JP2524971Y2 - 絵柄面積率測定装置 - Google Patents

絵柄面積率測定装置

Info

Publication number
JP2524971Y2
JP2524971Y2 JP1989060402U JP6040289U JP2524971Y2 JP 2524971 Y2 JP2524971 Y2 JP 2524971Y2 JP 1989060402 U JP1989060402 U JP 1989060402U JP 6040289 U JP6040289 U JP 6040289U JP 2524971 Y2 JP2524971 Y2 JP 2524971Y2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
value
converter
measured
output voltage
area ratio
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
JP1989060402U
Other languages
English (en)
Other versions
JPH02150505U (ja
Inventor
文雄 静谷
Original Assignee
株式会社 小森コーポレーション
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 株式会社 小森コーポレーション filed Critical 株式会社 小森コーポレーション
Priority to JP1989060402U priority Critical patent/JP2524971Y2/ja
Priority to US07/528,766 priority patent/US5096299A/en
Priority to DE90110015T priority patent/DE69003869T2/de
Priority to EP90110015A priority patent/EP0399562B1/en
Priority to AT90110015T priority patent/ATE95918T1/de
Publication of JPH02150505U publication Critical patent/JPH02150505U/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP2524971Y2 publication Critical patent/JP2524971Y2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/28Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring areas
    • G01B11/285Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring areas using photoelectric detection means

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
  • Inking, Control Or Cleaning Of Printing Machines (AREA)
  • Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
  • Photometry And Measurement Of Optical Pulse Characteristics (AREA)
  • Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)

