JP2621977B2 - Method for producing powder for thermoelectric conversion material - Google Patents
Method for producing powder for thermoelectric conversion materialInfo
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Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、熱電変換材料用粉末の製造方法、より詳し
くは、反応容器内のプラズマ中で生成した微粒子が反応
容器の内壁面に付着することがなく、熱電変換材料用粉
末を高効率に製造することができる熱電変換材料用粉末
の製造方法に関する。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Industrial Application Field] The present invention relates to a method for producing a powder for a thermoelectric conversion material, and more specifically, fine particles generated in plasma in a reaction vessel adhere to an inner wall surface of the reaction vessel. The present invention relates to a method for producing a thermoelectric conversion material powder capable of producing a thermoelectric conversion material powder with high efficiency.
〔従来の技術〕 従来の熱電変換材料用粉末の製造方法としては、例え
ば、特開昭63−275189号公報に記載のものがある。該公
報に記載の方法は、高周波プラズマ発生装置を用いて粉
末を均一な金属又は金属合金の微粒子として製造するも
のである。[Prior Art] As a conventional method for producing a powder for a thermoelectric conversion material, for example, there is a method described in JP-A-63-275189. The method described in this publication is to produce powder as uniform metal or metal alloy fine particles using a high-frequency plasma generator.
しかし、上記公報に記載の方法は、生成する粒子が微
粒子で、凝集力が強いため、反応容器の壁面に生成した
微粒子が反応容器の壁面に付着したり、反応容器内に配
設された駆動部に微粒子が付着するなどして、回収され
た微粒子の流動を妨げ、生成した粉末の取り出しを困難
にする虞れがある。However, according to the method described in the above-mentioned publication, the generated particles are fine particles and the cohesive force is strong, so that the generated fine particles adhere to the wall surface of the reaction container, or the driving force provided in the reaction container. There is a possibility that the flow of the collected fine particles may be hindered due to the adhesion of the fine particles to the portion, and it may be difficult to take out the generated powder.
また、本出願人は、特願昭63−111524号及び特願昭63
−111525号において、高周波プラズマ発生装置を用いて
熱電変換材料用粉末を製造する方法を提案したが、これ
らの製造方法は、微粒子を反応容器内のプラズマ中に浮
遊させ、更にプラズマ中に反応性ガスを供給して上記微
粒子の表面に熱電変換材料性能を有する物質の被覆層を
形成させるようにしたものである。しかも、これらの熱
電変換材料用粉末の製造方法においても、前記特開昭63
−275189号公報に記載の発明の課題は充分に解決されて
いるとは言い難い。In addition, the present applicant has filed Japanese Patent Application Nos.
No.-111525 proposes a method for producing powder for thermoelectric conversion materials using a high-frequency plasma generator, but these production methods involve suspending fine particles in the plasma in a reaction vessel and further reacting the particles in the plasma. A gas is supplied to form a coating layer of a substance having a thermoelectric conversion material property on the surface of the fine particles. In addition, even in the method for producing these thermoelectric conversion material powders,
It is difficult to say that the problem of the invention described in Japanese Patent No. 275189 is sufficiently solved.
従って、本発明の目的は、微粒子の凝集を低減させる
とともに反応容器の内壁面及び掻き上げ羽根に付着した
微粒子を剥ぎ落とすことができる熱電変換材料用粉末の
製造方法を提供することにある。Accordingly, an object of the present invention is to provide a method for producing a powder for thermoelectric conversion materials, which can reduce the aggregation of fine particles and can peel off fine particles attached to the inner wall surface of the reaction vessel and the scraping blades.
本発明者らは、高周波プラズマ発生装置の反応容器内
における生成微粒子の挙動について種々検討した結果、
熱電変換材料用粉末の製造方法において、反応容器内に
粗大粒子を浮遊させる上記目的を達成し得ることを知見
した。The present inventors have conducted various studies on the behavior of the generated fine particles in the reaction vessel of the high-frequency plasma generator, and as a result,
In the method for producing a powder for a thermoelectric conversion material, it has been found that the above object of suspending coarse particles in a reaction vessel can be achieved.
