JP2672098B2 - 空気清浄隔離装置 - Google Patents
空気清浄隔離装置Info
- Publication number
- JP2672098B2 JP2672098B2 JP62275340A JP27534087A JP2672098B2 JP 2672098 B2 JP2672098 B2 JP 2672098B2 JP 62275340 A JP62275340 A JP 62275340A JP 27534087 A JP27534087 A JP 27534087A JP 2672098 B2 JP2672098 B2 JP 2672098B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- air
- pressure
- room
- wall
- surrounding environment
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F24—HEATING; RANGES; VENTILATING
- F24F—AIR-CONDITIONING; AIR-HUMIDIFICATION; VENTILATION; USE OF AIR CURRENTS FOR SCREENING
- F24F11/00—Control or safety arrangements
- F24F11/0001—Control or safety arrangements for ventilation
- F24F2011/0002—Control or safety arrangements for ventilation for admittance of outside air
- F24F2011/0005—Control or safety arrangements for ventilation for admittance of outside air to create underpressure in a room, keeping contamination inside
Landscapes
- Ventilation (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
(産業上の利用分野)
本発明は、半導体製造工程などに使用される空気清浄
室において、人体に有害な物質や防災上危険な物質を取
り扱う場合、あるいは組み替えDNA実験などに使用され
るハザード対策施設において、高い清浄度が要求される
実験を行う場合、取扱い物質が周囲環境へ漏洩するのを
防ぎ、隔離しながら室内の空気清浄度を所望する程度に
保持するための装置に関する。 (従来の技術) 半導体素子等の製造においては、従来から高清浄度の
空気環境が要求され、通常クリーンルームが使用されて
いるが、毒性が強かったりあるいは反応性の高いガスや
薬品を取り扱う場合には、かかる危険物質を室外に拡散
させずに隔離するために、室内空気圧を周囲環境に対し
陰圧となるように制御することが行われている。 また、組み替えDNA実験等のためのハザード対策施
設、例えば、P3対応の施設においても、実験取扱い物質
が室外へ漏出力しないようにするために、室内空気圧を
周囲環境よりも低くする陰圧管理が行なわれている。 このような従来装置としては、例えば第7図に示すよ
うな装置が知られている。第7図においては、取入外気
を空調機1で所定の温湿度に空調し、送風ダクト2によ
りHEPAフィルタ等の空気清浄化装置3へ送って清浄化し
た空気を、クリーンルーム又はハザード対策室Cへ送入
した後、排気ダクト4から排気処理装置5を経て周囲環
境Eへ排気することにより、クリーンルーム又はハザー
ド対策室Cの空調及び清浄保持を行っている。この場
合、クリーンルーム又はハザード対策室C内の空気圧
は、周囲環境Eの空気圧よりも低くなるように、送風量
及び排気量が制御されている。Aは隣室であり、空調機
6によって所定の温湿度に空調された空気を、送風ダク
ト17を介して送入し、還気ダクト8から再び空調気6へ
循環し、外気を一部取り入れながら再使用することによ
り、空調している。また、Bは、送風ダクト2、7など
が配設されている天井裏である。 (発明が解決しようとする問題点) かかる従来の装置では、クリーンルーム又はハザード
対策室Cのあらゆる隙間をシールし、完全に気密とする
ことが困難であるため、矢印a、b、eで示すように、
どうしても隣室A、天井裏B、周囲環境Eなどから汚染
空気が漏入し、室内空気を高清浄度に保持することが極
めて困難である。 例えば、室内清浄度がクラス1,000、周囲の清浄度が
クラス1,000,000相当、送風量が100回/時間の場合、リ
ーク量が0.1回/時間でも、室内清浄度を満足なレベル
に維持することができない。特に、クリーンルーム又は
ハザード対策室Cに電気、ガス、水などの配管を行う場
合は、配管取付部を完全にシールすることが難しく、汚
染空気の漏入を阻止することがますます困難にる。 (問題を解決するための手段) 本発明は、かかる従来装置の問題点を解消し、室内で
処理している危険物質が周囲環境へ漏洩するのを防止、
隔離しながら室内の空気清浄度を高度に保持することが
できる装置を提供するものであり、請求項1記載の発明
は、人の出入りが可能な作業空間となる空調室の内部を
周囲環境の空気圧より低い一定圧力に保つ空気清浄隔離
装置において、空調室を包囲する内壁および該内壁を包
囲する外壁を設けるとともに、前記内壁と前記外壁で包
囲された絶縁領域の空気圧を前記周囲環境の空気圧より
高い一定圧力に保つ圧力調節手段を設けたことを特徴と
し、請求項2記載の発明は、人の出入りが可能な作業空
間となる空調室の内部を周囲環境の空気圧より低い一定
圧力に保つ空気清浄隔離装置において、空調室を包囲す
る内壁および該内壁を包囲する外壁を設けるとともに、
前記内壁と前記外壁で包囲された絶縁領域の空気圧を前
記空調室の空気圧より低い一定圧力に保つ圧力調節手段
を設けたことを特徴とする空気清浄隔離装置である。 (作用) 本発明の空気清浄隔離装置によれば、空調室の空気圧
を周囲環境の空気圧よりも低く維持すると共に、空調室
を包囲する内壁および内壁を包囲する外壁を設け、請求
項1記載の発明は、内壁と外壁で包囲された絶縁領域の
空気圧を周囲環境の空気圧より高い一定圧力に維持し、
請求項2記載の発明は、絶縁領域の空気圧を空調室の空
気圧より低い一定圧力に維持している。そのため、前者
の場合は、第5図に模式的に示すように、絶縁領域の空
気圧が最も高くなり、空調室からの空気(危険物質)の
漏出は完全に防止される。また、周囲環境からの清浄度
の低い空気の漏入も阻止される。一方、後者の場合は、
第6図に示すように、絶縁領域の空気圧が最も低くな
り、空調室からの空気(危険物質)の漏洩があっても、
絶縁領域に吸収され周囲環境へ排出されるようなことが
ない。また、周囲環境からの清浄度の低い空気も、この
絶縁領域に吸収され該絶縁領域よりも空気圧の高い空調
室へは漏入しない。 従って、現場施工において空調室の隙間をシールする
作業を要せずに、室内の空気(危険物質)が周囲環境へ
漏出するのを防止しつつ、空調室内の空気清浄度を高度
に保持することができる。 (実施例) 以下、実施例により本発明を更に詳細に説明する。 第1図は、本発明装置の一例を示す断面図であり、空
調室Cを包囲する絶縁領域Sを形成するよう周囲環境E
と空調室Cの間に内外二つの壁31、32が設けられてい
る。1は取入外気を所定の温湿度に空調する空調装置、
2は送風ダクト、3はダンパ、4はHEPAフィルタ等の送
風用空気清浄化装置、5は排気用空気清浄化装置、6は
ダンパ、7は排気ダクト、8は排気処理装置、9は絶縁
領域Sへ送風するためのダンパ、10はその空気清浄化装
置である。また、空調装置1、送風ダクト2およびダン
パ9は、圧力調節手段を構成している。 取入外気は、空調装置1で所定の温湿度に空調され、
送風ダクト2、ダンパ3を経て、空気清浄化装置4で清
浄化された後、空調室Cへ送入される。空調室Cからの
排気は、空気清浄化装置5で清浄化された後、ダンパ
6、排気ダクト7を経て、排気処理装置8で危険物質な
どを除去し、周囲環境Eへ排出される。また、絶縁領域
Sへも、ダンパ9を経て、空気清浄化装置10で清浄化さ
れた空気が送入されている。 ここで、空調室C内の空気圧は、周囲環境Eの空気圧
よりも低くなるように、ダンパ3、6の開度を制御する
ことによって調節されている。また、絶縁領域Sの空気
圧は、周囲環境Eの空気圧よりも高くなるように、ダン
パ9の開度を制御することによって調節されている。 なお、周囲環境Eと空調室Cとの空気圧の差は0.1〜1
5mm水柱、また、周囲環境Eと絶縁領域Sとの空気圧の
差は、0.1〜10mm水柱とするのが好ましい。 この実施例では、絶縁領域Sの空気圧が、空調室C及
び周囲環境Eのいずれの空気圧よりも高くなっているの
で、空気の漏洩は、矢印sで示すように絶縁領域Sから
空調室C、絶縁領域Sから周囲環境Eの方向へ生じ、空
調室Cの空気(危険物質)が室外へ漏出力するようなこ
とがなく、また、周囲環境Eの清浄度の低い空気が空調
室C内へ漏入するようなこともない。 第2図は、第1図に示した装置の改良であり、空調室
C内に安全キャビネット、クリーンベンチ、ドラフトチ
ヤンバ等の装置11を設け、空調室C内の空気をファン12
で一部循環させ、空気清浄化装置13により、更に空気の
清浄度を高めている。また、安全キャビネット等の装置
11の上部にも排気用空気清浄化装置14、排気ダクト15、
排気処理装置16が設けられている。また、空調室Cと絶
縁領域Sとの間には、両室の空気圧を調節するための差
圧調整装置17が設けられている。なお、18はエアシャワ
ー、19はエアクロック、20はパスボックス、21は電線、
22は電線管、23は排水管である。電線管22、排水管23な
どは、第2図に示すように絶縁領域S内で切り離してお
くのが、隔離性を向上させるうえで好ましい。また、パ
スボックス20には、絶縁領域Sへの開放部24を設けるこ
とによって、隔離性を向上させることができる。 なお、装置11が排気のみの場合、これに付属するファ
ン12は、排気処理装置16等の排気ファン能力が十分であ
れば、設けなくてもよい。また、空調清浄化装置13は、
要求される清浄度がそれほど高くない場合には、設けな
くてもよい。 第3図は、本発明の他の実施例を示す断面図であり、
空調室Cを包囲する絶縁領域Sを形成するよう周囲環境
Eと空調室Cの間に内外二つの壁31、32が設けられてい
る。1は取入外気を所定の温湿度に空調する空調装置、
2は、送風ダクト、3はダンパ、4はHEPAフィルタ等の
送風用空気清浄化装置、5は排気用空気清浄化装置、6
はダンパ、7は排気ダクト、8は排気処理装置、25は絶
縁領域Sからの排気用空気清浄化装置、26はダンパであ
る。また、排気ダクト7、排気処理装置8およびダンパ
26は、圧力調節手段を構成している。 取入外気は、空調装置1で所定の温湿度に空調され、
送風ダクト2、ダンパ3を経て、空気清浄化装置4で清
浄化された後、空調室Cへ送入される。空調室Cからの
排気は、空気清浄化装置5で清浄化された後、ダンパ
6、排気ダクト7を経て、排気処理装置8で危険物質な
どを除去し、周囲環境Eへ排出される。また、絶縁領域
Sからの排気は、空気清浄化装置25で清浄化され、ダン
パ26を経て、排気ダクト7に合流する。 空調室Cの空気圧は、第1図に示した装置の場合と同
様にして、周囲環境Eの空気圧よりも低くなるように制
御されている。また、絶縁領域Sの空気圧は、空調室C
の空気圧よりも低くなるように、ダンパ26の開度を制御
することによって調節されている。 周囲環境Eと空調室Cとの空気圧の差は0.1〜15mm水
柱、また、空調室Cと絶縁領域Sとの空気圧の差は、0.
1〜10mm水柱とするのが好適である。 この実施例では、絶縁領域Sの空気圧が、空調室C及
び周囲環境Eのいずれの空気圧よりも低くなっているの
で、空気の漏洩は矢印cで示すように空調室Cから絶縁
領域Sへ、矢印eで示すように周囲環境Eから絶縁領域
Sへと生じ、空調室Cから漏出した空気(危険物質)及
び周囲環境Eから漏入した清浄度の低い空気は、絶縁領
域Sから空気清浄化装置25、ダンパ26、排気ダクト7を
経て、排気処理装置8で危険物質を除去した後、周囲環
境Eへ排出される。 従って、室内空気(危険物質)が直接周囲環境Eへ漏
出力するようなことがなく、また、周囲環境Eの清浄度
の低い空気が空調室C内へ漏入するようなこともない。 第4図は、第3図に示した装置を、第2図に示した装
置と同様に改良した装置を示すものである。 以上の各実施態様において、空調室C及び絶縁領域S
の空気圧を所定の圧力に維持するには、各ダンパの開度
を事前にセットしておいてもよいが、各領域間の差圧又
は各領域の絶対圧を検出して、自動制御するようにして
もよい。 また、第2図及び第4図に示すように、床面のよう
な、十分に気密性を保持できる部分は、空調室を絶縁領
域で包囲しなくてもよい。 更に、絶縁領域Sは、該領域の清浄度及び危険度を考
慮したうえで、通路又はメンテナンススペースとするこ
とができ、あるいは厚壁の中空隔壁とすることもでき
る。 (発明の効果) 本発明によれば、現場施工において空調室の隙間をシ
ールする作業を要せずに、危険物質等の取扱い物質が空
調室から周囲環境へ漏出するのを防ぎながら、空調室内
の空気清浄度を高度に保持することができる。
室において、人体に有害な物質や防災上危険な物質を取
り扱う場合、あるいは組み替えDNA実験などに使用され
るハザード対策施設において、高い清浄度が要求される
実験を行う場合、取扱い物質が周囲環境へ漏洩するのを
防ぎ、隔離しながら室内の空気清浄度を所望する程度に
保持するための装置に関する。 (従来の技術) 半導体素子等の製造においては、従来から高清浄度の
空気環境が要求され、通常クリーンルームが使用されて
いるが、毒性が強かったりあるいは反応性の高いガスや
薬品を取り扱う場合には、かかる危険物質を室外に拡散
させずに隔離するために、室内空気圧を周囲環境に対し
陰圧となるように制御することが行われている。 また、組み替えDNA実験等のためのハザード対策施
設、例えば、P3対応の施設においても、実験取扱い物質
が室外へ漏出力しないようにするために、室内空気圧を
周囲環境よりも低くする陰圧管理が行なわれている。 このような従来装置としては、例えば第7図に示すよ
うな装置が知られている。第7図においては、取入外気
を空調機1で所定の温湿度に空調し、送風ダクト2によ
りHEPAフィルタ等の空気清浄化装置3へ送って清浄化し
た空気を、クリーンルーム又はハザード対策室Cへ送入
した後、排気ダクト4から排気処理装置5を経て周囲環
境Eへ排気することにより、クリーンルーム又はハザー
ド対策室Cの空調及び清浄保持を行っている。この場
合、クリーンルーム又はハザード対策室C内の空気圧
は、周囲環境Eの空気圧よりも低くなるように、送風量
及び排気量が制御されている。Aは隣室であり、空調機
6によって所定の温湿度に空調された空気を、送風ダク
ト17を介して送入し、還気ダクト8から再び空調気6へ
循環し、外気を一部取り入れながら再使用することによ
り、空調している。また、Bは、送風ダクト2、7など
が配設されている天井裏である。 (発明が解決しようとする問題点) かかる従来の装置では、クリーンルーム又はハザード
対策室Cのあらゆる隙間をシールし、完全に気密とする
ことが困難であるため、矢印a、b、eで示すように、