Description

【考案の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本考案は、被測定平版に描かれた絵柄の面積率を測定
する絵柄面積率測定装置に関するものである。
〔従来の技術〕
従来より、この種の絵柄面積率測定装置においては、
並設配置された複数の光源を備え、これら光源からの光
を被測定平版へ照射し、そこからの反射光に応じた出力
電圧値に基づいて被測定平版に描かれた絵柄の面積率を
測定するようにしている。
第7図(a)および(b)は従来より用いられている
絵柄面積率測定装置の構造を示す側面図および正面図で
ある。同図において、1は被測定平版、2−1〜2−n
はこの被測定平版1の幅方向に対して数センチ間隔で並
設配置された光源(ハロゲンランプ)、3はCCDカメラ
である。
このように構成された絵柄面積率測定装置において、
ハロゲンランプ2-1〜2-nからの光は被測定平版1に照射
され、そこからの反射光がCCDカメラ3に入る。そし
て、その入力反射光に応じたCCDカメラ3からの出力電
圧値に基づき、被測定平版1に描かれた絵柄の面積率が
測定される。
〔考案が解決しようとする課題〕
しかしながら、このような従来の絵柄面積率測定装置
によると、被測定平版1がPS版(プレ・センシタイズプ
レート)である場合には、支障なく絵柄面積率の測定が
可能であるが、被測定平版1を水なし平版とした場合に
は、測定絵柄面積率が不正確となる問題があった。
すなわち、PS版の表面は砂目状になっているため、そ
の表面で光が乱反射して平均化され、この平均化された
光が反射光としてCCDカメラ3へ入る。このため、PS版
の場合にあっては、絵柄面積率が正確に測定される。し
かし、水なし平版の場合には、その表面が鏡面状となっ
ているため、反射率がPS版に比して極めて高くなる。
このため、ハロゲンランプ2-1〜2-nの光軸線L1〜Ln
の交点を中心とする部分からの反射光が強くなり、第8
図に示すように、この部分におけるCCDカメラ3の出力
電圧値が上限電圧値VUPを超えてしまい、絵柄面積率が
実際の絵柄面積率に対して異なって測定されてしまう。
また、版全体としての反射率が高いが故に、PS版の絵柄
面積率を測定する場合に比してCCDカメラ3の出力電圧
値が全体的に高いものとなり、その推移範囲がPS版の絵
柄面積率を測定すべく調整された測定レンジからはずれ
てしまい、絵柄面積率の測定値に誤差が生じてしまう。
第9図(a)にPS版の絵柄面積率測定に際してのCCD
カメラ3の出力電圧値を例示する。この場合、図示Lで
示される測定レンジ内で、CCDカメラ3の出力電圧値が
推移する。しかし、同一絵柄であっても、水なし平版の
場合には、同図(b)に示されるように、CCDカメラ3
の出力電圧値が全体的に上昇し、測定レンジLからはず
れてしまう。また、このとき、ハロゲンランプの光軸線
との交点を中心とする版面からの強い反射光により、そ
の部分におけるCCDカメラ3の出力電圧値が突出して大
きくなる。
〔課題を解決するための手段〕
本考案はこのような課題を解決するためになされたも
ので、光源から照射される光の被測定平版からの反射光
を捉える検出器と、この検出器からの反射光に応じた出
力電圧を増幅する増幅手段と、この増幅手段により増幅
された出力電圧をデジタル値に変換するA/D変換手段と
を備え、このA/D変換手段により変換されたデジタル値
に基づいて前記被測定平版に描かれた絵柄の面積率を測
定する絵柄面積率測定装置であって、光源の前面に配置
され被測定平版への照射光を乱反射させて通過せしめる
拡散手段と、絵柄面積の測定開始に際し、被測定平版の
黒レベルからの反射光に応じてA/D変換手段より供与さ
れるデジタル値に基づき、このときのA/D変換手段へ与
えられる出力電圧の値を黒レベル電圧値Va′として求
め、この黒レベル電圧値Va′より第1のフィードバック
値を求める一方、被測定平版の白レベルからの反射光に
応じてA/D変換手段より供与されるデジタル値に基づ
き、このときのA/D変換手段へ与えられる出力電圧の値
を白レベル電圧値Vb′として求め、この白レベル電圧値
Vb′より第2のフィードバック値を求める処理手段と、
この処理手段からの第1のフィードバック値をアナログ
値に変換する第1のD/A変換手段と、処理手段からの第
2のフィードバック値をアナログ値に変換する第2のD/
A変換手段と、A/D変換手段へ与えられる出力電圧の値か
ら第1のD/A変換手段からの第1のフィードバック値を
差し引き、被測定平版の黒レベルからの反射光に応じて
A/D変換手段へ与えられる出力電圧の値を所定値Vaに合
