JP2665886B2 - プローブ装置 - Google Patents
プローブ装置Info
- Publication number
- JP2665886B2 JP2665886B2 JP6284444A JP28444494A JP2665886B2 JP 2665886 B2 JP2665886 B2 JP 2665886B2 JP 6284444 A JP6284444 A JP 6284444A JP 28444494 A JP28444494 A JP 28444494A JP 2665886 B2 JP2665886 B2 JP 2665886B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- moving plate
- wafer
- probe device
- prober
- lower guide
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Landscapes
- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体ウエハのチェッ
ク工程を担うプローブ装置の改良に関する。 【0002】 【従来の技術】半導体の製造工程においては、ウエハを
測定して良品と不良品を判別するために、ウエハプロー
バが一般に使用されている。そして、実際の測定に際し
ては、プローバ本体に設けられている収納室から、該収
納室に複数枚を単位とし収納されているウエハを取り出
して、該測定用ウエハを本体の測定部上に載置して、ウ
エハの各チップ毎に測定を行なうものであり、現在は、
ウエハの収納室からの取出作業、測定部上への載置作
業、測定部上からの回収作業及び収納室への収納作業
は、全て自動化されている。 【0003】 【発明が解決しようとする課題】然し乍ら、従来のウエ
ハプローバにあっては、上記各作業に関しては、種々の
機構を組み込んで自動化を可能としているが、例えば個
々的にマニアル測定をする等の理由で収納室内のウエハ
をサンプルとして他所に運ぶ必要が生じたような場合ま
では、自動化が進んでいないので、斯る特別な運搬に際
しては、未だ従前と同様に、その都度オペレータがピン
セット等で収納室からサンプル用のウエハを取り出し
て、その状態のまま他所に運ぶ以外方法がなかった。こ
の為、従来にあっては、ウエハの損傷と言う大きな問題
が持ち上がっており、当該分野においては斯る問題の解
決が強く熱望されている。 【0004】 【課題を解決するための手段】本発明は、上記の従来の
要請に鑑み案手されたもので、複数枚のウエハを収納す
る収納室と測定部を備えたプローバ本体と、このプロー
バ本体から本体外に水平移動する移動板と、この移動板
に着脱自在に設けられたウエハ受け皿と、この受け皿へ
1枚のウエハを搬入、搬出するウエハ搬送機構とを具備
したプローブ装置を提供するものである。 【0005】この場合、前記ウエハ搬送機構は、前記収
納室のウエハを取り出して、このウエハを前記受け皿に
載置し、また、前記移動板の後端部に前方位ストッパを
設け、前記移動板の前方向への引き出しを規制するよう
にしている。 【0006】更に、前記前方位ストッパは、前記移動板
に設けられた係合溝と、この係合溝に係合する手段とか
らなり、前記プローバ本体の前記収納室の下方に空所を
設け、この空所の両側壁に前記移動板を挟んで上下ガイ
ドローラを配設した。前記上下ガイドローラ間に側面ガ
イドローラを配設し、この側面ガイドローラによる前記
移動板の案内規制部を設け、前記空所内に前記移動板の
後方への移動を規制する後方位ストッパを設けるのが好
ましい。また、前記後方位ストッパは、板ばね式及びね
じ式ストッパの少なくとも一方からなり、また、前記移
動板と前記受け皿に支持ピン又は係入孔を夫々設け、更
に、前記移動板に把手孔を設けるように構成するのが好
ましい。 【0007】 【作用】依って、本発明にあっては、個々的にマニアル
測定をする等の理由で、収納位置にあるウエハをサンプ
ルとして他所に運ぶ必要が生じたような場合には、通常
の測定に使用されるウエハの搬送機構等を利用して、収
納室内のウエハを取り出して、該ウエハを受け皿上に載
置した後、該受け皿を支持する移動板をプローバ本体か
ら引き出せば、ウエハを受け皿に載置したまま、他所に
搬送できるので、従来の如く搬送時にウエハを損傷する
