JP2669916B2 - 振動波モータ - Google Patents
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- 239000011295 pitch Substances 0.000 description 3
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Classifications
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- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
- H02N2/10—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing rotary motion, e.g. rotary motors
- H02N2/16—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing rotary motion, e.g. rotary motors using travelling waves, i.e. Rayleigh surface waves
- H02N2/163—Motors with ring stator
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- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、振動体に発生させた進行性振動波により、
振動体と該振動体に接触した部材とを相対運動させる振
動波モータに関するものである。
振動体と該振動体に接触した部材とを相対運動させる振
動波モータに関するものである。
［従来の技術］ 第６図は従来の円環状振動波モータの弾性体上に設け
られる圧電素子の電極配置を示し、円環状振動体に励起
される振動波の波長の1/2ピッチをもつ２つの電極群
［Ａ相（A1〜A7）およびＢ相（B1〜B7）］が空間的にピ
ッチ1/2、すなわち前記波長の1/4だけ位相ずれをもって
配置され、さらにこれらの２つの電極群の間に、円環状
振動体の振動状態を検知するセンサ用電極Ｓ、つまり該
振動体の振動により起電圧を発生する圧電素子などの電
極、ならびに共通電極Ｃ（C1,C2,C3）などが設けられて
いる。また、振動体は金属等の弾性体１と、該弾性体１
に貼着された電気−機械エネルギー変換素子としての圧
電素子（例えばPZT）２とからなり、電気−機械エネル
ギー変換素子２の弾性体１側の関連する電極は該金属性
弾性体１を介して短絡されている。共通電極C1,C2,C3は
導電性塗料などで弾性体１に導通状態にされており、弾
性体１と電位差は零である。今、駆動電極A1〜A7,B1〜B
7に共通電極Ｃの電位に対しある大きさの電位を入力す
ると、電気−機械エネルギー変換素子２の表裏に電位差
が生じひずみが生じる。
られる圧電素子の電極配置を示し、円環状振動体に励起
される振動波の波長の1/2ピッチをもつ２つの電極群
［Ａ相（A1〜A7）およびＢ相（B1〜B7）］が空間的にピ
ッチ1/2、すなわち前記波長の1/4だけ位相ずれをもって
配置され、さらにこれらの２つの電極群の間に、円環状
振動体の振動状態を検知するセンサ用電極Ｓ、つまり該
振動体の振動により起電圧を発生する圧電素子などの電
極、ならびに共通電極Ｃ（C1,C2,C3）などが設けられて
いる。また、振動体は金属等の弾性体１と、該弾性体１
に貼着された電気−機械エネルギー変換素子としての圧
電素子（例えばPZT）２とからなり、電気−機械エネル
ギー変換素子２の弾性体１側の関連する電極は該金属性
弾性体１を介して短絡されている。共通電極C1,C2,C3は
導電性塗料などで弾性体１に導通状態にされており、弾
性体１と電位差は零である。今、駆動電極A1〜A7,B1〜B
7に共通電極Ｃの電位に対しある大きさの電位を入力す
ると、電気−機械エネルギー変換素子２の表裏に電位差
が生じひずみが生じる。
そこでＡ相電極群A1〜A7に、Ｖ＝Vosinωｔ、Ｂ相電
極群B1〜B7には、Ｖ＝Vosin なる電圧を印加することにより、弾性体１に進行性振動
