JP2567800B2 - Film forming equipment - Google Patents
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Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は成膜装置、いわゆるキャ
スティングマシーンに関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a film forming apparatus, a so-called casting machine.
【０００２】[0002]
【従来の技術】図６に基づいて、従来の成膜装置(100)
を説明する。図において、符号(102) は、例えば合成樹
脂フィルムあるいは金属薄板よりなる帯状基材である。
この帯状基材(102) は、これと併走するコンベア(104)
により、装置本体(101) の前部における入口(106) から
該装置本体(101) の内部を通って後部における出口(10
8) にまで搬送される。2. Description of the Related Art Based on FIG. 6, a conventional film forming apparatus (100)
Will be explained. In the figure, reference numeral (102) is a strip-shaped substrate made of, for example, a synthetic resin film or a metal thin plate.
This belt-shaped substrate (102) is a conveyor (104) that runs in parallel with it.
Allows the device main body (101) to pass from the inlet (106) at the front part through the inside of the device main body (101) to the outlet (10) at the rear part.
It is transported to 8).
【０００３】前記装置本体(101) より前方に塗工室(11
0) が配されている。塗工室(110) 内の塗工装置(112)
により、溶媒と合成樹脂あるいはセラミックスよりなる
塗液（Ｔ）が、走行する帯状基材(102) の上に均一な厚
みで塗布されていく。In front of the apparatus body (101), a coating room (11
0) is arranged. Coating equipment (112) in coating room (110)
Thus, the coating liquid (T) consisting of the solvent and the synthetic resin or the ceramics is applied to the running belt-shaped substrate (102) with a uniform thickness.
【０００４】したがって、コンベア(104) により、溶媒
を含んだ未乾燥の塗膜（Ｍ）が帯状基材(102) の上に載
った状態で装置本体(101) の内部に運ばれる。Therefore, the undried coating film (M) containing the solvent is carried by the conveyor (104) to the inside of the apparatus main body (101) while being placed on the strip-shaped substrate (102).
【０００５】装置本体(101) の内部における給気用ノズ
ル(115) には、給気ファン（Ｐ１）、加熱手段（Ｎ）及
びフィルター（Ｆ）が備えられている。装置本体(101)
の内部に運ばれた未乾燥の塗膜（Ｍ）における溶媒は、
前記加熱手段（Ｎ）により熱せられるとともに給気用ノ
ズル(115) から供給される熱風により蒸気として塗膜
（Ｍ）より離脱する。これにより、未乾燥の塗膜（Ｍ）
は次第に乾燥して（成膜されて）セラミックスシートあ
るいは合成樹脂フィルムとなり、装置本体(101)から搬
出される。An air supply nozzle (115) inside the apparatus body (101) is provided with an air supply fan (P1), a heating means (N) and a filter (F). Device body (101)
The solvent in the undried coating film (M) carried inside the
It is heated by the heating means (N) and is separated from the coating film (M) as steam by the hot air supplied from the air supply nozzle (115). As a result, the undried coating film (M)
Is gradually dried (formed into a film) to become a ceramic sheet or a synthetic resin film, and is carried out from the apparatus main body (101).
【０００６】未乾燥の塗膜（Ｍ）より放出される溶媒蒸
気を装置本体(101) の外部に排出するために、図に示す
ように、装置本体(101) の天井部(101ａ) に排気用ノズ
ル(116) を設けている。すなわち、排気用ノズル(116)
に吸入ファン（Ｐ２）を併設することにより、装置本体
(101) 内の空気を吸引して外部に排出し、これととも
に、塗膜（Ｍ）より放出された溶媒蒸気をも外部に排出
しようとしている。In order to discharge the solvent vapor emitted from the undried coating film (M) to the outside of the apparatus body (101), as shown in the figure, it is exhausted to the ceiling portion (101a) of the apparatus body (101). A nozzle (116) is provided. That is, the exhaust nozzle (116)
By installing an intake fan (P2) on the
The air in the (101) is sucked and discharged to the outside, and at the same time, the solvent vapor discharged from the coating film (M) is about to be discharged to the outside.
【０００７】[0007]
【発明が解決しようとする課題】上記構造の成膜装置(1
00) には、次の問題があった。上記成膜装置(100) にあ
っては、排気用ノズル(116) から吸い込む量に見合った
量の加熱空気を、給気用ノズル(115) から装置本体の内
部に供給しなければならない。この給排気のバランスが
見合わなければ、帯状基材(102) が出入りする装置本体
(101) の入口(106) 、出口(108) および開閉扉（図示せ
ず）における僅かな隙間などから空気が流入し補充され
るか、あるいは流出する。すなわち、装置稼働に伴い、
塗工室(110) や装置本体(101) の後方に連続する後部乾
燥室(118) などから空気が流入したり、流出したりす
る。[Problems to be Solved by the Invention] A film forming apparatus (1
00) had the following problems. In the film forming apparatus (100), an amount of heated air commensurate with the amount sucked from the exhaust nozzle (116) must be supplied to the inside of the apparatus main body from the air supply nozzle (115). If the balance between supply and exhaust is not appropriate, the device body where the strip-shaped substrate (102) goes in and out
Air flows in and is replenished or flows out through a small gap in the inlet (106) of the (101), the outlet (108) and the opening / closing door (not shown). That is, with the operation of the device,
Air flows in and out from the coating chamber (110) and the rear drying chamber (118) that is continuous to the rear of the apparatus body (101).