心配が全くなくなる。 【0008】 【実施例】以下、本発明を図示する一実施例に基づいて
詳述すれば、該実施例に係るウエハプローバも、図1に
示す如く、プローバ本体1に複数枚のウエハを収納する
収納室2や測定部16等を備え、且つ具体的には図示し
ないが、ウエハ3の収納位置からの取出作業、測定部1
6上への載置作業、測定部16上からの回収作業、及び
収納室2への収納作業を全て自動機構を介して行なうこ
とを前提とするものであるが、特徴とするところは、以
下の構成に存する。 【0009】即ち、本実施例にあっては、図2乃至図4
に示す如く、プローバ本体1の上記収納室2の下方に空
所4を画成し、該空所4の両側壁夫々に取付用ブラケッ
ト5を介して、上下ガイドローラ6、7を一定の間隔を
おいて配設すると共に、該上下ガイドローラ6、7間に
側面ガイドローラ8を配設して、側面ガイドローラ8に
よる案内規制作用を受けて、上記上下のガイドローラ
6、7間に、移動板9を横方向に引き出し可能に設け
る。 【0010】又、該移動板9の少なくとも後端部一側
に、上記ブラケット5に当接する前方位ストッパ10を
固設して、移動板9の前方向への引き出しを規制する構
成となすと共に、上記空所4を画成する底部に、移動板
9の後端凹部面9aに当接する板ばね式の後方位ストッ
パ11と、微調整可能な螺子式の後方位ストッパ12を
夫々固設して、該各ストッパ11、12により、移動板
9の後方向への移動を規制する構成を採用している。 【0011】更に、本実施例にあっては、移動板9の上
面に、所定間隔をおいて複数の支持ピン13を立設する
一方、ウエハ3を載置する受け皿14下面の上記ピン1
3と対応する個所に、テーパー案内面を有する係入孔1
5を穿設して、該各係入孔15に対する支持ピン13の
係入により、受け皿14を移動板9上に確実に位置決め
して着脱可能に支持できる構成となっている。尚、受け
皿14の上面側には、ウエハ3を径に応じて確実に載置
できる円環状の段部を複数形成しておくものとする。 【0012】依って、斯る構成のウエハプローバにあっ
ても、プローバ本体1の収納位置からウエハ3を取り出
して、該ウエハ3を測定部16上に載置すれば、ウエハ
3の各チップ毎に測定が可能となることは言うまでもな
い。 【0013】然し、個々的にマニアル測定をする等の理
由で、収納位置のウエハ3をサンプルとして他所に運ぶ
必要が生じたような場合には、通常の測定に使用される
ウエハ3の搬送機構(図示せず)等を利用して、収納位
置内のウエハ3を取り出して、該ウエハ3を移動板9に
支持されている受け皿14上に載置した後、特に図4に
示す如く、上記前方位ストッパ10がブラケット5に当
接するまで、移動板9を自身の把手孔9bを介してプロ
ーバ本体1から引き出せば、従来の如くピンセット等を
用いずとも、ウエハ3を受け皿14と一緒に移動板9か
ら容易に取り出すことが可能となる。 【0014】従って、本実施例にあっては、ウエハ3を
受け皿14上に載置したまま他所に搬送できるので、従
来の如く搬送時にウエハ3を損傷する心配が全くなくな
る。尚、ウエハ3の搬送後は、再び支持ピン13と係入
孔15を介して、受け皿14を移動板9に支持して、既
述の後方位ストッパ11、12の規制を受けるまで、移
動板9を空所4内に後退させれば、通常のウエハ3の測
定に何らの支障を与える心配も全くない。 【0015】又、図5に示す如く、移動板9を引き出し
た際に、相互に係合する係合手段17a、17bを、移
動板9の後端部と空所4を画成する底部に夫々設けれ
ば、移動板9を引き出し位置に確実にロックすることが
可能となる。本実施例では、バネにより下方向から移動
版に圧接されたロール17aと移動版9の後端部に設け
た係合溝17bとで係合手段を構成しているが、かかる
係合手段は任意に変更可能である。 【0016】 【発明の効果】以上の如く、本発明によると、複数枚の
ウエハを収納する収納室と測定部を備えたプローバ本体
と、このプローバ本体から本体外に水平移動する移動板
と、この移動板に着脱自在に設けられたウエハ受け皿
と、この受け皿へ1枚のウエハを搬入、搬出するウエハ
搬送機構とを具備したことを特徴とするものであるか
ら、個々的にマニアル測定をする等の理由でウエハをサ
ンプルとして他所に運ぶ必要が生じたような場合、通常
の測定に使用されるウエハの搬送機構等を利用して、収
納位置のウエハを取り出して、該ウエハを受け皿上に載
置した後、該受け皿を支持する移動板をプローバ本体か
