JP2550167B2 - サーボモータ制御装置 - Google Patents
サーボモータ制御装置Info
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- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02P—CONTROL OR REGULATION OF ELECTRIC MOTORS, ELECTRIC GENERATORS OR DYNAMO-ELECTRIC CONVERTERS; CONTROLLING TRANSFORMERS, REACTORS OR CHOKE COILS
- H02P23/00—Arrangements or methods for the control of AC motors characterised by a control method other than vector control
- H02P23/16—Controlling the angular speed of one shaft
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Control Of Electric Motors In General (AREA)
- Control Of Position Or Direction (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明はサーボモータ制御装置に関する。
第３図は従来のサーボモータ制御装置の一例を示す。
この例においてはモータ１を回転数ω［rad/sec］で
回転させるためにその回転数ωの目標値ω＊を設定して
この目標値ω＊に応じた速度指令信号Ｖ1［Ｖ］を入力
している。速度指令信号Ｖ1とモータ１の回転数ωとは
相関関係を有することになり、速度指令信号Ｖ1は例え
ば第４図に示すような台形波的に与えられる。モータ１
をロボットのアームの駆動に用いた場合にはロボットの
アームに反復運動をさせるためには上記台形波的な速度
指令信号Ｖ1を繰り返して入力する。モータ１が回転を
始めると、その回転数ω［rad/sec］は速度検出器２に
より検出されてＦ−Ｖ変換されることによりωＫTGとな
り、減算器３へフィードバックされて上記速度指令信号
Ｖ1から減算される。ここに、ＫTGは［V/rad/sec］のデ
メンジョンであり、ωＫTGは［Ｖ］のデメンジョンとな
る。
回転させるためにその回転数ωの目標値ω＊を設定して
この目標値ω＊に応じた速度指令信号Ｖ1［Ｖ］を入力
している。速度指令信号Ｖ1とモータ１の回転数ωとは
相関関係を有することになり、速度指令信号Ｖ1は例え
ば第４図に示すような台形波的に与えられる。モータ１
をロボットのアームの駆動に用いた場合にはロボットの
アームに反復運動をさせるためには上記台形波的な速度
指令信号Ｖ1を繰り返して入力する。モータ１が回転を
始めると、その回転数ω［rad/sec］は速度検出器２に
より検出されてＦ−Ｖ変換されることによりωＫTGとな
り、減算器３へフィードバックされて上記速度指令信号
Ｖ1から減算される。ここに、ＫTGは［V/rad/sec］のデ
メンジョンであり、ωＫTGは［Ｖ］のデメンジョンとな
る。
減算器３からの偏差（Ｖ1−ωＫTG）は なる伝達特性を持つPI（Propotional Integral）補償器
４に入力される。PI補償器４の伝達関数Ｇ（ｓ）は となる。Ｓ＝ｊωであるから、 であり、ゲイン特性ｇは となる。この（１）式の関数は第５図で表わされる。つ
まり、このPI補償器４は減算器３からの偏差の低周波成
分に対してゲインが大きく、減算器３からの偏差のＴV
以上の高周波成分に対してゲインが一定の値となってい
る。
４に入力される。PI補償器４の伝達関数Ｇ（ｓ）は となる。Ｓ＝ｊωであるから、 であり、ゲイン特性ｇは となる。この（１）式の関数は第５図で表わされる。つ
まり、このPI補償器４は減算器３からの偏差の低周波成
分に対してゲインが大きく、減算器３からの偏差のＴV
以上の高周波成分に対してゲインが一定の値となってい
る。
PI補償器４の出力は電流指令信号［Ｖのデメンジョ
ン］となり、Ａ点のプラス入力となる。またPI補償器４
の出力はトルク表示電圧として出力される。モータ１の
コイルに流れる電流Ｉ［Ａ］は電流検出器５により検出
されて電圧に変換され、Ａ点のIKIfなるマイナス入力と
なる。ここに、ＫIfのデメンジョンは［V/A］であり、I
KIfは［Ｖ］のデメンジョンとなる。Ａ点ではPI補償器
４の出力から電流検出器５の出力が減算され、その偏差
が電流増幅器６によりＫI倍される。このＫIはデメンジ
ョンがない。電流増幅器６は実際にモータ１を駆動する
駆動電圧（駆動トランジスタ出力）をモータ１へ出力す
る。電流増幅器６の出力をモータ１に印加すると、モー
タ１の抵抗Ｒに電流が流れる。また、モータ１のインダ
クタンスＬによるｊωＬ×Ｉなる電圧はＢ点のマイナス
入力となり、電流増幅器６の出力より減算される。モー
タ１の電圧降下ＶはＶ＝RI＋SLIであり、RI＝Ｖ−SLIと
なる。この電圧Ｖの高周波成分は大部分がインダクタン
スＬに吸収され、RIには第６図に示すように高周波成分
があまり含まれない。SLI＝ｊωLIであるから、ωの周
波数が低い時にはｊωLIは小さくなり、ωの周波数ｆが
高くなるほどｊωLIが大きくなってRIが小さくなる。
ン］となり、Ａ点のプラス入力となる。またPI補償器４
の出力はトルク表示電圧として出力される。モータ１の
コイルに流れる電流Ｉ［Ａ］は電流検出器５により検出
されて電圧に変換され、Ａ点のIKIfなるマイナス入力と
なる。ここに、ＫIfのデメンジョンは［V/A］であり、I
KIfは［Ｖ］のデメンジョンとなる。Ａ点ではPI補償器
４の出力から電流検出器５の出力が減算され、その偏差
が電流増幅器６によりＫI倍される。このＫIはデメンジ
ョンがない。電流増幅器６は実際にモータ１を駆動する
駆動電圧（駆動トランジスタ出力）をモータ１へ出力す
る。電流増幅器６の出力をモータ１に印加すると、モー
タ１の抵抗Ｒに電流が流れる。また、モータ１のインダ
クタンスＬによるｊωＬ×Ｉなる電圧はＢ点のマイナス
入力となり、電流増幅器６の出力より減算される。モー
タ１の電圧降下ＶはＶ＝RI＋SLIであり、RI＝Ｖ−SLIと
なる。この電圧Ｖの高周波成分は大部分がインダクタン
スＬに吸収され、RIには第６図に示すように高周波成分
があまり含まれない。SLI＝ｊωLIであるから、ωの周
波数が低い時にはｊωLIは小さくなり、ωの周波数ｆが
高くなるほどｊωLIが大きくなってRIが小さくなる。
モータ１のトルク定数ＫTのデメンションは［Kg・ｍ2
・sec-2/A］であり、IKTは［Kg・ｍ2・sec-2］のデメン
ジョンとなり、トルクＴは［Kg・ｍ2・sec-2］のデメン
ジョンとなる。モータ１のイナーシャＪによる伝達関数
は1/SJであり、Ｔ×（1/SJ）＝ω［rad/sec］がモータ
１の回転速度ωとなる。Ｓはd/dtを表わして［sec-1］
のデメンジョンを持ち、イナーシャＪは［Kg・ｍ2］の
デメンジョンで表わされる。よって、 が成立ち、つまり、 が成り立つ。［rad］はデメンジョンがないから、Ｔ・
（1/SJ）は［rad/sec］としてもよい。
・sec-2/A］であり、IKTは［Kg・ｍ2・sec-2］のデメン
ジョンとなり、トルクＴは［Kg・ｍ2・sec-2］のデメン
ジョンとなる。モータ１のイナーシャＪによる伝達関数
は1/SJであり、Ｔ×（1/SJ）＝ω［rad/sec］がモータ
１の回転速度ωとなる。Ｓはd/dtを表わして［sec-1］
のデメンジョンを持ち、イナーシャＪは［Kg・ｍ2］の
デメンジョンで表わされる。よって、 が成立ち、つまり、 が成り立つ。［rad］はデメンジョンがないから、Ｔ・
（1/SJ）は［rad/sec］としてもよい。
モータ１が回転数ωで回転すると、モータ１には逆起
電力が発生するため、逆起電力定数ＫE［V/rad/sec］に
ωを掛けたωＫE［Ｖ］なる逆起電圧がＢ点のマイナス
入力となって電流増幅器６の出力から減算される。した
がって、モータ１の回転速度ωが速いほど逆起電力が大
きくなり、逆起電力が大きいほどモータ１に流れる電流
は少なくてよいことになる。
電力が発生するため、逆起電力定数ＫE［V/rad/sec］に
ωを掛けたωＫE［Ｖ］なる逆起電圧がＢ点のマイナス
入力となって電流増幅器６の出力から減算される。した
がって、モータ１の回転速度ωが速いほど逆起電力が大
きくなり、逆起電力が大きいほどモータ１に流れる電流
は少なくてよいことになる。
PI補償器４の出力は出力端子（トルク表示端子）より
トルク表示信号として出力され、このトルク表示信号は
オシロスコープ等で観測することができる。トルク表示
信号を観測すると、モータ１のトルク値がわかるため、
モータ１によって駆動される装置（ロボットのアーム
等）が異常な動きをした場合、モータ１から本来必要な
トルクが出力されているか否かを直接に見ることがで
き、モータ１の異常や装置の異常を発見できる。しか
も、実際に動作中のモータ１のトルクを観測できるの
で、モータ１の動特性を知ることができる。また、上記
トルク表示信号を例えばロボットコントローラに入力し
てこのロボットコントローラにより、モータ１のトルク
値が異常値（設定値以上又は以下）になればモータ停止
信号を出す等の制御を行うことができる。
トルク表示信号として出力され、このトルク表示信号は
オシロスコープ等で観測することができる。トルク表示
信号を観測すると、モータ１のトルク値がわかるため、
モータ１によって駆動される装置（ロボットのアーム
等）が異常な動きをした場合、モータ１から本来必要な
トルクが出力されているか否かを直接に見ることがで
き、モータ１の異常や装置の異常を発見できる。しか
も、実際に動作中のモータ１のトルクを観測できるの
で、モータ１の動特性を知ることができる。また、上記
トルク表示信号を例えばロボットコントローラに入力し
てこのロボットコントローラにより、モータ１のトルク
値が異常値（設定値以上又は以下）になればモータ停止
信号を出す等の制御を行うことができる。
上述のサーボモータ制御装置では逆起電力ωＫEはＢ
点に入力されているが、これは1/KIを掛けて1/KI・ωＫ
EとしてＡ点のマイナス入力とすることと同じである。
つまり、第３図は第７図のように書き直すことができ
る。実際にモータ１に加わっているトルクは第８図に示
すようにPI補償器４の出力Ｉ′から逆起電力に比例した
値Ｉe′を減算した真の指令値Ｉ″に比例するものであ
るのに、トルク表示端子のトルク表示電圧Ｉ′はＩ″に
1/KI・ωＫEが加わった値となってしまう。1/KI・ωＫE
が加わった値となってしまう。1/KI・ωＫEは回転速度
ωに応じて増加するので、回転速度ωが速いほどトルク
表示電圧Ｉ′が大きくなり、この様子を第９図に示す。
このように、トルク表示電圧Ｉ′とモータ１のトルクは
１対１に対応しているはずであるが、トルク表示電圧
Ｉ′が回転速度ωによって変化すると、第９図に示すよ
うにトルク表示電圧Ｉ′がずれてしまう。
点に入力されているが、これは1/KIを掛けて1/KI・ωＫ
EとしてＡ点のマイナス入力とすることと同じである。
つまり、第３図は第７図のように書き直すことができ
る。実際にモータ１に加わっているトルクは第８図に示
すようにPI補償器４の出力Ｉ′から逆起電力に比例した
値Ｉe′を減算した真の指令値Ｉ″に比例するものであ
るのに、トルク表示端子のトルク表示電圧Ｉ′はＩ″に
1/KI・ωＫEが加わった値となってしまう。1/KI・ωＫE
が加わった値となってしまう。1/KI・ωＫEは回転速度
ωに応じて増加するので、回転速度ωが速いほどトルク
表示電圧Ｉ′が大きくなり、この様子を第９図に示す。
このように、トルク表示電圧Ｉ′とモータ１のトルクは
１対１に対応しているはずであるが、トルク表示電圧
Ｉ′が回転速度ωによって変化すると、第９図に示すよ
うにトルク表示電圧Ｉ′がずれてしまう。
本発明は上記欠点を改善し、トルク表示信号のモータ
回転速度による影響が無いサーボモータ制御装置を提供
することを目的とする。
回転速度による影響が無いサーボモータ制御装置を提供
することを目的とする。
上記目的を達成するため、本発明はモータの回転速度
を検出する速度検出器と、速度指令信号と速度検出器の
出力との差を入力して電流指令信号を出力するPI補償器
と、モータのコイルに流れる電流を検出する電流検出器
と、上記電流指令信号と電流検出器の出力及び逆起電圧
との差を入力して増幅しモータのコイルに通電する電流
増幅器とを具備するサーボモータ制御装置において、上
記速度検出器の出力を入力して上記逆起電圧に比例する
トルク補正信号に変換して出力するトルク補正器と、上
記電流指令信号とトルク補正信号とを入力して両信号の
差を出力する減算器とを設け、該減算器の出力をトルク
表示信号としたものである。
を検出する速度検出器と、速度指令信号と速度検出器の
出力との差を入力して電流指令信号を出力するPI補償器
と、モータのコイルに流れる電流を検出する電流検出器
と、上記電流指令信号と電流検出器の出力及び逆起電圧
との差を入力して増幅しモータのコイルに通電する電流
増幅器とを具備するサーボモータ制御装置において、上
記速度検出器の出力を入力して上記逆起電圧に比例する
トルク補正信号に変換して出力するトルク補正器と、上
記電流指令信号とトルク補正信号とを入力して両信号の
差を出力する減算器とを設け、該減算器の出力をトルク
表示信号としたものである。
モータの回転速度が速度検出器により検出され、速度
指令信号と速度検出器の出力との差がPI補償器に入力さ
れて電流指令がPI補償器より出力される。モータのコイ
ルに流れる電流が電流検出器により検出され、電流増幅
器が上記電流指令信号と電流検出器の出力及び逆起電圧
との差を入力して増幅しモータのコイルに通電する。ト
ルク補正器が上記速度検出器の出力を入力して上記逆起
電圧に比例するトルク補正信号に変換して出力し、減算
器が上記電流指令信号とトルク補正信号とを入力して両
信号の差をトルク表示信号として出力する。
指令信号と速度検出器の出力との差がPI補償器に入力さ
れて電流指令がPI補償器より出力される。モータのコイ
ルに流れる電流が電流検出器により検出され、電流増幅
器が上記電流指令信号と電流検出器の出力及び逆起電圧
との差を入力して増幅しモータのコイルに通電する。ト
ルク補正器が上記速度検出器の出力を入力して上記逆起
電圧に比例するトルク補正信号に変換して出力し、減算
器が上記電流指令信号とトルク補正信号とを入力して両
信号の差をトルク表示信号として出力する。
第１図は本発明の一実施例を示す。
この実施例は前述のサーボモータ制御装置において、
速度検出器２の出力信号ωＫTGにトルク補正器７で補正
係数ＫIMを掛けて逆起電圧に比例したトルク補正信号を
得、このトルク補正信号を減算器８によりPI補償器４の
出力（Ｉ′）から減算してその減算結果をトルク表示電
圧としてトルク表示端子に出力するようにしたものであ
り、第３図と同一部分には同一符号が付してある。
速度検出器２の出力信号ωＫTGにトルク補正器７で補正
係数ＫIMを掛けて逆起電圧に比例したトルク補正信号を
得、このトルク補正信号を減算器８によりPI補償器４の
出力（Ｉ′）から減算してその減算結果をトルク表示電
圧としてトルク表示端子に出力するようにしたものであ
り、第３図と同一部分には同一符号が付してある。
電流指令値Ｉ′は前述のように誤差Ｉe′が含まれて
おり、真の指令値Ｉ″とは異なる。
おり、真の指令値Ｉ″とは異なる。
Ｉ′＝Ｉ″＋Ｉe′ Ｉe′＝1/KI・ＫE・ω そこで、この実施例ではＩ′に補正を加えて真のトル
ク表示電圧を得ようとするものであり、その補正量はＩ
e′と等しくなる。つまり、前記誤差Ｉe′の分だけ補正
すればよいことになる。本実施例のトルク表示電圧は
Ｉ′からＫIM・ＫTG・ωなる補正量を減算して得ている
ので、補正量Ｉe′は Ｉe′＝ＫIM・ＫTG・ω＝1/KI・ＫE・ω となり、 となる。よって、補正量Ｉe′は補正係数ＫIMを（２）
式を満足するように設定すればトルク表示電圧の誤差Ｉ
e′を補正でき、トルク表示電圧とモータ１のトルクと
の関係が第２図に示すように１対１に対応してモータ１
のトルクを正確に示すトルク表示電圧が得られる。
ク表示電圧を得ようとするものであり、その補正量はＩ
e′と等しくなる。つまり、前記誤差Ｉe′の分だけ補正
すればよいことになる。本実施例のトルク表示電圧は
Ｉ′からＫIM・ＫTG・ωなる補正量を減算して得ている
ので、補正量Ｉe′は Ｉe′＝ＫIM・ＫTG・ω＝1/KI・ＫE・ω となり、 となる。よって、補正量Ｉe′は補正係数ＫIMを（２）
式を満足するように設定すればトルク表示電圧の誤差Ｉ
e′を補正でき、トルク表示電圧とモータ１のトルクと
の関係が第２図に示すように１対１に対応してモータ１
のトルクを正確に示すトルク表示電圧が得られる。
なお、上記実施例において、補正量Ｉe′は を満足するように設定してもほぼ正確なトルク表示電圧
が得られる。また、上記実施例は直流サーボモータを用
いた例であるが、本発明は交流サーボモータを用いても
同様に実施することができる。
が得られる。また、上記実施例は直流サーボモータを用
いた例であるが、本発明は交流サーボモータを用いても
同様に実施することができる。
以上のように本発明によればモータの回転速度を検出
する速度検出器と、速度指令信号と速度検出器の出力と
の差を入力して電流指令信号を出力するPI補償器と、モ
ータのコイルに流れる電流を検出する電流検出器と、上
記電流指令信号と電流検出器の出力及び逆起電圧との差
を入力して増幅しモータのコイルに通電する電流増幅器
とを具備するサーボモータ制御装置において、上記速度
検出器の出力を入力して上記逆起電圧に比例するトルク
補正信号に変換して出力するトルク補正器と、上記電流
指令信号とトルク補正信号とを入力して両信号の差を出
力する減算器とを設け、該減算器の出力をトルク表示信
号としたので、モータ回転速度による影響を受けない正
確なトルク表示信号が得られる。特に、モータ電流値の
実測が困難なACモータでも、モータ電流値を実測するこ
となく、装置内部の電流指令信号を用いることにより、
モータ回転速度による影響を受けない正確なトルク表示
信号を得ることができる。このため、モータにより駆動
されるロボット等の動作時の必要なトルクを正確に知る
ことができ、ロボット等の動特性改善を計ることや、ロ
ボット等の動作状況を知って新しい制御への検出器とし
て使用することができる。
する速度検出器と、速度指令信号と速度検出器の出力と
の差を入力して電流指令信号を出力するPI補償器と、モ
ータのコイルに流れる電流を検出する電流検出器と、上
記電流指令信号と電流検出器の出力及び逆起電圧との差
を入力して増幅しモータのコイルに通電する電流増幅器
とを具備するサーボモータ制御装置において、上記速度
検出器の出力を入力して上記逆起電圧に比例するトルク
補正信号に変換して出力するトルク補正器と、上記電流
指令信号とトルク補正信号とを入力して両信号の差を出
力する減算器とを設け、該減算器の出力をトルク表示信
号としたので、モータ回転速度による影響を受けない正
確なトルク表示信号が得られる。特に、モータ電流値の
実測が困難なACモータでも、モータ電流値を実測するこ
となく、装置内部の電流指令信号を用いることにより、
モータ回転速度による影響を受けない正確なトルク表示
信号を得ることができる。このため、モータにより駆動
されるロボット等の動作時の必要なトルクを正確に知る
ことができ、ロボット等の動特性改善を計ることや、ロ
ボット等の動作状況を知って新しい制御への検出器とし
て使用することができる。
第１図は本発明の一実施例を示すブロック図、第２図は
同実施例のモータトルク対トルク表示電圧特性を示す特
性図、第３図は従来のサーボモータ制御装置の一例を示
すブロック図、第４図は同サーボモータ制御装置に与え
られる速度指令信号の一例を示す波形図、第５図は同サ
ーボモータ制御装置におけるPI補償器の伝達関数を示す
特性図、第６図は同サーボモータ制御装置におけるモー
タの抵抗による電圧の周波数特性を示す特性図、第７図
は同サーボモータ制御装置の等価回路を示すブロック
図、第８図は同等価回路の一部を示すブロック図、第９
図は上記サーボモータ制御装置のモータトルク，モータ
速度とトルク表示電圧との関係を示す特性図である。 １……モータ、２……速度検出器、４……PI補償器、５
……電流検出器、６……電流増幅器、７……トルク補正
器、８……減算器。
同実施例のモータトルク対トルク表示電圧特性を示す特
性図、第３図は従来のサーボモータ制御装置の一例を示
すブロック図、第４図は同サーボモータ制御装置に与え
られる速度指令信号の一例を示す波形図、第５図は同サ
ーボモータ制御装置におけるPI補償器の伝達関数を示す
特性図、第６図は同サーボモータ制御装置におけるモー
タの抵抗による電圧の周波数特性を示す特性図、第７図
は同サーボモータ制御装置の等価回路を示すブロック
図、第８図は同等価回路の一部を示すブロック図、第９
図は上記サーボモータ制御装置のモータトルク，モータ
