JP2601977Y2 - Gas analyzer - Google Patents
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- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
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Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本考案は、ガス分析計に関し、特
に、サンプリング流路を介して分析部に対して供給され
るサンプルガスを制御部からの制御指令に基づいて分析
するようにしたガス分析計の改良に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a gas analyzer, and more particularly to a gas analyzer for analyzing a sample gas supplied to an analyzer through a sampling flow path based on a control command from a controller. Improvement of analyzer.
【０００２】[0002]
【従来の技術】一般に、ガス分析計を工場から出荷し、
ユーザーに納入する際しては、ガス分析計の分析部にゼ
ロガスやスパンガスなどの校正ガスを供給することによ
り、ドリフト特性や再現性などの試験を行ってデータを
採取し、このデータに基づいてガス分析計の性能の確認
が行われるが、従来は図４または図５に示すようにして
校正ガスを分析部に供給していた。2. Description of the Related Art Generally, a gas analyzer is shipped from a factory,
At the time of delivery to the user, a calibration gas such as zero gas or span gas is supplied to the analysis section of the gas analyzer to perform tests such as drift characteristics and reproducibility, collect data, and based on this data The performance of the gas analyzer is checked. Conventionally, the calibration gas is supplied to the analyzer as shown in FIG. 4 or FIG.
【０００３】すなわち、図４に示したものでは、ガス分
析計４０の内部に設けられたゼロガスやスパンガスなど
の校正ガス導入用の電磁弁４１，４２の開閉操作を係員
が一定時間ごとに行うことによって、ゼロガスＺやスパ
ンガスＳＰを分析部４３に供給するのである。That is, in the apparatus shown in FIG. 4, a staff member performs opening and closing operations of solenoid valves 41 and 42 for introducing a calibration gas such as a zero gas or a span gas provided inside a gas analyzer 40 at regular intervals. Thus, the zero gas Z and the span gas SP are supplied to the analysis unit 43.
【０００４】また、図５に示したものでは、ガス分析計
５０の外部に、コントローラ５１を内蔵した校正ガス導
入切換装置５２を設け、コントローラ５１によって校正
ガス導入用の電磁弁５３，５４，５５を適宜開閉操作す
ることによって、ゼロガスＺやスパンガスＳＰ1 , ＳＰ
2 を分析部５６に自動的に供給するのである。In the apparatus shown in FIG. 5, a calibration gas introduction switching device 52 having a controller 51 built therein is provided outside the gas analyzer 50, and the controller 51 controls the solenoid valves 53, 54, 55 for introducing calibration gas. Are appropriately opened and closed to obtain the zero gas Z and the span gas SP 1, SP
2 is automatically supplied to the analysis unit 56.
【０００５】なお、図４において、４４はサンプルガス
Ｓを導入するための電磁弁であり、また、図５におい
て、５７は校正ガス導入用の電磁弁、５８，５９はサン
プルガスＳ1 , Ｓ2 をそれぞれ導入するための電磁弁で
ある。In FIG. 4, reference numeral 44 denotes an electromagnetic valve for introducing the sample gas S, and in FIG. 5, 57 denotes an electromagnetic valve for introducing the calibration gas, and 58 and 59 denote sample gases S 1, S. 2 is a solenoid valve for introducing each.
【０００６】[0006]
【考案が解決しようとする課題】しかしながら、上記前
者の手段によれば、電磁弁４１，４２を開閉操作するた
めの係員が必ず必要であり、一度に試験するガス分析計
４０の台数の増加に伴って多くの係員が必要となるとい
った欠点があり、また、上記後者の手段によれば、複数
のガス分析計５０を試験する場合における係員の数は少
なくて済むものの、ガス分析計５０とは別体構造の校正
ガス導入切換装置５２を数多く用意する必要があり、そ
の製作コストが高くつくといった問題点がある。However, according to the former means, a person in charge of opening and closing the solenoid valves 41 and 42 is always required, and the number of gas analyzers 40 to be tested at one time is increased. There is a disadvantage that many attendants are required, and according to the latter means, the number of attendants when testing a plurality of gas analyzers 50 is small, It is necessary to prepare many calibration gas introduction switching devices 52 having a separate structure, and there is a problem that the manufacturing cost is high.
