JP2665886B2 - プローブ装置 - Google Patents
プローブ装置Info
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- JP2665886B2 JP2665886B2 JP6284444A JP28444494A JP2665886B2 JP 2665886 B2 JP2665886 B2 JP 2665886B2 JP 6284444 A JP6284444 A JP 6284444A JP 28444494 A JP28444494 A JP 28444494A JP 2665886 B2 JP2665886 B2 JP 2665886B2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- moving plate
- wafer
- probe device
- prober
- lower guide
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- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
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- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体ウエハのチェッ
ク工程を担うプローブ装置の改良に関する。 【０００２】 【従来の技術】半導体の製造工程においては、ウエハを
測定して良品と不良品を判別するために、ウエハプロー
バが一般に使用されている。そして、実際の測定に際し
ては、プローバ本体に設けられている収納室から、該収
納室に複数枚を単位とし収納されているウエハを取り出
して、該測定用ウエハを本体の測定部上に載置して、ウ
エハの各チップ毎に測定を行なうものであり、現在は、
ウエハの収納室からの取出作業、測定部上への載置作
業、測定部上からの回収作業及び収納室への収納作業
は、全て自動化されている。 【０００３】 【発明が解決しようとする課題】然し乍ら、従来のウエ
ハプローバにあっては、上記各作業に関しては、種々の
機構を組み込んで自動化を可能としているが、例えば個
々的にマニアル測定をする等の理由で収納室内のウエハ
をサンプルとして他所に運ぶ必要が生じたような場合ま
では、自動化が進んでいないので、斯る特別な運搬に際
しては、未だ従前と同様に、その都度オペレータがピン
セット等で収納室からサンプル用のウエハを取り出し
て、その状態のまま他所に運ぶ以外方法がなかった。こ
の為、従来にあっては、ウエハの損傷と言う大きな問題
が持ち上がっており、当該分野においては斯る問題の解
決が強く熱望されている。 【０００４】 【課題を解決するための手段】本発明は、上記の従来の
要請に鑑み案手されたもので、複数枚のウエハを収納す
る収納室と測定部を備えたプローバ本体と、このプロー
バ本体から本体外に水平移動する移動板と、この移動板
に着脱自在に設けられたウエハ受け皿と、この受け皿へ
１枚のウエハを搬入、搬出するウエハ搬送機構とを具備
したプローブ装置を提供するものである。 【０００５】この場合、前記ウエハ搬送機構は、前記収
納室のウエハを取り出して、このウエハを前記受け皿に
載置し、また、前記移動板の後端部に前方位ストッパを
設け、前記移動板の前方向への引き出しを規制するよう
にしている。 【０００６】更に、前記前方位ストッパは、前記移動板
に設けられた係合溝と、この係合溝に係合する手段とか
らなり、前記プローバ本体の前記収納室の下方に空所を
設け、この空所の両側壁に前記移動板を挟んで上下ガイ
ドローラを配設した。前記上下ガイドローラ間に側面ガ
イドローラを配設し、この側面ガイドローラによる前記
移動板の案内規制部を設け、前記空所内に前記移動板の
後方への移動を規制する後方位ストッパを設けるのが好
ましい。また、前記後方位ストッパは、板ばね式及びね
じ式ストッパの少なくとも一方からなり、また、前記移
動板と前記受け皿に支持ピン又は係入孔を夫々設け、更
に、前記移動板に把手孔を設けるように構成するのが好
ましい。 【０００７】 【作用】依って、本発明にあっては、個々的にマニアル
測定をする等の理由で、収納位置にあるウエハをサンプ
ルとして他所に運ぶ必要が生じたような場合には、通常
の測定に使用されるウエハの搬送機構等を利用して、収
納室内のウエハを取り出して、該ウエハを受け皿上に載
置した後、該受け皿を支持する移動板をプローバ本体か
ら引き出せば、ウエハを受け皿に載置したまま、他所に
搬送できるので、従来の如く搬送時にウエハを損傷する
心配が全くなくなる。 【０００８】 【実施例】以下、本発明を図示する一実施例に基づいて
詳述すれば、該実施例に係るウエハプローバも、図１に
示す如く、プローバ本体１に複数枚のウエハを収納する
収納室２や測定部１６等を備え、且つ具体的には図示し
ないが、ウエハ３の収納位置からの取出作業、測定部１
６上への載置作業、測定部１６上からの回収作業、及び
収納室２への収納作業を全て自動機構を介して行なうこ
とを前提とするものであるが、特徴とするところは、以
下の構成に存する。 【０００９】即ち、本実施例にあっては、図２乃至図４
に示す如く、プローバ本体１の上記収納室２の下方に空
所４を画成し、該空所４の両側壁夫々に取付用ブラケッ
ト５を介して、上下ガイドローラ６、７を一定の間隔を
おいて配設すると共に、該上下ガイドローラ６、７間に
側面ガイドローラ８を配設して、側面ガイドローラ８に
よる案内規制作用を受けて、上記上下のガイドローラ
６、７間に、移動板９を横方向に引き出し可能に設け
る。 【００１０】又、該移動板９の少なくとも後端部一側
に、上記ブラケット５に当接する前方位ストッパ１０を
固設して、移動板９の前方向への引き出しを規制する構
成となすと共に、上記空所４を画成する底部に、移動板
９の後端凹部面９ａに当接する板ばね式の後方位ストッ
パ１１と、微調整可能な螺子式の後方位ストッパ１２を
夫々固設して、該各ストッパ１１、１２により、移動板
９の後方向への移動を規制する構成を採用している。 【００１１】更に、本実施例にあっては、移動板９の上
面に、所定間隔をおいて複数の支持ピン１３を立設する
一方、ウエハ３を載置する受け皿１４下面の上記ピン１
３と対応する個所に、テーパー案内面を有する係入孔１
５を穿設して、該各係入孔１５に対する支持ピン１３の
係入により、受け皿１４を移動板９上に確実に位置決め
して着脱可能に支持できる構成となっている。尚、受け
皿１４の上面側には、ウエハ３を径に応じて確実に載置
できる円環状の段部を複数形成しておくものとする。 【００１２】依って、斯る構成のウエハプローバにあっ
ても、プローバ本体１の収納位置からウエハ３を取り出
して、該ウエハ３を測定部１６上に載置すれば、ウエハ
３の各チップ毎に測定が可能となることは言うまでもな
い。 【００１３】然し、個々的にマニアル測定をする等の理
由で、収納位置のウエハ３をサンプルとして他所に運ぶ
必要が生じたような場合には、通常の測定に使用される
ウエハ３の搬送機構（図示せず）等を利用して、収納位
置内のウエハ３を取り出して、該ウエハ３を移動板９に
支持されている受け皿１４上に載置した後、特に図４に
示す如く、上記前方位ストッパ１０がブラケット５に当
接するまで、移動板９を自身の把手孔９ｂを介してプロ
ーバ本体１から引き出せば、従来の如くピンセット等を
用いずとも、ウエハ３を受け皿１４と一緒に移動板９か
ら容易に取り出すことが可能となる。 【００１４】従って、本実施例にあっては、ウエハ３を
受け皿１４上に載置したまま他所に搬送できるので、従
来の如く搬送時にウエハ３を損傷する心配が全くなくな
る。尚、ウエハ３の搬送後は、再び支持ピン１３と係入
孔１５を介して、受け皿１４を移動板９に支持して、既
述の後方位ストッパ１１、１２の規制を受けるまで、移
動板９を空所４内に後退させれば、通常のウエハ３の測
定に何らの支障を与える心配も全くない。 【００１５】又、図５に示す如く、移動板９を引き出し
た際に、相互に係合する係合手段１７ａ、１７ｂを、移
