JP2591291Y2 - 円盤状物品の保持装置 - Google Patents
円盤状物品の保持装置Info
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本考案は、半導体ウェ−ハ、レー
ザーディスクなどの円盤状の物体を保持し、その表裏面
の状態や周縁の状態を目視で検査するためなどに、姿勢
を変えるのに適した円盤状物品の保持装置に関する。半
導体ウェ−ハ製造者は、引き上げ法により棒状の半導体
結晶を製造し多数の円盤に切り出してその円盤の両面を
研磨する。半導体ウェ−ハ製造者は、ＩＣメーカに供給
する前にその半導体ウェ−ハの表面に汚れや疵がある等
の検査を行うが、多くの場合それは熟練した作業者の目
視検査によっている。半導体ウェーハの目視検査は、前
述の半導体ウェーハをキャリアバスケットなどに多数収
納したものから一枚ずつ取り出して、これを光で照射
し、その疵や汚れの有無を検査するものである。作業者
の姿勢をほとんど変えることなく、多数の半導体ウェー
ハの表裏面および周縁の疵を検査するために、検査対象
の半導体ウェーハをキャリアなどから自動的に順次抜き
出し、姿勢を変更して照明光源に対して正しい位置にも
たらし、検査が終了したものを戻すために半導体ウェー
ハを自動的に保持し、その姿勢を変更させる半導体ウェ
−ハの保持装置がすでに提案され用いられている。
ザーディスクなどの円盤状の物体を保持し、その表裏面
の状態や周縁の状態を目視で検査するためなどに、姿勢
を変えるのに適した円盤状物品の保持装置に関する。半
導体ウェ−ハ製造者は、引き上げ法により棒状の半導体
結晶を製造し多数の円盤に切り出してその円盤の両面を
研磨する。半導体ウェ−ハ製造者は、ＩＣメーカに供給
する前にその半導体ウェ−ハの表面に汚れや疵がある等
の検査を行うが、多くの場合それは熟練した作業者の目
視検査によっている。半導体ウェーハの目視検査は、前
述の半導体ウェーハをキャリアバスケットなどに多数収
納したものから一枚ずつ取り出して、これを光で照射
し、その疵や汚れの有無を検査するものである。作業者
の姿勢をほとんど変えることなく、多数の半導体ウェー
ハの表裏面および周縁の疵を検査するために、検査対象
の半導体ウェーハをキャリアなどから自動的に順次抜き
出し、姿勢を変更して照明光源に対して正しい位置にも
たらし、検査が終了したものを戻すために半導体ウェー
ハを自動的に保持し、その姿勢を変更させる半導体ウェ
−ハの保持装置がすでに提案され用いられている。
【０００２】図７は従来の半導体ウェーハの保持装置の
原理を示す図である。図において半導体ウェーハ１００
が検査対象であり、この半導体ウェーハは吸着手段７０
１を持つ筒７０３の上端に吸引支持されており、軸７０
３を回転させることにより、作業者は半導体ウェーハ１
００を見やすい位置に持って行き、半導体ウェーハ周辺
の疵の有無を調べることができる。もちろん半導体ウェ
ーハを指示する軸７０３は図示しない装置により上下さ
せられるし、図示のように回転することができる。図８
にはさらに他の半導体ウェ−ハ保持装置の構成が示され
ている。回転軸８０７の上にホーク状の枠８０５が設け
られており、８０５の両端には弧状のアーム８０１，８
０３がそれぞれ設けられている。この弧状のアーム８０
１，８０３にはそれぞれ３つのパッド８０９が設けられ
ている。この６個のパッドにより半導体ウェーハ１００
の外周を保持する。この保持装置はホークの両先端を結
ぶ線を中心に、弧状のアーム８０１，８０３を動機回転
させることにより、作業者は半導体ウェーハ１００の表
面および裏面をある１つの位置から観察することができ
る。また、軸８０７を、その中心軸周りに回転させる
と、半導体ウェーハ１００を支持するフォーク状の部材
も回転し半導体ウェーハ１００を回転させることができ
る。図７に示した装置では、半導体ウェーハ１００の一
方の面を吸着して保持するのであるから、少なくともこ
の吸着保持している側の面の吸着部を観察することがで
きない。しかし半導体ウェーハ１００の表裏の目視検査
をするために半導体ウェーハ１００の表面を吸着する
と、回路パターンを形成する部分に吸着跡やゴミの付着
の恐れがあるので、これは実施できない。また図８に示
されているものは軸８０７を回転することにより、半導
体ウェーハ１００の外周の一部を、作業者が目視し易い
位置にもたらすことができるのであるが、半導体ウェー
ハ１００は、このアーム８０１，８０３や少なくとも６
個のパッド８０９・・８０９の影になるところの観察を
することができない。上述したように、従来知られてい
る円盤状物品の保持装置では半導体ウェーハ等の円盤状
物品を一回掴んだだけで半導体ウェーハの表面裏面を観
察できず掴み変える必要があったり、あるいは半導体ウ
ェーハの外周面の検査には適さない等の問題があった。
また半導体ウェーハをはじめこれらの物体の検査にあた
っては、半導体ウェーハの検査されるべき部分と、観察
者の目の位置と照明装置との位置関係が重要であり、半
導体ウェーハをその検査に適した姿勢に制御する必要が
ある。しかしながら、従来の装置では必ずしも前述した
条件を満たすことができなかった。
原理を示す図である。図において半導体ウェーハ１００
が検査対象であり、この半導体ウェーハは吸着手段７０
１を持つ筒７０３の上端に吸引支持されており、軸７０
３を回転させることにより、作業者は半導体ウェーハ１
