によりガラス表面が
白濁し易くなる。一方、A123の含有量が9モル%未
満では得られるガラスの歪点が低下し過ぎる。
【0014】MgOは、得られるガラスの膨張係数と粘
性とを低下させる成分としてアルカリ土類酸化物中で最
も効果的な成分であるため、1モル%以上含有させる必
要があるが、5モル%を超えて含有させると得られるガ
ラスの耐失透性が低下する。
【0015】また、CaOはMgOとほぼ類似した作用
を有するため3モル%以上必要であるが、7モル%を超
えて含有させると得られるガラスの耐失透性が低下す
る。
【0016】SrOおよびBaOは共に、得られるガラ
スの耐失透性を向上させる成分として効果的な成分であ
り、かつ粘性をめて熔融性を向上させると共に得られ
ガラスの歪点を低下させ、かつ膨張係数を大きくさせる
成分でもあるため、必須成分として用いられる。 上述の
ようにSrOおよびBaOはガラスの耐失透性、熔融
性、膨張係数および歪点に関与する成分であるので、こ
れらの含有量は、本発明の液晶ディスプレイ基板用ガラ
スを製造する際に要求される耐失透性と熔融性とを維持
できる範囲内で、ガラスの平均線膨脹係数α 100-300
34×10 -7 〜39×10 -7 deg -1 cm -1 、歪点が630
℃以上となるような量に限定される。
【0017】そして、これらの成分の合量は、95モル
%以上が好ましい。各成分の含有量が上述の範囲内にあ
っても、これらの成分の合量が95モル%未満では所望
の特性が得られなくなるため、好ましくない。
【0018】ガラスの成分およびその含有量、ならびに
各成分の合量を上述のように規定することにより、P−
Siの線膨張係数と近似する線膨張係数を有し、かつP
−SiTFT形の液晶ディスプレイの基板として使用可
能な歪点を有するガラス、より具体的には、平均線膨張
係数α 100-300 が34×10-7 39×10-7deg-1・cm
-1で歪点が630℃以上であるガラスを得ることができ
る。そしてこのガラスは、熔融性および成形性にも優れ
たガラスであるので、α−SiTFT形だけでなくP−
SiTFT形の液晶ディスプレイの基板として好適に用
いられる。
【0019】また、本発明の液晶ディスプレイ基板用ガ
ラスは、前述したSiO2、B23、A123、MgO、C
aO、SrO、およびBaO以外の成分(以下、副成分
という)を、総量で5モル%以下含有することができ
る。
【0020】副成分としては、ZnO、PbO、La2
3、ZrO2、As23およびSb23からなる群より
選択される少なくとも1種を含有させることが好まし
い。そして、モル%表示による各副成分の含有量は ZnO 2%以下 PbO 1%以下 La23 1%以下 ZrO2 1%以下 As23 2%以下 Sb23 2%以下 であることが特に好ましい。なお、これら各副成分の含
有量の範囲は、いずれも0%を含む。
【0021】ZnOは得られるガラスの膨張係数を上げ
ずに粘性を低下させ、かつ耐失透性を向上させる成分と
して効果的であるが、得られるガラスの歪点を低下させ
ると共に耐硝酸性を低下させる成分でもあるため、含有
させる場合は2モル%以下が特に好ましい。
【0022】PbOは得られるガラスの耐失透性を向上
させる成分として効果的であるが、得られるガラスの歪
点を低下させると共に熔解時の粘性を上げる成分でもあ
るため、含有させる場合は1モル%以下が特に好まし
い。
【0023】La23は得られるガラスの歪点を低下さ
せずに耐失透性を向上させる成分として効果的である
が、高価であると共に得られるガラスの耐硝酸性を低下
させる成分でもあるため、含有させる場合は1モル%以
下が特に好ましい。
【0024】ZrO2は得られるガラスの歪点を上げ、
耐弗酸性および耐硝酸性を向上させる成分として効果的
であるが、得られるガラスの耐失透性を低下させる成分
でもあるため、含有させる場合は1モル%以下が特に好
ましい。
【0025】As23およびSb23は、それぞれ脱泡
剤として必要な成分であるが、白金るつぼや通電装置等
の熔融装置を損傷させるため、含有させる場合は、それ
ぞれ2モル%以下が特に好ましい。本発明の液晶ディス
プレイ基板用ガラスは、各成分の原料として、ガラスの
原料として一般に使用される酸化物、炭酸塩、硝酸塩、
水酸化物等を用い、これらの原料を所定の酸化物換算組
成となるように秤量、混合した後、通常のガラス熔融装
置を用いて1500〜1600℃で熔融し、脱泡、均質
化を行ってから所定の形状に成形、徐冷することにより
得られる。
【0026】
【実施例】以下、本発明の実施例について説明する。
【0027】実施例1 原料として珪石粉、硼酸、アルミナ、炭酸マグネシウ
ム、炭酸カルシウム、硝酸ストロンチウム、炭酸バリウ
ムおよび亜砒酸を用い、これらを酸化物換算量で表−1
に示す組成となるように秤量、混合した後、1600℃
で熔融し、脱泡、均質化を行ってから板状に成形、徐冷
して、120×150×50mmの板状を呈する本発明の
液晶ディスプレイ基板用ガラスを得た。
【0028】得られたガラスの100〜300℃におけ
る平均線膨張係数(α100-300)、歪点、および1500
℃における粘度を表−1に示す。また、得られたガラス
の耐弗酸性および耐硝酸性を以下の要領で評価した。
【0029】・耐弗酸性 得られたガラスを研摩して得た試料を25℃の5%HF
水溶液に3時間浸漬し、乾燥後、試料の重量減を単位面
積、単位時間当りの量に換算して、その耐弗酸性を評価
した。