【０００８】ところで、未乾燥の塗膜（Ｍ）に空気が直
接当たると、当たった部分の表面にシワや割れが発生し
易くなることがよく知られている。上述したように、入
口(106) より流入する空気は前記塗膜（Ｍ）へ直接当接
し、製品（セラミックスシート）の品質を悪化させる原
因となった。It is well known that when the undried coating film (M) is directly hit with air, wrinkles and cracks are likely to occur on the surface of the hit portion. As described above, the air flowing in through the inlet (106) comes into direct contact with the coating film (M), which causes deterioration of the quality of the product (ceramic sheet).
【０００９】また、空気の制御可能な部分が少ないた
め、装置本体(101) 内部における空気の状態（温度、湿
度、流れの向き等）のコントロールが難しく、また汚染
を防止することもできず、製品の品質の安定性が計れな
かった。Further, since there are few controllable parts of the air, it is difficult to control the state of the air (temperature, humidity, flow direction, etc.) inside the apparatus main body (101), and it is not possible to prevent pollution. The product quality was not stable.
【００１０】[0010]
【課題を解決するための手段】そこで、上記の問題点を
解決するために、次のような手段を講じた。本発明の成
膜装置は、装置本体の前部から後部に向けて走行する帯
状基材上で合成樹脂フィルムまたはセラミックスシート
を成形する装置であって、前記帯状基材の走行路の上方
において、複数のノズル組体が前記帯状基材の長手方向
に列設され、前記ノズル組体は、給気用ノズルとこれに
並設した排気用ノズルとよりなり、前記給気用ノズル
は、下部に吹出多孔板をエア吹出口として備え、前記排
気用ノズルは、下部に吸入多孔板をエア吸入口として備
え、前記両多孔板が、該両多孔板間に空気流空間を存し
た状態で、側面視ハの字状に配されてなるものである。[Means for Solving the Problems] Therefore, the following means were taken in order to solve the above problems. The film forming apparatus of the present invention is an apparatus for molding a synthetic resin film or a ceramic sheet on a belt-shaped base material running from the front part to the rear part of the apparatus main body, above the traveling path of the belt-shaped base material, A plurality of nozzle assemblies are arranged in a row in the longitudinal direction of the strip-shaped substrate, the nozzle assembly includes an air supply nozzle and an exhaust nozzle provided in parallel with the air supply nozzle, and the air supply nozzle is provided at a lower portion. The blowout perforated plate is provided as an air outlet, the exhaust nozzle is provided with an intake perforated plate as an air intake port at a lower portion, and both the perforated plates have an air flow space between the two perforated plates. They are arranged in a V shape.
【００１１】請求項２のように、前記ノズル組体は、該
ノズル組体における排気用ノズルが、給気用ノズルより
も装置本体における前方に配されるように設置されてい
ることが好ましい。According to a second aspect of the present invention, it is preferable that the nozzle assembly is installed so that the exhaust nozzle of the nozzle assembly is disposed in front of the air supply nozzle in the main body of the apparatus.
【００１２】請求項３のように、前記ノズル組体を昇降
可能に設けることが好ましい。It is preferable that the nozzle assembly is provided so as to be able to move up and down.
【００１３】[0013]
【作用】本発明の成膜装置において、排気用ノズルから
吸い込む量に見合った量の空気や加熱された空気などの
媒体を、給気用ノズルから吹出多孔板を介して装置本体
の内部に供給することができる。In the film forming apparatus of the present invention, a medium such as air or heated air corresponding to the amount sucked from the exhaust nozzle is supplied from the air supply nozzle to the inside of the apparatus main body through the blowout perforated plate. can do.
【００１４】乾燥に伴って未乾燥の塗膜より放出される
溶媒蒸気は、給気用ノズルより供給され空気流空間を排
気用ノズルに向けて流れる空気と合流し、一緒に吸入多
孔板を介して排気用ノズルより吸い込まれて外部に排出
される。The solvent vapor released from the undried coating film as it is dried merges with the air supplied from the air supply nozzle and flowing through the air flow space toward the exhaust nozzle, and together with the air, the perforated porous plate is used. Is sucked from the exhaust nozzle and discharged to the outside.
【００１５】上述したように、両ノズルにおける流量を
略同一とすることにより、帯状基材が出入りする装置本
体の入口、出口などから空気が流入するおそれはなくな
る。また、給気用ノズルから装置本体の内部に供給しよ
うとする空気の、例えば温度、湿度等の条件を、予め最
適な状態に設定したうえで、装置本体内部に供給するこ
とが可能となる。これにより、装置本体内部における空
気の状態のコントロールが可能となる。さらに、フィル
ターを通した空気を供給することもでき、装置本体内を
清潔に保つことができる。As described above, by making the flow rates in both nozzles substantially the same, there is no possibility that air will flow in from the inlet, outlet, etc. of the apparatus main body through which the belt-shaped base material enters and leaves. Further, it becomes possible to set the conditions of the air to be supplied from the air supply nozzle into the main body of the apparatus, such as temperature and humidity, to an optimum state in advance and then supply the air into the main body of the apparatus. As a result, it becomes possible to control the state of the air inside the apparatus body. Furthermore, the air that has passed through the filter can be supplied, and the inside of the apparatus main body can be kept clean.
【００１６】前記排気用ノズルと給気用ノズルとよりな
るノズル組体の複数個を列設することにより、１つずつ
のノズル組体について、空気の流量を少なくできる。未
乾燥状態の塗膜に対しては空気を当てないほうがよいた
め、１つずつのノズル組体について空気の流量が少なく
なれば、未乾燥の塗膜に空気が当たる可能性が少なくな
り、製品の品質向上につながる。By arranging a plurality of nozzle assemblies each consisting of the exhaust nozzles and the air supply nozzles, the flow rate of air can be reduced for each nozzle assembly. Since it is better not to apply air to the undried coating film, if the air flow rate is reduced for each nozzle assembly, there is less possibility that the undried coating film will be hit with air. Leads to quality improvement.
【００１７】前記排気用ノズルにおけるエア吸入口と、
前記給気用ノズルにおけるエア吹出口とをそれぞれ多孔
板（吹出多孔板、吸入多孔板）により構成することによ
り、前記排気用ノズルと前記給気用ノズルとによる給気
と排気とが、前記帯状基材における幅方向において均一
となる。An air inlet in the exhaust nozzle,
By forming the air outlet of the air supply nozzle with a perforated plate (blowing perforated plate, suction perforated plate) respectively, the air supply and the air exhaust by the exhaust nozzle and the air supply nozzle are in the form of strips. It becomes uniform in the width direction of the base material.
【００１８】本発明において使用し得る多孔板としては
特に限定はなく、厚み方向に真直ぐ貫通する貫通小孔を
多数有する板、不規則に湾曲・分岐しながら延びる貫通
小孔を多数有する板などが挙げられる。The perforated plate which can be used in the present invention is not particularly limited, and a plate having a large number of through small holes penetrating straight in the thickness direction, a plate having a large number of small penetrating holes extending while curving and branching irregularly, and the like. Can be mentioned.
【００１９】両多孔板を、側面視ハの字状に配すること
により、給気用ノズルより供給した空気を未乾燥の塗膜
に当てることなく、排気用ノズルに吸い込ませることが
できる。前述したように、未乾燥の塗膜に空気を当てれ
ば、当たった表面にシワや割れが発生しやすくなるが、
両多孔板を、側面視ハの字状に配することにより、給気
用ノズルより供給した空気は両多孔板間における空気流
空間を流れ、未乾燥の塗膜に空気が直接当たる可能性が
より一層少なくなり、シワや割れが発生する心配もなく
なる。By arranging the both porous plates in a V-shape when viewed from the side, the air supplied from the air supply nozzle can be sucked into the exhaust nozzle without hitting the undried coating film. As mentioned above, if air is applied to the undried coating film, wrinkles and cracks are likely to occur on the contacted surface,
By arranging both porous plates in a C shape in side view, the air supplied from the air supply nozzle flows in the air flow space between both porous plates, and there is a possibility that the undried coating film may be directly contacted with air. The number is even smaller, and there is no worry of wrinkles or cracks.
【００２０】なお、前記両多孔板がなす角度（内角）と
しては特に限定はないが、８０〜１６０度であること
が、シワや割れの発生を顕著に防ぐことができる、とい
う点で好ましく、１００〜１４０度であることがさらに
好ましい。上記角度が８０度未満の場合は溶媒蒸気の取
込効率が低下し、１６０度を超える場合は、給気用ノズ
ルより供給した空気が未乾燥の塗膜に当たる可能性が大
きくなる。The angle (internal angle) formed by the two perforated plates is not particularly limited, but is preferably 80 to 160 degrees in that wrinkles and cracks can be remarkably prevented. More preferably, it is 100 to 140 degrees. If the angle is less than 80 degrees, the solvent vapor uptake efficiency decreases, and if it exceeds 160 degrees, the air supplied from the air supply nozzle has a high possibility of hitting the undried coating film.
【００２１】請求項２のように、ノズル組体を、前記排
気用ノズルが前記給気用ノズルよりも前方となるように
配することにより、帯状基材の走行方向とは反対の方向
の空気流（カウンターフロー）が、ノズル組体と帯状基
材との間に発生する。これにより、放出された溶媒蒸気
を効率よく排気用ノズルに取り込め、外部に排出でき
る。According to a second aspect of the present invention, the nozzle assembly is arranged such that the exhaust nozzle is located in front of the air supply nozzle, so that air in a direction opposite to the running direction of the strip-shaped substrate is provided. A flow (counterflow) is generated between the nozzle assembly and the strip-shaped substrate. As a result, the released solvent vapor can be efficiently taken into the exhaust nozzle and discharged to the outside.
