JP2592965Y2 - 超伝導検出コイル - Google Patents
超伝導検出コイルInfo
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- JP2592965Y2 JP2592965Y2 JP1993000906U JP90693U JP2592965Y2 JP 2592965 Y2 JP2592965 Y2 JP 2592965Y2 JP 1993000906 U JP1993000906 U JP 1993000906U JP 90693 U JP90693 U JP 90693U JP 2592965 Y2 JP2592965 Y2 JP 2592965Y2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- superconducting
- detection coil
- flexible substrate
- wiring pattern
- wiring
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この考案は高感度磁気センサに応
用する超伝導量子干渉素子（Ｓｕｐｅｒｃｏｎｄｕｃｔ
ｉｎｇ Ｑｕａｎｔｕｍ Ｉｎｔｅｒｆｅｒｅｎｃｅ
Ｄｅｖｉｃｅ：ＳＱＵＩＤと略す）を使用した磁気セン
サに用いられる検出コイルの構造に関する。
用する超伝導量子干渉素子（Ｓｕｐｅｒｃｏｎｄｕｃｔ
ｉｎｇ Ｑｕａｎｔｕｍ Ｉｎｔｅｒｆｅｒｅｎｃｅ
Ｄｅｖｉｃｅ：ＳＱＵＩＤと略す）を使用した磁気セン
サに用いられる検出コイルの構造に関する。
【０００２】
【従来の技術】ＳＱＵＩＤは従来から微小磁場の検出に
応用されている。ＳＱＵＩＤ磁束計ではフレキシブル基
板上に超伝導配線した回路を円筒状に巻いたボビン型の
検出コイルが用いられている。
応用されている。ＳＱＵＩＤ磁束計ではフレキシブル基
板上に超伝導配線した回路を円筒状に巻いたボビン型の
検出コイルが用いられている。
【０００３】図１は従来の一次微分ボビン型検出コイル
のフレキシブル基板上配線パターンを表した図である。
１はフレキシブル基板、２は超伝導配線パターン、３は
電極で、フレキシブル基板１としてはポリイミド基板、
超伝導配線パターン２および電極３としては鉛錫（Ｐｂ
−Ｓｎ）メッキ配線、ニオブ（Ｎｂ）スパッタ膜配線、
鉛インジウム（Ｐｂ−Ｉｎ）蒸着膜配線が用いられる
が、他の超伝導薄膜配線、超伝導厚膜配線でもよい。Ｐ
ｂ−Ｓｎメッキ膜のバッファー層として、銅（Ｃｕ）、
パラジウム（Ｐｄ）などの抵抗材料が用いられるが、他
の高抵抗材料を用いることもできる。
のフレキシブル基板上配線パターンを表した図である。
１はフレキシブル基板、２は超伝導配線パターン、３は
電極で、フレキシブル基板１としてはポリイミド基板、
超伝導配線パターン２および電極３としては鉛錫（Ｐｂ
−Ｓｎ）メッキ配線、ニオブ（Ｎｂ）スパッタ膜配線、
鉛インジウム（Ｐｂ−Ｉｎ）蒸着膜配線が用いられる
が、他の超伝導薄膜配線、超伝導厚膜配線でもよい。Ｐ
ｂ−Ｓｎメッキ膜のバッファー層として、銅（Ｃｕ）、
パラジウム（Ｐｄ）などの抵抗材料が用いられるが、他
の高抵抗材料を用いることもできる。
【０００４】図１のＡで示した部分とＢで示した部分が
重なるように１巻することにより、図２に示す構成の１
巻の１次微分型検出コイルを構成する。１次微分ボビン
型検出コイルは上部のコイルで検出した磁場信号と下部
のコイルで検出した磁場信号の差、すなわち磁場勾配を
検出するものである。従って、コイルの面積精度、形状
精度、相互の位置精度、相互の平行精度が高いことの他
に、コイル以外に磁場が鎖交する部分を形成させないこ
とが要求される。
重なるように１巻することにより、図２に示す構成の１
巻の１次微分型検出コイルを構成する。１次微分ボビン
型検出コイルは上部のコイルで検出した磁場信号と下部
のコイルで検出した磁場信号の差、すなわち磁場勾配を
検出するものである。従って、コイルの面積精度、形状
精度、相互の位置精度、相互の平行精度が高いことの他
に、コイル以外に磁場が鎖交する部分を形成させないこ
とが要求される。
【０００５】
【考案が解決しようとする課題】上記従来の１次微分ボ
ビン型検出コイルでは、超伝導コイル線と電極の間の２
本の配線に隙間が形成されるため、検出コイルの横方向
からの磁気雑音を隙間で検出し、磁場勾配感度に影響を
与えるという問題があった。
ビン型検出コイルでは、超伝導コイル線と電極の間の２