００を見やすい位置に持って行き、半導体ウェーハ周辺
の疵の有無を調べることができる。もちろん半導体ウェ
ーハを指示する軸７０３は図示しない装置により上下さ
せられるし、図示のように回転することができる。図８
にはさらに他の半導体ウェ−ハ保持装置の構成が示され
ている。回転軸８０７の上にホーク状の枠８０５が設け
られており、８０５の両端には弧状のアーム８０１，８
０３がそれぞれ設けられている。この弧状のアーム８０
１，８０３にはそれぞれ３つのパッド８０９が設けられ
ている。この６個のパッドにより半導体ウェーハ１００
の外周を保持する。この保持装置はホークの両先端を結
ぶ線を中心に、弧状のアーム８０１，８０３を動機回転
させることにより、作業者は半導体ウェーハ１００の表
面および裏面をある１つの位置から観察することができ
る。また、軸８０７を、その中心軸周りに回転させる
と、半導体ウェーハ１００を支持するフォーク状の部材
も回転し半導体ウェーハ１００を回転させることができ
る。図７に示した装置では、半導体ウェーハ１００の一
方の面を吸着して保持するのであるから、少なくともこ
の吸着保持している側の面の吸着部を観察することがで
きない。しかし半導体ウェーハ１００の表裏の目視検査
をするために半導体ウェーハ１００の表面を吸着する
と、回路パターンを形成する部分に吸着跡やゴミの付着
の恐れがあるので、これは実施できない。また図８に示
されているものは軸８０７を回転することにより、半導
体ウェーハ１００の外周の一部を、作業者が目視し易い
位置にもたらすことができるのであるが、半導体ウェー
ハ１００は、このアーム８０１，８０３や少なくとも６
個のパッド８０９・・８０９の影になるところの観察を
することができない。上述したように、従来知られてい
る円盤状物品の保持装置では半導体ウェーハ等の円盤状
物品を一回掴んだだけで半導体ウェーハの表面裏面を観
察できず掴み変える必要があったり、あるいは半導体ウ
ェーハの外周面の検査には適さない等の問題があった。
また半導体ウェーハをはじめこれらの物体の検査にあた
っては、半導体ウェーハの検査されるべき部分と、観察
者の目の位置と照明装置との位置関係が重要であり、半
導体ウェーハをその検査に適した姿勢に制御する必要が
ある。しかしながら、従来の装置では必ずしも前述した
条件を満たすことができなかった。
【０００３】本考案の目的は、半導体ウェーハのような
円盤状物品を保持し、その円盤状物品の中心点Ｏを任意
の位置にもたらすことができ、かつその円盤状物品の中
心軸周りに自体を回転（自転）させることができ、また
中心点Ｏを通る軸を中心Ｏ周りに回転させるように円盤
状部品を回転させることができる保持装置を提供するこ
とにある。
円盤状物品を保持し、その円盤状物品の中心点Ｏを任意
の位置にもたらすことができ、かつその円盤状物品の中
心軸周りに自体を回転（自転）させることができ、また
中心点Ｏを通る軸を中心Ｏ周りに回転させるように円盤
状部品を回転させることができる保持装置を提供するこ
とにある。
【０００４】
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するため
に、本考案による円盤状物品の保持装置は、外周が一部
切りかかれているものも含む円盤状物品の中心（Ｏ）を
装置の基準軸（Ｐ）に一致させて保持し前記基準軸回り
に自転させることができる円盤状物品の保持装置であっ
て、前記円盤状物品を前記基準軸（Ｐ）中心に自転回転
可能に支持する保持手段と、前記保持手段を前記装置の
ベースに垂直な平面で前記物品の半径より大きい半径の
円弧に沿って移動させて円盤状物品の中心（Ｏ）の高さ
位置を変更する回転基準点変更手段と、前記保持手段を
回転させて前記基準軸（Ｐ）を回転させる回転手段と、
前記保持手段に保持された前記物品を前記基準軸（Ｐ）
中心に自転回転させる自転回転手段とを含み、前記保持
手段と前記自転回転手段は２つのアームを含むアーム組
立、前記各アームに設けられ前記外周が一部切りかかれ
ている前記物品でも少なくとも一つのローラが前記物品
の外周縁に外接する複数の自転駆動ローラ、前記駆動ロ
ーラを駆動して回転させる手段から形成し、前記円盤状
物品の中心（Ｏ）を任意の高さ位置にもたらし、前記基
準軸を回転させ、前記基準軸回りに自転させるように構
成されている。前記基準点変更手段を、前記保持手段を
支持しその基部を枢支する軸を昇降用モータにより回転
させ前記保持手段を任意の高さにもたらすように構成す
ることができる。前記昇降用モータには前記円盤状物品
を保持した保持装置が下降しようとするトルクに打ち勝
つトルク発生手段が連結されている構成とすることがで
きる。前記一対の円弧状の保持アームを含み一方の保持
アームは保持されるべき前記円盤の第１面側外周に、他
方のアームは第２面側外周になるよう設けられている構
成とすることができる。また本考案による円盤状物品の
保持装置を、外周が一部切りかかれているものも含む円
盤状物品の中心（Ｏ）を装置の基準軸（Ｐ）に一致させ
て保持し前記基準軸回りに自転させることができる円盤
状物品の保持装置であって、前記円盤状物品を前記基準
軸（Ｐ）中心に自転回転可能に支持する保持手段と、前
記保持手段を前記装置のベースに垂直な平面で直線状に
移動させて円盤状物品の中心（Ｏ）の高さ位置を変更す
る回転基準点変更手段と、前記保持手段を回転させて前
記基準軸（Ｐ）を回転させる回転手段と、前記保持手段
