JP2525297B2 - 移載装置 - Google Patents
移載装置Info
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- JP2525297B2 JP2525297B2 JP3175799A JP17579991A JP2525297B2 JP 2525297 B2 JP2525297 B2 JP 2525297B2 JP 3175799 A JP3175799 A JP 3175799A JP 17579991 A JP17579991 A JP 17579991A JP 2525297 B2 JP2525297 B2 JP 2525297B2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pallet
- traveling carriage
- carrier
- traveling
- transfer
- Prior art date
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- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ウエハ収納キャリアを
搭載して搬送する走行台車とウエハ収納キャリアを保管
するストッカとの間でウエハ収納キャリアの移載を行な
う移載装置に関する。特に、ウエハ収納キャリアの形状
に応じて走行台車の載置部や移載ロボットの把持部を変
更する必要がない移載装置に関するものである。
搭載して搬送する走行台車とウエハ収納キャリアを保管
するストッカとの間でウエハ収納キャリアの移載を行な
う移載装置に関する。特に、ウエハ収納キャリアの形状
に応じて走行台車の載置部や移載ロボットの把持部を変
更する必要がない移載装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来よりウエハを収納したキャリア（ウ
エハ収納キャリア）は製造工程において、走行レールに
沿って走行する走行台車に搭載されて高クリーン度の装
置間を搬送されている。このような走行台車とウエハ収
納キャリアを保管するストッカとの間におけるウエハ収
納キャリアの移載には、ウエハ収納キャリアを把持して
移載する移載ロボットが用いられている。
エハ収納キャリア）は製造工程において、走行レールに
沿って走行する走行台車に搭載されて高クリーン度の装
置間を搬送されている。このような走行台車とウエハ収
納キャリアを保管するストッカとの間におけるウエハ収
納キャリアの移載には、ウエハ収納キャリアを把持して
移載する移載ロボットが用いられている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上述した従来の移載装
置には、次のような問題があった。
置には、次のような問題があった。
【０００４】ウエハ収納キャリアの形状は、ウエハの種
類や形状により異なったものとなっているので、キャリ
アの形状にあわせて走行台車の載置部や移載ロボットの
把持部を変更する必要があった。
類や形状により異なったものとなっているので、キャリ
アの形状にあわせて走行台車の載置部や移載ロボットの
把持部を変更する必要があった。
【０００５】本発明の目的は、以上のような従来の問題
点を解決し、ウエハ収納キャリアの形状に応じて走行台
車の載置部や移載ロボットの把持部を変更する必要がな
く、画一的にウエハ収納キャリアを移載することができ
る移載装置を提供することにある。
点を解決し、ウエハ収納キャリアの形状に応じて走行台
車の載置部や移載ロボットの把持部を変更する必要がな
く、画一的にウエハ収納キャリアを移載することができ
る移載装置を提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明は、走行レールに沿って走行する走行台車に着
脱自在に設けられ、複数枚のウエハを収容したウエハ収
納キャリアが搭載されたパレットと、このパレットに係
合可能なハンド部を有し、走行台車と前記キャリアを保
管するストッカとの間で前記キャリアを前記パレットご
と移載する移載ロボットとを備え、この移載ロボットの
走行台車側におけるパレットの移載方向とストッカ側に
おけるパレットの移載方向とが異なる移載装置であっ
て、前記移載ロボットは、走行台車側とストッカ側とで
前記ハンド部の方向を変更する方向変更手段を備えてい
るとともに、この移載ロボットのハンド部は、走行台車
上でパレットとの係合を解除して前記キャリアをパレッ
トごと走行台車へ移載した状態において、そのパレット
とキャリアとの通過を許す形状に形成されている構成と
してある。
に本発明は、走行レールに沿って走行する走行台車に着
脱自在に設けられ、複数枚のウエハを収容したウエハ収
納キャリアが搭載されたパレットと、このパレットに係
合可能なハンド部を有し、走行台車と前記キャリアを保
管するストッカとの間で前記キャリアを前記パレットご
と移載する移載ロボットとを備え、この移載ロボットの
走行台車側におけるパレットの移載方向とストッカ側に
おけるパレットの移載方向とが異なる移載装置であっ
て、前記移載ロボットは、走行台車側とストッカ側とで
前記ハンド部の方向を変更する方向変更手段を備えてい
るとともに、この移載ロボットのハンド部は、走行台車
上でパレットとの係合を解除して前記キャリアをパレッ
トごと走行台車へ移載した状態において、そのパレット
とキャリアとの通過を許す形状に形成されている構成と
してある。
【０００７】
【作用効果】本発明は上記の構成としたので、次のよう
な作用効果を奏する。
な作用効果を奏する。
【０００８】すなわち、ウエハ収納キャリアは移載ロボ
ットにより、パレットに搭載されたままパレットごと走
行台車とストッカとの間で移載されることとなる。
ットにより、パレットに搭載されたままパレットごと走
行台車とストッカとの間で移載されることとなる。
【０００９】したがって、本発明の移載装置によれば、
ウエハの種類や形状によってウエハ収納キャリアの形状
が異なっていても、キャリアの形状に応じて走行台車の
載置部や移載ロボットの把持部を変更する必要がなく、
画一的にウエハ収納キャリアを移載することができると
いう効果がある。また、移載ロボットの走行台車側にお
けるパレットの移載方向とストッカ側におけるパレット
の移載方向とが異なっていても、移載ロボットは、走行
台車側とストッカ側とでハンド部の方向を変更する方向
変更手段を備えているので、走行台車の走行方向と、ス
トッカ側における移載方向とが異なっている場合でも、
比較的シンプルな構成で、走行台車とストッカ間での移
載を可能とすることができる。しかも、移載ロボットの
ハンド部は、走行台車上でパレットとの係合を解除して
キャリアをパレットごと走行台車へ移載した状態におい
て、そのパレットとキャリアとの通過を許す形状に形成
されているので、走行台車上へパレットが移載された後
すぐに、走行台車を走行レールのどちらの方向に対して
も発進させることができ、走行台車の効率の良い運用を
図ることができるという効果がある。すなわち、本発明
の移載装置によれば、走行台車の走行方向と、ストッカ
側における移載方向とが異なっている場合でも、比較的
シンプルな構成で、画一的にウエハ収納キャリアをパレ
ットごと移載することができ、しかも走行台車の効率の
良い運用を図ることができるという効果がある。
ウエハの種類や形状によってウエハ収納キャリアの形状
が異なっていても、キャリアの形状に応じて走行台車の
載置部や移載ロボットの把持部を変更する必要がなく、
画一的にウエハ収納キャリアを移載することができると
いう効果がある。また、移載ロボットの走行台車側にお
けるパレットの移載方向とストッカ側におけるパレット
の移載方向とが異なっていても、移載ロボットは、走行
台車側とストッカ側とでハンド部の方向を変更する方向
変更手段を備えているので、走行台車の走行方向と、ス
トッカ側における移載方向とが異なっている場合でも、
比較的シンプルな構成で、走行台車とストッカ間での移
載を可能とすることができる。しかも、移載ロボットの
ハンド部は、走行台車上でパレットとの係合を解除して
キャリアをパレットごと走行台車へ移載した状態におい
て、そのパレットとキャリアとの通過を許す形状に形成
されているので、走行台車上へパレットが移載された後
すぐに、走行台車を走行レールのどちらの方向に対して
も発進させることができ、走行台車の効率の良い運用を
図ることができるという効果がある。すなわち、本発明
の移載装置によれば、走行台車の走行方向と、ストッカ
側における移載方向とが異なっている場合でも、比較的
シンプルな構成で、画一的にウエハ収納キャリアをパレ
ットごと移載することができ、しかも走行台車の効率の
良い運用を図ることができるという効果がある。
【００１０】
【実施例】以下、図示の実施例について説明する。
【００１１】図１は本発明に係る移載装置の一実施例を
示す概略斜視図、図２は同じく移載ロボットを示す概略
斜視図、図３は図２の支持部のIII ーIII線概略断面
図、図４はハンド部とパレットとの係合状態を示す説明
図である。
示す概略斜視図、図２は同じく移載ロボットを示す概略
斜視図、図３は図２の支持部のIII ーIII線概略断面
図、図４はハンド部とパレットとの係合状態を示す説明
図である。
【００１２】これらの図面において、１は走行台車であ
り、建物の天井より吊設された走行レールＲに沿って走
行するようになっている。２はウエハ収納キャリア搭載
用のパレットであり、走行台車１の上部に着脱自在な構
造となっている。このパレット２上には、複数枚のウエ
ハを収容したウエハ収納キャリア３が走行台車１の走行
方向に２セット並べて搭載できるようになっている。パ
レット２の両側面部には、水平方向に張り出された係合
部４，４が形成されている。この係合部４，４は、後述
する移載ロボットのハンド部に係合するようになってい
る。
り、建物の天井より吊設された走行レールＲに沿って走
行するようになっている。２はウエハ収納キャリア搭載
用のパレットであり、走行台車１の上部に着脱自在な構
造となっている。このパレット２上には、複数枚のウエ
ハを収容したウエハ収納キャリア３が走行台車１の走行
方向に２セット並べて搭載できるようになっている。パ
レット２の両側面部には、水平方向に張り出された係合
部４，４が形成されている。この係合部４，４は、後述
する移載ロボットのハンド部に係合するようになってい
る。
【００１３】５は高クリーン度のストッカであり、前工
程からのウエハ収納キャリア３を図示しないモービルロ
ボットにより搬入し、走行台車１により次工程へ搬送さ
れるまで保管しておく。
程からのウエハ収納キャリア３を図示しないモービルロ
ボットにより搬入し、走行台車１により次工程へ搬送さ
れるまで保管しておく。
【００１４】６はストッカ５に設けられた移載ロボット
であり、走行台車１とストッカ５との間でパレット２を
移載するようになっている。７は移載ロボット６の支持
部であり、図３に示すように、支持部回動用のモータ８
の回転軸８ａに固定され、回転軸８ａによって回転駆動
されるようになっている。
であり、走行台車１とストッカ５との間でパレット２を
移載するようになっている。７は移載ロボット６の支持
部であり、図３に示すように、支持部回動用のモータ８
の回転軸８ａに固定され、回転軸８ａによって回転駆動
されるようになっている。
【００１５】９，１０はタイミングプーリであり、支持
部７内の回転軸８ａ回りに配置され、モータカバー８ｂ
の上部８ｃに固定されている。タイミングプーリ９，１
０の内側には、ベアリング１０ａが配置され、回転軸８
ａを支持している。
部７内の回転軸８ａ回りに配置され、モータカバー８ｂ
の上部８ｃに固定されている。タイミングプーリ９，１
０の内側には、ベアリング１０ａが配置され、回転軸８
ａを支持している。
【００１６】１１，１２は支持部７の両端近傍にそれぞ
れ回動自在に配置されたタイミングプーリであり、タイ
ミングベルト１３，１４を介してタイミングプーリ９，
１０に接続してある。したがって、支持部回動用のモー
タ８を作動させると、回転軸８ａが回動し、支持部７が
回動する。タイミングプーリ１１，１２は、タイミング
ベルト１３，１４を介してタイミングプーリ９，１０に
それぞれ接続されているので、支持部７が、例えば、図
中矢印Ａ方向に回動したときには、図中矢印Ｂ方向にそ
れぞれ回動することとなる。タイミングプーリ１１，１
２は、支持部７が１回転したときに、それぞれ１回転す
るようになっている。
れ回動自在に配置されたタイミングプーリであり、タイ
ミングベルト１３，１４を介してタイミングプーリ９，
１０に接続してある。したがって、支持部回動用のモー
タ８を作動させると、回転軸８ａが回動し、支持部７が
回動する。タイミングプーリ１１，１２は、タイミング
ベルト１３，１４を介してタイミングプーリ９，１０に
それぞれ接続されているので、支持部７が、例えば、図
中矢印Ａ方向に回動したときには、図中矢印Ｂ方向にそ
れぞれ回動することとなる。タイミングプーリ１１，１
２は、支持部７が１回転したときに、それぞれ１回転す
るようになっている。
【００１７】１５ａ，１５ｂは支持部７の両端部に設け
た一対のハンド部であり、タイミングプーリ１１，１２
の軸１１ａ，１２ａに固定され、プーリ１１，１２とそ
れぞれ一体的に回動するようになっている。一対のハン
ド部１５ａ，１５ｂは、図４に示すように側面視略Ｃ字
形状に形成されており、走行台車１上でパレット２との
係合を解除して走行台車１へキャリア３をパレット２ご
と移載した状態において、そのキャリア３とパレット２
との通過を許すようになっている。１５ｃ，１５ｃはハ
ンド部１５ａ，１５ｂの下端を内側に折り曲げて設けた
引掛部であり、パレット２の係合部４，４に係合する大
きさに形成されている。このような一対のハンド部１５
ａ，１５ｂは、図１に示すような向きで、支持部７の両
端部に取り付けられ、走行台車１側とストッカ５側とで
はハンド部の向きが９０度ずれた状態となっている。す
なわち、この実施例では、上記タイミングプーリ９，１
０，１１，１２およびタイミングベルト１３，１４でハ
ンド部１５ａ，１５ｂの方向を変更する方向変更手段が
構成されており、走行台車１側では、開口部１５ｄが走
行レールＲに沿って開口し、また、ストッカ５側では、
開口部１５ｄが出庫口５ａに向けて開口するようになっ
ている。
た一対のハンド部であり、タイミングプーリ１１，１２
の軸１１ａ，１２ａに固定され、プーリ１１，１２とそ
れぞれ一体的に回動するようになっている。一対のハン
ド部１５ａ，１５ｂは、図４に示すように側面視略Ｃ字
形状に形成されており、走行台車１上でパレット２との
係合を解除して走行台車１へキャリア３をパレット２ご
と移載した状態において、そのキャリア３とパレット２
との通過を許すようになっている。１５ｃ，１５ｃはハ
ンド部１５ａ，１５ｂの下端を内側に折り曲げて設けた
引掛部であり、パレット２の係合部４，４に係合する大
きさに形成されている。このような一対のハンド部１５
ａ，１５ｂは、図１に示すような向きで、支持部７の両
端部に取り付けられ、走行台車１側とストッカ５側とで
はハンド部の向きが９０度ずれた状態となっている。す
なわち、この実施例では、上記タイミングプーリ９，１
０，１１，１２およびタイミングベルト１３，１４でハ
ンド部１５ａ，１５ｂの方向を変更する方向変更手段が
構成されており、走行台車１側では、開口部１５ｄが走
行レールＲに沿って開口し、また、ストッカ５側では、
開口部１５ｄが出庫口５ａに向けて開口するようになっ
ている。
【００１８】１６は支持部７の支軸をなすスプライン軸
であり、基部１７に固定されたボールスプライン１８に
案内されて昇降動するようになっている。スプライン軸
１６の下端には、ナット１９が固定されており、ボール
ねじ２０と螺合するようになっている。ボールねじ２０
の下部には、タイミングプーリ２１が一体的に固定され
ている。２２は支持部昇降用のモータであり、タイミン
グプーリ２３、タイミングベルト２４を介してタイミン
グプーリ２１に接続してある。これにより、支持部昇降
用のモータ２２を作動させると、その回転方向に従って
スプライン軸１６が昇降動し、支持部７が昇降動するよ
うになっている。
であり、基部１７に固定されたボールスプライン１８に
案内されて昇降動するようになっている。スプライン軸
１６の下端には、ナット１９が固定されており、ボール
ねじ２０と螺合するようになっている。ボールねじ２０
の下部には、タイミングプーリ２１が一体的に固定され
ている。２２は支持部昇降用のモータであり、タイミン
グプーリ２３、タイミングベルト２４を介してタイミン
グプーリ２１に接続してある。これにより、支持部昇降
用のモータ２２を作動させると、その回転方向に従って
スプライン軸１６が昇降動し、支持部７が昇降動するよ
うになっている。
【００１９】なお、移載ロボットの作動は、制御部２５
により制御されるようになっている。また、ストッカ５
の出庫口５ａには、ストッカ５内の図示しないクレーン
によりパレットが出庫されてくるようになっている。
により制御されるようになっている。また、ストッカ５
の出庫口５ａには、ストッカ５内の図示しないクレーン
によりパレットが出庫されてくるようになっている。
【００２０】次に、以上のよう移載装置の動作につい
て、ストッカから走行台車へパレットを移載する場合を
例にとって説明する。
て、ストッカから走行台車へパレットを移載する場合を
例にとって説明する。
【００２１】走行台車１を移載ロボット側方の所定の位
置に待機させる。これとともに、ハンド部１５ｂをスト
ッカ５の出庫口５ａに待機させ、ストッカ５内の図示し
ないクレーンよりウエハ収納キャリア３が搭載されたパ
レット２を受け取る。その後、制御部２５により、支持
部昇降用のモータ２２を作動させて、支持部７を上昇さ
せる。これにより、ハンド部１５ｂの引掛部１５ｃ，１
５ｃがパレットの係合部４，４に引っ掛かり、パレット
２がハンド部１５ｂに受渡される。その後、制御部２５
により支持部回動用のモータ８を作動させて、支持部７
を回動させ、ハンド部１５ｂを走行台車１上に持ってく
る。
置に待機させる。これとともに、ハンド部１５ｂをスト
ッカ５の出庫口５ａに待機させ、ストッカ５内の図示し
ないクレーンよりウエハ収納キャリア３が搭載されたパ
レット２を受け取る。その後、制御部２５により、支持
部昇降用のモータ２２を作動させて、支持部７を上昇さ
せる。これにより、ハンド部１５ｂの引掛部１５ｃ，１
５ｃがパレットの係合部４，４に引っ掛かり、パレット
２がハンド部１５ｂに受渡される。その後、制御部２５
により支持部回動用のモータ８を作動させて、支持部７
を回動させ、ハンド部１５ｂを走行台車１上に持ってく
る。
【００２２】その後、制御部２５により支持部昇降用の
モータ２２を作動させて、支持部７を下降させる。する
と、ハンド部１５ｂのパレット２が走行台車１上に載置
され、ハンド部の引掛部１５ｃ，１５ｃとパレットの係
合部４，４との引っ掛かりが解除される。これにより、
ウエハ収納キャリア３はパレット２ごと走行台車１に移
載されることとなる。その後、走行台車１を図示しない
軌道装置により走行させてパレットを搬送する。
モータ２２を作動させて、支持部７を下降させる。する
と、ハンド部１５ｂのパレット２が走行台車１上に載置
され、ハンド部の引掛部１５ｃ，１５ｃとパレットの係
合部４，４との引っ掛かりが解除される。これにより、
ウエハ収納キャリア３はパレット２ごと走行台車１に移
載されることとなる。その後、走行台車１を図示しない
軌道装置により走行させてパレットを搬送する。
【００２３】このように本実施例の移載装置によれば、
ウエハ収納キャリア３はパレット２に搭載されたままパ
レット２ごと移載されるようになっているので、ウエハ
の種類や形状によってウエハ収納キャリア３の形状が異
なっていても、ウエハ収納キャリア３の形状に応じて走
行台車１の載置部や移載ロボットのハンド部１５ａ，１
５ｂを変更する必要がなく、画一的にウエハ収納キャリ
ア３を移載することができる。また、移載ロボット６の
走行台車１側におけるパレット２の移載方向とストッカ
６側におけるパレット２の移載方向とが異なっていて
も、移載ロボット６は、走行台車１側とストッカ５側と
でハンド部１５ａ，１５ｂの方向を変更する方向変更手
段を備えているので、走行台車１の走行方向と、ストッ
カ５側における移載方向とが異なっている場合でも、比
較的シンプルな構成で、走行台車１とストッカ５間での
移載が可能である。さらに、ハンド部１５ａ，１５ｂ
は、側面視略Ｃ字形状に形成されており、走行台車１上
でパレット２との係台を解除して走行台車１へキャリア
３をパレット２ごと移載した状態において、そのキャリ
ア３とパレット２との通過を許すようになっているの
で、走行台車１へパレット２が移載された後すぐに、走
行台車１を走行レールのどちらの方向に対しても発進さ
せることができ、走行台車１の効率の良い運用を図るこ
とができる。すなわち、この移載装置によれば、走行台
車１の走行方向と、ストッカ５側における移載方向とが
異なっている場合でも、比較的シンプルな構成で、画一
的にウエハ収納キャリア３をパレット２ごと移載するこ
とができ、しかも走行台車１の効率の良い運用を図るこ
とができるという効果がある。
ウエハ収納キャリア３はパレット２に搭載されたままパ
レット２ごと移載されるようになっているので、ウエハ
の種類や形状によってウエハ収納キャリア３の形状が異
なっていても、ウエハ収納キャリア３の形状に応じて走
行台車１の載置部や移載ロボットのハンド部１５ａ，１
５ｂを変更する必要がなく、画一的にウエハ収納キャリ
ア３を移載することができる。また、移載ロボット６の
走行台車１側におけるパレット２の移載方向とストッカ
６側におけるパレット２の移載方向とが異なっていて
も、移載ロボット６は、走行台車１側とストッカ５側と
でハンド部１５ａ，１５ｂの方向を変更する方向変更手
段を備えているので、走行台車１の走行方向と、ストッ
カ５側における移載方向とが異なっている場合でも、比
較的シンプルな構成で、走行台車１とストッカ５間での
移載が可能である。さらに、ハンド部１５ａ，１５ｂ
は、側面視略Ｃ字形状に形成されており、走行台車１上
でパレット２との係台を解除して走行台車１へキャリア
３をパレット２ごと移載した状態において、そのキャリ
ア３とパレット２との通過を許すようになっているの
で、走行台車１へパレット２が移載された後すぐに、走
行台車１を走行レールのどちらの方向に対しても発進さ
せることができ、走行台車１の効率の良い運用を図るこ
とができる。すなわち、この移載装置によれば、走行台
車１の走行方向と、ストッカ５側における移載方向とが
異なっている場合でも、比較的シンプルな構成で、画一
的にウエハ収納キャリア３をパレット２ごと移載するこ
とができ、しかも走行台車１の効率の良い運用を図るこ
とができるという効果がある。
【００２４】以上本発明の実施例について説明したが、
本発明は上記実施例に限定されるものではなく、本発明
の要旨の範囲内において適宜変形実施可能である。
本発明は上記実施例に限定されるものではなく、本発明
の要旨の範囲内において適宜変形実施可能である。
【図１】本発明に係る移載装置の一実施例を示す概略斜
視図。
視図。
【図２】移載ロボットを示す概略斜視図。
【図３】図３は図２のIII ー III線概略断面図。
【図４】ハンド部とパレットとの係合状態を示す説明図
である。
である。
１ 走行台車 ２ パレット ３ ウエハ収納キャリア ５ ストッカ ６ 移載ロボット Ｒ 走行レール
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｈ０１Ｌ 21/68 Ｈ０１Ｌ 21/68 Ａ
Claims (1)
- 【請求項１】 走行レールに沿って走行する走行台車に
着脱自在に設けられ、複数枚のウエハを収容したウエハ
収納キャリアが搭載されたパレットと、このパレットに
係合可能なハンド部を有し、走行台車と前記キャリアを
保管するストッカとの間で前記キャリアを前記パレット
ごと移載する移載ロボットとを備え、この移載ロボット
の走行台車側におけるパレットの移載方向とストッカ側
におけるパレットの移載方向とが異なる移載装置であっ
て、前記移載ロボットは、走行台車側とストッカ側とで
前記ハンド部の方向を変更する方向変更手段を備えてい
るとともに、この移載ロボットのハンド部は、走行台車
上でパレットとの係合を解除して前記キャリアをパレッ
トごと走行台車へ移載した状態において、そのパレット
とキャリアとの通過を許す形状に形成されていることを
特徴とする移載装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3175799A JP2525297B2 (ja) | 1991-06-21 | 1991-06-21 | 移載装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3175799A JP2525297B2 (ja) | 1991-06-21 | 1991-06-21 | 移載装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05708A JPH05708A (ja) | 1993-01-08 |
| JP2525297B2 true JP2525297B2 (ja) | 1996-08-14 |
Family
ID=16002455
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3175799A Expired - Lifetime JP2525297B2 (ja) | 1991-06-21 | 1991-06-21 | 移載装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2525297B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6435330B1 (en) * | 1998-12-18 | 2002-08-20 | Asyai Technologies, Inc. | In/out load port transfer mechanism |
| US7611318B2 (en) * | 2003-01-27 | 2009-11-03 | Applied Materials, Inc. | Overhead transfer flange and support for suspending a substrate carrier |
| JP4807424B2 (ja) | 2009-03-17 | 2011-11-02 | 村田機械株式会社 | 天井搬送システムと物品の移載方法 |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0000822B1 (en) * | 1977-08-13 | 1981-11-11 | GKN Group Services Limited | Axle assembly for a road vehicle |
| JPH0318405Y2 (ja) * | 1986-09-02 | 1991-04-18 | ||
| JPH01149310U (ja) * | 1988-04-07 | 1989-10-16 |
-
1991
- 1991-06-21 JP JP3175799A patent/JP2525297B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH05708A (ja) | 1993-01-08 |
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