JP2598862B2 - Non-contact detector - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【０００１】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は非接触式検出器に係り、
特に定盤の平面度を評価する場合に好適な非接触式検出
器に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a non-contact type detector ,
Particularly, the present invention relates to a non-contact type detector suitable for evaluating flatness of a surface plate.

【０００２】[0002]

【背景技術】一般に、ハイトゲージ（一次元測定機）、
三次元測定機、輪郭測定機等を使用して被測定物の形状
等を測定するには、被測定物を定盤に載置した状態で測
定を行う。従って、測定機の測定精度は定盤の平面度に
よって大きな影響を受けるため、定盤の平面度を測定機
の製造工場等で評価しておく必要がある。BACKGROUND ART Generally, height gauges (one-dimensional measuring machines),
In order to measure the shape and the like of the object to be measured using a three-dimensional measuring device, a contour measuring device, and the like, the measurement is performed with the object to be measured placed on a surface plate. Therefore, since the measurement accuracy of the measuring machine is greatly affected by the flatness of the surface plate, it is necessary to evaluate the flatness of the surface plate at a manufacturing plant of the measuring device.

【０００３】従来、定盤の平面度を評価するには、通常
ＪＩＳＢ７５１３の規格によって行われている。同規格
による平面度の測定方法としては、水準器による方法、
オートコリメータによる方法、基準面と比較する方法が
ある。例えば、水準器による方法では水準器を使用して
定盤上の各測定点の高さを測定し、得られた測定値を加
減算することによって平面度を算出し、この平面度に応
じて定盤の等級を決定する。[0003] Conventionally, the flatness of a surface plate is usually evaluated in accordance with the standard of JIS B7513. As a method of measuring flatness according to the standard, a method using a level,
There are a method using an autocollimator and a method for comparing with a reference plane. For example, in the method using a level, the level of each measurement point on the surface plate is measured using a level, and the flatness is calculated by adding and subtracting the obtained measured values, and the flatness is determined according to the flatness. Determine the grade of the board.

【０００４】一方、近年、定盤の平面度評価の自動化を
図るべく、三次元測定機を利用した定盤の高さ測定が試
みられている。これは、三次元測定機のタッチ信号プロ
ーブのルビ球を定盤の各測定点に直接当接させて各々高
さを測定し、基準面（マスタ定盤）と、対象となる定盤
との高さをそれぞれ比較して平面度を算出する。On the other hand, in recent years, in order to automate the evaluation of the flatness of the surface plate, an attempt has been made to measure the height of the surface plate using a three-dimensional measuring machine. This is because the ruby sphere of the touch signal probe of the coordinate measuring machine is brought into direct contact with each measurement point on the surface plate to measure the height, and the reference surface (master surface plate) and the target surface plate are measured. The flatness is calculated by comparing the heights.

【０００５】[0005]

【発明が解決しようとする課題】ところが、従来の三次
元測定機を用いた測定では、タッチ信号プローブのルビ
球を定盤の表面に当接させたときに、定盤上の微小なき
ずやピンホール、表面粗さ、きさげ、研削加工面粗度、
塵埃等が影響して測定値に誤差が生じ、この結果、定盤
の平面度を正確に評価できないという欠点がある。これ
らの微小なきずやピンホール等は、定盤としての性能に
本来支障がなく、三次元測定機によって平面度を評価す
る場合の誤差要因となるにすぎないものである。However, in the measurement using a conventional coordinate measuring machine, when a ruby ball of a touch signal probe is brought into contact with the surface of the surface plate, a minute defect on the surface plate is generated. Pinhole, surface roughness, shearing, grinding surface roughness,
An error occurs in the measured value due to dust and the like, and as a result, there is a disadvantage that the flatness of the surface plate cannot be accurately evaluated. These minute flaws, pinholes, and the like do not originally affect the performance of the surface plate, but merely cause an error when the flatness is evaluated by a three-dimensional measuring machine.

【０００６】本発明はこのような事情に鑑みてなされた
もので、その目的は、被測定物の形状を測定する場合
に、被測定物の微小なきずやピンホール、表面粗さ、き
さげ、研削加工面粗度、塵埃等によって生じる測定誤差
を防止することが可能な非接触式検出器を提供するとこ
ろにある。SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of such circumstances, and an object of the present invention is to measure minute shapes, pinholes, surface roughness, and roughness of an object to be measured when measuring the shape of the object to be measured. Another object of the present invention is to provide a non-contact type detector capable of preventing a measurement error caused by a ground surface roughness, dust and the like.

