JP2568000B2 - ロッドレスシリンダのピストン位置検出機構 - Google Patents
ロッドレスシリンダのピストン位置検出機構Info
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- JP2568000B2 JP2568000B2 JP3071262A JP7126291A JP2568000B2 JP 2568000 B2 JP2568000 B2 JP 2568000B2 JP 3071262 A JP3071262 A JP 3071262A JP 7126291 A JP7126291 A JP 7126291A JP 2568000 B2 JP2568000 B2 JP 2568000B2
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- magnet
- magnetic flux
- piston
- magnetic
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Description
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はシリンダチューブ内のピ
ストン側の磁石とシリンダチューブ外の追従体側の磁石
との間の磁気吸引力に基づいて追従動作を引き起こすロ
ッドレスシリンダにおけるピストン位置検出機構に関す
るものである。
ストン側の磁石とシリンダチューブ外の追従体側の磁石
との間の磁気吸引力に基づいて追従動作を引き起こすロ
ッドレスシリンダにおけるピストン位置検出機構に関す
るものである。
【０００２】
【従来の技術】この種のロッドレスシリンダとして実公
昭５７−４５４４２号公報に開示されるものがある。こ
の従来装置では非磁性体製のシリンダチューブ外に追従
体をスライド可能に設置しており、追従体側の磁石とシ
リンダチューブ内のピストン側の磁石との間の吸引作用
によって追従体がピストンの移動に追随してスライドさ
れる。
昭５７−４５４４２号公報に開示されるものがある。こ
の従来装置では非磁性体製のシリンダチューブ外に追従
体をスライド可能に設置しており、追従体側の磁石とシ
リンダチューブ内のピストン側の磁石との間の吸引作用
によって追従体がピストンの移動に追随してスライドさ
れる。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】このようなロッドレス
シリンダにおけるピストン位置を検出する場合、追従体
側の磁石をピストン位置検出機構の被検出対象とする方
法が考えられる。しかし、シリンダ内外のいずれの磁石
に関しても強磁力化のために複数枚の磁石をヨークで隔
絶して並設する構成が採用されているため、これら各磁
石がピストン位置検出機構に近接したときにはピストン
位置検出機構が複数回作動してしまう。それゆえ、正確
なピストン位置を把握することができないという問題が
ある。また、追従側の複数枚の磁石のうち両端の磁石を
ピストン位置検出機構の被検出対象としても、検出すべ
きピストン位置としては両端付近のみとなり、ストロー
ク途中のピストン位置検出を行うことができないという
問題がある。
シリンダにおけるピストン位置を検出する場合、追従体
側の磁石をピストン位置検出機構の被検出対象とする方
法が考えられる。しかし、シリンダ内外のいずれの磁石
に関しても強磁力化のために複数枚の磁石をヨークで隔
絶して並設する構成が採用されているため、これら各磁
石がピストン位置検出機構に近接したときにはピストン
位置検出機構が複数回作動してしまう。それゆえ、正確
なピストン位置を把握することができないという問題が
ある。また、追従側の複数枚の磁石のうち両端の磁石を
ピストン位置検出機構の被検出対象としても、検出すべ
きピストン位置としては両端付近のみとなり、ストロー
ク途中のピストン位置検出を行うことができないという
問題がある。
【０００４】また、ストローク途中の位置検出を行うた
めには、追従用磁石以外の新たな磁石を追従体上に設置
