JP2514952B2 - X線イメ−ジ管 - Google Patents

X線イメ−ジ管

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JP2514952B2 JP62056740A JP5674087A JP2514952B2 JP 2514952 B2 JP2514952 B2 JP 2514952B2 JP 62056740 A JP62056740 A JP 62056740A JP 5674087 A JP5674087 A JP 5674087A JP 2514952 B2 JP2514952 B2 JP 2514952B2
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    • H01J29/10Screens on or from which an image or pattern is formed, picked up, converted or stored
    • H01J29/36Photoelectric screens; Charge-storage screens
    • H01J29/38Photoelectric screens; Charge-storage screens not using charge storage, e.g. photo-emissive screen, extended cathode
    • H01J29/385Photocathodes comprising a layer which modified the wave length of impinging radiation
    • GPHYSICS
    • G21NUCLEAR PHYSICS; NUCLEAR ENGINEERING
    • G21KTECHNIQUES FOR HANDLING PARTICLES OR IONISING RADIATION NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; IRRADIATION DEVICES; GAMMA RAY OR X-RAY MICROSCOPES
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    • HELECTRICITY
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Description

【発明の詳細な説明】 [発明の目的] (産業上の利用分野) この発明はX線イメージ管に係り、特にその蛍光スク
リーンの改良に関する。
(従来の技術) 一般にX線イメージ管例えばX線蛍光増倍管は、医療
用を主に工業用非破壊検査などX線工業テレビを併用し
て広範囲に応用されている。
この種のX線蛍光増倍管は、従来、第4図に示すよう
に構成され、入力窓1を有する真空外囲器2の内部に
は、入力窓1に対向して入力面が配設されている。一
方、真空外囲器2の内部の出力側には、陽極4が配設さ
れると共に出力蛍光スクリーン5が配設され、更に真空
外囲器2の内部の側壁に沿って集束電極6が配設されて
いる。
そして、上記入力面は、基板7な入力蛍光スクリー
ン8と光電面9が順次積層形成されてなっている。
このようなX線蛍光増倍管において、動作時には、X
線管10からのX線が被写体11を通り、X線蛍光増倍管の
入力窓1と基板7を通過して、入力蛍光スクリーン8で
光に変換される。この光は光電面9に達し、電子に変換
される。この電子は集束電極6と陽極4により集束・加
速され、出力蛍光スクリーン5において可視像に変換さ
れる。
このようにしてX線像は可視光像に変換されるが、こ
の可視光像はTVカメラ、シネカメラ、スポットカメラな
どにより記録され、医療診断が行われる。
ところで、近年のX線蛍光増倍管の中には、その構成
要素の一つである入力蛍光スクリーン8の膜厚を、従来
に比べて大幅に大きくしたものが見られる。即ち、厚さ
Tの入力蛍光スクリーンに吸収されるX線は、 1−e−ψT と記述することが出来る。但し、ψはX線吸収係数であ
る。第5図に入力蛍光スクリーンの膜厚とX線吸収率の
関係を表すが、スクリーン材質はCsI、X線のエネルギ
は60KVである。このように膜厚を大きくすると、X線の
吸収率も大きくなるので、X線を有効に利用することが
出来、被曝線量の低減、画質の向上に役立つ。
(発明が解決しようとする問題点) 第6図に示すように、X線蛍光増倍管に均一なX線を
照射して、出力像を観察すると、出力像の中心部が明る
く、周辺部に向って輝度が低下していることがある。こ
れは、X線蛍光増倍管の電子レンズによって、周辺部の
像が中心部の像よりも引き伸ばされることに主として起
因している。このような出力輝度分布では、撮像後のダ
イナミックレンジを全面に亙って有効に使うことが出来
ない。
このような出力輝度分布を出来るだけフラットにする
ための方法の一つとして、例えば特開昭53−102663号公
報に記載されたように、入力蛍光スクリーンの膜厚を中
心部から周辺部に向って増やしてやるというものがあ
る。この方法では中心部よりも周辺部の方がX線をより
多く吸収発光するため、出力側において周辺部の輝度が
持上げられ、出力輝度分布がフラットに近づくのであ
る。
ところが、前述した近年になって開発された厚膜入力
蛍光スクリーンを採用したX線蛍光増倍管においては、
この方法が成功しない。
この理由について説明する、先ず、一定のX線が入射
した時、どの位の発光が光電面に達するかをモデルを使
って考えてみる。第7図にそのモデルを示す。膜厚Tの
入力蛍光スクリーン中、深さtの場所における微小部分
dtでのX線から光への変換量は、その場所でのX線量に
比例する。又、光電面までの距離はT−tであるから、
光の入力蛍光スクリーン中での減衰係数をβと考える
と、結局、αe−αT・e−β(T−t)dtとなる。ス
クリーン膜厚T全体で考えると、積分して が光電面に達する光量となる。尚、αはX線吸収係数で
ある。この定積分は、ピークを持つことが判る。実際に
も色々な膜厚の入力蛍光スクリーンを製作し、実験する
と、ピークが得られた。これを第8図に示す。
さて、X線有効利用のため、入力蛍光スクリーンの中
心部の膜厚をこのピークを示す膜厚に設定すると、前述
した出力輝度分布の補正の方法は使えないことが明らか
である。即ち、周辺部の膜厚を中心部に対して増して
も、輝度は小さくなり、出力輝度分布は却って強い凸形
になってしまう。実際では、更に膜厚を大きくしていく
と、光の拡散のため解像度が低下するので、丁度発光量
のピークを与える膜厚程度が、実用に供される最大の膜
厚と考えられる。従って、このような膜厚を実現した時
に、出力輝度分布を有効に補正出来ないという問題点を
解決しなければならない。
更に、もう一つの問題点として、膜厚に分布を付ける
と、X線吸収係数がX線質によって変化するので、ある
X線質で出力輝度分布がフラットになっても、X線質を
変化させると出力輝度分布はフラットでなくなってしま
うことが挙げられる。
出力輝度分布をフラットにするもう一つの提案は、入
力蛍光スクリーンの表面に光透過率に分布を持たせた膜
を形成するというものである。即ち、入力蛍光スクリー
ン中心部の膜の光透過率を小さくすることによって、出
力輝度分布をフラットにするというものである。しか
し、この方法の問題点は、工程数が増えることが挙げら
れる。又、入力蛍光スクリーンと光電面との間の分布を
持つことから、光電面の形成条件にも分布が現れ、更に
経時変化に分布が現れる恐れがある。
この発明は、厚い入力蛍光スクリーンを用いた場合で
も、出力輝度分布をフラットにすると共に、X線質の変
化による出力輝度分布の変化を小さくすることが出来る
X線イメージ管を提供することを目的とする。
[発明の構成] (問題点を解決するための手段) この発明は、少なくとも、X線を光に変換する蛍光ス
クリーンを備えたX線イメージ管において、上記蛍光ス
クリーンは密度の異なる複数の蛍光体層よりなり、密度
の高い蛍光体層が密度の低い蛍光体層の出力側に配設さ
れ、且つ該密度の高い蛍光体層の膜厚が上記蛍光スクリ
ーンの中心部よりも周辺部で徐々に厚くなるように形成
されてなるX線イメージ管である。
(作用) この発明によれば、出力輝度分布をフラットにするこ
とが出来、又、X線質の変化によって、出力輝度分布が
変化しないようにすることが出来る。
(実施例) 以下、図面を参照して、この発明の一実施例を詳細に
説明する。
X線イメージ管としてX線蛍光増倍管を例にとれば、
この発明は、蛍光スクリーンを改良したもので、蛍光ス
クリーンについてのみ説明するが、その前に蛍光体につ
いて述べることにする。
通常、蛍光スクリーンを構成する蛍光体は、X線を吸
収し光を放出する。この光は、あらゆる方向に進むの
で、蛍光スクリーンと平行方向の光の拡散は、解像度を
低下させる。これを防ぐために、例えば蛍光体を蛍光ス
クリーンと垂直方向に細長い柱状に形成することによ
り、光を全反射、あるいは柱の隙間で減衰させることが
一般に行われる。この場合、蛍光体の柱と柱との間には
空間が存在するため、蛍光体の密度は、蛍光体を隙間な
く充填した場合と比較して、一般的に0.5%程度小さく
なる。又、前述のように、光の減衰があるため、光の透
過率も蛍光体が隙間なく充填された場合より小さい。こ
こで、厚さTの蛍光体層を考える。前述したように、光
電面に達する光量は、概略 で与えられる。αはX線吸収係数、βは光の吸収係数で
ある。この定積分を計算すると、 となる。これをTについての関数と考え、ピーク値とな
るTを求めると、 T=1n(β/α)/(β−α) となる。例えば、蛍光体としてCsIを考える。αを実験
によって求めると、60KVの単色X線に対して、α=4.4
×10-3μm-1という値が得られた。又、βを実験によっ
て求めると、β=1.5×10-3μm-1という値が得られた。
この値は、CsIの発光スペクトルのピーク値約420nmの
光に対するもので、且つCsIスクリーンは柱状に形成し
た場合である。即ち、密度が低い場合である。先の式に
これらの値を入れると、T=370μmという値が求めら
れる。つまり、この値よりも膜厚が大きくても小さくて
も、光電面に達する光量は減少し、輝度は低くなる。
次に、同じ膜厚T=370μmであるが、340μmは柱状
に形成し、その上に30μmの密度の高い層を形成するこ
とを考える。密度の高い層と低い層では、X線の吸収率
に関しては殆ど差はない。何故なら、密度の低い層と高
い層の密度の差は、1%以内であるからである。ところ
が、光の透過率には大きな差がある。測定の結果では、
β<1×10-5μm-1であった。これらのことから、光電
面に達する光量を考えてみる。
ここで、T1=340μm、T2=30μm、α=4.4×10-3μ
m-1、β=1.5×10-3μm-1、β=1×10-5μm-1とす
る。βの大きさから、 は1と近似することが出来るので、計算は簡単となり、
積分を解くと光量Lは となる。
この式に、実際に数値を代入してみると、370μm全
てが柱状に形成された場合に比べて約4.5%ほど光電面
に達する光量が増加していることが判る。又、高密度層
と低密度層をそれぞれ(10μm、360μm)、(20μ
m、350μm)、(40μm、330μm)、(50μm、320
μm)として計算したものが、第9図である。
このように、低密度層と高密度層を付加することによ
り、光電面に達する光量を増加させることが出来る。
又、高密度層を割合を増すことにより、光量は更に増加
する。これを利用して、例えば入力蛍光スクリーンの中
心部の高密度層と低密度層を(0μm、370μm)、周
辺部の高密度層と低密度層を(50μm、320μm)とす
れば、約7.5%ほど周辺部の輝度を上げることが出来
る。そして、重要なことは、先に述べるようにX線の吸
収については、同じ膜厚と考えることが出来るので、X
線質の変化によって輝度分布が変わってしまうことがな
いという点である。
以上の事実から、この発明のX線蛍光増倍管における
入力蛍光スクリーンは、第1図に示すように構成され、
12が入力蛍光スクリーンである。この入力蛍光スクリー
ン12は、密度の低い蛍光体層13と密度の高い蛍光体層14
とからなっている。そして、密度の大きい蛍光体層14が
密度の小さい蛍光体層13の出力側に配設されている。更
に、各蛍光体層13、14のそれぞれの膜厚分布は、例えば
第2図に示すようになっており、密度の高い蛍光体層14
の膜厚が上記入力蛍光スクリーン12の中心部よりも周辺
部で厚くなるように形成されている。又、上記密度の低
い蛍光体層13の膜厚が、上記入力蛍光スクリーン12の中
心部よりも周辺部で薄くなるように形成されている。
この膜厚分布に既述の式を用いて計算すると、従来に
比較して第3図に示すような出力輝度分布の補正を行な
えることが判る。
尚、ここに示した数値は、一つの例であり、特許請求
の範囲を限定するものではない。
この発明のX線イメージ管即ちX線蛍光増倍管は、上
記入力蛍光スクリーン以外は第4図と同一構成ゆえ詳細
な説明を省略する。
(変形例) 上記実施例では、密度の低い蛍光体層13の膜厚が、入
力蛍光スクリーン12の中心部よりも周辺部で薄くなるよ
うに形成されているが、この逆に入力蛍光スクリーン12
の中心部よりも周辺部で厚くなるように形成しても良
い。
[発明の効果] この発明によれば、出力輝度分布をフラットにするこ
とが出来る。又、X線質の変化によって、出力輝度分布
が変化しないように出来る。
尚、上記実施例では、X線イメージ管としてX線蛍光
増倍管を例に挙げたが、この発明はX線蛍光増倍管に限
定されないことは、言うまでもない。
【図面の簡単な説明】
第1図はこの発明の一実施例に係るX線イメージ管の要
部(入力蛍光スクリーン)を示す断面図、第2図はこの
発明における入力蛍光スクリーンを構成する高密度層と
低密度層の分布を示す断面図、第3図はこの発明のX線
イメージ管における出力輝度分布の補正を示す説明図、
第4図は一般的なX線イメージ管を示す断面図、第5図
は入力蛍光スクリーンの膜厚とX線吸収率の関係を示す
特性曲線図、第6図は出力輝度分布を示す特性曲線図、
第7図は入力蛍光スクリーン中での発光、光の減衰する
様子を示す説明図、第8図は入力蛍光スクリーンの膜厚
と相対発光量の関係を示す特性曲線図、第9図は高密度
層と光量増加率との関係を示す特性曲線図である。 1……入力窓、2……真空外囲器、……入力面、4…
…陽極、5……出力蛍光スクリーン、6……集束電極、
7……基板、9……光電面、12……入力蛍光スクリー
ン、13……密度の低い蛍光体層、14……密度の高い蛍光
体層。

Claims (4)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】少なくとも、X線を光に変換する蛍光スク
    リーンを備えたX線イメージ管において、 上記蛍光スクリーンは密度の異なる複数の蛍光体層より
    なり、密度の高い蛍光体層が密度の低い蛍光体層の出力
    側に配設され、且つ該密度の高い蛍光体層の膜厚が上記
    蛍光スクリーンの中心部よりも周辺部で徐々に厚くなる
    ように形成されてなることを特徴とするX線イメージ
    管。
  2. 【請求項2】上記密度の低い蛍光体層の膜厚が上記蛍光
    スクリーンの中心部よりも周辺部で徐々に厚くなるよう
    に形成されてなることを特徴とする特許請求の範囲第1
    項記載のX線イメージ管。
  3. 【請求項3】上記密度の低い蛍光体層の膜厚が上記蛍光
    スクリーンの中心部よりも周辺部で徐々に薄くなるよう
    に形成されてなることを特徴とする特許請求の範囲第1
    項記載のX線イメージ管。
  4. 【請求項4】上記蛍光体層の合計の膜厚が中心部および
    周辺部にほぼ同等であることを特徴とする特許請求の範
    囲第1項記載のX線イメージ管。
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