JP2534930Y2 - Actuator - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本考案は、生産設備等、各種の自動設備に用いられ、
工作機械等のワークをテーブルに搭載してこれを直線的
に往復動させるアクチュエータに関する。[Detailed description of the invention] [Industrial application field] The invention is used for various automatic equipment such as production equipment,
The present invention relates to an actuator for mounting a work such as a machine tool on a table and reciprocating the work linearly.

〔従来の技術〕[Conventional technology]

従来から、この種のアクチュエータとして、実願昭54
-2055号（実開昭55-103129号）のマイクロフィルム及び
特公昭64-177号公報に記載されたものが知られている。
上記の実願昭54-2055号のマイクロフイルムには、この
出願の図面に示されているように、可動テーブル20がコ
ロ25とガイドブロック22A、22Bとにより支持されて移動
自在に構成されているため、ピストンロッド４とガイド
ブロック22A,22Bとの芯出し精度上からピストンロッド
４の前方に取付られている。このため装置全体が長大に
なる。更に、ガイドブロック22A,22Bは調整ボルト23に
より調整しなければならない。このため、調整ボルト23
の緩みにより可動テーブル20の横方向の位置精度が悪化
して組立装置等に利用することが困難になる。次に、特
公昭64-177号公報に記載の往復台摺動装置は、この公報
の図面に示されているように、固定部材２の両側面に、
全長にわたり幅の狭い凹部2aを形成しなければならない
ため、加工工具の関係から加工した寸法精度を設定通り
にさせることが困難である。また、厚さに変化があるの
で固定部材２を焼入することもできないため、ボールベ
アリング16により凹部2aの方が先に摩耗する。このた
め、ボールベアリング16が高精度であつても、往復台３
を高精度の位置にスライドさせることが困難になる。更
に、固定部材２に往復台３を馬乗りに組立なければなら
ないために、往復台摺動装置全体の高さが高くなる問題
があり、例えば、電子部品などの小型の組立装置等に利
用することも困難になる。更には、往復台３のシリンダ
室10にピストン移動室10aと連結ピン移動部10bが形成さ
れているため、ピストンロッド36がピストン移動室10a
内に後退しても往復台摺動装置全長を短くすることがで
きず、複数のアクチュエータをX,Y軸方向に交差させて
近接して交互に作動ロッドを移動させる場合、各アクチ
ュエータを近接させて取り付けることが困難になる。そ
の結果、アクチュエータの取り付け関係の距離が大きく
なると共に、作動サイクル時間が大きくなるので、作業
能率が低下し問題となつている。Conventionally, as this type of actuator,
A microfilm of No. -2055 (Japanese Utility Model Laid-Open No. 55-103129) and a microfilm described in Japanese Patent Publication No. 64-177 are known.
As shown in the drawing of this application, the microfilm of the above-mentioned Japanese Patent Application No. 54-2055 has a movable table 20 supported by rollers 25 and guide blocks 22A and 22B so as to be movable. Therefore, it is mounted in front of the piston rod 4 from the viewpoint of centering accuracy of the piston rod 4 and the guide blocks 22A and 22B. For this reason, the entire device becomes large. Further, the guide blocks 22A and 22B must be adjusted by the adjustment bolts 23. For this reason, adjustment bolt 23
Of the movable table 20 deteriorates in the lateral direction due to the looseness of the movable table 20, and it becomes difficult to use the movable table 20 in an assembling apparatus or the like. Next, as shown in the drawing of this publication, the carriage slide device described in Japanese Patent Publication No. 64-177 is provided on both sides of the fixing member 2.
Since the concave portion 2a having a small width must be formed over the entire length, it is difficult to make the processed dimensional accuracy as set because of the processing tool. Further, since the fixing member 2 cannot be quenched due to a change in thickness, the concave portion 2 a is worn earlier by the ball bearing 16. For this reason, even if the ball bearing 16 has high accuracy, the carriage 3
Is difficult to slide to a highly accurate position. Further, since the carriage 3 must be assembled on the fixing member 2 on a horse riding, there is a problem that the height of the carriage slide is increased as a whole. Will also be difficult. Further, since the piston moving chamber 10a and the connecting pin moving part 10b are formed in the cylinder chamber 10 of the carriage 3, the piston rod 36 is moved by the piston moving chamber 10a.
If the actuator slides back and forth, the entire length of the slide slide device cannot be shortened, and when multiple actuators intersect in the X and Y axes to move the operating rods in close proximity, It is difficult to attach. As a result, the distance of the mounting relationship between the actuators is increased, and the operation cycle time is increased. As a result, the work efficiency is reduced, which is a problem.