に保持された前記物品を前記基準軸（Ｐ）中心に自転回
転させる自転回転手段とを含み、前記保持手段と前記自
転回転手段は２つのアームを含むアーム組立、前記各ア
ームに設けられ前記外周が一部切りかかれている前記物
品でも少なくとも一つのローラが前記物品の外周縁に外
接する複数の自転駆動ローラ、前記駆動ローラを駆動し
て回転させる手段から形成し、前記円盤状物品の中心
（Ｏ）を任意の高さ位置にもたらし、前記基準軸を回転
させ、前記基準軸回りに自転させるように構成すること
ができる。
に、本考案による円盤状物品の保持装置は、外周が一部
切りかかれているものも含む円盤状物品の中心（Ｏ）を
装置の基準軸（Ｐ）に一致させて保持し前記基準軸回り
に自転させることができる円盤状物品の保持装置であっ
て、前記円盤状物品を前記基準軸（Ｐ）中心に自転回転
可能に支持する保持手段と、前記保持手段を前記装置の
ベースに垂直な平面で前記物品の半径より大きい半径の
円弧に沿って移動させて円盤状物品の中心（Ｏ）の高さ
位置を変更する回転基準点変更手段と、前記保持手段を
回転させて前記基準軸（Ｐ）を回転させる回転手段と、
前記保持手段に保持された前記物品を前記基準軸（Ｐ）
中心に自転回転させる自転回転手段とを含み、前記保持
手段と前記自転回転手段は２つのアームを含むアーム組
立、前記各アームに設けられ前記外周が一部切りかかれ
ている前記物品でも少なくとも一つのローラが前記物品
の外周縁に外接する複数の自転駆動ローラ、前記駆動ロ
ーラを駆動して回転させる手段から形成し、前記円盤状
物品の中心（Ｏ）を任意の高さ位置にもたらし、前記基
準軸を回転させ、前記基準軸回りに自転させるように構
成されている。前記基準点変更手段を、前記保持手段を
支持しその基部を枢支する軸を昇降用モータにより回転
させ前記保持手段を任意の高さにもたらすように構成す
ることができる。前記昇降用モータには前記円盤状物品
を保持した保持装置が下降しようとするトルクに打ち勝
つトルク発生手段が連結されている構成とすることがで
きる。前記一対の円弧状の保持アームを含み一方の保持
アームは保持されるべき前記円盤の第１面側外周に、他
方のアームは第２面側外周になるよう設けられている構
成とすることができる。また本考案による円盤状物品の
保持装置を、外周が一部切りかかれているものも含む円
盤状物品の中心（Ｏ）を装置の基準軸（Ｐ）に一致させ
て保持し前記基準軸回りに自転させることができる円盤
状物品の保持装置であって、前記円盤状物品を前記基準
軸（Ｐ）中心に自転回転可能に支持する保持手段と、前
記保持手段を前記装置のベースに垂直な平面で直線状に
移動させて円盤状物品の中心（Ｏ）の高さ位置を変更す
る回転基準点変更手段と、前記保持手段を回転させて前
記基準軸（Ｐ）を回転させる回転手段と、前記保持手段
に保持された前記物品を前記基準軸（Ｐ）中心に自転回
転させる自転回転手段とを含み、前記保持手段と前記自
転回転手段は２つのアームを含むアーム組立、前記各ア
ームに設けられ前記外周が一部切りかかれている前記物
品でも少なくとも一つのローラが前記物品の外周縁に外
接する複数の自転駆動ローラ、前記駆動ローラを駆動し
て回転させる手段から形成し、前記円盤状物品の中心
（Ｏ）を任意の高さ位置にもたらし、前記基準軸を回転
させ、前記基準軸回りに自転させるように構成すること
ができる。
【０００５】
【実施例】以下図面を参照して、本考案による円盤状物
品の保持装置の実施例について詳しく説明する。図１な
いし図２は、本考案による円盤状物品の保持装置の第１
の実施例の基本的構成を示す図であって、図３は物品の
保持装置および自転装置について、要部を詳細に説明し
ている。図４は、自転軸を回転させる保持手段の姿勢変
換および自転軸を回転した場合の目視方向との関係を示
している。本考案による装置ではそのベース１の上に、
設けられている支柱３（図２参照）が傾斜回転軸５を支
持しており、この軸５に回転ドラム１１が回転可能に設
けられている。この回転ドラム１１には、保持手段支持
軸１３が一体に設けられており、保持手段支持軸１３に
はアーム台１７が固定されている。保持手段支持軸の中
心に開閉軸１５が設けられており、開閉軸１５には自転
駆動台１９が固定されている。アーム台１７には、第１
アーム２１および第２アーム２３がそれぞれ開閉方向に
摺動可能に設けられている。これら第１アーム２１およ
び２３には、それぞれ自転案内用のローラ２７がそれぞ
れ２個当て設けられている。自転駆動台１９は後述する
ように、保持手段が保持した円盤状の半導体ウェ−ハを
自転駆動するための駆動手段が設けられている。また、
この自転駆動台１９に設けられている軸１５を進退させ
ることにより前述した第１アーム２１，第２アーム２
３，ウェーハを保持位置および釈放可能な位置間を移動
させることができる。
品の保持装置の実施例について詳しく説明する。図１な
いし図２は、本考案による円盤状物品の保持装置の第１
の実施例の基本的構成を示す図であって、図３は物品の
保持装置および自転装置について、要部を詳細に説明し
ている。図４は、自転軸を回転させる保持手段の姿勢変
換および自転軸を回転した場合の目視方向との関係を示
している。本考案による装置ではそのベース１の上に、
設けられている支柱３（図２参照）が傾斜回転軸５を支
持しており、この軸５に回転ドラム１１が回転可能に設
けられている。この回転ドラム１１には、保持手段支持
軸１３が一体に設けられており、保持手段支持軸１３に