ら引き出せば、ピンセット等を用いずとも、ウエハを受
け皿に載置したまま他所に搬送できるので、従来の如く
搬送時にウエハを損傷する心配が全くなくなる。
ク工程を担うプローブ装置の改良に関する。 【0002】 【従来の技術】半導体の製造工程においては、ウエハを
測定して良品と不良品を判別するために、ウエハプロー
バが一般に使用されている。そして、実際の測定に際し
ては、プローバ本体に設けられている収納室から、該収
納室に複数枚を単位とし収納されているウエハを取り出
して、該測定用ウエハを本体の測定部上に載置して、ウ
エハの各チップ毎に測定を行なうものであり、現在は、
ウエハの収納室からの取出作業、測定部上への載置作
業、測定部上からの回収作業及び収納室への収納作業
は、全て自動化されている。 【0003】 【発明が解決しようとする課題】然し乍ら、従来のウエ
ハプローバにあっては、上記各作業に関しては、種々の
機構を組み込んで自動化を可能としているが、例えば個
々的にマニアル測定をする等の理由で収納室内のウエハ
をサンプルとして他所に運ぶ必要が生じたような場合ま
では、自動化が進んでいないので、斯る特別な運搬に際
しては、未だ従前と同様に、その都度オペレータがピン
セット等で収納室からサンプル用のウエハを取り出し
て、その状態のまま他所に運ぶ以外方法がなかった。こ
の為、従来にあっては、ウエハの損傷と言う大きな問題
が持ち上がっており、当該分野においては斯る問題の解
決が強く熱望されている。 【0004】 【課題を解決するための手段】本発明は、上記の従来の
要請に鑑み案手されたもので、複数枚のウエハを収納す
る収納室と測定部を備えたプローバ本体と、このプロー
バ本体から本体外に水平移動する移動板と、この移動板
に着脱自在に設けられたウエハ受け皿と、この受け皿へ
1枚のウエハを搬入、搬出するウエハ搬送機構とを具備
したプローブ装置を提供するものである。 【0005】この場合、前記ウエハ搬送機構は、前記収
納室のウエハを取り出して、このウエハを前記受け皿に
載置し、また、前記移動板の後端部に前方位ストッパを
設け、前記移動板の前方向への引き出しを規制するよう
にしている。 【0006】更に、前記前方位ストッパは、前記移動板
に設けられた係合溝と、この係合溝に係合する手段とか
らなり、前記プローバ本体の前記収納室の下方に空所を
設け、この空所の両側壁に前記移動板を挟んで上下ガイ
ドローラを配設した。前記上下ガイドローラ間に側面ガ
イドローラを配設し、この側面ガイドローラによる前記
移動板の案内規制部を設け、前記空所内に前記移動板の
後方への移動を規制する後方位ストッパを設けるのが好
ましい。また、前記後方位ストッパは、板ばね式及びね
じ式ストッパの少なくとも一方からなり、また、前記移
動板と前記受け皿に支持ピン又は係入孔を夫々設け、更
に、前記移動板に把手孔を設けるように構成するのが好
ましい。 【0007】 【作用】依って、本発明にあっては、個々的にマニアル
測定をする等の理由で、収納位置にあるウエハをサンプ
ルとして他所に運ぶ必要が生じたような場合には、通常
の測定に使用されるウエハの搬送機構等を利用して、収
納室内のウエハを取り出して、該ウエハを受け皿上に載
置した後、該受け皿を支持する移動板をプローバ本体か
ら引き出せば、ウエハを受け皿に載置したまま、他所に
搬送できるので、従来の如く搬送時にウエハを損傷する
心配が全くなくなる。 【0008】 【実施例】以下、本発明を図示する一実施例に基づいて
詳述すれば、該実施例に係るウエハプローバも、図1に
示す如く、プローバ本体1に複数枚のウエハを収納する
収納室2や測定部16等を備え、且つ具体的には図示し
ないが、ウエハ3の収納位置からの取出作業、測定部1
6上への載置作業、測定部16上からの回収作業、及び
収納室2への収納作業を全て自動機構を介して行なうこ
とを前提とするものであるが、特徴とするところは、以
下の構成に存する。 【0009】即ち、本実施例にあっては、図2乃至図4
に示す如く、プローバ本体1の上記収納室2の下方に空
所4を画成し、該空所4の両側壁夫々に取付用ブラケッ
ト5を介して、上下ガイドローラ6、7を一定の間隔を
おいて配設すると共に、該上下ガイドローラ6、7間に
側面ガイドローラ8を配設して、側面ガイドローラ8に
よる案内規制作用を受けて、上記上下のガイドローラ
6、7間に、移動板9を横方向に引き出し可能に設け
る。 【0010】又、該移動板9の少なくとも後端部一側