［考案が解決しようとする課題］ 本考案は、上述の問題点に鑑み成されたものであつ
て、その目的は装置に取付る構造上の関係から、アクチ
ュエータ全体の高さを低くするとともに、アクチュエー
タ全体の長さも、作動ロッドを後退させたときに略スト
ロークの長さになるように短くすることにある。また、
取付台とテーブルとの平行な精度の組立を容易にすると
共に、スライドするテーブルの移動時の位置精度を向上
させることにある。[Problem to be Solved by the Invention] The present invention has been made in view of the above-mentioned problems, and its purpose is to reduce the height of the entire actuator from the viewpoint of the structure to be attached to the device, The overall length of the actuator is also to be shortened so that when the operating rod is retracted, the stroke becomes substantially equal to the length of the stroke. Also,
It is an object of the present invention to facilitate parallel assembly of a mounting table and a table and to improve positional accuracy of a sliding table during movement.

［課題を解決するための手段］ 本考案は、上述の課題を解決するために成されたもの
であつて、その技術的手段は、以下のように構成されて
いる。すなわち、 シリンダ（２）を有すると共にシリンダ（２）の軸芯
と平行な取付面のある取付スペース（６）を有する取付
台（１）と、シリンダ（２）内に移動自在に配置された
ピストン（３）と、ピストン（３）に接続された作動ロ
ッド（４）と、取付面に接合してシリンダ（２）と並列
に取り付けられたインナー部材（９）又はアウター部材
（10）を有しインナー部材とアウター部材間にベアリン
グ（11）を介して変位自在に構成されたリニアガイド
（８）と、リニアガイド（８）の移動側であるアウター
部材（10）又はインナー部材（９）に取り付けられて取
付面（20c）を有するテーブル（20）と、テーブル（2
0）の移動方向に直交し作動ロッド（４）に連結した連
結部（20a）とを具備したものである。[Means for Solving the Problems] The present invention has been made to solve the above problems, and the technical means thereof are configured as follows. That is, a mounting base (1) having a cylinder (2) and a mounting space (6) having a mounting surface parallel to the axis of the cylinder (2), and a piston movably disposed in the cylinder (2). (3), an operating rod (4) connected to the piston (3), and an inner member (9) or an outer member (10) joined to the mounting surface and mounted in parallel with the cylinder (2). A linear guide (8) configured to be displaceable via a bearing (11) between an inner member and an outer member, and attached to an outer member (10) or an inner member (9) on the moving side of the linear guide (8). Table (20) having a mounting surface (20c) and a table (2
And a connecting portion (20a) orthogonal to the moving direction of (0) and connected to the operating rod (4).