わせ込むオフセット調整を行う一方、A/D変換手段へ与
えられる出力電圧の値に第2のD/A変換手段からの第2
のフィードバック値を乗じて、被測定平版の白レベルか
らの反射光に応じてA/D変換手段へ与えられる出力電圧
の値を所定値Vbに合わせ込むゲイン調整を行う調整手段
とを設け、被測定平版としてPS版および水なし平版の両
方に対しその絵柄面積率の測定を兼用して行うようにし
たものである。
〔作用〕
したがってこの考案によれば、拡散手段を通過して乱
反射せしめられた光源からの光が被測定平版へ照射さ
れ、そこからの反射光に応じた電圧値を所定値VaとVbと
の間で推移させることができるようになる。
〔実施例〕
以下、本考案に係る絵柄面積率測定装置を詳細に説明
する。
第1図(a)および(b)はこの絵柄面積率測定装置
の一実施例を示す側面図および正面図である。同図にお
いて、4はハロゲンランプ2-1〜2-nの前面に配置された
拡散板であり、この拡散板4は半透明材により形成され
ている。第2図はCCDカメラ3からの出力電圧を入力と
する処理回路を示すブロック構成図であり、マイクロプ
ロセッサ等を用いた制御部としてのCPU5,I/Oポート6,メ
モリ7,A/Dコンバータ8、黒レベル用D/Aコンバータ9,白
レベル用D/Aコンバータ10,調整器11および増幅器12によ
り構成されている。すなわち、CCDカメラ3からの出力
電圧(アナログ値)が、増幅器12を介し調整器11を経て
A/Dコンバータ8へ供与され、この供与電圧がA/Dコンバ
ータ8にてデジタル値に変換され、CPU5へ与えられるも
のとなっている。そして、このA/Dコンバータ8からの
供与デジタル変換値に基づき、CPU5が被測定平版1の絵
柄面積率を算出するものとなっている。ここで、CPU5
は、後述する水なし平版上の黒レベルの測定に際して供
与されるデジタル変換値に基づき、このときのA/Dコン
バータ8への供与電圧を所定値Vaに合わせ込むように、
黒レベル用D/Aコンバータ9へフィードバック値(デジ
タル値)を与えたうえ、また、後述する水なし平版上の
白レベルの測定に際して供与されるデジタル変換値に基
づき、このときのA/Dコンバータ8への供与電圧を所定
値Vbに合わせ込むように、白レベル用D/Aコンバータ10
へフィードバック値(デジタル値)を与えたうえ、絵柄
面積率の測定を実行する。
このように構成された絵柄面積率測定装置において、
ハロゲンランプ2-1〜2-nからの光は、拡散板4を通過し
て被測定平版1へ照射され、そこからの反射光がCCDカ
メラ3に入る。すなわち、拡散板4を通過することによ
って、ハロゲンランプ2-1〜2-nからの光が乱反射して平
均化され、被測定平版1に照射されるものとなる。ここ
で、被測定平版1を水なし平版とした場合、拡散板4を
通過することにより乱反射し平均化された光がその表面
に照射されるので、ハロゲンランプ2-1〜2-nの光軸線L1
〜Lnとの交点を中心とする部分からの反射光が強くなる
ということが解消される。このため、第3図に示すよう
に、CCDカメラ3の出力電圧値がその上限電圧値VUP以下
の領域で推移するようになる。
また、被測定平版1を水なし平版とする場合、この水
なし平版1の縁面に黒レベル1−1を付し(第4図)、
絵柄面積率の測定開始に際し、この黒レベル1−1から
の反射光が先ず最初にCCDカメラ3へ入るものとする。
この黒レベル1−1は水なし平版1に描かれた絵柄1−
2内の最も暗い部分として定める。したがって、第2図
に示した処理回路において、その絵柄面積率の測定が開
始されると、先ず最初に黒レベル1−1からの反射光に
応じた出力電圧が増幅器12を介し調整器11を経てA/Dコ
ンバータ8へ与えられ、この供与電圧がA/Dコンバータ
8にてデジタル値に変換されてCPU5へ与えられる。ここ
で、CPU5は、この供与されるデジタル変換値(黒レベル
値)に基づき、このときのA/Dコンバータ8への供与電
圧を黒レベル電圧値Va′として求める(第5図に示すス
テップ501)。次に、水なし平版1の移動に伴い、黒レ
ベル1−1と絵柄1−2との間の余白部1−3からの反
射光がCCDカメラ3へ入る。本実施例においては、この
余白部1−3を白レベルとしており、この白レベル1−
3が絵柄1−2内の最も明るい部分に対応する。そし
て、この白レベル1−3からの反射光に応じた出力電圧
値が増幅器12を介し調整器11を経てA/Dコンバータ8へ
与えられ、この供与電圧がA/Dコンバータ8にてデジタ
ル値に変換されてCPU5へ与えられる。ここで、CPU5はこ
の供与されるデジタル変換値(白レベル値)に基づき、