速度とトルク表示電圧との関係を示す特性図である。 １……モータ、２……速度検出器、４……PI補償器、５
……電流検出器、６……電流増幅器、７……トルク補正
器、８……減算器。
Claims (1)
- 【請求項１】モータの回転速度を検出する速度検出器
と、速度指令信号と速度検出器の出力との差を入力して
電流指令信号を出力するPI補償器と、モータのコイルに
流れる電流を検出する電流検出器と、上記電流指令信号
と電流検出器の出力及び逆起電圧との差を入力して増幅
しモータのコイルに通電する電流増幅器とを具備するサ
ーボモータ制御装置において、上記速度検出器の出力を
入力して上記逆起電圧に比例するトルク補正信号に変換
して出力するトルク補正器と、上記電流指令信号とトル
ク補正信号とを入力して両信号の差を出力する減算器と
を設け、該減算器の出力をトルク表示信号としたことを
特徴とするサーボモータ制御装置。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63279099A JP2550167B2 (ja) | 1988-11-04 | 1988-11-04 | サーボモータ制御装置 |
| US07/430,031 US4967128A (en) | 1988-11-04 | 1989-11-01 | Servo motor control device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63279099A JP2550167B2 (ja) | 1988-11-04 | 1988-11-04 | サーボモータ制御装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02131382A JPH02131382A (ja) | 1990-05-21 |
| JP2550167B2 true JP2550167B2 (ja) | 1996-11-06 |
Family
ID=17606402
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63279099A Expired - Fee Related JP2550167B2 (ja) | 1988-11-04 | 1988-11-04 | サーボモータ制御装置 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4967128A (ja) |
| JP (1) | JP2550167B2 (ja) |
Families Citing this family (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5304906A (en) * | 1989-12-26 | 1994-04-19 | Fanuc Ltd. | Collision detecting method using an observer |
| US5119005A (en) * | 1990-08-28 | 1992-06-02 | Sundstrand Corporation | Controller for non-linear position servo |
| US5063335A (en) * | 1990-09-11 | 1991-11-05 | Allen-Bradley Company, Inc. | Two-input control with independent proportional and integral gains for velocity error and velocity feedforward including velocity command limiting |
| JP2533683B2 (ja) * | 1990-10-16 | 1996-09-11 | 三菱電機株式会社 | 油圧エレベ―タの制御装置 |
| JPH05134758A (ja) * | 1991-05-17 | 1993-06-01 | Fanuc Ltd | サーボモータの制御方式 |
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