本発明は、上記知見に基づいてなされたもので、粒径
が10μｍ以下の第１粒子と粒径が20μｍ以上の第２粒子
との混合物をプラズマ中で浮遊させ、単独であるいは上
記第１粒子と反応することによって熱電変換性能を有す
る物質を生成することができる反応性ガスを上記プラズ
マ中に供給することを特徴とする熱電変換材料用粉末の
製造方法を提供するものである。The present invention has been made based on the above findings, and a mixture of a first particle having a particle size of 10 μm or less and a second particle having a particle size of 20 μm or more is suspended in a plasma, and the mixture is used alone or in the first particle. And supplying a reactive gas capable of producing a substance having thermoelectric conversion performance by reacting with the plasma into the plasma.
本発明の熱電変換材料用粉末の製造方法によれば、粗
大な第２粒子が反応容器内に浮遊して反応容器等に衝突
することによって反応容器の内壁面に付着した生成微粒
子を剥ぎ落とし、また、駆動部に付着した生成微粒子を
も剥ぎ落とし、更に生成微粒子の二次凝集を防止して粉
末の流動を安定化させる。According to the method for producing a powder for a thermoelectric conversion material of the present invention, coarse particles are floated in the reaction vessel and collide with the reaction vessel or the like, thereby peeling off generated fine particles attached to the inner wall surface of the reaction vessel, In addition, the generated fine particles adhered to the driving unit are also peeled off, and the secondary aggregation of the generated fine particles is prevented to stabilize the flow of the powder.
以下、先ず、本発明方法の実施に好適な製造装置の一
例について説明する。Hereinafter, first, an example of a manufacturing apparatus suitable for carrying out the method of the present invention will be described.
第１図は本発明方法を実施する場合に好適な製造装置
の全体を示す構成図で、この製造装置は、略円筒状を呈
する反応容器10と、反応容器10の直胴部の長手方向の所
定範囲を囲む高周波コイル21を具備したプラズマ発生装
置20と、反応容器10に反応性ガスを供給する反応性ガス
供給装置30と、反応容器10の球状底面に収納した第１粒
子と第１粒子より粗大な第２粒子の混合物を掻き上げて
反応容器10内に浮遊させる撹拌装置40と、反応容器10内
のプラズマ中で生成した熱電変換材料用粉末を排気する
ガス排気装置50とを備えている。FIG. 1 is a block diagram showing the entirety of a manufacturing apparatus suitable for carrying out the method of the present invention. This manufacturing apparatus comprises a reaction vessel 10 having a substantially cylindrical shape and a longitudinal direction of a straight body portion of the reaction vessel 10. A plasma generator 20 having a high-frequency coil 21 surrounding a predetermined range, a reactive gas supply device 30 for supplying a reactive gas to the reaction vessel 10, a first particle and a first particle stored on the spherical bottom surface of the reaction vessel 10 A stirrer 40 is provided to stir the mixture of the coarser second particles and float the mixture in the reaction vessel 10, and a gas exhaust apparatus 50 for exhausting the thermoelectric conversion material powder generated in the plasma in the reaction vessel 10. I have.
上記プラズマ発生装置20は、上記高周波コイル21に導
線22を介して接続された高周波発振器23を備え、高周波
発振器23において発生した高周波電力によって上記高周
波コイル21を介して高真空下にある反応容器10内にプラ
ズマを発生させるように成されている。The plasma generator 20 includes a high-frequency oscillator 23 connected to the high-frequency coil 21 via a conducting wire 22, and the high-frequency power generated in the high-frequency oscillator 23 causes the reaction vessel 10 under a high vacuum to pass through the high-frequency coil 21. It is configured to generate a plasma inside.
また、上記反応性ガス供給装置30は、反応性ガスの充
填されたボンベ31と、ボンベ31と反応容器10の直胴部下
端の壁面を介して反応容器10のノズル11とを連通する導
管32と、導管32に取り付けられ反応性ガスの供給量を調
整するバルブ33とを備えている。Further, the reactive gas supply device 30 includes a cylinder 31 filled with a reactive gas, and a conduit 32 that communicates the cylinder 31 with the nozzle 11 of the reaction vessel 10 via a wall surface of a lower portion of a straight body of the reaction vessel 10. And a valve 33 attached to the conduit 32 for adjusting the supply amount of the reactive gas.
また、上記撹拌装置40は、上記反応容器10の球状底面
の稍々上方で径方向に架設され、反応容器10の側壁にお
いて軸支されて粒子の混合物を掻き上げる掻き上げ羽根
41を有する回転軸42と、回転軸42を回転させるモータ43
とを備えている。尚、モータ43と回転軸42は、それぞれ
のプーリ44,45を介してベルト46によって連結されてい
る。Further, the stirring device 40 is provided in a radial direction slightly above the spherical bottom surface of the reaction vessel 10, and is supported by a side wall of the reaction vessel 10 and is a scraping blade that scrapes up a mixture of particles.
A rotating shaft 42 having 41, and a motor 43 for rotating the rotating shaft 42
And The motor 43 and the rotating shaft 42 are connected by a belt 46 via respective pulleys 44 and 45.
また、上記ガス排気装置50は、反応容器10内のガスを
排気して高真空にすると共に反応容器10内で生成した熱
電変換材料用粉末を吸引してトラップ51内に回収する真
空ポンプ52を備えている。トラップ51は、反応容器10の
頂部のノズル12に導管53を介して、また、真空ポンプ52
に導管54を介してそれぞれ連結され、該導管53に取り付
けられたバルブ55によって排気量を調整しながらガスを
排気するようになされている。In addition, the gas exhaust device 50 includes a vacuum pump 52 that evacuates the gas in the reaction vessel 10 to a high vacuum and sucks the thermoelectric conversion material powder generated in the reaction vessel 10 and collects the powder in the trap 51. Have. The trap 51 is connected to the nozzle 12 at the top of the reaction vessel 10 via a conduit 53 and a vacuum pump 52.
Are connected to each other via a conduit 54, and the gas is exhausted while adjusting the exhaust amount by a valve 55 attached to the conduit 53.
次に、上記製造装置を用いた本発明方法の一実施態様
について説明する。Next, an embodiment of the method of the present invention using the above-described manufacturing apparatus will be described.
本発明の熱電変換材料用粉末の製造方法は、粒径が10
μｍ以下の第１粒子と粒径が20μｍ以上の第２粒子との
混合物をプラズマ中で浮遊させ、単独であるいは上記第
１粒子と反応することによって熱電変換性能を有する物
質を生成することができる反応性ガスを上記プラズマ中
に供給することによって熱電変換材料用粉末を製造する
ものである。The method for producing a thermoelectric conversion material powder of the present invention has a particle size of 10
A substance having thermoelectric conversion performance can be generated by suspending a mixture of first particles having a particle size of 20 μm or less and second particles having a particle size of 20 μm or more in plasma and reacting alone or with the first particles. The reactive gas is supplied into the plasma to produce a thermoelectric conversion material powder.
本発明を実施する際に用いられる第１粒子は、粒径が
10μｍ以下であり、好ましくは５μｍ以下、更に好まし
くは0.1〜２μｍである。第１粒子は後述する反応性ガ
スから生成する物質を担持して熱電変換材料用粉末を形
成する担体粒子となるもので、粒径10μｍ以下にするこ
とによって、散乱係数を大きくし、ゼーベック係数の高
い熱電変換材料用粉末を与えることができる。また、第
１粒子は、粒径が均一であるよりも、上記粒径の範囲で
粒度分布を有している方が好ましく、粒度分布を有する
第１粒子を用いて得られた熱電変換材料用粉末から製造
される熱電変換材料は、密度が高く、ゼーベック係数が
高くなり好ましい。The first particles used in practicing the present invention have a particle size of
It is 10 μm or less, preferably 5 μm or less, and more preferably 0.1 to 2 μm. The first particle is a carrier particle that forms a powder for a thermoelectric conversion material by supporting a substance generated from a reactive gas described later. By reducing the particle diameter to 10 μm or less, the scattering coefficient is increased, and the Seebeck coefficient is increased. A high powder for thermoelectric conversion materials can be provided. Further, the first particles preferably have a particle size distribution in the above particle size range, rather than having a uniform particle size. For the thermoelectric conversion material obtained using the first particles having the particle size distribution, Thermoelectric conversion materials produced from powder are preferred because of their high density and high Seebeck coefficient.
第１粒子として用いられる物質は、特に制限されるも
のではないが、このような物質としては、例えば、半導
体選書7:熱電発電・熱電冷却・太陽電池（日刊工業新
聞）あるいは熱電半導体とその応用（日刊工業新聞）に
記載された酸化物、炭化物、珪化物、硼化物、窒化物が
挙げられる。The substance used as the first particle is not particularly limited. Examples of such a substance include semiconductor selection 7: thermoelectric power generation / thermoelectric cooling / solar cell (Nikkan Kogyo Shimbun) or thermoelectric semiconductor and its application. (Nikkan Kogyo Shimbun), oxides, carbides, silicides, borides, and nitrides.
また、本発明を実施する際に用いられる反応性ガス
は、単独であるいは第１粒子と反応することによって第
１粒子の表面に熱電変換性能を有する物質を生成するも
のである。反応性ガスは、第１粒子の表面に生成した物
質が、熱電変換性能を有する物質であれば特に制限され
ないが、反応性ガスとして、例えばトリアルキル硼素等
の単独で反応して炭化硼素を生成する反応性ガス、三塩
化硼素、三弗化硼素等の硼素源を供給する硼素のハライ
ド等の反応性ガス（炭素源としてメタン、エタン等の炭
化水素を共に供給する）、アルキルシラン、アルコキシ
シラン、アルコキシハロゲノシラン等の炭化珪素源を供
する反応性ガス等がある。In addition, the reactive gas used in carrying out the present invention generates a substance having thermoelectric conversion performance on the surface of the first particle by itself or by reacting with the first particle. The reactive gas is not particularly limited as long as the substance generated on the surface of the first particles is a substance having thermoelectric conversion performance. As the reactive gas, for example, trialkyl boron alone reacts to form boron carbide. Reactive gas, supplying a boron source such as boron trichloride, boron trifluoride, etc .; reactive gas such as boron halide (supplying hydrocarbons such as methane and ethane as a carbon source); alkylsilane and alkoxysilane And a reactive gas that provides a silicon carbide source such as alkoxyhalogenosilane.
また、本発明を実施する際に用いられる第２粒子は、
粒径が20μｍ以上であり、上限については特に制限はな
いが、掻き上げ羽根の強度及び駆動力との関係で、通常
5mm程度となる。第２粒子のより好ましい粒径は50〜100
0μｍである。第２粒子は、第１粒子に随伴して第１粒
子の凝集を防止すると共に反応室10の内壁面、あるいは
掻き上げ羽根41等の駆動部に付着した第１粒子を掻き取
ることによって第１粒子が固着することを防止すると共
に、第１粒子に随伴して第１粒子の凝集を防止すること
によって第１粒子の流動を確保する機能を有するもので
ある。従って、第２粒子は上述した反応に寄与しないた
め適宜回収して第１粒子から分級することによって繰り
返し用いられるものである。Further, the second particles used in practicing the present invention include:
The particle size is 20 μm or more, and there is no particular upper limit.
It is about 5mm. The more preferred particle size of the second particles is 50-100.
0 μm. The second particles prevent the first particles from aggregating together with the first particles, and scrape off the first particles attached to the inner wall surface of the reaction chamber 10 or a driving unit such as the scraping blades 41 to form the first particles. It has a function of preventing the particles from sticking and also ensuring the flow of the first particles by preventing aggregation of the first particles accompanying the first particles. Therefore, since the second particles do not contribute to the above-described reaction, they are used repeatedly by appropriately collecting and classifying from the first particles.
第２粒子として用いられる物質は、上記機能を有する
ものであれば特に制限されない。The substance used as the second particles is not particularly limited as long as it has the above function.
本発明を実施する際には、第１粒子と第２粒子との混
合物の混合割合を、第２粒子が20〜95重量％とすること
が好ましく、より好ましくは50〜80重量％である。In practicing the present invention, the mixing ratio of the mixture of the first particles and the second particles is preferably 20 to 95% by weight of the second particles, more preferably 50 to 80% by weight.
而して、本発明を実施するに際しては、まず、粒径が
10μｍ以下の粒子と第１粒径が20μｍ以上の第２粒子と
の所定割合からなる混合物の所定量を、反応容器10の球
状底面に収納する。次いで、反応性ガス供給装置30のバ
ルブ33を閉じ、また反応容器10の頂部のバルブ55を開い
て真空ポンプ52を駆動させて反応容器10内の空気を排気
する。次いで、バルブ33を開いて反応性ガスを導管32を
介して反応容器10内に供給する。この際、希釈用のアル
ゴンを併せて反応容器10内に供給する。Therefore, in practicing the present invention, first, the particle size
A predetermined amount of a mixture composed of a predetermined ratio of particles having a particle size of 10 μm or less and second particles having a first particle size of 20 μm or more is stored in the spherical bottom surface of the reaction vessel 10. Next, the valve 33 of the reactive gas supply device 30 is closed, and the valve 55 at the top of the reaction container 10 is opened to drive the vacuum pump 52 to exhaust the air in the reaction container 10. Next, the valve 33 is opened and the reactive gas is supplied into the reaction vessel 10 through the conduit 32. At this time, argon for dilution is also supplied into the reaction vessel 10.
反応容器10の圧力を0.3torr程（通常、0.01〜10tor
r）の高真空にし、高周波発振器23から周波数13.56M Hz
の高周波電力をコイル21に供給して、反応容器10内にプ
ラズマ領域を発生させる。投入する高周波電力は、反応
容器10の大きさ、反応性ガスの圧力、並びに粒子の量等
により、当然種々変化するが、例えば直径60mm程度の反
応容器を使用する場合は、0.5〜3kW程度の電力を投入す
る。所望の高周波電力は、必要に応じて、当業者が任意
に設定することができる。このプラズマ中で反応性ガス
が分解してイオン及び／またはラジカルを生成して、こ
れらのイオン及び／またはラジカルが第１粒子の表面に
衝突して第１粒子と反応して熱電変換性能を有する物質
により被覆層が第１粒子の表面に形成される。被覆層の
形成された第１粒子は、真空ポンプ52によって吸引され
て導管53を経由してトラップ51に回収される。一方、第
２粒子は、真空ポンプ52によって吸引されず反応容器10
内に滞留し、反応容器10内を浮遊する間にその内壁面に
衝突して、この内壁面に付着する微粒子を剥ぎ取り、微
粒子が固着するのを防止する。更に、第２粒子は、反応
容器10の底面における第１粒子の流動状態を保持させ
て、第１粒子を効率よく反応容器10内のプラズマ領域に
円滑に供給する。The pressure of the reaction vessel 10 is about 0.3 torr (usually 0.01 to 10 torr).
r) High vacuum, frequency 13.56M Hz from high frequency oscillator 23
Is supplied to the coil 21 to generate a plasma region in the reaction vessel 10. The high-frequency power to be supplied varies depending on the size of the reaction vessel 10, the pressure of the reactive gas, the amount of the particles, and the like.Of course, when a reaction vessel having a diameter of about 60 mm is used, about 0.5 to 3 kW is used. Turn on the power. The desired high-frequency power can be arbitrarily set by those skilled in the art as needed. The reactive gas is decomposed in the plasma to generate ions and / or radicals, and these ions and / or radicals collide with the surface of the first particles and react with the first particles to have thermoelectric conversion performance. A coating layer is formed on the surface of the first particles by the substance. The first particles on which the coating layer is formed are sucked by the vacuum pump 52 and collected in the trap 51 via the conduit 53. On the other hand, the second particles are not sucked by the vacuum pump 52 and are not
While floating in the reaction vessel 10, it collides with the inner wall surface of the reaction vessel 10, peels off the fine particles attached to the inner wall surface, and prevents the fine particles from sticking. Further, the second particles keep the flow state of the first particles on the bottom surface of the reaction vessel 10 and efficiently supply the first particles to the plasma region in the reaction vessel 10 efficiently.
次に、本発明を実施例及び比較例を挙げて具体的に説
明する。Next, the present invention will be specifically described with reference to Examples and Comparative Examples.
実施例１ 本実施例では、第１図に示す装置を用いて炭化珪素
（第１粒子）の表面に炭化硼素の被覆層を形成させた。Example 1 In this example, a coating layer of boron carbide was formed on the surface of silicon carbide (first particles) using the apparatus shown in FIG.
使用原料及びその使用割合は次の通りである。 The raw materials used and the ratios used are as follows.
α型炭化珪素（第１粒子:1〜0.1μm dp＝0.5μｍ） …25 g α型炭化珪素（第２粒子:355〜50μｍ） …25 g トリエチル硼素 …10.5ml/hr 水素 …16 ml/hr プラズマ発生装置として高周波プラズマ発生装置を用
い、周波数13.56M Hz、投入電力を800Wに設定して操作
した。使用した反応容器の直径は60mmで、反応容器内の
圧力は0.3torrに設定した。α-type silicon carbide (first particle: 1 to 0.1 μm dp = 0.5 μm) 25 g α-type silicon carbide (second particle: 355 to 50 μm) 25 g triethylboron 10.5 ml / hr Hydrogen 16 ml / hr A high-frequency plasma generator was used as the plasma generator, and the operation was performed at a frequency of 13.56 MHz and an input power of 800 W. The diameter of the reaction vessel used was 60 mm, and the pressure inside the reaction vessel was set at 0.3 torr.
上記の条件で８時間かけて炭化珪素粒子の表面への炭
化硼素の被覆を行った。Under the above conditions, the surface of the silicon carbide particles was coated with boron carbide for 8 hours.
本実施例１では、第１粒子が凝集せず、第１粒子の流
動状態を維持し、また、反応容器10の内壁面に第１粒子
を固着させることなく、８時間安定させて、第１粒子に
炭化硼素を被覆させることができた。In the first embodiment, the first particles are not aggregated, the flow state of the first particles is maintained, and the first particles are stabilized for 8 hours without being fixed to the inner wall surface of the reaction vessel 10. The particles could be coated with boron carbide.
比較例１ 本比較例では、第２粒子を用いない点を除き、全て上
記実施例１と同様に実施例して、炭化珪素粒子の表面に
炭化硼素の被覆層を形成させた。Comparative Example 1 In this comparative example, a coating layer of boron carbide was formed on the surface of silicon carbide particles in the same manner as in Example 1 except that the second particles were not used.
使用原料及びその使用割合は次の通りである。 The raw materials used and the ratios used are as follows.
α型炭化珪素（１〜0.1μm dp＝0.5μｍ）…30 g トリエチル硼素 …10.5ml/hr 水素 …16 ml/hr 本比較例１では、30分経過後に炭化珪素及び反応物が
反応容器10の内壁面に固着し、また２時間経過後には炭
化珪素粒子が凝集して流動しなくなった。α-type silicon carbide (1 to 0.1 μm dp = 0.5 μm): 30 g Triethyl boron: 10.5 ml / hr Hydrogen: 16 ml / hr In Comparative Example 1, after 30 minutes, silicon carbide and a reactant It adhered to the inner wall surface, and after 2 hours, the silicon carbide particles aggregated and stopped flowing.
上記実施例１及び比較例１の結果から、第１粒子に第
２粒子を混合する本発明の方法によれば、第２粒子を混
合しない方法に比べ、炭化珪素粒子の表面に炭化硼素を
長時間に亘り円滑に被覆させ得ることが判る。According to the results of Example 1 and Comparative Example 1, according to the method of the present invention in which the first particles are mixed with the second particles, boron carbide is longer on the surface of the silicon carbide particles than in the method in which the second particles are not mixed. It can be seen that the coating can be made smoothly over time.
本発明の熱電変換材料用粉末の製造方法によれば、反
応容器内のプラズマ中で生成した微粒子が反応容器の内
壁面に付着することがなく、熱電変換材料用粉末を高効
率に製造することができる。ADVANTAGE OF THE INVENTION According to the manufacturing method of the powder for thermoelectric conversion materials of this invention, the fine particle produced | generated in the plasma in a reaction container does not adhere to the inner wall surface of a reaction container, and manufactures the powder for thermoelectric conversion materials efficiently. Can be.
【図面の簡単な説明】 第１図は本発明の熱電変換材料用粉末を実施する場合に
好適に用いられる製造装置の一例を示す概念図である。 10;反応容器、20;プラズマ発生装置 30;反応性ガス供給装置 40;撹拌装置 50;反応性ガス排出装置BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS FIG. 1 is a conceptual diagram showing an example of a production apparatus suitably used for implementing the powder for a thermoelectric conversion material of the present invention. 10; reaction vessel, 20; plasma generator 30; reactive gas supply device 40; stirring device 50; reactive gas discharge device
Claims (1)
ｍ以上の第２粒子との混合物をプラズマ中で浮遊させ、
単独であるいは上記第１粒子と反応することによって熱
電変換性能を有する物質を生成することができる反応性
ガスを上記プラズマ中に供給することを特徴とする熱電
変換材料用粉末の製造方法。A first particle having a particle size of 10 μm or less and a first particle having a particle size of 20 μm;
a mixture with the second particles of m or more in the plasma,
A method for producing a powder for a thermoelectric conversion material, comprising supplying a reactive gas capable of producing a substance having thermoelectric conversion performance alone or by reacting with the first particles into the plasma.
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| JP1110129A JP2621977B2 (en) | 1989-04-28 | 1989-04-28 | Method for producing powder for thermoelectric conversion material |
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| JPH02290244A JPH02290244A (en) | 1990-11-30 |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| JP5705068B2 (en) * | 2011-08-31 | 2015-04-22 | 日立造船株式会社 | Manufacturing equipment for fibrous carbon materials |
-
1989
- 1989-04-28 JP JP1110129A patent/JP2621977B2/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH02290244A (en) | 1990-11-30 |
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