このときのA/Dコンバータ8への供与電圧を白レベル電
圧値Vb′として求める(ステップ502)。而して、CPU5
は、その黒レベル電圧値Va′および白レベル電圧値Vb′
を所定値VaおよびVbに合わせ込むように、黒レベル用D/
Aコンバータ9および白レベル用D/Aコンバータ10へフィ
ードバック値を与えたうえ(ステップ503)、絵柄面積
率の測定を実行する(ステップ504)。
ここで、黒レベル電圧値Va′に対しての所定値Vaおよ
び白レベル電圧値Vb′に対しての所定値Vbは、第9図に
おいてその出力電圧値をA/Dコンバータ8への供与電圧
値として考えた場合、その測定レンジL内で供与電圧値
を推移させるための下限値および上限値として定められ
る。そして、黒レベル用D/Aコンバータ9を介する調整
器11へのフィードバック値(第1のフィードバック値)
が供与電圧値のオフセット調整を図るものとして、ま
た、白レベル用D/Aコンバータ10を介する調整器11への
フィードバック値(第2のフィードバック値)が供与電
圧値のゲイン調整を図るものとして与えられる。
第6図は、絵柄面積率測定に際してのA/Dコンバータ
8への供与電圧値を第9図(b)に対応して例示したも
のである。すなわち、第9図(b)においてその出力電
圧値をA/Dコンバータ8への供与電圧値として考える
と、本実施例において拡散板4,黒レベル用D/Aコンバー
タ9および白レベル用D/Aコンバータ10を設けない場
合、この供与電圧値がA/Dコンバータ8へ与えられる。
しかし、本実施例においては、拡散板4を通過すること
により乱反射し平均化された光が水なし平版1の表面に
照射されるので、ハロゲンランプの光軸線との交点を中
心とする部分からの反射光が強くなるということが解消
され、A/Dコンバータ8への供与電圧値が突出して大き
くなるということが避けられる。また、黒レベル用D/A
コンバータ9および白レベル用D/Aコンバータ10を介し
て第1のフィードバック値および第2のフィードバック
値が調整器11へ与えられるので、A/Dコンバータ8へ与
えられる出力電圧の値から第1のフィードバック値が差
し引かれてA/Dコンバータ8への供与電圧値のオフセッ
ト調整が図られる一方、A/Dコンバータ8へ与えられる
出力電圧の値に第2のフィードバック値が乗じられてA/
Dコンバータ8への供与電圧値のゲイン調整が図られ、
該供与電圧値が測定レンジL内にて推移するものとな
り、このA/Dコンバータ8への供与電圧値に基づき、正
確な絵柄面積率の測定が行われるものとなる。つまり、
拡散板4を適切に選定することによって、また黒レベル
電圧値Va′に対しての所定値Vaおよび白レベル電圧値V
b′に対しての所定値Vbを適当に定めることによって、
水なし平版とPS版との絵柄面積率の測定を同程度の精度
で兼用して行うことが可能となる。
〔考案の効果〕
以上説明したように本考案による絵柄面積率測定装置
によると、拡散手段を通過して乱反射せしめられた光源
からの光が被測定平版へ照射され、そこからの反射光に
応じた電圧値を所定値VaとVbとの間で推移させることが
できるようになり、上記拡散手段を適切に選定すること
によって、また上記所定値Va,Vbを適当に設定すること
によって、水なし平版とPS版との絵柄面積率の測定を同
程度の精度で兼用して行うことが可能となる。
【図面の簡単な説明】
第1図(a)および(b)は本考案に係る絵柄面積率測
定装置の一実施例を示す側面図および正面図、第2図は
この絵柄面積率測定装置におけるCCDカメラからの出力
電圧を入力とする処理回路を示すブロック構成図、第3
図はこの絵柄面積率測定装置において被測定平版を水な
し平版とした際に得られるCCDカメラからの出力電圧値
を示す図、第4図は水なし平版の縁面に付した黒レベル
を示す平面図、第5図はこの絵柄面積率測定装置の動作
を説明するフローチャート、第6図は絵柄面積率測定に
際してのA/Dコンバータへの供与電圧値を第9図(b)
に対応して例示した図、第7図(a)および(b)は従
来の絵柄面積率測定装置の構造を示す側面図および正面
図、第8図はこの絵柄面積率測定装置において被測定平
版を水なし平版とした際に得られるCCDカメラからの出
力電圧値を示す図、第9図(a)および(b)はPS版お
よび水なし平版の絵柄面積率測定に際してのCCDカメラ
の出力電圧値を例示する図である。 1……被測定平版、2-1〜2-n……ハロゲンランプ(光
源)、3……CCDカメラ、4……拡散板、5……CPU、8
……A/Dコンバータ、9……黒レベル用D/Aコンバータ、
10……白レベル用D/Aコンバータ、11……調整器、1−
1……黒レベル、1−3……白レベル。

Claims (1)

    (57)【実用新案登録請求の範囲】
  1. 【請求項1】光源から照射される光の被測定平版からの
    反射光を捉える検出器と、この検出器からの前記反射光
    に応じた出力電圧を増幅する増幅手段と、この増幅手段
    により増幅された出力電圧をデジタル値に変換するA/D
    変換手段とを備え、このA/D変換手段により変換された
    デジタル値に基づいて前記被測定平版に描かれた絵柄の
    面積率を測定する絵柄面積率測定装置であって、 前記光源の前面に配置され前記被測定平版への照射光を
    乱反射させて通過せしめる拡散手段と、 前記絵柄面積の測定開始に際し、前記被測定平版の黒レ
    ベルからの前記反射光に応じて前記A/D変換手段より供
    与されるデジタル値に基づき、このときの前記A/D変換
    手段へ与えられる出力電圧の値を黒レベル電圧値Va′と
    して求め、この黒レベル電圧値Va′より第1のフィード
    バック値を求める一方、前記被測定平版の白レベルから
    の前記反射光に応じて前記A/D変換手段より供与される
    デジタル値に基づき、このときの前記A/D変換手段へ与
    えられる出力電圧の値を白レベル電圧値Vb′として求
    め、この白レベル電圧値Vb′より第2のフィードバック
    値を求める処理手段と、 この処理手段からの第1のフィードバック値をアナログ
    値に変換する第1のD/A変換手段と、 前記処理手段からの第2のフィードバック値をアナログ
    値に変換する第2のD/A変換手段と、 前記A/D変換手段へ与えられる出力電圧の値から前記第
    1のD/A変換手段からの第1のフィードバック値を差し
    引き、前記被測定平版の黒レベルからの前記反射光に応
    じて前記A/D変換手段へ与えられる出力電圧の値を所定
    値Vaに合わせ込むオフセット調整を行う一方、前記A/D
    変換手段へ与えられる出力電圧の値に前記第2のD/A変
    換手段からの第2のフィードバック値を乗じて、前記被
    測定平版の白レベルからの前記反射光に応じて前記A/D
    変換手段へ与えられる出力電圧の値を所定値Vbに合わせ
    込むゲイン調整を行う調整手段とを備え、 前記被測定平版としてプレ・センシタイズドプレート
    (PS版)および水なし平版の両方に対しその絵柄面積率
    の測定を兼用して行うことのできる絵柄面積率測定装
    置。
JP1989060402U 1989-05-26 1989-05-26 絵柄面積率測定装置 Expired - Lifetime JP2524971Y2 (ja)

Priority Applications (5)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP1989060402U JP2524971Y2 (ja) 1989-05-26 1989-05-26 絵柄面積率測定装置
US07/528,766 US5096299A (en) 1989-05-26 1990-05-24 Pattern area ratio measuring apparatus
DE90110015T DE69003869T2 (de) 1989-05-26 1990-05-26 Gerät zur Messung des Flächenverhältnisses eines Musters auf einer zu bedruckenden Oberfläche.
EP90110015A EP0399562B1 (en) 1989-05-26 1990-05-26 Pattern area ratio measuring apparatus
AT90110015T ATE95918T1 (de) 1989-05-26 1990-05-26 Geraet zur messung des flaechenverhaeltnisses eines musters auf einer zu bedruckenden oberflaeche.

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP1989060402U JP2524971Y2 (ja) 1989-05-26 1989-05-26 絵柄面積率測定装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH02150505U JPH02150505U (ja) 1990-12-26
JP2524971Y2 true JP2524971Y2 (ja) 1997-02-05

Family

ID=13141140

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP1989060402U Expired - Lifetime JP2524971Y2 (ja) 1989-05-26 1989-05-26 絵柄面積率測定装置

Country Status (5)

Country Link
US (1) US5096299A (ja)
EP (1) EP0399562B1 (ja)
JP (1) JP2524971Y2 (ja)
AT (1) ATE95918T1 (ja)
DE (1) DE69003869T2 (ja)

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5357335A (en) * 1993-03-31 1994-10-18 Minnesota Mining And Manufacturing Company Optical detection device for screening magnetic tape
ES2323206B1 (es) * 2006-10-16 2010-04-21 Universidad De Cordoba Procedimiento de calibracion absoluta en intensidad de un dispositivo optico.
TWI393854B (zh) * 2008-09-01 2013-04-21 Univ Ishou The method of the optical system to measure the actual contact area of ​​the

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2720812A (en) * 1952-09-30 1955-10-18 Middleton William Edga Knowles Instrument for measuring distinctness of image gloss
US3609044A (en) * 1969-07-01 1971-09-28 Eastman Kodak Co Apparatus for selectively inspecting a web surface and a coating on the surface
US3792268A (en) * 1972-01-06 1974-02-12 Ibm Document scanner having optical diffusion means
US3891797A (en) * 1973-12-26 1975-06-24 Mc Donnell Douglas Corp Plating area measuring system
US4406545A (en) * 1981-05-07 1983-09-27 Western Electric Company, Inc. Methods of and apparatus for measuring surface areas
US4512662A (en) * 1981-07-06 1985-04-23 Tobias Philip E Plate scanner for printing plates
DE3309443A1 (de) * 1982-05-29 1983-12-08 Heidelberger Druckmaschinen Ag, 6900 Heidelberg Verfahren zur ermittlung der flaechendeckung einer druckvorlage oder druckplatte fuer druckmaschinen
JPS59160709A (ja) * 1983-03-03 1984-09-11 Komori Printing Mach Co Ltd 印刷版の絵柄面積測定方法
JPS60238834A (ja) * 1984-05-11 1985-11-27 Asahi Shinbunsha:Kk 画線比率測定装置
JPS63221207A (ja) * 1987-03-10 1988-09-14 Ricoh Co Ltd 干渉測定装置における光電変換方法

Also Published As

Publication number Publication date
DE69003869D1 (de) 1993-11-18
EP0399562A2 (en) 1990-11-28
US5096299A (en) 1992-03-17
EP0399562A3 (en) 1991-05-29
EP0399562B1 (en) 1993-10-13
DE69003869T2 (de) 1994-05-05
ATE95918T1 (de) 1993-10-15
JPH02150505U (ja) 1990-12-26

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2729058B2 (ja) 半導体装置の露光装置
JP2524971Y2 (ja) 絵柄面積率測定装置
JPH07220989A (ja) 露光装置及びこれを用いたデバイス製造方法
JPH0562876A (ja) 露光装置
JPS5983165A (ja) 照明光源装置
JP3645389B2 (ja) 光源位置調整方法および光源装置
JPH0418454B2 (ja)
JPH0652699B2 (ja) 露光装置
JPS6015626A (ja) オ−トストロボ装置
JPH0416424Y2 (ja)
JP2566453B2 (ja) 絵柄面積率測定装置
JPS5838822A (ja) リングフイ−ルドプロジエクシヨン装置における照度の均一性を測定する装置
JPH02266755A (ja) 画像読取装置
JPH036011A (ja) 半導体装置製造用ウェーハ露光装置
JPH082998Y2 (ja) レーザ光露光装置の露光位置算出装置
JP2580678B2 (ja) 光量検出装置
JPS60186828A (ja) 複写機の露光ランプ制御装置
JPS623609A (ja) 測距装置
JP2556035B2 (ja) 投影光学装置
JPS6384025A (ja) 縮小投影露光装置
JPH10284386A (ja) 露光装置及び照度分布計測方法
JPH04225112A (ja) 測距装置
JPS6452161A (en) Exposure measuring method and apparatus
JPS6193626A (ja) 2値化回路
JPH0515419U (ja) 半導体製造装置

Legal Events

Date Code Title Description
EXPY Cancellation because of completion of term