JP2519030B2 - 光電変換装置 - Google Patents
光電変換装置Info
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L27/00—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
- H01L27/14—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation
- H01L27/144—Devices controlled by radiation
- H01L27/146—Imager structures
- H01L27/14665—Imagers using a photoconductor layer
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Description
【発明の詳細な説明】 《産業上の利用分野》 本発明は、複写機やファクシミリ，画像ファイリング
システム等において、原稿面上に画像読取りに用いられ
る光電変換装置に関するものである。
システム等において、原稿面上に画像読取りに用いられ
る光電変換装置に関するものである。
《発明の概要》 本発明は、光電変換部と配線導体層とが形成される透
明部材基板の基板表面上に第１の黒色絶縁膜を形成した
後、前記光電変換部及び前記配線導体層を形成し、前記
光電変換部の光信号の入射するスリット部及び配線導体
層の外部との接続部を除く表面上に、第２の黒色絶縁膜
を形成する事により、光電変換部への反射による雑音光
及び不要な光電変換によるノイズを低減させるととも
に、前記スリット部に透明絶縁層を形成する事により信
頼性を向上させる事を特徴とする光電変換装置を得る事
である。
明部材基板の基板表面上に第１の黒色絶縁膜を形成した
後、前記光電変換部及び前記配線導体層を形成し、前記
光電変換部の光信号の入射するスリット部及び配線導体
層の外部との接続部を除く表面上に、第２の黒色絶縁膜
を形成する事により、光電変換部への反射による雑音光
及び不要な光電変換によるノイズを低減させるととも
に、前記スリット部に透明絶縁層を形成する事により信
頼性を向上させる事を特徴とする光電変換装置を得る事
である。
《従来の技術》 従来、複写機やファクシミリ等における原稿面上の画
像読取りにおいて、第２図に示すような縮小レンズ系と
CCDやMOS等のイメージセンサの組合せが多用されてき
た。これは、原稿21を蛍光灯等の光源22で照明し、その
反射光を縮小レンズ系23によりCCDやMOS等のイメージセ
ンサ24上に縮小結像するようにしたものである。
像読取りにおいて、第２図に示すような縮小レンズ系と
CCDやMOS等のイメージセンサの組合せが多用されてき
た。これは、原稿21を蛍光灯等の光源22で照明し、その
反射光を縮小レンズ系23によりCCDやMOS等のイメージセ
ンサ24上に縮小結像するようにしたものである。
又、最近では密着型イメージセンサの開発が進められ
ている（参考文献特開昭57-49263,58-84457,59-80964号
公報）。これは、集束性ロッドレンズアレイ等を用いて
原稿面上の画像を、1:1の大きさで読取る原稿面幅と等
しいイメージセンサ上に結像したものである。第３図
（ａ），（ｂ）に代表例を示す。これは、アルミナやガ
ラス等の平坦な基板34上に直線上に個別電極35が配列さ
れ、この電極を覆うように光電変換層36が形成され、さ
らに光電変換層36上に透光性電極37が形成された構造を
とる。又、個別電極35及び透光性電極37はそれぞれ配線
導体層35′,37′に電気的に接続している。
ている（参考文献特開昭57-49263,58-84457,59-80964号
公報）。これは、集束性ロッドレンズアレイ等を用いて
原稿面上の画像を、1:1の大きさで読取る原稿面幅と等
しいイメージセンサ上に結像したものである。第３図
（ａ），（ｂ）に代表例を示す。これは、アルミナやガ
ラス等の平坦な基板34上に直線上に個別電極35が配列さ
れ、この電極を覆うように光電変換層36が形成され、さ
