JP2678386B2 - 位置検出装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、例えば工作機械や精密測長測角装置に使用
して好適な位置検出装置に関する。

〔発明の概要〕

本発明は、例えば工作機械や精密測長測角装置に使用
して好適な位置検出装置において、ピッチλ_１の第１の
目盛、ピッチλ_２（λ_２≠λ_１）の第２の目盛及びピッ
チλ₁/m（ｍは２以上の整数）の第３の目盛が平行に形
成されたスケールと、それら第１、第２及び第３の目盛
を夫々読取って位相検出信号を生成する第１、第２及び
第３の検出器を有しそのスケールに対して相対変位自在
に配設された検出ヘッドと、それら３種類の位相検出信
号よりそれら第１の目盛と第２の目盛との位相差、その
第１の目盛の位相量及びその第３の目盛の位相量を検出
する位相検出回路とを設け、その位相差よりその第１の
目盛の絶対位置をピッチλ_１単位で求めると共にその第
１の目盛の位相量よりこの第１の目盛のピッチλ_１の中
におけるその第３の目盛の絶対位置をピッチλ₁/m単位
で求めることにより、そのスケールとその検出ヘッドと
の相対変位量を絶対位置として検出することにより、高
い分解能で長尺の絶対位置検出ができる様にしたもので
ある。

〔従来の技術〕

工作機械等においては例えば加工具の送り量を検出す
るために、一方の部材に周期的なパターンの目盛が形成
されたスケールを配し、他方の部材にその目盛をセンサ
により読取って周期的な電気信号を生成する検出器を配
し、その電信号をパルス化して積算計数することにより
それら一方の部材と他方の部材との相対変位量を測定で
きるようにした所謂インクリメンタル（incremental）
方式の変位検出装置が使用されている。しかしながら、
この種のインクリメンタル方式の変位検出装置では次の
ような欠点がある。

例えば作業を中断して電源を切った後や停電事故の
後に作業を再開するような場合には、その積算計数値が
失われているので別途設けた原点設定器によって座標系
の原点設定作業（イニシャライズ）を行う必要がある。
即ち、作業性に劣る。

他の工作機械等からのノイズにより作業の途中で一
度でも誤計数が発生するそれ以後のその積算計数値は全
て誤りとなってしまうため、再びイニシャライズが必要
となる。即ち、耐ノイズ性に劣る。

計数パルスを常時計数する方式であるため応答速度
が制限される。

上述の〜の欠点を全て解消するために、相対変位
する二部材の一方の部材に或る原点からの絶対位置を示
す非周期的なパターンの目盛が形成されたスケールを配
し、他方の部材にその目盛を読取るセンサを有する検出
器を配し、それら二部材間を相対変位量をそのスケール
上の原点からの絶対位置として検出するようにした所謂
アブソリュート（absolute）方式の位置検出装置が各種
提案されている。

第３図は特公昭50−23618号公報にて開示されている
従来の磁気式のアブソリュート方式の位置検出装置を示
し、この第３図において、（１）は磁性材より成るスケ
ールであり、このスケール（１）にはピッチλ_１の磁気
目盛（２）及びピッチλ_２（λ_２＜λ_１）の磁気目盛
（３）が平行に形成されている。また、（4A）及び（4
B）は夫々磁気目盛（２）を読取るための一対の磁束応
答型の磁気ヘッド、（５）は１ピッチλ_１内の位相θ_１
（絶対位置）を検出するための位相検出回路、（6A）及
び（6B）は夫々磁気目盛（３）を読取るための一対の磁
束応答型の磁気ヘッド、（７）は１ピッチλ_２内の位相
θ_２を検出するための位相検出回路を示す。

位相検出回路（５）から磁気ヘッド（4A）及び（4B）
に対しては定数Ａ及び励磁周波数f/2を用いて夫々次の
式で表わされる励磁信号I_A及びI_Bが供給される。

I_A＝Acosπft ‥‥（１） I_B＝Acos（πft＋π/4） ‥‥（２） また、磁気ヘッド（4A）と磁気ヘッド（4B）との間隔
を（ｎ＋1/4）λ_１（ｎは整数）、それら磁気ヘッド（4
A）及び（4B）とスケール（１）との磁気目盛（２）及
び（３）の左端を原点とした相対変位量（絶対位置）を
ｘとすると、磁気ヘッド（4A）及び（4B）からは定数A₁
を用いて夫々次の式で表わされる位相検出信号K_A及びK_B
が位相検出回路（５）へ供給される。

