JP2588718B2 - 壁面に吸着可能な装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 〈技術分野〉 本発明は、包囲流体圧力によって壁面に吸着すること
ができる装置、更に詳しくは、それに限定されないが、
壁面に吸着し壁面のクリーニング等の作業を遂行するこ
とができる装置に関する。

〈従来技術〉 船舶の外側壁面、貯油タンクの外壁面等の鉛直な又は
傾斜した壁面のクリーニング作業等を行う装置として
は、例えば特開昭60−25669号公報に開示された装置が
提案されている。かかる従来の装置は、剛性乃至半剛性
材料から形成された受圧本体と、受圧本体及び壁面と協
働して減圧領域を規定する仕切壁と、減圧領域から流体
を排出して減圧領域内の減圧せしめるための減圧生成手
段と、仕切壁を回動せしめるための駆動源とを備えてい
る。

かくの通りの装置においては、減圧生成手段によって
減圧領域内を減圧せしめると、減圧領域内外の流体圧力
差に起因して装置が包囲流体圧力によって壁面に吸着せ
しめられる。そして、かかる吸着状態において駆動源を
作動せしめると、仕切壁の一部が壁面に作用し、かくし
て仕切壁による壁面のクリーニングが達成される。

しかしながら、従来の上記装置においては、駆動源の
作用によって仕切壁が常時所定方向に回動されるように
なっており、それ故に、このことに起因して次の通りの
解決すべき問題が存在する。即ち、仕切壁が所定方向に
回動されると、仕切壁と壁面間に生ずる摩擦力の反作用
として、装置本体には仕切壁の回動方向と反対方向に回
動する傾向が生ずる。そして、かかる傾向が大きくなる
と、装置本体が仕切壁の回動方向と反対方向に幾分回動
し、壁面の処理作業或いは装置本体の走行制御を所望通
り行うのが困難になる。

〈発明の目的〉 本発明の主目的は、仕切壁を回動せしめることによっ
て発生する、装置本体の回動傾向を実質上なくすことが
できる、壁面に吸着可能な装置を提供することである。

＜発明の要約＞ 本発明によれば、包囲流体圧力によって壁面に吸着す
ることができる装置であって、剛性乃至半剛性材料から
形成された受圧本体と、該受圧本体及び該壁面と協動し
て又は該壁面と協動して減圧領域を規定する仕切壁と、
該減圧領域から流体を排出して該減圧領域内を減圧せし
めるための減圧生成手段と、を具備する装置において、 該仕切壁を回動せしめるための駆動源を更に備え、該
仕上壁は該駆動源の作用によって所定方向方向及び該所
定方向と反対方向に連続的に繰返し回動される、ことを
特徴とする装置、が提供される。

〈発明の好適具体例〉 以下、添付図面を参照して、本発明に従って構成され
た装置の一具体例について説明する。

第１図及び第２図において、図示の装置は、全体の番
号２で示す装置本体を具備している。この装置本体２
は、具体例において、例えば鋼の如き剛性乃至半剛性の
材料から形成された種々のプレート4,6,8,10,12,14,16,
18及び20を溶接或いはボルト及びナットの如き手段を用
いて組付けることによって形成され、第２図から理解さ
れる如く、その下部（詳しくは、プレート10,12及び16
とプレート14の一部）が受圧本体22として機能し、その
上部（詳しくは、プレート4,6,8,18及び20とプレート14
の一部）が支持フレーム24として機能する。受圧本体22
は適宜の形状でよいが、図示の具体例では略直方体の箱
状になっており、その壁面26に対向する部位（プレート
16）には円形の開口28が形成されている。また、支持フ
レーム24は受圧本体22に固定され、その一端部は受圧本
体22から第１図及び第２図において右方に突出し、その
他端部はこの受圧本体22から第１図及び第２図において
左方に突出している。

図示の装置は、壁面26に沿って移動するための走行手
段を備えている。具体例においては、支持フレーム24の
一端部には第１図において上下方向、第２図において紙
面に垂直な方向に間隔を置いて支持脚部30a及び30bが設
けられており、かかる支持脚部30a及び30bに走行手段を
構成する車輪32a及び32bが回転自在に装着されている。
また、支持フレーム24の他端部にも第１図において上下
方向、第２図において紙面に垂直な方向に間隔を置いて
支持脚部30c及び30dが設けられており、かかる支持脚部
30c及び30dに走行手段を構成する車輪32c及び32dが回転
自在に装着されている。支持脚部30a及び30bには、更
に、走行駆動源を構成する電動モータ34a及び34bが装着
されている。電動モータ34a及び34bは、両方向に回転す
ることができるものが好ましい。片方の電動モータ34a
の出力軸は車輪31aに駆動連結され、車輪32aと車輪32c
はチェーン36並びにスプロケット38及び40の如き適宜の
伝動手段を介して相互に駆動連結されている。従って、
電動モータ34aが付勢されると、車輪32aが回動され、こ
れによってチェーン36、スプロケット38及び40を介して
車輪32cも同一方向に回動される。また、他方の電動モ
ータ34bの出力軸は車輪32dに駆動連結され、車輪32cと
車輪32dはチェーン42並びにスプロケット44及び46の如
き適宜の伝動手段を介して相互に駆動連結されている。
従って、電動モータ34bが付勢されると、車輪32dが回動
され、これによってチェーン42,スプロケット46及び44
を介して車輪32dも同一方向に回動される。これら車輪3
2a,32b,32c及び32dは、後に詳述する如く、装置本体２
（特に受圧本体22）に作用する包囲流体圧力によって壁
面26に押付けられてこれに接触せしめられる。尚、具体
例においては、走行手段として４個の車輪を用いている
が、これに代えて３個又は５個以上の車輪を用いてもよ
く、更に車輪に代えて２個以上のそれ自体周知のエンド
レストラックを用いてもよい。また、これら車輪、エン
ドレストラックに代えて、それ自体周知の他の手段を用
いてもよい。

主として第２図を参照して、受圧本体22に規定された
開口28（即ちプレート16に形成された開口28）に隣接し
て仕切壁48が配設され、仕切壁48は装置本体２に対して
相対的に回転自在となっている。更に説明すると、受圧
本体22（詳しくはプレート12）には駆動源を構成する電
動モータ50が配設されている。第３図にも拡大して示す
如く、電動モータ50の出力軸は減速機構（第１図及び第
３図において、この減速機構を覆っているカバー部材52
を示し、カバー部材52がプレート12の上面に固定されて
いる）に駆動連結され、この減速機構の出力軸54には短
円筒状の回転体56が装着されている。具体例では、出力
軸54及び回転体56にキー溝が形成されており、かかる両
キー溝内にキー部材58を挿入することによって、回転体
56が出力軸54と一体に回動するように装着されている
（第３図）。また、受圧本体22（プレート12）には中空
円筒状の支持体60が固定されている。この支持体60内に
はその軸線方向（第１図において紙面に垂直な方向、第
２図において上下方向）に間隔を置いて一対の軸受部材
62が配設され、かかる一対の軸受部材62を介して回転軸
64が回転自在に支持されている。回転軸64は第２図にお
いて上下方向、即ち装置が走行する壁面26に対して実質
上垂直な方向に延びており、その一端部（第２図におい
て下端部）は支持体60の一端壁を貫通して外方に突出
し、かかる下突出端部に支持回転体66が装着され、仕切
壁48はこの支持回転体66に連結されている。回転軸64の
他端部（第２図において上端部）は、支持体60の他端に
装着されたプレート状の部材68を貫通して外方に突出し
ている。具体例においては、第３図に示す通り、電動モ
ータ50の作用によって矢印70で示す方向に回転される回
転体56と支持回転体66が装着された回転軸64とが、クラ
ンク機構72を介して連結されている。図示のクランク機
構72は、クランク74と揺動アーム76を備えている。クラ
ンク74の一端部は連結ピン78を介して回転体56の上面に
偏心して（即ち、回転体56の回転中心から幾分ずらし
て）旋回自在に連結されている。また、揺動アーム76の
一端部は回転軸64の上突出端部に装着されている。具体
例では、回転軸64及び揺動アーム76にキー溝が形成され
ており、かかる両キー溝にキー部材80を挿入することに
よって、揺動アーム76が回転軸64と一体に回動するよう
に装着されている。そして、クランク74の他端部と揺動
アーム76の他端部が連結ピン82を介して相互に旋回自在
に連結されている。従って、回転体56が矢印70で示す方
向に回動すると、ピン78も一体に回動し、ピン78が第３
図に実線で示す位置から二点鎖線で示す位置まで回動す
る間は、揺動アーム76は第３図に実線で示す第１の角度
位置から矢印84で示す方向に二点鎖線で示す第２の角度
位置まで旋回し、続いてピン78が上記二点鎖線で示す位
置から実線で示す位置まで回動する間は、揺動アーム76
は上記二点鎖線で示す第２の角度位置から矢印86で示す
方向に実線で示す第１の角度位置まで旋回する。尚、電
動モータ50及びクランク機構72に代えて、例えば空圧シ
リンダ機構の如きシリンダ機構の伸縮を利用しても回転
軸64を同様に回動せしめることができる。

次いで、第２図と共に第４図及び第５図を参照して、
支持回転体66及び仕切壁48について説明する。図示の支
持回転体66は、基部88と基部88の外側に配設された環状
筒部90を有し、基部88と環状筒部90が複数（具体例にお
いて３個）のアーム部92を介して接続されている。かか
る支持回転体66は、キー部材94及び取付ボルト96によっ
てその基部88が回転軸64の下突出端部にこれと一体に回
動するように装着されている。具体例では、支持回転体
66の環状筒部90には、半径方向外方に突出するフランジ
部98が一体に設けらており、かかるフランジ部98に仕切
壁48が連結されている。具体例における仕切壁48は、略
円形であり、その中央部には、受体本体22に規定された
開口28に対応して円形の開口が形成されている（第２
図、第４図）。図示の仕切壁48は、一端部（即ち内側端
部）が支持回転体66のフランジ部98に連結され、支持回
転体66に連結された一端部から外方に向けて壁面26に近
接する方向に延びる主部100と、この主部100に続いて外
方に向けて壁面26から離隔する方向に延びる延長部102
を有し、主部100と延長部102の接続部、即ち接続部104
が壁面26に接触せしめられる（特に第５図参照）。具体
例では、仕切壁48の一端部は次の通りにして支持回転体
66に連結されている。即ち、第５図に示す通り、仕切壁
48及び支持回転体66のフランジ部98に形成された貫通孔
を通して連結ボルト106を挿通し、この連結ボルト106の
フランジ部98から突出するねじ部にナット108を螺着す
ることによって、仕切壁48が所要の通り装着されてい
る。従って、この仕切壁48は、支持回転体66と一体に回
動せしめられる。かくの通りの仕切壁48は、ポリウレタ
ンゴムの如き非通気性で且つ比較的柔軟な材料から形成
するのが好ましく、かかる材料から形成することによっ
て、仕切壁48（特に主部100）が比較的小さい力によっ
て弾性変形し、これによって接触部104は装置本体２に
対して壁面26に近接する方向及びこれから離れる方向に
変位することができる。かかる仕切壁48は、第２図から
理解される如く、受圧本体22及び壁面26と協働して減圧
領域110を規定する。

具体例においては、受圧本体22（プレート16）と支持
回転体66（環状筒部90）との間に、更に、シール部材11
2が配設されている。第２図を参照して、シール部材112
はウレタンゴムの如き非通気性で且つ比較的柔軟な材料
から形成することができ、その一端部（外側端部）が取
付ボルト114の如き適宜の手段によって受圧本体22（プ
レート16）の開口部に連結されている。このシール部材
112は、受圧本体22に連結された一端部から内方に支持
回転体66に向けて延び、その他端部が支持回転体66の環
状筒部90の外周面に接触せしめられている。

受圧本体22、壁面26及び仕切壁48によって規定される
減圧領域110は、減圧生成手段116に連通されている。具
体例では、受圧本体22（詳しくはプレート10）には接触
部118が設けられており、かかる接続部118が可撓性のチ
ューブの如き手段を介して分離器（図示せず）及び減圧
生成手段116に接続されている。減圧生成手段116は減圧
領域110から流体を排出して減圧領域110内を減圧せしめ
るそれ自体周知のものでよく、上記装置を例えば大気中
で使用する場合には排気ポンプ又はエゼクタ等を用いる
ことができ、また上記装置を例えば水中又は海中で使用
する場合には排水ポンプ等を用いることができる。尚、
図示していないが、減圧領域110内の圧力が所定置以上
に減圧されるのを防止するために、真空ブレーカを付設
するのが好ましい。具体例の装置においては、第４図及
び第５図に示す通り、仕切壁48の接触部104に減圧領域1
10内外を連通する溝120を設けるのが好ましい。具体例
では、仕切壁48の接触部104の内面（第２図及び第５図
において下面）に、第４図（第４図は仕切壁48を内面側
から見たところを示している）に示す通り、周方向に間
隔を置いて複数個の溝120が設けられており、各溝120は
放射状に半径方向外方に延びている。各溝120の縦断面
形状は適宜の形状でよいが、図示の具体例では略矩形で
ある。かかる溝120の個数及び断面積は適宜に設定する
ことができるが、後の記載から容易に理解される如く、
その個数を多くする或いは断面積を大きくした場合には
溝120を通して減圧領域110内に流入する流体の量が多く
なり、それ故に、減圧領域110内を所要の通り減圧せし
めるのに比較的大型の且つ高能力の減圧生成手段を必要
とし、一方その個数を少なくする或いは断面積を小さく
した場合には溝120を通しての流体の流入が少なくな
り、それ故に後述する処理作業において除去された汚れ
を回収する能力が低下する。上述したことから、具体例
においては、仕切壁48の直径約230mmの接続部104に、周
方向に実質上等間隔を置いて72個の溝120が形成されて
おり、そして、溝120の断面形状は一辺が1mmの正方形と
なっている。尚、第４図においては、仕切壁48の全体を
図示しているが、それに形成された溝120は一部を省略
している。