どうしても隣室A、天井裏B、周囲環境Eなどから汚染
空気が漏入し、室内空気を高清浄度に保持することが極
めて困難である。 例えば、室内清浄度がクラス1,000、周囲の清浄度が
クラス1,000,000相当、送風量が100回/時間の場合、リ
ーク量が0.1回/時間でも、室内清浄度を満足なレベル
に維持することができない。特に、クリーンルーム又は
ハザード対策室Cに電気、ガス、水などの配管を行う場
合は、配管取付部を完全にシールすることが難しく、汚
染空気の漏入を阻止することがますます困難にる。 (問題を解決するための手段) 本発明は、かかる従来装置の問題点を解消し、室内で
処理している危険物質が周囲環境へ漏洩するのを防止、
隔離しながら室内の空気清浄度を高度に保持することが
できる装置を提供するものであり、請求項1記載の発明
は、人の出入りが可能な作業空間となる空調室の内部を
周囲環境の空気圧より低い一定圧力に保つ空気清浄隔離
装置において、空調室を包囲する内壁および該内壁を包
囲する外壁を設けるとともに、前記内壁と前記外壁で包
囲された絶縁領域の空気圧を前記周囲環境の空気圧より
高い一定圧力に保つ圧力調節手段を設けたことを特徴と
し、請求項2記載の発明は、人の出入りが可能な作業空
間となる空調室の内部を周囲環境の空気圧より低い一定
圧力に保つ空気清浄隔離装置において、空調室を包囲す
る内壁および該内壁を包囲する外壁を設けるとともに、
前記内壁と前記外壁で包囲された絶縁領域の空気圧を前
記空調室の空気圧より低い一定圧力に保つ圧力調節手段
を設けたことを特徴とする空気清浄隔離装置である。 (作用) 本発明の空気清浄隔離装置によれば、空調室の空気圧
を周囲環境の空気圧よりも低く維持すると共に、空調室
を包囲する内壁および内壁を包囲する外壁を設け、請求
項1記載の発明は、内壁と外壁で包囲された絶縁領域の
空気圧を周囲環境の空気圧より高い一定圧力に維持し、
請求項2記載の発明は、絶縁領域の空気圧を空調室の空
気圧より低い一定圧力に維持している。そのため、前者
の場合は、第5図に模式的に示すように、絶縁領域の空
気圧が最も高くなり、空調室からの空気(危険物質)の
漏出は完全に防止される。また、周囲環境からの清浄度
の低い空気の漏入も阻止される。一方、後者の場合は、
第6図に示すように、絶縁領域の空気圧が最も低くな
り、空調室からの空気(危険物質)の漏洩があっても、
絶縁領域に吸収され周囲環境へ排出されるようなことが
ない。また、周囲環境からの清浄度の低い空気も、この
絶縁領域に吸収され該絶縁領域よりも空気圧の高い空調
室へは漏入しない。 従って、現場施工において空調室の隙間をシールする
作業を要せずに、室内の空気(危険物質)が周囲環境へ
漏出するのを防止しつつ、空調室内の空気清浄度を高度
に保持することができる。 (実施例) 以下、実施例により本発明を更に詳細に説明する。 第1図は、本発明装置の一例を示す断面図であり、空
調室Cを包囲する絶縁領域Sを形成するよう周囲環境E
と空調室Cの間に内外二つの壁31、32が設けられてい
る。1は取入外気を所定の温湿度に空調する空調装置、
2は送風ダクト、3はダンパ、4はHEPAフィルタ等の送
風用空気清浄化装置、5は排気用空気清浄化装置、6は
ダンパ、7は排気ダクト、8は排気処理装置、9は絶縁
領域Sへ送風するためのダンパ、10はその空気清浄化装
置である。また、空調装置1、送風ダクト2およびダン
パ9は、圧力調節手段を構成している。 取入外気は、空調装置1で所定の温湿度に空調され、
送風ダクト2、ダンパ3を経て、空気清浄化装置4で清
浄化された後、空調室Cへ送入される。空調室Cからの
排気は、空気清浄化装置5で清浄化された後、ダンパ
6、排気ダクト7を経て、排気処理装置8で危険物質な
どを除去し、周囲環境Eへ排出される。また、絶縁領域
Sへも、ダンパ9を経て、空気清浄化装置10で清浄化さ
れた空気が送入されている。 ここで、空調室C内の空気圧は、周囲環境Eの空気圧
よりも低くなるように、ダンパ3、6の開度を制御する
ことによって調節されている。また、絶縁領域Sの空気
圧は、周囲環境Eの空気圧よりも高くなるように、ダン
パ9の開度を制御することによって調節されている。 なお、周囲環境Eと空調室Cとの空気圧の差は0.1〜1
5mm水柱、また、周囲環境Eと絶縁領域Sとの空気圧の
差は、0.1〜10mm水柱とするのが好ましい。 この実施例では、絶縁領域Sの空気圧が、空調室C及
び周囲環境Eのいずれの空気圧よりも高くなっているの
で、空気の漏洩は、矢印sで示すように絶縁領域Sから
空調室C、絶縁領域Sから周囲環境Eの方向へ生じ、空
調室Cの空気(危険物質)が室外へ漏出力するようなこ
とがなく、また、周囲環境Eの清浄度の低い空気が空調
室C内へ漏入するようなこともない。 第2図は、第1図に示した装置の改良であり、空調室
C内に安全キャビネット、クリーンベンチ、ドラフトチ
ヤンバ等の装置11を設け、空調室C内の空気をファン12
で一部循環させ、空気清浄化装置13により、更に空気の
清浄度を高めている。また、安全キャビネット等の装置
11の上部にも排気用空気清浄化装置14、排気ダクト15、
排気処理装置16が設けられている。また、空調室Cと絶
縁領域Sとの間には、両室の空気圧を調節するための差
圧調整装置17が設けられている。なお、18はエアシャワ
ー、19はエアクロック、20はパスボックス、21は電線、
22は電線管、23は排水管である。電線管22、排水管23な
どは、第2図に示すように絶縁領域S内で切り離してお
くのが、隔離性を向上させるうえで好ましい。また、パ
スボックス20には、絶縁領域Sへの開放部24を設けるこ
とによって、隔離性を向上させることができる。 なお、装置11が排気のみの場合、これに付属するファ
ン12は、排気処理装置16等の排気ファン能力が十分であ
れば、設けなくてもよい。また、空調清浄化装置13は、
要求される清浄度がそれほど高くない場合には、設けな
くてもよい。 第3図は、本発明の他の実施例を示す断面図であり、
空調室Cを包囲する絶縁領域Sを形成するよう周囲環境
Eと空調室Cの間に内外二つの壁31、32が設けられてい
る。1は取入外気を所定の温湿度に空調する空調装置、
2は、送風ダクト、3はダンパ、4はHEPAフィルタ等の
送風用空気清浄化装置、5は排気用空気清浄化装置、6
はダンパ、7は排気ダクト、8は排気処理装置、25は絶
縁領域Sからの排気用空気清浄化装置、26はダンパであ
る。また、排気ダクト7、排気処理装置8およびダンパ
26は、圧力調節手段を構成している。 取入外気は、空調装置1で所定の温湿度に空調され、
送風ダクト2、ダンパ3を経て、空気清浄化装置4で清
浄化された後、空調室Cへ送入される。空調室Cからの
排気は、空気清浄化装置5で清浄化された後、ダンパ
6、排気ダクト7を経て、排気処理装置8で危険物質な
どを除去し、周囲環境Eへ排出される。また、絶縁領域
Sからの排気は、空気清浄化装置25で清浄化され、ダン
パ26を経て、排気ダクト7に合流する。 空調室Cの空気圧は、第1図に示した装置の場合と同
様にして、周囲環境Eの空気圧よりも低くなるように制
御されている。また、絶縁領域Sの空気圧は、空調室C
の空気圧よりも低くなるように、ダンパ26の開度を制御
することによって調節されている。 周囲環境Eと空調室Cとの空気圧の差は0.1〜15mm水
柱、また、空調室Cと絶縁領域Sとの空気圧の差は、0.
1〜10mm水柱とするのが好適である。 この実施例では、絶縁領域Sの空気圧が、空調室C及
び周囲環境Eのいずれの空気圧よりも低くなっているの
で、空気の漏洩は矢印cで示すように空調室Cから絶縁
領域Sへ、矢印eで示すように周囲環境Eから絶縁領域
Sへと生じ、空調室Cから漏出した空気(危険物質)及
び周囲環境Eから漏入した清浄度の低い空気は、絶縁領
域Sから空気清浄化装置25、ダンパ26、排気ダクト7を
経て、排気処理装置8で危険物質を除去した後、周囲環
境Eへ排出される。 従って、室内空気(危険物質)が直接周囲環境Eへ漏
出力するようなことがなく、また、周囲環境Eの清浄度
の低い空気が空調室C内へ漏入するようなこともない。 第4図は、第3図に示した装置を、第2図に示した装
置と同様に改良した装置を示すものである。 以上の各実施態様において、空調室C及び絶縁領域S
の空気圧を所定の圧力に維持するには、各ダンパの開度
を事前にセットしておいてもよいが、各領域間の差圧又
は各領域の絶対圧を検出して、自動制御するようにして
もよい。 また、第2図及び第4図に示すように、床面のよう
な、十分に気密性を保持できる部分は、空調室を絶縁領
域で包囲しなくてもよい。 更に、絶縁領域Sは、該領域の清浄度及び危険度を考
慮したうえで、通路又はメンテナンススペースとするこ
とができ、あるいは厚壁の中空隔壁とすることもでき
る。 (発明の効果) 本発明によれば、現場施工において空調室の隙間をシ
ールする作業を要せずに、危険物質等の取扱い物質が空
調室から周囲環境へ漏出するのを防ぎながら、空調室内
の空気清浄度を高度に保持することができる。
【図面の簡単な説明】
第1図〜第4図は、本発明装置の実施態様を示す断面
図、第5図及び第6図は、本発明装置の作用を示す説明
図、第7図は、従来装置を示す断面図である。 E……周囲環境、 C……空調室、 S……絶縁領域、 1……空調装置、 2……送風ダクト、 7……排気ダクト、 8……排気処理装置、 9……ダンパ、 26……ダンパ、 31……内壁、 32……外壁。
図、第5図及び第6図は、本発明装置の作用を示す説明
図、第7図は、従来装置を示す断面図である。 E……周囲環境、 C……空調室、 S……絶縁領域、 1……空調装置、 2……送風ダクト、 7……排気ダクト、 8……排気処理装置、 9……ダンパ、 26……ダンパ、 31……内壁、 32……外壁。
Claims (1)
- (57)【特許請求の範囲】 1.人の出入りが可能な作業空間となる空調室の内部を
周囲環境の空気圧より低い一定圧力に保つ空気清浄隔離
装置において、 空調室を包囲する内壁および該内壁を包囲する外壁を設
けるとともに、 前記内壁と前記外壁で包囲された絶縁領域の空気圧を前
記周囲環境の空気圧より高い一定圧力に保つ圧力調節手
段を設けたことを特徴とする空気清浄隔離装置。 2.人の出入りが可能な作業空間となる空調室の内部を
周囲環境の空気圧より低い一定圧力に保つ空気清浄隔離
装置において、 空調室を包囲する内壁および該内壁を包囲する外壁を設
けるとともに、 前記内壁と前記外壁で包囲された絶縁領域の空気圧を前
記空調室の空気圧より低い一定圧力に保つ圧力調節手段
を設けたことを特徴とする空気清浄隔離装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP62275340A JP2672098B2 (ja) | 1987-10-30 | 1987-10-30 | 空気清浄隔離装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP62275340A JP2672098B2 (ja) | 1987-10-30 | 1987-10-30 | 空気清浄隔離装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH01118046A JPH01118046A (ja) | 1989-05-10 |
JP2672098B2 true JP2672098B2 (ja) | 1997-11-05 |
Family
ID=17554106
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP62275340A Expired - Lifetime JP2672098B2 (ja) | 1987-10-30 | 1987-10-30 | 空気清浄隔離装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2672098B2 (ja) |
Families Citing this family (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06213486A (ja) * | 1993-01-19 | 1994-08-02 | Tomoegawa Paper Co Ltd | 室圧制御方法 |
JP2645538B2 (ja) * | 1993-09-28 | 1997-08-25 | 日本スピンドル製造株式会社 | エアシヤワー装置 |
AU2004320393B2 (en) * | 2004-06-03 | 2008-01-24 | Tosho Inc. | Clean room unit |
JP4420922B2 (ja) * | 2004-06-16 | 2010-02-24 | 株式会社イハラ | 空気浄化装置、隔離設備および空気移送手段 |