らに光電変換層36上に透光性電極37が形成された構造を
とる。又、個別電極35及び透光性電極37はそれぞれ配線
導体層35′,37′に電気的に接続している。
《発明が解決しようとする問題点》 縮小レンズ系とCCDやMOS等のイメージセンサを用いた
場合、原稿21からイメージセンサ24までの光路長が大き
く装置の小型化に限界があった。又、縮小レンズ系23を
用いるので原稿周辺部での解像度が低くなったり光量が
少なくなる等の欠点を有していた。
場合、原稿21からイメージセンサ24までの光路長が大き
く装置の小型化に限界があった。又、縮小レンズ系23を
用いるので原稿周辺部での解像度が低くなったり光量が
少なくなる等の欠点を有していた。
一方、従来の密着イメージセンサを用いた場合、基板
表面等で反射が起り雑音光が入射してしまい読取り原稿
の鮮鋭度（コントラスト）が低下してしまう欠点を有し
ていた。特にガラス等の透明基板の場合、原稿面の反対
側からも雑音光が入射してしまう。さらに、光電変換層
36と透光性電極37の重なり部を正確に形成するのが難し
く、本来光電変換を期待されていない個別電極35の引出
し部である配線導体層35,光電変換層36,透光性電極37と
の不要な重なり部38が生じ、この部分も光電変換してし
まう。このためノイズが生じてしまうという欠点を有し
ていた。又、透光性電極37が直接空気接触しているた
め、信頼性上問題があった。
表面等で反射が起り雑音光が入射してしまい読取り原稿
の鮮鋭度（コントラスト）が低下してしまう欠点を有し
ていた。特にガラス等の透明基板の場合、原稿面の反対
側からも雑音光が入射してしまう。さらに、光電変換層
36と透光性電極37の重なり部を正確に形成するのが難し
く、本来光電変換を期待されていない個別電極35の引出
し部である配線導体層35,光電変換層36,透光性電極37と
の不要な重なり部38が生じ、この部分も光電変換してし
まう。このためノイズが生じてしまうという欠点を有し
ていた。又、透光性電極37が直接空気接触しているた
め、信頼性上問題があった。
《問題点を解決するための手段》 本発明は前記問題点を解決するため、平坦な透明部材
からなる基板を用い、前記基板上に第１の黒色絶縁膜を
形成し、光電変換部の光信号の入射するスリット部と配
線導体層と外部との接続部を除く表面上に第２の黒色絶
縁膜を形成し、さらに前記スリット部を形成する透光性
電極，光電変換層及び配線導体層上に透明絶縁層を形成
してなる光電変換装置を提供するものである。
からなる基板を用い、前記基板上に第１の黒色絶縁膜を
形成し、光電変換部の光信号の入射するスリット部と配
線導体層と外部との接続部を除く表面上に第２の黒色絶
縁膜を形成し、さらに前記スリット部を形成する透光性
電極，光電変換層及び配線導体層上に透明絶縁層を形成
してなる光電変換装置を提供するものである。
《作用》 上記のように構成された光電変換装置を用いると光路
長が短くなるという作用がある。又、基板に透明部材、
例えばガラス等を用いるとアルミナ等の不透明部材の基
板に比べて基板価格が安価になるという作用がある。
長が短くなるという作用がある。又、基板に透明部材、
例えばガラス等を用いるとアルミナ等の不透明部材の基
板に比べて基板価格が安価になるという作用がある。
又、黒色絶縁膜により基板表面のみならず配線導体層
における反射を防ぐとともに、不要な部分での光電変換
が起らないという作用がある。
における反射を防ぐとともに、不要な部分での光電変換
が起らないという作用がある。
又、透明絶縁層及び黒色絶縁膜により光電変換部が直
接空気と接触しないという作用がある。
接空気と接触しないという作用がある。
《実施例》 以下、本発明の実施例を図面にもとづいて説明する。
第１図は本発明による光電変換装置の一実施例の断面
図を示している。
図を示している。
透明基板１上に黒色絶縁膜2,個別電極3,配線導体層
３′,3″が順次厚膜印刷，スパッタ法，蒸着法，フォト
リソグラフィー等により形成される。ここで透明基板１
としては、石英ガラスや硼珪酸ガラス,Na等のアルカリ
元素の拡散防止処理（例えばSiO2被膜）を施したソーダ
ガラス等の透明部材が可能である。又、個別電極３及び
配線導体層３′,3″としては、Cr,Au,In,Pb,Pt,Mo,Ni,A
gやそれらの合金等が、又、黒色絶縁膜２としては、硼
珪酸ガラスやPbO・B2O3・SiO2に黒色着色剤としてCrO,Cr
2O3,MnO2等を混ぜたものや、黒色のエポキシ樹脂や光硬
化樹脂等が可能である。さらに前記個別電極３を覆うよ
うに光電変換層４を形成し、前記光電変換層４上に透光
性電極５を配線導体層３″と電気的に接続するよう形成
する。ここで光電変換層４としては、プラズマCVD,光CV
D法により形成されたｐ−ｉ−ｎダイオード構造のα−S
i:H,α−Si:C等が可能である。又、透光性電極５として
は、スパッタ法，蒸着法，フォトリソグラフィー法等で
形成されたSnO2,SnO2-In2O3,In2O3,SnO2-Sb2O3,CdO等が
可能である。
３′,3″が順次厚膜印刷，スパッタ法，蒸着法，フォト
リソグラフィー等により形成される。ここで透明基板１
としては、石英ガラスや硼珪酸ガラス,Na等のアルカリ
元素の拡散防止処理（例えばSiO2被膜）を施したソーダ
ガラス等の透明部材が可能である。又、個別電極３及び
配線導体層３′,3″としては、Cr,Au,In,Pb,Pt,Mo,Ni,A
gやそれらの合金等が、又、黒色絶縁膜２としては、硼
珪酸ガラスやPbO・B2O3・SiO2に黒色着色剤としてCrO,Cr
2O3,MnO2等を混ぜたものや、黒色のエポキシ樹脂や光硬
化樹脂等が可能である。さらに前記個別電極３を覆うよ
うに光電変換層４を形成し、前記光電変換層４上に透光
性電極５を配線導体層３″と電気的に接続するよう形成
する。ここで光電変換層４としては、プラズマCVD,光CV
D法により形成されたｐ−ｉ−ｎダイオード構造のα−S
i:H,α−Si:C等が可能である。又、透光性電極５として
は、スパッタ法，蒸着法，フォトリソグラフィー法等で
形成されたSnO2,SnO2-In2O3,In2O3,SnO2-Sb2O3,CdO等が
可能である。
さらに、個別電極３の引出し部である配線導体層
３′，光電変換層4,及び透光性電極５上を覆うように透
明絶縁層６を形成する。ここで透明絶縁層６としては、
スパッタ法，蒸着法等で形成されたSiO2,PSG等の薄膜
や、厚膜印刷等で形成された光硬化樹脂や光学接着剤層
等が可能である。
３′，光電変換層4,及び透光性電極５上を覆うように透
明絶縁層６を形成する。ここで透明絶縁層６としては、
スパッタ法，蒸着法等で形成されたSiO2,PSG等の薄膜
や、厚膜印刷等で形成された光硬化樹脂や光学接着剤層
等が可能である。
さらに、前記構造の光電変換部上に、光信号の入射部
としてスリットを形成しそれ以外の部分を覆うように黒
色絶縁層７を形成する。ここで、光電変換層４はα−Si
より構成されているため、300℃以上になると多結晶化
してしまい、α−Siの光電変換特性を変えてしまう。こ
のため黒色絶縁膜７としてはスクリーン印刷等で精度良
く形成された黒色のエポキシ樹脂や光硬化樹脂等や粘着
テープ等が可能である。
としてスリットを形成しそれ以外の部分を覆うように黒
色絶縁層７を形成する。ここで、光電変換層４はα−Si
より構成されているため、300℃以上になると多結晶化
してしまい、α−Siの光電変換特性を変えてしまう。こ
のため黒色絶縁膜７としてはスクリーン印刷等で精度良
く形成された黒色のエポキシ樹脂や光硬化樹脂等や粘着
テープ等が可能である。
《発明の効果》 以上述べてきたように、本発明による光電変換装置を
用いる事により光路長が例えば15mmと非常に短かくなり
装置の小型化が容易になった。
用いる事により光路長が例えば15mmと非常に短かくなり
装置の小型化が容易になった。
又、基板１は平坦な透明部材、例えばガラス基板で良
い事から、アルミナ基板等に比べて基板価格が約1/5か
ら1/20以下と大きく低減した。
い事から、アルミナ基板等に比べて基板価格が約1/5か
ら1/20以下と大きく低減した。
又、黒色絶縁膜2,7により基板表面のみならず配線導
体層における反射及び光電変換部が形成されている基板
表面の反対側から入射する雑音光を防止する事により、
読取る光信号８が鮮明になった。
体層における反射及び光電変換部が形成されている基板
表面の反対側から入射する雑音光を防止する事により、
読取る光信号８が鮮明になった。
又、黒色絶縁膜７により、不要な部分での光電変換が
起こらずノイズが低減した。以上の事から読取り原稿の
鮮鋭度が30％以上向上した。
起こらずノイズが低減した。以上の事から読取り原稿の
鮮鋭度が30％以上向上した。
又、透明絶縁層６及び黒色絶縁膜７により光電変換部
が封止されているため、長期信頼性も大幅に向上され
た。
が封止されているため、長期信頼性も大幅に向上され
た。
第１図は本発明の一実施例を示す断面図、第２図は従来
の方法を示す斜視図、第３図は従来の方法を示す断面図
及び平面図である。
の方法を示す斜視図、第３図は従来の方法を示す断面図
及び平面図である。
Claims (2)
- 【請求項１】原稿と平坦な透明基板上に形成された光電
変換部の間に、原稿照明用の光源を配置して、原稿を読
み取る光電変換装置であって、前記光電変換部の上部は
入射窓を除いて黒色絶縁膜で覆い、前記光電変換部の下
部に対応する前記透明基板の表面は、その全面にわたっ
て黒色絶縁膜を形成したことを特徴とする光電変換装
置。 - 【請求項２】前記光電変換部の上部を覆う黒色絶縁膜は
黒色のエポキシ樹脂、光硬化樹脂または粘着テープによ
り形成されており、前記透明基板の表面に形成された黒
色絶縁膜は硼珪酸ガラス、PbO・B2O3・SiO2に黒色着色剤
としてCrO、Cr2O3、MnO2等をまぜたものもしくは黒色の
エポキシ樹脂や光硬化樹脂等であることを特徴とする特
許請求の範囲第１項記載の光電変換装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61032355A JP2519030B2 (ja) | 1986-02-17 | 1986-02-17 | 光電変換装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61032355A JP2519030B2 (ja) | 1986-02-17 | 1986-02-17 | 光電変換装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62189748A JPS62189748A (ja) | 1987-08-19 |
| JP2519030B2 true JP2519030B2 (ja) | 1996-07-31 |
Family
ID=12356651
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61032355A Expired - Lifetime JP2519030B2 (ja) | 1986-02-17 | 1986-02-17 | 光電変換装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2519030B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007279093A (ja) | 2006-04-03 | 2007-10-25 | Epson Imaging Devices Corp | 液晶表示装置 |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5846181A (ja) * | 1981-09-08 | 1983-03-17 | カネボウ株式会社 | ピリング防止加工法 |
| JPS59117277A (ja) * | 1982-12-24 | 1984-07-06 | Hitachi Ltd | 受光素子 |
-
1986
- 1986-02-17 JP JP61032355A patent/JP2519030B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS62189748A (ja) | 1987-08-19 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |