JP2696074B2 - Robot arm structure - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【０００１】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、ウエハ搬送装置等に適
用される、旋回しかつ所定の旋回位置で先端部が直進運
動を行うように屈伸するロボットのアーム構造に関する
ものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an arm structure of a robot, which is applied to a wafer transfer device and the like, which turns and bends and stretches so that its tip portion moves linearly at a predetermined turning position.

【０００２】[0002]

【従来の技術】半導体メモリの原料であるウエハを所定
の加工セクションに搬送するための搬送装置に適用され
るものとして、従来図８に示すようなロボットのアーム
構造が知られている（電子材料１９９１年８月号）。2. Description of the Related Art A robot arm structure as shown in FIG. 8 is conventionally known as a device applied to a transfer device for transferring a wafer as a raw material of a semiconductor memory to a predetermined processing section (electronic material). August 1991).

【０００３】図８に示すロボットのアーム構造は、先端
でウエハを搬送する伸縮可能のアーム１０と、このアー
ム１０を支持するベース部２０とからなる基本構成を有
し、アーム１０は、基部アーム１１０と、中間アーム１
２０と先端アーム１３０とが基端側から順次屈伸可能に
接続されて形成されている。アーム１０はベース部２０
の上に配設され、２個の電動モータ（後述するドラム用
モータ４０および軸用モータ５０）によって伸縮可能に
構成されており、特に先端部（詳細は図示せず）にウエ
ハを載せ、あるいは把持して搬送する先端アーム１３０
は正逆の直線運動が行われるようになっている。[0003] The arm structure of the robot shown in FIG. 8 has a basic structure comprising an extendable arm 10 for transferring a wafer at the tip and a base portion 20 for supporting the arm 10. 110 and intermediate arm 1
20 and the distal arm 130 are connected and formed so as to be able to bend and stretch sequentially from the proximal end side. The arm 10 is a base 20
And is configured to be expandable and contractable by two electric motors (a drum motor 40 and a shaft motor 50, which will be described later). In particular, a wafer is placed on the tip (details not shown), or Tip arm 130 to be gripped and transported
Is designed to perform forward and reverse linear motion.

【０００４】上記ベース部２０の略中央部には支持軸４
４０が立設され、この支持軸４４０回りに回転自在に縦
長のプーリ４３０が設けられている。このプーリ４３０
の上端部にはベースドラム３１０が支持軸４４０の軸心
回りに回転可能に固設されている。また、ベース部２０
には上記ドラム用モータ４０が固定され、このドラム用
モータ４０の駆動軸４１０には駆動プーリ４２０が固設
されている。また、ベース部２０には他の支持軸４５０
が立設され、この支持軸４５０回りにプーリ４６０およ
びプーリ４７０が軸心回りに回転自在に設けられてい
る。そして、上記駆動プーリ４２０とプーリ４６０との
間には動力ベルト６０が張設されているとともに、プー
リ４７０および縦長プーリ４３０間にはベルト６１０が
張設されている。A support shaft 4 is provided substantially at the center of the base portion 20.
A vertical pulley 430 is provided rotatably around the support shaft 440. This pulley 430
A base drum 310 is fixed to the upper end of the support shaft 440 so as to be rotatable around the axis of the support shaft 440. Also, the base part 20
The motor 40 for the drum is fixed to the motor, and a drive shaft 410 of the motor 40 for the drum has a drive pulley 420 fixed thereto. Further, another support shaft 450 is attached to the base portion 20.
And a pulley 460 and a pulley 470 are provided around the support shaft 450 so as to be rotatable around the axis. A power belt 60 is stretched between the driving pulley 420 and the pulley 460, and a belt 610 is stretched between the pulley 470 and the longitudinal pulley 430.

【０００５】上記ベースドラム３１０の外周面には軸用
モータ５０が取り付けられ、この軸用モータ５０の駆動
軸５１０に駆動プーリ５２０が固設されている。また、
ベースドラム３１０の外周面上で上記軸用モータ５０に
対向する位置にはブラケット５８０が突設されており、
このブラケット５８０に軸心回りに回転自在に支持軸５
５０が設けられ、さらにこの支持軸５５０にプーリ５６
０およびプーリ５７０が取り付けられている。A shaft motor 50 is mounted on the outer peripheral surface of the base drum 310, and a drive pulley 520 is fixed to a drive shaft 510 of the shaft motor 50. Also,
A bracket 580 is protruded from the outer peripheral surface of the base drum 310 at a position facing the shaft motor 50,
The support shaft 5 is rotatable about the axis on the bracket 580.
50, and a pulley 56 is attached to the support shaft 550.
0 and a pulley 570 are attached.

【０００６】一方、ベースドラム３１０の内部には上記
支持軸４４０と同心の基部アーム軸３４０がベースドラ
ム３１０と一体に設けられており、その上部はベースド
ラム３１０の天井部を貫通して上部に突出している。こ
の基部アーム軸３４０の下端部には上記プーリ５７０に
対応したプーリ５３０が設けられており、ベースドラム
３１０の周面における両プーリ５３０，５７０に対する
対向部分には貫通窓５９０が穿設されている。上記駆動
プーリ５２０とプーリ５６０間には動力ベルト７０が張
設されているとともに、上記プーリ５７０とプーリ５３
０間には貫通窓５９０を介してベルト７１０が張設され
ている。On the other hand, inside the base drum 310, a base arm shaft 340 concentric with the support shaft 440 is provided integrally with the base drum 310. It is protruding. A pulley 530 corresponding to the pulley 570 is provided at the lower end of the base arm shaft 340, and a through window 590 is formed in a portion of the peripheral surface of the base drum 310 facing the pulleys 530 and 570. . A power belt 70 is stretched between the driving pulley 520 and the pulley 560, and the pulley 570 and the pulley 53
A belt 710 is stretched between 0 through a through window 590.

【０００７】上記基部アーム軸３４０はそのベースドラ
ム３１０から上部に露出した部分にベースドラム３１０
と一体に回転する第１プーリ３６０が設けられていると
ともに、頂部に基部アーム１１０の基端側が固定されて
いる。また、基部アーム１１０の先端側には上記基部ア
ーム軸３４０と平行な中間アーム軸３５０が基部アーム
１１０を回転自在に貫通して設けられ、この中間アーム
軸３５０の下端部に第２プーリ３７０が一体に設けられ
ているとともに、中間アーム軸３５０の基部アーム１１
０よりも上方側に第３プーリ３８０が一体に設けられて
いる。上記基部アーム１１０の有効長（軸間距離）は、
上記中間アーム１２０有効長と同じに設定されている。[0007] The base arm shaft 340 has a base drum 310 at a portion exposed upward from the base drum 310.
A first pulley 360 that rotates together with the first arm is provided, and a base end of the base arm 110 is fixed to the top. On the distal end side of the base arm 110, an intermediate arm shaft 350 parallel to the base arm shaft 340 is provided rotatably penetrating the base arm 110, and a second pulley 370 is provided at the lower end of the intermediate arm shaft 350. The base arm 11 of the intermediate arm shaft 350 is provided integrally.
The third pulley 380 is integrally provided above the zero. The effective length (distance between axes) of the base arm 110 is
The length is set to be the same as the effective length of the intermediate arm 120.

【０００８】さらに中間アーム軸３５０の上端部には中
間アーム１２０の基端側が固定され、その先端部に上記
中間アーム軸３５０に平行な先端アーム軸３３０が中間
アーム１２０を回転自在に貫通して設けられている。上
記先端アーム軸３３０の下端部には第４プーリ３９０が
一体に設けられているとともに、頂部には先端アーム１
３０が一体に取り付けられている。A base end of the intermediate arm 120 is fixed to an upper end of the intermediate arm shaft 350, and a distal arm shaft 330 parallel to the intermediate arm shaft 350 is rotatably penetrated through the intermediate arm 120 at a distal end thereof. Is provided. A fourth pulley 390 is provided integrally at the lower end of the tip arm shaft 330, and the tip arm 1 is provided at the top.
30 are integrally mounted.

【０００９】そして、上記第１プーリ３６０と第２プー
リ３７０間には第１ベルト３６７０が張設されていると
ともに、上記第３プーリ３８０と第４プーリ３９０間に
は第２ベルト３８９０が張設されている。A first belt 3670 is stretched between the first pulley 360 and the second pulley 370, and a second belt 3890 is stretched between the third pulley 380 and the fourth pulley 390. Have been.

【００１０】上記アーム構造において、ドラム用モータ
４０および軸用モータ５０を同一速度で回転駆動させれ
ば、プーリ４３０とプーリ５３０とが同一速度で回転す
るように、プーリ４７０およびプーリ４３０それぞれの
径寸法比、並びに駆動プーリ５２０、プーリ５６０、プ
ーリ５７０およびプーリ５３０それぞれの径寸法比が適
切に設定されている。In the above arm structure, when the drum motor 40 and the shaft motor 50 are driven to rotate at the same speed, the diameters of the pulleys 470 and 430 are adjusted so that the pulley 430 and the pulley 530 rotate at the same speed. The dimensional ratio and the diameter dimensional ratio of each of the drive pulley 520, the pulley 560, the pulley 570, and the pulley 530 are appropriately set.

【００１１】そして、上記第１プーリ３６０と第２プー
リ３７０との径寸法比は２：１に設定されているととも
に、上記第３プーリ３８０と第４プーリ３９０との径寸
法比は１：２に設定されている。The diameter ratio between the first pulley 360 and the second pulley 370 is set to 2: 1, and the diameter ratio between the third pulley 380 and the fourth pulley 390 is 1: 2. Is set to

【００１２】図８に示す従来のロボットのアーム構造は
以上のように構成されているので、ドラム用モータ４０
および軸用モータ５０を互いに逆方向に同一回転速度で
回転駆動させると、ドラム用モータ４０の回転は、駆動
軸４１０、動力ベルト６０、プーリ４６０、支持軸４５
０、プーリ４７０およびベルト６１０を介してプーリ４
３０に伝達され、このプーリ４３０と一体のベースドラ
ム３１０を回転させるとともに、軸用モータ５０の回転
は、駆動軸５１０、駆動プーリ５２０、動力ベルト７
０、プーリ５６０、支持軸５５０、プーリ５７０、ベル
ト７１０、プーリ５３０、および基部アーム軸３４０を
介して基部アーム１１０に伝達される。The arm structure of the conventional robot shown in FIG. 8 is constructed as described above.
When the shaft motor 50 is rotated in the opposite direction at the same rotational speed, the rotation of the drum motor 40 is controlled by the drive shaft 410, the power belt 60, the pulley 460, and the support shaft 45.
0, pulley 4 via pulley 470 and belt 610
30 and rotates the base drum 310 integral with the pulley 430. The rotation of the shaft motor 50 is controlled by the drive shaft 510, the drive pulley 520, and the power belt 7.
0, the pulley 560, the support shaft 550, the pulley 570, the belt 710, the pulley 530, and the base arm 110 via the base arm shaft 340.

【００１３】上記基部アーム１１０の一方向への旋回に
よって、第１プーリ３６０に第１ベルト３６７０が巻き
付き、その結果、第２プーリ３７０は他方向に回転し、
この第２プーリ３７０の他方向への回転によって中間ア
ーム１２０が他方向に旋回する。この中間アーム１２０
の他方向への旋回によって第２ベルト３８９０が第３プ
ーリ３８０に巻き付き、この第３プーリ３９０の他方向
への回転によって先端アーム１３０は他方向に旋回す
る。一方上記ベースドラム３１０の回転によって、同ド
ラム３１０に搭載されているアーム１０は、その時々の
屈伸姿勢のまま他方向に旋回する。By turning the base arm 110 in one direction, the first belt 3670 wraps around the first pulley 360, and as a result, the second pulley 370 rotates in the other direction.
The rotation of the second pulley 370 in the other direction causes the intermediate arm 120 to pivot in the other direction. This intermediate arm 120
By turning in the other direction, the second belt 3890 winds around the third pulley 380, and the tip arm 130 turns in the other direction by rotating the third pulley 390 in the other direction. On the other hand, the rotation of the base drum 310 causes the arm 10 mounted on the drum 310 to turn in the other direction while maintaining the bending / stretching posture at that time.

【００１４】そして、基部アーム１１０の有効長と中間
アーム１２０の有効長とが等しく設定されていること、
並びに第１プーリ３６０と第２プーリ３７０との径寸法
比は２：１に設定されているとともに、上記第３プーリ
３８０と第４プーリ３９０との径寸法比は１：２に設定
されていることから、ドラム用モータ４０および軸用モ
ータ５０を互いに逆方向に同一速度で正逆回転駆動させ
ることにより、先端アーム１３０は直線的に進退するこ
とになる。また、軸用モータ５０を停止した状態でドラ
ム用モータ４０を正逆回転駆動させることによって、屈
伸姿勢が維持された状態でアーム１０をベースドラム３
１０の軸心回りに旋回させることが可能になる。And that the effective length of the base arm 110 and the effective length of the intermediate arm 120 are set equal.
In addition, the diameter ratio between the first pulley 360 and the second pulley 370 is set to 2: 1 and the diameter ratio between the third pulley 380 and the fourth pulley 390 is set to 1: 2. Thus, by driving the drum motor 40 and the shaft motor 50 to rotate in the forward and reverse directions at the same speed in opposite directions, the distal arm 130 linearly moves forward and backward. In addition, by driving the drum motor 40 in the forward and reverse rotation with the shaft motor 50 stopped, the arm 10 is moved in the base drum 3 while the bending and stretching posture is maintained.
It is possible to pivot around the axis of 10.

【００１５】[0015]

【発明が解決しようとする課題】ところで、図８に示す
従来のアーム構造においては、アーム１０の屈伸操作
は、上記軸用モータ５０によってのみ行われるようにな
っており、しかも中間アーム１２０と先端アーム１３０
とは第１ベルト３６７０と第２ベルト３８９０とによっ
て回転するようになっているとともに、第２プーリ３７
０の径を第１プーリ３６０の径の半分にすることによっ
て中間アーム１２０を基部アーム１１０の２倍の角速度
で旋回させるようにしている。By the way, in the conventional arm structure shown in FIG. 8, the bending operation of the arm 10 is performed only by the shaft motor 50. Arm 130
Is rotated by the first belt 3670 and the second belt 3890, and the second pulley 37
By making the diameter of “0” half the diameter of the first pulley 360, the intermediate arm 120 is turned at twice the angular velocity of the base arm 110.

【００１６】従って、第２プーリ１２０は、先端アーム
１３０が付設され、大きなトルクが必要であるにも拘ら
ず、第１プーリ３６０の径と第２プーリ３７０の径とが
等しい場合、あるいは第２プーリ３７０の径が第１プー
リ３６０の径よりも大きい場合に比べて、大きな旋回力
を得ることができない。そこで第２プーリ３７０の径を
大きくすることが考えられるが、そうすると先端アーム
１３０が直進しなくなる。従って、第２プーリ３７０を
大きなトルクで旋回させようとすれば、軸用モータ５０
を高出力の高価なものに取り換える以外に方策はなく、
製造コストが増大するという問題点を有していた。Accordingly, the second pulley 120 is provided with the tip arm 130 and requires a large torque, but when the diameter of the first pulley 360 and the diameter of the second pulley 370 are equal, or As compared with the case where the diameter of the pulley 370 is larger than the diameter of the first pulley 360, a large turning force cannot be obtained. Therefore, it is conceivable to increase the diameter of the second pulley 370. However, in this case, the distal arm 130 does not move straight. Therefore, if the second pulley 370 is to be turned with a large torque, the shaft motor 50
There is no measure other than replacing expensive with high output,
There is a problem that the manufacturing cost increases.

【００１７】また、第２プーリ３７０の径は第１プーリ
３６０の径よりも小さく寸法設定されているため、第２
プーリ３７０の第１ベルト３６７０に対する接触面積
が、第１プーリ３６０に対する接触面積に比べて小さい
ため、第１ベルト３６７０と第２プーリ３７０との間で
スリップが起こり易く、回転力の伝達が良好に行われな
くなる可能性が大きいという問題点を有していた。Since the diameter of the second pulley 370 is set smaller than the diameter of the first pulley 360,
Since the contact area of the pulley 370 with the first belt 3670 is smaller than the contact area with the first pulley 360, a slip easily occurs between the first belt 3670 and the second pulley 370, and the transmission of the rotational force is excellent. There is a problem that the possibility that the operation is not performed is large.

【００１８】また、先端アームの径方向への直線的な移
動は、アーム１０と、上記各軸と、上記各プーリとの幾
何学的な結合によって達成されているため、これらの内
のいずれかに寸法上の誤差が存在した場合には、先端ア
ームに径方向への直進運動をさせることができなくな
る。また、各部品を完全に理論的に要求される寸法にす
ることは不可能である。従って、上記誤差を許容する
か、部品の交換を行う他に方策はない。また、ロボット
を長期間に亘って使用した結果、上記誤差は増加する。
従って、当業者によってこの問題点の解決が嘱望されて
いた。Further, since the linear movement of the tip arm in the radial direction is achieved by the geometrical connection of the arm 10, the shafts, and the pulleys, any one of the pulleys can be used. If there is a dimensional error in the arm, it becomes impossible to make the distal end arm make a linear motion in the radial direction. Also, it is not possible to make each part a dimension that is completely theoretically required. Therefore, there is no other way than tolerating the above error or replacing parts. Further, as a result of using the robot for a long period of time, the error increases.
Therefore, the solution of this problem has been desired by those skilled in the art.

【００１９】また、このようなロボットにおいては、ア
ーム１０は、ドラム用モータ４０のみによって回転され
る、アーム１０および軸用モータ５０を搭載したベース
ドラム３１０によって周方向に旋回されるようになって
いるため、大きな負荷に対応するためにドラム用モータ
４０のトルクを大きなものにしなければならず、製造コ
ストが嵩むという問題点を有していた。In such a robot, the arm 10 is rotated in the circumferential direction by the base drum 310 on which the arm 10 and the shaft motor 50 are mounted, which is rotated only by the drum motor 40. Therefore, the torque of the drum motor 40 must be increased in order to cope with a large load, and there is a problem that the manufacturing cost increases.

【００２０】また、他のロボットのアーム構造が、実開
昭６２−１５００８７号公報に記載されている。基本的
には図８に示すアーム構造と同様であるが、アームの周
方向への旋回は、ベースドラム３１０の回転のみによる
のではなく、基部アーム、および先端アームの付設され
た中間アームの双方の回転との関係で実行されるように
なっている点が異なっている。特にアームの駆動機構に
は、中間アーム駆動機構が設けられている。アームの屈
伸運動は、図８に示すアーム構造が、主に軸用モータ５
０（アーム駆動モータ）および基部アーム１１０の固定
された基部アーム軸３４０の存在によって行われるよう
に構成されているのと実質的に同様である。Another robot arm structure is disclosed in Japanese Utility Model Laid-Open No. Sho 62-150087. The arm structure is basically the same as the arm structure shown in FIG. 8, but the rotation of the arm in the circumferential direction is not limited to the rotation of the base drum 310, but is performed on both the base arm and the intermediate arm provided with the tip arm. The difference is that it is executed in relation to the rotation of. In particular, the arm driving mechanism is provided with an intermediate arm driving mechanism. The bending and extension movement of the arm is mainly performed by the arm structure shown in FIG.
0 (arm drive motor) and the presence of the fixed base arm shaft 340 of the base arm 110 is substantially similar to that configured to be performed.

【００２１】上記中間アームの駆動機構は、中間アーム
用モータ、モータの出力軸、この出力軸に固定された第
１出力プーリ、この第１出力プーリにベルトで連結され
た第１伝達プーリ、および中間アームプーリにベルトで
連結された第２伝達プーリを有している。The driving mechanism of the intermediate arm includes a motor for the intermediate arm, an output shaft of the motor, a first output pulley fixed to the output shaft, a first transmission pulley connected to the first output pulley by a belt, and A second transmission pulley is connected to the intermediate arm pulley by a belt.

【００２２】上記第２伝達プーリは、上記第１プーリ３
６０と同等である。上記第２伝達プーリは上記第１伝達
プーリに固定されている。伝達プーリーの軸は上記基部
アーム軸３４０に一致する。第１および第２伝達プーリ
の径は、中間アームプーリおよび出力プーリの２倍の径
に寸法設定されている。The second transmission pulley is connected to the first pulley 3
Equivalent to 60. The second transmission pulley is fixed to the first transmission pulley. The axis of the transmission pulley coincides with the base arm axis 340. The diameters of the first and second transmission pulleys are set to twice the diameter of the intermediate arm pulley and the output pulley.

【００２３】さらに、中間アーム用モータの出力軸は、
第２出力プーリに固定されている。一方、上記基部アー
ム用モータの出力軸に第３伝達プーリが固定されてい
る。また第２出力プーリは、第３伝達プーリに連結され
ている。第２出力プーリは、第１出力プーリと同径であ
るとともに、第３伝達プーリは第１および第２伝達プー
リと同径である。従って、第２出力プーリと第３伝達プ
ーリの径の比は１：２になっている。Further, the output shaft of the motor for the intermediate arm is
It is fixed to the second output pulley. On the other hand, a third transmission pulley is fixed to an output shaft of the base arm motor. The second output pulley is connected to the third transmission pulley. The second output pulley has the same diameter as the first output pulley, and the third transmission pulley has the same diameter as the first and second transmission pulleys. Therefore, the diameter ratio between the second output pulley and the third transmission pulley is 1: 2.

【００２４】このロボットのアーム構造において、全体
のアームが周方向に回転するときは、アーム駆動モータ
が停止された状態で、中間アーム用モータが駆動され
る。中間アーム用モータのトルクは、出力軸の一方、第
２出力プーリおよびアーム駆動軸によって基部アームに
伝達される。このトルクの伝達によって、中間アームお
よび先端アームを備えた基部アームが中間アーム用モー
タと同一方向に半分の角速度で回転する。In this arm structure of the robot, when the entire arm rotates in the circumferential direction, the motor for the intermediate arm is driven with the arm drive motor stopped. The torque of the motor for the intermediate arm is transmitted to the base arm by one of the output shafts, the second output pulley, and the arm drive shaft. Due to the transmission of the torque, the base arm including the intermediate arm and the tip arm rotates at half the angular velocity in the same direction as the intermediate arm motor.

【００２５】また、中間アーム用モータのトルクは、出
力軸、第１出力プーリ、第１および第２伝達プーリ、並
びに中間アームプーリを介して中間アームに伝達され
る。このトルクの伝達によって、先端アームを有する中
間アームが中間アーム用モータと同じ方向に回転する。
この場合、中間アームプーリは、その旋回速度の２倍の
角速度で回転するトルクを受ける。しかしながら、基部
アームの半分の角速度は、ベルトとの関連において反対
方向への回転の原因になるため、中間アームは基部アー
ムに対して回転しないことになる。そして、アームは屈
伸しない状態で周方向に旋回する。The torque of the motor for the intermediate arm is transmitted to the intermediate arm via the output shaft, the first output pulley, the first and second transmission pulleys, and the intermediate arm pulley. Due to the transmission of the torque, the intermediate arm having the tip arm rotates in the same direction as the intermediate arm motor.
In this case, the intermediate arm pulley receives a torque that rotates at an angular velocity that is twice that of the turning speed. However, the intermediate arm will not rotate relative to the base arm because half the angular velocity of the base arm will cause rotation in the opposite direction in relation to the belt. Then, the arm turns in the circumferential direction without bending and stretching.

【００２６】このロボットのアーム構造は、先の従来例
のロボットのアーム構造と比較して、アームを周方向に
旋回させるためのモータへの負荷の点で改善されてい
る。特に、軸用モータ５０および基部アーム１０を備え
たベースドラム３１０を回転させる機構が、基部アーム
および先端アームを備えた中間アームの回転機構に置き
換えられている点が特徴的である。いいかえれば、ドラ
ム用モータ４０が中間アーム用モータに置き換えられて
いるのである。The arm structure of this robot is improved in the load on the motor for rotating the arm in the circumferential direction, as compared with the arm structure of the prior art robot. In particular, a feature that the mechanism for rotating the base drum 310 provided with the shaft motor 50 and the base arm 10 is replaced by a rotation mechanism for an intermediate arm provided with a base arm and a tip arm is provided. In other words, the drum motor 40 has been replaced by an intermediate arm motor.

【００２７】しかしながら、このロボットのアーム構造
においては、中間アームプーリの径は、第２伝達プーリ
の径の半分に寸法設定されており、しかも径方向へのア
ームの運動は、アーム用モータの駆動のみで行われるよ
うになっている。従って、先に述べた従来のロボットの
アーム構造の問題点は解決されていない。However, in this robot arm structure, the diameter of the intermediate arm pulley is set to half the diameter of the second transmission pulley, and the movement of the arm in the radial direction is limited to the drive of the arm motor. It is to be performed in. Therefore, the above-mentioned problem of the conventional robot arm structure has not been solved.

【００２８】本発明は、上記問題点を解決するためにな
されたものであり、動力の伝達に無駄がなく、確実にア
ームに屈伸運動を行わせることができ、かつ、アームを
構成する部材の寸法誤差を容易に補償して確実に直進運
動を行い得るようにすることができるロボットのアーム
構造を提供することを目的としている。The present invention has been made in order to solve the above-mentioned problems, and there is no waste in the transmission of power, and the bending and extension movement of the arm can be reliably performed. It is an object of the present invention to provide a robot arm structure capable of easily compensating a dimensional error and reliably performing a linear motion.

【００２９】[0029]

【課題を解決するための手段】本発明の請求項１記載の
ロボットのアーム構造は、基部アーム、中間アームおよ
び先端アームからなる屈伸可能なアーム部材と、基部ア
ームの基端側に固定されたベース輪と、このベース輪に
同軸でかつベース輪とは独立して回転する伝達輪と、基
部アームの先端側に基部アームの旋回とは独立して設け
られかつ中間アームの基端側に固定されたアーム輪と、
アーム輪に同軸でかつ基部アームに固定された固定輪
と、中間アームの先端側に設けられ、中間アームの旋回
とは独立して回転し、先端アームに固定され、かつ、上
記固定輪の２倍の径を有した動手輪と、ベース輪を回転
する第１モータと、アーム輪を回転する第２モータと、
上記伝達輪とアーム輪との間に介在された第１伝達手段
と、上記固定輪と動手輪との間に介在された第２伝達手
段と、上記第１モータおよび第２モータの回転駆動を制
御する制御装置とから構成され、上記動手輪と固定輪と
の間の軸間距離は、固定輪とベース輪との間の軸間距離
と同一寸法に設定され、上記ベース輪は、筒状体によっ
て形成され、この筒状体はベアリングを介してベース部
に取り付けられているとともに、第１モータの駆動によ
って回転するように接続され、上記筒状体と同軸の駆動
軸が設けられ、この駆動軸は上記筒状体の内壁面に支持
されて回転可能に設けられ、駆動軸の頂部に伝達輪が固
定されているとともに、ベース部に固定された第２モー
タの駆動によって回転するように接続され、上記制御装
置は、上記アーム部材を旋回させるために、第１モータ
および第２モータを同一方向に回転駆動させるように制
御するとともに、上記先端アームを径方向に直進させる
ために、基部アームの旋回に応じて伝達輪および第１伝
達手段を介して回転するアーム輪が、ベース輪に対して
２倍の角速度で反対方向に回転するように第１モータお
よび第２モータの角速度を制御するように構成されてい
ることを特徴とするものである。According to a first aspect of the present invention, there is provided an arm structure for a robot, comprising: a bendable arm member comprising a base arm, an intermediate arm and a distal arm; and a base end fixed to the base arm. A base wheel, a transmission wheel that is coaxial with the base wheel and rotates independently of the base wheel, and is provided at the distal end of the base arm independently of turning of the base arm and fixed to the base end of the intermediate arm Arm ring
A fixed wheel coaxial with the arm wheel and fixed to the base arm; provided at the distal end of the intermediate arm, rotating independently of the rotation of the intermediate arm, fixed to the distal arm, and A driving wheel having a double diameter, a first motor for rotating a base wheel, a second motor for rotating an arm wheel,
A first transmission means interposed between the transmission wheel and the arm wheel, a second transmission means interposed between the fixed wheel and the driving wheel, and rotational driving of the first motor and the second motor. And a control device for controlling, the inter-axle distance between the moving wheel and the fixed wheel is set to the same dimension as the inter-axis distance between the fixed wheel and the base wheel, and the base wheel has a cylindrical shape. Depending on the body
This cylindrical body is connected to the base via bearings.
And is driven by the first motor.
Connected to rotate and drive coaxially with the tubular body
A shaft is provided, and this drive shaft is supported on the inner wall surface of the cylindrical body.
The transmission wheel is fixed to the top of the drive shaft.
And the second mode fixed to the base
Connected to rotate by the driving of the motor, the controller, in order to pivot the arm member, with the first motor and the second motor is controlled to drive rotate in the same direction, the diameter of the distal arm The first motor so that the arm wheel rotating via the transmission wheel and the first transmission means in response to the turning of the base arm rotates in the opposite direction at twice the angular velocity with respect to the base wheel in order to make the base arm move straight. And controlling the angular velocity of the second motor.

【００３０】本発明の請求項２記載のロボットのアーム
構造は、請求項１記載のロボットのアーム構造におい
て、上記伝達輪とアーム輪とは同一径であることを特徴
とするものである。The robot arm structure according to a second aspect of the present invention is the robot arm structure according to the first aspect, wherein the transmission wheel and the arm wheel have the same diameter.

【００３１】本発明の請求項３記載のロボットのアーム
構造は、請求項１または２記載のロボットのアーム構造
において、上記ベース輪、伝達輪、アーム輪、固定輪お
よび動手輪はプーリを有しているとともに、上記第１伝
達手段および第２伝達手段は無端ベルトからなることを
特徴とするものである。According to a third aspect of the present invention, there is provided a robot arm structure according to the first or second aspect, wherein the base wheel, the transmission wheel, the arm wheel, the fixed wheel, and the moving wheel have pulleys. And the first transmission means and the second transmission means are constituted by endless belts.

【００３２】本発明の請求項４記載のロボットのアーム
構造は、請求項１乃至３のいずれかに記載のロボットの
アーム構造において、上記基部アームおよび中間アーム
は、それぞれ箱状のハウジングを有し、上記伝達輪およ
びアーム輪は上記基部アームのハウジングに内装され、
上記固定輪および動手輪は中間アームのハウジングに内
装されていることを特徴とするものである。A robot arm structure according to a fourth aspect of the present invention is the robot arm structure according to any one of the first to third aspects, wherein the base arm and the intermediate arm each have a box-shaped housing. The transmission wheel and the arm wheel are housed in a housing of the base arm,
The fixed wheel and the driving wheel are provided inside a housing of the intermediate arm.

【００３３】本発明の請求項５記載のロボットのアーム
構造は、請求項１乃至４のいずれかに記載のロボットの
アーム構造において、上記第１モータ、第２モータおよ
びベース輪は箱状のモータ用ハウジングに内装されてい
ることを特徴とするものである。According to a fifth aspect of the present invention, in the robot arm structure according to any one of the first to fourth aspects, the first motor, the second motor, and the base wheel are box-shaped motors. Characterized by being housed in a housing for use.

【００３４】本発明の請求項６記載のロボットのアーム
構造は、請求項５記載のロボットのアーム構造におい
て、上記ベース輪は筒状体によって形成され、この筒状
体はベアリングを介して上記モータ用ハウジングに取り
付けられているとともに、第１モータにその駆動によっ
て回転するように接続され、上記筒状体と同軸の駆動軸
が設けられ、この駆動軸は上記筒状体の内壁面に支持さ
れて回転可能に設けられ、駆動軸の頂部に伝達輪が固定
されているとともに、第２モータにその駆動によって回
転するように接続されていることを特徴とするものであ
る。According to a sixth aspect of the present invention, in the robot arm structure according to the fifth aspect, the base wheel is formed of a cylindrical body, and the cylindrical body is connected to the motor via a bearing. A drive shaft that is attached to the first housing and that is connected to the first motor so as to rotate by its drive, and is provided with a drive shaft that is coaxial with the tubular body, and the drive shaft is supported on the inner wall surface of the tubular body. The transmission wheel is fixed to the top of the drive shaft, and is connected to the second motor so as to rotate by the drive.

【００３５】本発明の請求項７記載のロボットのアーム
構造は、請求項１乃至６のいずれかに記載のロボットの
アーム構造において、上記制御装置は、パルス電流によ
って第１モータおよび第２モータを制御するように構成
されていることを特徴とするものである。According to a seventh aspect of the present invention, in the robot arm structure according to any one of the first to sixth aspects, the control device controls the first motor and the second motor by a pulse current. It is characterized by being configured to control.

【００３６】[0036]

【作用】上記請求項１記載のロボットのアーム構造によ
れば、先端アームをアーム部材の旋回中心から径方向に
移動させるために、２台のモータ（第１モータおよび第
２モータ）が駆動される。第１モータは基部アームを旋
回中心回りに回動させるように駆動され、同時に第２モ
ータは、互いに接続状態で回転するアーム輪と伝達輪の
うちのアーム輪を伝達輪の２倍の角速度で回転させるよ
うに回転駆動される。すなわち、基部アームの旋回速度
の２倍の旋回速度で中間アームが旋回するように第２モ
ータの角速度が設定される。従って、アーム部材を製造
するとき、組み立てるとき、あるいはアーム部材が老朽
化したときに生じるアーム部材の寸法上の誤差を、ただ
単に第２モータの角速度を変更することで補償すること
ができる。According to the robot arm structure of the first aspect, two motors (a first motor and a second motor) are driven to move the distal end arm in the radial direction from the center of rotation of the arm member. You. The first motor is driven to rotate the base arm about the center of rotation, and at the same time, the second motor rotates the arm wheel and the transmission wheel, which are connected to each other, at twice the angular velocity of the transmission wheel. It is rotationally driven to rotate. That is, the angular speed of the second motor is set such that the intermediate arm turns at a turning speed twice the turning speed of the base arm. Therefore, a dimensional error of the arm member that occurs when the arm member is manufactured, assembled, or when the arm member is aged can be compensated for by simply changing the angular velocity of the second motor.

【００３７】さらに、２台のモータを使用することによ
って、アーム輪の径を伝達輪の径に影響されることな
く、自由に設定することが可能になる。従って、アーム
輪の径を伝達輪の径よりも大きく寸法設定することによ
って、アーム輪により大きなトルクが与えられる。Further, by using two motors, the diameter of the arm wheel can be freely set without being affected by the diameter of the transmission wheel. Therefore, by setting the diameter of the arm wheel to be larger than the diameter of the transmission wheel, a larger torque is applied to the arm wheel.

【００３８】上記請求項２記載のロボットのアーム構造
によれば、伝達輪とアーム輪とは同一径に寸法設定され
ているため、基部アームおよび中間アームを駆動させる
第１モータおよび第２モータの駆動制御が簡単になる。According to the robot arm structure of the second aspect, since the transmission wheel and the arm wheel are dimensioned to have the same diameter, the first motor and the second motor for driving the base arm and the intermediate arm are driven. Drive control is simplified.

【００３９】上記請求項３記載のロボットのアーム構造
によれば、ベース輪、伝達輪、アーム輪、固定輪および
動手輪はプーリを有しているとともに、上記第１伝達手
段および第２伝達手段は無端ベルトが適用されているた
め、アーム構造が軽量になるとともに、製造コストが低
減する。According to the robot arm structure of the third aspect, the base wheel, the transmission wheel, the arm wheel, the fixed wheel, and the moving wheel have pulleys, and the first transmission means and the second transmission means. Since the endless belt is applied, the arm structure is reduced in weight and the manufacturing cost is reduced.

【００４０】上記請求項４記載のロボットのアーム構造
によれば、基部アームおよび中間アームは、それぞれ箱
状のハウジングを有し、上記伝達輪およびアーム輪は上
記基部アームのハウジングに内装され、上記固定輪およ
び動手輪は中間アームのハウジングに内装されているた
め、アーム構造のアーム部材に関する駆動部分が外部か
ら遮断され、駆動部分への埃の付着等が抑止される。According to the robot arm structure of the fourth aspect, the base arm and the intermediate arm each have a box-shaped housing, and the transmission wheel and the arm wheel are housed in the housing of the base arm. Since the fixed wheel and the moving wheel are housed in the housing of the intermediate arm, the driving portion related to the arm member of the arm structure is shut off from the outside, and adhesion of dust and the like to the driving portion is suppressed.

【００４１】上記請求項５記載のロボットのアーム構造
によれば、第１モータ、第２モータおよびベース輪は箱
状のモータ用ハウジングに内装されているため、上記両
モータは外部から遮断され、モータの駆動によって生じ
る微細な粉塵の外気への飛散が抑止される。According to the robot arm structure of the fifth aspect, since the first motor, the second motor and the base wheel are housed in the box-shaped motor housing, the two motors are shut off from the outside, The scattering of fine dust generated by driving the motor into the outside air is suppressed.

