JP2547590Y2 - ダイヤフラム弁 - Google Patents
ダイヤフラム弁Info
- Publication number
- JP2547590Y2 JP2547590Y2 JP1993065241U JP6524193U JP2547590Y2 JP 2547590 Y2 JP2547590 Y2 JP 2547590Y2 JP 1993065241 U JP1993065241 U JP 1993065241U JP 6524193 U JP6524193 U JP 6524193U JP 2547590 Y2 JP2547590 Y2 JP 2547590Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- diaphragm
- valve
- load means
- pressing
- receiving
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Landscapes
- Diaphragms And Bellows (AREA)
- Details Of Valves (AREA)
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本考案は、流体の劣化および漏れ
を嫌う真空工業、ガス工業、原子力工業、電子工業、医
療、分析などの各分野で用い、特に、小口径に適するダ
イヤフラム弁、更に詳しくはダイヤフラムの挟持構造に
関する。
を嫌う真空工業、ガス工業、原子力工業、電子工業、医
療、分析などの各分野で用い、特に、小口径に適するダ
イヤフラム弁、更に詳しくはダイヤフラムの挟持構造に
関する。
【0002】
【従来の技術】従来、この種のダイヤフラム弁として
は、ダイヤフラムの周縁部を本体とダイヤフラム押さえ
とで挟持してダイヤフラムを弁座に対向させ、負荷手段
により負荷を加えることにより、ダイヤフラムを弾性変
形させて弁座に当接させ、負荷手段の負荷を解除するこ
とにより、ダイヤフラムを自身の反撥力により復元させ
て弁座を開放するようにした構成が知られている。
は、ダイヤフラムの周縁部を本体とダイヤフラム押さえ
とで挟持してダイヤフラムを弁座に対向させ、負荷手段
により負荷を加えることにより、ダイヤフラムを弾性変
形させて弁座に当接させ、負荷手段の負荷を解除するこ
とにより、ダイヤフラムを自身の反撥力により復元させ
て弁座を開放するようにした構成が知られている。
【0003】そして、図5に示すように膨出部9bの外
周に扁平な周縁部9aを有するダイヤフラム9の場合に
おいても、または図6に示すように全体を膨出形状に形
成したダイヤフラム9の場合においても、ダイヤフラム
9の外周部が、本体1の環状のリブ52と、ダイヤフラ
ム押さえ53の外周部にダイヤフラム9の外周部に適合
する形状に形成された押さえ面54とで挟持されてい
る。
周に扁平な周縁部9aを有するダイヤフラム9の場合に
おいても、または図6に示すように全体を膨出形状に形
成したダイヤフラム9の場合においても、ダイヤフラム
9の外周部が、本体1の環状のリブ52と、ダイヤフラ
ム押さえ53の外周部にダイヤフラム9の外周部に適合
する形状に形成された押さえ面54とで挟持されてい
る。
【0004】
【考案が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来例のようにダイヤフラム押さえの押さえ面54をダイ
ヤフラム9の外周部の形状に適合させると、その荷重
(kgf)一変位特性(δmm)は図4のBで示すよう
になり、特に、弁内が高真空、または負荷手段側から圧
力が少々加わる場合には、極小値の所で使用した場合、
リフトの確保が困難となり、弁として機能を果たすこと
ができなくなる恐れがあった。その一因としてダイヤフ
ラム9の成形時の形状のばらつきを挙げることができ
る。
来例のようにダイヤフラム押さえの押さえ面54をダイ
ヤフラム9の外周部の形状に適合させると、その荷重
(kgf)一変位特性(δmm)は図4のBで示すよう
になり、特に、弁内が高真空、または負荷手段側から圧
力が少々加わる場合には、極小値の所で使用した場合、