本の配線に隙間が形成されるため、検出コイルの横方向
からの磁気雑音を隙間で検出し、磁場勾配感度に影響を
与えるという問題があった。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本考案は、上記の課題を
解決するため、上部超伝導コイルと電極間の配線部分を
超伝導体から成る超伝導カバーで覆う構造とした。
解決するため、上部超伝導コイルと電極間の配線部分を
超伝導体から成る超伝導カバーで覆う構造とした。
【０００７】
【作用】上記のような超伝導検出コイルの構造によれ
ば、上部超伝導コイル線と電極の間の２本の配線の隙間
が超伝導体のマイスナー効果により磁気遮蔽されるた
め、コイル以外に磁束が鎖交する部分を極力減少するこ
とができる。
ば、上部超伝導コイル線と電極の間の２本の配線の隙間
が超伝導体のマイスナー効果により磁気遮蔽されるた
め、コイル以外に磁束が鎖交する部分を極力減少するこ
とができる。
【０００８】
【実施例】以下に本考案の実施例について図面を参照し
て説明する。図３は本考案の実施例１を示す１次微分ボ
ビン型検出コイルのフレキシブル基板上配線パターンを
表した図である。１はフレキシブル基板、２は超伝導配
線パターン、３は電極、４は超伝導カバーで、フレキシ
ブル基板１としてはポリイミド基板、超伝導配線パター
ン２および電極３および超伝導カバー４としては鉛錫
（Ｐｂ−Ｓｎ）メッキ配線、ニオブ（Ｎｂ）スパッタ膜
配線、鉛インジウム（Ｐｂ−Ｉｎ）蒸着膜配線が用いら
れるが、他の超伝導薄膜配線、超伝導厚膜配線でもよ
い。図３のａ−ｂにおける断面図を図４に示す。５はＰ
ｂ−Ｓｎメッキ膜のバッファー層で、銅（Ｃｕ）、パラ
ジウム（Ｐｄ）などの抵抗材料が用いられるが、他の高
抵抗材料を用いることもできる。６は絶縁層でポリイミ
ドが用いられるが、他の絶縁体でもよい。図３のＡで示
した部分とＢで示した部分が重なるように１巻すること
により、図５に示す構成の１巻の１次微分型検出コイル
を構成することができる。
て説明する。図３は本考案の実施例１を示す１次微分ボ
ビン型検出コイルのフレキシブル基板上配線パターンを
表した図である。１はフレキシブル基板、２は超伝導配
線パターン、３は電極、４は超伝導カバーで、フレキシ
ブル基板１としてはポリイミド基板、超伝導配線パター
ン２および電極３および超伝導カバー４としては鉛錫
（Ｐｂ−Ｓｎ）メッキ配線、ニオブ（Ｎｂ）スパッタ膜
配線、鉛インジウム（Ｐｂ−Ｉｎ）蒸着膜配線が用いら
れるが、他の超伝導薄膜配線、超伝導厚膜配線でもよ
い。図３のａ−ｂにおける断面図を図４に示す。５はＰ
ｂ−Ｓｎメッキ膜のバッファー層で、銅（Ｃｕ）、パラ
ジウム（Ｐｄ）などの抵抗材料が用いられるが、他の高
抵抗材料を用いることもできる。６は絶縁層でポリイミ
ドが用いられるが、他の絶縁体でもよい。図３のＡで示
した部分とＢで示した部分が重なるように１巻すること
により、図５に示す構成の１巻の１次微分型検出コイル
を構成することができる。
【０００９】図６は本考案の実施例２を示す１次微分ボ
ビン型検出コイルのフレキシブル基板上配線パターンお
よび超伝導カバーの配置を表した図である。１はフレキ
シブル基板、２は超伝導配線パターン、３は電極、４は
超伝導カバーで、フレキシブル基板１、超伝導配線パタ
ーン２、電極３については実施例１の技術となんら変わ
るところはない。超伝導カバー４については、上部コイ
ル部分と電極間の超伝導配線パターンに超伝導配線パタ
ーン２がショートしないようにテフロンテープによる絶
縁層６で絶縁後、鉛インジウム板による超伝導カバー４
を接着するが、鉛インジウムのかわりに鉛やニオブ等の
他の超伝導材料、テフロンテープのかわりに他の絶縁材
料を用いても良い。図６のＡで示した部分とＢで示した
部分が重なるように１巻することにより、実施例１の図
５に示す構成と同様の１巻の１次微分型検出コイルを構
成することができる。テフロンテープおよび鉛インジウ
ム板の接着は、一次微分型検出コイルを構成した後に接
着する方法でも良い。
ビン型検出コイルのフレキシブル基板上配線パターンお
よび超伝導カバーの配置を表した図である。１はフレキ
シブル基板、２は超伝導配線パターン、３は電極、４は
超伝導カバーで、フレキシブル基板１、超伝導配線パタ
ーン２、電極３については実施例１の技術となんら変わ
るところはない。超伝導カバー４については、上部コイ
ル部分と電極間の超伝導配線パターンに超伝導配線パタ
ーン２がショートしないようにテフロンテープによる絶
縁層６で絶縁後、鉛インジウム板による超伝導カバー４
を接着するが、鉛インジウムのかわりに鉛やニオブ等の
他の超伝導材料、テフロンテープのかわりに他の絶縁材
料を用いても良い。図６のＡで示した部分とＢで示した
部分が重なるように１巻することにより、実施例１の図
５に示す構成と同様の１巻の１次微分型検出コイルを構
成することができる。テフロンテープおよび鉛インジウ
ム板の接着は、一次微分型検出コイルを構成した後に接
着する方法でも良い。
【００１０】図７は本考案の実施例３を示す１次微分ボ
ビン型検出コイルのフレキシブル基板上配線パターンを
表した図である。１はフレキシブル基板、２は超伝導配
線パターン、３は電極、４は超伝導カバーで、フレキシ
ブル基板１、超伝導配線パターン２、電極３は実施例１
となんら変わるところはない。超伝導カバー４は、図の
位置に実施例１と同様の方法で作製する。図７のＡで示
した部分とＢで示した部分が重なるように１巻すること
により、超伝導カバー４が上部コイルと電極間を覆う構
造となり、実施例１の図５に示す構成と同様の１巻の１
次微分型検出コイルを構成することができる。
ビン型検出コイルのフレキシブル基板上配線パターンを
表した図である。１はフレキシブル基板、２は超伝導配
線パターン、３は電極、４は超伝導カバーで、フレキシ
ブル基板１、超伝導配線パターン２、電極３は実施例１
となんら変わるところはない。超伝導カバー４は、図の
位置に実施例１と同様の方法で作製する。図７のＡで示
した部分とＢで示した部分が重なるように１巻すること
により、超伝導カバー４が上部コイルと電極間を覆う構
造となり、実施例１の図５に示す構成と同様の１巻の１
次微分型検出コイルを構成することができる。
【００１１】図８は本考案の実施例４を示す１次微分ボ
ビン型検出コイルのフレキシブル基板上配線パターンを
表した図である。１はフレキシブル基板、２は超伝導配
線パターン、３は電極、４は超伝導カバーで、フレキシ
ブル基板１、超伝導配線パターン２、電極３は実施例１
の技術となんら変わるところはない。超伝導カバー４
は、フレキシブル基板１の超伝導配線パターン２および
電極３が配線されている裏面に超伝導配線パターン２お
よび電極３と同様の技術で作製される。図８のＡで示し
た部分とＢで示した部分が重なるように１巻することに
より、実施例１の図５に示す構成と同様の１巻の１次微
分型検出コイルを構成することができる。
ビン型検出コイルのフレキシブル基板上配線パターンを
表した図である。１はフレキシブル基板、２は超伝導配
線パターン、３は電極、４は超伝導カバーで、フレキシ
ブル基板１、超伝導配線パターン２、電極３は実施例１
の技術となんら変わるところはない。超伝導カバー４
は、フレキシブル基板１の超伝導配線パターン２および
電極３が配線されている裏面に超伝導配線パターン２お
よび電極３と同様の技術で作製される。図８のＡで示し
た部分とＢで示した部分が重なるように１巻することに
より、実施例１の図５に示す構成と同様の１巻の１次微
分型検出コイルを構成することができる。
【００１２】図９は本考案の実施例５を示す一次微分ボ
ビン型検出コイルのフレキシブル基板上配線パターンの
断面図である。本実施例では絶縁層の替りに抵抗層７を
設け、電極３の間のダンピング抵抗の作用を持たせたも
のである。抵抗層７としては、銅やパラジウム等の抵抗
材を用いるが、他の高抵抗材でも良い。作製方法は実施
例１と変わるところはない。
ビン型検出コイルのフレキシブル基板上配線パターンの
断面図である。本実施例では絶縁層の替りに抵抗層７を
設け、電極３の間のダンピング抵抗の作用を持たせたも
のである。抵抗層７としては、銅やパラジウム等の抵抗
材を用いるが、他の高抵抗材でも良い。作製方法は実施
例１と変わるところはない。
【００１３】
【考案の効果】以上説明したように本考案によれば、フ
レキシブル基板を用いた検出コイルの上部超伝導コイル
線と電極間の超伝導配線部分に超伝導カバーを配置した
構造とすることにより、検出コイルの横方向からの磁気
雑音を検出することを防ぐことができ、磁場勾配感度お
よび特性の再現性を向上させることが可能となる。
レキシブル基板を用いた検出コイルの上部超伝導コイル
線と電極間の超伝導配線部分に超伝導カバーを配置した
構造とすることにより、検出コイルの横方向からの磁気
雑音を検出することを防ぐことができ、磁場勾配感度お
よび特性の再現性を向上させることが可能となる。
【図１】従来の一次微分ボビン型検出コイルのフレキシ
ブル基板上配線パターンを表した図である。
ブル基板上配線パターンを表した図である。
【図２】本考案の１巻の１次微分型検出コイルの構成を
表した図である。
表した図である。
【図３】本考案の実施例１を示す１次微分ボビン型検出
コイルのフレキシブル基板上配線パターンを表した図で
ある。
コイルのフレキシブル基板上配線パターンを表した図で
ある。
【図４】本考案の実施例１を示す１次微分ボビン型検出
コイルのフレキシブル基板上配線パターンの断面図を表
した図である。
コイルのフレキシブル基板上配線パターンの断面図を表
した図である。
【図５】本考案の実施例１を示す１次微分ボビン型検出
コイルの構成を表した図である。
コイルの構成を表した図である。
【図６】本考案の実施例２を示す１次微分ボビン型検出
コイルのフレキシブル基板上配線パターンおよび超伝導
カバーの配置を表した図である。
コイルのフレキシブル基板上配線パターンおよび超伝導
カバーの配置を表した図である。
【図７】本考案の実施例３を示す１次微分ボビン型検出
コイルのフレキシブル基板上配線パターンを表した図で
ある。
コイルのフレキシブル基板上配線パターンを表した図で
ある。
【図８】本考案の実施例４を示す１次微分ボビン型検出
コイルのフレキシブル基板上配線パターンを表した図で
ある。
コイルのフレキシブル基板上配線パターンを表した図で
ある。
【図９】本考案の実施例５を示す１次微分ボビン型検出
コイルのフレキシブル基板上配線パターンの断面図を表
した図である。
コイルのフレキシブル基板上配線パターンの断面図を表
した図である。
１ フレキシブル基板 ２ 超伝導配線パターン ３ 電極 ４ 超伝導カバー ５ Ｐｂ−Ｓｎメッキ膜のバッファー層 ６ 絶縁層 ７ 抵抗層
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭60−200580（ＪＰ，Ａ) 特開 平４−136776（ＪＰ，Ａ) 特開 平５−302966（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) G01R 33/035 ZAA H01L 39/22
Claims (1)
- 【請求項１】 少なくとも一部に略コの字状の配線部
と、一対の電極を有する超伝導配線パターンを形成した
フレキシブル基板を、円筒状に丸め、前記略コの字状の
配線部が少なくとも上下一対の円筒状配線パターンを形
成する超伝導検出コイルにおいて、前記略コの字状の配
線部と前記電極とを接続する配線部分を超伝導体で覆う
よう構成したことを特徴とする超伝導検出コイル。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1993000906U JP2592965Y2 (ja) | 1993-01-18 | 1993-01-18 | 超伝導検出コイル |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1993000906U JP2592965Y2 (ja) | 1993-01-18 | 1993-01-18 | 超伝導検出コイル |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0656781U JPH0656781U (ja) | 1994-08-05 |
| JP2592965Y2 true JP2592965Y2 (ja) | 1999-03-31 |
Family
ID=11486728
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1993000906U Expired - Lifetime JP2592965Y2 (ja) | 1993-01-18 | 1993-01-18 | 超伝導検出コイル |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2592965Y2 (ja) |
-
1993
- 1993-01-18 JP JP1993000906U patent/JP2592965Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0656781U (ja) | 1994-08-05 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R323533 |
|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |