JP2644066B2 - 半導体装置の製造方法 - Google Patents

半導体装置の製造方法

Info

Publication number
JP2644066B2
JP2644066B2 JP2149374A JP14937490A JP2644066B2 JP 2644066 B2 JP2644066 B2 JP 2644066B2 JP 2149374 A JP2149374 A JP 2149374A JP 14937490 A JP14937490 A JP 14937490A JP 2644066 B2 JP2644066 B2 JP 2644066B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
manufacturing
semiconductor device
abnormality
automatically
conditions
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP2149374A
Other languages
English (en)
Other versions
JPH0444208A (ja
Inventor
陽一 澄川
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
YAMAGUCHI NIPPON DENKI KK
Original Assignee
YAMAGUCHI NIPPON DENKI KK
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by YAMAGUCHI NIPPON DENKI KK filed Critical YAMAGUCHI NIPPON DENKI KK
Priority to JP2149374A priority Critical patent/JP2644066B2/ja
Publication of JPH0444208A publication Critical patent/JPH0444208A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP2644066B2 publication Critical patent/JP2644066B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
    • Y02P90/00—Enabling technologies with a potential contribution to greenhouse gas [GHG] emissions mitigation
    • Y02P90/02—Total factory control, e.g. smart factories, flexible manufacturing systems [FMS] or integrated manufacturing systems [IMS]

Landscapes

  • Multi-Process Working Machines And Systems (AREA)
  • General Factory Administration (AREA)
  • Control By Computers (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、半導体（集積回路）装置の製造方法に関
し、特に品質の安定化技術と、生産性の向上に関する。
〔従来の技術〕
従来、この種の技術は、人が−Ｒ管理図等を作成し
て、異常を検知し、その結果をその前工程もしくは後工
程へ連絡して、製造条件の変更等を行っていた。
〔発明が解決しようとする課題〕
上述した従来の方法では、次のような問題点がある。
１） 人が−Ｒ管理図等を作成することは、半導体集
積回路装置の製造に於いては、その種類が非常に多い為
に、煩雑な作業となる。
２） 人が管理図等によって異常を検知するので、個人
差等により検知精度が不安定である。
３） 異常は、その内容によって、その時の半導体集積
回路装置のみの製造条件を変更したり、それ以後のその
製造条件を全て変更したり様々なケースがある。その
為、これらの条件変更を適切に管理することは非常に煩
雑である。
〔発明の従来技術に対する相違点〕
上述した従来の製造方法は、経験や勘等のノウハウに
たよった人による異常感知でありまた条件変更である。
これに対して本発明はコンピュータでそれらのことが
代替えできるようにシステム化，標準化し、それによっ
て異常検知や製造条件変更を自動化したという相違点を
有する。
〔課題を解決するための手段〕
本発明の半導体装置の製造方法は、 a:管理する必要のあるデータをコンピュータに入力して
おき、それによってコンピュータの画面上に管理図等の
グラフを任意に出力させる。
b:異常の検知精度を一定に保つ為、コンピュータによっ
て変動傾向を統計処理したその結果及び管理限界等の規
格以外の管理線を用いて、収集したデータがそれら管理
線から何点中何点外れるかという外れ方の状況、また単
調増加、減少、同じようなデータの集まり（連），セン
ター値片側の集中が、事前に決められた異常判定基準に
適合するか否かによって自動的に異常を判定する。
c:管理限界を外れた、単調増加した等の自動検知された
異常によって、事前にその工程及び前工程や後工程の製
造条件をどのように変更するかコンピュータに設定して
おき、それによって異常発生と同時に製造条件の変更を
自動的に行う。
等を有している。
〔実施例〕
次に本発明について図面，表を参照して説明する。
第１図は、本発明の概略である。それぞれの設備２
は、それらを統合管理するコンピュータ１に接続されて
おり、設備で収集されたデータは、コンピュータに収集
される。そのデータによって異常が発生した場合は、そ
の設備へ異常表示のアラームを表示し、それとともに他
の設備へ製造条件の変更を反映させる。
表１は、異常判定の為の条件設定例である。判定基準
“1/1"は、報告されたデータが１点でも異常判定項“規
格はずれ”に該当すると異常と判定される。判定基準
“2/3"は過去３点中２点が該当すると異常と判定され、
“7/7"は７点中７点が該当すると異常と判定されること
を示す。
表２は、設備Ａで異常が発生した時の製造条件の変更
例を示したものである。
【図面の簡単な説明】
第１図は本発明の実施例を示すブロック図である。 １……コンピュータ、２……設備。

Claims (3)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】半導体装置の製造工程に於いて、製造履歴
    を一定量収集し、その履歴をそれぞれの工程あるいは、
    設備単位に統計解析することにより、製造工程の変動傾
    向を自動的に感知することによってあらかじめ設定して
    おいたプログラムによって、変動を自動的に補正するア
    クションをコンピュータを通して工程の条件あるいは設
    備条件へフィードバックすることを特徴とする半導体装
    置の製造方法。
  2. 【請求項２】変動傾向を統計処理したその結果及び管理
    限界等の規格以外の管理線を用いて、収集したデータが
    それら管理線から何点中何点外れるかという外れ方の状
    況、また単調増加、減少、同じようなデータの集まり、
    センター値片側の集中が、事前に決めた異常判定基準に
    適合するか否かによって自動的に異常を判定するコンピ
    ュータによる自動検知を行うことを特徴とする特許請求
    の範囲第（１）項記載の半導体装置の製造方法。
  3. 【請求項３】管理限界を外れた単調増加した等の自動検
    知された異常によって、事前にその前工程や後工程の製
    造条件をどのように変更するか設定しておき、それによ
    って異常発生と同時に製造条件の変更を自動的に行うこ
    とを特徴とする特許請求の範囲第（１）項もしくは第
    （２）項に記載の半導体装置の製造方法。
JP2149374A 1990-06-07 1990-06-07 半導体装置の製造方法 Expired - Fee Related JP2644066B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2149374A JP2644066B2 (ja) 1990-06-07 1990-06-07 半導体装置の製造方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2149374A JP2644066B2 (ja) 1990-06-07 1990-06-07 半導体装置の製造方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH0444208A JPH0444208A (ja) 1992-02-14
JP2644066B2 true JP2644066B2 (ja) 1997-08-25

Family

ID=15473737

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2149374A Expired - Fee Related JP2644066B2 (ja) 1990-06-07 1990-06-07 半導体装置の製造方法

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2644066B2 (ja)

Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6240330B1 (en) 1997-05-28 2001-05-29 International Business Machines Corporation Method for feedforward corrections for off-specification conditions
JP4044443B2 (ja) * 2001-04-27 2008-02-06 東京エレクトロン株式会社 半導体製造装置の遠隔保守システム，工場側クライアント，ベンダ側サーバ，記憶媒体，プログラムおよび半導体製造装置の遠隔保守方法
JP2003077782A (ja) * 2001-08-31 2003-03-14 Toshiba Corp 半導体装置の製造方法
KR100987797B1 (ko) * 2008-10-31 2010-10-13 세메스 주식회사 반도체 제조 설비의 제어 시스템 및 알람 처리 방법

Also Published As

Publication number Publication date
JPH0444208A (ja) 1992-02-14

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US7054699B2 (en) Process management system and production management system
CN110866786A (zh) 一种货量预测方法、装置、电子设备及存储介质
CN111754113A (zh) 生产加工过程中调度排班排产自动控制方法、***及介质
US7957821B2 (en) Systems and methods for statistical process control
WO1990007163A1 (en) Attribute inductive data analysis
JP2644066B2 (ja) 半導体装置の製造方法
US20190244843A1 (en) Data processing method, data processing apparatus, data processing system, and recording medium having recorded therein data processing program
JP6961850B1 (ja) 稼働監視装置、及び稼働監視方法
CN111823056A (zh) 工件在线检测方法、装置及计算机可读储存介质
JP2020077216A (ja) 製造の管理を支援するシステム及び方法
US6947801B2 (en) Method and system for synchronizing control limit and equipment performance
CN101191932A (zh) 一种液晶屏生产中辅助进行统计过程控制的方法及装置
JP2793442B2 (ja) 半導体ウェーハ生産ラインの管理方法
US20190196451A1 (en) Cutting condition verification device
JP2644066C (ja)
JP2002323924A (ja) 不良装置検出方法、不良装置検出装置、プログラム及び製品の製造方法
CN113568950A (zh) 一种指标检测方法、装置、设备及介质
US20030187533A1 (en) Process managing apparatus for managing production process including production fluctuation process
JP2720475B2 (ja) 品質管理システム
CN117236682B (zh) 工业自动化控制方法及***
JPH10301995A (ja) 原価管理装置
JPH05290053A (ja) 多品種少量生産管理システムにおける流し化情報の提供方法
JP2002333919A (ja) 生産管理システムの判定値算出装置、方法及び記録媒体
JPH06104154A (ja) 自動品質管理システム
JPH0784613A (ja) 製造装置の保守管理方法

Legal Events

Date Code Title Description
R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

S531 Written request for registration of change of domicile

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313532

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

S111 Request for change of ownership or part of ownership

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090502

Year of fee payment: 12

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090502

Year of fee payment: 12

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100502

Year of fee payment: 13

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees