JP2640690B2 - 移動ステージ - Google Patents
移動ステージInfo
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- JP2640690B2 JP2640690B2 JP1188087A JP18808789A JP2640690B2 JP 2640690 B2 JP2640690 B2 JP 2640690B2 JP 1188087 A JP1188087 A JP 1188087A JP 18808789 A JP18808789 A JP 18808789A JP 2640690 B2 JP2640690 B2 JP 2640690B2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- stage
- orthogonal
- linear guide
- pin
- attached
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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- Details Of Measuring And Other Instruments (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Description
この発明は、例えばXYステージ等の移動ステージに関
する。
する。
半導体検査装置においては、測定用ステージを検査対
象となるウェーハやデバイスを受け取る位置からテスト
を行うテスト位置まで移動させると共に、テストピンと
ウェーハやデバイスのテストパッドとの位置合わせを行
うために、測定用ステージをXYZθステージの構造とす
る。 すなわち、測定用ステージのウェーハやデバイスを真
空吸引するチャック(載置台)は、チャック保持部材に
よりその載置面方向θに回転可能とされると共に、Z方
向(載置台を昇降させる方向)に移動可能とされる。そ
して、チャック保持部材は、Xステージ上に取り付けら
れる。Xステージは、Z方向に垂直な平面上のX方向に
伸びるXレールに移動可能に取り付けられる。Xレール
は、Z方向に垂直な平面上であって、X方向とは直交す
るY方向に、このXステージを移動可能とするYステー
ジ上に取り付けられる。 Yステージは、Y方向に延長されるYレールに、この
Yレールに移動可能に取り付けられるリニアガイドを介
して取り付けられる。 この場合に、検査対象物の位置合わせを正確に行うた
めには、X方向及びY方向の移動が正しく直交するよう
にXステージ,Yステージの移動方向を調整しなければな
らない。これは、XステージはYステージに上に取り付
けられているから、Yレールに対するYステージの取り
付け方向を調整することによりできる。 従来、このX方向とY方向の直交調整は、Yステージ
の底面のリニアガイドとの取り付け面に設けた直交位置
決め用ガイド片を用いて行っている。すなわち、直交位
置決め用ガイド片は、Yステージをリニアガイドに取り
付けたとき、リニアガイドのY方向に平行な面に対接す
るように設けられている。そして、Yステージをリニア
ガイドにねじ止め等、固定する前に、この直交位置決め
用ガイド片を、リニアガイドのY方向に平行な面に押し
当てて、Yステージ上のXレールが、Yレールに正しく
直交するように方向調整している。
象となるウェーハやデバイスを受け取る位置からテスト
を行うテスト位置まで移動させると共に、テストピンと
ウェーハやデバイスのテストパッドとの位置合わせを行
うために、測定用ステージをXYZθステージの構造とす
る。 すなわち、測定用ステージのウェーハやデバイスを真
空吸引するチャック(載置台)は、チャック保持部材に
よりその載置面方向θに回転可能とされると共に、Z方
向(載置台を昇降させる方向)に移動可能とされる。そ
して、チャック保持部材は、Xステージ上に取り付けら
れる。Xステージは、Z方向に垂直な平面上のX方向に
伸びるXレールに移動可能に取り付けられる。Xレール
は、Z方向に垂直な平面上であって、X方向とは直交す
るY方向に、このXステージを移動可能とするYステー
ジ上に取り付けられる。 Yステージは、Y方向に延長されるYレールに、この
Yレールに移動可能に取り付けられるリニアガイドを介
して取り付けられる。 この場合に、検査対象物の位置合わせを正確に行うた
めには、X方向及びY方向の移動が正しく直交するよう
にXステージ,Yステージの移動方向を調整しなければな
らない。これは、XステージはYステージに上に取り付
けられているから、Yレールに対するYステージの取り
付け方向を調整することによりできる。 従来、このX方向とY方向の直交調整は、Yステージ
の底面のリニアガイドとの取り付け面に設けた直交位置
決め用ガイド片を用いて行っている。すなわち、直交位
置決め用ガイド片は、Yステージをリニアガイドに取り
付けたとき、リニアガイドのY方向に平行な面に対接す
るように設けられている。そして、Yステージをリニア
ガイドにねじ止め等、固定する前に、この直交位置決め
用ガイド片を、リニアガイドのY方向に平行な面に押し
当てて、Yステージ上のXレールが、Yレールに正しく
直交するように方向調整している。
ところで、最近は、半導体デバイスの高密度化、高集
積化により、半導体デバイスのテストパッドピッチが非
常に狭くなってきている。このようになると、X−Y直
交方向の調整は、非常に高精度に行う必要がある。 ところが、上述したような、従来のX−Yステージに
よるX−Y直交調整方法では、比較的ラフな精度での直
交補償は可能であるが、上記のような狭ピッチの半導体
デバイスの検査装置のX−Yステージで必要とする精度
で、直交調整を行うことができない欠点がある。 この発明は、以上の点に鑑み、互いに交差する2方向
に移動可能な移動ステージにおいて、非常に高精度で、
上記2方向間の交差角の調整ができるようにした移動ス
テージを提供しようとすることを目的とする。
積化により、半導体デバイスのテストパッドピッチが非
常に狭くなってきている。このようになると、X−Y直
交方向の調整は、非常に高精度に行う必要がある。 ところが、上述したような、従来のX−Yステージに
よるX−Y直交調整方法では、比較的ラフな精度での直
交補償は可能であるが、上記のような狭ピッチの半導体
デバイスの検査装置のX−Yステージで必要とする精度
で、直交調整を行うことができない欠点がある。 この発明は、以上の点に鑑み、互いに交差する2方向
に移動可能な移動ステージにおいて、非常に高精度で、
上記2方向間の交差角の調整ができるようにした移動ス
テージを提供しようとすることを目的とする。
この発明によるXYステージは、 所定の角度を以て交差する第1方向及び第2方向のう
ちの第1方向に移動可能に取り付けられる第1のステー
ジと、 上記第2方向に延長されるレールに移動可能に嵌合さ
れるリニアガイドと、 上記第1のステージが取り付けられると共に、上記リ
ニアガイドに取り付けられ、上記第2方向に移動可能と
される第2のステージとを有する移動ステージにおい
て、 上記第2のステージは、上記リニアガイド上の1点の
位置において、1本のピンにより上記第1方向及び第2
方向を含む平面方向に回動可能に取り付けるようにする
と共に、 上記ピンを回動中心とした上記第2のステージの回動
位置を調整する方向調整手段を設けたことを特徴とす
る。
ちの第1方向に移動可能に取り付けられる第1のステー
ジと、 上記第2方向に延長されるレールに移動可能に嵌合さ
れるリニアガイドと、 上記第1のステージが取り付けられると共に、上記リ
ニアガイドに取り付けられ、上記第2方向に移動可能と
される第2のステージとを有する移動ステージにおい
て、 上記第2のステージは、上記リニアガイド上の1点の
位置において、1本のピンにより上記第1方向及び第2
方向を含む平面方向に回動可能に取り付けるようにする
と共に、 上記ピンを回動中心とした上記第2のステージの回動
位置を調整する方向調整手段を設けたことを特徴とす
る。
以上のような構成のこの発明による移動ステージにお
いては、方向調整手段を調整すると、第2のステージが
ピンを回動中心として回動する。すると、第2のステー
ジ上の第1のステージの移動方向と、レールの方向、す
なわち第2のステージの移動方向とがなす交差角度が変
わる。すなわち、方向調整手段により、2移動方向の交
差角が所定のものとなるように、微細に調整することが
できる。
いては、方向調整手段を調整すると、第2のステージが
ピンを回動中心として回動する。すると、第2のステー
ジ上の第1のステージの移動方向と、レールの方向、す
なわち第2のステージの移動方向とがなす交差角度が変
わる。すなわち、方向調整手段により、2移動方向の交
差角が所定のものとなるように、微細に調整することが
できる。
以下、この発明による移動ステージの一実施例を、半
導体検査装置の測定用ステージに用いられるX−Yステ
ージの場合を例にとって、図を参照しながら説明しよ
う。 第1図は、この発明の一実施例のX−Yステージの一
例の構造を示すもので、1はXステージ、2はYステー
ジである。 図示しないが、Xステージ1にはチャック保持部材が
設けられ、このチャック保持部材には被検査体の載置台
(チャック)が取り付けられている。そして、載置台
は、チャック保持部材により、前述したようにZ−θ方
向に移動可能とされている。 そして、Xステージ1及びYステージ2は、外観が直
方体とされており、Yステージ2上に、Xステージ1が
乗る構造となっている。すなわち、Yステージ2上に
は、X方向に延長された互いに平行な2本のレール3,4
が設けられる。そして、このレール3,4の形状に応じた
形状の凹溝を有する4個のリニアガイド5A,5B,5C,5D
が、各1本のレール3,4に2個づつ、移動可能に嵌合さ
れている。 そして、この4個のリニアガイド5A〜5DがXステージ
1の底面の4隅にねじ止め等されることにより取り付け
られる。 また、Xステージ1の底面には、図示しないが、X方
向に延長するボールねじが取り付けられており、このボ
ールねじをX方向駆動モータにより回転させることによ
り、Xステージ1がXレール3,4に案内されてX方向に
移動するようにされる。 また、基台6には、Y方向に延長される互いに平行
な、対のYレール7,8が取り付けられている。そして、
このYレール7,8には、このYレール7,8の形状に応じた
形状の凹溝を有する4個のリニアガイド9A,9B,9C,9D
が、各1本のレール7,8に、2個づつ、移動可能に嵌合
されて取り付けられている。そして、この4個のリニア
ガイド9A〜9DがYステージ2の底面の4隅に、ねじ止め
等されることにより取り付けられている。 そして、Yステージ2の底面の中央部には、Y方向に
伸びるボールねじ10が取り付けられており、このボール
ねじ10をY方向駆動モータ回転させることにより、Yス
テージ2がYレール7,8に案内されて、Y方向に移動す
るようにされるものである。 第2図は、Yステージ2を取り外した状態で、基台5
上のYレール7,8及び4個のリニアガイド9A〜9Dを上か
ら見た図で、4個のリニアガイド9A,9B,9C,9Dには、Y
ステージ2に取り付けるための4個のねじ孔11がそれぞ
れ設けられている。また、4個のリニアガイド9A,9B,9
C,9Dのうちの1個のリニアガイド9Aの中央には、ピン13
(第1図参照)が挿入されるピン挿入孔12が穿かれてい
る。 一方、第3図は、Yステージ2の底面を示す図で、そ
の4隅2A,2B,2C,2Dにはリニアガイド9A,9B,9C,9Dのねじ
孔11の位置に対応した4個ずつのねじ孔14が設けられる
と共に、その1隅2Aのリニアガイド9Aの取り付け位置に
対応する位置の、リニアガイド9Aのピン挿入孔12に対応
する位置に、ピン13が挿入されるピン挿入孔15が設けら
れる。 また、Yステージ2の底面の1隅2AとY方向に並ぶ1
隅2Bの位置には、互いに平行な直交位置決め用ガイド片
16,17が、その長辺方向がY方向になるように取り付け
られる。この場合、リニアガイド9Bにこの部分を取り付
けたとき、直交位置決め用ガイド片16,17が、リニアガ
イド9Bを挾むようにすると共に、リニアガイド9BのY方
向に平行な面にそれぞれ対接するようにされる。 さらに、直交位置決め用ガイド片16,17のそれぞれに
は、第4図にも示すように、Yステージ2の底面に平行
な方向に凹溝18,19がそれぞれ設けられ、この凹溝18,19
内に平板状の直交調整部材20,21が設けられる。この直
交調整部材20,21は、それぞれ一端がYステージ2に直
交する方向のピン22,23によって回動自在に、凹溝18,19
内に取り付けられる。そして、直交調整部材20,21のピ
ン22,23とは反対側の端部は、第5図に示すように、Y
方向に対して斜めのテーパ辺24,25とされる。そして、
直交調整用ねじ26,27の先端が、この直交調整部材20,21
のテーパ辺24,25に当接するように、直交位置決め用ガ
イド片16,17には、その凹溝18,19内にY方向に連通する
ねじ孔28,29がそれぞれ設けられる。 したがって、直交調整用ねじ26,27を凹溝18,19内に押
し込む方向に捩じ込むと、直交調整部材20,21がピン22,
23を回動中心として回動し、テーパ辺側が凹溝18,19か
ら第5図で一点鎖線で示すように、外部に突出する。こ
の場合、直交調整部材20,21は、テーパ辺側が外部に突
出したとき、これがそれぞれリニアガイド9Bの側面を押
圧するように、直交位置決め用ガイド片16,17に取り付
けられている。 なお、第3図で、30はボールねじ取り付け用ねじ孔で
ある。 以上の構成のX−Yステージにおいて、直交調整する
動作について、以下説明する。 先ず、リニアガイド9Aのピン挿入孔12にピン13を挿入
しておく。次に、Xステージ1が取り付けられたYステ
ージ2を、Yレール7,8に取り付けられているリニアガ
イド9A,9B,9C,9D上に、互いのねじ孔11,14の位置が一致
するように載置する。このとき、Yステージ2の底面の
1隅2Aのピン挿入孔15に、リニアガイド9Aのピン挿入孔
12に挿入されているピン13が、挿入されるようにすると
共に、リニアガイド9Bを直交位置決め用ガイド辺16,17
が挾むようにする。この状態で、Yステージ2は、X方
向とY方向との直交が従来と同精度で、調整されること
になる。 この発明では、さらに次のようにして、さらに細かい
調整が行なわれる。 すなわち、この例の場合、Xステージ1上には、接眼
レンズに第6図に示すようなターゲットマーク31が付さ
れているマイクロスコープ(画像認識装置でも良い)が
設けられる。また、Xステージとマイクロスコープとの
間に、第6図に示すように、互いに直交する直線からな
る直交座標マーク32が描かれたガラスマスクが設けられ
る。そして、先ず、Xステージ1をX方向に移動させ
て、そのターゲットマーク31のX方向の移動軌跡が、ガ
ラスマスクの直交座標マーク32のX軸と重なるように調
整しておく。この状態で、Yステージ2をY方向に移動
させる。そして、ターゲットマーク31のY方向の移動軌
跡がガラスマスクの直交座標マーク32のY軸に一致しな
いときは、直交位置決めようガイド片16,17の直交調整
用ねじ26または27を回動する。すると、リニアガイド9A
のY方向に平行な側面を押圧するように直交調整部材20
又は21が、ねじ26又は27の回動に応じて突出し、これに
応じてYステージ2は、ピン13を回動中心として回動
し、レール7,8に対するYステージ2の調整が行なわれ
る。こうして、ターゲットマーク31のY方向の移動軌跡
が直交座標マーク32のY軸に一致するように調整する。
この場合、数μmの精度で直交調整することができる。
以上のようにして、直交調整したらリニアガイド9A〜9D
に対し、Yステージ2をねじ止めする。 以上により、高精度に直交調整されたXYステージを得
ることができる。 なお、以上の例ではXレールに対してリニアガイドを
取り付け、このリニアガイドにXステージを取り付ける
ようにしたが、Xステージは、Yステージ上において、
X方向に移動するように構成されていれば良く、図の例
のような構成に限られるものではない。 また、以上の例では、Yレールに対しリニアガイドは
4個設けたが、1本のレールに細長いリニアガイドを1
個づつ設けても良いことは言うまでもない。その場合に
は一方のリニアガイドの任意の位置にピン挿入孔を設け
れば良い。但し、リニアガイドの一方の端部側に寄った
位置にピン挿入孔を設けたほうが、リニアガイドの中央
にピン挿入孔を設けた場合よりも、直交調整用ねじの1
回転当たりの回動角が小さくなり、より細かい調整が可
能となる。 なお、以上の例では互いに直交する2方向に移動する
移動ステージの方向調整を行う場合を例にとって説明し
たが、直交方向ではなく、互いに任意の角度で交差する
2方向に移動する移動ステージに、この発明は適用可能
である。 また、この発明の移動ステージは、半導体検査装置に
使用するものに限らないことは言うまでもない。
導体検査装置の測定用ステージに用いられるX−Yステ
ージの場合を例にとって、図を参照しながら説明しよ
う。 第1図は、この発明の一実施例のX−Yステージの一
例の構造を示すもので、1はXステージ、2はYステー
ジである。 図示しないが、Xステージ1にはチャック保持部材が
設けられ、このチャック保持部材には被検査体の載置台
(チャック)が取り付けられている。そして、載置台
は、チャック保持部材により、前述したようにZ−θ方
向に移動可能とされている。 そして、Xステージ1及びYステージ2は、外観が直
方体とされており、Yステージ2上に、Xステージ1が
乗る構造となっている。すなわち、Yステージ2上に
は、X方向に延長された互いに平行な2本のレール3,4
が設けられる。そして、このレール3,4の形状に応じた
形状の凹溝を有する4個のリニアガイド5A,5B,5C,5D
が、各1本のレール3,4に2個づつ、移動可能に嵌合さ
れている。 そして、この4個のリニアガイド5A〜5DがXステージ
1の底面の4隅にねじ止め等されることにより取り付け
られる。 また、Xステージ1の底面には、図示しないが、X方
向に延長するボールねじが取り付けられており、このボ
ールねじをX方向駆動モータにより回転させることによ
り、Xステージ1がXレール3,4に案内されてX方向に
移動するようにされる。 また、基台6には、Y方向に延長される互いに平行
な、対のYレール7,8が取り付けられている。そして、
このYレール7,8には、このYレール7,8の形状に応じた
形状の凹溝を有する4個のリニアガイド9A,9B,9C,9D
が、各1本のレール7,8に、2個づつ、移動可能に嵌合
されて取り付けられている。そして、この4個のリニア
ガイド9A〜9DがYステージ2の底面の4隅に、ねじ止め
等されることにより取り付けられている。 そして、Yステージ2の底面の中央部には、Y方向に
伸びるボールねじ10が取り付けられており、このボール
ねじ10をY方向駆動モータ回転させることにより、Yス
テージ2がYレール7,8に案内されて、Y方向に移動す
るようにされるものである。 第2図は、Yステージ2を取り外した状態で、基台5
上のYレール7,8及び4個のリニアガイド9A〜9Dを上か
ら見た図で、4個のリニアガイド9A,9B,9C,9Dには、Y
ステージ2に取り付けるための4個のねじ孔11がそれぞ
れ設けられている。また、4個のリニアガイド9A,9B,9
C,9Dのうちの1個のリニアガイド9Aの中央には、ピン13
(第1図参照)が挿入されるピン挿入孔12が穿かれてい
る。 一方、第3図は、Yステージ2の底面を示す図で、そ
の4隅2A,2B,2C,2Dにはリニアガイド9A,9B,9C,9Dのねじ
孔11の位置に対応した4個ずつのねじ孔14が設けられる
と共に、その1隅2Aのリニアガイド9Aの取り付け位置に
対応する位置の、リニアガイド9Aのピン挿入孔12に対応
する位置に、ピン13が挿入されるピン挿入孔15が設けら
れる。 また、Yステージ2の底面の1隅2AとY方向に並ぶ1
隅2Bの位置には、互いに平行な直交位置決め用ガイド片
16,17が、その長辺方向がY方向になるように取り付け
られる。この場合、リニアガイド9Bにこの部分を取り付
けたとき、直交位置決め用ガイド片16,17が、リニアガ
イド9Bを挾むようにすると共に、リニアガイド9BのY方
向に平行な面にそれぞれ対接するようにされる。 さらに、直交位置決め用ガイド片16,17のそれぞれに
は、第4図にも示すように、Yステージ2の底面に平行
な方向に凹溝18,19がそれぞれ設けられ、この凹溝18,19
内に平板状の直交調整部材20,21が設けられる。この直
交調整部材20,21は、それぞれ一端がYステージ2に直
交する方向のピン22,23によって回動自在に、凹溝18,19
内に取り付けられる。そして、直交調整部材20,21のピ
ン22,23とは反対側の端部は、第5図に示すように、Y
方向に対して斜めのテーパ辺24,25とされる。そして、
直交調整用ねじ26,27の先端が、この直交調整部材20,21
のテーパ辺24,25に当接するように、直交位置決め用ガ
イド片16,17には、その凹溝18,19内にY方向に連通する
ねじ孔28,29がそれぞれ設けられる。 したがって、直交調整用ねじ26,27を凹溝18,19内に押
し込む方向に捩じ込むと、直交調整部材20,21がピン22,
23を回動中心として回動し、テーパ辺側が凹溝18,19か
ら第5図で一点鎖線で示すように、外部に突出する。こ
の場合、直交調整部材20,21は、テーパ辺側が外部に突
出したとき、これがそれぞれリニアガイド9Bの側面を押
圧するように、直交位置決め用ガイド片16,17に取り付
けられている。 なお、第3図で、30はボールねじ取り付け用ねじ孔で
ある。 以上の構成のX−Yステージにおいて、直交調整する
動作について、以下説明する。 先ず、リニアガイド9Aのピン挿入孔12にピン13を挿入
しておく。次に、Xステージ1が取り付けられたYステ
ージ2を、Yレール7,8に取り付けられているリニアガ
イド9A,9B,9C,9D上に、互いのねじ孔11,14の位置が一致
するように載置する。このとき、Yステージ2の底面の
1隅2Aのピン挿入孔15に、リニアガイド9Aのピン挿入孔
12に挿入されているピン13が、挿入されるようにすると
共に、リニアガイド9Bを直交位置決め用ガイド辺16,17
が挾むようにする。この状態で、Yステージ2は、X方
向とY方向との直交が従来と同精度で、調整されること
になる。 この発明では、さらに次のようにして、さらに細かい
調整が行なわれる。 すなわち、この例の場合、Xステージ1上には、接眼
レンズに第6図に示すようなターゲットマーク31が付さ
れているマイクロスコープ(画像認識装置でも良い)が
設けられる。また、Xステージとマイクロスコープとの
間に、第6図に示すように、互いに直交する直線からな
る直交座標マーク32が描かれたガラスマスクが設けられ
る。そして、先ず、Xステージ1をX方向に移動させ
て、そのターゲットマーク31のX方向の移動軌跡が、ガ
ラスマスクの直交座標マーク32のX軸と重なるように調
整しておく。この状態で、Yステージ2をY方向に移動
させる。そして、ターゲットマーク31のY方向の移動軌
跡がガラスマスクの直交座標マーク32のY軸に一致しな
いときは、直交位置決めようガイド片16,17の直交調整
用ねじ26または27を回動する。すると、リニアガイド9A
のY方向に平行な側面を押圧するように直交調整部材20
又は21が、ねじ26又は27の回動に応じて突出し、これに
応じてYステージ2は、ピン13を回動中心として回動
し、レール7,8に対するYステージ2の調整が行なわれ
る。こうして、ターゲットマーク31のY方向の移動軌跡
が直交座標マーク32のY軸に一致するように調整する。
この場合、数μmの精度で直交調整することができる。
以上のようにして、直交調整したらリニアガイド9A〜9D
に対し、Yステージ2をねじ止めする。 以上により、高精度に直交調整されたXYステージを得
ることができる。 なお、以上の例ではXレールに対してリニアガイドを
取り付け、このリニアガイドにXステージを取り付ける
ようにしたが、Xステージは、Yステージ上において、
X方向に移動するように構成されていれば良く、図の例
のような構成に限られるものではない。 また、以上の例では、Yレールに対しリニアガイドは
4個設けたが、1本のレールに細長いリニアガイドを1
個づつ設けても良いことは言うまでもない。その場合に
は一方のリニアガイドの任意の位置にピン挿入孔を設け
れば良い。但し、リニアガイドの一方の端部側に寄った
位置にピン挿入孔を設けたほうが、リニアガイドの中央
にピン挿入孔を設けた場合よりも、直交調整用ねじの1
回転当たりの回動角が小さくなり、より細かい調整が可
能となる。 なお、以上の例では互いに直交する2方向に移動する
移動ステージの方向調整を行う場合を例にとって説明し
たが、直交方向ではなく、互いに任意の角度で交差する
2方向に移動する移動ステージに、この発明は適用可能
である。 また、この発明の移動ステージは、半導体検査装置に
使用するものに限らないことは言うまでもない。
以上説明したように、この発明によれば、第1のステ
ージをその上に取り付けた第2のステージを、レールに
取り付けられたリニアガイドに対して1本のピンを回動
中心として、回動自在に取り付けるようにすると共に、
上記ピンを回動中心とした第2ステージのレールに対す
る位置を調整する方向調整手段を設けた構成により、第
1のステージの移動方向と、第2レールに取り付けられ
た第2のステージの移動方向が所定のものとなるよう
に、微細に調整することができる。 しかも、その構成は、1本のピンを回動中心として、
リニアガイドに対して第2のステージを回動させる構成
であるので、非常に簡単であり、コスト的にも安価に済
む。
ージをその上に取り付けた第2のステージを、レールに
取り付けられたリニアガイドに対して1本のピンを回動
中心として、回動自在に取り付けるようにすると共に、
上記ピンを回動中心とした第2ステージのレールに対す
る位置を調整する方向調整手段を設けた構成により、第
1のステージの移動方向と、第2レールに取り付けられ
た第2のステージの移動方向が所定のものとなるよう
に、微細に調整することができる。 しかも、その構成は、1本のピンを回動中心として、
リニアガイドに対して第2のステージを回動させる構成
であるので、非常に簡単であり、コスト的にも安価に済
む。
第1図はこの発明による移動ステージの一実施例の側面
図、第2図はその一部の平面図、第3図はYステージの
底面図、第4図はその一部の側面図、第5図はその一部
の拡大図、第6図は直交調整方法の説明のための図であ
る。 1;第1のステージ 2;第2のステージ 3,4;Xレール 7,8;Yレール 9A〜9D;リニアガイド 12,15;ピン挿入孔 13;ピン 16,17;直交位置決め用ガイド片 20,21;直交調整用部材 26,27;直交調整用ねじ
図、第2図はその一部の平面図、第3図はYステージの
底面図、第4図はその一部の側面図、第5図はその一部
の拡大図、第6図は直交調整方法の説明のための図であ
る。 1;第1のステージ 2;第2のステージ 3,4;Xレール 7,8;Yレール 9A〜9D;リニアガイド 12,15;ピン挿入孔 13;ピン 16,17;直交位置決め用ガイド片 20,21;直交調整用部材 26,27;直交調整用ねじ
Claims (1)
- 【請求項1】所定の角度を以て交差する第1方向及び第
2方向のうちの第1方向に移動可能される第1のステー
ジと、 上記第2方向に延長されるレールに移動可能に嵌合され
るリニアガイドと、 上記第1のステージが取り付けられると共に、上記リニ
アガイドに取り付けられ、上記第2方向に移動可能とさ
れる第2のステージとを有する移動ステージにおいて、 上記第2のステージは、上記リニアガイド上の1点の位
置において、1本のピンにより上記第1方向及び第2方
向を含む平面方向に回動可能に取り付けるようにすると
共に、 上記ピンを回動中心とした上記第2のステージの回動位
置を調整する方向調整手段を設けたことを特徴とする移
動ステージ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1188087A JP2640690B2 (ja) | 1989-07-20 | 1989-07-20 | 移動ステージ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1188087A JP2640690B2 (ja) | 1989-07-20 | 1989-07-20 | 移動ステージ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0353191A JPH0353191A (ja) | 1991-03-07 |
JP2640690B2 true JP2640690B2 (ja) | 1997-08-13 |
Family
ID=16217477
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1188087A Expired - Lifetime JP2640690B2 (ja) | 1989-07-20 | 1989-07-20 | 移動ステージ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2640690B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102117663B (zh) * | 2010-12-17 | 2012-06-27 | 中国科学院光电技术研究所 | 平面二维倾角调整器 |
-
1989
- 1989-07-20 JP JP1188087A patent/JP2640690B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0353191A (ja) | 1991-03-07 |
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