動板９の後端部と空所４を画成する底部に夫々設けれ
ば、移動板９を引き出し位置に確実にロックすることが
可能となる。本実施例では、バネにより下方向から移動
版に圧接されたロール１７ａと移動版９の後端部に設け
た係合溝１７ｂとで係合手段を構成しているが、かかる
係合手段は任意に変更可能である。 【００１６】 【発明の効果】以上の如く、本発明によると、複数枚の
ウエハを収納する収納室と測定部を備えたプローバ本体
と、このプローバ本体から本体外に水平移動する移動板
と、この移動板に着脱自在に設けられたウエハ受け皿
と、この受け皿へ１枚のウエハを搬入、搬出するウエハ
搬送機構とを具備したことを特徴とするものであるか
ら、個々的にマニアル測定をする等の理由でウエハをサ
ンプルとして他所に運ぶ必要が生じたような場合、通常
の測定に使用されるウエハの搬送機構等を利用して、収
納位置のウエハを取り出して、該ウエハを受け皿上に載
置した後、該受け皿を支持する移動板をプローバ本体か
ら引き出せば、ピンセット等を用いずとも、ウエハを受
け皿に載置したまま他所に搬送できるので、従来の如く
搬送時にウエハを損傷する心配が全くなくなる。
ク工程を担うプローブ装置の改良に関する。 【０００２】 【従来の技術】半導体の製造工程においては、ウエハを
測定して良品と不良品を判別するために、ウエハプロー
バが一般に使用されている。そして、実際の測定に際し
ては、プローバ本体に設けられている収納室から、該収
納室に複数枚を単位とし収納されているウエハを取り出
して、該測定用ウエハを本体の測定部上に載置して、ウ
エハの各チップ毎に測定を行なうものであり、現在は、
ウエハの収納室からの取出作業、測定部上への載置作
業、測定部上からの回収作業及び収納室への収納作業
は、全て自動化されている。 【０００３】 【発明が解決しようとする課題】然し乍ら、従来のウエ
ハプローバにあっては、上記各作業に関しては、種々の
機構を組み込んで自動化を可能としているが、例えば個
々的にマニアル測定をする等の理由で収納室内のウエハ
をサンプルとして他所に運ぶ必要が生じたような場合ま
では、自動化が進んでいないので、斯る特別な運搬に際
しては、未だ従前と同様に、その都度オペレータがピン
セット等で収納室からサンプル用のウエハを取り出し
て、その状態のまま他所に運ぶ以外方法がなかった。こ
の為、従来にあっては、ウエハの損傷と言う大きな問題
が持ち上がっており、当該分野においては斯る問題の解
決が強く熱望されている。 【０００４】 【課題を解決するための手段】本発明は、上記の従来の
要請に鑑み案手されたもので、複数枚のウエハを収納す
る収納室と測定部を備えたプローバ本体と、このプロー
バ本体から本体外に水平移動する移動板と、この移動板
に着脱自在に設けられたウエハ受け皿と、この受け皿へ
１枚のウエハを搬入、搬出するウエハ搬送機構とを具備
したプローブ装置を提供するものである。 【０００５】この場合、前記ウエハ搬送機構は、前記収
納室のウエハを取り出して、このウエハを前記受け皿に
載置し、また、前記移動板の後端部に前方位ストッパを
設け、前記移動板の前方向への引き出しを規制するよう
にしている。 【０００６】更に、前記前方位ストッパは、前記移動板
に設けられた係合溝と、この係合溝に係合する手段とか
らなり、前記プローバ本体の前記収納室の下方に空所を
設け、この空所の両側壁に前記移動板を挟んで上下ガイ
ドローラを配設した。前記上下ガイドローラ間に側面ガ
イドローラを配設し、この側面ガイドローラによる前記
移動板の案内規制部を設け、前記空所内に前記移動板の
後方への移動を規制する後方位ストッパを設けるのが好
ましい。また、前記後方位ストッパは、板ばね式及びね
じ式ストッパの少なくとも一方からなり、また、前記移
動板と前記受け皿に支持ピン又は係入孔を夫々設け、更
に、前記移動板に把手孔を設けるように構成するのが好
ましい。 【０００７】 【作用】依って、本発明にあっては、個々的にマニアル
測定をする等の理由で、収納位置にあるウエハをサンプ
ルとして他所に運ぶ必要が生じたような場合には、通常
の測定に使用されるウエハの搬送機構等を利用して、収
納室内のウエハを取り出して、該ウエハを受け皿上に載
置した後、該受け皿を支持する移動板をプローバ本体か
ら引き出せば、ウエハを受け皿に載置したまま、他所に
搬送できるので、従来の如く搬送時にウエハを損傷する
心配が全くなくなる。 【０００８】 【実施例】以下、本発明を図示する一実施例に基づいて
詳述すれば、該実施例に係るウエハプローバも、図１に
示す如く、プローバ本体１に複数枚のウエハを収納する
収納室２や測定部１６等を備え、且つ具体的には図示し
ないが、ウエハ３の収納位置からの取出作業、測定部１
６上への載置作業、測定部１６上からの回収作業、及び
収納室２への収納作業を全て自動機構を介して行なうこ
とを前提とするものであるが、特徴とするところは、以
下の構成に存する。 【０００９】即ち、本実施例にあっては、図２乃至図４
に示す如く、プローバ本体１の上記収納室２の下方に空
所４を画成し、該空所４の両側壁夫々に取付用ブラケッ
ト５を介して、上下ガイドローラ６、７を一定の間隔を
おいて配設すると共に、該上下ガイドローラ６、７間に
側面ガイドローラ８を配設して、側面ガイドローラ８に
よる案内規制作用を受けて、上記上下のガイドローラ
６、７間に、移動板９を横方向に引き出し可能に設け
る。 【００１０】又、該移動板９の少なくとも後端部一側
に、上記ブラケット５に当接する前方位ストッパ１０を
固設して、移動板９の前方向への引き出しを規制する構
成となすと共に、上記空所４を画成する底部に、移動板
９の後端凹部面９ａに当接する板ばね式の後方位ストッ
パ１１と、微調整可能な螺子式の後方位ストッパ１２を
夫々固設して、該各ストッパ１１、１２により、移動板
９の後方向への移動を規制する構成を採用している。 【００１１】更に、本実施例にあっては、移動板９の上
面に、所定間隔をおいて複数の支持ピン１３を立設する
一方、ウエハ３を載置する受け皿１４下面の上記ピン１
３と対応する個所に、テーパー案内面を有する係入孔１
５を穿設して、該各係入孔１５に対する支持ピン１３の
係入により、受け皿１４を移動板９上に確実に位置決め
して着脱可能に支持できる構成となっている。尚、受け
皿１４の上面側には、ウエハ３を径に応じて確実に載置
できる円環状の段部を複数形成しておくものとする。 【００１２】依って、斯る構成のウエハプローバにあっ
ても、プローバ本体１の収納位置からウエハ３を取り出
して、該ウエハ３を測定部１６上に載置すれば、ウエハ
３の各チップ毎に測定が可能となることは言うまでもな
い。 【００１３】然し、個々的にマニアル測定をする等の理
由で、収納位置のウエハ３をサンプルとして他所に運ぶ
必要が生じたような場合には、通常の測定に使用される
ウエハ３の搬送機構（図示せず）等を利用して、収納位
置内のウエハ３を取り出して、該ウエハ３を移動板９に
支持されている受け皿１４上に載置した後、特に図４に
示す如く、上記前方位ストッパ１０がブラケット５に当
接するまで、移動板９を自身の把手孔９ｂを介してプロ
ーバ本体１から引き出せば、従来の如くピンセット等を
用いずとも、ウエハ３を受け皿１４と一緒に移動板９か
ら容易に取り出すことが可能となる。 【００１４】従って、本実施例にあっては、ウエハ３を
受け皿１４上に載置したまま他所に搬送できるので、従
来の如く搬送時にウエハ３を損傷する心配が全くなくな
る。尚、ウエハ３の搬送後は、再び支持ピン１３と係入
孔１５を介して、受け皿１４を移動板９に支持して、既
述の後方位ストッパ１１、１２の規制を受けるまで、移
動板９を空所４内に後退させれば、通常のウエハ３の測
定に何らの支障を与える心配も全くない。 【００１５】又、図５に示す如く、移動板９を引き出し
た際に、相互に係合する係合手段１７ａ、１７ｂを、移
動板９の後端部と空所４を画成する底部に夫々設けれ
ば、移動板９を引き出し位置に確実にロックすることが
可能となる。本実施例では、バネにより下方向から移動
版に圧接されたロール１７ａと移動版９の後端部に設け
た係合溝１７ｂとで係合手段を構成しているが、かかる
係合手段は任意に変更可能である。 【００１６】 【発明の効果】以上の如く、本発明によると、複数枚の
ウエハを収納する収納室と測定部を備えたプローバ本体
と、このプローバ本体から本体外に水平移動する移動板
と、この移動板に着脱自在に設けられたウエハ受け皿
と、この受け皿へ１枚のウエハを搬入、搬出するウエハ
搬送機構とを具備したことを特徴とするものであるか
ら、個々的にマニアル測定をする等の理由でウエハをサ
ンプルとして他所に運ぶ必要が生じたような場合、通常
の測定に使用されるウエハの搬送機構等を利用して、収
納位置のウエハを取り出して、該ウエハを受け皿上に載
置した後、該受け皿を支持する移動板をプローバ本体か
ら引き出せば、ピンセット等を用いずとも、ウエハを受
け皿に載置したまま他所に搬送できるので、従来の如く
搬送時にウエハを損傷する心配が全くなくなる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施例に係るウエハプローバを示す概
略図である。 【図２】移動板と受け皿等の関係を示す要部平面図であ
る。 【図３】移動板と受け皿等の関係を示す要部正面図であ
る。 【図４】移動板を引き出した状態を示す要部平面図であ
る。 【図５】移動板を引き出した状態を示す要部側面図であ
る。 【符号の説明】 １ プローバ本体 ２ 収納室 ３ ウエハ ４ 空所 ６ 上ガイドローラ ７ 下ガイドローラ ８ 側面ガイドローラ ９ 移動板 １０ 前方位ストッパ １１、１２ 後方位ストッパ １３ 支持ピン １４ 受け皿 １５ 係入孔 １６ 測定部 １７ｂ 係合溝
略図である。 【図２】移動板と受け皿等の関係を示す要部平面図であ
る。 【図３】移動板と受け皿等の関係を示す要部正面図であ
る。 【図４】移動板を引き出した状態を示す要部平面図であ
る。 【図５】移動板を引き出した状態を示す要部側面図であ
る。 【符号の説明】 １ プローバ本体 ２ 収納室 ３ ウエハ ４ 空所 ６ 上ガイドローラ ７ 下ガイドローラ ８ 側面ガイドローラ ９ 移動板 １０ 前方位ストッパ １１、１２ 後方位ストッパ １３ 支持ピン １４ 受け皿 １５ 係入孔 １６ 測定部 １７ｂ 係合溝
フロントページの続き
(56)参考文献 特開 昭62−51235（ＪＰ，Ａ)
特開 昭61−130124（ＪＰ，Ａ)
特開 昭60−234314（ＪＰ，Ａ)
特開 昭60−113443（ＪＰ，Ａ)
特開 昭59−189643（ＪＰ，Ａ)
特開 昭58−223343（ＪＰ，Ａ)
実開 昭63−22738（ＪＰ，Ｕ)
Claims (1)
- (57)【特許請求の範囲】 １．複数枚のウエハを収納する収納室と測定部を備えた
プローバ本体と、このプローバ本体の内外を水平移動す
る移動板と、この移動板に設けられたウエハ受け皿と、
この受け皿へ１枚のウエハを搬入、搬出するプローバ本
体内に設けられたウエハ搬送機構とを具備し、前記移動
板の後端部に設けたものとプローバ本体に設けたものと
から前方位ストッパを構成し、これらが係合することに
より移動板の前方向への引き出しが規制されていること
を特徴とするプローブ装置。 ２．前記移動板の後端部に設けられたものが係合溝であ
り、プローバ本体に設けられたものが前記係合溝に係合
する部材であることを特徴とする特許請求の範囲第１項
に記載のプローブ装置。 ３．前記プローバ本体の前記収納室の下方に空所を設
け、移動板の一方の側端部を挾む上下ガイドローラの２
組と移動板の他方の側端部を挾む上下ガイドローラの２
組とを前記の空所に配設することを特徴とする特許請求
の範囲第１項又は第２項に記載のプローブ装置。 ４．前記移動板の一方の側端部を挾む上下ガイドローラ
の２組の間と移動板の他方の側端部を挾む上下ガイドロ
ーラの２組の間とにそれぞれ側面ガイドローラを配設す
ることを特徴とする特許請求の範囲第３項に記載のプロ
ーブ装置。 ５．前記空所内に前記移動板の後方への移動を規制する
後方位ストッパを設けたことを特徴とする特許請求の範
囲第３項又は第４項に記載のプローブ装置。 ６．前記後方位ストッパは、板ばね式及びねじ式ストッ
パの少なくとも一方からなることを特徴とする特許請求
の範囲第５項に記載のプローブ装置。 ７．前記移動板と前記受け皿のいずれか一方に支持ピン
を設けると共にいずれか他方に係入孔を設けることを特
徴とする特許請求の範囲第１項から第６項の何れか１項
に記載のプローブ装置。 ８．前記移動板に孔を設けることにより把手を形成する
ことを特 徴とする特許請求の範囲第１項から第７項の何
れか１項に記載のプローブ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6284444A JP2665886B2 (ja) | 1994-10-24 | 1994-10-24 | プローブ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6284444A JP2665886B2 (ja) | 1994-10-24 | 1994-10-24 | プローブ装置 |
Related Parent Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62115554A Division JPS63280434A (ja) | 1987-05-12 | 1987-05-12 | ウエハプロ−バ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07273159A JPH07273159A (ja) | 1995-10-20 |
| JP2665886B2 true JP2665886B2 (ja) | 1997-10-22 |
Family
ID=17678628
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6284444A Expired - Lifetime JP2665886B2 (ja) | 1994-10-24 | 1994-10-24 | プローブ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2665886B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5191312B2 (ja) | 2008-08-25 | 2013-05-08 | 東京エレクトロン株式会社 | プローブの研磨方法、プローブ研磨用プログラム及びプローブ装置 |
Family Cites Families (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58223343A (ja) * | 1982-06-22 | 1983-12-24 | Fujitsu Ltd | 運搬機構 |
| JPS59189643A (ja) * | 1983-04-13 | 1984-10-27 | Fujitsu Ltd | インライン型処理装置 |
| JPS60113443A (ja) * | 1983-11-24 | 1985-06-19 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体ウエハ用トレイ |
| JPS60234314A (ja) * | 1984-05-07 | 1985-11-21 | Agency Of Ind Science & Technol | ウエハ保持構造 |
| JPH0641329B2 (ja) * | 1984-11-30 | 1994-06-01 | キヤノン株式会社 | 搬 送 装 置 |
| JPH0715931B2 (ja) * | 1985-08-30 | 1995-02-22 | キヤノン株式会社 | ウェハ処理装置 |
-
1994
- 1994-10-24 JP JP6284444A patent/JP2665886B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH07273159A (ja) | 1995-10-20 |
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