JP2579012B2 - Optical element manufacturing equipment - Google Patents

Optical element manufacturing equipment

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JP2579012B2
JP2579012B2 JP1334942A JP33494289A JP2579012B2 JP 2579012 B2 JP2579012 B2 JP 2579012B2 JP 1334942 A JP1334942 A JP 1334942A JP 33494289 A JP33494289 A JP 33494289A JP 2579012 B2 JP2579012 B2 JP 2579012B2
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    • C03B29/00—Reheating glass products for softening or fusing their surfaces; Fire-polishing; Fusing of margins
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    • C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B2215/00—Press-moulding glass
    • C03B2215/66—Means for providing special atmospheres, e.g. reduced pressure, inert gas, reducing gas, clean room

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は光学素子の製造装置に関し、特に光学機能面
を有する光学素子を成形用素材から直接プレス成形によ
り得るための装置に関する。Description: TECHNICAL FIELD The present invention relates to an optical element manufacturing apparatus, and more particularly to an apparatus for directly obtaining an optical element having an optical function surface from a molding material by press molding.

［従来の技術及び発明が解決しようとする課題］ 近年、所定の表面精度を有する成形用型内に光学素子
成形用の素材たとえばある程度の形状及び表面精度に予
備成形されたガラスブランクを収容して加熱下でプレス
成形することにより、研削及び研摩等の後加工を不要と
した、高精度光学機能面を有する光学素子を製造する方
法が開発されている。[Problems to be Solved by Related Art and Invention] In recent years, a material for optical element molding, for example, a glass blank preformed to a certain shape and surface accuracy has been housed in a molding die having a predetermined surface accuracy. A method for producing an optical element having a high-precision optical function surface by press-forming under heating so that post-processing such as grinding and polishing is not required has been developed.

この様なプレス成形法では、一般に成形用上型部材と
成形用下型部材とをそれぞれ成形用胴型部材内に摺動可
能に対向配置し、これら上型部材、下型部材及び胴型部
材により形成されるキャビティ内に成形用素材を導入
し、型部材の酸化防止のため雰囲気を非酸化性雰囲気た
とえば窒素雰囲気として、成形可能温度たとえば成形用
素材が108〜1012ポアズとなる温度まで型部材を加熱
し、型を閉じ適宜の時間プレスして型部材表面形状を成
形用素材表面に転写し、そして型部材温度を成形用素材
のガラス転移温度より十分低い温度まで冷却し、プレス
圧力を除去し、型を開いて成形済光学素子を取出す。In such a press molding method, generally, a molding upper die member and a molding lower die member are slidably opposed to each other in a molding trunk die member, and the upper die member, the lower die member, and the trunk die member are arranged. the molding material is introduced into the cavity formed by, as a non-oxidizing atmosphere of nitrogen atmosphere for example atmosphere for preventing oxidation of the mold member, to a temperature of moldable temperature e.g. molding material is 10 8 to 10 12 poises The mold member is heated, the mold is closed and pressed for an appropriate time to transfer the surface shape of the mold member to the surface of the molding material, and the temperature of the mold member is cooled to a temperature sufficiently lower than the glass transition temperature of the molding material. Is removed, the mold is opened, and the molded optical element is taken out.

尚、型部材内に導入する前に成形用素材を適宜の温度
まで予備加熱したり、あるいは成形用素材を成形可能温
度まで加熱してから型部材内に導入することもできる。
更に、型部材とともに成形用素材を搬送しながら、それ
ぞれ所定の場所で加熱、プレス及び冷却を行い、連続化
及び高速化をはかることもできる。The material for molding may be preheated to an appropriate temperature before being introduced into the mold member, or the material for molding may be heated to a moldable temperature and then introduced into the mold member.
Further, while conveying the molding material together with the mold member, heating, pressing and cooling are performed at predetermined locations, respectively, so that continuity and high speed can be achieved.

以上の様な光学素子プレス成形法及びその装置は、た
とえば特開昭58−84134号公報、特開昭49−97009号公
報、イギリス国特許第378199号公報、特開昭63−11529
号公報、特開昭59−150728号公報及び特開昭61−26528
号公報等に開示されている。The optical element press molding method and the apparatus described above are disclosed in, for example, JP-A-58-84134, JP-A-49-97009, British Patent No. 378199, and JP-A-63-11529.
JP, JP-A-59-150728 and JP-A-61-26528
No. 6,009,036.

ところで、以上の様な光学素子のプレス成形において
は、成形時の高温下で成形様素材と型部材とが融着する
ことがある。ひとたび融着が発生すると、プレス後の冷
却時において成形済光学素子と型部材との熱膨張係数の
差に基づき該素子に作用する引っ張り力により該素子に
ヒビやワレが生じたり、型内から成形済光学素子を取出
す際に該素子の一部が型部材に付着して残留し以後の成
形に悪影響を及ぼしたりすることがある。By the way, in the press molding of the optical element as described above, the molding-like material and the mold member may be fused at a high temperature during molding. Once fusion occurs, the element may crack or crack due to the tensile force acting on the element based on the difference in the coefficient of thermal expansion between the molded optical element and the mold member during cooling after pressing, or from inside the mold. When removing the molded optical element, a part of the element may adhere to the mold member and remain, which may adversely affect the subsequent molding.

上記融着の防止のためには離型剤を使用することが考
えられるが、光学素子の場合には特に光学機能面が高度
の平滑性を要求されるところ、離型剤の使用はその残留
により平滑性低下及び透明性低下等の品質低下をもたら
すので、離型剤の使用は好ましくない。In order to prevent the above-mentioned fusion, it is conceivable to use a release agent. However, in the case of an optical element, in particular, the optical functional surface is required to have a high degree of smoothness. The use of a release agent is not preferred because it causes a decrease in quality such as a decrease in smoothness and a decrease in transparency.

また、上記融着の発生しにくい型部材の材質も研究さ
れているが、型部材材質による融着防止は該型部材の選
択の幅を狭めることになり、この点で不利がある。In addition, although the material of the mold member in which the fusion hardly occurs is studied, the prevention of the fusion by the material of the mold member is disadvantageous in that the range of choice of the mold member is narrowed.

そこで、本発明は、成形用素材及び成形済光学素子と
型部材との融着の発生を低減させて良好な成形を行うこ
とのできる光学素子製造装置を提供することを目的とす
るものである。Accordingly, an object of the present invention is to provide an optical element manufacturing apparatus capable of performing favorable molding by reducing occurrence of fusion between a molding material and a molded optical element and a mold member. .