［作用］ 本考案のアクチュエータは、取付台（１）の取付スペ
ース（６）内にリニアガイド（８）を取り付けられるの
で、シリンダ（２）側へ近づけて取り付けられる。しか
も、取付台（１）の取付底面に近づけて低く取り付けら
れる。このため、アクチュエータ全体が小型に形成され
て取付スペースが小さくでき、複数のアクチュエータを
組み合わせる場合でも、どのような場所にも取り付けら
れることになる。更に、リニアガイド（８）を介して取
付台（１）とテーブル（20）が相対移動するから、テー
ブルの往復移動が円滑になると共に、摺動面の摩耗が少
なくなる（取付台（１）と別体のインナー部材、アウタ
ー部材は共に熱処理が可能である）。更に、テーブル
（20）の長さとピストンのストロークとがほぼ同じ長さ
にでき、ピストンロッド（４）がシリンダ内へ移動させ
ると全長が短くなる。このため複数のアクチュエータを
直交させて交互に作動させるときに近接させて取り付け
ることが可能になる。[Operation] Since the linear guide (8) is mounted in the mounting space (6) of the mounting base (1), the actuator of the present invention is mounted close to the cylinder (2) side. Moreover, it can be mounted low close to the mounting bottom surface of the mounting base (1). For this reason, the entire actuator is formed in a small size, and the mounting space can be reduced. Even when a plurality of actuators are combined, the actuator can be mounted at any place. Furthermore, since the mounting table (1) and the table (20) relatively move via the linear guide (8), the reciprocating movement of the table is smooth and the wear of the sliding surface is reduced (the mounting table (1)). Both the inner member and the outer member can be heat-treated.) Further, the length of the table (20) and the stroke of the piston can be made substantially the same, and when the piston rod (4) is moved into the cylinder, the overall length becomes shorter. For this reason, it becomes possible to mount a plurality of actuators close to each other when they are alternately operated orthogonally.

つぎに本考案の実施例を説明する。 Next, an embodiment of the present invention will be described.

第１図ないし第６図に示すように、当該実施例に係る
アクチュエータは先ず箱状の取付台（１）を備えてお
り、この取付台（１）の内部にシリンダ（２）が取付台
（１）の長手方向に沿って設けられている。シリンダ
（２）にピストン（３）が往復動自在に配置され、この
ピストン（３）に作動ロッド（４）が接続され、この作
動ロッド（４）の先端部（4a）がシリンダカバー（７）
の軸孔（7a）を貫通して取付台（１）の外部に突出して
いる。取付台（１）の反対側の端面にポート（５）が二
つ設けられ、一つはピストン（３）のロッド（４）側
で、他の一つはピストン（３）の反ロッド（４）側でそ
れぞれシリンダ（２）に通じている。したがってこの二
つのポート（５）から交互に圧縮エア等の流体圧を供給
すると、供給方向にしたがってピストン（３）が往復動
する。ピストン（３）外周には、シリンダ（２）内壁と
摺動するパッキン等のシール部（3a）が設けられてい
る。As shown in FIGS. 1 to 6, the actuator according to the present embodiment includes a box-shaped mounting base (1), and a cylinder (2) is provided inside the mounting base (1). It is provided along the longitudinal direction of 1). A piston (3) is reciprocally arranged on the cylinder (2), and an operating rod (4) is connected to the piston (3). A tip (4a) of the operating rod (4) is connected to a cylinder cover (7).
And protrudes outside the mounting base (1) through the shaft hole (7a). Two ports (5) are provided on the opposite end face of the mount (1), one is on the rod (4) side of the piston (3), and the other is on the opposite rod (4) of the piston (3). ) Side leads to the cylinder (2). Therefore, when fluid pressure such as compressed air is alternately supplied from these two ports (5), the piston (3) reciprocates according to the supply direction. On the outer periphery of the piston (3), a seal portion (3a) such as packing which slides on the inner wall of the cylinder (2) is provided.

取付台（１）の外部上面にスペースを有する溝状段部
に形成された取付スペース（６）が設けられ、この取付
スペース（６）の底面にリニアガイド（８）を取り付け
るための取付面が形成され、この取付スペース（６）に
リニアガイド（８）がピストン（３）の往復動方向と平
行に取り付けられている。リニアガイド（８）は、図５
に示したように、板材よりなる断面略コ字形状のインナ
ー部材（９）と、同じく板材よりなる断面略コ字形状
（インナー部材（９）のコの字とは横幅が異なってい
る）のアウター部材（10）とをベアリング（11）を介し
て直線的に変位自在に組み付けたもので、ガタなく高精
度に作動する特徴を備えている。またこのリニアガイド
（８）は多数のベアリング（11）を転動自在に保持する
リテーナ（12）を備えており、インナー部材（９）とア
ウター部材（10）は互いに平行な平坦面部（10a、イン
ナー部材（９）については図示せず（第５図におけるイ
ンナー部材（９）の下面がここに相当する））を備え、
またそれぞれ平坦面部（10a）に取付用のビス（図示せ
ず）を挿入可能な所要数の取付穴（9b）（10b）を備え
ている。A mounting space (6) formed in a groove-shaped step having a space is provided on the outer upper surface of the mounting table (1), and a mounting surface for mounting the linear guide (8) is provided on the bottom surface of the mounting space (6). The linear guide (8) is mounted in the mounting space (6) in parallel with the reciprocating direction of the piston (3). The linear guide (8) is shown in FIG.
As shown in (1), the inner member (9) made of a plate material has a substantially U-shaped cross section, and the inner member (9) also made of a plate material has a substantially U-shaped cross section (the width of the inner member (9) is different from the U shape). The outer member (10) and the outer member (10) are assembled via a bearing (11) so as to be linearly displaceable. The linear guide (8) includes a retainer (12) for rotatably holding a large number of bearings (11). The inner member (9) and the outer member (10) are parallel flat surface portions (10a, 10a). The inner member (9) is not shown (the lower surface of the inner member (9) in FIG. 5 corresponds to this), and
Each of the flat surfaces (10a) is provided with a required number of mounting holes (9b) (10b) into which mounting screws (not shown) can be inserted.

リニアガイド（８）はアウター部材（10）の平坦面
（10a）を、取付穴（10b）にビスを差し込むことによっ
て取付台（１）に接続され、取付台（１）に対して相対
移動可能なインナー部材（９）の平坦面に平板状のテー
ブル（20）が取り付けられ、このテーブル（20）の移動
方向の一端に略Ｌ字形を成して平板状の連結部（20a）
が一体成形され、この連結部（20a）が作動ロッド
（４）の先端部（4a）に接続されている。テーブル（2
0）はピストン（３）の往復動方向と略平行な取付面（2
0c）を備え、連結部（20a）はピストン（３）の往復動
方向に対して略直交する取付面（20b）を備えている。
両取付面（20b）（20c）はそれぞれ工作機械等のワーク
の搭載面として使用されるもので、このため両取付面
（20b）（20c）にはそれぞれワーク取付用のねじ孔（20
d）（20e）が設けられている。リニアガイド（８）はイ
ンナー部材（９）の平坦面をもって取付台（１）に接続
されても良く、この場合は、取付台（１）に対して相対
移動可能なアウター部材（10）の平坦面（10a）に平板
状のテーブル（20）が取り付けられる。The linear guide (8) is connected to the mounting base (1) by inserting screws in the flat surface (10a) of the outer member (10) into the mounting holes (10b), and can move relative to the mounting base (1). A flat table (20) is attached to the flat surface of the inner member (9), and a substantially L-shaped flat connecting portion (20a) is formed at one end in the moving direction of the table (20).
Are integrally formed, and the connecting portion (20a) is connected to the distal end portion (4a) of the operating rod (4). Table (2
0) is the mounting surface (2) that is substantially parallel to the reciprocating direction of the piston (3).
0c), and the connecting portion (20a) has a mounting surface (20b) substantially orthogonal to the reciprocating direction of the piston (3).
The two mounting surfaces (20b) and (20c) are used as mounting surfaces for a work such as a machine tool. Therefore, the two mounting surfaces (20b) and (20c) respectively have screw holes (20) for mounting the work.
d) (20e) is provided. The linear guide (8) may be connected to the mounting base (1) with the flat surface of the inner member (9). In this case, the flatness of the outer member (10) movable relative to the mounting base (1). A flat table (20) is attached to the surface (10a).

取付台（１）の外部正面に取付溝（14）が二本、ピス
トン（３）の往復動方向と平行に設けられ、この取付溝
（14）にそれぞれピストン（３）の位置を検知する磁気
近接型の検知スイッチ（15）が一つずつ、押え板（16）
と取付ねじ（17）とをもって取付位置を調節自在に取り
付けられている。検知スイッチ（15）のリード線（18）
はそれぞれ取付溝（14）に沿って取付台（１）のポート
（５）側の端面方向に導かれており、これによりリード
線（18）と圧力配管（図示せず）とを取纏めて一方向か
ら配線または配管することができるようになっている。Two mounting grooves (14) are provided on the outer front of the mounting base (1) in parallel with the reciprocating direction of the piston (3), and the mounting grooves (14) detect the position of the piston (3) respectively. Proximity type detection switch (15) one by one, presser plate (16)
The mounting position is adjustable with the mounting screw (17) and the mounting screw (17). Lead wire (18) of detection switch (15)
Are guided along the mounting groove (14) toward the end face on the port (5) side of the mounting base (1), whereby the lead wire (18) and the pressure pipe (not shown) are integrated. Wiring or piping can be performed from one direction.

上記構成を備えたアクチュエータにおいて、シリンダ
（２）に圧縮エア等の流体圧が供給されると供給方向に
したがってピストン（３）が往復動し、作動ロッド
（４）を介してこのピストン（３）の動きにテーブル
（20）が従動し、テーブル（20）が第６図の位置から第
７図の位置までの間で往復動する。テーブル（20）はリ
ニアガイド（８）によって案内され、ガタなく高精度に
往復動する。したがって例えば第８図に示すように、取
付台（１）を所定位置に設置するとともにテーブル（2
0）にワーク（ｗ）を搭載してテーブル（20）を往復動
させることにより、ワーク（ｗ）を高精度に往復動させ
ることができる。In the actuator having the above configuration, when fluid pressure such as compressed air is supplied to the cylinder (2), the piston (3) reciprocates according to the supply direction, and the piston (3) is moved via the operating rod (4). The table (20) follows the movement of, and the table (20) reciprocates between the position shown in FIG. 6 and the position shown in FIG. The table (20) is guided by the linear guide (8) and reciprocates with high precision without play. Therefore, as shown in FIG. 8, for example, the mounting table (1) is set at a predetermined position and the table (2)
The work (w) can be reciprocated with high accuracy by mounting the work (w) on the table (0) and reciprocating the table (20).

上記構成を備えたアクチュエータにおいては、取付台
（１）に取り付けられるアウター部材（10）の板材製で
断面略コ字形状に形成されているから、取付台（１）と
テーブル（20）とを相対移動させて断面略コ字形状のア
ウター部材（10）の取付穴（10b）を露出させ、この取
付穴（10b）を利用して取付台（１）とテーブル（20）
との間にリニアガイド（８）を取り付けることが可能で
ある。また同時に、リニアガイド（８）を取付台（１）
のどの面にでも取り付けることが可能であるとともに、
シリンダ（２）の中心線とテーブル（20）の移動中心線
と同一精度に取り付けることが可能であり、シリンダ
（２）とピストン（３）が噛ることもないし、ピストン
（３）のシール部（3a）が偏心して摩耗することもな
い。In the actuator having the above configuration, since the outer member (10) attached to the mounting base (1) is made of a plate material and has a substantially U-shaped cross section, the mounting base (1) and the table (20) are connected to each other. The mounting hole (10b) of the outer member (10) having a substantially U-shaped cross section is exposed by relatively moving the mounting table (1) and the table (20) using the mounting holes (10b).
And a linear guide (8) can be mounted between them. At the same time, the linear guide (8) is attached to the mounting base (1).
It can be mounted on any surface of the
The center line of the cylinder (2) and the moving center line of the table (20) can be mounted with the same accuracy, the cylinder (2) and the piston (3) do not bite, and the piston (3) seal portion (3a) is not eccentric and does not wear.