【０００７】[0007]

【課題を解決するための手段】本発明は、軸方向へ移動
可能な測定機の移動軸に装着され、被測定物と関与して
接触信号を送出する非接触式検出器であって、前記移動
軸の先端部に設けられかつ先端の接触子に物体が当接す
ると接触信号を送出するタッチ信号プローブと、前記移
動軸の先端部にその移動軸の軸方向へ変位可能に取付け
られかつ前記接触子を囲繞する筒状のガイド部材と、こ
のガイド部材の端部に取り付けられかつ被測定物へ向か
って空気を噴出するとともに被測定物との間に空気膜を
形成するエアパッドと、このエアパッドを前記タッチ信
号プローブの接触子から離れる方向へ付勢するとともに
前記空気膜の圧力によって前記エアパッドおよびガイド
部材が前記軸方向へ変位したとき撓んで前記エアパッド
を前記接触子に当接させる弾性部材とを含むことを特徴
としている。SUMMARY OF THE INVENTION The present invention is mounted on a moving shaft of a measuring machine which is movable in an axial direction, and is connected to an object to be measured.
A non-contact-type detector for transmitting a touch signal, the mobile
The object is provided at the tip of the shaft and contacts the contact at the tip.
And a touch signal probe for sending a contact signal, a cylindrical guide member surrounding the axial direction of the moving shaft mounted displaceably and the contactor at the tip portion of the moving shaft that, this
And air pads to form an air layer between with ejecting guide end air toward mounted and the object to be measured in the member with the object to be measured, the touch signal of this air pad
Urges the probe away from the contact
The air pad and the guide by the pressure of the air film
The air pad flexes when the member is displaced in the axial direction
And an elastic member for contacting the contact member .

【０００８】[0008]

【作用】本発明では、測定にあたって、測定機の移動軸
をその軸方向へ移動させていき、エアパッドが被測定物
の測定面に所定間隔まで接近すると、エアパッドと被測
定物との間に形成される空気膜の圧力上昇によってエア
パッドのそれ以上の接近が停止される。そして、移動軸
が軸方向へ更に移動すると、エアパッドの接近が停止さ
れているので、弾性部材が弾性変形していくとともにタ
ッチ信号プローブの接触子とエアパッドとの間隔が次第
に小さくなっていく。やがて、エアパッドと接触子とが
当接する位置まで移動軸が移動すると、タッチ信号プロ
ーブから接触信号が送出される。従って、その信号を基
に移動軸の変位量を読み取れば、被測定物の測定面の位
置が測定できる。その結果、被測定物の表面に対して接
触することなく、その表面位置を測定することができる
ので、被測定物上の微小なきずやピンホール、表面粗
さ、きさげ、研削加工面粗度、塵埃等による影響を受け
ることなく、正確に表面位置を測定できる。また、非接
触状態で測定を行うので、被測定物の表面に傷等が付か
ないとともに、エアパッドに摩耗等が生じない。 更に、
タッチ信号プローブを備えた既存の接触式の測定機に、
弾性部材、エアパッドおよびガイド部材を付加するだけ
で非接触式の検出器を構成できる。つまり、簡単な構造
で、従来の測定機に用いられていたタッチ信号プローブ
を利用して非接触式検出器を構成できる。 According to the present invention, when measuring, the moving axis of the measuring machine is moved in the axial direction. The increased pressure of the air film stops the air pad from further approaching. When the moving shaft further moves in the axial direction, the approach of the air pad is stopped .
The distance between the contact of the switch signal probe and the air pad
It becomes smaller . Eventually, the air pad and the contact
When the moving axis moves to the contact position, the touch signal
A contact signal is sent from the probe . Therefore, if the displacement of the moving axis is read based on the signal, the position of the measurement surface of the measured object can be measured. As a result, the surface of the
The surface position can be measured without touching
Therefore, small scratches, pinholes, and surface roughness
, Impact, grinding surface roughness, dust, etc.
The surface position can be accurately measured without the need. In addition,
Since the measurement is performed in the state of touch, the surface of the DUT may not be scratched
In addition, there is no wear on the air pad. Furthermore,
Existing contact measuring machines with touch signal probes,
Just add elastic members, air pads and guide members
Can form a non-contact detector. In other words, a simple structure
The touch signal probe used in conventional measuring instruments
A non-contact type detector can be configured by utilizing the above.

【０００９】[0009]

【実施例】次に、本発明に係る非接触式検出器について
好適な実施例を挙げ、添付の図面を参照しながら詳細に
説明する。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Next, preferred embodiments of a non-contact type detector according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

【００１０】図１は本実施例に係る非接触式検出器が適
用される三次元測定機の概略斜視図である。図１の三次
元測定機１０は定盤１２と、この定盤１２上をＹ軸方向
に移動可能な門型フレーム１４とを備え、定盤１２の一
方側には案内レール１６が取付けられ、門型フレーム１
４の一方の脚部１４Ａがこの案内レール１６に沿ってＹ
軸方向に摺動しながら移動する。FIG. 1 is a schematic perspective view of a coordinate measuring machine to which the non-contact type detector according to the present embodiment is applied. The coordinate measuring machine 10 of FIG. 1 includes a surface plate 12 and a portal frame 14 movable on the surface plate 12 in the Y-axis direction. A guide rail 16 is attached to one side of the surface plate 12, Gate type frame 1
4 along one of the guide rails 16 in the Y direction.
It moves while sliding in the axial direction.

【００１１】ここで、門型フレーム１４と案内レール１
６との相対移動量は、案内レール１６に設けられたスケ
ール１８と、脚部１４Ａに設けられた検出器（図示省
略）等から構成される変位検出手段によって測定され
る。なお、門型フレーム１４の他方の脚部１４Ａの下面
には図示しないエアベアリングが配設され、このエアベ
アリングによって脚部１４Ａが定盤１２上に摺動自在に
支持されている。Here, the portal frame 14 and the guide rail 1
The relative movement amount with respect to 6 is measured by a displacement detecting means including a scale 18 provided on the guide rail 16 and a detector (not shown) provided on the leg 14A. An air bearing (not shown) is provided on the lower surface of the other leg 14A of the portal frame 14, and the leg 14A is slidably supported on the surface plate 12 by the air bearing.

【００１２】一方、門型フレーム１４のブリッジ部１４
ＢにはＸ軸スライダ２０がＸ軸方向に摺動自在に配設さ
れ、ブリッジ部１４ＢとＸ軸スライダ２０との相対移動
量が前記Ｙ軸方向の場合と同様に光学的な変位検出手段
によって測定される。更に、Ｘ軸スライダ２０にはＺ軸
支持部材２２が設けられ、このＺ軸支持部材２２にはＺ
軸方向に摺動自在なＺ軸スピンドル２４が配設されてい
る。Ｚ軸スピンドル２４には後述する本実施例に係る非
接触式検出器が取付けられる。On the other hand, the bridge portion 14 of the portal frame 14
B, an X-axis slider 20 is slidably provided in the X-axis direction, and the relative displacement between the bridge portion 14B and the X-axis slider 20 is determined by an optical displacement detecting means as in the case of the Y-axis direction. Measured. Further, the X-axis slider 20 is provided with a Z-axis support member 22.
A Z-axis spindle 24 slidable in the axial direction is provided. A non-contact type detector according to the embodiment described later is attached to the Z-axis spindle 24.

【００１３】図２は図１の三次元測定機に適用された本
実施例に係る非接触式検出器の一部断面図、図３は図２
の非接触式検出器を示した側面図、図４は本実施例に係
る非接触式検出器の要部断面図である。FIG. 2 is a partial cross-sectional view of the non-contact type detector according to the present embodiment applied to the coordinate measuring machine of FIG. 1, and FIG.
Side view showing a non-contact type detector, FIG. 4 is a fragmentary cross-sectional view of a non-contact-type detector according to the present embodiment.

【００１４】図２及び図３に示すように、三次元測定機
の移動軸としてのＺ軸スピンドル２４には非接触式検出
器２６が取付けられ、この非接触式検出器２６はプロー
ブアダプタ２８、検出器としてのタッチ信号プローブ３
０、圧縮コイルばね３２、エアパッド３４等から構成さ
れている。[0014] As shown in FIGS. 2 and 3, the Z-axis spindle 24 of the moving shaft of the coordinate measuring machine contactless detector <br/> 26 is attached, the non-contact-type detector 26 probe adapter 28, the touch signal probe 3 as a detector
0, a compression coil spring 32, an air pad 34, and the like.

【００１５】検出器としてのタッチ信号プローブ３０は
先端に接触子３０Ａを備え、プローブアダプタ２８を介
してＺ軸スピンドル２４に支持されている。又、プロー
ブアダプタ２８には一対の案内板３６が支持されてい
る。この案内板３６の両下端には水平な固定片３８Ａ
と、この固定片３８Ａから下方へ延出する円筒部３８Ｂ
とからなるばね受け材３８が取付けられている。円筒部
３８Ｂの下端とエアパッド３４との間には、弾性部材と
して圧縮コイルばね３２が介在されている。The touch signal probe 30 as a detector is
A contact 30A is provided at the tip, and is supported by the Z-axis spindle 24 via a probe adapter 28 . The probe adapter 28 supports a pair of guide plates 36. At both lower ends of the guide plate 36, horizontal fixing pieces 38A are provided.
And a cylindrical portion 38B extending downward from the fixing piece 38A.
Are attached. A compression coil spring 32 is interposed between the lower end of the cylindrical portion 38B and the air pad 34 as an elastic member.

【００１６】エアパッド３４は円筒状のガイド部材４０
にねじ部３４Ａによって固定され、ガイド部材４０は、
その上端に形成された鍔部４０Ａによって、ばね受け材
３８の孔３８Ｃに支持されている。ガイド部材４０はタ
ッチ信号プローブ３０を囲繞しているとともに、エアパ
ッド３４とともに孔３８Ｃに沿って矢印Ａ方向に摺動す
る。このため、ガイド部材４０は圧縮コイルばね３２が
弾性変形することによりタッチ信号プローブ３０に対し
て相対的に移動する。The air pad 34 has a cylindrical guide member 40.
The guide member 40 is fixed to the
It is supported in a hole 38C of the spring receiving member 38 by a flange 40A formed at the upper end thereof. The guide member 40 surrounds the touch signal probe 30, and slides in the direction of arrow A along the hole 38C together with the air pad 34. Therefore, the guide member 40 moves relatively to the touch signal probe 30 due to the elastic deformation of the compression coil spring 32.

【００１７】エアパッド３４にはエアホース４２が取付
けられ、このエアホース４２によってエアパッド３４に
圧搾空気が供給され、エアパッド３４と被測定物との間
に空気軸受けと同様な作用で一定厚さの空気膜（エアフ
ィルム）が形成される。ここで、エアホース４２はエア
パッド３４の移動を妨げないように柔軟性を有するフレ
キシブルチューブ等で形成されている。An air hose 42 is attached to the air pad 34, and compressed air is supplied to the air pad 34 by the air hose 42, and an air film (a fixed thickness) is formed between the air pad 34 and the object to be measured by the same action as an air bearing. An air film is formed. Here, the air hose 42 is formed of a flexible tube or the like having flexibility so as not to hinder the movement of the air pad 34.

【００１８】前記の如く構成した非接触式検出器２６を
図１の三次元測定機に使用して例えば定盤の平面度を評
価する作業は以下のように行われる。The work of evaluating the flatness of a surface plate, for example, by using the non-contact type detector 26 configured as described above in the three-dimensional measuring machine of FIG. 1 is performed as follows.

【００１９】図４に示すように、先ず、Ｚ軸スピンドル
２４（図４には図示せず）を下降させ、被測定物である
定盤４４に向かってエアパッド３４を定盤４４に近づけ
ていく。すると、エアパッド３４は定盤４４より約１０
mm手前にて下降スピードが低速に変わる。As shown in FIG. 4, first, the Z-axis spindle 24 (not shown in FIG. 4) is lowered, and the air pad 34 is moved closer to the surface plate 44 toward the surface plate 44 to be measured. . Then, the air pad 34 is about 10 times higher than the surface plate 44.
The descent speed changes to low speed just before mm.

【００２０】そして、エアパッド３４の下面と定盤４４
の平面との隙間が数μｍ手前に達すると、エアパッド３
４と定盤４４との間に形成されるエアフィルム４６の圧
力によってエアパッド３４の下降が停止される。The lower surface of the air pad 34 and the surface plate 44
When the gap with the flat surface reaches a few μm before, the air pad 3
The lowering of the air pad 34 is stopped by the pressure of the air film 46 formed between the plate 4 and the platen 44.

【００２１】しかし、タッチ信号プローブ３０はなおも
下降し続けているため、圧縮コイルばね３２が圧縮され
ていく。つまり、タッチ信号プローブ３０とエアパッド
３４との間隔が次第に小さくなっていく。やがて、エア
パッド３４のねじ部３４Ａとタッチ信号プローブ３０の
接触子３０Ａとの間隔Ｈが狭まり、最終的にねじ部３４
Ａと接触子３０Ａとが当接する位置までタッチ信号プロ
ーブ３０が移動すると、タッチ信号プローブ３０からエ
アパッド３４のねじ部３４Ａとの接触信号が測定機本体
に送出され、このときの定盤４４の高さ位置が取りこま
れる。However, since the touch signal probe 30 is still descending, the compression coil spring 32 is compressed. That is, the distance between the touch signal probe 30 and the air pad 34 gradually decreases. Eventually, the screw portion 34A of the air pad 34 and the touch signal probe 30
The distance H from the contact 30A is reduced, and finally the threaded portion 34
When the touch signal probe 30 moves to a position where the contact A comes into contact with the contact 30A, a contact signal with the screw portion 34A of the air pad 34 is sent from the touch signal probe 30 to the measuring instrument main body, and the height of the surface plate 44 at this time is increased. The position is captured.

【００２２】ここで、エアパッド３４は圧縮コイルばね
３２の縮み量Ｈに応じた負荷を受けており、定盤４４と
エアパッド３４との間のエアフィルム４６の厚さｈはそ
の負荷に応じて決まる。従って、圧縮コイルばね３２の
縮み量Ｈが一定である限り、エアフィルム４６の厚さｈ
は常に一定の値となり、この結果、定盤４４に対して接
触することなく、その高さ位置を測定することができ
る。Here, the air pad 34 receives a load corresponding to the amount of contraction H of the compression coil spring 32, and the thickness h of the air film 46 between the platen 44 and the air pad 34 is determined according to the load. . Therefore, as long as the compression amount H of the compression coil spring 32 is constant, the thickness h of the air film 46 is
Is always a constant value. As a result, the height position can be measured without contacting the surface plate 44.

【００２３】以上のように本実施例によれば、定盤４４
の表面に対して接触することなく、その高さ位置を測定
することができるので、定盤４４上の微小なきずやピン
ホール、表面粗さ、きさげ、研削加工面粗度、塵埃等に
よる影響を受けることなく、高さ位置を測定でき、これ
により正確な平面度の評価が可能となる。また、非接触
状態で測定を行うので、定盤４４の表面に傷等が付かな
いとともに、エアパッド３４下面に摩耗等が生じない。
更に、従来の接触式のタッチ信号プローブ３０に圧縮コ
イルばね３２とエアパッド３４を付加するだけですむの
で、測定機の構造を簡単化することができる。As described above, according to the present embodiment, the surface plate 44
The height position can be measured without touching the surface of the surface plate 44, so that it can be measured by minute flaws and pinholes on the surface plate 44, surface roughness, roughness, grinding surface roughness, dust, etc. The height position can be measured without being affected, thereby enabling accurate evaluation of flatness. Further, since the measurement is performed in a non-contact state, the surface of the surface plate 44 is not scratched, and the lower surface of the air pad 34 is not worn.
Further, since only the compression coil spring 32 and the air pad 34 need to be added to the conventional contact type touch signal probe 30, the structure of the measuring machine can be simplified.

【００２４】以上、本発明について好適な実施例を挙げ
て説明したが、本発明はこの実施例に限定されるもので
はなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において種々の
改良並びに設計の変更が可能なことは勿論である。Although the present invention has been described with reference to the preferred embodiments, the present invention is not limited to these embodiments, and various improvements and design changes may be made without departing from the spirit of the present invention. Of course, it is possible.

【００２５】例えば本実施例では、三次元測定機に適用
した場合について説明したが、これに限らずハイトゲー
ジ（一次元測定機）、輪郭測定機等に適用することも可
能である。また、本実施例では被測定物として定盤４４
の平面度を評価する場合について説明したが、非接触状
態での測定が好適なもの、例えば軟質材料の表面形状の
測定にも好適である。For example, in this embodiment, a case where the present invention is applied to a three-dimensional measuring machine has been described. However, the present invention is not limited to this, and the present invention can be applied to a height gauge (one-dimensional measuring machine), a contour measuring machine and the like. In this embodiment, the platen 44 is used as the object to be measured.
Although the case of evaluating the flatness has been described, measurement in a non-contact state is suitable, for example, measurement of the surface shape of a soft material.

【００２６】[0026]

【００２７】[0027]

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
被測定物の測定面の微小なきずやピンホール等の影響を
受けずに測定が可能となり、測定精度が向上する。As described above, according to the present invention,
Measurement can be performed without being affected by minute flaws or pinholes on the measurement surface of the object to be measured, and measurement accuracy is improved.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図１】本実施例に係る非接触式検出器が適用される三
次元測定機の概略斜視図である。FIG. 1 is a schematic perspective view of a coordinate measuring machine to which a non-contact detector according to an embodiment is applied.

【図２】図１の三次元測定機に適用された本実施例に係
る非接触式検出器の一部断面図である。FIG. 2 is a partial cross-sectional view of the non-contact type detector according to the present embodiment applied to the coordinate measuring machine of FIG. 1;

【図３】図２の非接触式検出器を示した側面図である。FIG. 3 is a side view showing the non-contact type detector of FIG. 2;

【図４】図２の非接触式検出器の要部断面図である。FIG. 4 is a sectional view of a main part of the non-contact type detector of FIG. 2;

【符号の説明】 ２６ 非接触式検出器 ３０ タッチ信号プローブ（検出器） ３２ 圧縮コイルばね（弾性部材） ３４ エアパッド３６ 案内板 ３８ ばね受け材 ４０ ガイド部材 ４４ 定盤（被測定物） ４６ エアフィルム（空気膜）[Description of Signs] 26 Non-contact type detector 30 Touch signal probe (detector) 32 Compression coil spring (elastic member) 34 Air pad 36 Guide plate 38 Spring receiving material 40 Guide member 44 Surface plate (measurement object) 46 Air film (Air film)

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項１】 軸方向へ移動可能な測定機の移動軸に装
着され、被測定物と関与して接触信号を送出する非接触
式検出器であって、前記移動軸の先端部に設けられかつ先端の接触子に物体
が当接すると接触信号を送出するタッチ信号プローブ
と、 前記移動軸の先端部にその移動軸の軸方向へ変位可能に
取付けられかつ前記接触子を囲繞する筒状のガイド部材
と、このガイド部材の端部に取り付けられかつ 被測定物へ向
かって空気を噴出するとともに被測定物との間に空気膜
を形成するエアパッドと、このエアパッドを前記タッチ信号プローブの接触子から
離れる方向へ付勢するとともに前記空気膜の圧力によっ
て前記エアパッドおよびガイド部材が前記軸方向へ変位
したとき撓んで前記エアパッドを前記接触子に当接させ
る弾性部材 とを含むことを特徴とする非接触式検出器。1. A non-contact type which is attached to a moving shaft of a measuring machine which is movable in an axial direction and which transmits a contact signal in connection with an object to be measured.
A detector provided at the tip of the moving shaft and having a contact at the tip of an object.
Signal probe that sends out a contact signal when abuts
And a cylindrical guide member attached to the tip of the moving shaft so as to be displaceable in the axial direction of the moving shaft and surrounding the contact.
When the air pad to form an air layer between the object to be measured while ejecting air toward mounted and the object to be measured to the ends of the guide members, the air pad from contact of the touch signal probe
It is urged away and the pressure of the air film
The air pad and guide member are displaced in the axial direction.
When the air pad is bent, the air pad comes into contact with the contactor.
Non-contact type detector which comprises an elastic member that.