JP2672098B2 - 空気清浄隔離装置 - Google Patents
空気清浄隔離装置Info
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- JP2672098B2 JP2672098B2 JP62275340A JP27534087A JP2672098B2 JP 2672098 B2 JP2672098 B2 JP 2672098B2 JP 62275340 A JP62275340 A JP 62275340A JP 27534087 A JP27534087 A JP 27534087A JP 2672098 B2 JP2672098 B2 JP 2672098B2
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F24—HEATING; RANGES; VENTILATING
- F24F—AIR-CONDITIONING; AIR-HUMIDIFICATION; VENTILATION; USE OF AIR CURRENTS FOR SCREENING
- F24F11/00—Control or safety arrangements
- F24F11/0001—Control or safety arrangements for ventilation
- F24F2011/0002—Control or safety arrangements for ventilation for admittance of outside air
- F24F2011/0005—Control or safety arrangements for ventilation for admittance of outside air to create underpressure in a room, keeping contamination inside
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Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は、半導体製造工程などに使用される空気清浄
室において、人体に有害な物質や防災上危険な物質を取
り扱う場合、あるいは組み替えDNA実験などに使用され
るハザード対策施設において、高い清浄度が要求される
実験を行う場合、取扱い物質が周囲環境へ漏洩するのを
防ぎ、隔離しながら室内の空気清浄度を所望する程度に
保持するための装置に関する。 （従来の技術） 半導体素子等の製造においては、従来から高清浄度の
空気環境が要求され、通常クリーンルームが使用されて
いるが、毒性が強かったりあるいは反応性の高いガスや
薬品を取り扱う場合には、かかる危険物質を室外に拡散
させずに隔離するために、室内空気圧を周囲環境に対し
陰圧となるように制御することが行われている。 また、組み替えDNA実験等のためのハザード対策施
設、例えば、P3対応の施設においても、実験取扱い物質
が室外へ漏出力しないようにするために、室内空気圧を
周囲環境よりも低くする陰圧管理が行なわれている。 このような従来装置としては、例えば第７図に示すよ
うな装置が知られている。第７図においては、取入外気
を空調機１で所定の温湿度に空調し、送風ダクト２によ
りHEPAフィルタ等の空気清浄化装置３へ送って清浄化し
た空気を、クリーンルーム又はハザード対策室Ｃへ送入
した後、排気ダクト４から排気処理装置５を経て周囲環
境Ｅへ排気することにより、クリーンルーム又はハザー
ド対策室Ｃの空調及び清浄保持を行っている。この場
合、クリーンルーム又はハザード対策室Ｃ内の空気圧
は、周囲環境Ｅの空気圧よりも低くなるように、送風量
及び排気量が制御されている。Ａは隣室であり、空調機
６によって所定の温湿度に空調された空気を、送風ダク