に、上記ブラケット5に当接する前方位ストッパ10を
固設して、移動板9の前方向への引き出しを規制する構
成となすと共に、上記空所4を画成する底部に、移動板
9の後端凹部面9aに当接する板ばね式の後方位ストッ
パ11と、微調整可能な螺子式の後方位ストッパ12を
夫々固設して、該各ストッパ11、12により、移動板
9の後方向への移動を規制する構成を採用している。 【0011】更に、本実施例にあっては、移動板9の上
面に、所定間隔をおいて複数の支持ピン13を立設する
一方、ウエハ3を載置する受け皿14下面の上記ピン1
3と対応する個所に、テーパー案内面を有する係入孔1
5を穿設して、該各係入孔15に対する支持ピン13の
係入により、受け皿14を移動板9上に確実に位置決め
して着脱可能に支持できる構成となっている。尚、受け
皿14の上面側には、ウエハ3を径に応じて確実に載置
できる円環状の段部を複数形成しておくものとする。 【0012】依って、斯る構成のウエハプローバにあっ
ても、プローバ本体1の収納位置からウエハ3を取り出
して、該ウエハ3を測定部16上に載置すれば、ウエハ
3の各チップ毎に測定が可能となることは言うまでもな
い。 【0013】然し、個々的にマニアル測定をする等の理
由で、収納位置のウエハ3をサンプルとして他所に運ぶ
必要が生じたような場合には、通常の測定に使用される
ウエハ3の搬送機構(図示せず)等を利用して、収納位
置内のウエハ3を取り出して、該ウエハ3を移動板9に
支持されている受け皿14上に載置した後、特に図4に
示す如く、上記前方位ストッパ10がブラケット5に当
接するまで、移動板9を自身の把手孔9bを介してプロ
ーバ本体1から引き出せば、従来の如くピンセット等を
用いずとも、ウエハ3を受け皿14と一緒に移動板9か
ら容易に取り出すことが可能となる。 【0014】従って、本実施例にあっては、ウエハ3を
受け皿14上に載置したまま他所に搬送できるので、従
来の如く搬送時にウエハ3を損傷する心配が全くなくな
る。尚、ウエハ3の搬送後は、再び支持ピン13と係入
孔15を介して、受け皿14を移動板9に支持して、既
述の後方位ストッパ11、12の規制を受けるまで、移
動板9を空所4内に後退させれば、通常のウエハ3の測
定に何らの支障を与える心配も全くない。 【0015】又、図5に示す如く、移動板9を引き出し
た際に、相互に係合する係合手段17a、17bを、移
動板9の後端部と空所4を画成する底部に夫々設けれ
ば、移動板9を引き出し位置に確実にロックすることが
可能となる。本実施例では、バネにより下方向から移動
版に圧接されたロール17aと移動版9の後端部に設け
た係合溝17bとで係合手段を構成しているが、かかる
係合手段は任意に変更可能である。 【0016】 【発明の効果】以上の如く、本発明によると、複数枚の
ウエハを収納する収納室と測定部を備えたプローバ本体
と、このプローバ本体から本体外に水平移動する移動板
と、この移動板に着脱自在に設けられたウエハ受け皿
と、この受け皿へ1枚のウエハを搬入、搬出するウエハ
搬送機構とを具備したことを特徴とするものであるか
ら、個々的にマニアル測定をする等の理由でウエハをサ
ンプルとして他所に運ぶ必要が生じたような場合、通常
の測定に使用されるウエハの搬送機構等を利用して、収
納位置のウエハを取り出して、該ウエハを受け皿上に載
置した後、該受け皿を支持する移動板をプローバ本体か
ら引き出せば、ピンセット等を用いずとも、ウエハを受
け皿に載置したまま他所に搬送できるので、従来の如く
搬送時にウエハを損傷する心配が全くなくなる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施例に係るウエハプローバを示す概
略図である。 【図2】移動板と受け皿等の関係を示す要部平面図であ
る。 【図3】移動板と受け皿等の関係を示す要部正面図であ
る。 【図4】移動板を引き出した状態を示す要部平面図であ
る。 【図5】移動板を引き出した状態を示す要部側面図であ
る。 【符号の説明】 1 プローバ本体 2 収納室 3 ウエハ 4 空所 6 上ガイドローラ 7 下ガイドローラ 8 側面ガイドローラ 9 移動板 10 前方位ストッパ 11、12 後方位ストッパ 13 支持ピン 14 受け皿 15 係入孔 16 測定部 17b 係合溝
略図である。 【図2】移動板と受け皿等の関係を示す要部平面図であ
る。 【図3】移動板と受け皿等の関係を示す要部正面図であ
る。 【図4】移動板を引き出した状態を示す要部平面図であ
る。 【図5】移動板を引き出した状態を示す要部側面図であ
る。 【符号の説明】 1 プローバ本体 2 収納室 3 ウエハ 4 空所 6 上ガイドローラ 7 下ガイドローラ 8 側面ガイドローラ 9 移動板 10 前方位ストッパ 11、12 後方位ストッパ 13 支持ピン 14 受け皿 15 係入孔 16 測定部 17b 係合溝
フロントページの続き
(56)参考文献 特開 昭62−51235(JP,A)
特開 昭61−130124(JP,A)
特開 昭60−234314(JP,A)
特開 昭60−113443(JP,A)
特開 昭59−189643(JP,A)
特開 昭58−223343(JP,A)
実開 昭63−22738(JP,U)
Claims (1)
- (57)【特許請求の範囲】 1.複数枚のウエハを収納する収納室と測定部を備えた
プローバ本体と、このプローバ本体の内外を水平移動す
る移動板と、この移動板に設けられたウエハ受け皿と、
この受け皿へ1枚のウエハを搬入、搬出するプローバ本
体内に設けられたウエハ搬送機構とを具備し、前記移動
板の後端部に設けたものとプローバ本体に設けたものと
から前方位ストッパを構成し、これらが係合することに
より移動板の前方向への引き出しが規制されていること
を特徴とするプローブ装置。 2.前記移動板の後端部に設けられたものが係合溝であ
り、プローバ本体に設けられたものが前記係合溝に係合
する部材であることを特徴とする特許請求の範囲第1項
に記載のプローブ装置。 3.前記プローバ本体の前記収納室の下方に空所を設
け、移動板の一方の側端部を挾む上下ガイドローラの2
組と移動板の他方の側端部を挾む上下ガイドローラの2
組とを前記の空所に配設することを特徴とする特許請求
の範囲第1項又は第2項に記載のプローブ装置。 4.前記移動板の一方の側端部を挾む上下ガイドローラ
の2組の間と移動板の他方の側端部を挾む上下ガイドロ
ーラの2組の間とにそれぞれ側面ガイドローラを配設す
ることを特徴とする特許請求の範囲第3項に記載のプロ
ーブ装置。 5.前記空所内に前記移動板の後方への移動を規制する
後方位ストッパを設けたことを特徴とする特許請求の範
囲第3項又は第4項に記載のプローブ装置。 6.前記後方位ストッパは、板ばね式及びねじ式ストッ
パの少なくとも一方からなることを特徴とする特許請求
の範囲第5項に記載のプローブ装置。 7.前記移動板と前記受け皿のいずれか一方に支持ピン
を設けると共にいずれか他方に係入孔を設けることを特
徴とする特許請求の範囲第1項から第6項の何れか1項
に記載のプローブ装置。 8.前記移動板に孔を設けることにより把手を形成する
ことを特 徴とする特許請求の範囲第1項から第7項の何
れか1項に記載のプローブ装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP6284444A JP2665886B2 (ja) | 1994-10-24 | 1994-10-24 | プローブ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP6284444A JP2665886B2 (ja) | 1994-10-24 | 1994-10-24 | プローブ装置 |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP62115554A Division JPS63280434A (ja) | 1987-05-12 | 1987-05-12 | ウエハプロ−バ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH07273159A JPH07273159A (ja) | 1995-10-20 |
JP2665886B2 true JP2665886B2 (ja) | 1997-10-22 |
Family
ID=17678628
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP6284444A Expired - Lifetime JP2665886B2 (ja) | 1994-10-24 | 1994-10-24 | プローブ装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2665886B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5191312B2 (ja) | 2008-08-25 | 2013-05-08 | 東京エレクトロン株式会社 | プローブの研磨方法、プローブ研磨用プログラム及びプローブ装置 |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS58223343A (ja) * | 1982-06-22 | 1983-12-24 | Fujitsu Ltd | 運搬機構 |
JPS59189643A (ja) * | 1983-04-13 | 1984-10-27 | Fujitsu Ltd | インライン型処理装置 |
JPS60113443A (ja) * | 1983-11-24 | 1985-06-19 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体ウエハ用トレイ |
JPS60234314A (ja) * | 1984-05-07 | 1985-11-21 | Agency Of Ind Science & Technol | ウエハ保持構造 |
JPH0641329B2 (ja) * | 1984-11-30 | 1994-06-01 | キヤノン株式会社 | 搬 送 装 置 |
JPH0715931B2 (ja) * | 1985-08-30 | 1995-02-22 | キヤノン株式会社 | ウェハ処理装置 |
-
1994
- 1994-10-24 JP JP6284444A patent/JP2665886B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH07273159A (ja) | 1995-10-20 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US4923054A (en) | Wafer transfer apparatus having an improved wafer transfer portion | |
JP2921937B2 (ja) | Ic検査装置 | |
JP4919539B2 (ja) | カセット保管装置並びに半導体処理ステーション及びその操作方法 | |
JP2003177158A (ja) | プローブカード交換装置 | |
KR101474584B1 (ko) | 로드 포트 장치의 설치 장치 | |
JP4069236B2 (ja) | 液処理装置 | |
JPH0586066B2 (ja) | ||
JP2665886B2 (ja) | プローブ装置 | |
TWI831009B (zh) | 電子元件處理裝置以及電子元件測試裝置 | |
JPH01143981A (ja) | プローブ装置 | |
JP3326486B2 (ja) | 門型クレーン形式の棚荷役装置 | |
JP2002175998A (ja) | 処理装置 | |
KR100337277B1 (ko) | 로드 포트 장착 기구 | |
JP3636000B2 (ja) | テストボードの姿勢変更装置 | |
JP3438826B2 (ja) | 処理装置及びその使用方法 | |
JPH0513379B2 (ja) | ||
JPS63280434A (ja) | ウエハプロ−バ | |
JPH0735393Y2 (ja) | 縦型プラズマ処理機のウエハー搬送装置 | |
JP2848781B2 (ja) | 弯曲ガラス板の位置決め装置 | |
TWI815114B (zh) | 電子元件處理裝置以及電子元件測試裝置 | |
US11776832B2 (en) | Transfer system, transfer device, and transfer method | |
KR920004054Y1 (ko) | 웨이퍼 시편 로오딩장치 | |
JP2506379B2 (ja) | 搬送方法及び搬送装置 | |
KR100426810B1 (ko) | 웨이퍼 캐리어 | |
JP3512404B2 (ja) | 真空処理装置および試料の真空処理方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
EXPY | Cancellation because of completion of term |