はアーム台１７が固定されている。保持手段支持軸の中
心に開閉軸１５が設けられており、開閉軸１５には自転
駆動台１９が固定されている。アーム台１７には、第１
アーム２１および第２アーム２３がそれぞれ開閉方向に
摺動可能に設けられている。これら第１アーム２１およ
び２３には、それぞれ自転案内用のローラ２７がそれぞ
れ２個当て設けられている。自転駆動台１９は後述する
ように、保持手段が保持した円盤状の半導体ウェ−ハを
自転駆動するための駆動手段が設けられている。また、
この自転駆動台１９に設けられている軸１５を進退させ
ることにより前述した第１アーム２１，第２アーム２
３，ウェーハを保持位置および釈放可能な位置間を移動
させることができる。
【０００６】次に主として図２を参照して、基準点変更
手段について説明する。ベース１側の支柱側には、固定
側平歯車９が設けられており、回転ドラム１１にはこれ
と噛み合う移動側平歯車７が設けられている。移動側平
歯車７は回転上昇ドラム内に設けられている回転上昇用
モータ３１の軸から回転力が与えられており、これによ
り傾斜回転軸５周りに回転上昇ドラム１１を回転させ
る。前述したように、回転上昇ドラム１１には、保持手
段支持軸１３が固定されているから、これに関連して設
けられている物品保持手段は回転上昇ドラム１１の回転
にしたがって回転させられ、保持手段に保持される円盤
状物品の中心軸は傾斜回転軸５を中心にして円弧状の軌
跡に沿い昇降させられる。本考案において、保持手段に
保持された半導体ウェーハ１００の中心を、仮に基準点
Ｏということにする。図３の（Ｂ）の部分に詳細に示さ
れているように、保持手段支持軸１３の中心には開閉軸
１５が設けられており、開閉軸１５は前述した回転ドラ
ム１１内のアクチュエータの働きにより図３（Ｂ）に示
す位置およびさらに左側の位置まで移動させられる。開
閉軸１５に一体に設けられている自転駆動台１９には、
２本の案内軸４５，４５が設けられており、このそれぞ
れの軸はアーム台１７に設けられている軸受けにそれぞ
れ摺動可能に係合している。アーム台１７と自転駆動台
１９の間にはばね４３が設けられており、このばね４３
により自転駆動台１９とアーム台１７は通常離れる方向
に押されている。アーム台１７には、前述したように第
１の第１アーム２１が、保持手段支持軸１３または開閉
軸１５に対して直角方向に摺動可能に結合されている。
手段について説明する。ベース１側の支柱側には、固定
側平歯車９が設けられており、回転ドラム１１にはこれ
と噛み合う移動側平歯車７が設けられている。移動側平
歯車７は回転上昇ドラム内に設けられている回転上昇用
モータ３１の軸から回転力が与えられており、これによ
り傾斜回転軸５周りに回転上昇ドラム１１を回転させ
る。前述したように、回転上昇ドラム１１には、保持手
段支持軸１３が固定されているから、これに関連して設
けられている物品保持手段は回転上昇ドラム１１の回転
にしたがって回転させられ、保持手段に保持される円盤
状物品の中心軸は傾斜回転軸５を中心にして円弧状の軌
跡に沿い昇降させられる。本考案において、保持手段に
保持された半導体ウェーハ１００の中心を、仮に基準点
Ｏということにする。図３の（Ｂ）の部分に詳細に示さ
れているように、保持手段支持軸１３の中心には開閉軸
１５が設けられており、開閉軸１５は前述した回転ドラ
ム１１内のアクチュエータの働きにより図３（Ｂ）に示
す位置およびさらに左側の位置まで移動させられる。開
閉軸１５に一体に設けられている自転駆動台１９には、
２本の案内軸４５，４５が設けられており、このそれぞ
れの軸はアーム台１７に設けられている軸受けにそれぞ
れ摺動可能に係合している。アーム台１７と自転駆動台
１９の間にはばね４３が設けられており、このばね４３
により自転駆動台１９とアーム台１７は通常離れる方向
に押されている。アーム台１７には、前述したように第
１の第１アーム２１が、保持手段支持軸１３または開閉
軸１５に対して直角方向に摺動可能に結合されている。
【０００７】図１，図２から容易に理解できるように、
第１アーム２１はアーム台１７の一方側の面に、第２ア
ーム２３はアーム台１７の他方面側に設けられている。
自転駆動台１９には図３の（Ａ）部に示すように、コロ
４７が設けられており、このコロ４７は図３の（Ｂ）に
示されている第１のアーム２１の案内孔２１１に結合さ
れている。いま、コロ４７が傾斜回転軸５方向に移動さ
せられるとアーム２１は開き方向に移動させられ、アー
ム２３も同様に開き方向に移動させられる。なおアーム
２１には、ばね掛け２１２が設けられており、このばね
掛け２１２に掛けられているばね２１３は第１アームを
基準点方向に付勢している。第２アーム２３についても
全く同様である。この構成により、第１アーム２１およ
び第２アーム２３は開閉軸１５の進退により開閉させら
れる。自転駆動台には図３に示されているように自転駆
動モータ３５が設けられている。自転駆動モータ３５の
出力軸には出力ローラ３７が設けられている。自転駆動
台１９の中心部には、プーリ軸４２が回転可能に支持さ
れており、このプーリ４２にはプーリ４１ａ、４１ｂお
よび自転駆動ローラ２５が設けられている。前記モータ
の出力ローラ３７の回転は、ベルト４０を介してプーリ
４１ａに結合されプーリ軸４２に伝達される。プーリ軸
４２の一端に固定されているプーリ４１ｂは、他のプー
リ４１とともに駆動ベルト３９（２）により連結されて