【００４２】上記請求項６記載のロボットのアーム構造
によれば、ベース輪は筒状体によって形成され、この筒
状体はベアリングを介して上記モータ用ハウジングに取
り付けられているとともに、第１モータにその駆動によ
って回転するように接続され、上記筒状体と同軸の駆動
軸が設けられ、この駆動軸は上記筒状体の内壁面に支持
されて回転可能に設けられ、駆動軸の頂部に伝達輪が固
定されているとともに、第２モータにその駆動によって
回転するように接続されているため、回転駆動を伝達す
る構造がハウジングによって封じ込まれた状態になって
おり、アーム部材等の駆動によって生じる微細な粉塵の
外気への飛散が抑止される。According to the robot arm structure of the sixth aspect, the base wheel is formed by a cylindrical body, and the cylindrical body is mounted on the motor housing via a bearing, and the first motor The drive shaft is connected so as to be rotated by the drive, and a drive shaft coaxial with the tubular body is provided. The drive shaft is supported rotatably on the inner wall surface of the tubular body, and is provided at the top of the drive shaft. Since the transmission wheel is fixed and connected to the second motor so as to rotate by its drive, the structure for transmitting the rotation drive is sealed by the housing, and the drive of the arm member and the like is performed. The scattering of fine dust generated by the air to the outside air is suppressed.

【００４３】上記請求項７記載のロボットのアーム構造
によれば、制御装置は、パルス電流によって第１モータ
および第２モータを制御するように構成されているた
め、各モータの回転駆動の角速度が確実に制御される。According to the robot arm structure of the seventh aspect, since the control device is configured to control the first motor and the second motor by the pulse current, the angular velocity of the rotational drive of each motor is reduced. It is controlled reliably.

【００４４】[0044]

【実施例】図１は、本発明に係るロボットのアーム構造
の一例を示す一部切欠き斜視図であり、図２はその側面
断面視の説明図である。本実施例においてはロボットの
アーム構造として半導体製造工場におけるウエハの搬送
装置に用いられるものを例示している。これらの図に示
すように、ロボットのアーム構造は、ウエハを保持する
先端部が直線運動するように伸縮するウエハ搬送用のア
ーム１と、このアーム１を支持するベース部２とからな
る基本構成を有している。FIG. 1 is a partially cutaway perspective view showing an example of the arm structure of a robot according to the present invention, and FIG. 2 is an explanatory view of a side sectional view thereof. In this embodiment, an example of a robot arm structure used in a wafer transfer device in a semiconductor manufacturing factory is illustrated. As shown in these drawings, the arm structure of the robot has a basic configuration including a wafer transfer arm 1 that expands and contracts so that a tip end holding a wafer moves linearly, and a base 2 that supports the arm 1. have.

【００４５】まず上記アーム１は、ベース部２に回転可
能に基端側が接続された基部アーム１１と、この基部ア
ーム１１の先端側に基端側が屈伸可能に接続され、基部
アーム１１と等しい有効長を有する中間アーム１２と、
この中間アーム１２の先端側に基端側が屈伸可能に接続
された先端アーム１３とから構成されている。なお、有
効長とは各アーム１１，１２の軸間距離をいい、具体的
には基部アーム１１の場合は後述する基部アーム軸３４
の軸心と中間アーム軸３５の軸心との間の距離であり、
中間アーム１２の場合は中間アーム軸３５の軸心と後述
する先端アーム軸３３の軸心との間の距離である。First, the arm 1 has a base arm 11 rotatably connected to the base 2 at a base end thereof, and a base end connected to the distal end of the base arm 11 so as to be able to bend and extend. An intermediate arm 12 having a length,
A distal arm 13 is connected to the distal end of the intermediate arm 12 so that the proximal end can be bent and stretched. The effective length refers to the distance between the axes of the arms 11 and 12, and specifically, in the case of the base arm 11, a base arm shaft 34 described later.
And the distance between the axis of the intermediate arm shaft 35 and
In the case of the intermediate arm 12, it is the distance between the axis of the intermediate arm shaft 35 and the axis of the tip arm shaft 33 described later.

【００４６】また、上記ベース部２は中空箱状に形成さ
れ、この中空部分に密閉状態のベース室２１が設定され
ている。このベース室２１内には後述する駆動手段とし
てのドラム用モータ（第１モータ）４および軸用モータ
（第２モータ）５が内装されている。またベース部２の
天井部２２の略中央部には貫通穴２３が穿設され、この
貫通穴２３にベアリング２４を介して軸心回りに回転自
在に円筒状のベースドラム（ベース輪）３１がその上部
をベース部２から外部に突出させた状態で嵌装されてい
る。The base portion 2 is formed in a hollow box shape, and a closed base chamber 21 is set in this hollow portion. In the base chamber 21, a drum motor (first motor) 4 and a shaft motor (second motor) 5 as driving means to be described later are housed. A through hole 23 is formed in a substantially central portion of the ceiling portion 22 of the base portion 2, and a cylindrical base drum (base wheel) 31 is rotatable around the axis via a bearing 24 in the through hole 23. It is fitted with its upper part protruding from the base part 2 to the outside.

【００４７】このベースドラム３１の先端には基部アー
ム１１が固定されている。この基部アーム１１は横長の
箱体によって構成され、内部に基部アーム室１４が形成
されている。上記ベースドラム３１の先端面には基部ア
ーム１１の基端側の下面部がネジ止めその他で固定され
ている。従って、基部アーム１１はベースドラム３１の
軸心回りに上記ベアリング２４を介してベースドラム３
１と共回り可能になっている。The base arm 11 is fixed to the tip of the base drum 31. The base arm 11 is formed of a horizontally long box, and has a base arm chamber 14 formed therein. A lower surface on the base end side of the base arm 11 is fixed to the front end surface of the base drum 31 by screws or the like. Accordingly, the base arm 11 is moved around the axis of the base drum 31 via the bearing 24 and the base drum 3.
It can be rotated together with 1.

【００４８】また、基部アーム１１の先端側には軸心回
りに回転自在であって、上記ベースドラム３１と平行に
設定された円筒状のアームドラム（アーム輪）３２が設
けられている。具体的には、基部アーム室１４先端側の
天井部に貫通穴１１ａが穿設され、この貫通穴１１ａに
ベアリング１１ｂを介して軸心回りに回転自在にアーム
ドラム３２がその上部を外部に突出させた状態で嵌装さ
れている。A cylindrical arm drum (arm ring) 32 is provided at the distal end of the base arm 11 so as to be rotatable around the axis and set in parallel with the base drum 31. More specifically, a through hole 11a is formed in the ceiling at the distal end side of the base arm chamber 14, and an arm drum 32 projects upward from the upper portion to the outside through the through hole 11a so as to be rotatable around an axis through a bearing 11b. It is fitted in the state where it was made to be.

【００４９】そして、このアームドラム３２の上端に中
間アーム１２が固定されている。この中間アーム１２も
上記基部アーム１１と同様に内部に中間アーム室１５を
有する箱体で形成され、その基端側下面部がアームドラ
ム３２の上面部にネジ止めその他で固定され、アームド
ラム３２と中間アーム１２とが一体に結合された状態に
なっている。従って、中間アーム１２はアームドラム３
２の軸心回りにベアリング１１ｂを介して回転可能にな
っている。The intermediate arm 12 is fixed to the upper end of the arm drum 32. The intermediate arm 12 is also formed of a box body having an intermediate arm chamber 15 therein similarly to the base arm 11, and the lower surface on the base end side is fixed to the upper surface of the arm drum 32 by screwing or the like. And the intermediate arm 12 are integrally connected. Therefore, the intermediate arm 12 is connected to the arm drum 3
It is rotatable around a second axis through a bearing 11b.

【００５０】さらに、中間アーム１２の先端側には軸心
回りに回転自在であって、上記アームドラム３１と平行
に設定された先端アーム軸３３が設けられている。この
先端アーム軸３３は中間アーム１２の先端側天井部に穿
設された貫通穴１２ａにベアリング１２ｂを介して嵌装
され、その上部が外部に突出されている。Further, on the distal end side of the intermediate arm 12, there is provided a distal arm shaft 33 which is rotatable around the axis and is set in parallel with the arm drum 31. The distal arm shaft 33 is fitted via a bearing 12b into a through hole 12a formed in a ceiling portion on the distal end side of the intermediate arm 12, and an upper portion of the distal arm shaft 33 projects outside.

【００５１】上記先端アーム軸３３の上部には径方向に
向けて横長平板状の先端アーム１３がその基端側でネジ
止めあるいは溶接止めで固定されている。この先端アー
ム１３の先端部にウエハＷを載置あるいは把持可能な構
造が形成されており（詳細は図示せず）、ウエハＷの搬
送を行い得るようになっている。On the upper end of the distal arm shaft 33, the distal arm 13 in the form of a flat plate extending in the radial direction is fixed at its base end by screwing or welding. A structure capable of mounting or holding the wafer W is formed on the distal end of the distal arm 13 (details are not shown) so that the wafer W can be transferred.

【００５２】以上のように各ドラムや軸の回転支持部分
にベアリング２４，１１ｂ，１２ｂが適用されているの
で、軸心回りに基部アーム１１、中間アーム１２および
先端アーム１３を円滑に回転させることが可能になる。As described above, since the bearings 24, 11b, and 12b are applied to the rotation supporting portions of the respective drums and shafts, the base arm 11, the intermediate arm 12, and the tip arm 13 can be smoothly rotated around the axis. Becomes possible.

【００５３】上記ベースドラム３１には、同心状で基部
アーム軸３４が軸心回りに回転自在に貫装され、上端は
基部アーム室１４内に密封されている。また、上記アー
ムドラム３２には同心の中間アーム軸３５が貫装され、
上端は中間アーム室１５内に突出している。中間アーム
軸３５の下端部は基部アーム１１の先端側に固定されて
いる。そして、上記基部アーム軸３４の先端部には第１
プーリ（伝達輪）３６が固設されている。また、上記ア
ームドラム３２の下端部には第２プーリ３７が固設さ
れ、中間アーム軸３５回りにアームドラム３２と一体で
回転可能になっている。中間アーム軸３５の上端部には
第３プーリ（固定輪）３８が固設され、さらに、先端ア
ーム軸３３の下端部には第４プーリ（動手輪）３９が固
設されている。The base drum 31 is concentrically provided with a base arm shaft 34 that is rotatable about its axis, and the upper end is sealed in the base arm chamber 14. Further, a concentric intermediate arm shaft 35 is inserted through the arm drum 32,
The upper end protrudes into the intermediate arm chamber 15. The lower end of the intermediate arm shaft 35 is fixed to the distal end of the base arm 11. The first end of the base arm shaft 34 is
A pulley (transmission wheel) 36 is fixed. A second pulley 37 is fixed to the lower end of the arm drum 32, and is rotatable integrally with the arm drum 32 around the intermediate arm shaft 35. A third pulley (fixed wheel) 38 is fixed to the upper end of the intermediate arm shaft 35, and a fourth pulley (moving wheel) 39 is fixed to the lower end of the tip arm shaft 33.

【００５４】そして、第１プーリ３６と第２プーリ３７
との間に第１ベルト（第１伝達手段）３６７が張設さ
れ、第３プーリ３８と第４プーリ３９との間に第２ベル
ト（第２伝達手段）３８９が張設されている。従って、
まずベースドラム３１が一方向に回転すると、これと一
体の基部アーム１１が一方向に回転し、第１ベルト３６
７は第１プーリ３６に巻き付くことになる。見方を変え
れば、第１プーリ３６は基部アーム１１に対して他方向
に相対回転することになる。そして第１プーリ３６が他
方向に回転すると、この回転は第１ベルト３６７を介し
て第２プーリ３７に伝達され、この第２プーリ３７と一
体のアームドラム３２を回転させることになる。そして
このアームドラム３２の回転によってそれと一体の中間
アーム１２が他方向に回転する。ところで、中間アーム
軸３５は基部アーム１１と一体であるため、基部アーム
１１の一方向への回転によって、中間アーム１２が他方
向に回転すると、この回転によって第４プーリ３９は第
２ベルト３８９に巻き付き、この第２ベルト３８９の循
環移動によって一方向に回転しようとする。しかし、第
４プーリ３９は、中間アーム１２の他方向への回転によ
って他方向へも回転するため、結局上記第２ベルト３８
９による一方向への回転量と、中間アーム１２の旋回に
よる他方向への回転量との差し引きの回転量だけいずれ
かの方向に回転することになる。Then, the first pulley 36 and the second pulley 37
, A first belt (first transmission means) 367 is stretched, and between the third pulley 38 and the fourth pulley 39, a second belt (second transmission means) 389 is stretched. Therefore,
First, when the base drum 31 rotates in one direction, the base arm 11 integrated therewith rotates in one direction, and the first belt 36 rotates.
7 is wound around the first pulley 36. In other words, the first pulley 36 rotates relative to the base arm 11 in the other direction. When the first pulley 36 rotates in the other direction, the rotation is transmitted to the second pulley 37 via the first belt 367, and the arm drum 32 integrated with the second pulley 37 is rotated. The rotation of the arm drum 32 causes the intermediate arm 12 integrated therewith to rotate in the other direction. By the way, since the intermediate arm shaft 35 is integral with the base arm 11, when the base arm 11 rotates in one direction and the intermediate arm 12 rotates in the other direction, this rotation causes the fourth pulley 39 to move to the second belt 389. The second belt 389 wraps around and attempts to rotate in one direction due to the circulating movement of the second belt 389. However, the fourth pulley 39 rotates in the other direction due to the rotation of the intermediate arm 12 in the other direction.
9 rotates in one direction by the amount of rotation in one direction by the rotation amount in one direction by the rotation of the intermediate arm 12 and the amount of rotation in the other direction by the rotation of the intermediate arm 12.