【０００７】ところで、近時のガス分析計においては、
その制御部に測定手順を表すプログラムが格納されてお
り、測定時にはこのプログラムに基づいて各種の制御指
令が出力され、これによって所定の分析を行うように構
成されていることが多い。Incidentally, in recent gas analyzers,
A program representing a measurement procedure is stored in the control unit, and various control commands are output based on the program at the time of measurement, whereby a predetermined analysis is often performed.
【０００８】本考案は、上述の事柄に留意してなされた
もので、その目的とするところは、高価な校正ガス導入
切換装置を用意しなくても、一度に多数のガス分析計の
再現性試験を行うことがあっても、可及的に少ない係員
によって再現性試験を効率よく行うことができるガス分
析計を提供することにある。[0008] The present invention has been made in consideration of the above-mentioned matters, and its purpose is to reproducibility of a large number of gas analyzers at once without preparing an expensive calibration gas introduction switching device. An object of the present invention is to provide a gas analyzer capable of performing a reproducibility test efficiently with as few personnel as possible even if a test is performed.
【０００９】[0009]
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本考案のガス分析計は、サンプルガスを分析する分
析部と、この分析部にサンプルガスを供給するサンプリ
ング流路と、前記分析部に制御指令を出力して所定の分
析を行わせる制御部と、前記サンプリング流路に対して
切換え弁を介して接続される校正ガス流路と、この校正
ガス流路に対して互いに並列に接続され、かつそれぞれ
開閉弁を備えたゼロガス供給路およびスパンガス供給路
とを備えると共に、前記制御部内に、出荷時に行われる
性能試験において前記切換え弁および開閉弁を開閉制御
することにより前記分析部に対してゼロガスおよびスパ
ンガスを所定の手順で複数回自動供給して再現性試験を
行うためのプログラムを格納している。 In order to achieve the above object, the gas analyzer of the present invention has a function of analyzing a sample gas.
Analyzer and a sampler that supplies sample gas to the analyzer
Output a control command to the analysis channel and the
Control unit for performing the analysis,
Calibration gas flow path connected via a switching valve and this calibration
Connected to each other in parallel to the gas flow path and
Zero gas supply line and span gas supply line with on-off valve
In the control unit , the switching valve and the on-off valve are controlled to open and close in a performance test performed at the time of shipment.
By doing so, zero gas and spa
A program for performing a reproducibility test by automatically supplying a plurality of gases in a predetermined procedure is stored.
【００１０】[0010]
【作用】本考案に係るガス分析計においては、サンプリ
ング流路と校正ガス流路とを接続する切換え弁と、校正
ガス流路に対して互いに並列に接続されるゼロガス供給
路およびスパンガス供給路にそれぞれ設けられた開閉弁
とを開閉制御するためのプログラムをガス分析計の制御
部に格納しておくことにより、前記切換え弁および開閉
弁を所定の手順で開閉操作することができ、これによっ
て、ゼロガスやスパンガスなど同一ボンベのガスを所定
の手順で分析部に対して自動的に供給することができ
る。従って、試験に供されるガス分析計の台数が多くな
っても、従来のように、開閉弁を開閉操作するための係
員を多く必要とすることがないと共に、高価な校正ガス
導入切換装置を用意する必要がない。特に、再現性試験
は、同一ボンベからのガスを分析部に対して複数回供給
する必要があるが、この繰り返して行わなければならな
いガスの供給を自動で行うことができ、従って、再現性
試験を最小限の人員で行うことができ、効率よく再現性
試験を行うことができる。In the gas analyzer according to the present invention, the sampler
Switching valve to connect the calibration flow path and the calibration gas flow path
On- off valves respectively provided in the zero gas supply path and the span gas supply path connected in parallel to the gas flow path
The switching valve and the on- off valve can be opened and closed in a predetermined procedure by storing a program for controlling the opening and closing of the gas analyzer in the control section of the gas analyzer. Can be automatically supplied to the analysis unit in a predetermined procedure. Therefore, even if the number of gas analyzers subjected to the test increases, unlike the conventional case, it does not require many personnel for opening and closing the on-off valve, and an expensive calibration gas introduction switching device. No need to prepare. In particular, in the reproducibility test, it is necessary to supply the gas from the same cylinder to the analysis unit a plurality of times, and this repetitive gas supply can be automatically performed. Can be performed with a minimum number of personnel, and a reproducibility test can be performed efficiently.
【００１１】[0011]
【実施例】以下、本考案の実施例を図面に基づいて説明
する。なお、以下の図において、図４または図５に示し
た符号と同一の符号は同一物または相当物を示してい
る。DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. In the following drawings, the same reference numerals as those shown in FIG. 4 or FIG. 5 indicate the same or corresponding components.
【００１２】図１は、本考案に係るガス分析計の構成の
概略を示す図で、この図において、１はサンプリング装
置で、サンプルガスＳや、ゼロガスＺやスパンガスＳＰ
などの校正ガスＣを導入するもので、その構成について
は後述する。FIG. 1 is a diagram schematically showing the configuration of a gas analyzer according to the present invention. In this figure, reference numeral 1 denotes a sampling device, which is a sample gas S, a zero gas Z and a span gas SP.
The calibration gas C is introduced, and its configuration will be described later.
【００１３】２は分析部で、詳細には図示してないが、
例えばサンプリング装置１から供給されるサンプルガス
Ｓなどを収容すると共に、赤外光透過性の窓を備えたセ
ルと、このセルの一方からセルに向けて例えば赤外光を
照射する赤外光源と、セルの他方に配置され、セルを透
過した赤外光を受光する検出器からなる。３は分析部２
の検出器から出力される信号を適宜増幅するアンプであ
る。Reference numeral 2 denotes an analysis unit, not shown in detail,
For example, a cell that accommodates a sample gas S supplied from the sampling device 1 and has a window that transmits infrared light, and an infrared light source that emits infrared light from one of the cells toward the cell, for example. , And a detector arranged on the other side of the cell and receiving infrared light transmitted through the cell. 3 is the analysis unit 2
Is an amplifier that appropriately amplifies the signal output from the detector.
【００１４】４はガス分析計の動作全体を制御するため
の制御部としてのＣＰＵである。このＣＰＵ４内には、
測定手順を表すプログラムや、測定時においてアンプ３
を介して入力される検出器出力を分析処理するプログラ
ムが格納されると共に、出荷前に行われる性能試験時に
おいてサンプリング装置１に設けられた切換え弁や開閉
弁（何れも後述する）の開閉制御を行うためのプログラ
ムや、前記性能試験時においてアンプ３を介して入力さ
れる検出器出力を分析処理するプログラムが格納されて
いる。Reference numeral 4 denotes a CPU as a control unit for controlling the entire operation of the gas analyzer. In this CPU 4,
A program that indicates the measurement procedure and the amplifier 3
A program for analyzing the output of the detector input through the CPU is stored, and at the time of a performance test performed before shipment, the opening / closing control of a switching valve and an opening / closing valve (both will be described later) provided in the sampling device 1. And a program for analyzing the output of the detector input via the amplifier 3 during the performance test.
【００１５】５はＣＰＵ４からの出力を記録したり、表
示する記録・表示部である。そして、ａはＣＰＵ４から
サンプリング装置１に対して出力される開閉指令など各
種の制御指令を表し、また、Ｅx は前記セルから排出さ
れるガスを表す。Reference numeral 5 denotes a recording / display unit for recording and displaying the output from the CPU 4. Then, a is represent by the switching command various control commands such as an output the sampling device 1 from CPU 4, also, E x represents the gas discharged from the cell.