JP2006144585A (ja) * | 2004-11-17 | 2006-06-08 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | ファン装置 |
JP4636382B2 (ja) * | 2006-03-10 | 2011-02-23 | 株式会社日立プラントテクノロジー | 多層階建屋の附室の結露防止システム |
JP4805013B2 (ja) * | 2006-05-16 | 2011-11-02 | エーザイ・アール・アンド・ディー・マネジメント株式会社 | クリーンルーム用給排気管理制御装置 |
JP4666382B2 (ja) * | 2006-08-03 | 2011-04-06 | 大成建設株式会社 | 部屋の中空パネル構造 |
JP4866228B2 (ja) * | 2006-12-18 | 2012-02-01 | 三井ホーム株式会社 | 住宅の気圧管理システム |
JP2010107109A (ja) * | 2008-10-30 | 2010-05-13 | Taisei Corp | 室内汚染物質拡散防止システム |
WO2013084167A2 (en) * | 2011-12-05 | 2013-06-13 | Health Robotics S.R.L. | Machine for the preparation of pharmaceutical products |
JP7061054B2 (ja) * | 2018-10-30 | 2022-04-27 | 株式会社竹中工務店 | クリーンルームシステム |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5781338U (ja) * | 1980-11-07 | 1982-05-19 | ||
JPS6321381Y2 (ja) * | 1981-05-08 | 1988-06-13 | ||
JPS613934A (ja) * | 1984-06-18 | 1986-01-09 | Kajima Corp | 特殊作業室の空調制御方法 |
JPS6129544A (ja) * | 1984-07-20 | 1986-02-10 | Toppan Printing Co Ltd | グラビア印刷法 |
JPS6175837A (ja) * | 1984-09-21 | 1986-04-18 | ユニチカ株式会社 | フアンシ−ヤ−ンの製造方法 |
JPS6176837A (ja) * | 1984-09-22 | 1986-04-19 | Shinko Kogyo Kk | 清浄作業室 |
JPS61295444A (ja) * | 1985-06-25 | 1986-12-26 | Toshiba Corp | 換気空調設備の差圧調整方法 |
-
1987
- 1987-10-30 JP JP62275340A patent/JP2672098B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH01118046A (ja) | 1989-05-10 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2672098B2 (ja) | 空気清浄隔離装置 | |
US5997399A (en) | Isolation chamber air curtain apparatus | |
US6033301A (en) | Fan filter unit and a clean room for using the same | |
US4902315A (en) | Negative pressure asbestos removal with localized make-up air | |
JPH08178397A (ja) | 空気調和機 | |
JP4666382B2 (ja) | 部屋の中空パネル構造 | |
CN106149889A (zh) | 洁净室环境隔离保护方法及其设备 | |
JPH0311379B2 (ja) | ||
JPS5944538A (ja) | クリ−ンル−ム用クリ−ンユニツトおよびクリ−ンル−ムシステム | |
JP2551923Y2 (ja) | クリーンルーム | |
JP3316815B2 (ja) | ダクトレス内部循環型クリーンブース | |
JP3354849B2 (ja) | クリーンルーム | |
JPH11253732A (ja) | クリーンルーム | |
JP2000346416A (ja) | 循環型クリーンルーム | |
JPH04333782A (ja) | ユニットホスピタル | |
JP2846100B2 (ja) | 空気清浄システム | |
JP2001153415A (ja) | 換気空調システム及び換気空調方法 | |
JP7061054B2 (ja) | クリーンルームシステム | |
JPH0515933B2 (ja) | ||
JP3208753B2 (ja) | クリーンルーム用空調機 | |
Peyton et al. | Environmental control concepts for industrial clean-room facilities | |
JPH0694260A (ja) | 空調システム | |
JP2002206772A (ja) | 逆梁構造における床下空間を利用した空調装置 | |
JPH0484963A (ja) | 熱傷治療用高温多湿型バイオクリーン病室 | |
JP3838643B2 (ja) | 室内ガス状物質除去方法 |