【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、カメラやレーザー等の精密光学機器等に使
用されるミラーに関するものである。
〔従来の技術〕
一般にミラーは第２図（ａ）に示すように、ガラス10
の裏面に銀、アルミニウム等の高反射率の金属よりなる
反射膜２を形成したものであり、表面より入射した光は
ガラス10を通過して反射膜２で反射するようになってい
た。
また、第２図（ｂ）に示すように、ガラス10の表面に
反射膜２を形成し、光がガラス10中を通過せずに表面で
反射するようにしたミラーもあった。このようなミラー
は例えば、一眼レフカメラに使用されるが、一眼レフカ
メラの構造は第３図に示すように、ミラーＭはカメラＣ
内のレンズＬの裏側に、普段は斜めにセットされ、レン
ズＬより入ってきた光をファインだＡ側へ反射するよう
になっており、シャッタを押すとミラーＭが破線で示し
たように持ち上がり、光がフィルムＦに照射するように
なっていた。
〔従来技術の問題点〕
ところが、このような従来のミラーは、ガラス10より
形成されているため強度が弱く、割れにくくするために
比較的厚く形成されていた。そのためミラー全体が重く
なり、たとえばカメラＣに用いる場合、ミラーＭを持ち
上げる速度を速くすることが困難でシャッター速度に限
界があった。また、第２図（ａ）に示したガラス10の裏
面に反射膜２を形成するミラーでは、反射膜２で反射す
る本来の反射光とは別に、破線で示すようにガラス10表
面でわずかに反射する複屈折を起こし、ガラス10が厚い
ため２つの反射光のズレが大きく、精密光学機器に使用
する場合は問題があった。
さらに、第２図（ｂ）に示した、表面に反射膜を形成
したミラーは、該反射膜がはがれやすく、またガラス自
身も硬度、耐触性が悪いため、キズがついたり、化学物
質に侵されたりして、反射率を劣化させやすいという問
題点があった。
〔問題点を解決するための手段〕
上記に鑑みて本発明は、透光性セラミックスよりなる
板状体の裏面に反射膜を被着してセラミックスミラーを
構成したものである。
〔実施例〕
本発明に係るミラーは、第１図（ａ）に示すように透
光性セラミックスよりなる板状体１の裏面に反射膜を被
着したものである。透光性セラミックスは強度が大きい
ため、板状体１を薄く形成することができ、その結果ミ
ラー全体が軽くなり、また複屈折による反射光のズレが
小さくなる。この透光性セラミックスとは、通常不透明
であるセラミックスに対し、その結晶構造や微細組織を
制御することによって透光性をもたらしたものである。
即ち、セラミックスとは無機物を焼成等の極めて高温の
処理によって固めたものであり、高い高度と強度を有す
る材料であるが通常は不透明である。これに対し、製造
方法を工夫して結晶構造等を制御することにより透光性
を持たせたものが透光性セラミックスであって、この透
光性セラミックスは、従来のガラスに比べて硬度、強度
の高いものである。具体的にはアルミナ単結晶セラミッ
クス、透明スピネル、透明ジルコニア等を使用する。
また、比較例として、第１図（ｂ）に示すように、セ
ラミックスよりなる板状体1'の表面に反射膜２を被着し
てミラーとしたものでは、作用面である表面側に備えた
反射膜２が剥がれやすいという問題があるため、第１図
（ａ）に示した本発明実施例のように裏側に反射膜２を
備えることが好ましい。
以上の実施例において、反射膜２としては白金−パラ
ジウム（Pt−Pd）、銀（Ag）、アルミニウム（A1）、ク
ロム（Cr）等の金属や、SiC、TiC、TiNなどのセラミッ
クスを溶射または蒸着等により板状体1,1'に被着させれ
ばよい。このとき、反射膜の硬膜は200Å以上に、好ま
しくは2000〜5000Å程度に被着すればよい。
次に、第１図（ａ）に示したミラーを、厚さ0.5mmの
アルミナ単結晶セラミックスよりなる板状体の裏面に白
金−パラジウムよりなる反射膜を真空蒸着して試作し、
従来の厚さ4.5mmのガラス板よりなるミラーとともに、
さまさまな特性を調べて、比較してみた結果、第１表の
通りであった。
第１表に示す通り、アルミナ単結晶セラミックスより
なるミラーは、従来のガラス製ミラーに比べて硬度、強
度が大きく、光透過率や耐薬品性なども優れている。特
に強度が大きいため、0.5mm程度に薄くしても割れにく
く、さらに薄く形成することも可能である。
このようなセラミックスミラーはカメラ、顕微鏡、レ
ーザー光源など、各種精密光学機器に使用できるが、例
えばカメラに使用すれば、ミラーの強度が大きく軽いた
め、シャッタースピードをさらに速くすることができ、
またレンズ交換の際など露出させてもキズがつきにく
い。この他に、歯科用のデンタルミラーや太陽熱発電用
の集光器等に使用すれば、表面にキズがつきにくく長期
に亘って優れた特性を維持することができる。
〔発明の効果〕
叙上のように本発明によれば、透光性セラミックスよ
りなる板状体の裏面に反射膜を形成してセラミックスミ
ラーとしたことにより、強度が大きいため、薄く形成す
ることができ、全体的に軽く、複屈折による反射光のズ
レを小さくすることができる。また、表面平滑度を高く
できるため、反射効率を大きくすることができ、硬度、
耐蝕性に優れているため、表面にキズがついたり、化学
薬品に侵されることが少なく、長期にわたって反射率の
高い優れたセラミックスミラーを提供することができ
る。The present invention relates to a mirror used for precision optical instruments such as cameras and lasers. [Prior Art] Generally, a mirror is made of glass 10 as shown in FIG.
The reflecting film 2 made of a metal having a high reflectance such as silver or aluminum was formed on the back surface of the above, and the light incident from the front surface passed through the glass 10 and was reflected by the reflecting film 2. Further, as shown in FIG. 2 (b), there is also a mirror in which a reflection film 2 is formed on the surface of the glass 10 so that light does not pass through the glass 10 and is reflected on the surface. Such a mirror is used, for example, in a single-lens reflex camera, and the structure of the single-lens reflex camera is as shown in FIG.
Normally, it is set diagonally on the back side of the lens L so that the light entering from the lens L is reflected to the fine A side. When the shutter is pressed, the mirror M is lifted as shown by the broken line. , The light was applied to the film F. [Problems of Prior Art] However, since such a conventional mirror is formed of the glass 10, the strength thereof is weak, and the mirror is relatively thick in order to prevent breakage. Therefore, the entire mirror becomes heavy, and when it is used for the camera C, for example, it is difficult to increase the speed of lifting the mirror M, and the shutter speed is limited. In addition, in the mirror shown in FIG. 2 (a) in which the reflective film 2 is formed on the back surface of the glass 10, in addition to the original reflected light reflected by the reflective film 2, as shown by the broken line, the surface of the glass 10 is slightly Since the glass 10 is thick due to the birefringence that is reflected, there is a large deviation between the two reflected lights, which is a problem when used in precision optical equipment. Further, in the mirror shown in FIG. 2 (b), on the surface of which a reflective film is formed, the reflective film is easily peeled off, and the glass itself is poor in hardness and touch resistance, so that it may be scratched or damaged by chemical substances. There is a problem that the reflectance is likely to be deteriorated due to corrosion. [Means for Solving Problems] In view of the above, the present invention provides a ceramics mirror in which a reflective film is attached to the back surface of a plate-shaped body made of translucent ceramics. Example As shown in FIG. 1 (a), the mirror according to the present invention is one in which a reflective film is coated on the back surface of a plate-shaped body 1 made of translucent ceramics. Since the translucent ceramic has high strength, the plate-shaped body 1 can be formed thin, and as a result, the entire mirror becomes lighter and the deviation of reflected light due to birefringence is reduced. The translucent ceramic is a ceramic that is normally opaque and has translucency by controlling its crystal structure and fine structure.
That is, the ceramic is a material obtained by hardening an inorganic material by an extremely high temperature treatment such as firing, and is a material having high altitude and strength, but is usually opaque. On the other hand, translucent ceramics are those that have translucency by controlling the crystal structure etc. by devising the manufacturing method, and this translucent ceramics has a hardness, compared with conventional glass, It has high strength. Specifically, alumina single crystal ceramics, transparent spinel, transparent zirconia, etc. are used. In addition, as a comparative example, as shown in FIG. 1 (b), in a mirror in which a reflecting film 2 is adhered to the surface of a plate-shaped body 1'made of ceramics, the mirror is provided on the surface side which is the working surface. Since the reflecting film 2 is easily peeled off, it is preferable to provide the reflecting film 2 on the back side as in the embodiment of the present invention shown in FIG. In the above embodiments, the reflective film 2 is formed by spraying a metal such as platinum-palladium (Pt-Pd), silver (Ag), aluminum (A1), or chromium (Cr), or ceramics such as SiC, TiC, or TiN. It may be applied to the plate-shaped bodies 1, 1'by vapor deposition or the like. At this time, the hard film of the reflective film may be applied to 200 Å or more, preferably 2000 to 5000 Å. Next, the mirror shown in FIG. 1 (a) was prototyped by vacuum-depositing a reflection film made of platinum-palladium on the back surface of a plate-shaped body made of alumina single crystal ceramic having a thickness of 0.5 mm,
Along with the conventional mirror made of 4.5 mm thick glass plate,
As a result of examining various characteristics and comparing them, the results are as shown in Table 1. As shown in Table 1, the alumina single-crystal ceramics mirror has greater hardness and strength than conventional glass mirrors, and is superior in light transmittance and chemical resistance. Since it has a particularly high strength, it is hard to break even if it is thinned to about 0.5 mm, and it is possible to make it thinner. Such a ceramics mirror can be used in various precision optical instruments such as cameras, microscopes, and laser light sources. However, if it is used in a camera, the strength of the mirror is large and light, so the shutter speed can be further increased.
Also, it is difficult to get scratches even when exposed when changing lenses. In addition to this, when it is used for a dental dental mirror, a concentrator for solar thermal power generation, or the like, it is difficult for the surface to be scratched and excellent characteristics can be maintained for a long time. [Advantages of the Invention] As described above, according to the present invention, since a reflecting film is formed on the back surface of a plate-like body made of translucent ceramic to form a ceramics mirror, the strength is large, so that it should be formed thinly. It is possible to reduce the deviation of the reflected light due to the birefringence. In addition, since the surface smoothness can be increased, the reflection efficiency can be increased and the hardness,
Since it is excellent in corrosion resistance, it is possible to provide an excellent ceramics mirror which is less likely to be scratched on the surface and less susceptible to chemicals and has a high reflectance for a long period of time.
【図面の簡単な説明】
第１図（ａ）は本発明に係るセラミックスミラーを示す
断面図、第１図（ｂ）は比較例を示す断面図、第２図
（ａ）（ｂ）はそれぞれ従来のミラーを示す断面図であ
る。
第３図はカメラの概略構造を示す断面図である。
1,1'……板状体
10……ガラス
２……反射膜BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS FIG. 1 (a) is a sectional view showing a ceramics mirror according to the present invention, FIG. 1 (b) is a sectional view showing a comparative example, and FIGS. 2 (a) and 2 (b) are respectively. It is sectional drawing which shows the conventional mirror. FIG. 3 is a sectional view showing a schematic structure of the camera. 1,1 '…… Plate 10 …… Glass 2 …… Reflective film
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(56)参考文献 特開 昭61−7560（ＪＰ，Ａ)
特開 昭60−148034（ＪＰ，Ａ)
特開 昭58−91401（ＪＰ，Ａ)
特開 昭58−208154（ＪＰ，Ａ)
特開 昭59−87404（ＪＰ，Ａ)
特開 昭55−25044（ＪＰ，Ａ)
特開 昭61−28903（ＪＰ，Ａ)
実開 昭59−12102（ＪＰ，Ｕ)
実開 昭60−70827（ＪＰ，Ｕ)
────────────────────────────────────────────────── ───
Continuation of front page
(56) References Japanese Patent Laid-Open No. 61-7560 (JP, A)
JP 60-148034 (JP, A)
JP 58-91401 (JP, A)
JP-A-58-208154 (JP, A)
JP-A-59-87404 (JP, A)
JP-A-55-25044 (JP, A)
JP-A-61-28903 (JP, A)
Actual Development Sho 59-12102 (JP, U)
Actual Development Sho 60-70827 (JP, U)