【００２２】請求項３のように、ノズル組体を昇降可能
に設ければ、溶媒の量に見合った、言い換えれば乾燥の
程度に応じた空気流の調節が独自で可能となる。例え
ば、溶媒の量が多ければノズル組体を上げて未乾燥塗膜
から放し、溶媒の量が少なければノズル組体を下げて前
記塗膜に近付けることが可能となる。If the nozzle assembly is provided so as to be able to move up and down, it is possible to independently adjust the air flow according to the amount of the solvent, in other words, according to the degree of drying. For example, if the amount of solvent is large, it is possible to raise the nozzle assembly and release it from the undried coating film, and if the amount of solvent is small, it is possible to lower the nozzle assembly to bring it closer to the coating film.
【００２３】なお、ノズル組体を昇降可能にする方法と
しては特に限定はなく、ラックとピニオンを利用する方
法、紐あるいは金属線と滑車を利用する方法、油圧シリ
ンダーやエアシリンダー等の伸縮手段を利用する方法な
ど、公知の方法を利用すればよい。There is no particular limitation on the method of raising and lowering the nozzle assembly, and a method of using a rack and a pinion, a method of using a string or a metal wire and a pulley, and an expanding / contracting means such as a hydraulic cylinder or an air cylinder. A known method such as a method of using may be used.
【００２４】[0024]
【実施例】以下、図１〜図５に基づいて本発明の成膜装
置（10）の一実施例を説明する。図において、符号（1
2）は装置本体である。装置本体（12）の前部と後部に
は、後述する帯状基材が出入りする入口（16）と出口
（18）が設けられている。EXAMPLES An example of the film forming apparatus (10) of the present invention will be described below with reference to FIGS. In the figure, the code (1
2) is the device body. An inlet (16) and an outlet (18) through which a belt-shaped base material described later comes in and out are provided at the front and rear of the device body (12).
【００２５】符号（20）は、装置本体（12）の前方に配
された塗工室である。塗工室（20）の内部には塗工装置
（20ａ）が配されている。塗工装置（20ａ）により、溶
媒とセラミックスよりなる塗液（Ｔ）が、帯状基材の上
面に均一な厚みで塗布されていく。Reference numeral (20) is a coating room arranged in front of the apparatus main body (12). A coating device (20a) is arranged inside the coating chamber (20). By the coating device (20a), the coating liquid (T) composed of the solvent and the ceramics is applied to the upper surface of the strip-shaped substrate with a uniform thickness.
【００２６】帯状基材（22）は、これと併走する無端ベ
ルト（24）により走行するものであり、上面に前記塗液
（Ｔ）よりなる未乾燥の塗膜（Ｍ）を載せた状態で装置
本体（12）の入口（16）に向かう。The belt-shaped base material (22) is run by an endless belt (24) which runs in parallel with the belt-shaped base material (22), and a undried coating film (M) of the coating liquid (T) is placed on the upper surface thereof. Head to the entrance (16) of the device body (12).
【００２７】さらなる帯状基材（22）の走行により、該
帯状基材（22）上の塗膜（Ｍ）は装置本体（12）の入口
（16）から装置本体（12）の内部に入り、のち出口（1
8）から出ていく。As the strip-shaped substrate (22) further travels, the coating film (M) on the strip-shaped substrate (22) enters the inside of the device body (12) through the inlet (16) of the device body (12), After exit (1
Go out from 8).
【００２８】加熱された空気（必ずしも加熱されている
とは限らない。通常の空気の場合もある。）を給気用ノ
ズル（48）から送り込み、塗膜（Ｍ）を熱風乾燥する。
これにより、該塗膜（Ｍ）中における溶媒が蒸発し、溶
媒蒸気として放出される。溶媒が蒸発するに伴い、塗膜
（Ｍ）が徐々に乾燥して目的のセラミックスシートとな
っていく。Heated air (which is not always heated and may be normal air) is fed from the air supply nozzle (48) and the coating film (M) is dried with hot air.
As a result, the solvent in the coating film (M) is evaporated and released as a solvent vapor. As the solvent evaporates, the coating film (M) gradually dries and becomes the target ceramic sheet.
【００２９】未乾燥の塗膜（Ｍ）より放出された溶媒蒸
気は、帯状基材（22）の上方に配されたノズル組体（2
6）により吸引されたのち、装置本体（12）の外部へと
排出される。The solvent vapor released from the undried coating film (M) is the nozzle assembly (2) disposed above the strip-shaped substrate (22).
After being sucked by 6), it is discharged to the outside of the device body (12).
【００３０】前記したノズル組体（26）は、図１に示さ
れているように、帯状基材（22）の走行路の上方におい
て、帯状基材（22）の長手方向に複数個が列設されてい
る。前記ノズル組体（26）において、符号（28）は中空
直方体状をなす無底の箱体である。箱体（28）の内部に
は、図２および図４に明瞭に示されているように、前後
方向中央部より下方に向かって隔壁（30）が延びてい
る。この隔壁（30）を境に、後側が給気用ノズル（Ｋ）
となり、前側が排気用ノズル（Ｈ）となる。As shown in FIG. 1, a plurality of nozzle assemblies (26) are arranged in the longitudinal direction of the strip-shaped base material (22) above the running path of the strip-shaped base material (22). It is set up. In the nozzle assembly (26), reference numeral (28) is a hollow rectangular parallelepiped bottomless box. Inside the box (28), as clearly shown in FIGS. 2 and 4, a partition wall (30) extends downward from the central portion in the front-rear direction. With this partition (30) as a boundary, the rear side is an air supply nozzle (K).
And the front side becomes the exhaust nozzle (H).
【００３１】隔壁（30）の下端部より後方および斜め下
方に、給気用ノズル（Ｋ）におけるエア吹出口を構成す
る吹出多孔板（32）が延びており、また隔壁（30）の下
端部より前方および斜め下方に、排気用ノズル（Ｈ）に
おけるエア吸入口を構成する吸入多孔板（34）が延びて
いる。なお、本実施例の場合、両多孔板（32）（34）が
なす角度（内角）は１２０度である。A blow-out perforated plate (32) forming an air outlet in the air supply nozzle (K) extends rearward and obliquely below the lower end of the partition wall (30), and the lower end portion of the partition wall (30). A suction porous plate (34) forming an air suction port in the exhaust nozzle (H) extends further forward and obliquely downward. In the case of this embodiment, the angle (internal angle) formed by both porous plates (32) and (34) is 120 degrees.
【００３２】隔壁（30）の上下方向中央部から前後方向
に、それぞれ多数の貫通穴を有するパンチングプレート
（36）（38）が延びている。Punching plates (36) (38) each having a large number of through holes extend from the vertical center of the partition wall (30) in the front-rear direction.
【００３３】前記した箱体（28）における天板（40）に
は、後部に給気口（42）が、前部に排気口（44）がそれ
ぞれ設けられている。給気口（42）には、蛇腹式の伸縮
自在なジョイント（46）を介して給気管（48）が連結さ
れている。一方、排気口（44）にも、蛇腹式の伸縮自在
なジョイント（47）を介して排気管（50）が連結されて
いる。給気管（48）および排気管（50）は、ともに装置
本体（12）における天井板（12ａ）を厚み方向に貫通す
るものである。The top plate (40) of the box (28) is provided with an air supply port (42) at the rear part and an exhaust port (44) at the front part. An air supply pipe (48) is connected to the air supply port (42) through a bellows type expandable joint (46). On the other hand, the exhaust pipe (50) is also connected to the exhaust port (44) through a bellows type expandable joint (47). Both the air supply pipe (48) and the exhaust pipe (50) penetrate the ceiling plate (12a) of the apparatus body (12) in the thickness direction.
【００３４】各ノズル組体（26）より延びる給気管（4
8）は、空気吸込み側の端部にフィルタ（Ｆ）、加熱装
置（Ｎ）、吸入ファン（Ｐ１）を備えた第１本管（52）
と連通するものである。すなわち、吸入ファン（Ｐ１）
の作動により、外気がフィルタ（Ｆ）を介して第１本管
（52）に取り込まれ、加熱手段（Ｎ）によって加熱（温
度約５０℃、露点温度０〜−１０℃）されたのち、各給
気管（48）に流れ込む。そして、給気口（42）を介して
給気用ノズル（Ｋ）の内部に供給される。An air supply pipe (4) extending from each nozzle assembly (26)
8) is a first main pipe (52) having a filter (F), a heating device (N), and an intake fan (P1) at the end on the air intake side.
It communicates with. That is, the suction fan (P1)
The outside air is taken into the first main pipe (52) through the filter (F) and heated by the heating means (N) (temperature about 50 ° C., dew point temperature 0 to −10 ° C.). It flows into the air supply pipe (48). Then, the gas is supplied into the air supply nozzle (K) through the air supply port (42).
【００３５】また、各ノズル組体（26）より延びる排気
管（50）は、空気吹出し側の端部に排出ファン（Ｐ２）
を備えた第２本管（54）と連通するものである。すなわ
ち、排出ファン（Ｐ２）の作動により、ノズル組体（2
6）における排気用ノズル（Ｈ）の内部の空気が吸引さ
れて排気管（50）の内部を流れ、第２本管（54）内に取
り込まれたのち排出されていく。The exhaust pipe (50) extending from each nozzle assembly (26) has an exhaust fan (P2) at the end on the air blowing side.
It communicates with the second main pipe (54) provided with. That is, the operation of the discharge fan (P2) causes the nozzle assembly (2
The air inside the exhaust nozzle (H) in 6) is sucked, flows inside the exhaust pipe (50), is taken into the second main pipe (54), and is then discharged.
【００３６】給気管（48）を流れてノズル組体（26）に
おける給気ノズル（Ｋ）内に流入した空気は、矢印で示
すように、パンチングプレート（36）および吹出多孔板
（32）を順次通過する。吹出多孔板（32）を通過した空
気は、排気用ノズル（Ｈ）からの吸引を受けることによ
り、吹出多孔板（32）と吸入多孔板（34）との間におけ
る空気流空間（33）を帯状基材（22）の走行方向とは逆
の方向に流れ（この時の空気流の速度は、１ｍ／秒以
下）、のち吸入多孔板（34）とパンチングプレート（3
8）を順次通過して排気用ノズル（Ｈ）内に取り込まれ
る。排気用ノズル（Ｈ）内に取り込まれた空気は、前述
したように、排気管（50）の内部を流れ、第２本管（5
4）内に取り込まれたのち排出される。The air flowing through the air supply pipe (48) and flowing into the air supply nozzle (K) in the nozzle assembly (26) passes through the punching plate (36) and the blowout perforated plate (32) as indicated by the arrow. Pass one by one. The air that has passed through the blow-out perforated plate (32) receives suction from the exhaust nozzle (H), so that the air flows through the air flow space (33) between the blow-out perforated plate (32) and the suction perforated plate (34). The strip-shaped substrate (22) flows in a direction opposite to the running direction (at this time, the velocity of the air flow is 1 m / sec or less), and then the suction porous plate (34) and the punching plate (3
8) is sequentially passed and taken into the exhaust nozzle (H). The air taken into the exhaust nozzle (H) flows inside the exhaust pipe (50) as described above, and then flows into the second main pipe (5).
4) It is taken in and then discharged.
【００３７】未乾燥の塗膜（Ｍ）より放出された溶媒蒸
気は、空気流空間（33）を流れる空気と合流し、一緒に
排気用ノズル（Ｈ）における吸入多孔板（34）から、そ
して装置本体（12）の外部へと排出される。The solvent vapor released from the undried coating film (M) merges with the air flowing in the air flow space (33) and together from the suction porous plate (34) in the exhaust nozzle (H), and It is discharged to the outside of the device body (12).
【００３８】なお、本実施例におけるノズル組体（26）
は、昇降可能に取付けられている。すなわち、帯状基材
（22）と吹出多孔板（32）あるいは吸入多孔板（34）と
の間隔を調節することができる。以下、その点について
説明する。The nozzle assembly (26) in this embodiment
Are mounted so that they can be raised and lowered. That is, the distance between the strip-shaped base material (22) and the blowout porous plate (32) or the suction porous plate (34) can be adjusted. Hereinafter, this point will be described.
【００３９】図３に明瞭に示されているように、ノズル
組体（26）における箱体（28）の左右両側から上方に向
かって昇降棒（56）（56）がそれぞれ延び、装置本体
（12）における天井板（12ａ）を貫通している。昇降棒
（56）は、それぞれ上半分が、後述するピニオンと噛合
するラック（58）となっている（図５参照）。As clearly shown in FIG. 3, the lifting rods (56) and (56) extend upward from the left and right sides of the box body (28) of the nozzle assembly (26), respectively, and the apparatus main body ( It penetrates the ceiling plate (12a) in 12). The upper half of each of the elevating rods (56) is a rack (58) that meshes with a pinion described later (see FIG. 5).
【００４０】符号（60）は、帯状基材（22）の幅方向に
延びる回転軸であり、昇降棒（56）におけるラック（5
8）と噛合するピニオン（62）が軸着されている。ま
た、回転軸（60）の回転を容易にするハンドル（64）が
取付けられている。Reference numeral (60) is a rotary shaft extending in the width direction of the strip-shaped substrate (22), and is used for the rack (5) of the lifting rod (56).
The pinion (62) that meshes with 8) is mounted on the shaft. Further, a handle (64) for facilitating rotation of the rotating shaft (60) is attached.
【００４１】ハンドル（64）を回せば、回転軸（60）が
回転し、これに軸着したピニオン（62）が同時に回る。
ピニオン（62）の回転にともなって、該ピニオン（62）
と噛合する左右一組の昇降棒（56）（56）が上下移動
し、ノズル組体（26）が昇降する。When the handle (64) is turned, the rotary shaft (60) is rotated, and the pinion (62) axially attached to the rotary shaft (60) is simultaneously rotated.
With the rotation of the pinion (62), the pinion (62)
A pair of left and right lifting rods (56, 56) meshing with the upper and lower members move up and down, and the nozzle assembly (26) moves up and down.
【００４２】ノズル組体（26）を昇降可能に設けること
は必ずしも必要ではないが、このようにすることによ
り、含有する溶媒の量に見合った、言い換えれば乾燥の
程度に応じた空気流の調節が独自に可能となるので好適
である。例えば、溶媒の量が多ければノズル組体（26）
を上げて未乾燥塗膜（Ｍ）から放し、溶媒の量が少なけ
ればノズル組体（26）を下げて前記塗膜（Ｍ）に近付け
る。また、装置本体（12）の出口（18）に近付くにつ
れ、含有する溶媒はもはや放出されて少なくなるので、
これに対応するように、出口（18）に近付くにつれて順
にノズル組体（26）が低くなるように調節して配するこ
ともできる。It is not always necessary to provide the nozzle assembly (26) so that it can be moved up and down, but by doing so, the air flow can be adjusted according to the amount of solvent contained, in other words, the degree of drying. Is possible because it can be independently performed. For example, if the amount of solvent is large, the nozzle assembly (26)
Is raised and released from the undried coating film (M), and if the amount of the solvent is small, the nozzle assembly (26) is lowered to bring it closer to the coating film (M). Also, as the solvent approaches the outlet (18) of the device body (12), the amount of solvent contained therein is already released and decreases,
Correspondingly, the nozzle assembly (26) can be adjusted so that the nozzle assembly (26) becomes lower as it gets closer to the outlet (18).
【００４３】また、本実施例では、装置本体（12）の内
部に供給する空気を予め加熱したが、これに限らず、加
熱しないそのままの空気を供給することもできる。さら
に、帯状基材（22）の下方に加熱手段を設けることもで
きる。Further, in the present embodiment, the air supplied to the inside of the apparatus main body (12) is preheated, but the present invention is not limited to this, and the unheated air may be supplied. Further, heating means may be provided below the strip-shaped base material (22).
【００４４】[0044]
【発明の効果】本発明の成膜装置によれば、排気用ノズ
ルと給気用ノズルとにおける流量を略同一とすることに
より、排気用ノズルから吸い込むに量に見合った量の空
気が給気用ノズルから供給されることになるので、帯状
基材が出入りする装置本体の入口、出口などからの空気
の流入及び流出のおそれはなくなる。これにより、未乾
燥の塗膜が悪影響を受ける心配はない。また、装置本体
内部における空気の状態のコントロールが可能となり、
内部の汚染も防ぐことができる。According to the film forming apparatus of the present invention, by making the flow rates of the exhaust nozzle and the air supply nozzle substantially the same, an amount of air corresponding to the amount sucked from the exhaust nozzle is supplied. Since it is supplied from the nozzle for use, there is no possibility of inflow and outflow of air from the inlet, outlet, etc. of the apparatus main body through which the strip-shaped base material enters and leaves. As a result, there is no fear that the undried coating film is adversely affected. In addition, it becomes possible to control the air condition inside the main unit,
It is also possible to prevent internal contamination.
【００４５】前記排気用ノズルと給気用ノズルとよりな
るノズル組体の複数個を列設することにより、１つずつ
のノズル組体について、空気の流量を少なくでき、また
装置本体内部における空気の状態が微調整可能となり、
製品の品質向上につながる。前記排気用ノズルにおける
エア吸入口と、前記給気用ノズルにおけるエア吹出口と
をそれぞれ多孔板により構成することにより、前記排気
用ノズルと前記給気用ノズルとによる給気と排気とが、
前記帯状基材における幅方向において均一となる。ま
た、両多孔板を、側面視ハの字状に配することにより、
空気を未乾燥の塗膜に当てることなく給気用ノズルから
供給できるとともに、排気用ノズルに吸い込ませること
ができる。By arranging a plurality of nozzle assemblies each consisting of the exhaust nozzles and the air supply nozzles, the flow rate of air can be reduced for each nozzle assembly, and the air inside the apparatus main body can be reduced. The state of can be finely adjusted,
It leads to improvement of product quality. By configuring the air intake port of the exhaust nozzle and the air outlet port of the air supply nozzle by a perforated plate, air supply and exhaust by the exhaust nozzle and the air supply nozzle,
It becomes uniform in the width direction of the strip-shaped substrate. Also, by arranging both perforated plates in a C shape in side view,
Air can be supplied from the air supply nozzle without being applied to the undried coating film and can be sucked into the exhaust nozzle.
【００４６】請求項２の成膜装置にあっては、帯状基材
の走行方向とは反対の方向の空気流（カウンターフロ
ー）が、ノズル組体と帯状基材との間に発生するので、
放出された溶媒蒸気を効率よく排気用ノズルに取り込む
ことができる。In the film forming apparatus of the second aspect, since the air flow (counter flow) in the direction opposite to the traveling direction of the strip-shaped substrate is generated between the nozzle assembly and the strip-shaped substrate,
The discharged solvent vapor can be efficiently taken into the exhaust nozzle.
【００４７】請求項３の成膜装置にあっては、ノズル組
体の高さ調節が可能であるので、含有する溶媒の量に応
じた、言い換えれば乾燥の程度に応じた空気流の調節が
可能となる。In the film forming apparatus of claim 3, since the height of the nozzle assembly can be adjusted, the air flow can be adjusted according to the amount of the solvent contained, in other words, the degree of drying. It will be possible.
【図１】本発明の一実施例を示す成膜装置の側面より見
た縦断面図である。FIG. 1 is a vertical cross-sectional view of a film forming apparatus according to an embodiment of the present invention seen from a side surface.
【図２】前図の一部を拡大した図である。FIG. 2 is an enlarged view of a part of the previous figure.
【図３】図１の成膜装置の正面縦断面図である。3 is a front vertical cross-sectional view of the film forming apparatus of FIG.
【図４】ノズル組体の拡大斜視図である。FIG. 4 is an enlarged perspective view of a nozzle assembly.
【図５】ノズル組体の昇降機構の一例を示した部分拡大
図である。FIG. 5 is a partially enlarged view showing an example of a lifting mechanism for a nozzle assembly.