かくの通りの装置は、原子力設備における各種プール
の壁面、床面に付着した放射性腐蝕生成物（所謂水あ
か）を気中或いは水中において除去する作業、即ち所謂
除汚作業、更には船舶の外側壁面のクリーニング作業に
好都合に用いることができる。

次に、主として第２図を参照して、上述した装置の作
用効果について説明する。

例えば第２図に示す状態において減圧生成手段116が
作動すると、この減圧生成手段116の作用によって減圧
領域110の流体（例えば大気中で使用する場合には空
気、また例えば水中で使用する場合には水）が外部に排
出され、これによって減圧領域110内が所要の通り減圧
される。かくすると、第２図から容易に理解される如
く、仕切壁48が比較的柔軟な材料から形成されていて比
較的小さい力によって接触部104が装置本体２に対して
壁面26に近接する方向及びこれから離れる方向に変位し
得る故に、減圧領域110の内外の流体圧力差に起因して
受圧本体22、従って装置本体２に作用する包囲流体圧力
は実質上車輪32a,32b,32c及び32dを介して壁面26に伝達
され、これによって装置が壁面26に吸着せしめられる。
他方、減圧領域110の内外の流体圧力差に起因して仕切
壁48に作用する包囲流体圧力は、仕切壁48を壁面26に向
けて偏椅せしめる。従って、これによって仕切壁48の接
触部104が壁面26に接触せしめられ、かかる接触部104と
壁面26との間の接触圧力によって後述する壁面26の処理
作業、即ち具体例においてクリーニング作業が可能には
る。また、かくすると、シール部材112が比較的柔軟な
材料から形成されている故に、減圧領域110の内外の流
体圧力差に起因してシール部材112に作用する包囲流体
圧力は、シール部材112を支持回転体66に向けて偏椅せ
しめ、これによってシール部材112の他端部は支持回転
体66の環状筒部90に接触せしめられる。従って、これに
よって受圧本体22と支持回転体66との間において実質上
流密なシールが維持され、支持回転体66とシール部材11
2との間を通って外部の流体が減圧領域110に流入するこ
とが防止される。

そして、かかる吸着状態において電動モータ50を付勢
すると、支持回転体66と一体に仕切壁48が矢印122（第
１図）で示す所定方向及び矢印124（第１図）で示す上
記所定方向と反対方向に回動される。即ち、第３図に示
す如く、電動モータ50が付勢されると、減速機構を介し
て駆動連結された回転体56は、矢印70で示す方向に回動
される。かくすると、回転体56と回転軸64がクランク機
構72を介して連結されている故に、回転体56の矢印70で
示す方向の回転に伴って揺動アーム76は第３図に実線で
示す第１の角度位置と第３図に二点鎖線で示す第２の角
度位置との間を矢印84及び86で示す方向に往復動する。
この揺動アーム76は回転軸64及び支持回転体66を介して
仕切壁48と一体に回転するようになっており、それ故
に、揺動アーム76が上記第１の角度位置から矢印84で示
す方向に上記第２の角度位置まで移動する間は、仕切壁
48は矢印122（第１図）で示す方向に回動され、揺動ア
ーム76が上記第２の角度位置から矢印86で示す方向に上
記第１の角度位置まで移動する間は、仕切壁48は矢印12
4（第１図）で示す方向に回動される。仕切壁48がかく
矢印122及び124で示す方向に回動されると、その接触部
104が壁面26に作用し、かくして壁面26のクリーニング
が所要の通り達成される。即ち、上記吸着状態において
は、仕切壁48の接触部104は所要圧力で壁面26に接触せ
しめられており、それ故に、電動モータ50の付勢によっ
て仕切壁48が往復動されるとその接触部104が壁面26に
作用しながら移動し、かかる接触部104の作用によって
壁面26のクリーニングが遂行される。上記吸着状態にお
いては減圧領域110が所要の通り減圧せしめられてお
り、一方仕切壁48の接触部104には周方向に間隔を置い
て複数個の溝120が形成されており、それ故に、第５図
に実線矢印で示す通りに、外部から溝120を通って減圧
領域110内に至る流体の流れが実質上常時生成されてい
る。従って、減圧領域110外の仕切壁48の接触部104近傍
において発生した汚れ（劣化塗片、サビ、水あか等）
は、上述した流体の流れに乗って溝120内を通って減圧
領域110内に移送され、かくしてクリーニング時に発生
する汚れが周囲に飛散することが確実に防止される。具
体例では、溝120が放射状に延びている故に、仕切壁48
の実質上全周において半径方向内方に向う放射状の流れ
が生成され、これによって仕切壁48の全周において汚れ
が飛散することが防止される。減圧領域110内に移送さ
れた汚れは、減圧生成手段116の作用によって減圧領域1
10内の流体と一緒に分離器（図示せず）に搬送され、こ
の分離器において所要の通り分離され、分離された後の
きれいな流体が外部に排出される。

尚、走行に際して、電動モータ34a及び34bを作動せし
てめて車輪32a及び32cと車輪32b及び32dを同方向に回転
駆動すると、装置は壁面26に沿って直進し、また車輪32
a及び32cと車輪32b及び32dを逆方向に回転駆動すると、
装置はその中心軸線の回りを回転移動して所望の方向に
向けられる。

具体例においては、仕切壁48の接触部104の内面に溝1
20が形成されていることに起因して接触部104の溝120が
存在しない部位が壁面26に向けて突出し、かかる部位が
壁面26に実質上作用するようになり、それ故に、クリー
ニング時のクリーニング効率をも高めることができる。

また、上述した具体例においては、仕切壁48の接触部
104が比較的小さい力によって受圧本体22に対して壁面2
6に近接する方向及びこれから離れる方向に変位し得る
ようになっている故に、仕切壁48に作用する包囲流体圧
力によって仕切壁48の接触部104が壁面26に接触せしめ
られる。従って、上記接触部104と壁面26との接触圧
力、言い換えるとクリーニング作業時の作業圧力が実質
上一定であり、これによって壁面の実質上均一なクリー
ニングが達成される。また、仕切壁48の接触部104と壁
面26との接触圧力は仕切壁48に作用する包囲流体圧力の
影響を受ける故に、仕切壁48の受圧面積を変えることに
よって容易に上記接触圧力を変更することができ、更に
このことに関連して、受圧本体22の受圧面積を適宜に設
定することによって装置を壁面26に吸着せしめるに必要
な所望の吸着力を得ることができる。

かくの通りの装置においては、仕切壁48が矢印122及
び124で示す方向に連続に繰返し回動されることに関連
して、特に、次の点が注目される。即ち、仕切壁48が矢
印122で示す方向に回動するときには、装置本体２には
矢印122と反対の矢印124で示す方向の回動傾向が生じ、
一方仕切壁48が矢印124で示す方向に回動するときに
は、装置本体２には矢印124と反対の矢印122で示す方向
の回動傾向が生じる。従って、仕切壁48の回動方向が比
較的短期間の周期で仕換ってこの仕切壁が矢印122及び1
24で示す方向に連続的に繰換し回動されると、装置本体
２に生ずる矢印124で示す方向の回動傾向と矢印122で示
す方向の回動傾向とが実質上打消し合うように作用し、
これによって仕切壁48の移動に伴う装置本体２の回動傾
向が実質上発生することはなく、かくして仕切壁48によ
るクリーニング作業、更には車輪32a乃至32dによる装置
の走行制御を所望通りに容易に行うことができる。

以上、本発明に従って構成された装置の一具体例につ
いて説明したが、本発明はかかる具体例に限定されるこ
となく、例えば特開昭60−25669号公報、特開昭53−126
765号公報等に開示されている種々の壁面に吸着するこ
とができる装置に適用することができる。即ち、例えば
特開昭60−25669号公報に開示されている如く、仕切壁
の一端部が受圧本体に連結され、仕切壁が受圧本体と一
体に回転せしめられる形態の装置にも同様に適用するこ
とができる。この形態の装置も、仕切壁の回転によって
壁面をクリーニングすることができる。また、例えば特
開昭53−126765号公報の一部に開示されている如く、仕
切壁の一端部が受圧本体に連結され、受圧本体、仕切壁
及び壁面によって減圧領域が規定され（或いは受圧本体
の内面を仕切壁により覆うことによって仕切壁及び壁面
によって減圧空間が規定される）、走行手段の作用によ
って壁面に沿って移動する形態の装置に適用してこの仕
切壁を所要の通り移動せしめるようにしてもよい。かか
る場合には、仕切壁はクリーニング等の処理作業に実質
上寄与せず、仕切壁の移動は主としてこの仕切壁と壁面
間の摩擦力の低減を目的とする。

本発明装置によれば、仕切壁を所定方向及び所定方向
と反対方向へ連続的に回動させることができるので、装
置本体の回動傾向を実質上なくすことができる。その結
果、仕切壁による壁面の処理作業及び装置の走行制御を
所望のとおり容易かつ確実に遂行することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明に従って構成された装置の一具体例を
示す平面図。 第２図は、第１図におけるII−II線による断面図。 第３図は、第１図の装置のクランク機構及びその近傍を
拡大して示す部分拡大平面図。 第４図は、第１図の装置における支持回転体及び仕切壁
を内側から見たところを示す図。 第５図は、第１図の装置における仕切壁と壁面との接触
部位を拡大して示す断面図。 ２……装置本体 22……受圧本体 26……壁面 32a,32b,32c及び32d……車輪 48……仕切壁 50……電動モータ 72……クランク機構 74……クランク 76……揺動アーム 110……減圧領域 120……溝

Claims (8)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】包囲流体圧力によって壁面に吸着すること
   ができる装置であって、剛性乃至半剛性材料から形成さ
   れた受圧本体と、該受圧本体及び該壁面と協動して又は
   該壁面と協動して減圧領域を規定する仕切壁と、該減圧
   領域から流体を排出して該減圧領域内を減圧せしめるた
   めの減圧生成手段と、を具備する装置において、 該仕切壁を回動せしめるための駆動源を更に備え、該仕
   上壁は該駆動源の作用によって所定方向方向及び該所定
   方向と反対方向に連続的に繰返し回動される、ことを特
   徴とする装置。
2. 【請求項２】該回転駆動源は一定方向に回転する回転駆
   動源から構成され、該回転駆動源と該仕切壁との間に
   は、該回転駆動源の該一定方向の回動を該仕切壁の該所
   定方向及び該所定方向と反対方向の回動に変換するため
   のクランク機構が介在されている、特許請求の範囲第１
   項記載の装置。
3. 【請求項３】該受圧本体の該壁面に対向する側には、該
   受圧本体に対して相対的に回転自在である支持回転体が
   配設され、該支持回転体に該仕切壁の一端部が連結さ
   れ、該回転駆動源と該支持回転体との間に該クランク機
   構が介在されている特許請求の範囲第２項記載の装置。
4. 【請求項４】該仕切壁の一端部は該受圧本体に連結され
   てこれと一体に回転し、該回転駆動源と該受圧本体との
   間に該クランク機構が介在されている特許請求の範囲第
   ２項記載の装置。
5. 【請求項５】該仕切壁は、該一端部から外方に向けて該
   壁面に近接する方向に延びる主部と、該主部に続いて外
   方に向けて該壁面から離れる方向に延びる延長部を有
   し、該主部と該延長部の接続部に該壁面に接触する接触
   部が存在する特許請求の範囲第３項又は第４項記載の装
   置。
6. 【請求項６】該仕切壁は比較的小さい力によって少なく
   とも該接触部が該受圧本体に対して該壁面に近接する方
   向及びこれから離される方向に変位し得るようにせしめ
   られており、該減圧領域内外の流体圧力差に起因して該
   仕切壁に作用する流体圧力によって該接触部が該壁面に
   接触せしめられる特許請求の範囲第５項記載の装置。
7. 【請求項７】該仕切壁の該接触部には、該減圧領域内外
   を連通する複数の溝が間隔を置いて形成されており、該
   回転駆動源の作用による該仕切壁の往復動によって該壁
   面が処理される特許請求の範囲第５項又は第６項記載の
   装置。
8. 【請求項８】該壁面に沿って装置を移動せしめるための
   走行手段を更に備えている特許請求の範囲第１項から第
   ７項までのいずれかに記載の装置。