K_A＝A₁sin（２πx/λ_１）cos2πft ‥‥（３） K_B＝A₁cos（２πx/λ_１）sin2πft ‥‥（４） そして、位相検出回路（５）においてはそれら位相検
出信号K_AとK_Bとを加算して変位信号ｄを形成し、 ｄ＝K_A＋K_B ＝A₁sin（２πft＋２πx/λ_１） ＝A₁sin（２πft＋θ_１） ‥‥（５） θ_１＝２πx/λ_１ ‥‥（６） この変位信号ｄの位相量θ_１（０〜２π）を測定す
る。この位相量θ_１と変位量ｘとの関係は第４図Ａに示
す如くなり、例えば位相量θ_１がπの場合にはその変位
量ｘがx₀,x₁,x₂,x₃‥‥のいずれなのかの判別はできな
いが、磁気目盛（２）の１ピッチλ_１の範囲内では位相
量θ_１が０〜２πの或る値をとるため、その変位量ｘを
絶対位置として検出することができる。

同様に位相検出回路（７）においては第４図Ｂに示す
如く、変位量ｘについて周期λ_２で０〜２πの値を採る
位相量θ_２が測定される。従って、 θ_２＝２πx/λ_２ ‥‥（７） が成立している。

それら位相量θ_１及びθ_２は絶対位置検出回路（８）
に供給され、この絶対位置検出回路（８）においては先
ず位相差Δθ（＝θ_２−θ_１）が計算される。この位相
差Δθは式（６）及び（７）より次のように表わされ
る。

Δθ＝θ_２−θ_１ ＝２πｘ（1/λ_２−1/λ_１） ＝２πｘ（λ_１−λ_２）／（λ_１λ_２）‥‥（８） 更に、その式（８）より ｘ＝（Δθ/2π）λ_１λ₂/（λ_１−λ_２） ‥‥（９） となり、λ_１及びλ_２は既知であるため、その絶対位置
検出回路（８）は式（９）よりその変位量ｘを計算して
表示器（９）へ供給する。この場合、 ０≦Δθ＜２π ‥‥（10） の範囲内であればその変位量ｘの値は一義的に求められ
るため、その変位量ｘが絶対位置として正確に測定でき
る最大測定長Ｌは Ｌ＝λ_１λ₂/（λ_１−λ_２） ‥‥（11） で表わされる。従って、この変位量ｘと位相差Δθとの
関係は第４図Ｃに示す如くなる。更に、式（９）におい
ては位相差Δθは一般に２πの1000分の１程度の分解能
で測定できるため、その変位量ｘの測定分解能Δｘは Δｘ≒Ｌ×10^-3 ‥‥（12） 程度となる。λ_１及びλ_２として具体的な数値を代入し
た場合の最大測定長Ｌ及び測定分解能Δｘの値を表１に
示す。

また、従来の他のアブソリュート方式の位置検出装置
として第５図に示すようなグレイコードを用いた装置も
知られている。この第10図において、（10）はｋビット
のグレイコード（11）が形成された透光性のスケール、
（12）は発光素子、（13）はコリメータレンズ、（14）
はグレイコード（11）に対応する参照窓（15）が形成さ
れたインデックス板、（16）はグレイコード（11）に対
応するｋ個の受光素子を示し、発光素子（12）〜受光素
子（16）を有する検出器がそのスケール（10）に対して
ｘ方向に変位自在に配されている。そのグレイコード
（11）の分解能をλ_Ｇとすると、その検出器の受光素子
（16）より出力される電気信号をデコードして得られた
装置にλ_Ｇを乗ずることにより、そのスケール（10）に
対するその検出器の変位量ｘが分解能λ_Ｇの絶対位置と
して求められる。

この場合、その変位量ｘを絶対位置として正確に測定
できる最大測定長Ｌは Ｌ＝λ_Ｇ×2^k ‥‥（13） となり、例えば分解能λ_Ｇを1mm、ｋを10とすると、そ
の最大測定長Ｌは1024mmとなる。

〔発明が解決しようとする課題〕

しかしながら、上述の従来のアブソリュート方式の位
置検出装置の内で第３図例のものは、最大測定長Ｌを実
用的な値である1000mm程度に設定すると分解能Δｘが式
（12）より1mm程度となり、分解能が極めて悪い不都合
があった。

尚、上述の特公昭50−23618号公報（第３図例）に
は、変位量ｘからスケール（１）のピッチλ_１単位の絶
対位置を特定し、最終的にその変位量ｘの分解能をその
ピッチλ_１の例えば10^-3程度まで大幅に改善できること
が開示されているが、そのピッチλ_１単位での絶対位置
を正確に測定しようとすると最大測定長Ｌが制限される
不都合がある。

更に、第５図例の位置検出装置では分解能λ_Ｇは10μ
ｍ程度が限界である。この場合、そのスケールとして実
用的な限界である12ビット程度のグレイコードを形成し
たスケールを使用した場合には、最大測定長ＬはΔｘ＝
0.01mm且つ2¹²＝4096より40mm程度となり実用的でない
不都合がある。

本発明は斯かる点に鑑み、最大測定長が例えば1000mm
のオーダーの実用的な範囲に設定できると共に、分解能
がインクリメンタル方式の変位検出装置並みの例えば１
μｍのオーダーであるようなアブソリュート方式の位置
検出装置を提案することを目的とする。

〔課題を解決するための手段〕

本発明による位置検出装置は、例えば第１図に示す如
く、ピッチλ_１の第１の目盛（18）、ピッチλ_２（λ_２
≠λ_１）の第２の目盛（19）及びピッチλ₁/m（ｍは２
以上の整数）の第３の目盛（20）が平行に形成されたス
ケール（17）と、それら第１、第２及び第３の目盛を夫
々読取って位相検出信号を生成する第１、第２及び第３
の検出器（22）〜（24）を有しそのスケール（17）に対
して相対変位自在に配設された検出ヘッド（21）と、そ
れら３種類の位相検出信号よりそれら第１の目盛（18）
と第２の目盛（19）との位相差（θ_２−θ_１）、その第
１の目盛（18）の位相量θ_１及びその第３の目盛（20）
の位相量θ_３を検出する位相検出回路（25）〜（27）と
を設け、その位相差（θ_２−θ_１）よりその第１の目盛
（18）の絶対位置をピッチλ_１単位で求めると共にその
第１の目盛（18）の位相量θ_１よりこの第１の目盛（1
8）のピッチλ_１の中におけるその第３の目盛（20）の
絶対位置をピッチλ₁/m単位で求めることにより、その
スケール（17）とその検出ヘッド（21）との相対変位量
を絶対位置として検出する様にしたものである。

〔作用〕

斯かる本発明によれば、先ずその第１の目盛（18）と
第２の目盛（19）との位相差（θ_２−θ_１）よりその検
出ヘッド（21）の絶対位置が第１の目盛（18）のピッチ
λ_１よりも良好な分解能で求められるので、その検出ヘ
ッド（21）が第１の目盛（18）の何番目のピッチに在る
のかが特定される。続いて、その第１の目盛（18）の位
相量θ_１よりその第１の目盛（18）のピッチλ_１内にお
ける絶対位置が第３の目盛（20）のピッチλ₁/mよりも
良好な分解能で求められるので、その検出ヘッド（21）
がその第１の目盛（18）の或るピッチλ_１内で第３の目
盛（20）の何番目のピッチに在るのかが特定される。

従って、例えば第２図に示す如くその検出ヘッド（2
1）が第１の目盛（18）のN₁番目のピッチ内に在り、更
にその第１の目盛（18）のN₁番目のピッチ内において第
３の目盛（20）のN₂番目のピッチ内に在ると共に、その
第３の目盛（20）の位相量θ_３が変位量Δｘに対応する
と仮定すれば、その検出ヘッド（21）のそのスケール
（17）に対する絶対位置ｘ（位置Ｐ）は ｘ＝（N₁−１）λ_１＋（N₂−１）λ₁/m＋Δｘ の計算式より算出することができる。

この場合、変位量Δｘは第３の目盛（20）の１ピッチ
λ₁/mの10^-3程度の分解能で測定できるのに対して、従
来の分解能はほぼ第１の目盛（18）のピッチλ_１のオー
ダーであるため、測定の分解能は略1/（10³m）に改善さ
れる。

〔実施例〕

以下、本発明による位相検出装置の一実施例につき第
１図及び第２図を参照して説明しよう。

第１図は本例の位置検出装置を示し、この第１図にお
いて、（17）はスケールであり、このスケール（17）に
ピッチλ_１の第１の目盛（18）、ピッチλ_２（λ_２＜λ
_１）の第２の目盛（19）及びピッチλ_３の第３の目盛
（20）を平行に形成する。それら目盛（18）〜（20）は
磁気目盛、光学格子、電磁誘導方式の導電性パターン等
の何れでもよい。そして、ピッチλ₁,λ₂,λ_３は比較的
大きな値の自然数ｎ及び２以上の自然数ｍを用いて次の
関係を充足するように定める。