［課題を解決するための手段］ 本発明によれば、上記目的を達成するものとして、 成形用型部材を備えたプレス部を含んでなる成形室と
該成形室に第１の密閉可能ゲートを介して連通可能に接
続された置換室とを有し、該置換室には外部から成形用
素材を送入し及び外部へ成形済光学素子を取出すための
第２の密閉可能ゲートが備えられており、上記置換室か
ら上記成形室へと成形用素材を搬送する手段及び上記成
形室から上記置換室へと成形済光学素子を搬送する手段
を備えており、更に上記置換室内を減圧する手段と上記
置換室内にある成形用素材を加熱する手段とを有し、上
記置換室内にある成形用素材を加熱する手段は上記置換
室から成形室へと成形用素材を搬送する手段に設けられ
ていることを特徴とする、光学素子製造装置、 が提供される。[Means for Solving the Problems] According to the present invention, as a means for achieving the above object, there is provided a molding chamber including a press portion provided with a molding die member, and a first sealable gate in the molding chamber. A replacement chamber communicably connected via a second sealable gate for feeding a molding material from the outside and removing the molded optical element to the outside. Means for transporting a molding material from the replacement chamber to the molding chamber, and means for transporting the molded optical element from the molding chamber to the replacement chamber; and means for further reducing the pressure in the replacement chamber. Means for heating the molding material in the replacement chamber; and means for heating the molding material in the replacement chamber are provided in means for transporting the molding material from the replacement chamber to the molding chamber. An optical element manufacturing apparatus, It is provided.

本発明においては、上記成形室内に非酸化性ガスを導
入する手段を有する形態がある。In the present invention, there is an embodiment having means for introducing a non-oxidizing gas into the molding chamber.

本発明においては、上記置換室内に非酸化性ガスを導
入する手段を有する形態がある。In the present invention, there is an embodiment having a means for introducing a non-oxidizing gas into the replacement chamber.

［実施例］ 以下、本発明の実施例について図面を参照しながら説
明する。Example An example of the present invention will be described below with reference to the drawings.

第１図は本発明による光学素子製造装置の一実施例の
概略構成を示す縦断面模式図であり、第２図はそのＡ−
Ｂ−Ｃ−Ｄ−Ｅ−Ｆ断面模式図である。FIG. 1 is a schematic longitudinal sectional view showing a schematic configuration of an embodiment of an optical element manufacturing apparatus according to the present invention, and FIG.
It is a BCDDEF cross-sectional schematic diagram.

図において、２はケーシングであり、4a,4bはその支
持脚である。上記ケーシングにより外気と遮断可能に成
形室６及び置換室８が形成されている。９は置換室８を
減圧するための真空ポンプである。成形室６と置換室８
とはその間に設けられた密閉可能なゲートバルブ10によ
り区画されており、ちょうど成形室６の側方に置換室８
が付設された形態とされている。該置換室８の下部には
外部との間に密閉可能なゲートバルブ12が設けられてい
る。In the figure, 2 is a casing, and 4a and 4b are its supporting legs. The molding chamber 6 and the replacement chamber 8 are formed by the casing so as to be shut off from the outside air. Reference numeral 9 denotes a vacuum pump for reducing the pressure in the replacement chamber 8. Molding room 6 and replacement room 8
Is defined by a sealable gate valve 10 provided therebetween, and a replacement chamber 8 is provided just beside the molding chamber 6.
Is provided. A gate valve 12 that can be hermetically sealed from the outside is provided below the replacement chamber 8.

該ゲートバルブ12の下方には、外部から置換室８内へ
と成形用素材を送入し更に該置換室８内から外部へと成
形済光学素子を取出すための送入取出し手段20が配置さ
れている。Below the gate valve 12, there is arranged a feeding / extracting means 20 for feeding a molding material from the outside into the replacement chamber 8 and for taking out the molded optical element from the inside of the replacement chamber 8 to the outside. ing.

上記置換室８の近傍には、該置換室８内の成形用素材
を上記成形室６内へと搬送し更に該成形室６内から置換
室８内へと成形済光学素子を搬送する搬送手段22が配置
されている。In the vicinity of the replacement chamber 8, a transport means for transporting the molding material in the replacement chamber 8 into the molding chamber 6 and transporting the molded optical element from the inside of the molding chamber 6 into the replacement chamber 8. 22 are located.

上記成形室６内には、加熱部24,移送部26及びプレス
部28が配設されている。In the molding chamber 6, a heating section 24, a transfer section 26, and a press section 28 are provided.

尚、本実施例では、第２図に示されている様に、２つ
の同等なプレス部P1,P2が設けられている。In this embodiment, as shown in FIG. 2, two equivalent press sections P 1 and P 2 are provided.

上記加熱部24は、上記搬送手段22により成形室６内に
搬送される成形用素材を受取り該素材を適宜の温度に加
熱し、更に上記移送部26から成形済光学素子を受取る。The heating unit 24 receives the molding material conveyed into the molding chamber 6 by the conveying means 22, heats the material to an appropriate temperature, and further receives the molded optical element from the transfer unit 26.

上記移送部26は、上記加熱部24にある成形用素材を上
記プレス部28へと移送し、更に該プレス部にある成形済
光学素子を上記加熱部24へと移送する。The transfer section 26 transfers the molding material in the heating section 24 to the press section 28, and further transfers the molded optical element in the press section to the heating section 24.

上記プレス部28は、上記移送部26により移送されてき
た成形用素材を適宜の温度にまで加熱した上で成形用型
部材によりプレスする。The press unit 28 heats the molding material transferred by the transfer unit 26 to an appropriate temperature, and presses the material with a forming mold member.

以下、各部の詳細につき説明する。 Hereinafter, details of each unit will be described.

上記送入取出し手段20において、シリンダ32が支持脚
34a,34bにより支持されて上下方向に配置されている。3
6はシリンダ32により上下移動せしめられるピストンロ
ッドであり、その上端には成形用素材または成形済光学
素子を載置するための載置台38が取付けられている。該
載置台38は、上記成形室６内に２つのプレス部28（P1,P
2）が設けられてていることに対応して、成形用素材ま
たは成形済光学素子が２つ載置される様に第１図の紙面
に垂直の方向に２つの載置部が併設されている。In the above-mentioned feeding / extracting means 20, the cylinder 32 is
It is supported by 34a, 34b and arranged vertically. Three
Reference numeral 6 denotes a piston rod which is moved up and down by a cylinder 32. A mounting table 38 for mounting a molding material or a molded optical element is attached to an upper end of the piston rod. The mounting table 38 has two press sections 28 (P 1 , P
2 ), two mounting portions are provided side by side in the direction perpendicular to the plane of FIG. 1 so that two molding materials or molded optical elements are mounted. I have.

上記載置台38は、その上下移動ストロークの上下両端
位置が上記置換室８内及び該置換室外となる様に設定さ
れている。もちろん、載置台38の上下移動の際には、置
換室８に付設されたゲートバルブ12が開状態とされる。The mounting table 38 is set such that the upper and lower ends of the vertical movement stroke are located inside the replacement chamber 8 and outside the replacement chamber. Of course, when the mounting table 38 moves up and down, the gate valve 12 attached to the replacement chamber 8 is opened.