波が生じ、加圧接触されたロータ等の公知の移動体（不
図示）は摩擦により移動する。また、前記式中の
（＋），（−）を変えること、即ち一方の印加電圧の位
相を他方に対して進ませ、或いは遅らせることにより、
移動体の進行方向を切換えることが可能で、（−）の場
合すなわち、Ａ相に印加する周波電圧よりもπ/2（90
゜）だけ位相の遅れた周波電圧をＢ相に印加した場合
は、移動体は時計方向（CW）に回転し、（＋）の場合、
すなわち、Ａ相に印加する周波電圧よりも、π/2（90
゜）だけ位相の進んだ周波電圧をＢ相に印加した場合
は、移動体は反時計方向（CCW）に回転する。
極群B1〜B7には、Ｖ＝Vosin なる電圧を印加することにより、弾性体１に進行性振動
波が生じ、加圧接触されたロータ等の公知の移動体（不
図示）は摩擦により移動する。また、前記式中の
（＋），（−）を変えること、即ち一方の印加電圧の位
相を他方に対して進ませ、或いは遅らせることにより、
移動体の進行方向を切換えることが可能で、（−）の場
合すなわち、Ａ相に印加する周波電圧よりもπ/2（90
゜）だけ位相の遅れた周波電圧をＢ相に印加した場合
は、移動体は時計方向（CW）に回転し、（＋）の場合、
すなわち、Ａ相に印加する周波電圧よりも、π/2（90
゜）だけ位相の進んだ周波電圧をＢ相に印加した場合
は、移動体は反時計方向（CCW）に回転する。
そして、センサ用電極Ｓから検知される信号は移動体
が共振状態にある時はＡ相に印加する周波電圧とある位
相関係をもった信号であるが、非共振状態の時はＡ相に
印加する周波電圧との間にある位相関係からずれた信号
となる。そこで駆動電圧と検知信号との位相差を検知す
ることによって、振動が振幅の大きい共振状態にあるの
か、共振状態からどの程度はずれているのかを知ること
ができ、この情報から印加する周波数を決定することに
より、回転速度の制御が可能である。
が共振状態にある時はＡ相に印加する周波電圧とある位
相関係をもった信号であるが、非共振状態の時はＡ相に
印加する周波電圧との間にある位相関係からずれた信号
となる。そこで駆動電圧と検知信号との位相差を検知す
ることによって、振動が振幅の大きい共振状態にあるの
か、共振状態からどの程度はずれているのかを知ること
ができ、この情報から印加する周波数を決定することに
より、回転速度の制御が可能である。
第７図（ａ）は、振動波モータの弾性体の部分断面図
である。第７図（ａ）の弾性体には、電気−機械エネル
ギー変換素子としての圧電素子が張りつけてある。又移
動体としてのロータ（不図示）との接触面には幅t1深さ
h1の多数の溝が全周にわたって設けられている。またこ
れらの溝の一部は、騒音を発生させない手法として深さ
h2の深溝となっている。
である。第７図（ａ）の弾性体には、電気−機械エネル
ギー変換素子としての圧電素子が張りつけてある。又移
動体としてのロータ（不図示）との接触面には幅t1深さ
h1の多数の溝が全周にわたって設けられている。またこ
れらの溝の一部は、騒音を発生させない手法として深さ
h2の深溝となっている。
第７図（ａ）の深溝の間隔は適当であるが、この間隔
が60゜間隔であれば、３次モードの振動を抑制すること
ができる。以上の様に、深溝の配置手段により単一、あ
るいは多数の騒音のモードを抑制し騒音を防止する効果
が生じるものである。
が60゜間隔であれば、３次モードの振動を抑制すること
ができる。以上の様に、深溝の配置手段により単一、あ
るいは多数の騒音のモードを抑制し騒音を防止する効果
が生じるものである。
このとき、電気−機械エネルギー変換素子である圧電
素子の電極パターンと、上記深溝のパターンとは任意に
位置決めされている。
素子の電極パターンと、上記深溝のパターンとは任意に
位置決めされている。
第７図（ａ）のようなセンサ用電極Ｓと深溝パターン
の組み合わせのとき、深溝部がセンサ用電極Ｓの近傍に
あり、第７図（ｂ）のようにセンサ用電極Ｓの部分の剛
性が変化している。このとき第８図のような周波数ｆ対
Ａ相、Ｓ相位相差θA-Sの関係が得られる。弾性体が共
振周波数であるとき、位相差θA-SはCWで−225゜、CCW
で−135゜となる。
の組み合わせのとき、深溝部がセンサ用電極Ｓの近傍に
あり、第７図（ｂ）のようにセンサ用電極Ｓの部分の剛
性が変化している。このとき第８図のような周波数ｆ対
Ａ相、Ｓ相位相差θA-Sの関係が得られる。弾性体が共
振周波数であるとき、位相差θA-SはCWで−225゜、CCW
で−135゜となる。
［発明が解決しようとしている課題］ しかし、第８図に示すように、センサ用電極Ｓの付近
の剛性が変化しているため、進行性振動波の振幅や波長
が微妙に変わっており、理想的なｆ対θA-S曲線（第８
図の点線部分）より、CW回転とCCW回転で互いに逆方向
へずれてしまう。
の剛性が変化しているため、進行性振動波の振幅や波長
が微妙に変わっており、理想的なｆ対θA-S曲線（第８
図の点線部分）より、CW回転とCCW回転で互いに逆方向
へずれてしまう。
よって、θA-S位相差を−225゜（CCWは−135゜）に合
わせても、正しい共振周波数を検知していないという問
題点がある。つまり、上記従来例では、電気−機械エネ
ルギー変換素子である圧電素子の電極パターンと、弾性
体の深溝パターンの位置関係が任意であると、第７図
（ｂ）のようにセンサ用電極Ｓの近傍に深溝部の剛性の
変化部が配置され、センサ用電極Ｓの信号に悪影響を及
ぼし、真実のｆ対θA-S曲線に対して第８図のように差
が生じてしまう。すなわち深溝近傍では、ひずみが異な
り、センサ用電極の中心があたかもずれたようになり正
しい共振周波数を検知していないということになる。
わせても、正しい共振周波数を検知していないという問
題点がある。つまり、上記従来例では、電気−機械エネ
ルギー変換素子である圧電素子の電極パターンと、弾性
体の深溝パターンの位置関係が任意であると、第７図
（ｂ）のようにセンサ用電極Ｓの近傍に深溝部の剛性の
変化部が配置され、センサ用電極Ｓの信号に悪影響を及
ぼし、真実のｆ対θA-S曲線に対して第８図のように差
が生じてしまう。すなわち深溝近傍では、ひずみが異な
り、センサ用電極の中心があたかもずれたようになり正
しい共振周波数を検知していないということになる。
本発明の目的は、このような従来の問題を解決し、セ
ンサ用電極で常に正しい共振周波数の検出を可能とする
振動波モータを提供することにある。
ンサ用電極で常に正しい共振周波数の検出を可能とする
振動波モータを提供することにある。
［課題を解決するための手段］ 上記目的を達成するために、本発明では、弾性体に所
定間隔で溝を設けることで、隣り合う溝に挟まれた位置
に前記溝の底部に対して突出した突出部を形成するとと
もに、前記弾性体に、この弾性体を励振させて駆動力を
発生させる駆動用電気−機械エネルギー変換素子部と前
記弾性体の振動状態を検出する検出用電気−機械エネル
ギー変換素子部とを配した振動波モータにおいて、一部
の溝とこの溝に対する突出部からなる一部形状を他の溝
とこの溝に対する突出部からなる形状と異ならせて、前
記弾性体における前記一部形状の位置の剛性を他の部分
の剛性に対して変化させ、前記検出用電気−機械エネル
ギー変換素子部を前記剛性の変化する部分を避けて配設
している。
定間隔で溝を設けることで、隣り合う溝に挟まれた位置
に前記溝の底部に対して突出した突出部を形成するとと
もに、前記弾性体に、この弾性体を励振させて駆動力を
発生させる駆動用電気−機械エネルギー変換素子部と前
記弾性体の振動状態を検出する検出用電気−機械エネル
ギー変換素子部とを配した振動波モータにおいて、一部
の溝とこの溝に対する突出部からなる一部形状を他の溝
とこの溝に対する突出部からなる形状と異ならせて、前
記弾性体における前記一部形状の位置の剛性を他の部分
の剛性に対して変化させ、前記検出用電気−機械エネル
ギー変換素子部を前記剛性の変化する部分を避けて配設
している。
また、弾性体に所定間隔で溝を設けることで、隣り合
う溝に挟まれた位置に前記溝の底部に対して突出した突
出部を形成するとともに、前記弾性体に、この弾性体を
励振させて駆動力を発生させる駆動用電気−機械エネル
ギー変換素子部と前記弾性体の振動状態を検出する検出
用電気−機械エネルギー変換素子部とを配した振動波モ
ータにおいて、一部の溝とこの溝に対する突出部からな
る一部形状を他の溝とこの溝に対する突出部からなる形
状と異ならせて、前記弾性体における前記一部形状の位
置の剛性を他の部分の剛性に対して変化させ、前記検出
用電気−機械エネルギー変換素子部を前記剛性の変化す
る部分の中心位置に配設している。
う溝に挟まれた位置に前記溝の底部に対して突出した突
出部を形成するとともに、前記弾性体に、この弾性体を
励振させて駆動力を発生させる駆動用電気−機械エネル
ギー変換素子部と前記弾性体の振動状態を検出する検出
用電気−機械エネルギー変換素子部とを配した振動波モ
ータにおいて、一部の溝とこの溝に対する突出部からな
る一部形状を他の溝とこの溝に対する突出部からなる形
状と異ならせて、前記弾性体における前記一部形状の位
置の剛性を他の部分の剛性に対して変化させ、前記検出
用電気−機械エネルギー変換素子部を前記剛性の変化す
る部分の中心位置に配設している。
［作用］ 上記した構成の振動波モータによれば、弾性体に形成
した多数の溝のうち一部の溝の深さや幅等を変えたりこ
の溝に対する突出部自体の形状を変えたりして弾性体に
他の部分に対して剛性が変化した部分を作り出した場合
において、検出用電気−機械エネルギー変換素子部を上
記剛性変化部分を避けて又はその部分の中心位置に配設
することにより、検出用電気−機械エネルギー変換素子
部は、上記剛性変化部分の影響を受けずに又は影響がキ
ャンセルされて、弾性体の振動状態を正確に示す検知信
号を出力することができる。
した多数の溝のうち一部の溝の深さや幅等を変えたりこ
の溝に対する突出部自体の形状を変えたりして弾性体に
他の部分に対して剛性が変化した部分を作り出した場合
において、検出用電気−機械エネルギー変換素子部を上
記剛性変化部分を避けて又はその部分の中心位置に配設
することにより、検出用電気−機械エネルギー変換素子
部は、上記剛性変化部分の影響を受けずに又は影響がキ
ャンセルされて、弾性体の振動状態を正確に示す検知信
号を出力することができる。
［実 施 例］ 実施例１ 第１図は本発明による振動波モータの実施例１を示す
図で、第１図（ａ）はセンサ用電極Ｓ付近の圧電素子及
び弾性体の部分断面図であり、第１図（ｂ）は同じ位置
での剛性を表わした図である。なお、圧電素子の配置は
第６図と同様とする。
図で、第１図（ａ）はセンサ用電極Ｓ付近の圧電素子及
び弾性体の部分断面図であり、第１図（ｂ）は同じ位置
での剛性を表わした図である。なお、圧電素子の配置は
第６図と同様とする。
第１図（ａ）において、弾性体１には幅ｔ、深さh1の
第１溝３が設けられている。またこれらの溝３の一部に
深さh2の深溝が設けられている。第１図（ｂ）に示す如
く、深溝４の近傍では弾性体１の剛性が変化している。
しかし、センサ用電極Ｓは、深溝４を避けて配置されて
いるため、弾性体１の剛性が均一となっている。
第１溝３が設けられている。またこれらの溝３の一部に
深さh2の深溝が設けられている。第１図（ｂ）に示す如
く、深溝４の近傍では弾性体１の剛性が変化している。
しかし、センサ用電極Ｓは、深溝４を避けて配置されて
いるため、弾性体１の剛性が均一となっている。
ここで、駆動用Ａ相電極A1〜A7にＶ＝Vosinωｔ、駆
動用Ｂ相電極B1〜B7にＶ＝Vosin なる電圧を印加したときにセンサ用電極Ｓから得られる
センサ信号の周波数（ｆ）対位相差θA-S曲線は、第２
図のようになった。すなわち、第２図から、正規の共振
周波数frにおける位相差θA-Sは、CW回転の場合−225
゜、CCW回転の場合−135゜という90゜の差があるもの
の、周波数ｆ対位相差θA-S曲線は、すべての周波数に
おいて一致する。
動用Ｂ相電極B1〜B7にＶ＝Vosin なる電圧を印加したときにセンサ用電極Ｓから得られる
センサ信号の周波数（ｆ）対位相差θA-S曲線は、第２
図のようになった。すなわち、第２図から、正規の共振
周波数frにおける位相差θA-Sは、CW回転の場合−225
゜、CCW回転の場合−135゜という90゜の差があるもの
の、周波数ｆ対位相差θA-S曲線は、すべての周波数に
おいて一致する。
以上のようにセンサ用電極Ｓの位置を、弾性体１の剛
性の変化する部分を避けて配置することで、正しく共振
周波数を検知することができる。このとき剛性の変化す
る部分を避ける量として、実験より、剛性の最も低い
（もしくは高い）部分からλ（波長）/4以上は、離れる
のが望ましい。又、剛性の変化する部分の中心にセンサ
用電極Ｓを配置する場合、λ（波長）/8以内にするのが
望ましい。
性の変化する部分を避けて配置することで、正しく共振
周波数を検知することができる。このとき剛性の変化す
る部分を避ける量として、実験より、剛性の最も低い
（もしくは高い）部分からλ（波長）/4以上は、離れる
のが望ましい。又、剛性の変化する部分の中心にセンサ
用電極Ｓを配置する場合、λ（波長）/8以内にするのが
望ましい。
実施例２ 第３図は本発明の実施例２を示す図で、第３図（ａ）
はセンサ用電極Ｓ付近の圧電素子及び弾性体部分断面図
であり、第３図（ｂ）は同じ位置での剛性を表わした図
である。
はセンサ用電極Ｓ付近の圧電素子及び弾性体部分断面図
であり、第３図（ｂ）は同じ位置での剛性を表わした図
である。
第３図（ａ）において、弾性体１には幅ｔ、深さh1の
溝３が設けられている。また、これらの溝３の一部に深
さh2、幅ｔ′の溝５、及び深さh1、幅ｔ′の溝６が設け
られている。第３図（ｂ）からわかるように、溝幅ｔ′
で溝深さh2とh1の溝5,6を設けることにより、剛性の変
化する領域が減り、センサ用電極Ｓは、容易に剛性の変
化する部分を避けることができる。
溝３が設けられている。また、これらの溝３の一部に深
さh2、幅ｔ′の溝５、及び深さh1、幅ｔ′の溝６が設け
られている。第３図（ｂ）からわかるように、溝幅ｔ′
で溝深さh2とh1の溝5,6を設けることにより、剛性の変
化する領域が減り、センサ用電極Ｓは、容易に剛性の変
化する部分を避けることができる。
実施例３ 第４図は本発明の実施例３を示す図で、第４図（ａ）
はセンサ用電極Ｓ付近の圧電素子及び弾性体の部分断面
図であり、第４図（ｂ）は、同じ位置での剛性を表わし
た図である。
はセンサ用電極Ｓ付近の圧電素子及び弾性体の部分断面
図であり、第４図（ｂ）は、同じ位置での剛性を表わし
た図である。
第４図（ａ）において、弾性体には幅ｔ、深さh1の溝
３が設けられている。また、これらの溝３の一部に深さ
h3の浅い溝７が設けられている。
３が設けられている。また、これらの溝３の一部に深さ
h3の浅い溝７が設けられている。
実施例１では、溝の一部を深くすることにより剛性変
化させているが、実施例は、溝７を浅くすることにより
剛性を変化させている。
化させているが、実施例は、溝７を浅くすることにより
剛性を変化させている。
弾性体１の一部の剛性を変化させて騒音の発生を防ぐ
方法としては、以上の例以外に弾性体の一部にある質量
を付けたり、取り除いたりすることによっても実現でき
る。このときにも、剛性の変化する部分が存在するので
実施例１同様センサ用電極Ｓは、その部分を避けて配置
する必要がある。
方法としては、以上の例以外に弾性体の一部にある質量
を付けたり、取り除いたりすることによっても実現でき
る。このときにも、剛性の変化する部分が存在するので
実施例１同様センサ用電極Ｓは、その部分を避けて配置
する必要がある。
実施例４ 第５図に実施例４を示す。本実施例は、溝8,9,10が不
等ピッチで、図中塗りつぶしてある深溝８が２ヶ連続し
ている例を示す。第５図では、深溝８が２ヶ連続した部
分が最も剛性が変化しており、センサ用電極Ｓは特にそ
の部分を避けるようにする。又、深溝8,10が１ヶ所の部
分も避けて配置するのが望ましい。
等ピッチで、図中塗りつぶしてある深溝８が２ヶ連続し
ている例を示す。第５図では、深溝８が２ヶ連続した部
分が最も剛性が変化しており、センサ用電極Ｓは特にそ
の部分を避けるようにする。又、深溝8,10が１ヶ所の部
分も避けて配置するのが望ましい。
以上の各実施例は、円環型の弾性体であるが、円板型
やリニア型などのものに対しても振動検出手段を設けた
場合も同様にすることができる。又、電気−機械エネル
ギー変換素子である圧電素子も１枚に限らず積層にした
場合にも、同様である。
やリニア型などのものに対しても振動検出手段を設けた
場合も同様にすることができる。又、電気−機械エネル
ギー変換素子である圧電素子も１枚に限らず積層にした
場合にも、同様である。
［発明の効果］ 以上説明したように、本発明によれば、弾性体のうち
の剛性変化部分を避けて又はその部分の中心位置に検出
用電気−機械エネルギー変換素子部を配設しているの
で、検出用電気−機械エネルギー変換素子部は、上記剛
性変化部分の影響を受けずに又は影響がキャンセルされ
て、弾性体の振動状態を正確に示す検知信号を出力する
ことができる。したがって、上記検知信号と駆動用電気
−機械エネルギー変換素子部への印加信号との位相差に
基づいて弾性体の正しい共振周波数を検出することが可
能になる。
の剛性変化部分を避けて又はその部分の中心位置に検出
用電気−機械エネルギー変換素子部を配設しているの
で、検出用電気−機械エネルギー変換素子部は、上記剛
性変化部分の影響を受けずに又は影響がキャンセルされ
て、弾性体の振動状態を正確に示す検知信号を出力する
ことができる。したがって、上記検知信号と駆動用電気
−機械エネルギー変換素子部への印加信号との位相差に
基づいて弾性体の正しい共振周波数を検出することが可
能になる。
第１図は本発明による振動波モータの実施例１を示し、
第１図（ａ）は弾性体の部分断面図、第１図（ｂ）は弾
性体の位置と剛性との関係を示す図である。第２図は実
施例１のｆ対θA-Sの関係を示す図、第３図は実施例２
を示し、第３図（ａ）は弾性体の部分断面図、第３図
（ｂ）は弾性体の位置と剛性との関係を示す図である。
第４図は実施例３を示し、第４図（ａ）は弾性体の部分
断面図、第４図（ｂ）は弾性体の位置と剛性との関係を
示す図である。第５図は実施例４を示す弾性体の平面
図、第６図は従来の振動波モータにおける電極配置図、
第７図は従来の振動波モータを示し、第７図（ａ）は弾
性体の部分断面図、第７図（ｂ）は弾性体の位置と剛性
との関係を示す図である。第８図は従来例のｆ対θの関
係を示す図である。 1:弾性体、2:圧電素子 3,4,5,6,7,8,9,10:溝
第１図（ａ）は弾性体の部分断面図、第１図（ｂ）は弾
性体の位置と剛性との関係を示す図である。第２図は実
施例１のｆ対θA-Sの関係を示す図、第３図は実施例２
を示し、第３図（ａ）は弾性体の部分断面図、第３図
（ｂ）は弾性体の位置と剛性との関係を示す図である。
第４図は実施例３を示し、第４図（ａ）は弾性体の部分
断面図、第４図（ｂ）は弾性体の位置と剛性との関係を
示す図である。第５図は実施例４を示す弾性体の平面
図、第６図は従来の振動波モータにおける電極配置図、
第７図は従来の振動波モータを示し、第７図（ａ）は弾
性体の部分断面図、第７図（ｂ）は弾性体の位置と剛性
との関係を示す図である。第８図は従来例のｆ対θの関
係を示す図である。 1:弾性体、2:圧電素子 3,4,5,6,7,8,9,10:溝
Claims (2)
- 【請求項１】弾性体に所定間隔で溝を設けることで、隣
り合う溝に挟まれた位置に前記溝の底部に対して突出し
た突出部を形成するとともに、前記弾性体に、この弾性
体を励振させて駆動力を発生させる駆動用電気−機械エ
ネルギー変換素子部と前記弾性体の振動状態を検出する
検出用電気−機械エネルギー変換素子部とを配した振動
波モータにおいて、 一部の溝とこの溝に対する突出部からなる一部形状を他
の溝とこの溝に対する突出部からなる形状と異ならせ
て、前記弾性体における前記一部形状の位置の剛性を他
の部分の剛性に対して変化させ、 前記検出用電気−機械エネルギー変換素子部を前記剛性
の変化する部分を避けて配設したことを特徴とする振動
波モータ。 - 【請求項２】弾性体に所定間隔で溝を設けることで、隣
り合う溝に挟まれた位置に前記溝の底部に対して突出し
た突出部を形成するとともに、前記弾性体に、この弾性
体を励振させて駆動力を発生させる駆動用電気−機械エ
ネルギー変換素子部と前記弾性体の振動状態を検出する
検出用電気−機械エネルギー変換素子部とを配した振動
波モータにおいて、 一部の溝とこの溝に対する突出部からなる一部形状を他
の溝とこの溝に対する突出部からなる形状と異ならせ
て、前記弾性体における前記一部形状の位置の剛性を他
の部分の剛性に対して変化させ、 前記検出用電気−機械エネルギー変換素子部を前記剛性
の変化する部分の中心位置に配設したことを特徴とする
振動波モータ。
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