リフトの確保が困難となり、弁として機能を果たすこと
ができなくなる恐れがあった。その一因としてダイヤフ
ラム9の成形時の形状のばらつきを挙げることができ
る。
【0005】例えば、膨出部9bの外周に扁平な周縁部
9aを有するダイヤフラム9の場合、成形に際し、図3
(a)に示すように、周縁部9aの水平面に対する傾斜
角θ0 が0であり、高さがh0 である正常な形状のダイ
ヤフラム9に対し、図3(b),(c)に示すように、
周縁部9aが水平面に対してθ1,またはθ2 の角度で水
平面に対していずれかの方向に傾斜し、更には高さh
1 ,h2 においても異なり、形状等にばらつきを生じる
場合がある。このようにばらつきのあるダイヤフラム9
を上記のようにリブ52と正常な形状に適合する押さえ
面54とで挟持すると、膨出量にばらつきを生じ、予定
のリフトを確保することができないばかりでなく、弁の
流過抵抗のばらつきとして表われ、品質の安定さを欠く
ことになる。
9aを有するダイヤフラム9の場合、成形に際し、図3
(a)に示すように、周縁部9aの水平面に対する傾斜
角θ0 が0であり、高さがh0 である正常な形状のダイ
ヤフラム9に対し、図3(b),(c)に示すように、
周縁部9aが水平面に対してθ1,またはθ2 の角度で水
平面に対していずれかの方向に傾斜し、更には高さh
1 ,h2 においても異なり、形状等にばらつきを生じる
場合がある。このようにばらつきのあるダイヤフラム9
を上記のようにリブ52と正常な形状に適合する押さえ
面54とで挟持すると、膨出量にばらつきを生じ、予定
のリフトを確保することができないばかりでなく、弁の
流過抵抗のばらつきとして表われ、品質の安定さを欠く
ことになる。
【0006】本考案は、上記のような従来の問題を解決
するものであり、ダイヤフラムの復元力を大きくしてリ
フトを大きく取ることができ、しかも、弁内が高真空、
または負荷手段側から圧力が少々加わる場合でも、ダイ
ヤフラムの変形を抑えることができ、したがって、流過
抵抗を小さくすることができ、また、ダイヤフラムに形
状等のばらつきがある場合でも、均一に復元力を大きく
してリフトを大きく取ることができ、したがって、流過
抵抗のばらつきを抑え、品質を安定させることができる
ようにしたダイヤフラム弁を提供することを目的とする
ものである。
するものであり、ダイヤフラムの復元力を大きくしてリ
フトを大きく取ることができ、しかも、弁内が高真空、
または負荷手段側から圧力が少々加わる場合でも、ダイ
ヤフラムの変形を抑えることができ、したがって、流過
抵抗を小さくすることができ、また、ダイヤフラムに形
状等のばらつきがある場合でも、均一に復元力を大きく
してリフトを大きく取ることができ、したがって、流過
抵抗のばらつきを抑え、品質を安定させることができる
ようにしたダイヤフラム弁を提供することを目的とする
ものである。
【0007】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
の本考案の技術的手段は、負荷手段により負荷を加える
ことにより、ダイヤフラムを弾性変形させて弁座に当接
させ、上記負荷手段の負荷を解除することにより、ダイ
ヤフラムを自身の反撥力により復元させて弁座を開放す
るようにしたダイヤフラム弁において、上記ダイヤフラ
ムの周縁部が、本体に形成された受けリブと、ダイヤフ
ラム押さえに形成され、外縁側から内縁側に至るに従
い、上記負荷手段側に次第に傾斜する押さえ面とで挟持
され、上記ダイヤフラムが強制的に上記負荷手段側に膨
出された状態で、この膨出部における外周部が上記ダイ
ヤフラム押さえに形成された受け面により受けられたこ
とを特徴とするものである。
の本考案の技術的手段は、負荷手段により負荷を加える
ことにより、ダイヤフラムを弾性変形させて弁座に当接
させ、上記負荷手段の負荷を解除することにより、ダイ
ヤフラムを自身の反撥力により復元させて弁座を開放す
るようにしたダイヤフラム弁において、上記ダイヤフラ
ムの周縁部が、本体に形成された受けリブと、ダイヤフ
ラム押さえに形成され、外縁側から内縁側に至るに従
い、上記負荷手段側に次第に傾斜する押さえ面とで挟持