ト17を介して送入し、還気ダクト８から再び空調気６へ
循環し、外気を一部取り入れながら再使用することによ
り、空調している。また、Ｂは、送風ダクト２、７など
が配設されている天井裏である。 （発明が解決しようとする問題点） かかる従来の装置では、クリーンルーム又はハザード
対策室Ｃのあらゆる隙間をシールし、完全に気密とする
ことが困難であるため、矢印ａ、ｂ、ｅで示すように、
どうしても隣室Ａ、天井裏Ｂ、周囲環境Ｅなどから汚染
空気が漏入し、室内空気を高清浄度に保持することが極
めて困難である。 例えば、室内清浄度がクラス1,000、周囲の清浄度が
クラス1,000,000相当、送風量が100回／時間の場合、リ
ーク量が0.1回／時間でも、室内清浄度を満足なレベル
に維持することができない。特に、クリーンルーム又は
ハザード対策室Ｃに電気、ガス、水などの配管を行う場
合は、配管取付部を完全にシールすることが難しく、汚
染空気の漏入を阻止することがますます困難にる。 （問題を解決するための手段） 本発明は、かかる従来装置の問題点を解消し、室内で
処理している危険物質が周囲環境へ漏洩するのを防止、
隔離しながら室内の空気清浄度を高度に保持することが
できる装置を提供するものであり、請求項１記載の発明
は、人の出入りが可能な作業空間となる空調室の内部を
周囲環境の空気圧より低い一定圧力に保つ空気清浄隔離
装置において、空調室を包囲する内壁および該内壁を包
囲する外壁を設けるとともに、前記内壁と前記外壁で包
囲された絶縁領域の空気圧を前記周囲環境の空気圧より
高い一定圧力に保つ圧力調節手段を設けたことを特徴と
し、請求項２記載の発明は、人の出入りが可能な作業空
間となる空調室の内部を周囲環境の空気圧より低い一定
圧力に保つ空気清浄隔離装置において、空調室を包囲す
る内壁および該内壁を包囲する外壁を設けるとともに、
前記内壁と前記外壁で包囲された絶縁領域の空気圧を前
記空調室の空気圧より低い一定圧力に保つ圧力調節手段
を設けたことを特徴とする空気清浄隔離装置である。 （作用） 本発明の空気清浄隔離装置によれば、空調室の空気圧
を周囲環境の空気圧よりも低く維持すると共に、空調室
を包囲する内壁および内壁を包囲する外壁を設け、請求
項１記載の発明は、内壁と外壁で包囲された絶縁領域の
空気圧を周囲環境の空気圧より高い一定圧力に維持し、
請求項２記載の発明は、絶縁領域の空気圧を空調室の空
気圧より低い一定圧力に維持している。そのため、前者
の場合は、第５図に模式的に示すように、絶縁領域の空
気圧が最も高くなり、空調室からの空気（危険物質）の
漏出は完全に防止される。また、周囲環境からの清浄度
の低い空気の漏入も阻止される。一方、後者の場合は、
第６図に示すように、絶縁領域の空気圧が最も低くな
り、空調室からの空気（危険物質）の漏洩があっても、
絶縁領域に吸収され周囲環境へ排出されるようなことが
ない。また、周囲環境からの清浄度の低い空気も、この
絶縁領域に吸収され該絶縁領域よりも空気圧の高い空調
室へは漏入しない。 従って、現場施工において空調室の隙間をシールする
作業を要せずに、室内の空気（危険物質）が周囲環境へ
漏出するのを防止しつつ、空調室内の空気清浄度を高度
に保持することができる。 （実施例） 以下、実施例により本発明を更に詳細に説明する。 第１図は、本発明装置の一例を示す断面図であり、空
調室Ｃを包囲する絶縁領域Ｓを形成するよう周囲環境Ｅ
と空調室Ｃの間に内外二つの壁31、32が設けられてい
る。１は取入外気を所定の温湿度に空調する空調装置、
２は送風ダクト、３はダンパ、４はHEPAフィルタ等の送
風用空気清浄化装置、５は排気用空気清浄化装置、６は
ダンパ、７は排気ダクト、８は排気処理装置、９は絶縁
領域Ｓへ送風するためのダンパ、10はその空気清浄化装
置である。また、空調装置１、送風ダクト２およびダン
パ９は、圧力調節手段を構成している。 取入外気は、空調装置１で所定の温湿度に空調され、
送風ダクト２、ダンパ３を経て、空気清浄化装置４で清
浄化された後、空調室Ｃへ送入される。空調室Ｃからの
排気は、空気清浄化装置５で清浄化された後、ダンパ
６、排気ダクト７を経て、排気処理装置８で危険物質な
どを除去し、周囲環境Ｅへ排出される。また、絶縁領域
Ｓへも、ダンパ９を経て、空気清浄化装置10で清浄化さ
れた空気が送入されている。 ここで、空調室Ｃ内の空気圧は、周囲環境Ｅの空気圧
よりも低くなるように、ダンパ３、６の開度を制御する
ことによって調節されている。また、絶縁領域Ｓの空気
圧は、周囲環境Ｅの空気圧よりも高くなるように、ダン
パ９の開度を制御することによって調節されている。 なお、周囲環境Ｅと空調室Ｃとの空気圧の差は0.1〜1
5mm水柱、また、周囲環境Ｅと絶縁領域Ｓとの空気圧の
差は、0.1〜10mm水柱とするのが好ましい。 この実施例では、絶縁領域Ｓの空気圧が、空調室Ｃ及
び周囲環境Ｅのいずれの空気圧よりも高くなっているの
で、空気の漏洩は、矢印ｓで示すように絶縁領域Ｓから
空調室Ｃ、絶縁領域Ｓから周囲環境Ｅの方向へ生じ、空
調室Ｃの空気（危険物質）が室外へ漏出力するようなこ
とがなく、また、周囲環境Ｅの清浄度の低い空気が空調
室Ｃ内へ漏入するようなこともない。 第２図は、第１図に示した装置の改良であり、空調室
Ｃ内に安全キャビネット、クリーンベンチ、ドラフトチ
ヤンバ等の装置11を設け、空調室Ｃ内の空気をファン12
で一部循環させ、空気清浄化装置13により、更に空気の
清浄度を高めている。また、安全キャビネット等の装置
11の上部にも排気用空気清浄化装置14、排気ダクト15、
排気処理装置16が設けられている。また、空調室Ｃと絶
縁領域Ｓとの間には、両室の空気圧を調節するための差
圧調整装置17が設けられている。なお、18はエアシャワ
ー、19はエアクロック、20はパスボックス、21は電線、
22は電線管、23は排水管である。電線管22、排水管23な
どは、第２図に示すように絶縁領域Ｓ内で切り離してお
くのが、隔離性を向上させるうえで好ましい。また、パ
スボックス20には、絶縁領域Ｓへの開放部24を設けるこ
とによって、隔離性を向上させることができる。 なお、装置11が排気のみの場合、これに付属するファ
ン12は、排気処理装置16等の排気ファン能力が十分であ
れば、設けなくてもよい。また、空調清浄化装置13は、
要求される清浄度がそれほど高くない場合には、設けな
くてもよい。 第３図は、本発明の他の実施例を示す断面図であり、
空調室Ｃを包囲する絶縁領域Ｓを形成するよう周囲環境
Ｅと空調室Ｃの間に内外二つの壁31、32が設けられてい
る。１は取入外気を所定の温湿度に空調する空調装置、
２は、送風ダクト、３はダンパ、４はHEPAフィルタ等の
送風用空気清浄化装置、５は排気用空気清浄化装置、６
はダンパ、７は排気ダクト、８は排気処理装置、25は絶
縁領域Ｓからの排気用空気清浄化装置、26はダンパであ
る。また、排気ダクト７、排気処理装置８およびダンパ
26は、圧力調節手段を構成している。 取入外気は、空調装置１で所定の温湿度に空調され、
送風ダクト２、ダンパ３を経て、空気清浄化装置４で清
浄化された後、空調室Ｃへ送入される。空調室Ｃからの
排気は、空気清浄化装置５で清浄化された後、ダンパ
６、排気ダクト７を経て、排気処理装置８で危険物質な
どを除去し、周囲環境Ｅへ排出される。また、絶縁領域
Ｓからの排気は、空気清浄化装置25で清浄化され、ダン
パ26を経て、排気ダクト７に合流する。 空調室Ｃの空気圧は、第１図に示した装置の場合と同
様にして、周囲環境Ｅの空気圧よりも低くなるように制
御されている。また、絶縁領域Ｓの空気圧は、空調室Ｃ
の空気圧よりも低くなるように、ダンパ26の開度を制御
することによって調節されている。 周囲環境Ｅと空調室Ｃとの空気圧の差は0.1〜15mm水
柱、また、空調室Ｃと絶縁領域Ｓとの空気圧の差は、0.
1〜10mm水柱とするのが好適である。 この実施例では、絶縁領域Ｓの空気圧が、空調室Ｃ及
び周囲環境Ｅのいずれの空気圧よりも低くなっているの
で、空気の漏洩は矢印ｃで示すように空調室Ｃから絶縁
領域Ｓへ、矢印ｅで示すように周囲環境Ｅから絶縁領域
Ｓへと生じ、空調室Ｃから漏出した空気（危険物質）及
び周囲環境Ｅから漏入した清浄度の低い空気は、絶縁領
域Ｓから空気清浄化装置25、ダンパ26、排気ダクト７を
経て、排気処理装置８で危険物質を除去した後、周囲環
境Ｅへ排出される。 従って、室内空気（危険物質）が直接周囲環境Ｅへ漏
出力するようなことがなく、また、周囲環境Ｅの清浄度
の低い空気が空調室Ｃ内へ漏入するようなこともない。 第４図は、第３図に示した装置を、第２図に示した装
置と同様に改良した装置を示すものである。 以上の各実施態様において、空調室Ｃ及び絶縁領域Ｓ
の空気圧を所定の圧力に維持するには、各ダンパの開度
を事前にセットしておいてもよいが、各領域間の差圧又
は各領域の絶対圧を検出して、自動制御するようにして
もよい。 また、第２図及び第４図に示すように、床面のよう
な、十分に気密性を保持できる部分は、空調室を絶縁領
域で包囲しなくてもよい。 更に、絶縁領域Ｓは、該領域の清浄度及び危険度を考
慮したうえで、通路又はメンテナンススペースとするこ
とができ、あるいは厚壁の中空隔壁とすることもでき
る。 （発明の効果） 本発明によれば、現場施工において空調室の隙間をシ
ールする作業を要せずに、危険物質等の取扱い物質が空
調室から周囲環境へ漏出するのを防ぎながら、空調室内
の空気清浄度を高度に保持することができる。
室において、人体に有害な物質や防災上危険な物質を取
り扱う場合、あるいは組み替えDNA実験などに使用され
るハザード対策施設において、高い清浄度が要求される
実験を行う場合、取扱い物質が周囲環境へ漏洩するのを
防ぎ、隔離しながら室内の空気清浄度を所望する程度に
保持するための装置に関する。 （従来の技術） 半導体素子等の製造においては、従来から高清浄度の
空気環境が要求され、通常クリーンルームが使用されて
いるが、毒性が強かったりあるいは反応性の高いガスや
薬品を取り扱う場合には、かかる危険物質を室外に拡散
させずに隔離するために、室内空気圧を周囲環境に対し
陰圧となるように制御することが行われている。 また、組み替えDNA実験等のためのハザード対策施
設、例えば、P3対応の施設においても、実験取扱い物質
が室外へ漏出力しないようにするために、室内空気圧を
周囲環境よりも低くする陰圧管理が行なわれている。 このような従来装置としては、例えば第７図に示すよ
うな装置が知られている。第７図においては、取入外気
を空調機１で所定の温湿度に空調し、送風ダクト２によ
りHEPAフィルタ等の空気清浄化装置３へ送って清浄化し
た空気を、クリーンルーム又はハザード対策室Ｃへ送入
した後、排気ダクト４から排気処理装置５を経て周囲環
境Ｅへ排気することにより、クリーンルーム又はハザー
ド対策室Ｃの空調及び清浄保持を行っている。この場
合、クリーンルーム又はハザード対策室Ｃ内の空気圧
は、周囲環境Ｅの空気圧よりも低くなるように、送風量
及び排気量が制御されている。Ａは隣室であり、空調機
６によって所定の温湿度に空調された空気を、送風ダク
ト17を介して送入し、還気ダクト８から再び空調気６へ
循環し、外気を一部取り入れながら再使用することによ
り、空調している。また、Ｂは、送風ダクト２、７など
が配設されている天井裏である。 （発明が解決しようとする問題点） かかる従来の装置では、クリーンルーム又はハザード
対策室Ｃのあらゆる隙間をシールし、完全に気密とする
ことが困難であるため、矢印ａ、ｂ、ｅで示すように、