λ_３＝λ₁/m ‥‥（14） ｎλ_１＝（ｎ＋１）λ_２（＝Ｌ） ‥‥（15） 尚、従来の第３図例において説明した如く、ピッチλ
_１の目盛及びピッチλ_２の目盛を用いると変位量ｘを絶
対位置として正確に測定できる最大測定長Ｌはλ_１λ₂/
（λ_１−λ_２）であるが（式（11）参照）、本例では式
（15）の関係があるため Ｌ＝λ_１λ₂/（λ_１−λ_２） ＝ｎλ_１λ₂/（ｎλ_１−ｎλ_２） ＝（ｎ＋１）λ_２λ₂/｛（ｎ＋１）λ_２−ｎλ_２｝ ＝（ｎ＋１）λ_２＝ｎλ_１ が成立する。そのため、式（15）において「（＝Ｌ）」
としたものである。

第１図において、（21）はスケール（17）に対してｘ
方向に変位自在に支持されている検出ヘッドを示し、こ
の検出ヘッド（21）には第１の目盛（18）を読取って位
相検出信号を生成する第１の検出器（22）、第２の目盛
（19）を読取って位相検出信号を生成する第２の検出器
（23）及び第３の目盛（20）を読取って位相検出信号を
生成する第３の検出器（20）を設ける。それら検出器
（22）〜（24）は目盛（18）〜（20）が磁気目盛であれ
ば磁気ヘッドより構成し、目盛（18）〜（20）が光学格
子であれば発光素子、受光素子等より構成するなど、そ
れら目盛（18）〜（20）に対応させて構成する。

その第１の検出器（22）より出力される位相検出信号
を第１の位相量検出回路（25）の入力端子及び位相差検
出回路（26）の一方の入力端子に供給し、第２の検出器
（23）より出力される位相検出信号を位相差検出回路
（26）の他方の入力端子に供給し、第３の検出器（24）
より出力される位相検出信号を第２の位相量検出回路
（27）の入力端子に供給する。その検出ヘッド（21）が
そのスケール（17）の第１の目盛（18）、第２の目盛
（19）及び第３の目盛（20）に対して夫々位相量θ₁,θ
_２及びθ_３の位置に在るものと仮定すると（第２図参
照）、第１の位相量検出回路（25）はその位相量θ_１を
検出して第１の係数判別回路（28）の一方の入力ポート
及び第２の係数判別回路（29）の一方の入力ポートに供
給し、位相差検出回路（26）は位相差（θ_２−θ_１）を
検出して第１の係数判別回路（28）の他方の入力ポート
に供給し、第２の位相量検出回路（27）は位相量θ_３を
検出して第２の係数判別回路（29）の他方の入力ポート
に供給する。検出器（22）〜（24）が磁束応答型の磁気
ヘッドである場合は、第１及び第２の位相量検出回路
（25），（27）は夫々第３図例の位相検出回路（５）と
同様に構成でき、位相差検出回路（26）は例えば第３図
例の位相検出回路（５），（７）及び減算回路より構成
できる。

又、本例の検出ヘッド（21）はスケール（17）に対し
て第２図に示す如く位置Ｐに在り、その検出ヘッド（2
1）がスケール（17）の左端に位置するときの変位量を
０としたときのその位置Ｐにおける変位量（即ち絶対位
置）をｘとする。そして、その変位量ｘは第２図Ａに示
す如く第１の目盛（18）に沿って原点からN₁番目のピッ
チ内に存在すると共に、その第１の目盛（18）のN₁番目
のピッチ内においてその変位量ｘは第２図Ｃに示す如く
第３の目盛（20）に沿ってN₂番目のピッチ内に存在する
ものとする。また、その第３の目盛（20）のN₂番目のピ
ッチλ_３内におけるその変位量ｘの絶対位置をΔｘとし
て、第１の目盛（18）の（N₁−１）ピッチ分の長さを
l₁、第３の目盛（20）の（N₂−１）ピッチ分の長さをl₂
とすると、第２図より絶対位置ｘは ｘ＝l₁＋l₂＋Δｘ ＝（N₁−１）λ_１＋（N₂−１）λ_３＋Δｘ ‥‥（16） で表わすことができる。式（16）において、Δｘは位相
量θ_３と θ_３＝２πΔx/λ_３ ‥‥（17） の関係があるため、その位相量θ_３より容易に算出する
ことができる。

本例では式（16）における整数N₁−１及びN₂−１は夫
々第１図の第１の係数判別回路（28）及び第２の係数判
別回路（29）において計算される。先ず、係数判別回路
（28）は位相差（θ_２−θ_１）に対応する変位量y₁を式
（９）に対応する次式より算出する。

y₁＝Ｌ（θ_２−θ_１）／（２π） ‥‥（18） この変位量y₁は第２図Ｄに示す如く真の変位量ｘに対
して誤差Δy₁の範囲内にあり、第１の係数判別回路（2
8）は第１の目盛（18）の１ピッチλ_１単位の整数N₁−
１を次式より求める。

N₁−１＝INT（y₁/λ_１） ‥‥（19） この式（19）において、INT（y₁/λ_１）はy₁/λ_１の
整数部を示す。しかしながら、検出ヘッド（21）がスケ
ール（17）に対して相対的に第２図Ｄの位置Ｑに在るよ
うな場合には、式（19）では誤差Δy₁のために±１の誤
差が生じ得る。これを避けるためには、Δy₁がΔy₁≦λ
₁/2を充足するようにして、第２図Ａに示す如く第１の
目盛（18）の１ピッチλ_１を前部R₂（０≦θ_１＜２π/
3）、後部R₁（４π/3＜θ_１＜２π）及びその中間部R₃
（２π/3≦θ_１≦４π/3）に分ける。そして、第１の目
盛（18）の位相量θ_１が中間部R₃に在るときには式（1
9）をそのまま採用し、その位相量θ_１が後部R₁に在る
ときに変位量y₁が前部R₂に在るときには式（19）で求め
た値から１を減算したものを真のN₁−１と判定して、そ
の位相量θ_１が前部R₂に在るときに変位量y₁が後部R₁に
在るときには式（19）で求めた値に１を加算したものを
真のN₁−１と判定する如くなす。この場合、位置差（θ
_２−θ_１）の10^-3の分解能で変位量y₁を測定できると仮
定すると、Ｌ＝λ_１λ₂/（λ_１−λ_２）を用いて Δy₁≒Ｌ×10^-3≦λ₁/2 ‥‥（20） を満足するようにλ₁,λ_２を定めればよい。

同時に、第２の係数判別回路（29）は、第１の目盛
（18）の位相量θ_１より第２図Ａに示す１ピッチλ_１内
の変位量y₂を付式より算出する。

y₂＝λ_１θ₁/（２π） ‥‥（21） この変位量y₂は真の変位量に対して誤差Δy₂の範囲内
に入り、第２の係数判別回路（29）は第３の目盛（20）
のその第１の目盛（18）の１ピッチλ_１内における１ピ
ッチλ_３単位の整数N₂−１を次式より求める。

N₂−１＝INT（y₂/λ_３） ‥‥（22） 式（22）を使用した場合にも、誤差Δy₂によって±１
の誤差が生じ得るため、位相量θ_１の10^-3の分解能で変
位量y₂を測定できると仮定すると、λ_１＝ｍλ_３より Δy₂≒ｍλ_３×10^-3≦λ₃/2 ‥‥（23） を充足するようにｍの値を定める。そして、式（19）の
場合と同様に補正を行う如くなす。

続いて、第１図において、第１の係数判別回路（28）
は式（19）に従って算出した整数N₁−１を演算回路（3
0）の第１の入力ポートに供給し、第２の係数判別回路
（29）は式（22）に従って算出した整数N₂−１を演算回
路（30）の第２の入力ポートに供給し、第２の位相量検
出回路（27）は位相量θ_３を演算回路（30）の第３の入
力ポートに供給する。そして、その演算回路（30）は式
（17）より第３の目盛（20）の１ピッチλ_３内の絶対位
置Δｘを算出した後に、式（16）に基いて総合的な変位
量である絶対位置ｘを算出して表示器（31）に供給す
る。

上述のように本例によれば、スケール（17）と検出ヘ
ッド（21）との変位量を最大測定長Ｌの範囲内で絶対位
置ｘとして測定することができる。また、第３の目盛
（20）の位相量θ_３も10^-3程度の分解能で測定すると、
その絶対位置ｘの分解能はλ_３×10^-3程度となる。

具体的には、第１の目盛（18）、第２の目盛（19）、
第３の目盛（20）の夫々の目盛のピッチλ₁,λ₂,λ
_３（＝λ₁/m）を λ_１＝10.00mm λ_２＝9.95mm λ_３＝0.20mm（即ち、ｍ＝50） に設定すると、最大測定長Ｌは Ｌ＝λ_１λ₂/（λ_１−λ_２）＝1990（mm） となる。このとき、式（15）におけるｎ（＝L/λ_１）は
199となるので、第１の目盛（18）及び第２の目盛（1
9）より得られた位相差（θ_２−θ_１）を少なくとも199
分割すればよい。但し、式（19）における±１の誤差を
正確に除去するには、その位相差（θ_２−θ_１）を２×
199分割以上する必要がある。

また、ｍ＝50であるため、本例では第１の目盛（18）
の位相量θ_１を少なくとも50分割して第３の目盛（20）
の１ピッチλ_３単位の整数N₂−１を算出すればよい。但
し、より正確な測定を行うにはその位相量θ_１を100分
割以上する必要がある。最後に、第３の目盛（20）の１
ピッチλ_３（0.2mm）を例えば200分割することによって
その１ピッチλ_３の絶対位置Δｘを１μｍの分解能で測
定することができる。

従って、この場合には最大測定長1990mmの全範囲内を
分解能１μｍで絶対位置検出することができる。

このように本例によれば、アブソリュート型の位置検
出装置において、最大測定長を実用的な範囲に設定でき
ると共に、分解能をインクリメンタル方式の変位検出装
置並みに設定できる利益がある。

尚、第１図例において、第１〜第３の目盛（18）〜
（20）と平行して更に第３の目盛（20）のピッチλ_３の
整数分の１のピッチを有する第４の目盛をスケール（1
7）に形成し、検出ヘッド（21）にはその第４の目盛を
読取る検出器を配することにより、更に最大測定長の範
囲を拡張し、分解能を細分化することが可能である。同
様に、第５の目盛、第６の目盛を追加していくことも可
能である。

また、本発明はリニアエンコーダだけでなく、ロータ
リーエンコーダにも当然に適用することができる。ロー
タリーエンコーダの場合には、円盤上に複数の目盛を同
芯円状に形成する如くなす。

このように本発明は上述実施例に限定されず、本発明
の要旨を逸脱しない範囲で種々の構成を採り得ることは
勿論である。

〔発明の効果〕

本発明によれば、最大測定長又は最大測定角度を実用
的な範囲に設定できると共に、分解能がインクリメンタ
ル方式の変位検出装置並みに改善されたアブソリュート
方式の位置検出装置を実現できる利益がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例を示す構成図、第２図は実施
例の動作の説明に供する線図、第３図は従来のアブソリ
ュート型の位置検出装置の一例を示す構成図、第４図は
第３図例の動作の説明に供する線図、第５図は従来のア
ブソリュート型の位置検出装置の他の例を示す斜視図で
ある。 （17）はスケール、（18）は第１の目盛、（19）は第２
の目盛、（20）は第３の目盛、（21）は検出ヘッド、
（22）は第１の検出器、（23）は第２の検出器、（24）
は第３の検出器、（25）は第１の位相量検出回路、（2
6）は位相差検出回路、（27）は第２の位相量検出回
路、（28）は第１の係数判別回路、（29）は第２の係数
判別回路、（30）は演算回路である。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平１−229905（ＪＰ，Ａ) 特開 昭64−39522（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−247615（ＪＰ，Ａ)

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】ピッチλ_１の第１の目盛、ピッチλ_２（λ
   _２≠λ_１）の第２の目盛及びピッチλ₁/m（ｍは２以上
   の整数）の第３の目盛が平行に形成されたスケールと、 上記第１、第２及び第３の目盛を夫々読取って位相検出
   信号を生成する第１、第２及び第３の検出器を有し上記
   スケールに対して相対変位自在に配設された検出ヘッド
   と、 上記３種類の位相検出信号より上記第１の目盛と第２の
   目盛との位相差、上記第１の目盛の位相量及び上記第３
   の目盛の位相量を検出する位相検出回路とを設け、 上記位相差より上記第１の目盛の絶対位置をピッチλ_１
   単位で求めると共に上記第１の目盛の位相量より該第１
   の目盛のピッチλ_１の中における上記第３の目盛の絶対
   位置をピッチλ₁/m単位で求めることにより、上記スケ
   ールと上記検出ヘッドとの相対変位量を絶対位置として
   検出する様にしたことを特徴とする位置検出装置。