され、上記ダイヤフラムが強制的に上記負荷手段側に膨
出された状態で、この膨出部における外周部が上記ダイ
ヤフラム押さえに形成された受け面により受けられたこ
とを特徴とするものである。
【0008】
【作用】上記のように本考案によれば、ダイヤフラムの
周縁部を、本体に形成された受けリブと、ダイヤフラム
押さえに形成され、外縁側から内縁側に至るに従い、負
荷手段側に次第に傾斜する押さえ面とで挟持し、ダイヤ
フラムを強制的に負荷手段側に膨出させた状態で、膨出
部における外周部をダイヤフラム押さえに形成された受
け面により受けるようにしているので、ダイヤフラムの
復元力を大きくしてリフトを大きく取ることができ、し
かも、弁内が高真空、または負荷手段側から圧力が少々
加わる場合でも、ダイヤフラムの変形を抑えることがで
き、また、ダイヤフラムに形状のばらつきがある場合で
も、均一に復元力を大きくしてリフトを大きく取ること
ができる。
周縁部を、本体に形成された受けリブと、ダイヤフラム
押さえに形成され、外縁側から内縁側に至るに従い、負
荷手段側に次第に傾斜する押さえ面とで挟持し、ダイヤ
フラムを強制的に負荷手段側に膨出させた状態で、膨出
部における外周部をダイヤフラム押さえに形成された受
け面により受けるようにしているので、ダイヤフラムの
復元力を大きくしてリフトを大きく取ることができ、し
かも、弁内が高真空、または負荷手段側から圧力が少々
加わる場合でも、ダイヤフラムの変形を抑えることがで
き、また、ダイヤフラムに形状のばらつきがある場合で
も、均一に復元力を大きくしてリフトを大きく取ること
ができる。
【0009】
【実施例】以下、本考案の一実施例について図面を参照
しながら説明する。図1は本考案の一実施例におけるダ
イヤフラム弁を示す弁開時の縦断面図、図2(a),
(b)は図1のX部を示し、(a)はダイヤフラムの周
縁部を挟持する前の状態の拡大図、(b)はダイヤフラ
ムの周縁部を挟持した状態の拡大図である。
しながら説明する。図1は本考案の一実施例におけるダ
イヤフラム弁を示す弁開時の縦断面図、図2(a),
(b)は図1のX部を示し、(a)はダイヤフラムの周
縁部を挟持する前の状態の拡大図、(b)はダイヤフラ
ムの周縁部を挟持した状態の拡大図である。
【0010】図1に示すように、本体1の両側に流入口
2と流出口3が形成され、本体1の中間部で流入口2と
流出口3にはそれぞれ直角方向に形成された流路4と5
が連通されている。流路4の出口である上端部には弁座
6が形成されている。本体1の上部に形成された筒状部
7の内側に筒状のダイヤフラム押さえ8の下部が螺合さ
れ、弁座6の反対側への膨出部9bを有する薄い金属か
ら成るダイヤフラム9の周縁部9aが後述するように本
体1の受けリブ14とダイヤフラム押さえ8の押さえ面
15とで挟持され、ダイヤフラム9の下側に形成された
流体室10により流路4と5が連通されるようになって
いる。ダイヤフラム押さえ8の内側には弁棒11がシー
ル状態で進退可能に螺合され、弁棒11の基部にハンド
ル12が離脱可能に取り付けられている。
2と流出口3が形成され、本体1の中間部で流入口2と
流出口3にはそれぞれ直角方向に形成された流路4と5
が連通されている。流路4の出口である上端部には弁座
6が形成されている。本体1の上部に形成された筒状部
7の内側に筒状のダイヤフラム押さえ8の下部が螺合さ
れ、弁座6の反対側への膨出部9bを有する薄い金属か
ら成るダイヤフラム9の周縁部9aが後述するように本
体1の受けリブ14とダイヤフラム押さえ8の押さえ面
15とで挟持され、ダイヤフラム9の下側に形成された
流体室10により流路4と5が連通されるようになって
いる。ダイヤフラム押さえ8の内側には弁棒11がシー
ル状態で進退可能に螺合され、弁棒11の基部にハンド
ル12が離脱可能に取り付けられている。
【0011】そして、ハンドル12を一方に回転させる
ことにより、弁棒11を下方へ前進させ、弁棒11の先
端面によりダイヤフラム9の膨出部9bにおける中央部
を押圧し、弾性変形させて弁座6に圧接させ、流路4を
遮断して弁閉状態とすることができる。ハンドル12を
他方に回転させることにより、弁棒11を上方へ後退さ