どうしても隣室Ａ、天井裏Ｂ、周囲環境Ｅなどから汚染
空気が漏入し、室内空気を高清浄度に保持することが極
めて困難である。 例えば、室内清浄度がクラス1,000、周囲の清浄度が
クラス1,000,000相当、送風量が100回／時間の場合、リ
ーク量が0.1回／時間でも、室内清浄度を満足なレベル
に維持することができない。特に、クリーンルーム又は
ハザード対策室Ｃに電気、ガス、水などの配管を行う場
合は、配管取付部を完全にシールすることが難しく、汚
染空気の漏入を阻止することがますます困難にる。 （問題を解決するための手段） 本発明は、かかる従来装置の問題点を解消し、室内で
処理している危険物質が周囲環境へ漏洩するのを防止、
隔離しながら室内の空気清浄度を高度に保持することが
できる装置を提供するものであり、請求項１記載の発明
は、人の出入りが可能な作業空間となる空調室の内部を
周囲環境の空気圧より低い一定圧力に保つ空気清浄隔離
装置において、空調室を包囲する内壁および該内壁を包
囲する外壁を設けるとともに、前記内壁と前記外壁で包
囲された絶縁領域の空気圧を前記周囲環境の空気圧より
高い一定圧力に保つ圧力調節手段を設けたことを特徴と
し、請求項２記載の発明は、人の出入りが可能な作業空
間となる空調室の内部を周囲環境の空気圧より低い一定
圧力に保つ空気清浄隔離装置において、空調室を包囲す
る内壁および該内壁を包囲する外壁を設けるとともに、
前記内壁と前記外壁で包囲された絶縁領域の空気圧を前
記空調室の空気圧より低い一定圧力に保つ圧力調節手段
を設けたことを特徴とする空気清浄隔離装置である。 （作用） 本発明の空気清浄隔離装置によれば、空調室の空気圧
を周囲環境の空気圧よりも低く維持すると共に、空調室
を包囲する内壁および内壁を包囲する外壁を設け、請求
項１記載の発明は、内壁と外壁で包囲された絶縁領域の
空気圧を周囲環境の空気圧より高い一定圧力に維持し、
請求項２記載の発明は、絶縁領域の空気圧を空調室の空
気圧より低い一定圧力に維持している。そのため、前者
の場合は、第５図に模式的に示すように、絶縁領域の空
気圧が最も高くなり、空調室からの空気（危険物質）の
漏出は完全に防止される。また、周囲環境からの清浄度
の低い空気の漏入も阻止される。一方、後者の場合は、
第６図に示すように、絶縁領域の空気圧が最も低くな
り、空調室からの空気（危険物質）の漏洩があっても、
絶縁領域に吸収され周囲環境へ排出されるようなことが
ない。また、周囲環境からの清浄度の低い空気も、この
絶縁領域に吸収され該絶縁領域よりも空気圧の高い空調
室へは漏入しない。 従って、現場施工において空調室の隙間をシールする
作業を要せずに、室内の空気（危険物質）が周囲環境へ
漏出するのを防止しつつ、空調室内の空気清浄度を高度
に保持することができる。 （実施例） 以下、実施例により本発明を更に詳細に説明する。 第１図は、本発明装置の一例を示す断面図であり、空
調室Ｃを包囲する絶縁領域Ｓを形成するよう周囲環境Ｅ
と空調室Ｃの間に内外二つの壁31、32が設けられてい
る。１は取入外気を所定の温湿度に空調する空調装置、
２は送風ダクト、３はダンパ、４はHEPAフィルタ等の送
風用空気清浄化装置、５は排気用空気清浄化装置、６は
ダンパ、７は排気ダクト、８は排気処理装置、９は絶縁
領域Ｓへ送風するためのダンパ、10はその空気清浄化装
置である。また、空調装置１、送風ダクト２およびダン
パ９は、圧力調節手段を構成している。 取入外気は、空調装置１で所定の温湿度に空調され、
送風ダクト２、ダンパ３を経て、空気清浄化装置４で清
浄化された後、空調室Ｃへ送入される。空調室Ｃからの
排気は、空気清浄化装置５で清浄化された後、ダンパ
６、排気ダクト７を経て、排気処理装置８で危険物質な
どを除去し、周囲環境Ｅへ排出される。また、絶縁領域
Ｓへも、ダンパ９を経て、空気清浄化装置10で清浄化さ
れた空気が送入されている。 ここで、空調室Ｃ内の空気圧は、周囲環境Ｅの空気圧
よりも低くなるように、ダンパ３、６の開度を制御する
ことによって調節されている。また、絶縁領域Ｓの空気
圧は、周囲環境Ｅの空気圧よりも高くなるように、ダン
パ９の開度を制御することによって調節されている。 なお、周囲環境Ｅと空調室Ｃとの空気圧の差は0.1〜1
5mm水柱、また、周囲環境Ｅと絶縁領域Ｓとの空気圧の
差は、0.1〜10mm水柱とするのが好ましい。 この実施例では、絶縁領域Ｓの空気圧が、空調室Ｃ及
び周囲環境Ｅのいずれの空気圧よりも高くなっているの
で、空気の漏洩は、矢印ｓで示すように絶縁領域Ｓから
空調室Ｃ、絶縁領域Ｓから周囲環境Ｅの方向へ生じ、空
調室Ｃの空気（危険物質）が室外へ漏出力するようなこ
とがなく、また、周囲環境Ｅの清浄度の低い空気が空調
室Ｃ内へ漏入するようなこともない。 第２図は、第１図に示した装置の改良であり、空調室
Ｃ内に安全キャビネット、クリーンベンチ、ドラフトチ
ヤンバ等の装置11を設け、空調室Ｃ内の空気をファン12
で一部循環させ、空気清浄化装置13により、更に空気の
清浄度を高めている。また、安全キャビネット等の装置
11の上部にも排気用空気清浄化装置14、排気ダクト15、
排気処理装置16が設けられている。また、空調室Ｃと絶
縁領域Ｓとの間には、両室の空気圧を調節するための差
圧調整装置17が設けられている。なお、18はエアシャワ
ー、19はエアクロック、20はパスボックス、21は電線、
22は電線管、23は排水管である。電線管22、排水管23な
どは、第２図に示すように絶縁領域Ｓ内で切り離してお
くのが、隔離性を向上させるうえで好ましい。また、パ
スボックス20には、絶縁領域Ｓへの開放部24を設けるこ
とによって、隔離性を向上させることができる。 なお、装置11が排気のみの場合、これに付属するファ
ン12は、排気処理装置16等の排気ファン能力が十分であ
れば、設けなくてもよい。また、空調清浄化装置13は、
要求される清浄度がそれほど高くない場合には、設けな
くてもよい。 第３図は、本発明の他の実施例を示す断面図であり、
空調室Ｃを包囲する絶縁領域Ｓを形成するよう周囲環境
Ｅと空調室Ｃの間に内外二つの壁31、32が設けられてい
る。１は取入外気を所定の温湿度に空調する空調装置、
２は、送風ダクト、３はダンパ、４はHEPAフィルタ等の
送風用空気清浄化装置、５は排気用空気清浄化装置、６
はダンパ、７は排気ダクト、８は排気処理装置、25は絶
縁領域Ｓからの排気用空気清浄化装置、26はダンパであ
る。また、排気ダクト７、排気処理装置８およびダンパ
26は、圧力調節手段を構成している。 取入外気は、空調装置１で所定の温湿度に空調され、
送風ダクト２、ダンパ３を経て、空気清浄化装置４で清
浄化された後、空調室Ｃへ送入される。空調室Ｃからの
排気は、空気清浄化装置５で清浄化された後、ダンパ
６、排気ダクト７を経て、排気処理装置８で危険物質な
どを除去し、周囲環境Ｅへ排出される。また、絶縁領域
Ｓからの排気は、空気清浄化装置25で清浄化され、ダン
パ26を経て、排気ダクト７に合流する。 空調室Ｃの空気圧は、第１図に示した装置の場合と同
様にして、周囲環境Ｅの空気圧よりも低くなるように制
御されている。また、絶縁領域Ｓの空気圧は、空調室Ｃ
の空気圧よりも低くなるように、ダンパ26の開度を制御
することによって調節されている。 周囲環境Ｅと空調室Ｃとの空気圧の差は0.1〜15mm水
柱、また、空調室Ｃと絶縁領域Ｓとの空気圧の差は、0.
