JP2570697Y2 - 真空電子装置およびその外囲器 - Google Patents
真空電子装置およびその外囲器Info
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- JP2570697Y2 JP2570697Y2 JP1993038567U JP3856793U JP2570697Y2 JP 2570697 Y2 JP2570697 Y2 JP 2570697Y2 JP 1993038567 U JP1993038567 U JP 1993038567U JP 3856793 U JP3856793 U JP 3856793U JP 2570697 Y2 JP2570697 Y2 JP 2570697Y2
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- H01J9/26—Sealing together parts of vessels
- H01J9/261—Sealing together parts of vessels the vessel being for a flat panel display
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- Manufacturing & Machinery (AREA)
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- Vessels, Lead-In Wires, Accessory Apparatuses For Cathode-Ray Tubes (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本考案は、真空電子装置およびそ
の外囲器に係り、特に外囲器内を排気して高真空状態に
保持するための構造に関するものである。本考案の真空
電子装置としては、例えば蛍光表示装置等がある。
の外囲器に係り、特に外囲器内を排気して高真空状態に
保持するための構造に関するものである。本考案の真空
電子装置としては、例えば蛍光表示装置等がある。
【０００２】
【従来の技術】従来の一般的な蛍光表示装置は、高真空
状態とされた外囲器の内部に電子を放出する陰極を有し
ており、さらにこの陰極と対向する外囲器の内面には蛍
光体層と陽極導体を有する表示部を有している。また外
囲器内の前記陰極と表示部の間には、必要に応じて制御
電極が設けられている。そして陰極から放出された電子
を選択的に蛍光体層に射突させて所望の発光表示を行な
っている。前記蛍光表示装置の陰極としては、通電加熱
されて熱電子を放出する線状の陰極のほか、電界放出形
陰極等の冷陰極等が使用されている。また、一般に前記
蛍光表示装置の外囲器は、表示部の形成される基板と、
該基板に対向する対向面板と、外囲器の側面を形成する
側面部から形成されている。そして外囲器を形成する際
には、基板又は対向面板に設けられた排気管又は排気孔
から外囲器の内部を排気し、その後排気管を封止した
り、排気孔を蓋部材等で封止して内部を高真空状態に保
持している。このほか、側面部に排気管を設け、この排
気管を介して内部を排気し封止することもある。
状態とされた外囲器の内部に電子を放出する陰極を有し
ており、さらにこの陰極と対向する外囲器の内面には蛍
光体層と陽極導体を有する表示部を有している。また外
囲器内の前記陰極と表示部の間には、必要に応じて制御
電極が設けられている。そして陰極から放出された電子
を選択的に蛍光体層に射突させて所望の発光表示を行な
っている。前記蛍光表示装置の陰極としては、通電加熱
されて熱電子を放出する線状の陰極のほか、電界放出形
陰極等の冷陰極等が使用されている。また、一般に前記
蛍光表示装置の外囲器は、表示部の形成される基板と、
該基板に対向する対向面板と、外囲器の側面を形成する
側面部から形成されている。そして外囲器を形成する際
には、基板又は対向面板に設けられた排気管又は排気孔
から外囲器の内部を排気し、その後排気管を封止した
り、排気孔を蓋部材等で封止して内部を高真空状態に保
持している。このほか、側面部に排気管を設け、この排
気管を介して内部を排気し封止することもある。
【０００３】
【考案が解決しようとする課題】従来の蛍光表示装置の
外囲器の構造によれば、次に示すような問題点があっ
た。 基板又は対向面板から外囲器内を排気する場合には、
排気管又は蓋部材のいずれを用いて封止する構成であっ
ても、基板又は対向面板に排気孔を形成しなければなら
ない。このように基板に排気孔を形成すると、その加工
の際に生じるゴミ、工程時の汚染、基板等に生じるクラ
ック等が問題となった。特に、電界放出形の陰極を用い
た蛍光表示装置などのように、基板と対向面板の双方に
微細加工が必要な場合には、排気孔を形成した際のゴミ
や汚染が微細加工に悪影響を与えることがあり、また排
気孔そのものが微細加工の露光工程等に悪影響を与える
ため精密に加工できないという問題があった。
外囲器の構造によれば、次に示すような問題点があっ
た。 基板又は対向面板から外囲器内を排気する場合には、
排気管又は蓋部材のいずれを用いて封止する構成であっ
ても、基板又は対向面板に排気孔を形成しなければなら
ない。このように基板に排気孔を形成すると、その加工
の際に生じるゴミ、工程時の汚染、基板等に生じるクラ
ック等が問題となった。特に、電界放出形の陰極を用い
た蛍光表示装置などのように、基板と対向面板の双方に
微細加工が必要な場合には、排気孔を形成した際のゴミ
や汚染が微細加工に悪影響を与えることがあり、また排
気孔そのものが微細加工の露光工程等に悪影響を与える
ため精密に加工できないという問題があった。
【０００４】一つの基板に数カ所の排気孔を設けるこ
とは、該基板等にクラックが生じるため不可能である。
とは、該基板等にクラックが生じるため不可能である。
【０００５】本願考案は、上述した問題に鑑みてなされ
たものであり、基板及び対向面板に排気孔を設けること
なく十分に内部を高真空状態に排気できる構造の蛍光表
示装置を提供することを目的とする。
たものであり、基板及び対向面板に排気孔を設けること
なく十分に内部を高真空状態に排気できる構造の蛍光表
示装置を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】請求項１記載の真空電子
装置の外囲器は、所定間隔をおいて対面する第１の基板
及び第２の基板と前記両基板の外周部の間に設けられた
側面部からなる真空電子装置の外囲器において、前記第
１の基板または前記第２の基板が、比較的大きい板状の
基板と、排気孔を有するとともに前記基板と同一平面内
でその側端面が前記基板の側端面に接着される比較的小
さい板状の排気部とによって構成され、前記排気孔が前
記第１の基板または前記第２の基板の表面の端部に開口
していることを特徴としている。
装置の外囲器は、所定間隔をおいて対面する第１の基板
及び第２の基板と前記両基板の外周部の間に設けられた
側面部からなる真空電子装置の外囲器において、前記第
１の基板または前記第２の基板が、比較的大きい板状の
基板と、排気孔を有するとともに前記基板と同一平面内
でその側端面が前記基板の側端面に接着される比較的小
さい板状の排気部とによって構成され、前記排気孔が前
記第１の基板または前記第２の基板の表面の端部に開口
していることを特徴としている。
【０００７】請求項２記載の真空電子装置は、電子を放
出する陰極を備えた第１の基板と、蛍光体層を有する表
示部を備えた第２の基板と、所定間隔を置いて対面する
前記両基板の外周部の間に設けられた側面部とによって
構成され、その内部を高真空状態に保持された外囲器を
有し、前記陰極から放出された電子を前記表示部に選択
的に射突させて所望の発光表示を行なう真空電子装置に
おいて、前記第１の基板又は前記第２の基板が、前記陰
極又は前記表示部が形成される比較的大きい板状の電極
形成部と、前記外囲器内を排気した後に封止される排気
孔を有するとともに前記電極形成部と同一平面内でその
側端面が前記電極形成部の側端面に接着される比較的小
さい板状の排気部から構成され、前記排気孔が前記第１
の基板または前記第２の基板の表面の端部に開口してい
ることを特徴としている。
出する陰極を備えた第１の基板と、蛍光体層を有する表
示部を備えた第２の基板と、所定間隔を置いて対面する
前記両基板の外周部の間に設けられた側面部とによって
構成され、その内部を高真空状態に保持された外囲器を
有し、前記陰極から放出された電子を前記表示部に選択
的に射突させて所望の発光表示を行なう真空電子装置に
おいて、前記第１の基板又は前記第２の基板が、前記陰
極又は前記表示部が形成される比較的大きい板状の電極