【0030】・耐硝酸性 耐弗酸性の評価の場合と同様にして得た試料を80℃の
30%HNO3水溶液に3時間浸漬し、乾燥後、試料の
重量減を単位面積、単位時間当りの量に換算して、その
耐硝酸性を評価した。
【0031】これらの各換算値も表−1に示す。
【0032】さらに、得られたガラス約100gを容量
100ccの白金坩堝に入れ、この白金坩堝に白金製の蓋
をして1100℃で24時間放置し、放置後のガラス内
部における結晶(失透)発生の有無を顕微鏡観察して、
その耐失透性を評価した。この顕微鏡観察結果も表−1
に示す。
【0033】実施例2〜4 原料として珪石粉、硼酸、アルミナ、炭酸マグネシウ
ム、炭酸カルシウム、硝酸ストロンチウム、炭酸バリウ
ム、亜鉛華、硝酸鉛、酸化ランタン、酸化ジルコニウ
ム、亜砒酸および酸化アンチモンを用い、これらを酸化
物換算量で表−1に示す組成となるように秤量、混合し
た後、1500〜1600℃で熔融し、脱泡、均質化を
行ってから板状に成形、徐冷して、実施例1と同一形状
の液晶ディスプレイ基板用ガラスをそれぞれ得た。
【0034】得られた各ガラスのα100-300、歪点、およ
び1500℃における粘度を表−1に示す。
【0035】また、得られた各ガラスの耐弗酸性および
耐硝酸性を実施例1と同様にして評価した。このときの
各換算値も表−1に示す。
【0036】さらに、得られた各ガラスの耐失透性を実
施例1と同様にして評価した。このときの各顕微鏡観察
結果も表−1に示す。
【0037】比較例1 表−1に示すように、従来よりα−SiTFT形の液晶
ディスプレイの基板として多用されているバリウム硼珪
酸無アルカリガラスに類似する組成のガラスを得た。
【0038】得られたガラスのα100-300、歪点、および
1500℃における粘度を表−1に示す。
【0039】また、得られたガラスの耐弗酸性および耐
硝酸性を実施例1と同様にして評価した。このときの各
換算値も表−1に示す。
【0040】さらに、得られたガラスの耐失透性を実施
例1と同様にして評価した。このときの顕微鏡観察結果
も表−1に示す。
【0041】
【表1】
【0042】表−1から明らかなように、実施例1〜4
で得られた本発明の液晶ディスプレイ基板用ガラスのα
100-300は36×10-7〜38×10-7deg-1・cm-1であ
り、P−Siの線膨張係数と近似している。また、各ガ
ラスの歪点はいずれも630℃以上であり、α−SiT
FT形だけでなく、P−SiTFT形の液晶ディスプレ
イの基板としても使用可能なものである。
【0043】また、1500℃における粘度はいずれの
ガラスでも103ホ゜イズ未満であり、実用的な熔融性を
有していることがわかる。
【0044】さらに、5%HF水溶液に浸漬した場合の
重量減が7〜9mg/cm2・hr、30%HNO3水溶液に浸
漬した場合の重量減が4×10-2〜12×10-2mg/cm
・hrであり、それぞれ、耐弗酸性および耐硝酸性に優れ
ていることがわかる。なお、5%HF水溶液による処理
中および30%HNO3水溶液による処理中のいずれに
おいても、ガラス表面が白濁する現象は見られなかっ
た。
【0045】また、いずれのガラスにおいても、110
0℃で24時間放置した後に結晶の発生は認められなか
った。このことから各ガラスの失透温度は1100℃以
下であり、実用的な成形性を有していることがわかる。
【0046】一方、比較例1のバリウム硼珪酸無アルカ
リガラスは、耐弗酸性、耐硝酸性、熔融性および成形性
は問題ないが、実施例1〜4で得られた本発明の液晶デ
ィスプレイ基板用ガラスに比べると歪点が低く、α
100-300も大きい。
【0047】
【発明の効果】以上説明したように、本発明の液晶ディ
スプレイ基板用ガラスは、P−Siの線膨張係数と近似
する線膨張係数を有し、かつ、P−SiTFT形の液晶
ディスプレイの基板としても使用可能な歪点、P−Si
TFTの成形過程で多用される弗酸および硝酸に対する
良好な耐性、実用的な熔融性、および実用的な成形性を
有している。
【0048】したがって本発明を実施することにより、
α−SiTFT形だけでなくP−SiTFT形の汎用液
晶ディスプレイの基板としても好適な、液晶ディスプレ
イ基板用ガラスを提供することが可能となる。

Claims (3)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 モル%表示による各成分の含有量が SiO2 62%以上68%以下 B23 8%以上12%未満 A123 9%以上13%以下 MgO 1%以上5%以下 CaO 3%以上7%以下 であり、液晶ディスプレイ基板用ガラスを製造する際に
    要求される耐失透性と熔融性とを維持できる範囲内で、
    ガラスの平均線膨脹係数α100-300が34×10-7〜3
    9×10-7deg-1・cm-1、歪点が630℃以上となるよう
    にSrOおよびBaOを必須成分として含むことを特徴
    とする液晶ディスプレイ基板用ガラス。
  2. 【請求項2】 平均線膨脹係数α100-300が34×10
    -7〜37×10-7deg-1・cm-1以下である、請求項1に記
    載の液晶ディスプレイ基板用ガラス。
  3. 【請求項3】 請求項1または2に記載の液晶ディスプ
    レイ基板を用いて得られた液晶ディスプレイ。
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