1〜10mm水柱とするのが好適である。 この実施例では、絶縁領域Ｓの空気圧が、空調室Ｃ及
び周囲環境Ｅのいずれの空気圧よりも低くなっているの
で、空気の漏洩は矢印ｃで示すように空調室Ｃから絶縁
領域Ｓへ、矢印ｅで示すように周囲環境Ｅから絶縁領域
Ｓへと生じ、空調室Ｃから漏出した空気（危険物質）及
び周囲環境Ｅから漏入した清浄度の低い空気は、絶縁領
域Ｓから空気清浄化装置25、ダンパ26、排気ダクト７を
経て、排気処理装置８で危険物質を除去した後、周囲環
境Ｅへ排出される。 従って、室内空気（危険物質）が直接周囲環境Ｅへ漏
出力するようなことがなく、また、周囲環境Ｅの清浄度
の低い空気が空調室Ｃ内へ漏入するようなこともない。 第４図は、第３図に示した装置を、第２図に示した装
置と同様に改良した装置を示すものである。 以上の各実施態様において、空調室Ｃ及び絶縁領域Ｓ
の空気圧を所定の圧力に維持するには、各ダンパの開度
を事前にセットしておいてもよいが、各領域間の差圧又
は各領域の絶対圧を検出して、自動制御するようにして
もよい。 また、第２図及び第４図に示すように、床面のよう
な、十分に気密性を保持できる部分は、空調室を絶縁領
域で包囲しなくてもよい。 更に、絶縁領域Ｓは、該領域の清浄度及び危険度を考
慮したうえで、通路又はメンテナンススペースとするこ
とができ、あるいは厚壁の中空隔壁とすることもでき
る。 （発明の効果） 本発明によれば、現場施工において空調室の隙間をシ
ールする作業を要せずに、危険物質等の取扱い物質が空
調室から周囲環境へ漏出するのを防ぎながら、空調室内
の空気清浄度を高度に保持することができる。
【図面の簡単な説明】
第１図〜第４図は、本発明装置の実施態様を示す断面
図、第５図及び第６図は、本発明装置の作用を示す説明
図、第７図は、従来装置を示す断面図である。 Ｅ……周囲環境、 Ｃ……空調室、 Ｓ……絶縁領域、 １……空調装置、 ２……送風ダクト、 ７……排気ダクト、 ８……排気処理装置、 ９……ダンパ、 26……ダンパ、 31……内壁、 32……外壁。
図、第５図及び第６図は、本発明装置の作用を示す説明
図、第７図は、従来装置を示す断面図である。 Ｅ……周囲環境、 Ｃ……空調室、 Ｓ……絶縁領域、 １……空調装置、 ２……送風ダクト、 ７……排気ダクト、 ８……排気処理装置、 ９……ダンパ、 26……ダンパ、 31……内壁、 32……外壁。
Claims (1)
- (57)【特許請求の範囲】 １．人の出入りが可能な作業空間となる空調室の内部を
周囲環境の空気圧より低い一定圧力に保つ空気清浄隔離
装置において、 空調室を包囲する内壁および該内壁を包囲する外壁を設
けるとともに、 前記内壁と前記外壁で包囲された絶縁領域の空気圧を前
記周囲環境の空気圧より高い一定圧力に保つ圧力調節手
段を設けたことを特徴とする空気清浄隔離装置。 ２．人の出入りが可能な作業空間となる空調室の内部を
周囲環境の空気圧より低い一定圧力に保つ空気清浄隔離
装置において、 空調室を包囲する内壁および該内壁を包囲する外壁を設
けるとともに、 前記内壁と前記外壁で包囲された絶縁領域の空気圧を前
記空調室の空気圧より低い一定圧力に保つ圧力調節手段
を設けたことを特徴とする空気清浄隔離装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62275340A JP2672098B2 (ja) | 1987-10-30 | 1987-10-30 | 空気清浄隔離装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62275340A JP2672098B2 (ja) | 1987-10-30 | 1987-10-30 | 空気清浄隔離装置 |
Publications (2)
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| JPH01118046A JPH01118046A (ja) | 1989-05-10 |
| JP2672098B2 true JP2672098B2 (ja) | 1997-11-05 |
Family
ID=17554106
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62275340A Expired - Lifetime JP2672098B2 (ja) | 1987-10-30 | 1987-10-30 | 空気清浄隔離装置 |
Country Status (1)
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| JP (1) | JP2672098B2 (ja) |
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-
1987
- 1987-10-30 JP JP62275340A patent/JP2672098B2/ja not_active Expired - Lifetime
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| JPH01118046A (ja) | 1989-05-10 |
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