【００５５】そして、本発明においては、上記第１プー
リ３６の径寸法と第２プーリ３７の径寸法との比が１：
１に設定されているとともに、上記第３プーリ３８の径
寸法と第４プーリ３９の径寸法とが１：２に設定されて
いる。従って、後に詳述するように、アーム１が屈伸運
動を行うと、先端アーム軸３３の軸心が、常にこの軸心
と基部アーム軸３４の軸心とを結ぶ直線上、またはこの
直線の延長線上を通るようになるとともに、先端アーム
１３は常に同一の径方向に延びた状態になる。In the present invention, the ratio between the diameter of the first pulley 36 and the diameter of the second pulley 37 is 1: 1.
1, and the diameter of the third pulley 38 and the diameter of the fourth pulley 39 are set to 1: 2. Therefore, as will be described in detail later, when the arm 1 performs the bending / extending motion, the axis of the distal arm shaft 33 is always on a straight line connecting this axis and the axis of the base arm shaft 34 or an extension of this straight line. While passing on the line, the tip arm 13 always extends in the same radial direction.

【００５６】上記ベース部２のベース室２１内には、上
記ベースドラム３１を回転させるためのドラム用モータ
４と、上記基部アーム軸３４を回転させるための軸用モ
ータ５とが内設されている。具体的には、ドラム用モー
タ４および軸用モータ５の双方がベースドラム３１を挟
んで互いに対向するようにベース室２１の床面に据付け
られている。A drum motor 4 for rotating the base drum 31 and a shaft motor 5 for rotating the base arm shaft 34 are provided inside the base chamber 21 of the base portion 2. I have. Specifically, both the drum motor 4 and the shaft motor 5 are installed on the floor of the base chamber 21 so as to face each other with the base drum 31 interposed therebetween.

【００５７】そして、上記ドラム用モータ４には第１駆
動軸４１が設けられ、この第１駆動軸４１には第１駆動
プーリ４２が固設されている。この第１駆動プーリ４２
に対応して上記ベースドラム３１の下端側に第５プーリ
４３が固設されている。第１駆動プーリ４２と第５プー
リ４３との間には第１動力ベルト６が張設されている。
また、上記軸用モータ５には第２駆動軸５１が設けら
れ、この第２駆動軸５１には第２駆動プーリ５２が固設
され、この第２駆動プーリ５２に対応して上記基部アー
ム軸３４の下端側に第６プーリ５３が設けられている。
これら第２駆動プーリ５２と第６プーリ５３との間に第
２動力ベルト７が張設されている。A first drive shaft 41 is provided on the drum motor 4, and a first drive pulley 42 is fixed to the first drive shaft 41. This first drive pulley 42
A fifth pulley 43 is fixedly provided at the lower end of the base drum 31 in correspondence with the above. The first power belt 6 is stretched between the first drive pulley 42 and the fifth pulley 43.
Further, the shaft motor 5 is provided with a second drive shaft 51, and a second drive pulley 52 is fixed to the second drive shaft 51. The base arm shaft corresponds to the second drive pulley 52. A sixth pulley 53 is provided on the lower end side of 34.
The second power belt 7 is stretched between the second drive pulley 52 and the sixth pulley 53.

【００５８】そして、第１駆動プーリ４２の径寸法と第
５プーリ４３の径寸法との比は、第２駆動プーリ５２の
径寸法と第６プーリ５３の径寸法との比と等しく設定さ
れているため、ドラム用モータ４および軸用モータ５を
同一角速度で回転駆動させることによって、ベースドラ
ム３１および基部アーム軸３４は同じ角速度で回転す
る。The ratio between the diameter of the first drive pulley 42 and the diameter of the fifth pulley 43 is set equal to the ratio of the diameter of the second drive pulley 52 to the diameter of the sixth pulley 53. Therefore, by rotating and driving the drum motor 4 and the shaft motor 5 at the same angular velocity, the base drum 31 and the base arm shaft 34 rotate at the same angular velocity.

【００５９】本実施例においては、上記第１ベルト３６
７、第２ベルト３８９、第１動力ベルト６および第２動
力ベルト７として内周面に歯面が形成された同期ベルト
が適用されている。また、上記第１プーリ３６、第２プ
ーリ３７、第３プーリ３８、第１駆動プーリ４２および
第２駆動プーリ５２のいずれについても外周面には上記
ベルトの歯面に対応した歯面が形成されている。従っ
て、ドラム用モータ４および軸用モータ５の回転駆動
を、上記ベルトを介して上記各プーリに確実に伝達する
ことが可能になる。In this embodiment, the first belt 36
As the second belt 389, the first power belt 6, and the second power belt 7, a synchronous belt having a tooth surface formed on an inner peripheral surface is applied. Further, each of the first pulley 36, the second pulley 37, the third pulley 38, the first drive pulley 42, and the second drive pulley 52 has a tooth surface corresponding to the tooth surface of the belt on the outer peripheral surface. ing. Therefore, the rotation drive of the drum motor 4 and the shaft motor 5 can be reliably transmitted to the pulleys via the belt.

【００６０】また、ドラム用モータ４および軸用モータ
５として、パルス電流が供給されることによってパルス
周期に比例した回転駆動を行ういわゆるパルス制御モー
タが適用されている。かかるパルス制御モータを適用す
ることにより、電流値そのものを制御しなくても、パル
ス電流のパルス周期を制御するだけで所望の正逆回転数
を確実に得ることが可能になる。すなわち、パルス制御
モータを適用することにより、先端アーム１３の直進退
の移動量、移動速度を容易に得ることが可能になると共
に、各モータ４，５の回転方向を変えるだけでアーム１
の伸縮およびアーム１の旋回のいずれかに切り換え可能
であり、アーム１を自動制御する上で極めて有効であ
る。As the drum motor 4 and the shaft motor 5, a so-called pulse control motor that performs a rotation drive in proportion to a pulse period by supplying a pulse current is applied. By applying such a pulse control motor, a desired forward / reverse rotation speed can be reliably obtained only by controlling the pulse cycle of the pulse current without controlling the current value itself. That is, by applying the pulse control motor, it is possible to easily obtain the moving amount and the moving speed of the rectilinear movement of the distal arm 13 and to change the rotation direction of each of the motors 4 and 5 to change the arm 1.
Can be switched to any one of expansion and contraction of the arm and turning of the arm 1, which is extremely effective in automatically controlling the arm 1.

【００６１】そして、ベース部２の近傍には制御装置９
が設けられており、この制御装置９から、所定のパルス
周期を有するパルス電流が、ドラム用モータ４および軸
用モータ５に出力されるようになっている。本実施例に
おいては、アーム１に屈伸運動をさせるときは、ドラム
用モータ４および軸用モータ５に、それらが互いに逆方
向に回転するための同一パルス数の電流が供給され、ア
ーム１を旋回させるときは、上記両モータ４，５に、そ
れらが同一方向に回転するための同一パルス数の信号が
出力されるようになっている。The control device 9 is located near the base 2.
The controller 9 outputs a pulse current having a predetermined pulse cycle to the drum motor 4 and the shaft motor 5. In this embodiment, when the arm 1 is bent and extended, the same number of pulses of current are supplied to the drum motor 4 and the shaft motor 5 so that they rotate in opposite directions. In this case, signals having the same number of pulses are output to the motors 4 and 5 so that they rotate in the same direction.

【００６２】本発明のロボットのアーム構造は以上のよ
うに構成されているので、ドラム用モータ４を一方向
に、軸用モータ５を他方向に回転させれば、まずドラム
用モータ４の回転駆動は、第１駆動軸４１、第１駆動プ
ーリ４２、第１動力ベルト６および第５プーリ４３を介
してベースドラム３１に伝達される。また、軸用モータ
５の回転駆動は、第２駆動軸５１、第２駆動プーリ５
２、第２動力ベルト７および第６プーリ５３を介して基
部アーム軸３４に伝達される。そしてこの場合、第１駆
動プーリ４２の径寸法と第５プーリ４３の径寸法との比
は、第２駆動プーリ５２の径寸法と第６プーリ５３の径
寸法との比と等しくなるように設定されているため、ド
ラム用モータ４および軸用モータ５に同一速度の正逆回
転力を与え、ベースドラム３１および基部アーム軸３４
の角速度の絶対値は常に同じになる。Since the arm structure of the robot according to the present invention is configured as described above, if the drum motor 4 is rotated in one direction and the shaft motor 5 is rotated in the other direction, first, the rotation of the drum motor 4 is started. The drive is transmitted to the base drum 31 via the first drive shaft 41, the first drive pulley 42, the first power belt 6, and the fifth pulley 43. The rotation of the shaft motor 5 is controlled by the second drive shaft 51 and the second drive pulley 5.
2, transmitted to the base arm shaft 34 via the second power belt 7 and the sixth pulley 53. In this case, the ratio between the diameter of the first drive pulley 42 and the diameter of the fifth pulley 43 is set to be equal to the ratio of the diameter of the second drive pulley 52 to the diameter of the sixth pulley 53. Therefore, the same rotational speed is applied to the drum motor 4 and the shaft motor 5 at the same speed, so that the base drum 31 and the base arm shaft 34 are rotated.
The absolute value of the angular velocity is always the same.

【００６３】そして、ドラム用モータ４の一方向への回
転駆動による基部アーム１１の回転によって第１ベルト
３６７は第１プーリ３６に巻き付くため、この巻き付き
によって第１ベルト３６７は他方向に第１プーリ３６と
第２プーリ３７間を循環移動しこの循環移動によって第
２プーリ３７は他方向に回転することになる。The first belt 367 is wound around the first pulley 36 by the rotation of the base arm 11 due to the rotation of the drum motor 4 in one direction, so that the first belt 367 is wound in the other direction by the winding. The second pulley 37 rotates in the other direction by circulating between the pulley 36 and the second pulley 37.

【００６４】同時に軸用モータ５は他方向へ同一の角速
度で回転駆動するため、その回転は基部アーム軸３４を
介して第１プーリ３６に伝達され、結局第２プーリ３７
の回転角度はドラム用モータ４による基部アーム１１の
回転角度と軸用モータ５による第１プーリ３６の回転角
度との合計角度になる。At the same time, since the shaft motor 5 is driven to rotate in the other direction at the same angular velocity, the rotation is transmitted to the first pulley 36 via the base arm shaft 34 and eventually the second pulley 37.
Is the total angle of the rotation angle of the base arm 11 by the drum motor 4 and the rotation angle of the first pulley 36 by the shaft motor 5.

【００６５】そして、ベースドラム３１を回転させるド
ラム用モータ４と、基部アーム軸３４を回転させる軸用
モータ５とは、ベースドラム３１および基部アーム軸３
４の回転角度の絶対値が同じになるように設定されてい
るため、上記合計角度は基部アーム１１の一方向への回
転角度に対し他方向へ２倍となる。The drum motor 4 for rotating the base drum 31 and the shaft motor 5 for rotating the base arm shaft 34 include the base drum 31 and the base arm shaft 3.
Since the absolute values of the rotation angles of 4 are set to be the same, the total angle is twice as large in the other direction as the rotation angle of the base arm 11 in one direction.

【００６６】しかも、基部アーム１１の有効長（基部ア
ーム軸３４の軸心と第２プーリ３７の軸心との間の距
離）と中間アーム１２の有効長（第２プーリ３７の軸心
と先端アーム軸３３の軸心との間の距離）とは同じに設
定されているため、先端アーム軸３３は、基部アーム軸
３４の軸心の径方向に対する１本の放射線上を移動する
ことになる。In addition, the effective length of the base arm 11 (the distance between the axis of the base arm shaft 34 and the axis of the second pulley 37) and the effective length of the intermediate arm 12 (the axis of the second pulley 37 and the distal end). (The distance from the axis of the arm shaft 33) is set to be the same as that of the arm arm 33, so that the distal arm shaft 33 moves on one ray in the radial direction of the axis of the base arm shaft 34. .

【００６７】また、上記アームドラム３２の他方向への
回転は、中間アーム軸３５を介して基部アーム１１と一
体の第３プーリ３８と、第２ベルト３８９とによって第
４プーリ３９を回転させるため、先端アーム１３を中間
アーム１２に対して一方向に回転させることになる。そ
してこの場合、第３プーリ３８の径寸法と第４プーリ３
９の径寸法とは１：２に設定されているため、第４プー
リ３９は中間アーム１２の回転角の１／２になる。一
方、中間アーム１２の他方向への回転によって先端アー
ム軸３３は他方向に回転するため、上記第４プーリ３９
の一方向への回転との間で相殺され、先端アーム１３は
その姿勢方向が前述した１本の放射線上に維持された状
態で移動することになる。The arm drum 32 is rotated in the other direction because the third pulley 38 integrated with the base arm 11 via the intermediate arm shaft 35 and the second belt 389 rotate the fourth pulley 39. , The tip arm 13 is rotated in one direction with respect to the intermediate arm 12. In this case, the diameter of the third pulley 38 and the fourth pulley 3
Since the diameter dimension of 9 is set to 1: 2, the fourth pulley 39 is １ ／ of the rotation angle of the intermediate arm 12. On the other hand, the distal arm shaft 33 rotates in the other direction due to the rotation of the intermediate arm 12 in the other direction.
, And the tip arm 13 moves in a state where its posture direction is maintained on the above-mentioned single radiation.

【００６８】一方、ドラム用モータ４および軸用モータ
５の双方を同じ方向に回転駆動させれば、ベースドラム
３１の回転方向と同じ方向に基部アーム軸３４も軸心回
りに回転するため、ベースドラム３１と共回りしている
基部アーム１１に対して基部アーム軸３４は相対回転せ
ず、従って第１ベルト３６７の第１プーリ３６および中
間アーム軸３５間の循環移動は起こらず、アームドラム
３２は基部アーム１１に対して回転せず、その結果基部
アーム１１および中間アーム１２間の屈伸並びに中間ア
ーム１２および先端アーム１３間の屈伸は起こらず、ア
ーム１はその屈伸姿勢が保持された状態でドラム用モー
タ４および軸用モータ５の回転方向に応じて基部アーム
軸３４の軸心回りに正逆旋回することになる。On the other hand, if both the drum motor 4 and the shaft motor 5 are driven to rotate in the same direction, the base arm shaft 34 also rotates around the axis in the same direction as the rotation direction of the base drum 31. The base arm shaft 34 does not rotate relative to the base arm 11 co-rotating with the drum 31, so that the circulation movement between the first pulley 36 of the first belt 367 and the intermediate arm shaft 35 does not occur, and the arm drum 32 Does not rotate with respect to the base arm 11, and as a result, bending and stretching between the base arm 11 and the intermediate arm 12 and bending and stretching between the intermediate arm 12 and the distal arm 13 do not occur, and the arm 1 is held in its bent and stretched posture. The base arm shaft 34 turns forward and backward in accordance with the rotation direction of the drum motor 4 and the shaft motor 5.

【００６９】また、ベース部２のベース室２１内にドラ
ム用モータ４、軸用モータ５およびベースドラム３１の
下端側が内設され、基部アーム１１の基部アーム室１４
内に第１プーリ３６、第２プーリ３７およびアームドラ
ム３２の下端側が内設され、中間アーム１２の中間アー
ム室１５内に第３プーリ３８、第４プーリ３９および先
端アーム軸３３の基端側が内設され、すべての可動部分
が密封状態になっているため、可動部分において発生す
る微細な粉塵や潤滑オイルの外部への飛散を有効に防止
することが可能になる。The lower end of the drum motor 4, the shaft motor 5, and the base drum 31 are provided inside the base chamber 21 of the base 2, and the base arm chamber 14 of the base arm 11 is provided.
The lower ends of the first pulley 36, the second pulley 37, and the arm drum 32 are provided therein, and the third pulley 38, the fourth pulley 39, and the base end of the distal arm shaft 33 are provided in the intermediate arm chamber 15 of the intermediate arm 12. Since the movable part is provided inside and all the movable parts are in a sealed state, it is possible to effectively prevent fine dust and lubricating oil generated in the movable parts from scattering to the outside.

【００７０】図７は、中間アームの先端部が直線運動を
する幾何学的原理を説明するための説明図である。この
図においては、三角形ＯＡＢのＯが基部アーム軸３４の
軸心を表し、線分ＯＡが基部アーム１１の有効長、線分
ＡＢが中間アーム１２の有効長をそれぞれ表している。
点Ｂが中間アーム１２の先端アーム軸３３の軸心であ
る。また、先端アーム軸３３の軸心が紙面の上方に延ば
された状態を三角形ＯＡ′Ｂ′で表している。この場合
線分ＯＡ′が基部アーム１１の有効長であり、線分Ａ′
Ｂ′が中間アーム１２の有効長である。また、点Ｃ、
Ｃ′およびＣ″は、先端アーム１３のウエハＷの位置を
表している。FIG. 7 is an explanatory diagram for explaining the geometric principle in which the tip of the intermediate arm makes a linear motion. In this figure, O of the triangle OAB represents the axis of the base arm shaft 34, line segment OA represents the effective length of the base arm 11, and line segment AB represents the effective length of the intermediate arm 12, respectively.
Point B is the axis of the distal arm shaft 33 of the intermediate arm 12. A state where the axis of the tip arm shaft 33 is extended above the plane of the paper is represented by a triangle OA'B '. In this case, the line segment OA 'is the effective length of the base arm 11, and the line segment A'
B 'is the effective length of the intermediate arm 12. Also, point C,
C ′ and C ″ represent the position of the wafer W on the tip arm 13.

【００７１】そして、本発明は、基部アーム１１が基部
アーム軸３４（点Ｏ）回りに例えば反時計方向に角αだ
け回動したときには、中間アーム１２（線分ＡＢ）はア
ームドラム３２（点Ａ）回りに角２αだけ時計方向に回
動するように構成されているのである。従って、もし中
間アーム１２がアームドラム３２（点Ａ）回りに回動し
ない状態で基部アーム１１が基部アーム軸３４（点Ｏ）
回りに角αだけ回動した場合の破線で示す中間アーム１
２（線分Ａ′Ｂ″）と、中間アーム１２をアームドラム
３２回りに回動させたときの中間アーム１２（線分Ａ′
Ｂ′）とでつくる角ｘが２αになっていることが証明さ
れれば、先端アーム軸３３の軸心はどのように基部アー
ム１１を基部アーム軸３４回りに回動させても、一点鎖
線で示す直線上を移動することになる。それを証明すれ
ば以下の通りとなる。In the present invention, when the base arm 11 is rotated around the base arm axis 34 (point O) by, for example, an angle α in a counterclockwise direction, the intermediate arm 12 (line AB) is moved to the arm drum 32 (point O). A) It is configured to rotate clockwise around the angle 2α. Therefore, if the intermediate arm 12 does not rotate around the arm drum 32 (point A), the base arm 11 is moved to the base arm shaft 34 (point O).
Intermediate arm 1 shown by a broken line when rotated about angle α
2 (line segment A′B ″) and the intermediate arm 12 (line segment A ′) when the intermediate arm 12 is rotated around the arm drum 32.
If it is proved that the angle x formed with B ′) is 2α, the dash-dot line indicates that the axis of the distal arm shaft 33 is no matter how the base arm 11 is rotated around the base arm axis 34. It moves on the straight line indicated by. Proving that is as follows.

【００７２】すなわち、三角形ＯＡ′Ｂ′において、 角Ｂ′ＯＡ′＋角ＯＡ′Ｂ′＋角Ａ′Ｂ′Ｏ＝180° 故に β＋（180°−２（α＋β））＋ｘ＋β＝180° これを解いて ｘ＝２α となる。That is, in the triangle OA'B ', the angle B'OA' + the angle OA'B '+ the angle A'B'O = 180 °, so that β + (180 ° −2 (α + β)) + x + β = 180 ° Solving, x = 2α.

【００７３】また、先端アーム１３は、中間アーム１２
に対して反時計方向に角αだけ回転しなければならな
い。もし、先端アーム１３が反時計方向に角αだけ回転
しないのであれば、先端アーム１３は、伸長した状態の
三角形ＯＡ′Ｂ′における線分Ｂ′Ｃ″で表される位置
にくる。しかし実際には基部アーム１１は、反時計方向
に角αだけ旋回するため、結局先端アーム１３は周方向
に姿勢変更せずに線分ＯＡの延長線上の線分Ｂ′Ｃ′の
位置にくる。Further, the distal arm 13 is
Must be rotated counterclockwise by an angle α. If the distal arm 13 does not rotate by the angle α in the counterclockwise direction, the distal arm 13 comes to a position represented by a line segment B′C ″ in the extended triangle OA′B ′. Since the base arm 11 pivots by the angle α in the counterclockwise direction, the distal arm 13 eventually comes to the position of the line segment B′C ′ on the extension of the line segment OA without changing the posture in the circumferential direction.

【００７４】以上の作用について、図３〜図６を用いて
具体的に説明する。まず図３は、アームの平面視の説明
図であり、先端アームが基準位置にある状態を例示して
いる。図３に示す状態では、紙面において基部アーム１
１は基部アーム軸３４から右斜め上に向けて４５°で傾
斜し、それに続く中間アーム１２は基部アーム１１の延
長線に対して左斜め上に向けて９０°で傾斜し、さらに
先端アーム１３は中間アーム１２の延長線に対して右４
５°、すなわちまっすぐに上方に向いている。The above operation will be specifically described with reference to FIGS. First, FIG. 3 is an explanatory view of the arm in plan view, and illustrates a state in which the distal end arm is at a reference position. In the state shown in FIG. 3, the base arm 1
1 is tilted at an angle of 45 ° upward and diagonally right from the base arm axis 34, the intermediate arm 12 is tilted at an angle of 90 ° upward and diagonally left with respect to the extension of the base arm 11, Is right 4 with respect to the extension of the intermediate arm 12.
5 °, ie, pointing straight up.

【００７５】この状態において図１および図２に示すド
ラム用モータ４を反時計方向に回転駆動させるととも
に、軸用モータ５を時計方向に回転駆動させて、ベース
ドラム３１を基部アーム軸３４回りに反時計方向に４５
°回転させ、かつ、第１プーリ３６を基部アーム軸３４
の軸心回りに時計方向に４５°回転させたとする。In this state, the drum motor 4 shown in FIGS. 1 and 2 is driven to rotate counterclockwise, and the shaft motor 5 is driven to rotate clockwise to move the base drum 31 around the base arm shaft 34. 45 counterclockwise
° and rotate the first pulley 36 to the base arm shaft 34.
Is rotated clockwise by 45 ° about the axis of.

【００７６】そうすると、ベースドラム３１の反時計方
向の回動によって第２プーリ３７は基部アーム１１に対
して４５°の時計方向の回動を行うとともに、軸用モー
タ５による積極的な第１プーリ３６の時計方向への４５
°回動によって、それらが加算されて第２プーリ３７は
基部アーム１１に対して９０°時計方向に相対回動し、
図４に示すように基部アーム１１と中間アーム１２とは
紙面上方に向かって一直線上に並んだ状態になる。Then, the second pulley 37 rotates clockwise by 45 ° with respect to the base arm 11 by the counterclockwise rotation of the base drum 31, and the first pulley is actively driven by the shaft motor 5. 36 clockwise 45
Due to the rotation, they are added, and the second pulley 37 rotates relative to the base arm 11 clockwise by 90 °,
As shown in FIG. 4, the base arm 11 and the intermediate arm 12 are aligned in a straight line toward the upper side of the drawing.

【００７７】図５は、先端アームが基準位置から後方に
直退した状態を例示している。この場合は、基部アーム
１１が時計方向に９０°回動した例であるが、上記と同
様の作用で先端アーム１３は直線的に後退する。FIG. 5 exemplifies a state in which the distal end arm has receded backward from the reference position. In this case, although the base arm 11 is rotated clockwise by 90 °, the distal arm 13 recedes linearly by the same operation as described above.

【００７８】図６は、アームが図３に示す基準姿勢を維
持した状態で基部アーム軸回りに時計方向に９０°回動
した状態を示している。この例の場合は、ドラム用モー
タ４および軸用モータ５の双方は基部アーム軸３４の軸
心回りに時計方向に回転させられる。そうすることによ
って、ベースドラム３１と基部アーム軸３４とは共に時
計方向に同じ回転速度で回転するため、両者の間で回転
速度の差が得られず、従って第１プーリ３６は基部アー
ム１１に対して相対回動せず、その結果アームドラム３
２および先端アーム軸３３も回動せず、結局基部アーム
１１、中間アーム１２および先端アーム１３の屈曲姿勢
が保持された状態でアーム１は旋回し、図６に示すよう
な状態になる。FIG. 6 shows a state in which the arm is rotated 90 ° clockwise around the base arm axis while maintaining the reference posture shown in FIG. In the case of this example, both the drum motor 4 and the shaft motor 5 are rotated clockwise around the axis of the base arm shaft 34. By doing so, both the base drum 31 and the base arm shaft 34 rotate clockwise at the same rotation speed, so that no difference in rotation speed is obtained between the two, so that the first pulley 36 is attached to the base arm 11 Relative to the arm drum 3
2 and the tip arm shaft 33 also do not rotate, and eventually the arm 1 turns while the bending postures of the base arm 11, the intermediate arm 12, and the tip arm 13 are maintained, resulting in the state shown in FIG.

【００７９】また、上記ドラム用モータ４および軸用モ
ータ５は、上記制御装置９から供給される制御信号によ
って回転制御されるようになっているため、制御装置９
からの制御信号がドラム用モータ４および軸用モータ５
にそれぞれ出力され、それらはそれぞれ所定の方向に回
転する。そして、ドラム用モータ４および軸用モータ５
の回転速度は、制御信号（パルス電流）によって制御さ
れるようになっており、この制御はパルス数によって行
われる。ドラム用モータ４の回転速度は、要求されるア
ーム１の屈伸速度および旋回速度に応じて決定され、軸
用モータ５の回転速度は、各駆動軸、プーリ、ベルトお
よびドラムの機械的な結合に応じて決定される。The rotation of the drum motor 4 and the shaft motor 5 is controlled by a control signal supplied from the control device 9.
Control signal from the motor 4 for the drum and the motor 5 for the shaft
, And each of them rotates in a predetermined direction. The motor 4 for the drum and the motor 5 for the shaft
Is controlled by a control signal (pulse current), and this control is performed by the number of pulses. The rotation speed of the drum motor 4 is determined according to the required bending / extending speed and turning speed of the arm 1, and the rotation speed of the shaft motor 5 is determined by the mechanical coupling of each drive shaft, pulley, belt and drum. Determined accordingly.

【００８０】特に、実際の操業に先立って、アーム１
は、その先端アーム１３の所定の径方向への屈伸の駆動
状態がテストされる。そして、先端アーム１３が上記所
定の径方向に対し、機械的な結合上の狂いによって誤差
が生じるような屈伸運動をする場合には、軸用モータ５
に供給されるパルス電流のパルス数が変更され、軸用モ
ータ５の回転速度が調整される。この調整によって、基
部アーム１１に対する中間アーム１２の回転速度が２倍
の角速度になるように設定されるのである。In particular, prior to the actual operation, the arm 1
In the test, the driving state of bending and extension of the distal arm 13 in a predetermined radial direction is tested. When the distal arm 13 bends and extends in the predetermined radial direction so as to cause an error due to a mechanical coupling error, the shaft motor 5 is required.
Is changed, and the rotation speed of the shaft motor 5 is adjusted. By this adjustment, the rotation speed of the intermediate arm 12 with respect to the base arm 11 is set to be twice as high as the angular speed.

【００８１】そして、本発明においては、上記のように
アーム１の旋回およびアーム１の屈伸の双方に関して基
部アーム１１を旋回させるドラム用モータ４および中間
アーム１２を旋回させる軸用モータ５が使用される。従
って、中間アーム１２の回転速度を基部アーム１１の回
転速度の２倍にするためにそれぞれのプーリの径の比を
２：１に設定することが要求される従来のロボットのア
ーム構造に比較して、本発明のアーム構造は、アーム１
を所定の径方向に沿うようにより正確に直進させること
ができる。その理由は、軸用モータ５の回転駆動の角速
度を調整することによって、中間アーム１２の角速度を
基部アーム１１の角速度の２倍になるように容易に速度
設定することができるからである。これによって、ベル
トやプーリの寸法上の製造誤差や組立て誤差、あるいは
長期間の使用によって生じた老朽化による摩耗誤差が補
償されるのである。In the present invention, the drum motor 4 for rotating the base arm 11 and the shaft motor 5 for rotating the intermediate arm 12 for both the turning of the arm 1 and the bending and extension of the arm 1 are used as described above. You. Therefore, in order to make the rotation speed of the intermediate arm 12 twice as large as the rotation speed of the base arm 11, the ratio of the diameters of the respective pulleys is required to be set to 2: 1 as compared with the conventional robot arm structure. The arm structure of the present invention
Can be made to move straighter more accurately along a predetermined radial direction. The reason is that by adjusting the angular speed of the rotational drive of the shaft motor 5, the angular speed of the intermediate arm 12 can be easily set to be twice the angular speed of the base arm 11. This compensates for dimensional manufacturing and assembly errors in belts and pulleys, or wear errors due to aging caused by long-term use.

【００８２】これに対して、従来のロボットのアーム構
造においては、一つのモータによってのみ先端アーム１
３の直進運動を賄うようになっているため、上記のよう
な寸法誤差を補償することは不可能である。On the other hand, in the conventional robot arm structure, the tip arm 1 is driven only by one motor.
Since the linear motion of No. 3 is covered, it is impossible to compensate for the dimensional error as described above.

【００８３】また、ドラム用モータ４および軸用モータ
５の双方を用いてアーム１に屈伸運動を行わせるように
したことによって、第２プーリ３７の径および第１プー
リ３６の径の比を所定の値に設定することに意を払う必
要はない。換言すれば、本発明のアーム構造において
は、従来のように第２プーリ３７の径をあえて第１プー
リ３６の径の半分にする必要はないのである。逆に、第
２プーリ３７の径を第１プーリ３６の径よりも大きくす
ることも可能である。Further, by making the arm 1 bend and extend using both the drum motor 4 and the shaft motor 5, the ratio between the diameter of the second pulley 37 and the diameter of the first pulley 36 can be set to a predetermined value. You don't have to worry about setting the value to. In other words, in the arm structure of the present invention, it is not necessary to make the diameter of the second pulley 37 half the diameter of the first pulley 36 as in the related art. Conversely, the diameter of the second pulley 37 can be larger than the diameter of the first pulley 36.

【００８４】なお、上記の実施例においては、第１プー
リ３６および第２プーリ３７の径の比は、１：１に設定
されている。この１：１の比は、ドラム用モータ４およ
び軸用モータ５の駆動制御を容易にするために採用され
ている。In the above embodiment, the ratio of the diameters of the first pulley 36 and the second pulley 37 is set to 1: 1. This 1: 1 ratio is adopted to facilitate drive control of the drum motor 4 and the shaft motor 5.

【００８５】しかしながら、本発明は上記の比が１：１
であることに限定されるものではなく、中間アーム１２
の回転に必要なトルクや、ドラム用モータ４および軸用
モータ５の出力、その他の条件を考慮して、２：１ある
いは１：２あるいはその他の比に設定することが可能で
ある。また、上記実施例においては、伝達機構としてベ
ルトとプーリが用いられているが、それらの代りにチエ
ンとスプロケットとを用いてもよい。However, in the present invention, the above ratio is 1: 1.
The intermediate arm 12 is not limited to
The ratio can be set to 2: 1 or 1: 2 or other ratios in consideration of the torque required for rotation of the motor, the outputs of the drum motor 4 and the shaft motor 5, and other conditions. In the above embodiment, a belt and a pulley are used as the transmission mechanism, but a chain and a sprocket may be used instead.

【００８６】さらに、駆動機構や伝達機構はすべてベー
ス室２１、基部アーム室１４および中間アーム室１５内
に設けられているため、モータやベルトやプーリの稼働
によって発生する微細な粉塵が外気に放出されるのが防
止される。Further, since the drive mechanism and the transmission mechanism are all provided in the base chamber 21, the base arm chamber 14, and the intermediate arm chamber 15, fine dust generated by the operation of the motor, the belt and the pulley is discharged to the outside air. Is prevented.

【００８７】[0087]

【発明の効果】本発明の請求項１記載のロボットのアー
ム構造によれば、基部アームの旋回速度の２倍の旋回速
度で中間アームが旋回するように第２モータの角速度を
設定すればよいため、アーム部材を製造するとき、組み
立てるとき、あるいはアーム部材が老朽化したときに生
じるアーム部材の寸法上の誤差を、ただ単に第２モータ
の角速度を変更することで補償することができ、常に正
常にアーム部材を屈伸させる上で極めて有効である。According to the robot arm structure of the first aspect of the present invention, the angular velocity of the second motor may be set so that the intermediate arm turns at a turning speed twice as high as the turning speed of the base arm. Therefore, when manufacturing the arm member, when assembling, or when the arm member is aged, the dimensional error of the arm member can be compensated by simply changing the angular velocity of the second motor, and can always be compensated. This is extremely effective in normally bending and extending the arm member.

【００８８】また、２台のモータを使用することによっ
て、アーム軸の径を伝達輪の径に影響されることなく、
自由に設定することか可能になるため、例えば、アーム
軸の径を伝達輪の径よりも大きく寸法設定することによ
って、アーム輪により大きなトルクが与えられ、アーム
部材の屈伸動作をより確実に行う上で好都合である。さ
らには、第２モータはベース部に固定されて設けられて
おり、アーム部材の旋回時に、第１モータと第２モータ
を同期させて回転させることにより、アーム部材を旋回
させることができ、このアーム部材の旋回時に、第１モ
ータが第２モータを一緒に旋回させるような構成でない
ため、旋回部分の慣性モーメントを小さくすることがで
き、したがって、第１モータは小さな出力のものでも高
速で旋回させることができ、また、モータやそれに付随
するエンコーダ等の配線も揺動しないものとしているた
め、断線等の問題も起こらないし、可動部に配線が無い
ため同じ方向に何回でも回転させることが可能である。
さらにまた、ベース輪と駆動輪を互いに同じ回転角で逆
に回転させることで、先端アームを直線的に動かすこと
ができる。つまり、第１モータと第２モータの大きさを
同じにしておき、かつ、同じ減速比で各々ベース輪と駆
動輪が回転されるようしておくことにより、互いのモー
タの反動トルクが打ち消し合い、これにより、高速でア
ームを伸縮させても、アーム先端にぶれを生じることが
ない。 Also, by using two motors, the diameter of the arm shaft can be adjusted without being affected by the diameter of the transmission wheel.
Since it can be set freely, for example, by setting the diameter of the arm shaft larger than the diameter of the transmission wheel, a larger torque is given to the arm wheel, and the bending and extension operation of the arm member is more reliably performed. Above is convenient. Sa
In addition, the second motor is provided fixed to the base portion.
The first motor and the second motor
The arm member is turned by synchronizing and rotating
When the arm member turns, the first model
The motor does not rotate the second motor together
Therefore, the moment of inertia of the turning part can be reduced.
Therefore, the first motor has a high output even with a small output.
Can be turned at high speed, and
The wiring of the encoder etc.
There is no problem such as disconnection, and there is no wiring in the movable part
Therefore, it can be rotated any number of times in the same direction.
Furthermore, the base wheel and the drive wheel are reversed at the same rotation angle to each other.
To move the tip arm linearly
Can be. That is, the size of the first motor and the second motor is
Drive with the same base wheel at the same speed reduction ratio.
By keeping the driving wheels rotating, each other's
The reaction torques of the motors cancel each other out,
The arm tip may shake even if the arm is extended or contracted.
Absent.

【００８９】本発明の請求項２記載のロボットのアーム
構造によれば、伝達輪とアーム輪とは同一径に寸法設定
されているため、基部アームおよび中間アームを駆動さ
せる第１モータおよび第２モータの駆動制御が簡単にな
る。According to the robot arm structure of the second aspect of the present invention, since the transmission wheel and the arm wheel are set to have the same diameter, the first motor and the second motor for driving the base arm and the intermediate arm are provided. The drive control of the motor is simplified.

【００９０】本発明の請求項３記載のロボットのアーム
構造によれば、ベース輪、伝達輪、アーム輪、固定輪お
よび動手輪はプーリを有しているとともに、上記第１伝
達手段および第２伝達手段は無端ベルトが適用されてい
るため、アーム構造を軽量にし、かつ、製造コストを低
減する上で有効である。According to the robot arm structure of the third aspect of the present invention, the base wheel, the transmission wheel, the arm wheel, the fixed wheel, and the moving wheel have pulleys, and the first transmission means and the second transmission means. Since an endless belt is used as the transmission means, it is effective in reducing the weight of the arm structure and reducing the manufacturing cost.

【００９１】本発明の請求項４記載のロボットのアーム
構造によれば、基部アームおよび中間アームは、それぞ
れ箱状のハウジングを有し、上記伝達輪およびアーム輪
は上記基部アームのハウジングに内装され、上記固定輪
および動手輪は中間アームのハウジングに内装されてい
るため、アーム構造のアーム部材に関する駆動部分が外
部から遮断され、駆動部分への埃の付着等が抑止され
る。According to the robot arm structure of the fourth aspect of the present invention, the base arm and the intermediate arm each have a box-shaped housing, and the transmission wheel and the arm wheel are housed in the housing of the base arm. Since the fixed wheel and the moving wheel are housed in the housing of the intermediate arm, the driving portion of the arm member having the arm structure is shut off from the outside, and the adhesion of dust to the driving portion is suppressed.

【００９２】本発明の請求項５記載のロボットのアーム
構造によれば、第１モータ、第２モータおよびベース輪
は箱状のモータ用ハウジングに内装されているため、上
記両モータは外部から遮断され、モータの駆動によって
生じる微細な粉塵の外気への飛散が有効に抑止される。According to the robot arm structure of the fifth aspect of the present invention, since the first motor, the second motor and the base wheel are housed in the box-shaped motor housing, the two motors are cut off from the outside. Thus, scattering of fine dust generated by driving the motor into the outside air is effectively suppressed.

【００９３】本発明の請求項６記載のロボットのアーム
構造によれば、回転駆動を伝達する機構がハウジングに
よって封じ込まれた状態になっており、アーム部材等の
駆動によって生じる粉塵の外気への飛散が確実に抑止さ
れる。According to the arm structure of the robot according to the sixth aspect of the present invention, the mechanism for transmitting the rotational drive is sealed by the housing, and the dust generated by the driving of the arm member and the like is protected from the outside air. Spattering is reliably suppressed.

【００９４】本発明の請求項７記載のロボットのアーム
構造によれば、制御装置は、パルス電流によって第１モ
ータおよび第２モータを制御するように構成されている
ため、各モータの回転駆動の角速度が確実に制御され、
正確に先端アームに直進運動をさせる上で好都合であ
る。According to the robot arm structure of the seventh aspect of the present invention, the control device is configured to control the first motor and the second motor by the pulse current. The angular velocity is reliably controlled,
This is convenient for accurately making the tip arm make a linear motion.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図１】本発明に係るロボットのアーム構造の一例を示
す一部切欠き斜視図である。FIG. 1 is a partially cutaway perspective view showing an example of an arm structure of a robot according to the present invention.

【図２】図１に示すロボットのアーム構造の側面断面視
の説明図である。FIG. 2 is an explanatory view of a side sectional view of the arm structure of the robot shown in FIG. 1;

【図３】本発明の作用を説明するためのアームの平面視
の説明図であり、先端アームが基準位置にある状態を例
示している。FIG. 3 is an explanatory plan view of an arm for describing an operation of the present invention, and illustrates a state where a distal end arm is at a reference position.

【図４】本発明の作用を説明するためのアームの平面視
の説明図であり、先端アームが基準位置から前方に直進
した状態を例示している。FIG. 4 is an explanatory plan view of an arm for explaining the operation of the present invention, and illustrates a state in which a distal arm has moved straight forward from a reference position.

【図５】本発明の作用を説明するためのアームの平面視
の説明図であり、先端アームが基準位置から後方に直退
した状態を例示している。FIG. 5 is an explanatory plan view of the arm for explaining the operation of the present invention, and illustrates a state in which the distal end arm has receded backward from the reference position.

【図６】本発明の作用を説明するためのアームの平面視
の説明図であり、アームが図３に示す基準姿勢を維持し
た状態で基部アーム軸回りに時計方向に９０°回動した
状態を示している。6 is an explanatory plan view of the arm for explaining the operation of the present invention, in a state in which the arm is rotated clockwise by 90 ° around the base arm axis while maintaining the reference posture shown in FIG. 3; Is shown.

【図７】中間アームの先端部が直線運動をすることの幾
何学的原理を説明するための説明図である。FIG. 7 is an explanatory diagram for explaining a geometric principle of a linear motion of a distal end portion of an intermediate arm.

【図８】従来のロボットのアーム構造を例示する一部切
欠き斜視図である。FIG. 8 is a partially cutaway perspective view illustrating an arm structure of a conventional robot.

【符号の説明】 １ アーム１ １１ 基部アーム １２ 中間アーム １３ 先端アーム １４ 基部アーム室 １５ 中間アーム室 ２ ベース部 ２１ ベース室 ２２ 天井部 ３１ ベースドラム（ベース輪） ３２ アームドラム（アーム輪） ３３ 先端アーム軸 ３４ 基部アーム軸 ３５ 中間アーム軸 ３６ 第１プーリ（伝達輪） ３７ 第２プーリ ３８ 第３プーリ（固定輪） ３９ 第４プーリ（動手輪） ３６７ 第１ベルト（第１伝達手段） ３８９ 第２ベルト（第２伝達手段） ４ ドラム用モータ（第１モータ） ４１ 第１駆動軸 ４２ 第１駆動プーリ ４３ 第５プーリ ５ 軸用モータ（第２モータ） ５１ 第２駆動軸 ５２ 第２駆動プーリ ５３ 第６プーリ ６ 第１動力ベルト ７ 第２動力ベルト[Description of Signs] 1 Arm 1 11 Base Arm 12 Intermediate Arm 13 End Arm 14 Base Arm Room 15 Intermediate Arm Room 2 Base 21 Base Room 22 Ceiling 31 Base Drum (Base Wheel) 32 Arm Drum (Arm Wheel) 33 Tip Arm shaft 34 Base arm shaft 35 Intermediate arm shaft 36 First pulley (transmission wheel) 37 Second pulley 38 Third pulley (fixed wheel) 39 Fourth pulley (moving hand wheel) 367 First belt (first transmission means) 389 2 belt (second transmission means) 4 motor for drum (first motor) 41 first drive shaft 42 first drive pulley 43 fifth pulley 5 motor for shaft (second motor) 51 second drive shaft 52 second drive pulley 53 6th pulley 6 1st power belt 7 2nd power belt

Claims (7)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項１】 基部アーム、中間アームおよび先端アー
ムからなる屈伸可能なアーム部材と、基部アームの基端
側に固定されたベース輪と、このベース輪に同軸でかつ
ベース輪とは独立して回転する伝達輪と、基部アームの
先端側に基部アームの旋回とは独立して設けられかつ中
間アームの基端側に固定されたアーム輪と、アーム輪に
同軸でかつ基部アームに固定された固定輪と、中間アー
ムの先端側に設けられ、中間アームの旋回とは独立して
回転し、先端アームに固定され、かつ、上記固定輪の２
倍の径を有した動手輪と、ベース輪を回転する第１モー
タと、アーム輪を回転する第２モータと、上記伝達輪と
アーム輪との間に介在された第１伝達手段と、上記固定
輪と動手輪との間に介在された第２伝達手段と、上記第
１モータおよび第２モータの回転駆動を制御する制御装
置とから構成され、上記動手輪と固定輪との間の軸間距
離は、固定輪とベース輪との間の軸間距離と同一寸法に
設定され、上記ベース輪は、筒状体によって形成され、
この筒状体はベアリングを介してベース部に取り付けら
れているとともに、第１モータの駆動によって回転する
ように接続され、上記筒状体と同軸の駆動軸が設けら
れ、この駆動軸は上記筒状体の内壁面に支持されて回転
可能に設けられ、駆動軸の頂部に伝達輪が固定されてい
るとともに、ベース部に固定された第２モータの駆動に
よって回転するように接続され、上記制御装置は、上記
アーム部材を旋回させるために、第１モータおよび第２
モータを同一方向に回転駆動させるように制御するとと
もに、上記先端アームを径方向に直進させるために、基
部アームの旋回に応じて伝達輪および第１伝達手段を介
して回転するアーム輪が、ベース輪に対して２倍の角速
度で反対方向に回転するように第１モータおよび第２モ
ータの角速度を制御するように構成されていることを特
徴とするロボットのアーム構造。1. A bendable arm member comprising a base arm, an intermediate arm and a distal arm, a base wheel fixed to the base end of the base arm, and coaxial with the base wheel and independently of the base wheel. A rotating transmission wheel, an arm wheel provided on the distal end side of the base arm independently of the turning of the base arm and fixed to the base end side of the intermediate arm, and a coaxial with the arm wheel and fixed to the base arm A fixed wheel, which is provided on the distal end side of the intermediate arm, rotates independently of turning of the intermediate arm, is fixed to the distal arm, and
A driving wheel having a double diameter, a first motor for rotating a base wheel, a second motor for rotating an arm wheel, a first transmission means interposed between the transmission wheel and the arm wheel, A second transmission means interposed between the fixed wheel and the driving wheel, and a control device for controlling the rotational driving of the first motor and the second motor, wherein a shaft between the driving wheel and the fixed wheel is provided. The distance is set to the same dimension as the axis distance between the fixed wheel and the base wheel, and the base wheel is formed by a cylindrical body,
This cylindrical body is attached to the base via bearings.
And rotated by driving the first motor
And a drive shaft coaxial with the cylindrical body is provided.
This drive shaft is supported by the inner wall surface of the cylindrical body and rotates.
And the transmission wheel is fixed to the top of the drive shaft.
And to drive the second motor fixed to the base.
Thus, the control device is connected so as to rotate , and the first motor and the second motor are used to rotate the arm member.
In order to control the motor to rotate in the same direction and to move the distal arm straight in the radial direction, an arm wheel rotating via the transmission wheel and the first transmission means in accordance with the turning of the base arm includes a base wheel. An arm structure for a robot, wherein the first and second motors are configured to control the angular velocities so as to rotate in opposite directions at twice the angular velocity with respect to the wheels. 【請求項２】 上記伝達輪とアーム輪とは同一径である
ことを特徴とする請求項１記載のロボットのアーム構
造。2. The arm structure for a robot according to claim 1, wherein the transmission wheel and the arm wheel have the same diameter. 【請求項３】 上記ベース輪、伝達輪、アーム輪、固定
輪および動手輪はプーリを有しているとともに、上記第
１伝達手段および第２伝達手段は無端ベルトからなるこ
とを特徴とする請求項１または２記載のロボットのアー
ム構造。3. The base wheel, the transmission wheel, the arm wheel, the fixed wheel, and the moving wheel have pulleys, and the first transmission means and the second transmission means are endless belts. Item 3. The robot arm structure according to item 1 or 2. 【請求項４】 上記基部アームおよび中間アームは、そ
れぞれ箱状のハウジングを有し、上記伝達輪およびアー
ム輪は上記基部アームのハウジングに内装され、上記固
定輪および動手輪は中間アームのハウジングに内装され
ていることを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記
載のロボットのアーム構造。4. The base arm and the intermediate arm each have a box-shaped housing, the transmission wheel and the arm wheel are housed in the housing of the base arm, and the fixed wheel and the moving wheel are mounted on the housing of the intermediate arm. The robot arm structure according to any one of claims 1 to 3, wherein the robot arm structure is provided. 【請求項５】 上記第１モータ、第２モータおよびベー
ス輪は箱状のモータ用ハウジングに内装されていること
を特徴とする請求項１乃至４のいずれかに記載のロボッ
トのアーム構造。5. The robot arm structure according to claim 1, wherein the first motor, the second motor, and the base wheel are housed in a box-shaped motor housing. 【請求項６】 上記ベース輪は筒状体によって形成さ
れ、この筒状体はベアリングを介して上記モータ用ハウ
ジングに取り付けられているとともに、第１モータにそ
の駆動によって回転するように接続され、上記筒状体と
同軸の駆動軸が設けられ、この駆動軸は上記筒状体の内
壁面に支持されて回転可能に設けられ、駆動軸の頂部に
伝達輪が固定されているとともに、第２モータにその駆
動によって回転するように接続されていることを特徴と
する請求項５記載のロボットのアーム構造。6. The base wheel is formed by a cylindrical body, and the cylindrical body is attached to the motor housing via a bearing, and is connected to a first motor so as to rotate by driving thereof. A drive shaft is provided coaxially with the tubular body, the drive shaft is rotatably supported on the inner wall surface of the tubular body, and a transmission wheel is fixed to the top of the drive shaft. 6. The robot arm structure according to claim 5, wherein the arm structure is connected to the motor so as to rotate by driving the motor. 【請求項７】 上記制御装置は、パルス電流によって第
１モータおよび第２モータを制御するように構成されて
いることを特徴とする請求項１乃至６のいずれかに記載
のロボットのアーム構造。7. The robot arm structure according to claim 1, wherein the control device is configured to control the first motor and the second motor by a pulse current.