上記搬送手段22において、ロッドレスシリンダ42がロ
ッドレスシリンダ支持脚44a,44bにより支持されて上記
置換室８の方を向いて水平方向に配置されている。46は
上記ロッドレスシリンダ42により水平往復移動せしめら
れる軸受け部材であり、該軸受け部材にはその移動方向
と平行な水平方向の搬送軸48の一端部が該軸方向のまわ
りに回動可能に取付けられている。該搬送軸の他端部は
上記置換室８内まで延びており、その先端には成形用素
材または成形済光学素子を吸着するための吸着手段50が
取付けられている。一方、上記軸受け部材46には回転シ
リンダ52が取付けられており、54はその出力ギヤであ
る。また、上記搬送軸48の先端部には、上記ギヤ54と噛
み合うギヤ56が固定されており、従って上記回転シリン
ダ52により搬送軸48を回動させることができる。In the transfer means 22, the rodless cylinder 42 is supported by the rodless cylinder support legs 44a and 44b, and is disposed horizontally in the direction of the replacement chamber 8. Reference numeral 46 denotes a bearing member which is horizontally reciprocated by the rodless cylinder 42. One end of a horizontal transport shaft 48 parallel to the moving direction is mounted on the bearing member so as to be rotatable around the axial direction. Have been. The other end of the transport shaft extends to the inside of the replacement chamber 8, and a suction member 50 for suctioning a molding material or a molded optical element is attached to a tip end thereof. On the other hand, a rotary cylinder 52 is attached to the bearing member 46, and an output gear 54 is provided. Further, a gear 56 that meshes with the gear 54 is fixed to the distal end of the transport shaft 48, so that the transport shaft 48 can be rotated by the rotary cylinder 52.

上記吸着手段50には上下両面にそれぞれ２つづつ吸着
部が設けられており、その配置は上記載置台38の２つの
載置部の配置と対応している（第２図参照）。該上下各
面の吸着部は、上記搬送軸48の180゜回動により、上下
反転せしめられる。尚、吸着手段50にはヒータが内蔵さ
れている。The suction means 50 is provided with two suction portions on each of the upper and lower surfaces, and the arrangement thereof corresponds to the arrangement of the two mounting portions of the mounting table 38 (see FIG. 2). The suction portions on the upper and lower surfaces are turned upside down by the rotation of the transport shaft 48 by 180 °. It should be noted that the adsorption means 50 has a built-in heater.

上記搬送軸48に取付けられた吸着手段50の水平方向移
動は、上記載置台38の上方の置換室８内の位置（第１図
に示される位置）から上記成形室６内の加熱部24の位置
まで行う。もちろん、吸着手段50の水平移動の際には、
置換室８と成形室６との間のゲートバルブ10が開状態と
される。The horizontal movement of the suction means 50 attached to the transport shaft 48 is changed from the position in the replacement chamber 8 above the mounting table 38 (the position shown in FIG. 1) to the heating section 24 in the molding chamber 6. To the position. Of course, when the suction means 50 moves horizontally,
The gate valve 10 between the replacement chamber 8 and the molding chamber 6 is opened.

上記加熱部24において、シリンダ62が成形室６外にて
ケーシング２に取付けられており、上下方向に配置され
ている。64はシリンダ62により上下移動せしめられるピ
ストンロッドであり、ケーシング２を貫通して成形室６
内まで延びており、その上端には成形用素材または成形
済光学素子を載置するための載置台66が取付けられてい
る。該載置台66は成形用素材または成形済光学素子が２
つ載置される様に第１図の紙面に垂直の方向に２つの載
置部が併設されている（第２図参照）。In the heating section 24, a cylinder 62 is attached to the casing 2 outside the molding chamber 6, and is disposed vertically. Numeral 64 denotes a piston rod which is moved up and down by a cylinder 62.
A mounting table 66 for mounting a molding material or a molded optical element is attached to the upper end thereof. The mounting table 66 is made of two molding materials or molded optical elements.
Two mounting portions are provided side by side in the direction perpendicular to the plane of the paper of FIG. 1 so as to be mounted (see FIG. 2).

上記載置台66の上方には加熱筒体68が支持部材70によ
り吊されて配置されている。該筒体68は下方が開放され
ており、その内面にはヒータ72が取付けられている。Above the mounting table 66, a heating cylinder 68 is suspended by a support member 70 and arranged. The lower part of the cylindrical body 68 is open, and a heater 72 is attached to the inner surface thereof.

上記載置台66の上下移動は、上記吸着手段50が到来す
る位置より下方の位置（第１図に示される位置）から上
記加熱筒体68内の位置まで行う。The vertical movement of the mounting table 66 is performed from a position below the position where the suction means 50 arrives (the position shown in FIG. 1) to a position inside the heating cylinder 68.

上記移送部26において、シリンダ82が成形室６外にて
ケーシング２に取付けられており、上下方向に配置され
ている。84はシリンダ82により上下移動せしめられるピ
ストンロッドであり、ケーシング２を貫通して成形室６
内まで延びており、その外面には上下方向のまわりに相
対回動自在に回転スリーブ86が取付けられている。該ス
リーブはケーシング２を貫通しており、その上端には水
平方向に延びた２股のアーム88a,88bが付設されてい
る。これらアームの先端には、それぞれ吸着手段90a,90
bが取付けられている。一方の吸着手段90aはプレス部P1
に対応しており、他方の吸着手段90bはプレス部P2に対
応している。各吸着手段の下面には吸着部が設けられて
いる。また、92は上記スリーブ86をピストンロッド84に
対し回動させるための駆動手段である。In the transfer section 26, a cylinder 82 is attached to the casing 2 outside the molding chamber 6, and is disposed vertically. Numeral 84 denotes a piston rod which is moved up and down by a cylinder 82.
A rotating sleeve 86 is attached to the outer surface of the rotating sleeve 86 so as to be rotatable relative to the vertical direction. The sleeve penetrates the casing 2 and has two arms 88a, 88b extending horizontally in the upper end thereof. At the ends of these arms, suction means 90a, 90
b is installed. One of the suction means 90a is the press part P 1
Corresponds to, the other suction means 90b corresponds to the press section P 2. A suction section is provided on the lower surface of each suction means. Reference numeral 92 denotes drive means for rotating the sleeve 86 with respect to the piston rod 84.

該スリーブ86の回動に基づく上記吸着手段90aの回動
は上記加熱部24の載置台66上方の位置から第２図に示さ
れる中間位置を含む上記プレス部28（P1）の位置まで行
うことが必要であり、上記吸着手段90bの回動は上記加
熱部24の載置台66上方の位置から第２図に示される中間
位置を含む上記プレス部28（P2）の位置まで行うことが
必要である。The rotation of the suction means 90a based on the rotation of the sleeve 86 is performed from the position above the mounting table 66 of the heating unit 24 to the position of the press unit 28 (P 1 ) including the intermediate position shown in FIG. It is necessary to rotate the suction means 90b from the position above the mounting table 66 of the heating unit 24 to the position of the press unit 28 (P 2 ) including the intermediate position shown in FIG. is necessary.

上記プレス部28には、上下方向の固定筒102がケーシ
ング２に固定されている。シリンダ104が成形室６外に
おいて上記固定筒102の下端部に取付けられており、上
下方向に配置されている。106はシリンダ104のピストン
ロッドに接続され上下移動せしめられる下軸であり、該
下軸は上記固定筒102内に上下方向に摺動可能な様に収
容されている。A vertical fixed cylinder 102 is fixed to the casing 2 in the press section 28. A cylinder 104 is attached to the lower end of the fixed cylinder 102 outside the molding chamber 6, and is disposed vertically. Reference numeral 106 denotes a lower shaft which is connected to the piston rod of the cylinder 104 and is moved up and down. The lower shaft is accommodated in the fixed cylinder 102 so as to be vertically slidable.

上記固定筒102の上端上にはリング状のヒータプレー
ト108を介して筒状の胴型部材110の下端が載置されてお
り、該下端が押えリング112により上記固定筒102に対し
固定されている。また、上記下軸106の上端上には下型
部材114が配置されている。該下型部材は胴型部材110内
に収容されており、該胴型部材に対し上下方向に摺動可
能である。On the upper end of the fixed cylinder 102, a lower end of a cylindrical body member 110 is placed via a ring-shaped heater plate 108, and the lower end is fixed to the fixed cylinder 102 by a holding ring 112. I have. Further, a lower mold member 114 is disposed on the upper end of the lower shaft 106. The lower mold member is housed in the body member 110 and is slidable with respect to the body member in the vertical direction.

また、シリンダ122が成形室６外においてケーシング
２に対し取付けられており、上下方向に配置されてい
る。124はシリンダ122のピストンロッドに接続され上下
移動せしめられる上軸であり、該上軸は上記下軸102の
上方において該下軸と同軸状に配置されている。上軸12
4の下端面は凸球面形状とされており、126は該凸球面形
状に対応する凹球面形状の上面を有する球面座である。
該球面座126はプレスの際の自動調心の機能を発揮す
る。該球面座126の下側には上型部材128の上端フランジ
部が配置されており、該上端フランジ部が上軸固定の押
えリング130により係止されている。上型部材128は胴型
部材110内に収容されており、該胴型部材に対し上下方
向に摺動可能である。In addition, a cylinder 122 is attached to the casing 2 outside the molding chamber 6, and is disposed vertically. Reference numeral 124 denotes an upper shaft connected to the piston rod of the cylinder 122 and moved up and down. The upper shaft is disposed above the lower shaft 102 and coaxially with the lower shaft. Upper shaft 12
The lower end surface of 4 has a convex spherical shape, and 126 is a spherical seat having a concave spherical upper surface corresponding to the convex spherical shape.
The spherical seat 126 exhibits a function of self-alignment at the time of pressing. An upper end flange portion of an upper mold member 128 is disposed below the spherical seat 126, and the upper end flange portion is locked by a pressing ring 130 fixed to the upper shaft. The upper mold member 128 is accommodated in the body member 110, and is slidable in the vertical direction with respect to the body member.

尚、上記下型部材114の上端面及び上記上型部材128の
下端面は成形すべき光学素子の光学機能面形成のための
転写面であり、所望の表面精度に仕上げられている。The upper end surface of the lower die member 114 and the lower end surface of the upper die member 128 are transfer surfaces for forming an optical function surface of an optical element to be molded, and are finished to a desired surface accuracy.

上記下軸106及び上軸124内にはそれぞれ冷媒流通経路
C1,C2が設けられている。また、上記ヒータプレート10
8、胴型部材110及び上軸124下部にはそれぞれヒータH1,
H2,H3が内蔵されている。Each of the lower shaft 106 and the upper shaft 124 has a refrigerant flow path.
C 1 and C 2 are provided. In addition, the heater plate 10
8, a heater H 1 ,
H 2 and H 3 are built-in.

次に、上記本発明実施例装置の動作について説明す
る。第３図は各部の動作タイミングを示す図である。Next, the operation of the apparatus of the present invention will be described. FIG. 3 is a diagram showing the operation timing of each unit.

不図示の窒素ガス供給系により成形室６内を窒素雰囲
気で満たしておく。当初、ゲートバルブ10,12は閉じて
いる。The molding chamber 6 is filled with a nitrogen atmosphere by a nitrogen gas supply system (not shown). Initially, the gate valves 10, 12 are closed.

先ず、ゲートバルブ12を開き（T0）、第１図に示され
る下方位置にある載置台38上に２つの成形用素材を載置
して、該載置台38をシリンダ32により上昇させ、ゲート
バルブ12を通って置換室８内へと導入する（T1）。該置
換室内において、上記成形用素材は吸着手段50の下面側
吸着部により吸着される。この時の吸着手段50の回動位
置を基準状態とし、これから180゜回動した状態を反転
状態とする。該吸着は不図示のエアー吸引手段によりな
される。First, the gate valve 12 is opened (T 0 ), two molding materials are placed on the mounting table 38 at the lower position shown in FIG. 1, and the mounting table 38 is raised by the cylinder 32, It is introduced into the replacement chamber 8 through the valve 12 (T 1 ). In the replacement chamber, the molding material is adsorbed by the lower adsorbing portion of the adsorbing means 50. The rotation position of the suction means 50 at this time is defined as a reference state, and the state rotated 180 ° from this point is defined as an inverted state. The suction is performed by air suction means (not shown).

次に、載置台38を少し下降させ、回転シリンダ52によ
り搬送軸48を180゜回転させ、置換室８内において吸着
手段50を上下反転させる（T2）。これにより、成形用素
材は吸着手段50の上面側に位置することになる。Next, the mounting table 38 is slightly lowered, the transport shaft 48 is rotated by 180 ° by the rotary cylinder 52, and the suction means 50 is turned upside down in the replacement chamber 8 (T 2 ). Thus, the molding material is located on the upper surface side of the suction means 50.

次いで、上記載置台38を置換室８内の位置から該置換
室外の下方位置まで下降させる（T3）。Next, the mounting table 38 is lowered from a position inside the replacement chamber 8 to a lower position outside the replacement chamber (T 3 ).

次に、ゲートバルブ12を閉じ（T4）、真空ポンプ９に
より置換室８内を減圧し、吸着手段50に内蔵されている
ヒータにより成形用素材を予備加熱する。Next, the gate valve 12 is closed (T 4 ), the inside of the replacement chamber 8 is depressurized by the vacuum pump 9, and the molding material is preheated by the heater built in the suction means 50.

この予備加熱は、真空度をたとえば10Torr以下、好ま
しくは1Torr以下、より好ましくは0.1Torr以下で行う。
更に、該予備加熱は、たとえば100℃以上の温度で行
う。また、該予備加熱は、たとえば10秒間以上、好まし
くは30秒間以上、より好ましくは１分間以上行う。This preheating is performed at a vacuum degree of, for example, 10 Torr or less, preferably 1 Torr or less, more preferably 0.1 Torr or less.
Further, the preheating is performed, for example, at a temperature of 100 ° C. or higher. The preheating is performed, for example, for 10 seconds or more, preferably 30 seconds or more, and more preferably 1 minute or more.

この予備加熱により、成形用素材の表面に吸着されて
いる異物を除去する。This preheating removes foreign matter adsorbed on the surface of the molding material.

次いで、不図示の窒素ガス供給系により窒素ガスを置
換室８内に供給し、該置換室８内を窒素雰囲気で満たし
た後、ゲートバルブ10を開く（T5）。Next, a nitrogen gas is supplied into the replacement chamber 8 by a nitrogen gas supply system (not shown), and after the inside of the replacement chamber 8 is filled with a nitrogen atmosphere, the gate valve 10 is opened (T 5 ).

そして、シリンダ42により搬送軸48を成形室６の方へ
と移動させ、吸着手段50を成形室６内の加熱部24の位置
に導く（T6）。Then, by the cylinder 42 to move the conveying shaft 48 towards the molding chamber 6, leads to a suction means 50 to the position of the heating part 24 of the forming chamber 6 (T 6).

尚、載置台66は、吸着手段50の到来に先立って（例え
ばTaのタイミングで）、シリンダ62により上限位置まで
上昇せしめられ、更に、加熱筒体68内に適宜の時間（Ta
からTbまで）配置されることにより、適宜の温度まで加
熱され、然る後（前述のタイミングT6の前に）、第１図
で示される位置まで下降せしめられる。Incidentally, the mounting table 66, prior to the arrival of the adsorption means 50 (e.g., at timing T a), is raised to the upper limit position by the cylinder 62, further, an appropriate time in the heating cylinder 68 (T a
From By T b until) is disposed, it is heated to an appropriate temperature, thereafter (before the timing T 6 above), is moved down to the position shown in Figure 1.

この状態で、回転シリンダ52の働きにより搬送軸48を
180度回転させることで、既に載置台66の上方に到達し
ている上記吸着手段50を上下反転させる（T7）。そし
て、上記載置台66を少し上昇させて、上記吸着手段50の
下面に近付け、その状態で上記吸着手段50による吸着を
解除し、成形用素材を上記載置台66上に受ける。従っ
て、上記載置台66が予め加熱されていることにより、そ
の上に成形用素材が置かれた時に、該素材が温度ショッ
クで割れるようなことがない。In this state, the transport shaft 48 is moved by the action of the rotary cylinder 52.
By rotating by 180 degrees, the suction means 50 that has already reached above the mounting table 66 is turned upside down (T 7 ). Then, the mounting table 66 is slightly raised to approach the lower surface of the suction means 50, and in this state, the suction by the suction means 50 is released, and the molding material is received on the mounting table 66. Therefore, since the mounting table 66 is pre-heated, when the molding material is placed thereon, the material does not break due to a temperature shock.

次に、上記載置台66を、第１図に示す位置（下限位
置）まで下降させ、その後、上記搬送軸48を水平方向に
移動させ、吸着手段50を置換室８まで後退させる
（T8）。この状態で、ゲートバルブ10を閉じる（T9）。Next, the mounting table 66 is lowered to the position (lower limit position) shown in FIG. 1, and thereafter, the transport shaft 48 is moved in the horizontal direction, and the suction means 50 is retracted to the replacement chamber 8 (T 8 ). . In this state, the gate valve 10 is closed (T 9 ).

尚、成形用素材を載置した載置台66は、上記吸着手段
50が置換室８に後退した後（T8）、上記シリンダ62の働
きで上昇せしめられ、その時から、上記ゲートバルブ10
が閉じられ（T9）、次のタイミングT10（後述）までの
時間帯内で適宜の時間（TcからTdまで）、上記加熱筒体
68内に置かれ、適宜の温度まで加熱される。In addition, the mounting table 66 on which the molding material is mounted is mounted on the suction means.
After the cylinder 50 is retracted into the replacement chamber 8 (T 8 ), it is raised by the action of the cylinder 62, and from that point on, the gate valve 10
Is closed (T 9 ) and an appropriate time (from T c to T d ) within the time period until the next timing T 10 (described later),
68 and heated to the appropriate temperature.

次いで、回動駆動手段92によりアーム88a,88bを回動
させて、先ず吸着手段90aを上記載置台66の上方に位置
させ（T10）、加熱部のシリンダ62により載置台66を少
し上昇させ、該載置台66上の第１の成形用素材を上記吸
着手段90aに吸着させ、再び載置台66を少し下降させ
る。該吸着は不図示のエアー吸引手段によりなされる。Then, the arms 88a, 88b to rotate the by the rotation driving means 92, first to position the suction unit 90a above the mounting table 66 (T 10), slightly increases the mounting table 66 by the cylinder 62 of the heating unit Then, the first molding material on the mounting table 66 is sucked by the suction means 90a, and the mounting table 66 is slightly lowered again. The suction is performed by air suction means (not shown).

次に、回動駆動手段92によりアーム88a,88bを回動さ
せて、吸着手段90aを第１のプレス部P1へと移動させる
（T11）。ここで、吸着手段90aにより吸着されている成
形用素材G1は胴型部材110の側部に設けられた開口111を
通って胴型部材内部へと導入され（第４図（ａ））、こ
こで移送部のシリンダ82により吸着手段90aが少し下降
せしめられ（第４図（ｂ））、下型部材114上に成形用
素材が置かれる（第４図（ｃ））。Then, the arms 88a by the rotation driving means 92, 88b and is rotated to move the suction unit 90a into the first press part P 1 (T 11). Here, the molding material G 1 which is adsorbed by the adsorption means 90a are introduced into the body mold member interior through an opening 111 provided on the side of the body mold member 110 (Fig. 4 (a)), Here, the suction means 90a is slightly lowered by the cylinder 82 of the transfer section (FIG. 4 (b)), and the molding material is placed on the lower mold member 114 (FIG. 4 (c)).

一方、上記T10と同じタイミングで、吸着手段90bは第
２のプレス部P2へと移動せしめられ、同じくT11のタイ
ミングにおいて吸着手段90bは上記載置台66の上方に位
置せしめられる。そして、T11において加熱部のシリン
ダ62により載置台66を少し上昇させ、該載置台66上の第
２の成形用素材を上記吸着手段90bに吸着させ、再び載
置台66を少し下降させる。On the other hand, at the same time as the T 10, the suction means 90b is made to move to the second press section P 2, also suction means 90b at the timing of T 11 is brought positioned above the mounting table 66. Then, a little raises the table 66 by the cylinder 62 of the heating unit in the T 11, the material for the second molding on the mounting table 66 is adsorbed to the adsorbing means 90b, thereby slightly lowering the mounting table 66 again.

続いて、上記アーム88a,88bを回動させて、吸着手段9
0bを第２のプレス部P2へと移動させる（T13）。ここ
で、上記第１のプレス部P1の場合と同様に、吸着手段90
bにより吸着されている成形用素材は胴型部材110の側面
に設けられた開口を通って胴型部材内部へと導入され、
ここでシリンダ82により吸着手段90bが少し下降せしめ
られ、下型部材114上に成形用素材が置かれる。Subsequently, the arms 88a and 88b are rotated to
The 0b is moved to the second to the press section P 2 (T 13). Here, as in the case of the first press part P 1, suction means 90
The molding material adsorbed by b is introduced into the body member through an opening provided on the side surface of the body member 110,
Here, the suction means 90b is slightly lowered by the cylinder 82, and the molding material is placed on the lower mold member 114.

次に、アーム88a,88bを回動させて、吸着手段90bを第
２のプレス部から中間位置に戻す（T14）。尚、上記T13
において吸着手段90aは上記載置台66の上方に位置せし
められ、上記T14において吸着手段90aは中間位置に戻
る。Then, the arms 88a, a 88b is rotated back to the intermediate position the suction means 90b from the second press section (T 14). The above T 13
Adsorption means 90a are being brought positioned above the mounting table 66 in the adsorption means 90a in the T 14 returns to the intermediate position.

かくして第２図に示される状態とする。 Thus, the state shown in FIG. 2 is obtained.

次に、２つのプレス部28（P1,P2）において、プレス
成形が実行される。Then, the two press portions 28 (P 1, P 2) , press molding is performed.

尚、上記胴型部材110内への成形用素材G1の導入時に
は、上軸124はシリンダ122により上方へと引き上げられ
ており、これにより、上記第４図（ａ）〜（ｃ）に示さ
れる様に、上型部材128が胴型部材110内で上方位置へと
移動しており、これにより上記胴型部材側部の開口111
が型部材内のキャビティと連通していて、ここからキャ
ビティ内に成形用素材G1が導入される。Incidentally, at the time of introduction of the molding material G 1 to the body mold member 110, the upper shaft 124 is pulled upward by the cylinder 122, thereby, shown in the FIG. 4 (a) ~ (c) The upper mold member 128 is moved to the upper position in the body member 110 so that the opening 111 on the side of the body member
There in communication with the cavity in the mold member, the molding material G 1 is introduced from here into the cavity.

プレス時には、上記シリンダ122により上軸124が下方
へと移動せしめられ、上型部材128が上記胴型部材110の
開口111をふさぎ、キャビティが閉塞され、更に上型部
材128が下方へと押圧されることによりキャビティ内の
成形用素材がプレス成形され、光学素子G2が形成される
（第４図（ｄ））。尚、上型部材128は押えリング130の
下端が胴型部材110の上端に当接するまで下方に移動す
る。During pressing, the upper shaft 124 is moved downward by the cylinder 122, the upper mold member 128 closes the opening 111 of the body mold member 110, the cavity is closed, and the upper mold member 128 is further pressed downward. material for molding cavity by Rukoto is press-molded, the optical element G 2 is formed (FIG. 4 (d)). The upper mold member 128 moves downward until the lower end of the pressing ring 130 contacts the upper end of the body mold member 110.

該プレス成形は、ヒータH1,H2,H3により成形用素材を
成形可能な粘度となるまで加熱した上で適宜の時間行
い、キャビティ形状に成形した後に、冷媒流通経路C1,C
2に冷媒を通して、成形済光学素子を冷却する。該冷却
過程では、シリンダ104により下型部材114を上方へと適
度の圧力（但し、シリンダ122による上型部材128の下方
への押圧力より小さい圧力）で押圧して、光学素子の収
縮に伴うヒケの発生を防止する。The press molding is performed for an appropriate time after heating the material for molding by the heaters H 1 , H 2 , and H 3 until the material has a viscosity capable of being molded, and after molding into a cavity shape, the refrigerant circulation paths C 1 , C
The molded optical element is cooled by passing a cooling medium through 2 . In the cooling process, the lower mold member 114 is pressed upward by the cylinder 104 with an appropriate pressure (however, a pressure smaller than the downward pressure force of the cylinder 122 on the upper mold member 128), which accompanies contraction of the optical element. Prevent sink marks.

しかる後に、上軸124を上昇させ、胴型部材側部の開
口111を開く。Thereafter, the upper shaft 124 is raised to open the opening 111 on the side of the body-shaped member.

そして、上記プレス部28への成形用素材の導入時とほ
ぼ逆の順序で、移送部26の吸着手段90a,90bを移動さ
せ、第１のプレス部P1及び第２のプレス部P2の成形済光
学素子をそれぞれ吸着して取出し、順次加熱部24の載置
台66上に置き、最後に吸着手段90a,90bを第２図に示さ
れる中間位置に置く（T15〜T19）。Then, in substantially the reverse order and time of introduction of the molding material into the press section 28, the suction means 90a of the transfer unit 26, 90b to move, the first press part P 1 and the second press section P 2 the the molded optical element is taken out by suction, respectively, placed on the mounting table 66 of the sequential heating unit 24, placed end to suction means 90a, a 90b to an intermediate position shown in FIG. 2 (T 15 ~T 19).

尚、プレス成形の過程で、即ち、タイミングT14からT
15までの過程で、載置台66を加熱するために、シリンダ
62の操作で上記載置台66を加熱筒体68内に移動させ
（Te）、適宜の温度に加熱しておき、回動駆動手段92が
中間位置にあるうちに、即ち、タイミングT15の前に、
上記シリンダ62の操作で、上記載置台66を下降させ、成
形済素材を受け取れる状態に保持する。これは、先述の
Ta〜Tbの工程と同じである。In the course of press molding, i.e., the timing T 14 T
In the process up to 15 , the cylinder 66 is heated to heat the mounting table 66.
The mounting table 66 is moved into the heating cylinder 68 by the operation of 62 (T e ), and is heated to an appropriate temperature, while the rotation driving means 92 is at the intermediate position, that is, at the timing T 15 . before,
By the operation of the cylinder 62, the mounting table 66 is lowered to maintain a state in which the formed material can be received. This is
Is the same as the process of T a through T b.

プレス成形終了後の成形済素材の取出し工程は、先述
のプレス成形素材の取込み工程に重ねて実現される。即
ち、上記吸着手段50が置換室８に後退した後、新たな成
形素材の取込みが上記タイミングT0〜T6と同様にして行
われており（T20〜T26）、そのタイミングT26が上記タ
イミングT19の後になるように設定されている。そし
て、上記成形素材の取込み工程において加熱部24に導入
された吸着手段50が反転位置から基準位置に戻る前（T
26〜T27）に、載置台66上の成形済素材を吸着させるの
である。即ち、吸着手段50が載置台66の上方に到達した
段階で上記載置台66を少し上昇させ、該載置台上にある
成形済光学素子を吸着手段50の下側吸着部により吸着
し、上記載置台66を少し下降させた後に、上記吸着手段
50を反転させ（T27）、次いで上記載置台66を少し上昇
させ、新たに下側となった吸着部に吸着されている成形
用素材を載置台66上に置く。The step of taking out the formed material after the press forming is completed is realized by overlapping the step of taking in the press-formed material described above. That is, after the suction unit 50 is retracted to the substitution chamber 8, incorporation of new molding material have been carried out in the same manner as in the timing T 0 ~T 6 (T 20 ~T 26), its timing T 26 It is set to be after the timing T 19. Then, before the suction means 50 introduced into the heating unit 24 in the process of taking in the molding material returns from the reversal position to the reference position (T
To 26 through T 27), it is to adsorb the The molded material on the table 66. That is, when the suction means 50 reaches the position above the mounting table 66, the mounting table 66 is slightly raised, and the molded optical element on the mounting table is suctioned by the lower suction section of the suction means 50. After lowering the mounting table 66 a little,
50 is inverted (T 27 ), and then the mounting table 66 is slightly raised, and the molding material that has been newly adsorbed to the lower suction section is placed on the mounting table 66.

そして、上記T8〜T9と同様にして、吸着手段50を加熱
部24から置換室８内へと移動させ（T28）た後に、ゲー
トバルブ10を閉じる（T29）。Then, in the same manner as in T 8 through T 9, after been moved into the exchange chamber 8 the suction means 50 from the heating unit 24 (T 28), the gate valve 10 is closed (T 29).

尚、先述のTc〜Tdと同様に、成形用素材を載置した載
置台66は、T28の後に上記シリンダ62により加熱筒体68
内に上昇せしめられ（Tg）、適宜の温度まで加熱され、
次に回転駆動手段92の操作で成形用素材がそれぞれ加熱
部24に移動せしめられ、成形用素材を載置台66から吸着
する前までに、同じく上記シリンダ62の操作で下限位置
（第１図参照）まで下降せしめられ、待機する（Th）。As in the foregoing T c through T d, the mounting table 66 mounted with the molding material is heated cylinder by the cylinder 62 after T 28 68
(T g ), heated to the appropriate temperature,
Next, before the molding material is moved to the heating section 24 by the operation of the rotary drive means 92, and before the molding material is adsorbed from the mounting table 66, the lower limit position (see FIG. ) And wait (T h ).

以下、移送部26及びプレス部28において、上記T10〜T
19と同様の工程が実行される。Hereinafter, the transfer unit 26 and the press section 28, the T 10 through T
Steps similar to 19 are performed.

一方、ゲートバルブ12を開き（T30）、更なる新たな
成形用素材を載置した載置台38を上昇させ（T31）、置
換室８内にて吸着手段50の下側吸着部により吸着した後
に、該載置台38を少し下降させ、次に回転シリンダ52に
より搬送軸48を180゜回転させ、吸着手段50を上下反転
させ（T32）、載置台38を少し上昇させ、新たに下側と
なった吸着部に吸着されている成形済光学素子を載置台
38上に置く。次に、該載置台38を置換室８外まで下降さ
せ（T33）、ゲートバルブ12を閉じる（T34）。On the other hand, the gate valve 12 is opened (T 30 ), the mounting table 38 on which a new molding material is mounted is raised (T 31 ), and the lower suction part of the suction means 50 sucks in the replacement chamber 8. after the mounting table 38 is slightly lowered, then rotated 180 ° to the conveying shaft 48 by the rotation cylinder 52, the suction means 50 is turned upside down (T 32), slightly increases the mounting table 38, a new lower The mounting table for the molded optical element adsorbed by the suction part on the side
Put on 38. Next, the mounting table 38 is lowered to the outside of the replacement chamber 8 ( T33 ), and the gate valve 12 is closed ( T34 ).

以上により、載置台38上に置いた成形用素材がプレス
成形されて、該載置台上に回収される。As described above, the molding material placed on the mounting table 38 is press-formed and collected on the mounting table.

以下、同様に繰り返すことにより、連続的にプレス成
形を行うことができる。Hereinafter, by similarly repeating, press molding can be continuously performed.

上記置換室８内での予備加熱処理は、成形用素材の表
面に吸着されている水分、有機物等の異物を揮散させ除
去するために行うのであり、減圧下で加熱するものであ
る。The preheating treatment in the replacement chamber 8 is performed to volatilize and remove foreign substances such as moisture and organic substances adsorbed on the surface of the molding material, and are heated under reduced pressure.

上記置換室８内での予備加熱条件を変化させて直径26
mmのレンズを製造した。By changing the preheating condition in the replacement chamber 8, the diameter 26
mm lenses were manufactured.

ここで用いた成形用素材はSF8であり、また成形用型
部材として超硬合金製母材の表面にスパッタリングで窒
化チタン（TiN）の薄膜（厚さ１μｍ）を付与したもの
を用いた。プレス時の温度は520℃であり、プレス圧力
（全圧）は600Kgとした。The molding material used here was SF8, and a molding die member having a titanium nitride (TiN) thin film (thickness: 1 μm) applied to the surface of a cemented carbide base material by sputtering was used. The pressing temperature was 520 ° C., and the pressing pressure (total pressure) was 600 kg.

上記置換室８内での予備加熱処理を、以下の４条件で
行った（各100個）。The preheating treatment in the replacement chamber 8 was performed under the following four conditions (each 100 pieces).

（１）真空度:10-1Torr 加熱温度:300℃ 加熱時間:3分間 （２）真空度:10-1Torr 加熱温度:400℃ 加熱時間:1分間 （３）真空度:5×10-2Torr 加熱温度:300℃ 加熱時間:3分間 （４）真空度:5×10-2Torr 加熱温度:400℃ 加熱時間:1分間 その結果、いずれの条件を用いた場合も、光学素子の
ヒビ、ワレ等の破損や融着等の発生はなかった。(1) vacuum: 10 -1 Torr heating temperature: 300 ° C. heating time: 3 minutes (2) vacuum: 10 -1 Torr heating temperature: 400 ° C. heating time: 1 minute (3) vacuum: 5 × 10 - 2 Torr Heating temperature: 300 ° C Heating time: 3 minutes (4) Degree of vacuum: 5 × 10 -2 Torr Heating temperature: 400 ° C Heating time: 1 minute As a result, cracking of the optical element occurs regardless of the conditions used. There was no breakage of cracks, cracks or the like.

比較のために、上記置換室８内での予備加熱処理を行
わずにプレス成形したところ、得られた光学素子の58％
にヒビ、ワレが発生した。For comparison, when press molding was performed without performing preheating treatment in the replacement chamber 8, 58% of the obtained optical elements were obtained.
Cracks and cracks occurred.

以上の様な置換室８内での予備加熱処理の効果は、
（１）成形用素材の表面から水分を除去することによ
り、プレス時に該型部材が酸化されるのを防止でき、こ
れにより型部材表面酸化に基づく融着発生を抑制し（融
着発生の一因は型部材表面の酸化のせいである）、更
に、（２）成形用素材の表面から水分を除去することに
より、型部材及び成形済光学素子の強度が向上し、これ
により該素材及び光学素子の破砕を抑制している（成形
用素材の表面には多くのマイクロクラックがあり、該ク
ラック内の水分等の異物の存在が強度低下の一因であ
る）、ことに基づくと考えられる。The effect of the preheating treatment in the replacement chamber 8 as described above is as follows.
(1) By removing water from the surface of the molding material, it is possible to prevent the mold member from being oxidized at the time of pressing, thereby suppressing the occurrence of fusion based on oxidation of the surface of the mold member. This is due to oxidation of the surface of the mold member.) Further, (2) removing moisture from the surface of the molding material improves the strength of the mold member and the molded optical element. It is considered to be based on the fact that crushing of the element is suppressed (there are many microcracks on the surface of the molding material, and the presence of foreign matter such as moisture in the cracks is a cause of the decrease in strength).

尚、上記本発明実施例においては置換室８内での予備
加熱処理を吸着手段50に内蔵されているヒータを用いて
行っているが、置換室８自体にヒータを備えておき、こ
れにより予備加熱処理を行うこともできる。In the embodiment of the present invention, the preliminary heating process in the replacement chamber 8 is performed by using the heater built in the adsorption means 50. However, the replacement chamber 8 itself is provided with a heater, and Heat treatment can also be performed.

［発明の効果］ 以上説明した様に、本発明装置によれば、成形室内の
雰囲気と外気との置換を行う置換室を減圧下での予備加
熱処理室として利用し、該予備加熱処理した後にプレス
成形を行うことにより、装置を大型化することなしに、
成形用素材の表面に吸着している異物を除去しプレス時
の高温下でも該素材及び成形済光学素子と型部材との融
着の発生を抑制し該素材及び成形済光学素子の破砕を防
止することができ、これにより光学素子製造の保留まり
が向上し、型部材の寿命が長くなる。[Effects of the Invention] As described above, according to the apparatus of the present invention, the replacement chamber for replacing the atmosphere in the molding chamber with the outside air is used as a preheating chamber under reduced pressure, and after the preheating processing, By performing press molding, without increasing the size of the equipment,
Foreign matter adsorbed on the surface of the molding material is removed, and the occurrence of fusion between the material and the molded optical element and the mold member is suppressed even at a high temperature during pressing to prevent crushing of the material and the molded optical element. This increases the suspension of optical element manufacturing and extends the life of the mold member.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

第１図は本発明による光学素子製造装置の一実施例の概
略構成を示す縦断面模式図であり、第２図はそのＡ−Ｂ
−Ｃ−Ｄ−Ｅ−Ｆ断面模式図である。 第３図は本発明実施例装置の各部の動作タイミングを示
す図である。 第４図（ａ）〜（ｄ）はいずれも本発明実施例装置のプ
レス部の断面概略図である。 6:成形室、8:置換室、 9:真空ポンプ、 10,12:ゲートバルブ、 20:送入取出し手段、 22:搬送手段、24:加熱部、 26:移送部、28:プレス部、 38:載置台、48:搬送軸、 50:吸着手段、66:載置台、 68:加熱筒体、 90a,90b:吸着手段、 106:下軸、110:胴型部材、 114:下型部材、124:上軸、 128:上型部材、 H1〜H3:ヒータ、 C1,C2:冷媒流通経路、 P1,P2:プレス部。FIG. 1 is a schematic longitudinal sectional view showing a schematic configuration of an embodiment of an optical element manufacturing apparatus according to the present invention, and FIG.
FIG. 4 is a schematic cross-sectional view taken along the line CDEF. FIG. 3 is a diagram showing the operation timing of each part of the device according to the embodiment of the present invention. 4 (a) to 4 (d) are schematic cross-sectional views of the press section of the apparatus according to the embodiment of the present invention. 6: Molding room, 8: Substitution room, 9: Vacuum pump, 10, 12: Gate valve, 20: Inlet / outlet means, 22: Transport means, 24: Heating section, 26: Transfer section, 28: Press section, 38 : Mounting table, 48: transport shaft, 50: suction means, 66: mounting table, 68: heating cylinder, 90a, 90b: suction means, 106: lower shaft, 110: body member, 114: lower member, 124 : upper shaft 128: upper mold, H 1 to H 3: heater, C 1, C 2: refrigerant flow path, P 1, P 2: press section.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 冨田 昌之 東京都大田区下丸子３丁目30番２号 キ ヤノン株式会社内 (72)発明者 吉村 文孝 東京都大田区下丸子３丁目30番２号 キ ヤノン株式会社内 (56)参考文献 特開 昭61−26528（ＪＰ，Ａ) ──────────────────────────────────────────────────続 き Continuing on the front page (72) Inventor Masayuki Tomita 3-30-2 Shimomaruko, Ota-ku, Tokyo Canon Inc. (72) Inventor Fumitaka Yoshimura 3-30-2 Shimomaruko, Ota-ku, Tokyo Canon (56) References JP-A-61-26528 (JP, A)

Claims (3)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項１】成形用型部材を備えたプレス部を含んでな
る成形室と該成形室に第１の密閉可能ゲートを介して連
通可能に接続された置換室とを有し、該置換室には外部
から成形用素材を送入し及び外部へ成形済光学素子を取
出すための第２の密閉可能ゲートが備えられており、上
記置換室から上記成形室へと成形用素材を搬送する手段
及び上記成形室から上記置換室へと成形済光学素子を搬
送する手段を備えており、更に上記置換室内を減圧する
手段と上記置換室内にある成形用素材を加熱する手段と
を有し、上記置換室内にある成形用素材を加熱する手段
は上記置換室から成形室へと成形用素材を搬送する手段
に設けられていることを特徴とする、光学素子製造装
置。1. A molding apparatus comprising a molding chamber including a press portion having a molding die member, and a replacement chamber communicably connected to the molding chamber via a first sealable gate. Is provided with a second sealable gate for feeding a molding material from the outside and removing the molded optical element to the outside, and means for conveying the molding material from the replacement chamber to the molding chamber. And means for transporting the molded optical element from the molding chamber to the replacement chamber, further comprising means for reducing the pressure in the replacement chamber and means for heating the molding material in the replacement chamber, The optical element manufacturing apparatus, wherein the means for heating the molding material in the replacement chamber is provided in means for conveying the molding material from the replacement chamber to the molding chamber. 【請求項２】上記成形室内に非酸化性ガスを導入する手
段を有する、請求項１に記載の光学素子製造装置。2. The optical element manufacturing apparatus according to claim 1, further comprising means for introducing a non-oxidizing gas into said molding chamber. 【請求項３】上記置換室内に非酸化性ガスを導入する手
段を有する、請求項１に記載の光学素子製造装置。3. The optical element manufacturing apparatus according to claim 1, further comprising means for introducing a non-oxidizing gas into said replacement chamber.
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