せ、ダイヤフラム9を自身の反撥力により復元させ、流
路4を開放して弁開状態とすることができる。
ことにより、弁棒11を下方へ前進させ、弁棒11の先
端面によりダイヤフラム9の膨出部9bにおける中央部
を押圧し、弾性変形させて弁座6に圧接させ、流路4を
遮断して弁閉状態とすることができる。ハンドル12を
他方に回転させることにより、弁棒11を上方へ後退さ
せ、ダイヤフラム9を自身の反撥力により復元させ、流
路4を開放して弁開状態とすることができる。
【0012】ダイヤフラム9の周縁部9aを挟持する構
造について詳しく説明すると、図2(a)に示すよう
に、本体1の内側周囲の平面状段部13に環状の受けリ
ブ14が一体に突設され、この受けリブ14は断面にお
いて、先端側に至るに従い、次第に狭くなるように形成
されている。ダイヤフラム押さえ8の外周部には押さえ
面15が形成され、この押さえ面15は外縁側から内縁
側に至るに従い、平面状段部13から離隔する側、すな
わち、ハンドル12等の負荷手段側に次第に傾斜され、
押さえ面15の内周に押さえ面15より負荷手段側に急
な角度で傾斜された逃げ面16が形成され、逃げ面16
の内周に押さえ面15より緩やかで逃げ面16より急な
角度で負荷手段側に傾斜された受け面17が形成されて
いる。そして、上記のようにダイヤフラム押さえ8が本
体1に螺合されることにより、図2(b)に示すよう
に、ダイヤフラム9の周縁部9aが本体1の受けリブ1
4とダイヤフラム押さえ8の押さえ面15とで挟持され
る。このとき、上記のように押さえ面15は外縁側から
内縁側に至るに従い、上方の負荷手段側へ傾斜されてい
るので、ダイヤフラム9を強制的に負荷手段側へ膨出さ
せ、膨出部9bにおける外縁部を受け面17で受けるこ
とができる。
造について詳しく説明すると、図2(a)に示すよう
に、本体1の内側周囲の平面状段部13に環状の受けリ
ブ14が一体に突設され、この受けリブ14は断面にお
いて、先端側に至るに従い、次第に狭くなるように形成
されている。ダイヤフラム押さえ8の外周部には押さえ
面15が形成され、この押さえ面15は外縁側から内縁
側に至るに従い、平面状段部13から離隔する側、すな
わち、ハンドル12等の負荷手段側に次第に傾斜され、
押さえ面15の内周に押さえ面15より負荷手段側に急
な角度で傾斜された逃げ面16が形成され、逃げ面16
の内周に押さえ面15より緩やかで逃げ面16より急な
角度で負荷手段側に傾斜された受け面17が形成されて
いる。そして、上記のようにダイヤフラム押さえ8が本
体1に螺合されることにより、図2(b)に示すよう
に、ダイヤフラム9の周縁部9aが本体1の受けリブ1
4とダイヤフラム押さえ8の押さえ面15とで挟持され
る。このとき、上記のように押さえ面15は外縁側から
内縁側に至るに従い、上方の負荷手段側へ傾斜されてい
るので、ダイヤフラム9を強制的に負荷手段側へ膨出さ
せ、膨出部9bにおける外縁部を受け面17で受けるこ
とができる。
【0013】このようにダイヤフラム9の周縁部9aを
本体1の受けリブ14とダイヤフラム押さえ8の傾斜し
た押さえ面15とで挟持することにより、ダイヤフラム
9を負荷手段側へ強制的に膨出させ、受け面17で均一
な膨出状態に規制するので、ダイヤフラム9の成形に際
し、図3(a)に示すように、正常な形状に成形されて
いる場合でも、また、図3(b),(c)に示すよう
に、周縁部9aの形状や膨出部9bの高さにばらつきが
ある場合でも、形状を均一にすることができるととも
に、図2(a),(b)に示すように、ダイヤフラム9
自身に成形時の高さhよりもリフトHを大きく取ること
ができる。
本体1の受けリブ14とダイヤフラム押さえ8の傾斜し
た押さえ面15とで挟持することにより、ダイヤフラム
9を負荷手段側へ強制的に膨出させ、受け面17で均一
な膨出状態に規制するので、ダイヤフラム9の成形に際
し、図3(a)に示すように、正常な形状に成形されて
いる場合でも、また、図3(b),(c)に示すよう
に、周縁部9aの形状や膨出部9bの高さにばらつきが
ある場合でも、形状を均一にすることができるととも
に、図2(a),(b)に示すように、ダイヤフラム9