また断面略コ字形状のインナー部材（９）およびアウ
ター部材（10）は板材で加工が容易であるから、小型の
リニアガイド（８）によって小型のアクチュエータを製
作することが可能となるとともに、軽量にすることが可
能となる。Further, since the inner member (9) and the outer member (10) each having a substantially U-shaped cross section are easy to process with a plate material, a small actuator can be manufactured by a small linear guide (8), and the weight is light. It becomes possible to.

また上記構成のアクチュエータにおいては、各部品が
直接または間接的に取付台（１）に組み付けられてユニ
ットタイプのアクチュエータが構成されているために、
運搬または設置等の取扱いが簡単である。またシリンダ
（２）の横手にリニアガイド（８）とテーブル（20）が
配置されているために、ピストン（３）の往復動方向に
ついてアクチュエータ全体の長さが短く、全体がコンパ
クトである。また、ピストン（３）の往復動方向と略平
行に設定されたテーブル（20）の取付面（20c）と、ピ
ストン（３）の往復動方向に対し略直交するように設定
された連結部（20a）の取付面（20b）とにワーク（ｗ）
を選択的に搭載することが可能であるために、利用範囲
が広いものである。Further, in the actuator having the above-described configuration, since each component is directly or indirectly assembled to the mounting base (1) to form a unit-type actuator,
Handling such as transportation or installation is easy. Further, since the linear guide (8) and the table (20) are arranged on the side of the cylinder (2), the length of the entire actuator is short in the reciprocating direction of the piston (3), and the entire actuator is compact. Further, a mounting surface (20c) of the table (20) set substantially parallel to the reciprocating direction of the piston (3) and a connecting portion (20) set substantially orthogonal to the reciprocating direction of the piston (3). Work (w) on the mounting surface (20b) of 20a)
Can be selectively mounted, so that the range of use is wide.

また図示はしないが、第４図のピストン（３）の右側
に第二のロッドを接続し、この第二のロッドの先端部を
取付台（１）の外部に突出させ、この先端部に取付台
（１）の端面に当接するストッパを取付箇所を調節自在
に取り付けると、ピストン（３）の往復動の一端限を任
意に調節することが可能である。Although not shown, a second rod is connected to the right side of the piston (3) in FIG. 4, and the tip of the second rod is projected out of the mounting base (1) and attached to the tip. When a stopper that abuts on the end face of the base (1) is attached at an adjustable position, the end of the reciprocation of the piston (3) can be arbitrarily adjusted.

［考案の効果］ 本考案は、取付台に取付面を有する取付スペースが設
けられているから、リニアガイドとテーブルとをスペー
ス内に配置することが可能となるので、テーブルが、取
付台のスペース内に配置される分、突出しないから、小
形化されて小物の加工組立装置等に本考案のアクチュエ
ータを利用することが可能になり、用途としての利用範
囲が広くなる。[Effects of the Invention] In the present invention, the mounting space having the mounting surface is provided on the mounting base, so that the linear guide and the table can be arranged in the space. The actuator of the present invention can be used in a small-sized processing and assembling apparatus, etc., because it is not protruded because it is disposed inside, and the range of use as an application is widened.

また、取付スペースとリニアガイドと連結部との構成
により、ピストンのストロークとテーブルの長さをほぼ
同じ長さにできると共に、ピストンが後退するとテーブ
ルは連結部のみしか突出していないから、ピストンの後
退時のアクチュエータの長さをピストンのストロークの
長さに近づけることができる。このため、複数のアクチ
ュエータを直交して取つけると共に、交互に作動させる
場合、アクチュエータを近接することができるので、ス
トロークを短くして作業能率を向上することが可能にな
る。In addition, the configuration of the mounting space, the linear guide, and the connecting portion allows the piston stroke and the length of the table to be almost the same length, and when the piston retreats, the table only protrudes from the connecting portion. The length of the actuator at the time can be approximated to the length of the stroke of the piston. Therefore, when a plurality of actuators are mounted orthogonally and operated alternately, the actuators can be close to each other, so that the stroke can be shortened and the working efficiency can be improved.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

第１図は本考案の実施例に係るアクチュエータの平面
図、第２図は正面図、第３図は左側面図、第４図は縦断
面図、第５図はリニアガイドの一部切り欠いた斜視図、
第６図は同アクチュエータの斜視図、第７図は作動状態
を示す斜視図、第８図は使用状態を示す斜視図である。 （１）取付台、（２）シリンダ、（３）ピストン、（3
a）シール部、（４）作動ロッド、（4a）先端部、
（５）ポート、（６）取付スペース、（７）シリンダカ
バー、（7a）軸孔、（８）リニアガイド、（９）インナ
ー部材、（9b）（10b）取付穴、（10）アウター部材、
（10a）平坦面部、（11）ベアリング、（12）リテー
ナ、（14）取付溝、（15）検知スイッチ、（16）押え
板、（17）取付ねじ、（18）リード線、（20）テーブ
ル、（20a）連結部、（20b）（20c）取付面、（20d）
（20e）ねじ孔、（ｗ）ワーク1 is a plan view of an actuator according to an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a front view, FIG. 3 is a left side view, FIG. 4 is a longitudinal sectional view, and FIG. Perspective view,
FIG. 6 is a perspective view of the actuator, FIG. 7 is a perspective view showing an operation state, and FIG. 8 is a perspective view showing a use state. (1) Mounting base, (2) cylinder, (3) piston, (3
a) seal part, (4) operating rod, (4a) tip,
(5) port, (6) mounting space, (7) cylinder cover, (7a) shaft hole, (8) linear guide, (9) inner member, (9b) (10b) mounting hole, (10) outer member,
(10a) Flat surface, (11) Bearing, (12) Retainer, (14) Mounting groove, (15) Detection switch, (16) Holding plate, (17) Mounting screw, (18) Lead wire, (20) Table , (20a) connecting part, (20b) (20c) mounting surface, (20d)
(20e) Screw hole, (w) Work

Claims (1)

(57)【実用新案登録請求の範囲】(57) [Scope of request for utility model registration] 【請求項１】シリンダ（２）を有すると共に前記シリン
ダ（２）の軸芯と平行な取付面のある取付スペース
（６）を有する取付台（１）と、前記シリンダ（２）内
に移動自在に配置されたピストン（３）と、前記ピスト
ン（３）に接続された作動ロッド（４）と、前記取付面
に接合して前記シリンダ（２）と並列に取り付けられた
インナー部材（９）又はアウター部材（10）を有し前記
インナー部材とアウター部材間にベアリング（11）を介
して変位自在に構成されたリニアガイド（８）と、 前記リニアガイド（８）の移動側であるアウター部材
（10）又はインナー部材（９）に取り付けられて取付面
（20c）を有するテーブル（20）と、 前記テーブル（20）の移動方向に直交し前記作動ロッド
（４）に連結した連結部（20a）とを具備したことを特
徴とするアクチュエータ。1. A mounting base (1) having a cylinder (2) and having a mounting space (6) having a mounting surface parallel to the axis of the cylinder (2), and movable in the cylinder (2). A piston (3), an operating rod (4) connected to the piston (3), and an inner member (9) joined to the mounting surface and mounted in parallel with the cylinder (2) or A linear guide (8) having an outer member (10) and configured to be displaceable between the inner member and the outer member via a bearing (11); and an outer member (moving side of the linear guide (8)). 10) or a table (20) attached to the inner member (9) and having an attachment surface (20c); and a connecting part (20a) orthogonal to the moving direction of the table (20) and connected to the operating rod (4). And that Actuator to the butterfly.