形成部と、前記外囲器内を排気した後に封止される排気
孔を有するとともに前記電極形成部と同一平面内でその
側端面が前記電極形成部の側端面に接着される比較的小
さい板状の排気部から構成され、前記排気孔が前記第１
の基板または前記第２の基板の表面の端部に開口してい
ることを特徴としている。
【０００８】請求項３記載の真空電子装置は、請求項２
の真空電子装置において、前記排気孔が、前記排気部の
側端面に形成された切り欠き部と前記排気部の側端面に
接着される前記電極形成部の側端面との間に形成される
ことを特徴としている。
の真空電子装置において、前記排気孔が、前記排気部の
側端面に形成された切り欠き部と前記排気部の側端面に
接着される前記電極形成部の側端面との間に形成される
ことを特徴としている。
【０００９】請求項４記載の真空電子装置は、請求項２
の真空電子装置において、前記排気孔が、前記排気部に
形成された貫通孔で構成されたことを特徴としている。
の真空電子装置において、前記排気孔が、前記排気部に
形成された貫通孔で構成されたことを特徴としている。
【００１０】
【作用】外囲器の内部は、第１の基板または第２の基板
の一部を構成する排気部の排気孔を介して排気される。
の一部を構成する排気部の排気孔を介して排気される。
【００１１】
【実施例】図１〜図５を参照して第１実施例を説明す
る。真空電子装置の一例である本実施例の蛍光表示装置
１は、内部を高真空状態に保持された外囲器２を有して
いる。この外囲器２は、陰極としての電界放出素子を内
面に備えた第１の基板である陰極基板３と、蛍光体層を
有する表示部を内面に備えた第２の基板である陽極基板
４と、所定間隔を置いて対面する前記両基板３，４の外
周部を封着する側面部としてのシール部材５から構成さ
れている。そして前記陰極から放出された電子が前記表
示部に選択的に射突して所望の発光表示が行なわれるよ
うに構成されている。
る。真空電子装置の一例である本実施例の蛍光表示装置
１は、内部を高真空状態に保持された外囲器２を有して
いる。この外囲器２は、陰極としての電界放出素子を内
面に備えた第１の基板である陰極基板３と、蛍光体層を
有する表示部を内面に備えた第２の基板である陽極基板
４と、所定間隔を置いて対面する前記両基板３，４の外
周部を封着する側面部としてのシール部材５から構成さ
れている。そして前記陰極から放出された電子が前記表
示部に選択的に射突して所望の発光表示が行なわれるよ
うに構成されている。
【００１２】図１は第１の基板である陰極基板３を示
す。陰極基板３は、ガラス板等の絶縁材料からなる板材
を２枚接着して構成されている。即ち、比較的大きな板
材である電極形成部６の側端面６ａに、比較的小さい板
材である排気部７が、低融点ガラスを介して接着されて
いる。図示はしないが、電極形成部６の内面には電界放
出素子が形成されている。排気部７の側端面７ａには略
半円形の切り欠き部８が形成されており、前記電極形成
部６の側端面６ａとの間に排気孔９が形成されている。
す。陰極基板３は、ガラス板等の絶縁材料からなる板材
を２枚接着して構成されている。即ち、比較的大きな板
材である電極形成部６の側端面６ａに、比較的小さい板
材である排気部７が、低融点ガラスを介して接着されて
いる。図示はしないが、電極形成部６の内面には電界放
出素子が形成されている。排気部７の側端面７ａには略
半円形の切り欠き部８が形成されており、前記電極形成
部６の側端面６ａとの間に排気孔９が形成されている。
【００１３】図２は第２の基板である陽極基板４を示
す。陽極基板４は、ガラス板等の絶縁材料からなる一枚
の板材から成り、その外形寸法は前記陰極基板３よりも
やや小さい。前記陰極基板３の内面に所定間隔をおいて
対面する該陽極基板４の内面には、その外周部に、外囲
器２の側面部となるシール部材５が設けられている。図
示のように、シール部材５は、前記陰極基板３の外形に
沿った形状とされ、前記陰極基板３と組み合わせた際に
前記排気孔９がその内側に来るように構成されている。
前記シール部材５は低融点ガラス部材からなり、ペース
ト状の低融点ガラスを印刷した後焼成して得られる。図
示はしないが、前記陽極基板４の内面には、前記シール
部材５の内側に、陽極導体と該陽極導体の上に形成され
た蛍光体層から成る表示部としての陽極が形成されてい
る。
す。陽極基板４は、ガラス板等の絶縁材料からなる一枚
の板材から成り、その外形寸法は前記陰極基板３よりも
やや小さい。前記陰極基板３の内面に所定間隔をおいて
対面する該陽極基板４の内面には、その外周部に、外囲
器２の側面部となるシール部材５が設けられている。図
示のように、シール部材５は、前記陰極基板３の外形に
沿った形状とされ、前記陰極基板３と組み合わせた際に
前記排気孔９がその内側に来るように構成されている。
前記シール部材５は低融点ガラス部材からなり、ペース
ト状の低融点ガラスを印刷した後焼成して得られる。図
示はしないが、前記陽極基板４の内面には、前記シール
部材５の内側に、陽極導体と該陽極導体の上に形成され
た蛍光体層から成る表示部としての陽極が形成されてい
る。
【００１４】図３はゲッター室１０を示す。ゲッター室
１０は、下面が開放され、上面に孔１１が形成された本
体１２と、該本体１２の上面に設けられて前記孔１１に
連通する排気管１３とによって構成されている。ゲッタ
ー室１０の本体１２の下端面には、シール部材１４が形
成されている。
１０は、下面が開放され、上面に孔１１が形成された本
体１２と、該本体１２の上面に設けられて前記孔１１に
連通する排気管１３とによって構成されている。ゲッタ
ー室１０の本体１２の下端面には、シール部材１４が形
成されている。
【００１５】図４及び図５に示すような本実施例の蛍光
表示装置１を形成するには、前記陰極基板３と前記陽極
基板４をシール部材５を介して組み合わせ、さらに、前
記ゲッター室１０を前記陰極基板３の排気孔９の上にシ
ール部材１４を介して取り付ける。ゲッター室１０の内
部にはゲッター１５を挿入しておく。組み合わせた各部
材はクリップ等で固定しておく。そして、これを真空中
または不活性ガス雰囲気中に収納して昇温し、シール部
材５，１４を溶融させて各部材同士を接着する。その
後、ゲッター室１０に設けた排気管１３から外囲器２内
を排気し、排気後に該排気管１３を封止することによ
り、内部が高真空状態に保持された気密な外囲器２が得
られる。
表示装置１を形成するには、前記陰極基板３と前記陽極
基板４をシール部材５を介して組み合わせ、さらに、前
記ゲッター室１０を前記陰極基板３の排気孔９の上にシ
ール部材１４を介して取り付ける。ゲッター室１０の内
部にはゲッター１５を挿入しておく。組み合わせた各部
材はクリップ等で固定しておく。そして、これを真空中
または不活性ガス雰囲気中に収納して昇温し、シール部
材５，１４を溶融させて各部材同士を接着する。その
後、ゲッター室１０に設けた排気管１３から外囲器２内
を排気し、排気後に該排気管１３を封止することによ
り、内部が高真空状態に保持された気密な外囲器２が得
られる。
【００１６】本実施例の蛍光表示装置１によれば、陰極
基板３の電極形成部６には排気孔を加工する必要がない
ので、陰極基板３には割れや汚染の恐れがない。このた
め、該陰極基板３には電界放出素子を精密に作り込むこ
とができる。また排気孔が排気部に設けられているの
で、その形状・孔の大きさを比較的自由に設定できるか
ら、排気コンダクタンスの大きい形状・大きさに形成す
ることができる。
基板３の電極形成部６には排気孔を加工する必要がない
ので、陰極基板３には割れや汚染の恐れがない。このた
め、該陰極基板３には電界放出素子を精密に作り込むこ
とができる。また排気孔が排気部に設けられているの
で、その形状・孔の大きさを比較的自由に設定できるか
ら、排気コンダクタンスの大きい形状・大きさに形成す
ることができる。
【００１７】また本実施例の蛍光表示装置１によれば、
電界放出形陰極のような平面状陰極を電子源としている
ために、陰極基板３と陽極基板４の間隔を極めて小さく
設定しているが、それでも外囲器２の端部に十分な開口
面積の排気孔９を確保することができ、その封止作業も
前記排気管１３を封止することによって容易に行なえ
る。
電界放出形陰極のような平面状陰極を電子源としている
ために、陰極基板３と陽極基板４の間隔を極めて小さく
設定しているが、それでも外囲器２の端部に十分な開口
面積の排気孔９を確保することができ、その封止作業も
前記排気管１３を封止することによって容易に行なえ
る。
【００１８】図６は第２実施例の蛍光表示装置２１であ
る。本実施例の蛍光表示装置２１の外囲器２２は、前記
第１実施例と同様に陽極基板２４と陰極基板２３をシー
ル部材で封着した構成とされている。
る。本実施例の蛍光表示装置２１の外囲器２２は、前記
第１実施例と同様に陽極基板２４と陰極基板２３をシー
ル部材で封着した構成とされている。
【００１９】但し、本実施例においては、陽極基板２４
が、ガラス板等の絶縁材料からなる板材を２枚接着して
構成されている。即ち、比較的大きな板材である電極形
成部２６の側端面に、比較的小さい板材である排気部２
７が、低融点ガラスを介して接着されている。図示はし
ないが、電極形成部２６の内面には、所定パターンの陽
極導体と蛍光体層から成る表示部が形成されている。排
気部２７の側端面２７ａには略半円形の切り欠き部２８
が形成されており、前記電極形成部２６の側端面２６ａ
との間に排気孔２９が形成されている。
が、ガラス板等の絶縁材料からなる板材を２枚接着して
構成されている。即ち、比較的大きな板材である電極形
成部２６の側端面に、比較的小さい板材である排気部２
７が、低融点ガラスを介して接着されている。図示はし
ないが、電極形成部２６の内面には、所定パターンの陽
極導体と蛍光体層から成る表示部が形成されている。排
気部２７の側端面２７ａには略半円形の切り欠き部２８
が形成されており、前記電極形成部２６の側端面２６ａ
との間に排気孔２９が形成されている。
【００２０】本実施例の陰極基板２３は前記陽極基板２
４の電極形成部２６よりも一回り大きい一枚のガラス板
から成り、その内面には電界放出素子が形成されてい
る。そして前記陽極基板２４と前記陰極基板２３は所定
間隔をおいて対面し、その外周部においてシール部材で
封着されて気密な外囲器２２が構成されている。ゲッタ
ー室・シール部材やその他の構成は、前記第１実施例と
同様である。
４の電極形成部２６よりも一回り大きい一枚のガラス板
から成り、その内面には電界放出素子が形成されてい
る。そして前記陽極基板２４と前記陰極基板２３は所定
間隔をおいて対面し、その外周部においてシール部材で
封着されて気密な外囲器２２が構成されている。ゲッタ
ー室・シール部材やその他の構成は、前記第１実施例と
同様である。
【００２１】本実施例の蛍光表示装置２１によれば、陽
極基板２４の電極形成部２６には排気孔を加工する必要
がないので、陽極基板２４には割れや汚染の虞れがな
い。このため、該陽極基板２４には複雑で微細なパター
ンの表示部を精密に作り込むことができる。その他、第
１実施例と同等の効果を得ることができる。
極基板２４の電極形成部２６には排気孔を加工する必要
がないので、陽極基板２４には割れや汚染の虞れがな
い。このため、該陽極基板２４には複雑で微細なパター
ンの表示部を精密に作り込むことができる。その他、第
１実施例と同等の効果を得ることができる。
【００２２】図７は第３実施例の蛍光表示管３１であ
る。本実施例の蛍光表示管３１の外囲器３２は、前記第
１実施例と同様に陽極基板３４と陰極基板３３をシール
部材で封着した構成とされている。
る。本実施例の蛍光表示管３１の外囲器３２は、前記第
１実施例と同様に陽極基板３４と陰極基板３３をシール
部材で封着した構成とされている。
【００２３】但し、本実施例においては、陰極基板３３
が、ガラス板等の絶縁材料からなる板材を３枚接着して
構成されている。即ち、比較的大きな矩形の板材である
電極形成部３６の隣接する二つの側端面３６ａ，３６ａ
に、比較的小さい矩形の板材である二つの排気部３７，
３７が、それぞれ低融点ガラスを介して接着されてい
る。図示はしないが、電極形成部３６の内面には、電界
放出素子が形成されている。各排気部３７，３７の各側
端面３７ａ，３７ａには略半円形の切り欠き部３８，３
８がそれぞれ形成されており、前記電極形成部３６の各
側端面３６ａ，３６ａとの間にそれぞれ排気孔３９，３
９が形成されている。
が、ガラス板等の絶縁材料からなる板材を３枚接着して
構成されている。即ち、比較的大きな矩形の板材である
電極形成部３６の隣接する二つの側端面３６ａ，３６ａ
に、比較的小さい矩形の板材である二つの排気部３７，
３７が、それぞれ低融点ガラスを介して接着されてい
る。図示はしないが、電極形成部３６の内面には、電界
放出素子が形成されている。各排気部３７，３７の各側
端面３７ａ，３７ａには略半円形の切り欠き部３８，３
８がそれぞれ形成されており、前記電極形成部３６の各
側端面３６ａ，３６ａとの間にそれぞれ排気孔３９，３
９が形成されている。
【００２４】本実施例の陽極基板３４は、前記陰極基板
３３の電極形成部３６と同等の大きさの一枚の矩形のガ
ラス板から成る。その内面には所定パターンの陽極導体
と蛍光体層を有する表示部が形成されている。そして前
記陽極基板３４と前記陰極基板３３は、図示のように矩
形の対角線方向にずれた位置で所定間隔をおいて対面
し、その重なりあう部分の外周部においてシール部材で
封着されており、これによって２個の排気孔３９，３９
を有する気密な外囲器３２が構成されている。図示しな
いゲッター室・シール部材やその他の構成は、前記第１
実施例と同様である。
３３の電極形成部３６と同等の大きさの一枚の矩形のガ
ラス板から成る。その内面には所定パターンの陽極導体
と蛍光体層を有する表示部が形成されている。そして前
記陽極基板３４と前記陰極基板３３は、図示のように矩
形の対角線方向にずれた位置で所定間隔をおいて対面
し、その重なりあう部分の外周部においてシール部材で
封着されており、これによって２個の排気孔３９，３９
を有する気密な外囲器３２が構成されている。図示しな
いゲッター室・シール部材やその他の構成は、前記第１
実施例と同様である。
【００２５】本実施例の蛍光表示装置３１における外囲
器３２の構成によれば、陰極基板３３において二つの排
気部３７，３７が設けられていない部分は外囲器３２の
外方に突出している。この突出部分４０に電界放出素子
の電極を引き出して外部端子とすれば、外囲器３２外に
ある駆動部との接続が容易になる。例えば、前記電界放
出素子において、エミッタが形成された陰極導体とゲー
ト電極とでマトリクスを組み、面状に形成された電界放
出素子の任意の部分を選択して電子を放出させるように
した場合には、前記陰極導体とゲート電極の各端子を前
記突出部分にそれぞれ形成すればよい。
器３２の構成によれば、陰極基板３３において二つの排
気部３７，３７が設けられていない部分は外囲器３２の
外方に突出している。この突出部分４０に電界放出素子
の電極を引き出して外部端子とすれば、外囲器３２外に
ある駆動部との接続が容易になる。例えば、前記電界放
出素子において、エミッタが形成された陰極導体とゲー
ト電極とでマトリクスを組み、面状に形成された電界放
出素子の任意の部分を選択して電子を放出させるように
した場合には、前記陰極導体とゲート電極の各端子を前
記突出部分にそれぞれ形成すればよい。
【００２６】本実施例の蛍光表示装置３１によれば、前
記各実施例と略同様の効果があるほか、排気孔３９が二
つあるのでより大きい排気コンダクタンスが期待でき
る。
記各実施例と略同様の効果があるほか、排気孔３９が二
つあるのでより大きい排気コンダクタンスが期待でき
る。
【００２７】以上説明した各実施例では、外囲器２，２
２，３２に形成された排気孔９，２９，３９の形状は半
円形であったが、他の形状でもよい。例えば、図８に示
すように、電極形成部に接続される排気部４７，５７の
切り欠き部４８，５８の形状は、溝形でもよいし、丸い
貫通孔でもよい。
２，３２に形成された排気孔９，２９，３９の形状は半
円形であったが、他の形状でもよい。例えば、図８に示
すように、電極形成部に接続される排気部４７，５７の
切り欠き部４８，５８の形状は、溝形でもよいし、丸い
貫通孔でもよい。
【００２８】さらに、以上説明した各実施例では、電極
形成部６，２６，３６に接続される排気部７，２７，３
７，４７，５７の側端面７ａ，２７ａ，３７ａ，４７
ａ，５７ａの長さは、これに対応する電極形成部６，２
６，３６の側端面６ａ，２６ａ，３６ａの長さよりも小
さかったが、両者の側端面の長さを一致させてもよい。
このようにすれば、外囲器の形状に凹凸が少なくなる。
形成部６，２６，３６に接続される排気部７，２７，３
７，４７，５７の側端面７ａ，２７ａ，３７ａ，４７
ａ，５７ａの長さは、これに対応する電極形成部６，２
６，３６の側端面６ａ，２６ａ，３６ａの長さよりも小
さかったが、両者の側端面の長さを一致させてもよい。
このようにすれば、外囲器の形状に凹凸が少なくなる。
【００２９】以上説明した各実施例では、陰極としての
電界放出素子は陰極基板３，２３，３３の上に直接作り
込まれていたが、例えばＳｉ基板等の上に電界放出素子
を形成して、これを各陰極基板の上に設けるようにして
もよい。陽極基板４，２４，３４上の表示部についても
同様である。
電界放出素子は陰極基板３，２３，３３の上に直接作り
込まれていたが、例えばＳｉ基板等の上に電界放出素子
を形成して、これを各陰極基板の上に設けるようにして
もよい。陽極基板４，２４，３４上の表示部についても
同様である。
【００３０】また、以上の各実施例では、本考案の真空
電子装置の一例として蛍光表示装置を説明したが、本考
案はこれ以外の真空電子装置にも適用できる。例えば、
内部を高真空状態とした外囲器の内部に電界放出素子を
設け、該電界放出素子が外囲器外の磁界の影響を受ける
現象を利用した磁気検出素子等にも本考案を適用するこ
とができる。
電子装置の一例として蛍光表示装置を説明したが、本考
案はこれ以外の真空電子装置にも適用できる。例えば、
内部を高真空状態とした外囲器の内部に電界放出素子を
設け、該電界放出素子が外囲器外の磁界の影響を受ける
現象を利用した磁気検出素子等にも本考案を適用するこ
とができる。
【００３１】
【考案の効果】本考案の蛍光表示装置は、外囲器の構成
部分である基板が、陰極又は表示部が形成される電極形
成部と、前記外囲器内を排気した後に封止される排気孔
が形成される排気部から構成されているので、電極形成
部自体に排気孔を加工する必要がなく、陰極や表示部等
を形成するため基板に施す微細加工が悪影響を受ける虞
れがなくなる。
部分である基板が、陰極又は表示部が形成される電極形
成部と、前記外囲器内を排気した後に封止される排気孔
が形成される排気部から構成されているので、電極形成
部自体に排気孔を加工する必要がなく、陰極や表示部等
を形成するため基板に施す微細加工が悪影響を受ける虞
れがなくなる。
【００３２】また排気孔が排気部に設けられているの
で、その形状・孔の大きさを比較的自由に設定できるか
ら、排気コンダクタンスの大きい形状・大きさに形成す
ることができる。
で、その形状・孔の大きさを比較的自由に設定できるか
ら、排気コンダクタンスの大きい形状・大きさに形成す
ることができる。
【００３３】また基板の周縁部に複数箇所の排気孔を設
けられるので、排気コンダクタンスを大きくすることが
できる。
けられるので、排気コンダクタンスを大きくすることが
できる。
【図１】第１実施例における陰極基板の平面図である。
【図２】第１実施例における陽極基板の平面図である。
【図３】第１実施例におけるゲッター室の平面図及び断
面図である。
面図である。
【図４】第１実施例の平面図である。
【図５】第１実施例の断面図である。
【図６】第２実施例の平面図である。
【図７】第３実施例の平面図である。
【図８】本考案の各実施例における排気部の他の態様を
示す平面図である。
示す平面図である。
１，２１，３１ 蛍光表示管 ２，２２，３２ 外囲器 ３，２３，３３ 第１の基板としての陰極基板 ４，２４，３４ 第２の基板としての陽極基板 ５ 側面部としてのシール部材 ６，２６，３６ 電極形成部 ６ａ，２６ａ，３６ａ 電極形成部の側端面 ７，２７，３７，４７，５７ 排気部 ７ａ，２７ａ，３７ａ，４７ａ，５７ａ 排気部の側端
面 ８，２８，３８，４８，５８ 切り欠き部 ９，２９，３９ 排気孔
面 ８，２８，３８，４８，５８ 切り欠き部 ９，２９，３９ 排気孔
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)考案者 小暮 雄一 千葉県茂原市大芝629 双葉電子工業株 式会社内 (56)参考文献 特開 平１−243340（ＪＰ，Ａ)
Claims (4)
- 【請求項１】 所定間隔をおいて対面する第１の基板及
び第２の基板と前記両基板の外周部の間に設けられた側
面部からなる真空電子装置の外囲器において、前記第１
の基板または前記第２の基板が、比較的大きい板状の基
板と、排気孔を有するとともに前記基板と同一平面内で
その側端面が前記基板の側端面に接着される比較的小さ
い板状の排気部とによって構成され、前記排気孔が前記
第１の基板または前記第２の基板の前面の側方部に開口
していることを特徴とする真空電子装置の外囲器。 - 【請求項２】 電子を放出する陰極を備えた第１の基板
と、蛍光体層を有する表示部を備えた第２の基板と、所
定間隔を置いて対面する前記両基板の外周部の間に設け
られた側面部とによって構成され、その内部を高真空状
態に保持された外囲器を有し、前記陰極から放出された
電子を前記表示部に選択的に射突させて所望の発光表示
を行なう真空電子装置において、前記第１の基板又は前
記第２の基板が、前記陰極又は前記表示部が形成される
