JP2677916B2 - 感光性樹脂組成物及びこれを用いた感光性エレメント - Google Patents
感光性樹脂組成物及びこれを用いた感光性エレメントInfo
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Description
これを用いた感光性エレメントに関する。
工等の分野において、エッチング、めっきなどに用いら
れるレジスト材料としては、感光性樹脂組成物及び感光
性フィルムが広く用いられている。また、印刷配線板の
製造方法としては、近年印刷配線板が高密度化し、パタ
ーンが細線化しているため、めっき法が主流になりつつ
ある。
ーホール及び電気回路を除いてレジストを被覆し、電気
めっきによりスルーホール及び電気回路を作成し、その
後、レジスト剥離、エッチングによって電気回路の作製
を行う方法である。めっき法におけるめっき液として
は、ピロリン酸銅、硫酸銅、はんだ、ニッケル、パラジ
ウム、金などが用いられるが、電気回路の作製に硫酸銅
を用い、その保護のためはんだを用いることが一般的で
ある。
び感光性エレメントからめっき液中へ溶け出す光開始剤
の種類によっては、硫酸銅めっきの析出が充分でなかっ
たり、保護層のはんだめっきの錫/鉛比率が目的比率か
ら大きく偏倚してくることが知られている。この合金比
率の偏倚によりレジスト剥離の際の半田溶解、エッチン
グ時の下地銅の線細りなどの問題が発生する。
性樹脂組成物及び感光性エレメントはめっき液中へ溶出
する光開始剤の量を少なくするため光感度が低く、十分
なものではなかった。
術の問題点を解決し、光感度が高く、しかも光開始剤の
めっき液への溶出がほとんどないため、めっき液の汚染
が少ない感光性樹脂組成物及び感光性エレメントを提供
するものである。
部、 (B)少なくとも1つの不飽和結合を有し、重合可能な
化合物 20〜60重量部((A)と(B)との総量が
100重量部となるようにする)、 (C)一般式(I)で表わされる光開始剤を、前記
(A)と(B)との総量100重量部に対し、0.05
〜1重量部及び
わす) (D)一般式(II)で表わされる光開始剤を
ニル基又は炭素原子数1〜3のアルキル基若しくは炭素
原子数1〜3のアルコキシ基で置換されたフェニル基を
表わし、R2及びR3はそれぞれ独立して炭素原子数1〜
9のアルキル基を表わす)前記(A)と(B)との総量
100重量部に対し、1〜10重量部含有する感光性樹
脂組成物及び支持体フィルム上に前記感光性樹脂組成物
の層を積層してなる感光性エレメントに関する。
成分について詳述する。本発明に(A)成分として用い
られるカルボキシル基含有ポリマーとしては、例えば、
(メタ)アクリル酸アルキルエステル〔(メタ)アクリ
ル酸とはメタクリル酸及びアクリル酸を意味する。以下
同じ〕と(メタ)アクリル酸とこれらと共重合しうるビ
ニルモノマーとの共重合体等が挙げられる。これらの共
重合体は、単独でも2種類以上混合しても用いることが
できる。
ては、例えば、(メタ)アクリル酸メチルエステル、
(メタ)アクリル酸エチルエステル、(メタ)アクリル
酸ブチルエステル、(メタ)アクリル酸2−エチルヘキ
シルエステル等が挙げられる。また、(メタ)アクリル
酸アルキルエステルや(メタ)アクリル酸と共重合しう
るビニルモノマーとしては、例えば、(メタ)アクリル
酸テトラヒドロフルフリルエステル、(メタ)アクリル
酸ジメチルアミノエチルエステル、(メタ)アクリル酸
ジエチルアミノエチルエステル、メタクリル酸グリシジ
ルエステル、2,2,2−トリフルオロエチル(メタ)
アクリレート、2,2,3,3−テトラフルオロプロピ
ル(メタ)アクリレート、アクリルアミド、ジアセトン
アクリルアミド、スチレン、ビニルトルエン等が挙げら
れる。
くとも1個の不飽和結合を含む重合可能な化合物として
は、例えば、ポリエチレングリコールジ(メタ)アクリ
レート(エチレン基の数が2〜14のもの)、トリメチ
ロールプロパンジ(メタ)アクリレート、トリメチロー
ルプロパントリ(メタ)アクリレート、トリメチロール
プロパンエトキシトリ(メタ)アクリレート、トリメチ
ロールプロパンプロポキシトリ(メタ)アクリレート、
テトラメチロールメタントリ(メタ)アクリレート、テ
トラメチロールメタンテトラ(メタ)アクリレート、ポ
リプロピレングリコールジ(メタ)アクリレート(プロ
ピレン基の数が2〜14のもの)、ジペンタエリスリト
ールペンタ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリト
ールヘキサ(メタ)アクリレート等の多価アルコールに
α、β−不飽和カルボン酸を反応させて得られる化合
物、ビスフェノールAジオキシエチレンジ(メタ)アク
リレート、ビスフェノールAトリオキシエチレンジ(メ
タ)アクリレート、ビスフェノールAデカオキシエチレ
ンジ(メタ)アクリレート等のビスフェノールAジオキ
シエチレンジ(メタ)アクリレート、トリメチロールプ
ロパントリグリシジルエーテルトリアクリルレート、ビ
スフェノールAジグリシジルエーテルアクリレート等の
グリシジル基含有化合物にα、β−不飽和カルボン酸を
付加して得られる化合物、無水フタル酸等の多価カルボ
ン酸とβ−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート等の
水酸基及びエチレン性不飽和基を有する物質とのエステ
ル化物、(メタ)アクリル酸メチルエステル、(メタ)
アクリル酸エチルエステル、(メタ)アクリル酸ブチル
エステル、(メタ)アクリル酸2−エチルヘキシルエス
テル等の(メタ)アクリル酸のアルキルエステル、トリ
レンジイソシアネートと2−ヒドロキシエチル(メタ)
アクリル酸エステルとの反応物、トリメチルヘキサメチ
レンジイソシアネートとシクロヘキサンジメタノールと
2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリル酸エステルとの
反応物等のウレタン(メタ)アクリレートなどが挙げら
れる。
する必要があり、55〜65重量部が特に好ましい。こ
の配合量が40重量部未満では、光硬化物が脆くなり易
く、また感光性フィルムとして用いた場合、塗膜性に劣
る。この配合量が80重量部を越えると、充分な感度が
得られない。
る必要があり、35〜45重量部が特に好ましい。この
配合量が20重量部未満では充分な感度が得られず、6
0重量部を越えると光硬化物が脆くなり易い。
和結合を有する化合物を用いることが、感度の向上の面
から好ましい。
られる化合物としては、例えば、1,6−ビス(9−ア
クリジニル)ヘキサン、1,7−ビス(9−アクリジニ
ル)ヘプタン、1,8−ビス(9−アクリジニル)オク
タン、1,9−ビス(9−アクリジニル)ノナン、1,
10−ビス(9−アクリジニル)デカン、1,11−ビ
ス(9−アクリジニル)ウンデカン、1,12−ビス
(9−アクリジニル)ドデカン等があげられる。
される光開始剤(アクリジン化合物)は、例えば、ジフ
ェニルアミンと二価カルボン酸を金属酸化物の存在下に
反応させることによって容易に製造することができる。
(B)成分の総量100重量部に対し0.05〜1重量
部、好ましくは0.1〜0.5重量部の範囲で用いられ
る。0.05重量部未満では充分な光感度が得られず、
1重量部を越えて使用すると、それ以上感度は向上しな
いばかりか、めっき浴に対する溶解量が増大し、めっき
浴への汚染が著しくなる。
る一般式(II)で表わされる光開始剤としては、例え
ば、1−(4−メトキシフェニル)−2,2−ジメトキ
シ−2−フェニル−1−エタノン、1−(4−メトキシ
フェニル)−2−メトキシ−2−エトキシ−2−フェニ
ル−1−エタノン、1−(4−メトキシフェニル)−2
−メトキシ−2−プロポキシ−2−フェニル−1−エタ
ノン、下記の式
1−エタノン(通称ベンジルジメチルケタール)等があ
げられる。これらの中でもベンジルジメチルケタールが
特に好ましい。
分の総量100重量部に対し1〜10重量部好ましくは
2〜5重量部の範囲で用いられる。10重量部を越える
と価格が向上し、1重量部未満では充分な光感度が得ら
れなくなる。
て前記以外のビニル化合物、光開始剤、可塑剤、染料、
顔料、イメージング剤、充填剤、密着性付与剤等を配合
して使用することができる。
えば、銅、ニッケル、クロム等の表面、好ましくは銅表
面上に、液状レジストとして塗布して乾燥後、保護フィ
ルムを被覆して用いるか、又は感光性エレメントとして
用いられる。感光性樹脂組成物層の厚みは用途により異
なるが、乾燥後の厚みで10〜100μm程度であるこ
とが好ましい。液状レジストとしての場合は、保護フィ
ルムとしてポリエチレン、ポリプロピレン等の不活性な
ポリオレフインフィルムなどが用いられる。
持体フィルム上に感光性樹脂組成物を塗布乾燥すること
により積層し、必要に応じてポリオレフイン等の保護フ
ィルムを積層して得られる。感光性樹脂組成物は、必要
に応じてアセトン、メチルエチルケトン、塩化メチレ
ン、トルエン、メタノール、エタノール、プロパノー
ル、ブタノール、メチルグリコール、エチルグリコー
ル、プロピレングリコール、モノメチルエーテル等の溶
剤又はこれらの混合溶剤と混合して溶液として塗布して
もよい。
クと呼ばれるネガ又はポジマスクパターンを通して活性
光線が照射された後、現像液で現像され、レジストパタ
ーンとされる。この際用いられる活性光線としは、例え
ば、カーボンアーク灯、超高圧水銀灯、高圧水銀灯、キ
セノンランプ等の紫外線を有効に放射するものが用いら
れる。
作性が良好なものが用いられ、アルカリ現像型のフォト
レジストでは炭酸ナトリウムの希薄溶液等が用いられ
る。現像の方法には、ディップ方式、スプレー方式等が
あり、高圧スプレー方式が解像度向上のためには最も適
している。
めっき、ピロリン酸銅めっき等の銅めっき、ハイスロー
はんだめっき等のはんだめっき、ワット浴(硫酸ニッケ
ル−塩化ニッケル)めっき、スルファミン酸ニッケルめ
っき等のニッケルめっき、ハード金めっき、ソフト金め
っき等の金めっきなどがある。
が、本発明はこれらにより制限されるものではない。
ル/アクリル酸2−エチルヘキシル共重合体(重量比2
5/50/5/20、重量平均分子量8万)の40重量
%メチルセロソルブ/トルエン(重量比6/4)溶液1
00g(固形分40g)((A)成分)、メタクリル酸
/メタクリル酸メチル/アクリル酸エチル/スチレン共
重合体(重量比30/30/30/10、重量平均分子
量4万)の50重量%メチルセロソルブ/トルエン(重
量比8/2)溶液40g(固形分20g)((A)成
分)、トリブロモメチルフェニルスルフォン1.0g、
ロイコクリスタルバイオレット1g、マラカイトグリー
ン0.05g、メチルエチルケトン10g、トルエン1
0g、メタノール3g、NK−4G(テトラエチレング
リコールジメタクリレート、新中村工業社製、商品名)
20g((B)成分)及びBPE−10(オキシエチレ
ン化ビスフェノールAジメタクリレート、新中村工業社
製、商品名)20g((B)成分)を配合し、溶液を得
た。
(D)成分を溶解させて感光性樹脂組成物を得た。次い
で、この感光性樹脂組成物溶液を25μm厚のポリエチ
レンテレフタレートフィルム上に均一に塗布し、100
℃の熱風対流式乾燥機で約10分間乾燥して感光性エレ
メントを得た。感光性樹脂組成物層の乾燥後の膜厚は、
50μmであった。一方、銅箔(厚さ35μm)を両面
に積層したガラスエポキシ材である銅張り積層板(日立
化成工業社製、商品名MCL−E−61)の銅表面を#
600相当のブラシを持つ研磨機(三啓社製)を用いて
研磨し、水洗後、空気流で乾燥し、得られた銅張り積層
板を80℃に加温し、その銅表面上に前記感光性樹脂組
成物層を120℃に加熱しながらラミネートした。
ネガフィルムを使用し、3kw高圧水銀灯(オーク製作
所社製、HMW−201B)で60mJ/cm2の露光
を行った。この際、光感度を評価できるように、光透過
量が段階的に少なくなるように作られたネガフィルム
(光学密度0.05を1段目とし、1段ごとに光学密度
0.15ずつ増加するステップタブレット)を用いた。
ルムを除去し、30℃で1重量%炭酸ナトリウム水溶液
を50〜150秒間スプレーすることにより、未露光部
分を除去した。さらに、銅張り積層板上に形成された光
硬化膜のステップタブレットの段数を測定することによ
り、感光性樹脂組成物の光感度を評価した。その結果を
表1として示す。光感度は、ステップタブレットの段数
で示され、このステップタブレットの段数が高いほど、
光感度が高いことを示す。
に示す所定の露光量を露光後、ポリエチレンフィルムと
ポリエチレンテレフタレートフィルムを除去し、続いて
半田めっき浴〔45%ホウフッ化錫64ml/l、45
%ホウフッ化鉛22ml/l、42%ホウフッ化水素酸
200ml/l、プルテインLAコンダクティビティソ
ルト(メルテックス社製、商品名)20g/l、プルテ
インLAスターター(メルテックス社商品名)40ml
/l〕に0.1m2/lの割合で浸漬した。フィルム硬
化物を浸漬したまま室温下で7日間放置した後、フィル
ム硬化物を取り除き、ハルセルめっき装置で1A、5分
間めっきした。
社、商品名STF−158V)を用いて、電流密度3A
/dm2の部分のめっき膜の合金比率を測定した。その
際、フィルム硬化物を加えなかったものをブランクと
し、ブランクとの比を合金比率とした。この値が1に近
いほどめっき浴汚染性は少ないことになる。
ヘプタン (旭電化工業社製、商品名) *2 1,11−ビス(9−アクリジニル)ウンデカン
(旭電化工業社製、商品名) *3 ベンジルジメチルケタール(チバガイギー社製、
商品名) *4 光開始剤としてビス−[4−(N,N−ジエチル
アミノ)フェニル]ベンゾフェノン0.2g、ベンゾフ
ェノン6.0gを含む感光性エレメント
分(D)を所定量配合することにより、光感度が高く、
めっき浴汚染のほとんどない感光性樹脂組成物を得るこ
とができる。
いた感光性エレメントは、めっき浴汚染がほとんどな
く、光感度が高い優れたものである。
Claims (2)
- 【請求項1】 (A)カルボキシル基含有ポリマー 4
0〜80重量部、 (B)少なくとも1つの不飽和結合を有し、重合可能な
化合物 20〜60重量部((A)と(B)との総量が
100重量部となるようにする)、 (C)一般式(I)で表わされる光開始剤を、前記
(A)と(B)との総量100重量部に対し、0.05
〜1重量部及び 【化1】 (式中、R1は、炭素原子数6〜12のアルキレン基を
表わす) (D)一般式(II)で表わされる光開始剤を前記
(A)と(B)との総量100重量部に対し1〜10重
量部を含有する感光性樹脂組成物。 【化2】 (式中、Ar1及びAr2はそれぞれ独立して無置換フェ
ニル基又は炭素原子数1〜3のアルキル基若しくは炭素
原子数1〜3のアルコキシ基で置換されたフェニル基を
表わし、R2及びR3はそれぞれ独立して炭素原子数1〜
9のアルキル基を表わす) - 【請求項2】支持体フィルム上に請求項1記載の感光性
樹脂組成物の層を積層してなる感光性エレメント。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3212059A JP2677916B2 (ja) | 1991-08-23 | 1991-08-23 | 感光性樹脂組成物及びこれを用いた感光性エレメント |
Applications Claiming Priority (1)
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---|---|---|---|
JP3212059A JP2677916B2 (ja) | 1991-08-23 | 1991-08-23 | 感光性樹脂組成物及びこれを用いた感光性エレメント |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
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JPH0553317A JPH0553317A (ja) | 1993-03-05 |
JP2677916B2 true JP2677916B2 (ja) | 1997-11-17 |
Family
ID=16616189
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP3212059A Expired - Lifetime JP2677916B2 (ja) | 1991-08-23 | 1991-08-23 | 感光性樹脂組成物及びこれを用いた感光性エレメント |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP2002182387A (ja) * | 2001-10-19 | 2002-06-26 | Hitachi Chem Co Ltd | 感光性樹脂組成物及びこれを用いた感光性エレメント |
JP2002182385A (ja) * | 2001-10-19 | 2002-06-26 | Hitachi Chem Co Ltd | 感光性樹脂組成物、これを用いた感光性エレメント、感光性樹脂組成物層の積層方法、感光性樹脂組成物層積層基板及び感光性樹脂組成物層の硬化方法 |
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JP2003091067A (ja) * | 2002-06-17 | 2003-03-28 | Hitachi Chem Co Ltd | 感光性樹脂組成物及びこれを用いた感光性エレメント |
JP4873043B2 (ja) * | 2009-04-28 | 2012-02-08 | 日立化成工業株式会社 | 感光性樹脂組成物、これを用いた感光性エレメント、画像表示装置の隔壁の形成方法及び画像表示装置の製造方法 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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JPH02294302A (ja) * | 1989-05-08 | 1990-12-05 | Hitachi Chem Co Ltd | 感光性樹脂組成物およびこれを用いた感光性エレメント |
-
1991
- 1991-08-23 JP JP3212059A patent/JP2677916B2/ja not_active Expired - Lifetime
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