する方法が考えられる。しかしながら、追従用磁石の外
側には追従用磁石の磁束の流出防止用として磁性体製の
シールド板が配置されるため、小型の位置検出用磁石で
は磁束がシールド板に吸収されてしまい、充分な検出感
度が得られない。充分な磁力を得るために磁石を大型に
するとロッドレスシリンダ全体の大型化が避けられな
い。
めには、追従用磁石以外の新たな磁石を追従体上に設置
する方法が考えられる。しかしながら、追従用磁石の外
側には追従用磁石の磁束の流出防止用として磁性体製の
シールド板が配置されるため、小型の位置検出用磁石で
は磁束がシールド板に吸収されてしまい、充分な検出感
度が得られない。充分な磁力を得るために磁石を大型に
するとロッドレスシリンダ全体の大型化が避けられな
い。
【０００５】本発明は上記の問題に鑑みてなされたもの
であり、その目的はピストンに大型の位置検出用磁石を
設置することなしに正確な位置検出を行い得るロッドレ
スシリンダのピストン位置検出機構を提供することであ
る。
であり、その目的はピストンに大型の位置検出用磁石を
設置することなしに正確な位置検出を行い得るロッドレ
スシリンダのピストン位置検出機構を提供することであ
る。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記の目的達成のため
に、本発明は非磁性体製のシリンダチューブ内のピスト
ン側の磁石と、シリンダチューブ外の追従体側の磁石と
の間の磁気吸引力に基づく追従動作を引き起こすロッド
レスシリンダにおいて、追従体側の磁石の周囲に追従体
と一体的に移動する磁界遮蔽体を配設し、所定位置のピ
ストン位置検出器の磁気感応領域に対応させるための追
従体側の磁石の磁束漏洩口を磁界遮蔽体によって区画形
成すると共に、磁束漏洩口に磁束密度増大用の補助磁石
を配設した。
に、本発明は非磁性体製のシリンダチューブ内のピスト
ン側の磁石と、シリンダチューブ外の追従体側の磁石と
の間の磁気吸引力に基づく追従動作を引き起こすロッド
レスシリンダにおいて、追従体側の磁石の周囲に追従体
と一体的に移動する磁界遮蔽体を配設し、所定位置のピ
ストン位置検出器の磁気感応領域に対応させるための追
従体側の磁石の磁束漏洩口を磁界遮蔽体によって区画形
成すると共に、磁束漏洩口に磁束密度増大用の補助磁石
を配設した。
【０００７】
【作用】磁界遮蔽体によってピストンストローク方向へ
幅狭な磁束漏洩口を形成することにより追従体側の磁石
の限られた磁束が漏洩し、その磁束ベクトルは磁束密度
増大用の補助磁石の磁束ベクトルと合成されることによ
り増幅された１つの磁束ベクトルとなる。そのため、ピ
ストン位置検出機構が検出する磁束密度の波形は大きな
１ピーク波形となる。従って、ピストン位置検出機構が
複数回作動することはなく、ピストン位置を正確に特定
することができる。
幅狭な磁束漏洩口を形成することにより追従体側の磁石
の限られた磁束が漏洩し、その磁束ベクトルは磁束密度
増大用の補助磁石の磁束ベクトルと合成されることによ
り増幅された１つの磁束ベクトルとなる。そのため、ピ
ストン位置検出機構が検出する磁束密度の波形は大きな
１ピーク波形となる。従って、ピストン位置検出機構が
複数回作動することはなく、ピストン位置を正確に特定
することができる。
【０００８】
【実施例】以下に本発明を具体化した一実施例について
図１〜図４に基づき説明する。１は非磁性体製のシリン
ダチューブであり、その両端にはエンドブロック２，３
が嵌入固定されている。シリンダチューブ１内にはピス
トン４が収容されており、ピストン４によってシリンダ
チューブ１内が室１ａ，１ｂに区画されている。各エン
ドブロック２，３には作動流体供給通路２ａ，３ａが室
１ａ，１ｂに連通するように貫設されている。
図１〜図４に基づき説明する。１は非磁性体製のシリン
ダチューブであり、その両端にはエンドブロック２，３
が嵌入固定されている。シリンダチューブ１内にはピス
トン４が収容されており、ピストン４によってシリンダ
チューブ１内が室１ａ，１ｂに区画されている。各エン
ドブロック２，３には作動流体供給通路２ａ，３ａが室
１ａ，１ｂに連通するように貫設されている。
【０００９】ピストン４は、基軸５と、基軸５に嵌合さ
れた複数の環状の永久磁石６と、各磁石６の両側に並列
支持された複数の環状のヨーク７と、基軸５の両端部に
螺合された締め付け部材８とからなり、両締め付け部材
８の締め付けによって永久磁石６及びヨーク７が基軸５
に締め付け固定されている。両締め付け部材８の外端に
は緩衝リング９が止着されており、周面にはシールリン
グ１０及びピストンリング１１が嵌合されている。
れた複数の環状の永久磁石６と、各磁石６の両側に並列
支持された複数の環状のヨーク７と、基軸５の両端部に
螺合された締め付け部材８とからなり、両締め付け部材
８の締め付けによって永久磁石６及びヨーク７が基軸５
に締め付け固定されている。両締め付け部材８の外端に
は緩衝リング９が止着されており、周面にはシールリン
グ１０及びピストンリング１１が嵌合されている。
【００１０】シリンダチューブ１上には追従テーブル１
２がスライド可能に嵌合支持されている。追従テーブル
１２は、非磁性体製のカバー１３とカバー１３のカバー
１３内に内蔵された一対の軸受１５と、両軸受１５間に
並設された永久磁石１６，１６ａ，１６ｂ及びヨーク１
７とから構成されている。永久磁石１６，１６ａ，１６
ｂはピストン４上の永久磁石６と吸引関係にあり、各永
久磁石１６，１６ａ，１６ｂ，６の厚みは同一、かつヨ
ーク１７，７の厚みも同一である。従って、ピストン４
側の永久磁石６と追従テーブル１２側の永久磁石１６，
１６ａ，１６ｂとは、図１に示すように１対１で重合対
応しており、追従テーブル１２が室１ａ，１ｂにおける
作動流体供給排出によるピストン４の移動に追従する。
２がスライド可能に嵌合支持されている。追従テーブル
１２は、非磁性体製のカバー１３とカバー１３のカバー
１３内に内蔵された一対の軸受１５と、両軸受１５間に
並設された永久磁石１６，１６ａ，１６ｂ及びヨーク１
７とから構成されている。永久磁石１６，１６ａ，１６
ｂはピストン４上の永久磁石６と吸引関係にあり、各永
久磁石１６，１６ａ，１６ｂ，６の厚みは同一、かつヨ
ーク１７，７の厚みも同一である。従って、ピストン４
側の永久磁石６と追従テーブル１２側の永久磁石１６，
１６ａ，１６ｂとは、図１に示すように１対１で重合対
応しており、追従テーブル１２が室１ａ，１ｂにおける
作動流体供給排出によるピストン４の移動に追従する。
【００１１】両エンドブロック２，３間には非磁性体製
の取り付けレール１８が架設支持されており、取り付け
レール１８には磁気感応型のピストン位置検出器１９が
取り付けられている。図１及び図２に示すように、取り
付けレール１８側の追従テーブル１２の側面上には磁性
体製の一対の磁界遮蔽板２０，２１が間隙Ｇをもって止
着されている。磁界遮蔽板２０，２１は磁束を遮断し、
追従テーブル１２側の永久磁石１６から取り付けレール
１８側へ出る磁束が両磁界遮蔽板２０，２１によって部
分的に遮断される。即ち、追従テーブル１２内から取り
付けレール１８側へ出る磁束は間隙Ｇから漏洩する。本
実施例では間隙Ｇ（以下、磁束漏洩口という）の間隔は
一枚の永久磁石１６の厚みＬ1 とヨーク１７の厚みＬ2
の２倍との和（Ｌ1 ＋２Ｌ2 ）より若干大きく設定され
ており、磁束漏洩口Ｇから漏洩する磁束は、磁束漏洩口
Ｇの真下に位置する永久磁石１６ａからの磁束及びそれ
に隣接する永久磁石１６ｂからの磁束の一部になってい
る。
の取り付けレール１８が架設支持されており、取り付け
レール１８には磁気感応型のピストン位置検出器１９が
取り付けられている。図１及び図２に示すように、取り
付けレール１８側の追従テーブル１２の側面上には磁性
体製の一対の磁界遮蔽板２０，２１が間隙Ｇをもって止
着されている。磁界遮蔽板２０，２１は磁束を遮断し、
追従テーブル１２側の永久磁石１６から取り付けレール
１８側へ出る磁束が両磁界遮蔽板２０，２１によって部
分的に遮断される。即ち、追従テーブル１２内から取り
付けレール１８側へ出る磁束は間隙Ｇから漏洩する。本
実施例では間隙Ｇ（以下、磁束漏洩口という）の間隔は
一枚の永久磁石１６の厚みＬ1 とヨーク１７の厚みＬ2
の２倍との和（Ｌ1 ＋２Ｌ2 ）より若干大きく設定され
ており、磁束漏洩口Ｇから漏洩する磁束は、磁束漏洩口
Ｇの真下に位置する永久磁石１６ａからの磁束及びそれ
に隣接する永久磁石１６ｂからの磁束の一部になってい
る。
【００１２】磁束漏洩口Ｇには磁束密度増大用の補助磁
石２２が永久磁石１６ａに対向する位置に設けられてお
り、カバー１３の表面に対して樹脂製接着剤によって熱
接着されている。磁束密度増大用の補助磁石２２は永久
磁石１６ａと同一の厚みを有する。磁束Ｎ，Ｓの向きが
永久磁石１６ａの磁極Ｎ，Ｓの向きと同一になるように
配置されている。図３に示すように、各永久磁石１６，
１６ａ，１６ｂの磁極Ｎ，Ｓは順次逆向き設定されてい
る。矢印Ｖ1 は永久磁石１６，１６ａ，１６ｂの磁束ベ
クトルを表し、矢印Ｖ2 は補助磁石２２の磁束ベクトル
を表す。矢印Ｖ0 は磁束漏洩口Ｇから漏洩する永久磁石
１６ａ，１６ｂの磁束ベクトルＶ1 と補助磁石２２の磁
束ベクトルＶ2 との合成ベクトルを表す。ピストン位置
検出器１９の相対移動経路上の磁束ベクトルＶ0 は、磁
石１６ａ，１６ｂの磁極方向と補助磁石２２の磁極方向
との位置関係によって増幅された磁束ベクトルとなる。
従って、この磁束ベクトルＶ0 はピストン４が移動する
際にピストン位置検出器１９と交差し、ピストン位置検
出器１９がオン作動する。
石２２が永久磁石１６ａに対向する位置に設けられてお
り、カバー１３の表面に対して樹脂製接着剤によって熱
接着されている。磁束密度増大用の補助磁石２２は永久
磁石１６ａと同一の厚みを有する。磁束Ｎ，Ｓの向きが
永久磁石１６ａの磁極Ｎ，Ｓの向きと同一になるように
配置されている。図３に示すように、各永久磁石１６，
１６ａ，１６ｂの磁極Ｎ，Ｓは順次逆向き設定されてい
る。矢印Ｖ1 は永久磁石１６，１６ａ，１６ｂの磁束ベ
クトルを表し、矢印Ｖ2 は補助磁石２２の磁束ベクトル
を表す。矢印Ｖ0 は磁束漏洩口Ｇから漏洩する永久磁石
１６ａ，１６ｂの磁束ベクトルＶ1 と補助磁石２２の磁
束ベクトルＶ2 との合成ベクトルを表す。ピストン位置
検出器１９の相対移動経路上の磁束ベクトルＶ0 は、磁
石１６ａ，１６ｂの磁極方向と補助磁石２２の磁極方向
との位置関係によって増幅された磁束ベクトルとなる。
従って、この磁束ベクトルＶ0 はピストン４が移動する
際にピストン位置検出器１９と交差し、ピストン位置検
出器１９がオン作動する。
【００１３】図４は曲線Ｃ1 ，Ｃ2 ，は取り付けレール
１８側における追従テーブル１２周囲の磁束密度を示
し、破線はピストン位置検出器１９の磁気感応レベルの
しきい値±Ｔを示している。曲線Ｃ1 は磁界遮蔽板２
０，２１が存在すると共に補助磁石２２が配設される本
実施例の場合、曲線Ｃ2は磁界遮蔽板２０，２１及び補
助磁石２２が存在しない従来装置の場合である。
１８側における追従テーブル１２周囲の磁束密度を示
し、破線はピストン位置検出器１９の磁気感応レベルの
しきい値±Ｔを示している。曲線Ｃ1 は磁界遮蔽板２
０，２１が存在すると共に補助磁石２２が配設される本
実施例の場合、曲線Ｃ2は磁界遮蔽板２０，２１及び補
助磁石２２が存在しない従来装置の場合である。
【００１４】曲線Ｃ2 では磁束密度の極大が２箇所、極
小が２箇所生じており、それぞれ磁気感応レベルのしき
い値＋Ｔ以上、若くは−Ｔ以下の値を示している。従っ
て、この４箇所の極部がピストン位置検出器１９に差し
掛かるとピストン位置検出器１９がオン作動する。とこ
ろが、ピストン位置検出器１９がピストン４の片側行程
で４回オン作動してしまうため、ピストン位置検出とし
ての用をなさない。
小が２箇所生じており、それぞれ磁気感応レベルのしき
い値＋Ｔ以上、若くは−Ｔ以下の値を示している。従っ
て、この４箇所の極部がピストン位置検出器１９に差し
掛かるとピストン位置検出器１９がオン作動する。とこ
ろが、ピストン位置検出器１９がピストン４の片側行程
で４回オン作動してしまうため、ピストン位置検出とし
ての用をなさない。
【００１５】これに対して曲線Ｃ1 では極大が１箇所の
みであり、その極大値は永久磁石１６ａ，１６ｂ及び補
助磁石２２の磁束の合成によって磁気感応レベルのしき
い値＋Ｔ以上に設定し得る。即ち、磁束ベクトル合成に
よる磁束密度増大によってしきい値±Ｔの設定が容易と
なり、この極部がピストン位置検出器１９に差し掛かっ
たときのみピストン位置検出器１９がオン作動する。従
って、ピストン位置検出器１９はピストン４の片側行程
中オン作動を１回のみ行う正常な位置検出を行い、ピス
トンストローク範囲内では取り付けレール１８上のピス
トン位置検出器１９の任意位置で正確なピストン位置検
出が行われる。
みであり、その極大値は永久磁石１６ａ，１６ｂ及び補
助磁石２２の磁束の合成によって磁気感応レベルのしき
い値＋Ｔ以上に設定し得る。即ち、磁束ベクトル合成に
よる磁束密度増大によってしきい値±Ｔの設定が容易と
なり、この極部がピストン位置検出器１９に差し掛かっ
たときのみピストン位置検出器１９がオン作動する。従
って、ピストン位置検出器１９はピストン４の片側行程
中オン作動を１回のみ行う正常な位置検出を行い、ピス
トンストローク範囲内では取り付けレール１８上のピス
トン位置検出器１９の任意位置で正確なピストン位置検
出が行われる。
【００１６】磁性体製のシールド上に直に位置検出用の
大きな磁石を設置する方式では、位置検出に有効な磁束
密度領域が磁石から遠くなるため、ピストン位置検出器
１９の相対移動経路がシリンダチューブ１から遠くな
り、ロッドレスシリンダ全体が大型化する。しかしなが
ら、磁束ベクトルの合成による磁束密度増大効果によっ
て位置検出に充分な磁束密度が得られる本実施例では、
補助磁石２２としては小型のものを用いることが可能に
なり、位置検出に有効な磁束密度が補助磁石２２の近く
で得られる。従って、ピストン位置検出器１９の相対移
動経路をシリンダチューブ１の近くに設定することがで
き、装置全体が大型化することなない。また、磁石の大
型化に伴うピストン動作の低速化という問題も生じな
い。
大きな磁石を設置する方式では、位置検出に有効な磁束
密度領域が磁石から遠くなるため、ピストン位置検出器
１９の相対移動経路がシリンダチューブ１から遠くな
り、ロッドレスシリンダ全体が大型化する。しかしなが
ら、磁束ベクトルの合成による磁束密度増大効果によっ
て位置検出に充分な磁束密度が得られる本実施例では、
補助磁石２２としては小型のものを用いることが可能に
なり、位置検出に有効な磁束密度が補助磁石２２の近く
で得られる。従って、ピストン位置検出器１９の相対移
動経路をシリンダチューブ１の近くに設定することがで
き、装置全体が大型化することなない。また、磁石の大
型化に伴うピストン動作の低速化という問題も生じな
い。
【００１７】補助磁石２２の磁極の配置に仕方は必ずし
も前記実施例のように配置する必要はなく、例えば、若
干傾いて配置されていても、合成された磁束ベクトルＶ
0 が増幅される位置関係が磁石１６ａ，１６ｂとの間に
あればよい。本発明は勿論前記実施例のみに限定される
ことなく、例えば、補助磁石２２と磁束遮蔽板２０，２
１とが接触しない範囲で補助磁石２２の厚み、或いは磁
束漏洩口Ｇの幅を適宜変更したり、或いは磁束漏洩口Ｇ
の幅を調節可能な構造に変更すること等が可能である。
も前記実施例のように配置する必要はなく、例えば、若
干傾いて配置されていても、合成された磁束ベクトルＶ
0 が増幅される位置関係が磁石１６ａ，１６ｂとの間に
あればよい。本発明は勿論前記実施例のみに限定される
ことなく、例えば、補助磁石２２と磁束遮蔽板２０，２
１とが接触しない範囲で補助磁石２２の厚み、或いは磁
束漏洩口Ｇの幅を適宜変更したり、或いは磁束漏洩口Ｇ
の幅を調節可能な構造に変更すること等が可能である。
【００１８】
【発明の効果】以上詳述したように、本発明のロッドレ
スシリンダのピストン位置検出機構によると、ピストン
に大型の位置検出用磁石を設置することなしに正確な位
置検出を行い得るという優れた効果を奏する。
スシリンダのピストン位置検出機構によると、ピストン
に大型の位置検出用磁石を設置することなしに正確な位
置検出を行い得るという優れた効果を奏する。
【図１】 本発明を具体化した一実施例を示す側断面図
である。
である。
【図２】 前記実施例における平面図である。
【図３】 前記実施例における磁束ベクトルを示す部分
拡大側断面図である。
拡大側断面図である。
【図４】 前記実施例における磁束密度を示すグラフで
ある。
ある。
１ シリンダチューブ、４ ピストン、６ （ピストン
側の永久）磁石、１２追従体（追従テーブル）、１６
（追従テーブル側の永久）磁石、１９ ピストン位置検
出器、２０，２１ 磁界遮蔽体（磁界遮蔽板）、２２
（磁束密度増大用の）補助磁石、Ｇ 磁束漏洩口または
間隙。
側の永久）磁石、１２追従体（追従テーブル）、１６
（追従テーブル側の永久）磁石、１９ ピストン位置検
出器、２０，２１ 磁界遮蔽体（磁界遮蔽板）、２２
（磁束密度増大用の）補助磁石、Ｇ 磁束漏洩口または
間隙。
Claims (1)
- 【請求項１】 非磁性体製のシリンダチューブ（１）内
のピストン（４）側の磁石（６）と、シリンダチューブ
（１）外の追従体（１２）側の磁石（１６）との間の磁
気吸引力に基づく追従動作を引き起こすロッドレスシリ
ンダにおいて、追従体（１２）側の磁石（１６）の周囲
に追従体（１２）と一体的に移動する磁界遮蔽体（２
０，２１）を配設し、所定位置のピストン位置検出器
（１９）の磁気感応領域に対応させるための追従体（１
２）側の磁石（１６）の磁束漏洩口（Ｇ）を磁界遮蔽体
（２０，２１）によって区画形成すると共に、磁束漏洩
口（Ｇ）に磁束密度増大用の補助磁石（２２）を配設し
たことを特徴とするロッドレスシリンダのピストン位置
検出機構。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3071262A JP2568000B2 (ja) | 1991-04-03 | 1991-04-03 | ロッドレスシリンダのピストン位置検出機構 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3071262A JP2568000B2 (ja) | 1991-04-03 | 1991-04-03 | ロッドレスシリンダのピストン位置検出機構 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04307302A JPH04307302A (ja) | 1992-10-29 |
| JP2568000B2 true JP2568000B2 (ja) | 1996-12-25 |
Family
ID=13455636
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3071262A Expired - Fee Related JP2568000B2 (ja) | 1991-04-03 | 1991-04-03 | ロッドレスシリンダのピストン位置検出機構 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2568000B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN110185673A (zh) * | 2019-05-09 | 2019-08-30 | 无锡能手工控科技有限公司 | 一种可感应位移量的气动直线模组 |
| CN111810469B (zh) * | 2020-06-04 | 2022-04-19 | 南京航空航天大学 | 一种磁致伸缩轴向双柱塞泵驱动的电静液作动器及其工作方法 |
-
1991
- 1991-04-03 JP JP3071262A patent/JP2568000B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH04307302A (ja) | 1992-10-29 |
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