比較的大きい板状の電極形成部と、前記外囲器内を排気
した後に封止される排気孔を有するとともに前記電極形
成部と同一平面内でその側端面が前記電極形成部の側端
面に接着される比較的小さい板状の排気部から構成さ
れ、前記排気孔が前記第１の基板または前記第２の基板
の表面の端部に開口していることを特徴とする真空電子
装置。 - 【請求項３】 前記排気孔が、前記排気部の側端面に形
成された切り欠き部と前記排気部の側端面に接着される
前記電極形成部の側端面との間に形成されることを特徴
とする請求項２記載の真空電子装置。 - 【請求項４】 前記排気孔が、前記排気部に形成された
貫通孔で構成されたことを特徴とする請求項２記載の真
空電子装置。
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1993038567U JP2570697Y2 (ja) | 1993-07-14 | 1993-07-14 | 真空電子装置およびその外囲器 |
| KR1019940016132A KR0156031B1 (ko) | 1993-07-14 | 1994-07-06 | 진공전자장치 및 그 외위기와 형광표시장치 |
| US08/274,770 US5635795A (en) | 1993-07-14 | 1994-07-14 | Getter chamber for flat panel displays |
| FR9408821A FR2709374B1 (fr) | 1993-07-14 | 1994-07-15 | Dispositif électronique à vide et enveloppe pour un tel dispositif. |
| US08/725,474 US5789858A (en) | 1993-07-14 | 1996-10-04 | Envelope for vacuum electronic device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1993038567U JP2570697Y2 (ja) | 1993-07-14 | 1993-07-14 | 真空電子装置およびその外囲器 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH078944U JPH078944U (ja) | 1995-02-07 |
| JP2570697Y2 true JP2570697Y2 (ja) | 1998-05-06 |
Family
ID=12528884
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1993038567U Expired - Lifetime JP2570697Y2 (ja) | 1993-07-14 | 1993-07-14 | 真空電子装置およびその外囲器 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (2) | US5635795A (ja) |
| JP (1) | JP2570697Y2 (ja) |
| KR (1) | KR0156031B1 (ja) |
| FR (1) | FR2709374B1 (ja) |
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- 1993-07-14 JP JP1993038567U patent/JP2570697Y2/ja not_active Expired - Lifetime
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1994
- 1994-07-06 KR KR1019940016132A patent/KR0156031B1/ko not_active IP Right Cessation
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-
1996
- 1996-10-04 US US08/725,474 patent/US5789858A/en not_active Expired - Fee Related
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