自身に成形時の高さhよりもリフトHを大きく取ること
ができる。
【0014】本考案において、受けリブ14と傾斜した
押さえ面15とで周縁部9aが挟持されたダイヤフラム
9と、従来例のようにリブ52とダイヤフラム9の外周
部の形状に適合する押さえ面54とで外周部が挟持され
たダイヤフラム9とを弁棒11で押圧した場合の荷重P
(kgf)とダイヤフラム9の変位量δ(mm)の関係
を図4に示す。図4において、Aは本考案において挟持
されたダイヤフラム9を示し、Bは従来例で挟持された
ダイヤフラム9を示す。これからも本考案により挟持さ
れたダイヤフラム9の方が従来例で挟持されたダイヤフ
ラム9よりも復元力およびリフトを大きく取ることがで
きることが明らかである。
押さえ面15とで周縁部9aが挟持されたダイヤフラム
9と、従来例のようにリブ52とダイヤフラム9の外周
部の形状に適合する押さえ面54とで外周部が挟持され
たダイヤフラム9とを弁棒11で押圧した場合の荷重P
(kgf)とダイヤフラム9の変位量δ(mm)の関係
を図4に示す。図4において、Aは本考案において挟持
されたダイヤフラム9を示し、Bは従来例で挟持された
ダイヤフラム9を示す。これからも本考案により挟持さ
れたダイヤフラム9の方が従来例で挟持されたダイヤフ
ラム9よりも復元力およびリフトを大きく取ることがで
きることが明らかである。
【0015】以上の構成において、以下、その動作につ
いて説明すると、ハンドル12を一方に回転させること
により、弁棒11を下方へ前進させ、弁棒11の先端面
によりダイヤフラム9の膨出部9bにおける中央部を押
圧し、弾性変形させて弁座6に圧接させ、流路4を遮断
して弁閉状態とすることができる。ハンドル12を他方
に回転させることにより、弁棒11を上方へ後退させ、
ダイヤフラム9自身の反撥力により復元させて流路4を
開放し、流入口2を流路4、流体室10、流路5を介し
て流出口3に連通させることができる。このとき、上記
のようにダイヤフラム9の復元力を大きくしてリフトを
大きく取ることができるようにしているので、流過抵抗
を小さくすることができ、また、弁内が高真空である場
合、または負荷手段側から圧力が少々加わる場合でも、
高リフトを維持して弁開閉を行うことができる。
いて説明すると、ハンドル12を一方に回転させること
により、弁棒11を下方へ前進させ、弁棒11の先端面
によりダイヤフラム9の膨出部9bにおける中央部を押
圧し、弾性変形させて弁座6に圧接させ、流路4を遮断
して弁閉状態とすることができる。ハンドル12を他方
に回転させることにより、弁棒11を上方へ後退させ、
ダイヤフラム9自身の反撥力により復元させて流路4を
開放し、流入口2を流路4、流体室10、流路5を介し
て流出口3に連通させることができる。このとき、上記
のようにダイヤフラム9の復元力を大きくしてリフトを
大きく取ることができるようにしているので、流過抵抗
を小さくすることができ、また、弁内が高真空である場
合、または負荷手段側から圧力が少々加わる場合でも、
高リフトを維持して弁開閉を行うことができる。
【0016】なお、上記実施例では、ダイヤフラム9は
あらかじめ負荷手段側に膨出部9bを有しているが、扁
平形状である場合にも有効である。また、上記実施例で
は、負荷を与える手段としてハンドル12を用い、弁棒
11を回転させるようにしているが、この他の方式のダ
イヤフラム弁にも適用することができる。このほか、本
考案は、その基本的技術思想を逸脱しない範囲で種々設
計変更することができる。
あらかじめ負荷手段側に膨出部9bを有しているが、扁
平形状である場合にも有効である。また、上記実施例で
は、負荷を与える手段としてハンドル12を用い、弁棒
11を回転させるようにしているが、この他の方式のダ
イヤフラム弁にも適用することができる。このほか、本
考案は、その基本的技術思想を逸脱しない範囲で種々設
計変更することができる。
【0017】
【考案の効果】以上説明したように本考案によれば、ダ
イヤフラムの周縁部を、本体に形成された受けリブと、
ダイヤフラム押さえに形成され、外縁側から内縁側に至
るに従い、負荷手段側に次第に傾斜する押さえ面とで挟
持し、ダイヤフラムを強制的に負荷手段側に膨出させた
状態で、膨出部における外周部をダイヤフラム押さえに
形成された受け面により受けるようにしているので、ダ
イヤフラムの復元力を大きくしてリフトを大きく取るこ
とができ、しかも、弁内が高真空、または負荷手段側か
ら圧力が少々加わる場合でも、ダイヤフラムの変形を抑
えることができ、したがって、流過抵抗を小さくするこ
とができる。また、ダイヤフラムに形状のばらつきがあ
る場合でも、均一に復元力を大きくしてリフトを大きく
取ることができ、したがって、流過抵抗のばらつきを抑
え、品質を安定させることができる。
イヤフラムの周縁部を、本体に形成された受けリブと、
ダイヤフラム押さえに形成され、外縁側から内縁側に至
るに従い、負荷手段側に次第に傾斜する押さえ面とで挟
持し、ダイヤフラムを強制的に負荷手段側に膨出させた
状態で、膨出部における外周部をダイヤフラム押さえに
形成された受け面により受けるようにしているので、ダ
イヤフラムの復元力を大きくしてリフトを大きく取るこ
とができ、しかも、弁内が高真空、または負荷手段側か
ら圧力が少々加わる場合でも、ダイヤフラムの変形を抑
えることができ、したがって、流過抵抗を小さくするこ
とができる。また、ダイヤフラムに形状のばらつきがあ
る場合でも、均一に復元力を大きくしてリフトを大きく
取ることができ、したがって、流過抵抗のばらつきを抑
え、品質を安定させることができる。
【図1】本考案の一実施例におけるダイヤフラム弁を示
す弁開時の縦断面図である。
す弁開時の縦断面図である。
【図2】(a)は図1のX部を示し、ダイヤフラムの周
縁部を挟持する前の状態の拡大図である。(b)は図1
のX部を示し、ダイヤフラムの周縁部を挟持した状態の
拡大図である。
縁部を挟持する前の状態の拡大図である。(b)は図1
のX部を示し、ダイヤフラムの周縁部を挟持した状態の
拡大図である。
【図3】(a)は正常な形状に成形されたダイヤフラム
の断面図である。(b),(c)は形状にばらつきがあ
るダイヤフラムの断面図である。
の断面図である。(b),(c)は形状にばらつきがあ
るダイヤフラムの断面図である。
【図4】本考案の一実施例におけるダイヤフラム弁のダ
イヤフラムと従来例におけるダイヤフラム弁のダイヤフ
ラムとの荷重と変形量の関係を表わす図である。
イヤフラムと従来例におけるダイヤフラム弁のダイヤフ
ラムとの荷重と変形量の関係を表わす図である。
【図5】従来の一例におけるダイヤフラム弁の要部を示
す拡大断面図である。
す拡大断面図である。
【図6】従来の他の例におけるダイヤフラム弁の要部を
示す拡大断面図である。
示す拡大断面図である。
1 本体 8 ダイヤフラム押さえ 9 ダイヤフラム 9a 周縁部 9b 膨出部 11 弁棒 12 ハンドル 14 受けリブ 15 押さえ面 16 逃げ面 17 受け面
Claims (1)
- 【請求項1】 本体1の内側周囲の平面状段部13に環
状の受けリブ14が一体に突設され、この受けリブ14
は断面において、先端側に至るに従い、次第に狭くなる
ように形成されており、ダイヤフラム押さえ8の外周部
には押さえ面15が形成され、この押え面15は外縁側
から内縁側に至るに従い、平面状段部13から離隔する
側、すなわち、ハンドル12等の負荷手段側に次第に傾
斜され、押さえ面15の内周に押さえ面15より負荷手
段側に急な角度で傾斜された逃げ面16が形成され、逃
げ面16の内周に押さえ面15より緩やかで逃げ面16
より急な角度で負荷手段側に傾斜された受け面17が形
成されており、ダイヤフラム押さえ8が本体1に螺合さ
れることにより、ダイヤフラム9の周縁部9aが本体1
の受けリブ14とダイヤフラム9の周縁部9aが本体1
の受けリブ14とダイヤフラム押え8の押え面15とで
挟持されており、押え面15は外縁側から内縁側に至る
に従い、上方の負荷手段側へ傾斜されていて、ダイヤフ
ラム9を強制的に負荷側へ膨出させ、膨出部9bにおけ
る外縁部を受け面17で受けることができるように構成
してなるダイヤフラム弁。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1993065241U JP2547590Y2 (ja) | 1993-11-12 | 1993-11-12 | ダイヤフラム弁 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1993065241U JP2547590Y2 (ja) | 1993-11-12 | 1993-11-12 | ダイヤフラム弁 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0729368U JPH0729368U (ja) | 1995-06-02 |
JP2547590Y2 true JP2547590Y2 (ja) | 1997-09-10 |
Family
ID=13281232
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1993065241U Expired - Lifetime JP2547590Y2 (ja) | 1993-11-12 | 1993-11-12 | ダイヤフラム弁 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2547590Y2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5933370B2 (ja) * | 2012-06-29 | 2016-06-08 | 株式会社フジキン | ダイヤフラム弁 |
Family Cites Families (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0515660Y2 (ja) * | 1988-08-12 | 1993-04-23 |
-
1993
- 1993-11-12 JP JP1993065241U patent/JP2547590Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0729368U (ja) | 1995-06-02 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4700234B2 (ja) | ダイヤフラム弁 | |
JP4587419B2 (ja) | メタルダイヤフラム弁 | |
JPH10268943A (ja) | 減圧弁 | |
US5624102A (en) | Structure for sealing an inner peripheral portion of a metallic diaphragm | |
JP4340119B2 (ja) | 薬液弁 | |
JP2547590Y2 (ja) | ダイヤフラム弁 | |
KR20160009060A (ko) | 다이어프램 밸브 | |
JP2002340203A (ja) | ダイヤフラム弁 | |
JPH0515660Y2 (ja) | ||
JP2554972Y2 (ja) | 圧力制御弁 | |
JPH0531331Y2 (ja) | ||
JPH052874B2 (ja) | ||
JPS5926830B2 (ja) | 安全弁 | |
JPH0579137U (ja) | 弁軸構造 | |
JPS595644Y2 (ja) | 作動液リザ−バ | |
US4134417A (en) | Quick release valve | |
JPH0127254Y2 (ja) | ||
JPS63285373A (ja) | ダイヤフラムシール弁 | |
JPH0451265Y2 (ja) | ||
JPH0566376U (ja) | メタルダイヤフラム弁 | |
JPH0245585Y2 (ja) | ||
JP2553271Y2 (ja) | 逆止弁 | |
JPH0211662Y2 (ja) | ||
JP2609400B2 (ja) | ダイヤフラム弁のダイヤフラム | |
JPH09152046A (ja) | ダイアフラムバルブ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
EXPY | Cancellation because of completion of term |