【図６】従来の成膜装置の側面より見た縦断面図であ
る。FIG. 6 is a vertical cross-sectional view of a conventional film forming apparatus viewed from a side surface.
１０……成膜装置 １２……装置本体 ２２……帯状基材 ２６……ノズル組体 ３２……吹出多孔板 ３４……吸入多孔板 Ｈ……排気用ノズル Ｋ……給気用ノズル 10 ... Film forming device 12 ... Device main body 22 ... Strip base material 26 ... Nozzle assembly 32 ... Blow-off perforated plate 34 ... Suction perforated plate H ... Exhaust nozzle K ... Air supply nozzle
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 島田 博 奈良県北葛城郡河合町大字川合101番地 の１ 株式会社ヒラノテクシード内 (72)発明者 田上 文一 神奈川県秦野市堀山下１番地 株式会社 日立製作所 汎用コンピューター事業部 内 (72)発明者 安永 拓見 神奈川県秦野市堀山下１番地 株式会社 日立製作所 汎用コンピューター事業部 内 (72)発明者 佐藤 正昭 神奈川県横浜市戸塚区吉田町292番地 株式会社日立製作所 生産技術研究所内 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (72) Hiroshi Shimada, 1 Kawara-machi, Kita Katsuragi-gun, Nara Prefecture, No. 101, Kawai, Hirano Tecseed Co., Ltd. (72) Fumikazu Tagami, Hinoyamashita, Hadano, Kanagawa Prefecture Hitachi, Ltd. General-purpose computer division (72) Inventor Takumi Yasunaga No. 1 Horiyamashita, Hadano-shi, Kanagawa Hitachi, Ltd. General-purpose computer division (72) Inventor Masaaki Sato 292 Yoshida-cho, Totsuka-ku, Yokohama, Kanagawa Hitachi, Ltd. Manufacturing Research Center
Claims (3)
帯状基材上で合成樹脂フィルムまたはセラミックスシー
トを成形する装置であって、 前記帯状基材の走行路の上方において、複数のノズル組
体が前記帯状基材の長手方向に列設され、 前記ノズル組体は、給気用ノズルとこれに並設した排気
用ノズルとよりなり、 前記給気用ノズルは、下部に吹出多孔板をエア吹出口と
して備え、 前記排気用ノズルは、下部に吸入多孔板をエア吸入口と
して備え、 前記両多孔板が、該両多孔板間に空気流空間を存した状
態で、側面視ハの字状に配されてなることを特徴とする
成膜装置。1. An apparatus for molding a synthetic resin film or a ceramic sheet on a belt-shaped base material that runs from a front part to a rear part of an apparatus main body, wherein a plurality of nozzles are provided above a traveling path of the belt-shaped base material. An assembly is arranged in a row in the longitudinal direction of the strip-shaped substrate, the nozzle assembly is composed of an air supply nozzle and an exhaust nozzle arranged in parallel with the air supply nozzle, and the air supply nozzle is a blown perforated plate at a lower portion. Is provided as an air outlet, the exhaust nozzle is provided with a suction perforated plate at the lower portion as an air intake, and both the perforated plates have an airflow space between the both perforated plates, and are A film forming apparatus, which is arranged in a letter shape.
排気用ノズルが、給気用ノズルよりも装置本体における
前方に配されるように設置されていることを特徴とする
請求項１に記載の成膜装置。2. The nozzle assembly is installed so that an exhaust nozzle in the nozzle assembly is arranged in front of an air supply nozzle in an apparatus main body. The film forming apparatus described.
特徴とする請求項１または２に記載の成膜装置。3. The film forming apparatus according to claim 1, wherein the nozzle assembly is provided so as to be movable up and down.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5185894A JP2567800B2 (en) | 1993-07-28 | 1993-07-28 | Film forming equipment |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5185894A JP2567800B2 (en) | 1993-07-28 | 1993-07-28 | Film forming equipment |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0740454A JPH0740454A (en) | 1995-02-10 |
| JP2567800B2 true JP2567800B2 (en) | 1996-12-25 |
Family
ID=16178743
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5185894A Expired - Lifetime JP2567800B2 (en) | 1993-07-28 | 1993-07-28 | Film forming equipment |
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| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2567800B2 (en) |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH10235280A (en) * | 1997-02-27 | 1998-09-08 | Nichiha Corp | Coating method for building board |
| JP2010064022A (en) * | 2008-09-11 | 2010-03-25 | Nissan Motor Co Ltd | Solvent recovery system and solvent recovery method |
| US20120006256A1 (en) * | 2010-07-08 | 2012-01-12 | Samsung Electro-Mechanics Co., Ltd. | Apparatus for manufacturing ceramic green sheet |
| DE102013223150A1 (en) * | 2013-11-13 | 2015-05-28 | Sandvik Materials Technology Deutschland Gmbh | Dryers and methods for drying sheetlike materials |
-
1993
- 1993-07-28 JP JP5185894A patent/JP2567800B2/en not_active Expired - Lifetime
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|---|---|
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