おり、プーリ軸４２の回転により自転駆動ローラ２５す
なわち第２アーム２３側のローラ２５（２）が駆動され
る。同様にして、第１アーム２１側の自転駆動ローラ２
５（１）には出力ローラ３７の回転が、ベルト３９
（１）を介してプーリ４１（１）に伝達される。
第１アーム２１はアーム台１７の一方側の面に、第２ア
ーム２３はアーム台１７の他方面側に設けられている。
自転駆動台１９には図３の（Ａ）部に示すように、コロ
４７が設けられており、このコロ４７は図３の（Ｂ）に
示されている第１のアーム２１の案内孔２１１に結合さ
れている。いま、コロ４７が傾斜回転軸５方向に移動さ
せられるとアーム２１は開き方向に移動させられ、アー
ム２３も同様に開き方向に移動させられる。なおアーム
２１には、ばね掛け２１２が設けられており、このばね
掛け２１２に掛けられているばね２１３は第１アームを
基準点方向に付勢している。第２アーム２３についても
全く同様である。この構成により、第１アーム２１およ
び第２アーム２３は開閉軸１５の進退により開閉させら
れる。自転駆動台には図３に示されているように自転駆
動モータ３５が設けられている。自転駆動モータ３５の
出力軸には出力ローラ３７が設けられている。自転駆動
台１９の中心部には、プーリ軸４２が回転可能に支持さ
れており、このプーリ４２にはプーリ４１ａ、４１ｂお
よび自転駆動ローラ２５が設けられている。前記モータ
の出力ローラ３７の回転は、ベルト４０を介してプーリ
４１ａに結合されプーリ軸４２に伝達される。プーリ軸
４２の一端に固定されているプーリ４１ｂは、他のプー
リ４１とともに駆動ベルト３９（２）により連結されて
おり、プーリ軸４２の回転により自転駆動ローラ２５す
なわち第２アーム２３側のローラ２５（２）が駆動され
る。同様にして、第１アーム２１側の自転駆動ローラ２
５（１）には出力ローラ３７の回転が、ベルト３９
（１）を介してプーリ４１（１）に伝達される。
【０００８】次に図２と図５を参照して、磁気式トルク
制御装置について説明する。この磁気式トルク制御装置
は、この実施例において規準点変更手段で問題になる停
電時等の不都合を防止するために設けられたものであ
る。回転上昇用モータ３１の軸に結合手段３２（図２参
照）を介して、磁気式トルク制御手段３３の軸が結合さ
れている。磁気式トルク制御装置は図５に示すように２
枚の永久磁石５０７および５０８とその間の磁性板５０
５とそれに直結された出力軸５０１から形成されてい
る。通常永久磁石が固定側にあり、軸５０１の回転に従
って中央のディスクが磁界を切ると軸５０１に制動トル
クが現れる。この制動トルクの大きさは、図５の左側の
図に示すダイヤル５０３を調整することにより永久磁石
５０７，５０８の間隔を調整することによって可能とな
る。この制動トルクは電源が断になったときに半導体ウ
ェーハ等を支持した保持手段が、重力によって移動しよ
うとしたときに、前記出力軸５０１が回転するのを阻止
し、電源が断になった位置に保持手段を停止させるもの
である。
制御装置について説明する。この磁気式トルク制御装置
は、この実施例において規準点変更手段で問題になる停
電時等の不都合を防止するために設けられたものであ
る。回転上昇用モータ３１の軸に結合手段３２（図２参
照）を介して、磁気式トルク制御手段３３の軸が結合さ
れている。磁気式トルク制御装置は図５に示すように２
枚の永久磁石５０７および５０８とその間の磁性板５０
５とそれに直結された出力軸５０１から形成されてい
る。通常永久磁石が固定側にあり、軸５０１の回転に従
って中央のディスクが磁界を切ると軸５０１に制動トル
クが現れる。この制動トルクの大きさは、図５の左側の
図に示すダイヤル５０３を調整することにより永久磁石
５０７，５０８の間隔を調整することによって可能とな
る。この制動トルクは電源が断になったときに半導体ウ
ェーハ等を支持した保持手段が、重力によって移動しよ
うとしたときに、前記出力軸５０１が回転するのを阻止
し、電源が断になった位置に保持手段を停止させるもの
である。
【０００９】次に前記実施例装置の動作を説明する。通
常前記保持手段支持軸が水平の位置をスタート位置と
し、この位置において保持手段の形成する平面は水平で
あり、第１アーム２１および第２アーム２３は開の状態
にある。その位置で検査対象のウェーハを受け入れた後
に、開閉軸１５を進出させて複数のローラ２５および２
７により検査対象のウェーハ１００の周縁を回転可能に
支持する。次に前述した回転上昇用モータ３１を回転さ
せて、保持手段支持軸を回転上昇させると、保持手段が
上昇させられる。保持手段が上昇することにより規準
点、図中Ｏの示す位置がウェーハの観測に適した位置ま
で上昇させられた点で、回転上昇を停止する。図４
（Ａ）はその位置にあるウェーハを示す。前述した自転
機構の自転駆動ローラ２５を回転させることにより、ウ
ェーハ１００を自転させることができる。なお、この実
施例において自転駆動ローラ２５を３個設けたのは、通
常の半導体ウェーハは、オリエンテーションのためのフ
ラットな部分、いわゆるオリフラを持っているので完全
な円盤ではなく一部が欠けた円盤状であるが、このよう
に３個の自転駆動ローラを配設すれば円滑に自転させる
ことができる。なお、この位置において自転軸Ｐを保持
手段支持軸１３を回転させることによって、回転させる
ことができる。保持手段支持軸１３は回転ドラム１１内
に設けられた回転手段により回転させられる。いま図４
の（Ｂ）の位置において、白抜きの矢印の示す目視方向
からウェーハを観察すると、ウェーハの表面側１００ａ
とウェ−ハのエッジを観察することができる。次に同図
（Ｃ）に示されている方向に回転させた場合、同様に矢
印の方向からウェーハを観察すると、ウェーハの裏面側
１００ｂを観察できるし、ウェーハのエッジを第１のア
ームに妨げられることなく観察することができる。
常前記保持手段支持軸が水平の位置をスタート位置と
し、この位置において保持手段の形成する平面は水平で
あり、第１アーム２１および第２アーム２３は開の状態
にある。その位置で検査対象のウェーハを受け入れた後
に、開閉軸１５を進出させて複数のローラ２５および２
７により検査対象のウェーハ１００の周縁を回転可能に
支持する。次に前述した回転上昇用モータ３１を回転さ
せて、保持手段支持軸を回転上昇させると、保持手段が
上昇させられる。保持手段が上昇することにより規準
点、図中Ｏの示す位置がウェーハの観測に適した位置ま
で上昇させられた点で、回転上昇を停止する。図４
（Ａ）はその位置にあるウェーハを示す。前述した自転
機構の自転駆動ローラ２５を回転させることにより、ウ
ェーハ１００を自転させることができる。なお、この実
施例において自転駆動ローラ２５を３個設けたのは、通
常の半導体ウェーハは、オリエンテーションのためのフ
ラットな部分、いわゆるオリフラを持っているので完全
な円盤ではなく一部が欠けた円盤状であるが、このよう
に３個の自転駆動ローラを配設すれば円滑に自転させる
ことができる。なお、この位置において自転軸Ｐを保持
手段支持軸１３を回転させることによって、回転させる
ことができる。保持手段支持軸１３は回転ドラム１１内
に設けられた回転手段により回転させられる。いま図４
の（Ｂ）の位置において、白抜きの矢印の示す目視方向
からウェーハを観察すると、ウェーハの表面側１００ａ
とウェ−ハのエッジを観察することができる。次に同図
（Ｃ）に示されている方向に回転させた場合、同様に矢
印の方向からウェーハを観察すると、ウェーハの裏面側
１００ｂを観察できるし、ウェーハのエッジを第１のア
ームに妨げられることなく観察することができる。
【００１０】図６は、本考案による円盤状の物品駆動装
置のさらに他の実施例を示す正面図である。ウェーハ保
持手段の構成は前述した実施例と異ならないので、説明
を省略する。ベース６０１上に軸６０３が設けられてお
り、保持手段を回転させて自転軸を回転させるモータお
よび保持手段を上昇させるモータが挿入されている部分
５０４が軸５０３に上下摺動可能に結合されている。こ
の実施例は前記実施例と異なり、保持手段支持軸を水平
に保ち昇降させることによって規準点Ｏを移動させるこ
とができる。規準点を通る規準軸を中心にするウェーハ
の回転、すなわち自転および規準軸の回転は前述した実
施例と異ならない。この円盤状物品の保持装置は半導体
ウェ−ハの規準点Ｏをウェーハの取り合いの位置、すな
わちこの保持手段に検査前のウェーハを受入れる位置か
ら作業者の観察に最も適した位置まで規準点変更手段に
より平行に移動させるさせることができる。そしてその
位置で保持状態においてウェーハを自転させ、また自転
軸を回転させることができる。
置のさらに他の実施例を示す正面図である。ウェーハ保
持手段の構成は前述した実施例と異ならないので、説明
を省略する。ベース６０１上に軸６０３が設けられてお
り、保持手段を回転させて自転軸を回転させるモータお
よび保持手段を上昇させるモータが挿入されている部分
５０４が軸５０３に上下摺動可能に結合されている。こ
の実施例は前記実施例と異なり、保持手段支持軸を水平
に保ち昇降させることによって規準点Ｏを移動させるこ
とができる。規準点を通る規準軸を中心にするウェーハ
の回転、すなわち自転および規準軸の回転は前述した実
施例と異ならない。この円盤状物品の保持装置は半導体
ウェ−ハの規準点Ｏをウェーハの取り合いの位置、すな
わちこの保持手段に検査前のウェーハを受入れる位置か
ら作業者の観察に最も適した位置まで規準点変更手段に
より平行に移動させるさせることができる。そしてその
位置で保持状態においてウェーハを自転させ、また自転
軸を回転させることができる。
【００１１】
【考案の効果】以上詳しく説明したように、本考案によ
る装置では観察者はほとんど視点を変更することなくウ
ェーハの両面および全周縁を、観察することができ、観
察の死点となるところはない。また基準軸（自転軸）を
回転させることができるので、任意の角度で表面および
裏面を観察することができる。ウェーハ等の観察におい
ては、照明光の入射角および観察位置の決定に極めて重
要である。また本考案においては、電源故障の場合に保
持手段が重力により落下するのを阻止する磁力式トルク
制御装置を用いることにより、ウェーハの損傷の発生を
完全に防止することができる。
る装置では観察者はほとんど視点を変更することなくウ
ェーハの両面および全周縁を、観察することができ、観
察の死点となるところはない。また基準軸（自転軸）を
回転させることができるので、任意の角度で表面および
裏面を観察することができる。ウェーハ等の観察におい
ては、照明光の入射角および観察位置の決定に極めて重
要である。また本考案においては、電源故障の場合に保
持手段が重力により落下するのを阻止する磁力式トルク
制御装置を用いることにより、ウェーハの損傷の発生を
完全に防止することができる。
【００１２】