【００１６】図２は、前記サンプリング装置１の一構成
例を概略的に示すもので、この図に示す実施例において
は、３種類の測定成分を測定できる所謂３成分計用に構
成されている。この図において、６は分析部２のセルに
サンプルガスＳを供給するためのサンプリング流路で、
切換え弁としての三方電磁弁７が設けられている。この
三方電磁弁７は、その一つの入口ポート７ａが図外のサ
ンプルガス流路に連なるように、そして、出口ポート７
ｂが前記セルに連なるように、また、他の入口ポート７
ｃが後述する校正ガス流路８に連なるように、サンプリ
ング流路６に介装されている。８は前記三方電磁弁７を
介してゼロガスＺやスパンガスＳＰなどの校正ガスを分
析部２に供給するための校正ガス流路で、この校正ガス
流路８は、例えば一つのゼロガス供給路９と、３つのス
パンガス供給路１０，１１，１２とを互いに並列に接続
して構成されている。そして、各ガス供給路９〜１２
に、開閉弁としての二方電磁弁１３，１４，１５，１６
を介してゼロガスボンベ１７、第１測定成分に対応する
第１スパンガスを収容したボンベ１８、第２測定成分に
対応する第２スパンガスを収容したボンベ１９、第３測
定成分に対応する第３スパンガスを収容したボンベ２０
がそれぞれ設けられている。FIG. 2 schematically shows an example of the configuration of the sampling device 1. In the embodiment shown in FIG. 2, the sampling device 1 is configured for a so-called three-component meter capable of measuring three types of measurement components. . In this figure, reference numeral 6 denotes a sampling flow path for supplying the sample gas S to the cell of the analysis unit 2,
A three-way solenoid valve 7 is provided as a switching valve. The three-way solenoid valve 7 has one inlet port 7a connected to a sample gas flow path (not shown) and an outlet port 7a.
b is connected to the cell, and another inlet port 7
The sampling channel 6 is interposed so that c is connected to a calibration gas channel 8 described later. Reference numeral 8 denotes a calibration gas flow path for supplying a calibration gas, such as a zero gas Z or a span gas SP, to the analysis unit 2 via the three-way solenoid valve 7. The three span gas supply paths 10, 11, 12 are connected in parallel with each other. And each gas supply path 9-12
, Two-way solenoid valves 13, 14, 15, 16 as on-off valves
Via a zero gas cylinder 17, a cylinder 18 containing a first span gas corresponding to a first measurement component, a cylinder 19 containing a second span gas corresponding to a second measurement component, and a third span gas corresponding to a third measurement component. The stored cylinder 20
Are provided respectively.
【００１７】而して、上記構成のガス分析計において、
例えば３つの測定成分についての再現性試験を行うに
は、ＣＰＵ４からサンプリング装置１に対して、次のよ
うな開閉指令を出力して、三方電磁弁７、二方電磁弁１
３〜１６を開閉制御することにより、ゼロガスＺやスパ
ンガスＳＰなどの校正ガスＣを所定の手順で分析部２に
対して自動的に供給するのである。Thus, in the gas analyzer having the above configuration,
For example, in order to perform a reproducibility test for three measurement components, the CPU 4 outputs the following opening / closing command to the sampling device 1 and outputs the three-way solenoid valve 7 and the two-way solenoid valve 1.
By controlling the opening and closing of 3 to 16, the calibration gas C such as the zero gas Z and the span gas SP is automatically supplied to the analysis unit 2 in a predetermined procedure.
【００１８】 先ず、三方電磁弁７を、その入口ポー
ト７ｃと出口ポート７ｂとが連通するように開にすると
共に、二方電磁弁１３のみを開き、これらを例えば３分
間開状態とする。次いで、三方電磁弁７および二方電磁
弁１４のみをそれぞれ３分間開く。First, the three-way solenoid valve 7 is opened so that the inlet port 7c and the outlet port 7b thereof communicate with each other, and only the two-way solenoid valve 13 is opened, and these are opened, for example, for three minutes. Next, only the three-way solenoid valve 7 and the two-way solenoid valve 14 are opened for three minutes.
【００１９】上記に示した動作を繰り返して３回連続
的に行い、そのときの検出器出力をＣＰＵ４内において
分析処理することにより、例えば図３に示すように、第
１測定成分に関する指示記録を得ることができる。な
お、図３において、ｓｐ11，ｓｐ12，ｓｐ13は第１スパ
ンガスＳＰ1 を３回供給したときにおける分析濃度信号
を、また、ｚはゼロガスＺを３回供給したときにおける
分析濃度信号を、それぞれ示す。The above-described operation is repeated three times continuously, and the detector output at that time is analyzed in the CPU 4 so that, for example, as shown in FIG. Obtainable. In FIG. 3, sp 11 , sp 12 , and sp 13 indicate the analytical concentration signals when the first span gas SP 1 is supplied three times, and z indicates the analytical concentration signals when the zero gas Z is supplied three times. Shown respectively.
【００２０】 そして、三方電磁弁７および二方電磁
弁１３のみをそれぞれ例えば３分間開き、次いで、三方
電磁弁７および二方電磁弁１５のみをそれぞれ３分間開
く。Then, only the three-way solenoid valve 7 and the two-way solenoid valve 13 are opened, for example, for three minutes, respectively, and then, only the three-way solenoid valve 7 and the two-way solenoid valve 15 are opened, respectively, for three minutes.
【００２１】上記に示した動作を繰り返して３回連続
的に行うことにより、第２測定成分に関する指示記録を
同様に得ることができる。By repeatedly performing the above-described operation three times continuously, it is possible to similarly obtain an instruction record regarding the second measurement component.
【００２２】 さらに、三方電磁弁７および二方電磁
弁１３のみをそれぞれ例えば３分間開き、次いで、三方
電磁弁７および二方電磁弁１６のみをそれぞれ３分間開
く。Further, only the three-way solenoid valve 7 and the two-way solenoid valve 13 are opened for, for example, three minutes, and then, only the three-way solenoid valve 7 and the two-way solenoid valve 16 are opened for three minutes.
【００２３】上記に示した動作を繰り返して３回連続
的に行うことにより、第３測定成分に関する指示記録を
同様に得ることができる。By repeatedly performing the above-described operation three times continuously, an instruction record relating to the third measurement component can be similarly obtained.
【００２４】上述のように、前記〜の動作を連続的
に行うことにより、第１〜第３測定成分の指示記録を得
ることができ、３つの測定成分についての再現性試験を
自動的に行うことができる。なお、他の性能試験につい
ても同様に行えることは云うまでもない。As described above, by continuously performing the above operations (1) to (4), instruction records of the first to third measurement components can be obtained, and the reproducibility test for the three measurement components is automatically performed. be able to. It goes without saying that other performance tests can be similarly performed.
【００２５】そして、このガス分析計で例えば煙道排ガ
スを分析する場合には、三方電磁弁７を、その入口ポー
ト７ａと出口ポート７ｂとが連通するように開にして、
サンプルガスＳを分析部２に供給すればよい。When, for example, flue gas is analyzed by this gas analyzer, the three-way solenoid valve 7 is opened so that its inlet port 7a and outlet port 7b communicate with each other.
What is necessary is just to supply the sample gas S to the analyzer 2.
【００２６】本考案は、上述の３成分計に限られるもの
ではないことは云うまでもない。そして、切換え弁とし
て三方電磁弁７以外の部材を用いたり、また、開閉弁と
して二方電磁弁１３〜１６以外の部材を用いてもよい。It goes without saying that the present invention is not limited to the three-component meter described above. A member other than the three-way solenoid valve 7 may be used as the switching valve, or a member other than the two-way solenoid valves 13 to 16 may be used as the on-off valve.
【００２７】[0027]
【考案の効果】以上説明したように、本考案によれば、
サンプリング流路と校正ガス流路とを接続する切換え弁
と、校正ガス流路に対して互いに並列に接続されるゼロ
ガス供給路およびスパンガス供給路にそれぞれ設けられ
た開閉弁は、ガス分析計の通常の測定手順などを格納し
た制御部に格納されたプログラムに従って自動的に開閉
制御され、ゼロガスやスパンガスなど同一ボンベからの
ガスを分析部に対して所定の手順で複数回自動供給する
ことができるので、再現性試験に供されるガス分析計の
台数が多くなっても、従来技術と異なり、多数の係員に
よることなく再現性試験を自動的かつ効率よく行うこと
ができる。[Effects of the Invention] As described above, according to the present invention,
Switching valve for connecting the sampling flow path and the calibration gas flow path
The on- off valve provided in each of the zero gas supply path and the span gas supply path connected in parallel to the calibration gas flow path is a control unit that stores a normal measurement procedure of the gas analyzer and the like. Is automatically controlled in accordance with the program stored in the storage unit, and gas from the same cylinder, such as zero gas and span gas, can be automatically supplied to the analysis unit multiple times in a predetermined procedure. Even if the number of analyzers increases, unlike the related art, the reproducibility test can be performed automatically and efficiently without using a large number of personnel.
【００２８】そして、従来と異なり、高価な校正ガス導
入切換装置を用意する必要がないのでコストダウンが図
れ、また、前記切換え弁および開閉弁を開閉制御するた
めのプログラムは、ガス分析計の制御部に格納しておく
だけでよく、新たに部品などを設ける必要がないので、
コストアップになることがないといった利点がある。Unlike the prior art, there is no need to prepare an expensive calibration gas introduction switching device, so that the cost can be reduced. Further, the program for controlling the switching valve and the on- off valve to open and close is controlled by the control of the gas analyzer. Section, and it is not necessary to provide any new parts.
There is an advantage that the cost does not increase.
【図１】本考案に係るガス分析計の一構成例を概略的に
示す図である。FIG. 1 is a diagram schematically illustrating a configuration example of a gas analyzer according to the present invention.
【図２】前記ガス分析計におけるサンプリング装置の一
構成例を示す配管系統図である。FIG. 2 is a piping system diagram showing one configuration example of a sampling device in the gas analyzer.
【図３】本考案の動作説明図である。FIG. 3 is a diagram illustrating the operation of the present invention.
【図４】従来技術を説明するための図である。FIG. 4 is a diagram for explaining a conventional technique.
【図５】従来技術を説明するための図である。FIG. 5 is a diagram for explaining a conventional technique.
２…分析部、４…制御部、６…サンプリング流路、７…
切換え弁、８…校正ガス流路、９…ゼロガス供給路、１
０，１１，１２…スパンガス供給路、１３，１４，１
５，１６…開閉弁、Ｓ…サンプルガス、Ｚ…ゼロガス、
ＳＰ…スパンガス、ａ…制御指令。2 ... analytical unit, 4 ... control unit, 6 ... sampling channel, 7 ...
Switching valve, 8: Calibration gas flow path, 9: Zero gas supply path, 1
0,11,12 ... Span gas supply path, 13,14,1
5, 16: On-off valve , S: Sample gas, Z: Zero gas,
SP: span gas, a: control command.
Claims (1)
分析部にサンプルガスを供給するサンプリング流路と、
前記分析部に制御指令を出力して所定の分析を行わせる
制御部と、前記サンプリング流路に対して切換え弁を介
して接続される校正ガス流路と、この校正ガス流路に対
して互いに並列に接続され、かつそれぞれ開閉弁を備え
たゼロガス供給路およびスパンガス供給路とを備えると
共に、前記制御部内に、出荷時に行われる性能試験にお
いて前記切換え弁および開閉弁を開閉制御することによ
り前記分析部に対してゼロガスおよびスパンガスを所定
の手順で複数回自動供給して再現性試験を行うためのプ
ログラムを格納したことを特徴とするガス分析計。 An analyzer for analyzing a sample gas, comprising :
A sampling channel for supplying a sample gas to the analysis unit,
Output a control command to the analysis unit to perform a predetermined analysis
A control unit and a switching valve for the sampling flow path.
Calibration gas flow path connected to
Connected in parallel with each other and provided with on-off valves
With a zero gas supply path and a span gas supply path
In both cases, a performance test performed at the time of shipment is stored in the control unit .
Control of the switching valve and the on-off valve.
Ri-flop for performing the reproducibility test the zero gas and span gas multiple times automatically supplied at a predetermined procedure to the analyzing unit
A gas analyzer characterized by storing a program .
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1991036227U JP2601977Y2 (en) | 1991-04-20 | 1991-04-20 | Gas analyzer |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1991036227U JP2601977Y2 (en) | 1991-04-20 | 1991-04-20 | Gas analyzer |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04122355U JPH04122355U (en) | 1992-11-02 |
| JP2601977Y2 true JP2601977Y2 (en) | 1999-12-13 |
Family
ID=31918218
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1991036227U Expired - Lifetime JP2601977Y2 (en) | 1991-04-20 | 1991-04-20 | Gas analyzer |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2601977Y2 (en) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US9347875B2 (en) * | 2009-12-25 | 2016-05-24 | Horiba, Ltd. | Gas analyzing system |
| EP3929579A4 (en) * | 2019-02-22 | 2022-11-16 | Hitachi High-Tech Corporation | Analysis device |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6311633U (en) * | 1986-07-09 | 1988-01-26 |
-
1991
- 1991-04-20 JP JP1991036227U patent/JP2601977Y2/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH04122355U (en) | 1992-11-02 |
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Legal Events
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