JP2648623B2 - Magneto-optical recording medium - Google Patents
Magneto-optical recording mediumInfo
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Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、光ビームの照射によって熱磁気的に情報が
記録され、記録された情報を磁気光学効果を用いて読み
出すことが可能な光磁気記録媒体に関する。The present invention relates to a magneto-optical device in which information is recorded thermomagnetically by irradiation of a light beam, and the recorded information can be read out using a magneto-optical effect. It relates to a recording medium.
従来、光磁気記録媒体としては、MnBi、MnCuBiなどの
多結晶体薄膜、GdCo、GdFe、TbFe、DyFe、GdTbFe、TbDy
Feなどの非晶質薄膜、GIGなどの単結晶薄膜などを用い
たものが知られている。これらの薄膜のうち、大面積の
薄膜を室温近傍の温度で作製する製膜性などを勘案し、
最近では、希土類−遷移金属非晶質合金薄膜が光磁気記
録媒体に用いるのに適していると考えられている。Conventionally, magneto-optical recording media include polycrystalline thin films such as MnBi and MnCuBi, GdCo, GdFe, TbFe, DyFe, GdTbFe, and TbDy.
A film using an amorphous thin film such as Fe or a single crystal thin film such as GIG is known. Of these thin films, taking into account the film forming properties of producing large-area thin films at temperatures near room temperature,
Recently, it has been considered that rare earth-transition metal amorphous alloy thin films are suitable for use in magneto-optical recording media.
ところで、一般に光磁気記録媒体には、記録感度の高
いこと、磁気光学効果の大きいこと、更には高い保磁力
を有することが要求される。しかし、上記のごとく薄膜
を用いた場合、単体ではこのような要求を全て満たすこ
とは困難であった。すなわち、補償書き込みが可能なGd
Co、GdFeなどは、比較的キュリー温度が高いため、読み
出し時において、磁気光学効果が大きく、高いS/N比が
得られるが、保磁力が低く、記録された磁区が不安定で
あった。一方、キュリー点書き込みが可能なTbFe、DyFe
は、比較的保磁力が高いため、上記問題は生じないが、
キュリー点が低いため、読み出し時のS/N比が悪くな
る。そこで、これらの欠点を解消するため、二層構成の
光磁気記録媒体が特開昭57−78652号で提案されてい
る。この記録媒体は、垂直磁化可能な低キュリー温度を
有する高保磁力層と垂直磁化可能な高キュリー温度を有
する低保磁力層との二層から成り、高保磁力層と低保磁
力層とは、互いに交換結合しているものである。そし
て、低キュリー温度を有する高保磁力層で情報と保存が
行なわれ、記録された情報は低保磁力層に転写され、高
キュリー温度を有しかつ磁気光学カー回転角の大きな低
保磁力層で情報の読み出しがなされる。Incidentally, a magneto-optical recording medium is generally required to have high recording sensitivity, a large magneto-optical effect, and a high coercive force. However, when a thin film is used as described above, it has been difficult to satisfy all of these requirements by itself. That is, Gd for which compensation writing is possible
Co, GdFe, and the like have a relatively high Curie temperature and thus have a large magneto-optical effect and a high S / N ratio at the time of reading, but have low coercive force and unstable recorded magnetic domains. On the other hand, TbFe, DyFe
Has a relatively high coercive force, so the above problem does not occur.
Since the Curie point is low, the S / N ratio at the time of reading deteriorates. In order to solve these drawbacks, a magneto-optical recording medium having a two-layer structure has been proposed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 57-78652. This recording medium is composed of two layers, a high coercivity layer having a low Curie temperature capable of perpendicular magnetization and a low coercivity layer having a high Curie temperature capable of perpendicular magnetization, and the high coercivity layer and the low coercivity layer are mutually They are exchange-coupled. Then, information and storage are performed in the high coercivity layer having a low Curie temperature, and the recorded information is transferred to the low coercivity layer, and in the low coercivity layer having a high Curie temperature and a large magneto-optical Kerr rotation angle. Reading of information is performed.
さらに、この高保磁力層として鉄族副格子磁化優勢な
希土類−鉄族非晶質合金、低保磁力層としてもやはり鉄
族副格子磁化優勢な希土類−鉄族非晶質合金を用い、両
者の飽和磁化の向きを平行にした光磁気記録媒体が、特
開昭61−117747号により提案されている。Further, the high coercive force layer is made of a rare earth-iron group amorphous alloy having an iron group sublattice magnetization predominance, and the low coercivity layer is also made of a rare earth-iron group amorphous alloy having an iron group sublattice magnetization dominance. A magneto-optical recording medium having saturated magnetization directions parallel to each other has been proposed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 61-117747.
しかしながら、この媒体にも以下に示すような問題点
があった。即ち、交換結合二層膜においては、二層間の
交換相互作用により、各層の磁化過程（保磁力）が単層
のときと比べてかなり変化する。二層化によって変化し
た磁化反転磁界のことをみかけの保磁力と呼ぶことにす
ると、上記特開昭61−117747号の媒体は、低保磁力の見
かけの保磁力は増加し、低保磁力における情報の安定生
は改善される。However, this medium also has the following problems. That is, in the exchange-coupling two-layer film, the magnetization process (coercive force) of each layer is considerably changed by the exchange interaction between the two layers as compared with a single layer. If the magnetization reversal magnetic field changed by the two layers is called an apparent coercive force, the medium of JP-A-61-117747 shows that the apparent coercive force of the low coercive force increases, The stability of information is improved.
ところが、高保磁力層も低保磁力層からの交換相互作
用により磁化過程が変化し、単層膜のときと比べて見か
けの保磁力が減少する。この様子を第３図に示す。図中
で実線は交換結合二層膜の高保磁力層の見かけの保磁力
の温度変化、破線は高保磁力層の単独の保磁力の温度変
化である。図からわかるように、二層化によって高保磁
力層の見かけの保磁力は単独の保磁力よりも小さくな
り、さらにその温度変化もキュリー温度に向かって単調
に減少している。However, the magnetization process of the high coercivity layer also changes due to the exchange interaction from the low coercivity layer, and the apparent coercivity decreases as compared with the case of a single-layer film. This is shown in FIG. In the figure, the solid line indicates the temperature change of the apparent coercive force of the high coercive force layer of the exchange coupling two-layer film, and the broken line indicates the temperature change of the coercive force of the single high coercive force layer. As can be seen from the figure, the apparent coercive force of the high coercive force layer becomes smaller than the single coercive force due to the two layers, and the temperature change monotonically decreases toward the Curie temperature.
一方、一般に光磁気記録媒体の磁性層の理想的な特性
は、第４図に示すようにキュリー温度Tcまでは高い保磁
力を有するものである。その理由は記録ビーム以外の外
乱によって、温度が上昇しても、磁区が安定に保たれる
からである。On the other hand, the ideal characteristics of the magnetic layer of a magneto-optical recording medium generally have a high coercive force up to the Curie temperature Tc as shown in FIG. The reason is that even if the temperature rises due to disturbance other than the recording beam, the magnetic domain is kept stable.
このことから考えると、上記特開昭61−117747号の媒
体は、高保磁力層の見かけの保磁力が減少してしまうの
で、記録情報の安定性に問題があることになる。Considering this fact, the medium of JP-A-61-117747 has a problem in the stability of recorded information because the apparent coercive force of the high coercivity layer is reduced.
本発明の目的は、上記従来技術の問題点を解決し、記
録が容易で読み出し性が良く、更に記録情報の安定性に
も優れた光磁気記録媒体を提供することにある。SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to provide a magneto-optical recording medium which solves the above-mentioned problems of the prior art, is easy to record, has good readability, and has excellent stability of recorded information.
〔問題点を解決するための手段〕 本発明の上記目的は、第１の磁性層及び該第１の磁性
層と交換結合した、第１の磁性層よりも高い保磁力と低
いキュリー温度とを有する第２の磁性層を有する光磁気
記録媒体において、前記第１の磁性層が、鉄族副格子磁
化優勢で、その飽和磁化が25〜125emu/cm3の範囲にある
Gd−Fe−Co非晶質合金により形成し、且つ前記第２の磁
性層が、希土類副格子磁化優勢で、その飽和磁化が25〜
175emu/cm3の範囲にあるＲ−Fe−Co非晶質合金（ＲはTb
及びDyの少なくとも一種の元素）により形成することに
より達成される。[Means for Solving the Problems] The object of the present invention is to provide a first magnetic layer and a higher coercive force and a lower Curie temperature than the first magnetic layer, which are exchange-coupled to the first magnetic layer. In the magneto-optical recording medium having a second magnetic layer, the first magnetic layer is dominant in iron group sublattice magnetization and has a saturation magnetization in the range of 25 to 125 emu / cm 3.
The second magnetic layer is formed of a Gd-Fe-Co amorphous alloy, and the second magnetic layer is predominant in rare-earth sublattice magnetization and has a saturation magnetization of 25 to
R-Fe-Co amorphous alloy in the range of 175 emu / cm 3 (R is Tb
And at least one element of Dy).
以下、本発明を、図面を用いて詳細に説明する。 Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to the drawings.
第１図は、本発明の光磁気記録媒体の一実施態様の構
成を示す略断面図である。図中、１はガラスあるいはプ
ラスチックから成る透明基板を示す。この基板１上には
干渉効果と腐食防止効果を得るための、Si3N4等の誘導
体から成る下引き層が設けられている。更に、この下引
き層２の上に、第１の磁性層３と、この第１の磁性層３
よりも高い保磁力と低いキュリー温度とを有する第２の
磁性層４が形成されている。これらの磁性層は、媒体の
作製時に真空を破ることなく、連続して成膜され、互い
に交換結合している。また、第２の磁性層上にはこれら
の磁性層の腐食を防止するため、Si3N4等の誘電体から
成る保護層が形成されている。FIG. 1 is a schematic sectional view showing the configuration of an embodiment of the magneto-optical recording medium of the present invention. In the figure, reference numeral 1 denotes a transparent substrate made of glass or plastic. An undercoat layer made of a derivative such as Si 3 N 4 is provided on the substrate 1 to obtain an interference effect and a corrosion prevention effect. Further, a first magnetic layer 3 and the first magnetic layer 3 are formed on the undercoat layer 2.
A second magnetic layer 4 having a higher coercive force and a lower Curie temperature is formed. These magnetic layers are continuously formed without breaking the vacuum when the medium is manufactured, and are exchange-coupled to each other. Further, a protective layer made of a dielectric such as Si 3 N 4 is formed on the second magnetic layer in order to prevent corrosion of these magnetic layers.
上記媒体において、第１の磁性層３は、鉄族副格子磁
化優勢で、その飽和磁化が25〜125emu/cm3の範囲にある
Gd−Fe−Co非晶質合金から形成される。一方、第２の磁
性層４はTb−Fe−Co、Dy−Fe−CoまたはTb−Dy−Fe−Co
非晶質合金から形成される。また、この第２の磁性層４
は室温とキュリー温度Tcとの間に、補償温度Tcompが存
在するように、希土類副格子優勢で、その飽和磁化が25
〜175emu/cm3の範囲にあるように形成される。In the above medium, the first magnetic layer 3 has an iron group sublattice magnetization dominance and has a saturation magnetization in the range of 25 to 125 emu / cm 3.
It is formed from a Gd-Fe-Co amorphous alloy. On the other hand, the second magnetic layer 4 is made of Tb-Fe-Co, Dy-Fe-Co or Tb-Dy-Fe-Co
It is formed from an amorphous alloy. The second magnetic layer 4
Is dominated by the rare-earth sublattice so that the compensation temperature T comp exists between room temperature and the Curie temperature Tc, and its saturation magnetization is 25%.
It is formed to be in the range of 175175 emu / cm 3 .
第１の磁性層の膜厚は、100Å〜1000Å、第２磁性層
の膜厚は100〜2000Å、第１と第２の磁性層の膜厚の合
計は500Å〜2000Åの範囲が良い。The thickness of the first magnetic layer is preferably in the range of 100 to 1000, the thickness of the second magnetic layer is in the range of 100 to 2000, and the total thickness of the first and second magnetic layers is preferably in the range of 500 to 2000.
また、好ましくは第１の磁性層の膜厚よりも第３の磁
性層の膜厚が厚い方が良い。Preferably, the thickness of the third magnetic layer is larger than the thickness of the first magnetic layer.
本発明のように交換結合した複数の磁性層を有する媒
体においては、第２の磁性層の保磁力の大きさが記録情
報の安定性を大きく左右する。記録情報の安定性を考え
る場合、室温における保磁力と共にその温度変化につい
ても考える必要がある。それは次のような理由による。
すなわち、光磁気ドライブ装置内は様々な熱の発生源
が存在するので、その中は50〜60℃程度に温度が上昇す
ることがある。さらに、情報の読み出しにおいては、
情報を記録しない程度の弱いレーザー光を媒体に照射し
て読み出しを行なうが、それでもある程度の媒体の温度
上昇は避けられない。ドライブ装置の都合上、記録消
去用のバイアス磁界が印加された状態で読み出しをしな
ければならない場合がある。したがって、50〜60℃程度
のドライブ装置の中でバイアス磁界の印加のもとで、読
み出し光によってさらに媒体の温度が上昇しても、記録
情報が安定である必要がある。In a medium having a plurality of exchange-coupled magnetic layers as in the present invention, the magnitude of the coercive force of the second magnetic layer greatly affects the stability of recorded information. When considering the stability of recorded information, it is necessary to consider not only the coercive force at room temperature but also its temperature change. It is for the following reasons.
That is, since various heat sources are present in the magneto-optical drive device, the temperature may rise to about 50 to 60 ° C. in them. Further, in reading information,
Reading is performed by irradiating the medium with a weak laser beam that does not record information, but a certain degree of temperature rise of the medium is inevitable. For convenience of the drive device, there are cases where reading must be performed in a state where a bias magnetic field for recording and erasing is applied. Therefore, even when the temperature of the medium is further increased by the reading light under the application of a bias magnetic field in a drive device of about 50 to 60 ° C., the recorded information needs to be stable.
この要請に答える記録媒体の理想的な保磁力の温度変
化の様子が、前述の第４図に示すようなものとなる。す
なわち、室温から記録が行なわれるキュリー温度TC付近
まで保磁力が大きいことが必要となる。The ideal coercive force temperature change of the recording medium responding to this request is as shown in FIG. 4 described above. That is, it is necessary that a large coercive force to a vicinity of the Curie temperature T C which are performed recording from room temperature.
第２図は、本発明の第２の磁性層４の保磁力の温度特
性を示す図である。図中で、実線は第１の磁性層３から
の交換相互作用による見かけの保磁力、破線はこのよう
な第２の磁性層４を単独で形成した場合の保磁力を示
す。図からわかるように室温と補償温度Tcompとの間で
は、二層化によって第２の磁性層の見かけの保磁力は単
独の場合より大きくなり、補償温度Tcompとキュリー温
度Tcの間では、二層化によって第２の磁性層の見かけの
保磁力は単独の場合より小さくなっている。これは、補
償温度Tcompとキュリー温度Tcの間では第２の磁性層が
鉄族副格子磁化優勢に変化しているためである。FIG. 2 is a diagram showing the temperature characteristics of the coercive force of the second magnetic layer 4 of the present invention. In the figure, the solid line shows the apparent coercive force due to the exchange interaction from the first magnetic layer 3, and the broken line shows the coercive force when such a second magnetic layer 4 is formed alone. As can be seen from the figure, between room temperature and the compensation temperature T comp , the apparent coercive force of the second magnetic layer becomes larger than in the case of a single layer due to the two layers, and between the compensation temperature T comp and the Curie temperature Tc, Due to the two-layer structure, the apparent coercive force of the second magnetic layer is smaller than that of the single magnetic layer. This is because the second magnetic layer changes to the iron group sublattice magnetization dominant between the compensation temperature Tcomp and the Curie temperature Tc.
このように本発明の媒体では、室温から補償温度まで
見かけの保磁力がかなり大きくなって、補償温度からキ
ュリー温度の間で見かけの保磁力が急激に低下してい
て、第４図に示すような理想的な媒体に近い特性を有し
ている。As described above, in the medium of the present invention, the apparent coercive force becomes considerably large from room temperature to the compensation temperature, and the apparent coercive force decreases rapidly between the compensation temperature and the Curie temperature, as shown in FIG. It has characteristics close to that of an ideal medium.
なお、第２図のような物性を示すために第１と第２の
磁性層に要求される飽和磁化の大きさの前記範囲は実験
（後述の実施例参照）によって得られたものである。The above range of the magnitude of the saturation magnetization required for the first and second magnetic layers in order to exhibit the physical properties as shown in FIG. 2 is obtained by an experiment (refer to an example described later).
第１及び第２の磁性層を、各々の要件を満たすように
するためには、希土類と鉄族元素の組成比を変えて調節
すればよい。補償組成よりも希土類の組成比をふやせ
ば、希土類副格子磁化優勢となり、補償温度が室温以上
に存在する。希土類の組成比をふやすにつれて、補償温
度が上昇し、キュリー温度に近づくが、ふやしすぎる
と、補償温度が仮想的にキュリー温度以上になってしま
うので好ましくない。In order to satisfy the respective requirements of the first and second magnetic layers, the composition may be adjusted by changing the composition ratio between the rare earth element and the iron group element. If the composition ratio of the rare earth element is made larger than the compensation composition, the rare earth sublattice magnetization becomes dominant, and the compensation temperature exists at room temperature or higher. As the composition ratio of the rare earth increases, the compensation temperature rises and approaches the Curie temperature. However, if the composition ratio is too large, the compensation temperature becomes virtually higher than the Curie temperature, which is not preferable.
なお、第１の磁性層が希土類副格子磁化優勢である媒
体は、記録がなされる第２の磁化層のキュリー温度付近
において、第１の磁性層の保磁力が増加するため記録が
非常に困難となり、記録媒体として適当でない。In the medium in which the first magnetic layer has the predominant rare earth sublattice magnetization, recording is very difficult because the coercive force of the first magnetic layer increases near the Curie temperature of the second magnetic layer on which recording is performed. Which is not suitable as a recording medium.
第５図は、第２の磁性層をTb−Fe−Coで形成した場合
のTbの組成ｘ（atomic％）と飽和磁化との関係を示す。
斜線部は、本発明で要する飽和磁化の範囲である。A1、
B1、C1およびD1はそれぞれTb組成をエレクトロンプロー
ブマイクロアナライズ（EPMA）法、プラズマ発光分析
（ICP）法、膜付着速度より算出する方法及び蛍光Ｘ線
分析（XRF）法を用いて検出した場合を示す。分析法に
よって組成範囲にばらつきがあるが、例えば膜付着速度
により算出する方法では、Tbの組成Ｘとして23.8〜27.6
atomic％の範囲を示すものであれば、本発明の媒体が実
現できることになる。また、XRF法では、Tbの組成Ｘと
して20.2〜23.8atomic％の範囲を示すものである。FIG. 5 shows the relationship between the composition x (atomic%) of Tb and the saturation magnetization when the second magnetic layer is formed of Tb-Fe-Co.
The shaded area is the range of the saturation magnetization required in the present invention. A 1 ,
B 1 , C 1, and D 1 are detected using the electron probe microanalysis (EPMA) method, the plasma emission analysis (ICP) method, the method of calculating from the film deposition rate, and the X-ray fluorescence (XRF) method, respectively. The following shows the case. Although the composition range varies depending on the analysis method, for example, in the method calculated by the film deposition rate, the composition X of Tb is 23.8 to 27.6.
The medium of the present invention can be realized if it shows the range of atomic%. In the XRF method, the composition X of Tb shows a range of 20.2 to 23.8 atomic%.
第６図は、同様に第２の磁性層をDy−Fe−Coで形成し
た場合のDyの組成Ｘ（atomic％）と飽和磁化との関係を
示す。A2は、EPMA法を用いた分析結果である。本発明の
ように、室温とキュリー温度との間に補償温度が存在す
るようにするためには、Ｘが23.4〜27.0atomic％の範囲
を示すようにすればよい。FIG. 6 shows the relationship between the composition X (atomic%) of Dy and the saturation magnetization when the second magnetic layer is similarly formed of Dy-Fe-Co. A 2 is an analysis result using the EPMA method. In order to make the compensation temperature exist between the room temperature and the Curie temperature as in the present invention, X should be in the range of 23.4 to 27.0 atomic%.
第７図は、第２の磁性層をTb−Dy−Fe−Coで形成した
場合のTb−Dyの組成Ｘ（atomic％）と飽和磁化との関係
を示す。A3はEPMA法を用いた分析結果である。本発明の
ように室温とキュリー温度とのあの間委に補償温度が存
在するようにするためにはキュリー温度との間の補償温
度が存在するようにするためには、Ｘが23.0〜26.6atom
ic％の範囲を示すようにすればよい。FIG. 7 shows the relationship between the composition X (atomic%) of Tb-Dy and the saturation magnetization when the second magnetic layer is formed of Tb-Dy-Fe-Co. A 3 is an analysis result using the EPMA method. In order that the compensation temperature exists between the room temperature and the Curie temperature as in the present invention, in order for the compensation temperature to exist between the Curie temperature and X, 23.0 to 26.6 atom is required.
ic%.
第８図は、Gd−Fe−Coから成る第１の層におけるGdの
組成Ｚ（atomic％）と飽和磁化との関係を示す図であ
る。斜線部が本発明の要件を満足する飽和磁化の範囲で
ある。B4、C4及びD4は、それぞれGd組成をICP法、膜付
着速度より算出する方法及びXRF法を用いて検出した場
合を示す。例えば、膜付着速度により算出する方法で
は、Gdの組成Ｚが20.0〜22.2atomic％の範囲を示すよう
にすればよい。また、XRF法ではＺが23.5〜25.7atomic
％の範囲を示すようにすればよい。FIG. 8 is a diagram showing the relationship between the composition Z (atomic%) of Gd and the saturation magnetization in the first layer made of Gd—Fe—Co. The shaded area is the range of the saturation magnetization satisfying the requirements of the present invention. B 4 , C 4 and D 4 indicate the cases where the Gd composition was detected using the ICP method, the method of calculating from the film deposition rate, and the XRF method, respectively. For example, in the method of calculating from the film deposition rate, the composition Z of Gd may be set to show a range of 20.0 to 22.2 atomic%. In the XRF method, Z is 23.5 to 25.7 atomic
% May be shown.
また、記録情報の安定性に関しては、第２の磁性層の
キュリー温度も大きく関係する。キュリー温度が高いほ
ど記録情報の安定性は増すが、記録感度が悪くなる。高
保磁力層の望ましいキュリー温度は100℃以上、より望
ましくは130℃以上さらに望ましくは150℃以上である。
ただし、190℃以上となるのは好ましくない。Further, regarding the stability of recorded information, the Curie temperature of the second magnetic layer is also significantly related. The higher the Curie temperature, the higher the stability of the recorded information, but the lower the recording sensitivity. Desirable Curie temperature of the high coercivity layer is 100 ° C. or higher, more preferably 130 ° C. or higher, even more preferably 150 ° C. or higher.
However, it is not preferable that the temperature be 190 ° C. or higher.
第２の磁性層の希土類元素としてTb、Dyを用いるの
は、保磁力を大きくするために非Ｓ状態（角運動量には
スピン角運動量と軌道角運動量の両方があるが、その両
方をもつ場合）の元素を要するからである。Tb−Fe、Dy
−Feのキュリー温度はそれぞれ約130℃、約70℃である
が、さらにCoを添加したものも使用できる。Coの添加す
ることによってキュリー温度を自由に制御することが可
能である。Tb and Dy are used as rare earth elements in the second magnetic layer in the non-S state in order to increase the coercive force (the angular momentum has both the spin angular momentum and the orbital angular momentum. ) Is required. Tb-Fe, Dy
The Curie temperatures of -Fe are about 130 ° C and about 70 ° C, respectively, but those further containing Co can also be used. The Curie temperature can be freely controlled by adding Co.
Tb−（Fe100−YCoY）、Dy−（Fe100−Ｙ′CoＹ′）のキ
ュリー温度はそれぞれ近似的に、 130＋6Y（℃） 70＋6Y′（℃） と表されるので、この式を用いて所望の温度になるよう
にCoを添加すればよい。上記望ましい範囲内にキュリー
温度を設定するには Ｏ＜Ｙ≦10（atomic％） ５≦Ｙ′≦20（atomic％）となる。 Tb- (Fe 100 - Y Co Y ), approximately each Curie temperature of Dy- (Fe 100-Y 'Co Y'), so represented a 130 + 6Y (℃) 70 + 6Y '(℃), the equation It is sufficient to add Co so as to obtain a desired temperature. In order to set the Curie temperature within the above-mentioned desirable range, O <Y ≦ 10 (atomic%) and 5 ≦ Y ′ ≦ 20 (atomic%).
同様に、Tb−Dy−（Fe100−Ｙ″CoＹ″）の場合に
は、 ０＜Ｙ″≦15（atomic％）とすれば良い。Similarly, in the case of Tb−Dy− (Fe 100−Y ″ Co Y ″ ), 0 <Y ″ ≦ 15 (atomic%).
低保磁力層の希土類元素としてGdを用いるのは保磁力
を小さくするためにＳ状態（スピン角運動量のみもつ場
合）の元素を要するからである。Gd−Feのキュリー温度
は約220℃であり、さらにCoを添加することによって、
キュリー温度が上昇し磁気光学カー回転角が増加し、読
み出し特性が良くなる。ただし、Gd−（Fe100-WCoW）に
おいて、Ｗが大きくなるにつれて、鉄族磁気モーメント
が減少し、また、垂直磁気異方性が低下するので、０＜
Ｗ50が望ましい。Gd is used as the rare earth element in the low coercivity layer because an element in the S state (when only spin angular momentum is present) is required to reduce the coercivity. The Curie temperature of Gd-Fe is about 220 ° C, and by adding Co,
The Curie temperature rises, the rotation angle of the magneto-optical Kerr increases, and the reading characteristics are improved. However, in Gd- (Fe 100-W Co W ), as W increases, the iron group magnetic moment decreases and the perpendicular magnetic anisotropy decreases.
W50 is desirable.
実施例１ 130mmφのプリグルーブの付いているポリカーボネー
ト基板上に、酸化防止と干渉効果を得るためにSi3N4を7
00Å、第１の磁性層としてGd−Fe−Coを400Å、第２の
磁性層としてTb−Fe−Coを400Å、そして酸化防止のた
めにSi3N4を700Å順次真空を破ることなく連続してマグ
ネトロンスパッタリング装置を用いて、交換結合二層膜
の光磁気記録ディスクを作製した。Arガス圧は0.15paと
した。磁性層のターゲットにはGd50Co50、TbとFe94Co6
を用い、Gd50Co50とFe94Co6を使ってGd−Fe−Coを作製
し、TbとFe94Co6を使ってTb−Fe−Coを作製した。希土
類と鉄族の組成比はGd50Co50とFe94Co6、あるいはTbとF
e94Co6のターゲットに加える電力を変えることによって
制御し、第２の磁性層、第１の磁性層を各々本発明の要
件を満たすように形成した。Example 1 On a polycarbonate substrate having a pre-groove of 130 mmφ, 7 g of Si 3 N 4 was added to obtain anti-oxidation and interference effects.
00 °, 400 ° of Gd-Fe-Co as the first magnetic layer, 400 ° of Tb-Fe-Co as the second magnetic layer, and 700 ° of Si 3 N 4 for oxidation prevention in succession without breaking vacuum. Using a magnetron sputtering apparatus, a magneto-optical recording disk having an exchange-coupled two-layer film was manufactured. Ar gas pressure was 0.15pa. Gd 50 Co 50 , Tb and Fe 94 Co 6 as targets for the magnetic layer
The use, to prepare Gd-Fe-Co with the Gd 50 Co 50 and Fe 94 Co 6, to prepare a Tb-Fe-Co with the Tb and Fe 94 Co 6. The composition ratio of rare earth and iron group is Gd 50 Co 50 and Fe 94 Co 6 , or Tb and F
The second magnetic layer and the first magnetic layer were formed so as to satisfy the requirements of the present invention by controlling the power by changing the power applied to the e 94 Co 6 target.
電力の範囲は、Gd−Fe−CoではGd50Co50のターゲット
に加える電力を240W（DC）（77Å/min.）一定としたと
き、Fe94Co6のターゲットに加える電力を280W（DC）（5
0Å/min.）以上にすると、鉄族副格子磁化優勢になっ
た。Tb−Fe−CoではTbのターゲットに加える電力を150W
（RF）（36Å/min）一定としたとき、Fe94Co6のターゲ
ットに加える電力を250W（DC）（46Å/min.）以下にす
ると、希土類副格子磁化優勢となった。In the case of Gd-Fe-Co, the power applied to the target of Fe 94 Co 6 is 280 W (DC) when the power applied to the target of Gd 50 Co 50 is 240 W (DC) (77 ° / min.). (Five
Above 0Å / min.), The iron group sublattice magnetization became dominant. For Tb-Fe-Co, the power applied to the Tb target is 150W
When the (RF) (36 ° / min) was constant and the power applied to the Fe 94 Co 6 target was 250 W (DC) (46 ° / min.) Or less, the rare-earth sublattice magnetization became dominant.
なお、Si3N4の成膜速度は約40Å/min、であった。The deposition rate of Si 3 N 4 was about 40 ° / min.
作製されたGd−（Fe100-WCoW）膜のＷは約30atomic％
であり、また交換結合二層膜の界面磁壁エネルギー密度
は約2erg/cm2であり、両者間に良好な交換結合相互作用
が働いていることを確認した。 W of the produced Gd- (Fe 100-W Co W ) film is about 30 atomic%.
The interface domain wall energy density of the exchange-coupling bilayer film was about 2 erg / cm 2 , confirming that a good exchange-coupling interaction was working between the two.
ディスクの記録再生特性は回転数1500rpm、半径60mm
の位置において測定した。The recording and reproducing characteristics of the disc are 1500 rpm, radius 60 mm
Was measured at the position.
Gd−Fe−Co層が鉄族副格子磁化優勢でその飽和磁化が
25emu/cm3〜125emu/cm3、TbFeCo層が希土類副格子磁化
優勢でその飽和磁化が25emu/cm3〜175emu/cm3の範囲で
は、記録感度が約7mW、再生CN比が約57dBであり、良好
な記録再生特性が得られた。Gd-Fe-Co layer dominates iron group sublattice magnetization and its saturation magnetization
In the range of 25emu / cm 3 ~125emu / cm 3 , TbFeCo layer is a saturation magnetization of rare-earth sublattice magnetization dominant 25emu / cm 3 ~175emu / cm 3 , the recording sensitivity is about 7 mW, the reproduction CN ratio is from about 57dB And good recording / reproducing characteristics were obtained.
また、第２の磁性層のTb−Fe−Coのキュリー温度は約
160℃であり、約100℃においても見かけの保磁力が3kOe
以上と高かった。The Curie temperature of Tb-Fe-Co of the second magnetic layer is about
160 ° C, and apparent coercive force is 3kOe even at about 100 ° C
Above was high.
Tcompは飽和磁化の大きさによって異なるが、ほぼ50
〜100℃程度であった。T comp depends on the magnitude of the saturation magnetization, but is approximately 50
~ 100 ° C.
飽和磁化が上記範囲を逸脱すると、第２の磁性層が室
温とキュリー温度との間に補償温度が持つようになら
ず、磁化安定性が低下した。When the saturation magnetization deviated from the above range, the second magnetic layer did not have a compensation temperature between room temperature and the Curie temperature, and the magnetization stability was reduced.
実施例２ 130mmφのプリグルーブの付いているポリカーボネー
ト基板上に、酸化防止と干渉効果を得るためにSi3N4を7
00Å、第１の磁性層としてGd−Fe−Coを400Å、第２の
磁性層としてDy−Fe−Coを400Å、そして酸化防止のた
めにSi3N4を700Å順次真空を破ることなく連続してマグ
ネストロンスパッタリング装置を用いて、交換結合二層
膜の光磁気記録ディスクを作製した。Arガス圧は0.15pa
とした。磁性層のターゲットにはGd50Co50、DyとFe85Co
15を用い、Gd50Co50とFe85Co15を使ってGd−Fe−Coを作
製し、DyとFe85Co15を使ってDy−Fe−Coを作製した。希
土類と鉄族の組成比はGd50Co50とFe85Co15、あるいはDy
とFe85Co15のターゲットに加える電力を変えることによ
って制御し、第２の磁性層、第１の磁性層を各々本発明
の要件を満たすように形成した。Example 2 On a polycarbonate substrate having a pre-groove of 130 mmφ, Si 3 N 4 was coated with 7 to obtain oxidation prevention and interference effects.
00 °, 400 ° of Gd—Fe—Co as the first magnetic layer, 400 ° of Dy—Fe—Co as the second magnetic layer, and 700 ° of Si 3 N 4 for oxidation prevention in succession without breaking the vacuum. Using a Magnestron sputtering apparatus, a magneto-optical recording disk having an exchange-coupled two-layer film was manufactured. Ar gas pressure is 0.15pa
And Gd 50 Co 50 , Dy and Fe 85 Co for magnetic layer targets
With 15, to prepare Gd-Fe-Co with the Gd 50 Co 50 and Fe 85 Co 15, to prepare a Dy-Fe-Co with a Dy and Fe 85 Co 15. The composition ratio of rare earth and iron group is Gd 50 Co 50 and Fe 85 Co 15 , or Dy
And controlled by varying the power applied to the target Fe 85 Co 15, the second magnetic layer was formed to meet the respective requirements of the present invention the first magnetic layer.
電力の範囲は、Gd−Fe−CoではGd50Co50のターゲット
に加える電力を240W（DC）（77Å/min.）一定としたと
き、Fe85Co15のターゲットに加える電力を280W（DC）
（50Å/min.）以上にすると、鉄族副格子磁化優勢にな
った。Dy−Fe−CoではDyのターゲットに加える電力を16
0W（RF）（40Å/min.）一定としたとき、Fe85Co15のタ
ーゲットに加える電力を270W（DC）（50Å/min.）以下
にすると、希土類副格子磁化優勢となった。Range of power, Gd-Fe-Co the power applied at the target of Gd 50 Co 50 240W (DC) (77Å / min.) When the constant, 280 W of power applied to the target Fe 85 Co 15 (DC)
Above (50min / min.), The iron group sublattice magnetization became dominant. In Dy-Fe-Co, the power applied to the Dy target is 16
When 0 W (RF) (40 ° / min.) Was fixed and the power applied to the Fe 85 Co 15 target was 270 W (DC) (50 ° / min.) Or less, the rare-earth sublattice magnetization became dominant.
なお、Si3N4の成膜速度は約40Å/min、磁性層の成膜
速度は約100Å/minであった。The deposition rate of Si 3 N 4 was about 40 ° / min, and the deposition rate of the magnetic layer was about 100 ° / min.
作製されたGd−（Fe100-ZCoZ）膜のＺは約40であり、
また交換結合二層膜の界面磁壁エネルギー密度は約2erg
/cm2であり、両者間に良好な交換結合相互作用が働いて
いることを確認した。The Z of the produced Gd- (Fe 100-Z Co Z ) film is about 40,
The interface domain wall energy density of the exchange-coupled bilayer is about 2 erg.
/ cm 2 , confirming that a good exchange coupling interaction is working between the two.
ディスクの記録再生特性は回転数1500rpm、半径60mm
の位置において測定した。The recording and reproducing characteristics of the disc are 1500 rpm, radius 60 mm
Was measured at the position.
Gd−Fe−Co層が鉄族副格子磁化優勢でその飽和磁化が
25emu/cm3〜125emu/cm3、Dy−Fe−Co層が希土類副格子
磁化優勢でその飽和磁化が25emu/cm3〜175emu/cm3の範
囲では、記録感度が約6.5mW、再生CN比が約58dBであ
り、良好な記録再生特性が得られた。Gd-Fe-Co layer dominates iron group sublattice magnetization and its saturation magnetization
25emu / cm 3 ~125emu / cm 3 , Dy-Fe-Co layer is dominant rare earth sublattice magnetization in a range that the saturation magnetization is 25emu / cm 3 ~175emu / cm 3, the recording sensitivity is about 6.5 mW, reproducing CN ratio Was about 58 dB, and good recording / reproducing characteristics were obtained.
また、第２の磁性層のDy−Fe−Coのキュリー温度は約
150℃であり、約100℃においても見かけの保磁力が2.5k
Oe以上と高かった。The Curie temperature of Dy-Fe-Co of the second magnetic layer is about
150 ° C, apparent coercive force is 2.5k even at about 100 ° C
It was higher than Oe.
Tcompは飽和磁化の大きさによって異なるが、ほぼ50
〜100℃程度であった。T comp depends on the magnitude of the saturation magnetization, but is approximately 50
~ 100 ° C.
飽和磁化が上記範囲を逸脱すると、第２の磁性層が室
温とキュリー温度との間に補償温度を持つようにはなら
ず、磁化安定性が低下した。When the saturation magnetization deviated from the above range, the second magnetic layer did not have a compensation temperature between room temperature and the Curie temperature, and the magnetization stability was reduced.
実施例３ 130mmφのプリグルーブの付いているポリカーボネー
ト基板上に、酸化防止と干渉効果を得るためにSi3N4を7
00Å、第１の磁性層としてGd−Fe−Coを400Å、第２の
磁性層としてTb−Dy−Fe−Coを400Å、そして酸化防止
のためにSi3N4を700Å順次真空を破ることなく連続して
マグネトロンスパッタリング装置を用いて、交換結合二
層膜の光磁気記録ディスクを作製した。Arガス圧は0.15
Paとした。磁性層のターゲットにはGd50Co50、Tb50Dy50
とFe85Co15を用い、Gd50Co50とFe85Co15を使ってGd−Fe
−Coを作製し、Tb50Dy50とFe85Co15を使ってTb−Dy−Fe
−Coを作製した。希土類と鉄族の組成比はGd50Co50とFe
85Co15、あるいはTb50Dy50とFe85Co15のターゲットに加
える電力を変えることによって制御し、第２の磁性層、
第１の磁性層を各々本発明の要件を満たすように形成し
た。Example 3 On a polycarbonate substrate having a pregroove of 130 mmφ, 7 g of Si 3 N 4 was added to obtain anti-oxidation and interference effects.
00 °, 400 ° of Gd-Fe-Co as the first magnetic layer, 400 ° of Tb-Dy-Fe-Co as the second magnetic layer, and 700 ° of Si 3 N 4 to prevent oxidation without breaking vacuum. Continuously, a magneto-optical recording disk having an exchange-coupled two-layer film was manufactured using a magnetron sputtering apparatus. Ar gas pressure is 0.15
Pa was set. Gd 50 Co 50 , Tb 50 Dy 50
Using Fe 85 Co 15 and, Gd 50 using Co 50 and Fe 85 Co 15 Gd-Fe
-Co, and Tb-Dy-Fe using Tb 50 Dy 50 and Fe 85 Co 15
-Co was produced. The composition ratio of rare earth and iron group is Gd 50 Co 50 and Fe
Controlled by changing the power applied to the target of 85 Co 15 , or Tb 50 Dy 50 and Fe 85 Co 15 , the second magnetic layer,
The first magnetic layers were each formed to satisfy the requirements of the present invention.
電力の範囲は、Gd−Fe−CoではGd50Co50のターゲット
に加える電力を240W（DC）（77Å/min.）一定としたと
き、Fe85Co15のターゲットに加える電力を280W（DC）
（50Å/min.）以上にすると、鉄族副格子磁化優勢にな
った。Tb−Dy−Fe−CoではTb50Dy50のターゲットに加え
る電力を150W（RF）（40Å/min.）一定としたとき、Fe
85Co15のターゲットに加える電力を270W（DC）（50Å/m
in.）以下にすると、希土類副格子磁化優勢となった。Range of power, Gd-Fe-Co the power applied at the target of Gd 50 Co 50 240W (DC) (77Å / min.) When the constant, 280 W of power applied to the target Fe 85 Co 15 (DC)
Above (50min / min.), The iron group sublattice magnetization became dominant. In Tb-Dy-Fe-Co, when the power applied to the target of Tb 50 Dy 50 is fixed at 150 W (RF) (40 ° / min.), Fe
85 Co power applied to the 15 target 270W (DC) (50Å / m
In the following, rare earth sublattice magnetization became dominant.
なお、Si3N4の成膜速度は約40Å/min、磁性層の成膜
速度は約100Å/minであった。The deposition rate of Si 3 N 4 was about 40 ° / min, and the deposition rate of the magnetic layer was about 100 ° / min.
作製されたGd−（Fe100-ZCoz）膜のｚは約40であり、
また交換結合二層膜の界面磁壁エネルギー密度は約2erg
/cm2であり、両者間に良好な交換結合相互作用が働いて
いることを確認した。The z of the produced Gd- (Fe 100-Z Co z ) film is about 40,
The interface domain wall energy density of the exchange-coupled bilayer is about 2 erg.
/ cm 2 , confirming that a good exchange coupling interaction is working between the two.
ディスクの記録再生特性は回転数1500rpm、半径60mm
の位置において測定した。The recording and reproducing characteristics of the disc are 1500 rpm, radius 60 mm
Was measured at the position.
Gd−Fe−Co層が鉄族副格子磁化優勢でその飽和磁化が
25emu/cm3〜125emu/cm3、Tb−Dy−Fe−Co層が希土類副
格子磁化優勢でその飽和磁化が25emu/cm3〜175emu/cm3
の範囲では、記録感度が約7.4mW、再生CN比が約58dBで
あり、良好な記録再生特性が得られた。Gd-Fe-Co layer dominates iron group sublattice magnetization and its saturation magnetization
25emu / cm 3 ~125emu / cm 3 , Tb-Dy-Fe-Co layer whose saturation magnetization dominant rare earth sublattice magnetization 25emu / cm 3 ~175emu / cm 3
In the range, the recording sensitivity was about 7.4 mW and the playback CN ratio was about 58 dB, and good recording and playback characteristics were obtained.
また、第２の磁性層のTb−Dy−Fe−Coのキュリー温度
は約170℃であり、約100℃においても見かけの保磁力が
3.7kOe以上と高かった。The Curie temperature of Tb-Dy-Fe-Co of the second magnetic layer is about 170 ° C, and even at about 100 ° C, the apparent coercive force is
It was as high as 3.7kOe or more.
Tcompは飽和磁化の大きさによって異なるが、ほぼ50
〜100℃程度であった。T comp depends on the magnitude of the saturation magnetization, but is approximately 50
~ 100 ° C.
飽和磁化が上記範囲を逸脱すると、第２の磁性層が室
温とキュリー温度との間に補償温度を持つようにはなら
ず、磁化安定性が低下した。When the saturation magnetization deviated from the above range, the second magnetic layer did not have a compensation temperature between room temperature and the Curie temperature, and the magnetization stability was reduced.
比較例１ 実施例１の比較例としては同じターゲットを用いて、
Tb−Fe−Co層を形成する際に、Fe94Co6のターゲットに
加える電力を250W（DC）（46Å/min.）以上にする他は
同様にしてディスクを作製し、Gd−Fe−Co層は鉄族副格
子磁化優勢でその飽和磁化が25emu/cm3〜125emu/cm3、T
b−Fe−Co層も鉄族副格子磁化優勢でその飽和磁化が25e
mu/cm3〜125emu/cm3であった。このディスクに記録再生
を行ったところ、記録感度が約6.5mW、再生CN比が約59d
Bであり、良好な記録再生特性が得られたが、第２の磁
性層のTb−Fe−Coの約100℃における見かけの保磁力が1
kOe以下と低かった。Comparative Example 1 As a comparative example of Example 1, using the same target,
When forming the Tb-Fe-Co layer, a disk was prepared in the same manner except that the electric power applied to the target of Fe 94 Co 6 was set to 250 W (DC) (46 ° / min.) Or more, and Gd-Fe-Co layer is a saturation magnetization and iron group dominant sublattice magnetization 25emu / cm 3 ~125emu / cm 3 , T
The b-Fe-Co layer is also dominant in the iron group sublattice magnetization and its saturation magnetization is 25e
It was mu / cm 3 ~125emu / cm 3 . When recording and reproducing on this disc, the recording sensitivity was about 6.5 mW and the playback CN ratio was about 59 d
B, and good recording / reproducing characteristics were obtained, but the apparent coercive force at about 100 ° C. of Tb—Fe—Co of the second magnetic layer was 1
It was as low as kOe or less.
比較例２ 実施例１の比較例として、同じターゲットを用いて、
Gd−Fe−Co層を形成する際に、Fe94Co6のターゲットに
加える電力を280W（DC）（50Å/min.）以上とした他は
同様にしてディスクを作製した。Gd−Fe−Co層は希土類
副格子磁化優勢でその飽和磁化が10emu/cm3〜125emu/cm
3であった。このディスクに記録再生を行ったところ、T
b−Fe−Co層の組成に関係なく記録感度が約9mW、再生CN
比が40〜50dBであり、良好な記録・再生特性が得られな
かった。Comparative Example 2 As a comparative example of Example 1, using the same target,
When forming the Gd-Fe-Co layer, a disk was prepared in the same manner except that the power applied to the target of Fe 94 Co 6 was 280 W (DC) (50 ° / min.) Or more. Gd-Fe-Co layer is a rare earth sublattice magnetization is dominant at the saturation magnetization is 10emu / cm 3 ~125emu / cm
Was 3 . When recording and playing back on this disc, T
Regardless of the composition of the b-Fe-Co layer, the recording sensitivity is about 9 mW,
The ratio was 40 to 50 dB, and good recording / reproducing characteristics could not be obtained.
本発明は、以上説明した実施例の他にも種々の応用が
可能である。例えば、第３図示の構成の保護層の上に、
更にAl等から成る金属反射層を設けたり、接着剤を介し
て保護プレートを貼り合わせたりして良い。また、媒体
の形状もディスクに限らず、カード状あるいはテープ状
にしても良い。本発明は特許請求の範囲を逸脱しない限
りにおいて、このような応用例の全て包含する。The present invention can be applied to various applications other than the embodiment described above. For example, on the protective layer having the configuration shown in FIG.
Further, a metal reflective layer made of Al or the like may be provided, or a protective plate may be bonded via an adhesive. Further, the shape of the medium is not limited to a disk, but may be a card shape or a tape shape. The present invention covers all such applications without departing from the scope of the claims.
以上詳細に説明したように、光磁気記録用交換結合二
層膜において、高保磁力を示す第２の磁性層として室温
とキュリー温度との間に補償温度を有する希土類副格子
磁化優勢な希土類−鉄族非晶質合金を、低保磁力を示す
第１の磁性層として鉄族副格子磁化優勢な希土類−鉄族
非晶質合金を用い、更に所定の要件を満たすようにする
ことにより、記録・再生特性に優れ、かつ記録情報の安
定性に優れた光磁気記録媒体を得ることができるように
なった。As described in detail above, in the exchange-coupled two-layer film for magneto-optical recording, as the second magnetic layer having a high coercive force, the rare-earth-lattice-dominant rare earth-iron having a compensation temperature between room temperature and Curie temperature is used. By using a group III amorphous alloy as a first magnetic layer exhibiting a low coercive force, a rare earth-iron group amorphous alloy predominant in iron group sublattice magnetization is used, and furthermore, a predetermined condition is satisfied. It has become possible to obtain a magneto-optical recording medium having excellent reproduction characteristics and excellent stability of recorded information.
第１図は本発明の光磁気記録媒体の一実施態様の構成を
示す略断面図、第２図は本発明の媒体における第２の磁
性層の温度変化を示す図、第３図は従来の光磁気記録媒
体における高保磁力層の保磁力の温度変化を示す図、第
４図は光磁気記録媒体の磁性層の保磁力の理想的な特性
を示す図、第５図乃至第７図はそれぞれ本発明の媒体に
おける第２の磁性層の希土類元素の組成と飽和磁界との
関係を示す図、第８図は本発明の媒体における第１の磁
性層の希土類元素の組成と飽和磁化との金木を示す図で
ある。 １……基板、２……下引き層、３……第１の磁性層、４
……第２の磁性層、５……保護層。FIG. 1 is a schematic cross-sectional view showing the configuration of an embodiment of the magneto-optical recording medium of the present invention, FIG. 2 is a diagram showing a temperature change of a second magnetic layer in the medium of the present invention, and FIG. FIG. 4 is a diagram showing the temperature change of the coercive force of the high coercive force layer in the magneto-optical recording medium, FIG. 4 is a diagram showing ideal characteristics of the coercive force of the magnetic layer of the magneto-optical recording medium, and FIGS. FIG. 8 shows the relationship between the composition of the rare earth element in the second magnetic layer and the saturation magnetic field in the medium of the present invention. FIG. 8 shows the relationship between the composition of the rare earth element and the saturation magnetization of the first magnetic layer in the medium of the present invention. It is a figure showing a tree. DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... board | substrate, 2 ... undercoat layer, 3 ... 1st magnetic layer, 4
... Second magnetic layer, 5... Protective layer.
Claims (1)
合した、第１の磁性層よりも高い保磁力と低いキュリー
温度とを有する第２の磁性層を有する光磁気記録媒体に
おいて、 前記第１の磁性層が、鉄族副格子磁化優勢で、その飽和
磁化が25〜125emu/cm3の範囲にあるGd−Fe−Co非晶質合
金から成り、且つ前記第２の磁性層が、希土類副格子磁
化優勢で、その飽和磁化が25〜175emu/cm3の範囲にある
Ｒ−Fe−Co非晶質合金（ＲはTb及びDyの少なくとも一種
の元素）から成ることを特徴とする光磁気記録媒体。1. A magneto-optical recording medium having a first magnetic layer and a second magnetic layer exchange-coupled to the first magnetic layer and having a higher coercive force and a lower Curie temperature than the first magnetic layer. in the first magnetic layer is iron family sublattice magnetization dominant, become a saturation magnetization from Gd-Fe-Co amorphous alloy in the range of 25~125emu / cm 3, and the second magnetic layer, the rare-earth sublattice magnetization dominant, characterized in that it consists of R-Fe-Co amorphous alloy in which the saturation magnetization is in the range of 25~175emu / cm 3 (at least one element of R is Tb and Dy) Magneto-optical recording medium.
Priority Applications (1)
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|---|---|---|---|
| JP20957588A JP2648623B2 (en) | 1987-08-25 | 1988-08-25 | Magneto-optical recording medium |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| JP20929987 | 1987-08-25 | ||
| JP62-209299 | 1987-08-25 | ||
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Publications (2)
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|---|---|
| JPH01133243A JPH01133243A (en) | 1989-05-25 |
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ID=26517357
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|---|---|---|---|
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- 1988-08-25 JP JP20957588A patent/JP2648623B2/en not_active Expired - Fee Related
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