【変形例】以上詳しく説明した本考案による物品の保持
装置につき、本考案の範囲内において種々の変形を施す
ことができる。実施例として一対の円弧状の保持アーム
を含み一方の保持アームは保持されるべき円盤の第１面
側外周に、他方のアームは第２面側外周になるよう設け
た例を示したが、両保持アームが同一平面にある場合を
排除するという意味ではない。同一平面にアームを配置
してもアームから前記ローラを離して設置して視野を確
保するようにすることができる。前記実施例では一対の
アームの両方をアーム台に対して摺動可能に設けたが、
一方だけを移動させるようにしてもよい。２以上のアー
ムを用いて支持することも可能である。前記実施例では
半導体ウェーハの駆動ローラと案内ローラを別々に設け
たが、全てを駆動ローラにすることも可能である。本考
案においては、特に半導体ウェーハの目視検査を例にし
て説明したが、その他の円盤状の検査対象、例えばＣＤ
音盤等の検査等にも使用できる。また、本考案による装
置は、目視による検査ではなくその他の分光分析、画像
処理技術を利用した検査等にも利用できる。
装置につき、本考案の範囲内において種々の変形を施す
ことができる。実施例として一対の円弧状の保持アーム
を含み一方の保持アームは保持されるべき円盤の第１面
側外周に、他方のアームは第２面側外周になるよう設け
た例を示したが、両保持アームが同一平面にある場合を
排除するという意味ではない。同一平面にアームを配置
してもアームから前記ローラを離して設置して視野を確
保するようにすることができる。前記実施例では一対の
アームの両方をアーム台に対して摺動可能に設けたが、
一方だけを移動させるようにしてもよい。２以上のアー
ムを用いて支持することも可能である。前記実施例では
半導体ウェーハの駆動ローラと案内ローラを別々に設け
たが、全てを駆動ローラにすることも可能である。本考
案においては、特に半導体ウェーハの目視検査を例にし
て説明したが、その他の円盤状の検査対象、例えばＣＤ
音盤等の検査等にも使用できる。また、本考案による装
置は、目視による検査ではなくその他の分光分析、画像
処理技術を利用した検査等にも利用できる。
【図１】本考案による円盤状物品の保持装置の平面図お
よび正面図である。
よび正面図である。
【図２】本考案による円盤状物品の保持装置の基準点移
動構造を説明するための正面図である。
動構造を説明するための正面図である。
【図３】保持手段の主要部分を示す図であって、図中
（Ａ）の部分は保持手段に含まれる自転駆動台と開閉軸
および自転駆動手段の関係を示した図、（Ｂ）の部分は
アーム台と軸１３とアームおよび自転駆動台の関係を示
した図、（Ｃ）の部分は自転駆動台と自転駆動手段を詳
細に示している。
（Ａ）の部分は保持手段に含まれる自転駆動台と開閉軸
および自転駆動手段の関係を示した図、（Ｂ）の部分は
アーム台と軸１３とアームおよび自転駆動台の関係を示
した図、（Ｃ）の部分は自転駆動台と自転駆動手段を詳
細に示している。
【図４】図中（Ａ）の部分は保持手段と自転の関係を示
しており、（Ｂ）（Ｃ）は保持手段の基準軸が回転した
場合の目視方向とウェーハのエッジの関係を略図示した
動作説明図である。
しており、（Ｂ）（Ｃ）は保持手段の基準軸が回転した
場合の目視方向とウェーハのエッジの関係を略図示した
動作説明図である。
【図５】ウェーハ基準点の位置を変更するモータに設け
られる磁石式トルク制御装置を示す図である。
られる磁石式トルク制御装置を示す図である。
【図６】本考案による円盤状物品の保持装置の、さらに
他の実施例を示す正面図である。
他の実施例を示す正面図である。
【図７】従来の半導体保持手段の例を示す斜視図であ
る。
る。
【図８】従来の半導体保持装置の、さらに他の例を示す
斜視図である。
斜視図である。
Ｏ 基準点 Ｐ 基準軸 １ ベース ３ 支柱 ５ 傾斜回転軸 ７ 移動平歯車 ９ 固定平歯車 １１ 回転ドラム １３ 保持手段支持軸 １５ 開閉軸 １７ アーム台 １９ 自転駆動台 ２１ 第１アーム ２３ 第２アーム ２５ 自転駆動ローラ ２７ 自転案内ローラ ３１ 回転上昇用モータ ３３ 磁力式トルク制御装置 ３５ 自転用モータ ３７ 出力ローラ ３９ 駆動ベルト ４０ ベルト ４１ プーリ ４２ プーリ軸 ４３ ばね ４５ 案内軸 ４７ コロ ２１１ 案内孔 ２１２ ばね掛け ２１３ ばね
Claims (5)
- 【請求項１】 外周が一部切りかかれているものも含む
円盤状物品の中心（Ｏ）を装置の基準軸（Ｐ）に一致さ
せて保持し前記基準軸回りに自転させることができる円
盤状物品の保持装置であって、 前記円盤状物品を前記基準軸（Ｐ）中心に自転回転可能
に支持する保持手段と、前記保持手段を前記装置のベースに垂直な平面で前記物
品の半径より大きい半径の円弧に沿って移動させて円盤
状物品の中心（Ｏ）の高さ位置を変更する 回転基準点変
更手段と、前記保持手段を回転させて前記基準軸（Ｐ）を回転させ
る回転手段と、 前記保持手段に保持された前記物品を前記基準軸（Ｐ）
中心に自転回転させる自転回転手段とを含み、 前記保持手段と前記自転回転手段は ２つのアームを含む
アーム組立、 前記各アームに設けられ前記外周が一部切りかかれてい
る前記物品でも少なくとも一つのローラが前記物品の外
周縁に外接する複数の自転駆動ローラ、前記駆動ローラを駆動して回転させる手段から形成し、 前記円盤状物品の中心（Ｏ）を任意の高さ位置にもたら
し、前記基準軸を回転させ、前記基準軸回りに自転させ
るように構成した 円盤状物品の保持装置。 - 【請求項２】 前記基準点変更手段は、 前記保持手段を支持しその基部を枢支する軸を昇降用モ
ータにより回転させ前記保持手段を任意の高さにもたら
すように構成した請求項１記載の円盤状物品の保持装
置。 - 【請求項３】 前記昇降用モータには前記円盤状物品を
保持した保持装置が下降しようとするトルクに打ち勝つ
トルク発生手段が連結されている請求項２記載の円盤状
物品の保持装置。 - 【請求項４】 一対の円弧状の保持アームを含み一方の
保持アームは保持されるべき前記円盤の第１面側外周
に、他方のアームは第２面側外周になるよう設けられて
いる請求項１記載の円盤状物品の保持装置。 - 【請求項５】 外周が一部切りかかれているものも含む
円盤状物品の中心（Ｏ） を装置の基準軸（Ｐ）に一致さ
せて保持し前記基準軸回りに自転させることができる円
盤状物品の保持装置であって、 前記円盤状物品を前記基準軸（Ｐ）中心に自転回転可能
に支持する保持手段と、前記保持手段を 前記装置のベー
スに垂直な平面で直線状に移動させて円盤状物品の中心
（Ｏ）の高さ位置を変更する回転基準点変更手段と、前記保持手段を回転させて前記基準軸（Ｐ）を回転させ
る回転手段と、 前記保持手段に保持された前記物品を前記基準軸（Ｐ）
中心に自転回転させる自転回転手段とを含み、 前記保持手段と前記自転回転手段は２つのアームを含む
アーム組立、 前記各アームに設けられ前記外周が一部切りかかれてい
る前記物品でも少なくとも一つのローラが前記物品の外
周縁に外接する複数の自転駆動ローラ、 前記駆動ローラを駆動して回転させる手段から形成し、 前記円盤状物品の中心（Ｏ）を任意の高さ位置にもたら
し、前記基準軸を回転させ、前記基準軸回りに自転させ
るように構成した 円盤状物品の保持装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1992006610U JP2591291Y2 (ja) | 1992-01-22 | 1992-01-22 | 円盤状物品の保持装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1992006610U JP2591291Y2 (ja) | 1992-01-22 | 1992-01-22 | 円盤状物品の保持装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0564760U JPH0564760U (ja) | 1993-08-27 |
| JP2591291Y2 true JP2591291Y2 (ja) | 1999-03-03 |
Family
ID=11643130
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1992006610U Expired - Fee Related JP2591291Y2 (ja) | 1992-01-22 | 1992-01-22 | 円盤状物品の保持装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2591291Y2 (ja) |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2573506Y2 (ja) * | 1993-09-30 | 1998-06-04 | コマツ電子金属株式会社 | 半導体ウェハの目視検査装置 |
| DE10121115A1 (de) * | 2001-04-28 | 2002-10-31 | Leica Microsystems | Haltevorrichtung für Wafer |
| WO2003027652A1 (fr) * | 2001-09-21 | 2003-04-03 | Olympus Corporation | Dispositif d'inspection de defauts |
| DE112011101877B4 (de) * | 2010-06-01 | 2020-03-26 | Sumco Corp. | Verfahren zur Verhinderung von Kontamination von Wafern und Verfahren zur Herstellung von Wafern |
| JP2023101856A (ja) * | 2022-01-11 | 2023-07-24 | 日立Astemo株式会社 | 姿勢変更装置および検査方法 |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0260860U (ja) * | 1988-10-27 | 1990-05-07 | ||
| JPH0736271Y2 (ja) * | 1989-04-28 | 1995-08-16 | ホーヤ株式会社 | 円盤体の欠陥検査装置 |
-
1992
- 1992-01-22 JP JP1992006610U patent/JP2591291Y2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0564760U (ja) | 1993-08-27 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |