JP2504643B2 - 導電性ペ―スト充填装置 - Google Patents
導電性ペ―スト充填装置Info
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- green sheet
- conductive paste
- plastic sheet
- plastic
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- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
- H05K3/40—Forming printed elements for providing electric connections to or between printed circuits
- H05K3/4038—Through-connections; Vertical interconnect access [VIA] connections
- H05K3/4053—Through-connections; Vertical interconnect access [VIA] connections by thick-film techniques
-
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- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K1/00—Printed circuits
- H05K1/02—Details
- H05K1/03—Use of materials for the substrate
- H05K1/0306—Inorganic insulating substrates, e.g. ceramic, glass
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- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K2203/00—Indexing scheme relating to apparatus or processes for manufacturing printed circuits covered by H05K3/00
- H05K2203/01—Tools for processing; Objects used during processing
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- H05K2203/0126—Dispenser, e.g. for solder paste, for supplying conductive paste for screen printing or for filling holes
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
- H05K3/10—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which conductive material is applied to the insulating support in such a manner as to form the desired conductive pattern
- H05K3/12—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which conductive material is applied to the insulating support in such a manner as to form the desired conductive pattern using thick film techniques, e.g. printing techniques to apply the conductive material or similar techniques for applying conductive paste or ink patterns
- H05K3/1216—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which conductive material is applied to the insulating support in such a manner as to form the desired conductive pattern using thick film techniques, e.g. printing techniques to apply the conductive material or similar techniques for applying conductive paste or ink patterns by screen printing or stencil printing
- H05K3/1233—Methods or means for supplying the conductive material and for forcing it through the screen or stencil
Landscapes
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- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Printing Elements For Providing Electric Connections Between Printed Circuits (AREA)
- Screen Printers (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、グリーンシートと呼ば
れる焼成前のセラミック基板に設けられた細い貫通孔
を、スクリーン印刷により孔埋めするのに好適な導電性
ペースト充填装置に関する。
れる焼成前のセラミック基板に設けられた細い貫通孔
を、スクリーン印刷により孔埋めするのに好適な導電性
ペースト充填装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】周知のように、半導体部品を高密度に実
装するための多層セラミック基板は、表面に電子回路パ
タ−ンを形成したグリーンシートを精度よく多層に積み
重ねてプレスし、焼成したものであるが、積み重ねたグ
リーンシート間の電気的接続は、グリーンシートに設け
られた貫通孔を孔埋した導電性ペーストにより行われ
る。
装するための多層セラミック基板は、表面に電子回路パ
タ−ンを形成したグリーンシートを精度よく多層に積み
重ねてプレスし、焼成したものであるが、積み重ねたグ
リーンシート間の電気的接続は、グリーンシートに設け
られた貫通孔を孔埋した導電性ペーストにより行われ
る。
【０００３】グリーンシートは、厚さ約０．２ｍｍ程度
の柔らかいシ−ト状のセラミック基板で、その表裏間に
は０．２ｍｍ程度の貫通孔が多数設けられている。多層
セラミック基板を形成するに際しては、この貫通孔に導
電性ペーストを充填し、孔埋めするが、この導電性ペー
ストの充填手段としては、従来からスクリーン印刷技術
が使われている。
の柔らかいシ−ト状のセラミック基板で、その表裏間に
は０．２ｍｍ程度の貫通孔が多数設けられている。多層
セラミック基板を形成するに際しては、この貫通孔に導
電性ペーストを充填し、孔埋めするが、この導電性ペー
ストの充填手段としては、従来からスクリーン印刷技術
が使われている。
【０００４】スクリーン印刷技術を用いた導電性ペース
ト充填装置として、特公昭５６−２５７８９号公報に開
示されたものがある。この公報に開示されている充填装
置にあっては、グリーンシートは基台に整合ピンで位置
決めされたのち吸引載置され、キャリヤにより基台とと
もに水平移動と昇降動作により搬入場所の装填ステーシ
ョンと印刷ステーションとの間を移動し、印刷ステーシ
ョンでは前記整合ピンがグリーンシート面から引き込ま
れた状態となって印刷が行われるようになっている。こ
の場合、グリーンシートを吸着する上板は多孔質材料で
形成され、キャリヤの上側ブロックに設けられている。
ト充填装置として、特公昭５６−２５７８９号公報に開
示されたものがある。この公報に開示されている充填装
置にあっては、グリーンシートは基台に整合ピンで位置
決めされたのち吸引載置され、キャリヤにより基台とと
もに水平移動と昇降動作により搬入場所の装填ステーシ
ョンと印刷ステーションとの間を移動し、印刷ステーシ
ョンでは前記整合ピンがグリーンシート面から引き込ま
れた状態となって印刷が行われるようになっている。こ
の場合、グリーンシートを吸着する上板は多孔質材料で
形成され、キャリヤの上側ブロックに設けられている。
【０００５】また、他の公知例として、特開昭６３−２
８４８９３号公報に開示された導体ペースト充填方法が
ある。この公報に開示されている充填方法にあっては、
多孔質材料で形成されたステージにプラスチックシート
から成るフィルタを載置し、そのフィルタの上にグリー
ンシートを吸着載置し、孔埋め印刷中も吸着を続けるこ
とにより、貫通孔への導電性ペーストの充填を確実に行
えるだけでなく、貫通孔を通過した導電性ペーストをフ
ィルタに吸収させることにより、導電性ペーストが多孔
質材料のステージに付着しないようにし、フィルタを交
換するだけで十分な吸着と吸引を持続させ、またステー
ジの清掃の手間を省略できるようになっている。
８４８９３号公報に開示された導体ペースト充填方法が
ある。この公報に開示されている充填方法にあっては、
多孔質材料で形成されたステージにプラスチックシート
から成るフィルタを載置し、そのフィルタの上にグリー
ンシートを吸着載置し、孔埋め印刷中も吸着を続けるこ
とにより、貫通孔への導電性ペーストの充填を確実に行
えるだけでなく、貫通孔を通過した導電性ペーストをフ
ィルタに吸収させることにより、導電性ペーストが多孔
質材料のステージに付着しないようにし、フィルタを交
換するだけで十分な吸着と吸引を持続させ、またステー
ジの清掃の手間を省略できるようになっている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】ところで、特開昭６３
−２８４８９３号公報に開示された導電性ペースト充填
方法においては、１枚のグリーンシートの貫通孔に導電
性ペーストを充填する度にプラスチックシートに導電性
ペーストが付着する。このため、プラスチックシートは
グリーンシート１枚の印刷工程が終了するたびに毎回交
換する必要がある。
−２８４８９３号公報に開示された導電性ペースト充填
方法においては、１枚のグリーンシートの貫通孔に導電
性ペーストを充填する度にプラスチックシートに導電性
ペーストが付着する。このため、プラスチックシートは
グリーンシート１枚の印刷工程が終了するたびに毎回交
換する必要がある。
【０００７】しかしながら、上記した公報で開示された
従来の導電性ペースト印刷充填方法にあっては、プラス
チックシートの供給を人手により行っている。このた
め、プラスチックシートの交換が面倒で、時間がかかる
という問題がある。
従来の導電性ペースト印刷充填方法にあっては、プラス
チックシートの供給を人手により行っている。このた
め、プラスチックシートの交換が面倒で、時間がかかる
という問題がある。
【０００８】また、プラスチックシートの交換作業にお
いては、グリーンシートの貫通孔の全てにかかるように
位置決めする必要があるが、単純作業であるので、人間
の注意力が持続しないことによる位置ずれが発生し易
く、例えばグリーンシート貫通孔の半分までしかかかっ
ていないようなプラスチックシートの位置ずれが発生し
た場合においては、導電性ペーストが充分に充填されな
い等の穴埋め不良を起こす。
いては、グリーンシートの貫通孔の全てにかかるように
位置決めする必要があるが、単純作業であるので、人間
の注意力が持続しないことによる位置ずれが発生し易
く、例えばグリーンシート貫通孔の半分までしかかかっ
ていないようなプラスチックシートの位置ずれが発生し
た場合においては、導電性ペーストが充分に充填されな
い等の穴埋め不良を起こす。
【０００９】また、プラスチックシートは、多孔質で薄
い材料であるため、折り曲げ強度が極めて弱く、簡単に
割れてしまう性質を持っている。
い材料であるため、折り曲げ強度が極めて弱く、簡単に
割れてしまう性質を持っている。
【００１０】従って、人手作業によってプラスチックシ
ートを供給する方法では、折り曲げによる割れが生じる
場合が多く、また割れが生じたプラスチックシートの破
片がグリーンシートとの間に挾まって位置ずれを生じた
時と同様に孔埋め不良を起こすという問題がある。
ートを供給する方法では、折り曲げによる割れが生じる
場合が多く、また割れが生じたプラスチックシートの破
片がグリーンシートとの間に挾まって位置ずれを生じた
時と同様に孔埋め不良を起こすという問題がある。
【００１１】本発明は、このような問題を解決すべくな
されたもので、その目的は、グリーンシートの下に載置
するプラスチックシートを破損することなく、迅速に、
位置ずれを起こすことなく所定位置に供給することがで
きる導電性ペースト充填装置を提供することである。
されたもので、その目的は、グリーンシートの下に載置
するプラスチックシートを破損することなく、迅速に、
位置ずれを起こすことなく所定位置に供給することがで
きる導電性ペースト充填装置を提供することである。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
本発明は、上記目的を達
成するために、グリーンシート載置台に、段積みした多
孔質材料からなるプラスチックシートを粘着性パッドに
よって上のものから一枚づつ分離して供給するプラスチ
ックシート供給部と、グリーンシート載置台に載置され
たプラスチックシートの上にグリーンシートを供給する
グリーンシート供給部と、このグリーンシート供給部が
供給するグリーンシートとスクリーン印刷版とが所定の
位置関係となるように位置決めする位置決め機構とを具
備させた。
成するために、グリーンシート載置台に、段積みした多
孔質材料からなるプラスチックシートを粘着性パッドに
よって上のものから一枚づつ分離して供給するプラスチ
ックシート供給部と、グリーンシート載置台に載置され
たプラスチックシートの上にグリーンシートを供給する
グリーンシート供給部と、このグリーンシート供給部が
供給するグリーンシートとスクリーン印刷版とが所定の
位置関係となるように位置決めする位置決め機構とを具
備させた。
【００１３】
【作用】
上記手段によれば、プラスチックシートを粘着
性パッドに粘着させて一枚づつに分離してグリーンシー
ト載置台に載置するので、プラスチックシートを破損す
ることなく、迅速に、所定位置に供給することができ
る。
性パッドに粘着させて一枚づつに分離してグリーンシー
ト載置台に載置するので、プラスチックシートを破損す
ることなく、迅速に、所定位置に供給することができ
る。
【００１４】また、グリーンシートの載置位置は位置決
め機構によってスクリーン印刷版と所定の位置関係とな
るように位置決めされるので、位置ずれによる孔埋め不
良が生じることがなくなる。
め機構によってスクリーン印刷版と所定の位置関係とな
るように位置決めされるので、位置ずれによる孔埋め不
良が生じることがなくなる。
【００１５】
【実施例】
図１は、本発明の導電性ペースト充填装置の
一実施例を示す全体構成図である。
一実施例を示す全体構成図である。
【００１６】図１において、１はスクリーン印刷を行う
印刷ヘッド、２はスクリーン印刷版を保持し、印刷ヘッ
ド１の所定位置に移動する版保持／移動部、３はグリー
ンシートおよびプラスチックシートの位置設定テーブ
ル、４は位置設定用の位置認識装置、５はプラスチック
シートを所定位置に搬送するシート搬送部、６はグリー
ンシートを所定位置に供給するグリーンシート供給部、
７ａ，７ｂはグリーンシートを収納しておくマガジン、
８はシート搬送部５およびグリーンシート供給部６なら
びに位置設定テーブル３とから構成されるシート搬送機
構、９は導電性ペースト充填装置本体のベース、１０は
スクリーンペースト回収装置である。
印刷ヘッド、２はスクリーン印刷版を保持し、印刷ヘッ
ド１の所定位置に移動する版保持／移動部、３はグリー
ンシートおよびプラスチックシートの位置設定テーブ
ル、４は位置設定用の位置認識装置、５はプラスチック
シートを所定位置に搬送するシート搬送部、６はグリー
ンシートを所定位置に供給するグリーンシート供給部、
７ａ，７ｂはグリーンシートを収納しておくマガジン、
８はシート搬送部５およびグリーンシート供給部６なら
びに位置設定テーブル３とから構成されるシート搬送機
構、９は導電性ペースト充填装置本体のベース、１０は
スクリーンペースト回収装置である。
【００１７】印刷ヘッド１は、スクリーン印刷版の一部
に導電性ペーストを一定量塗布し、版のパターンに従っ
て充填対象のグリーンシートに刷り込むように構成され
ている。
に導電性ペーストを一定量塗布し、版のパターンに従っ
て充填対象のグリーンシートに刷り込むように構成され
ている。
【００１８】また、版保持／移動部２は印刷ヘッド１と
位置認識装置４およびスクリーンペースト回収装置１０
の下の３箇所にスクリーン印刷版を位置決め可能に構成
されている。
位置認識装置４およびスクリーンペースト回収装置１０
の下の３箇所にスクリーン印刷版を位置決め可能に構成
されている。
【００１９】シート搬送機構８は、グリーンシートまた
はプラスチックシートを印刷ヘッド１の下に水平移動
し、位置設定テーブル３によってスクリーン印刷版とグ
リーンシートまたはプラスチックシートの間の位置決め
を行うように構成されている。
はプラスチックシートを印刷ヘッド１の下に水平移動
し、位置設定テーブル３によってスクリーン印刷版とグ
リーンシートまたはプラスチックシートの間の位置決め
を行うように構成されている。
【００２０】この位置設定テーブル３は、グリーンシー
トとプラスチックシートを同時に保持して、Ｘ方向，Ｙ
方向及びθ方向（シート載置面を時計回り、または反時
計回りに回転させる方向）に微動して位置決めすると共
に、Ｘ方向（またはＹ方向）に大きく水平移動して、印
刷ヘッド１の下へ，または印刷ヘッド１の下からグリー
ンシートまたはプラスチックシートを搬送するようにな
っている。
トとプラスチックシートを同時に保持して、Ｘ方向，Ｙ
方向及びθ方向（シート載置面を時計回り、または反時
計回りに回転させる方向）に微動して位置決めすると共
に、Ｘ方向（またはＹ方向）に大きく水平移動して、印
刷ヘッド１の下へ，または印刷ヘッド１の下からグリー
ンシートまたはプラスチックシートを搬送するようにな
っている。
【００２１】この位置設定テーブル３の水平移動方向に
は、印刷ヘッド１に隣接して位置認識装置４が設けられ
ている。
は、印刷ヘッド１に隣接して位置認識装置４が設けられ
ている。
【００２２】位置認識装置４には、印刷ヘッド１の下方
位置から位置設定テーブル３が水平移動して停止した状
態で、該位置設定テーブル３の上方から印刷前後のプラ
スチックシートまたはグリーンシートの画像を撮影し、
プラスチックシートまたはグリーンシートの載置位置を
検出するためのカメラと、このカメラに対向し、プラス
チックシートの下方から上方に向けて光を照射する照明
装置が４組設けられている。
位置から位置設定テーブル３が水平移動して停止した状
態で、該位置設定テーブル３の上方から印刷前後のプラ
スチックシートまたはグリーンシートの画像を撮影し、
プラスチックシートまたはグリーンシートの載置位置を
検出するためのカメラと、このカメラに対向し、プラス
チックシートの下方から上方に向けて光を照射する照明
装置が４組設けられている。
【００２３】すなわち、４点でプラスチックシートまた
はグリーンシートの載置位置を検出するようになってい
る。
はグリーンシートの載置位置を検出するようになってい
る。
【００２４】また、この位置認識装置４の下部には、版
保持／移動部２が水平移動して位置決めされた状態でス
クリーン印刷版の下方から上方に向けて光を照射し、位
置決めされた状態のスクリーン印刷版の画像をとり込む
ための透過式照明装置（図示せず）が設けられている。
保持／移動部２が水平移動して位置決めされた状態でス
クリーン印刷版の下方から上方に向けて光を照射し、位
置決めされた状態のスクリーン印刷版の画像をとり込む
ための透過式照明装置（図示せず）が設けられている。
【００２５】プラスチックシート搬送部５は、上下動作
及び位置設定テーブル３の水平移動方向に対し直角に水
平移動するハンドリング水平機構を有し、このハンドリ
ング水平移動機構により位置認識装置４と位置設定テー
ブル３の間にアームを入れ、プラスチックシートを位置
設定テーブル３上に供給する。
及び位置設定テーブル３の水平移動方向に対し直角に水
平移動するハンドリング水平機構を有し、このハンドリ
ング水平移動機構により位置認識装置４と位置設定テー
ブル３の間にアームを入れ、プラスチックシートを位置
設定テーブル３上に供給する。
【００２６】グリーンシート供給部６は、位置認識装置
４に隣接（Ｙ方向）して設けられているが、このグリー
ンシート供給部６は、プラスチックシート搬送部５と同
様のハンドリング水平移動機構および上下動機構を有
し、位置設定テーブル３と位置認識装置４との間にアー
ムを入れ、グリーンシートを貼付けた枠（以下シート枠
と呼ぶ）を供給し、また印刷済のシート枠を元の位置に
戻すようになっている。
４に隣接（Ｙ方向）して設けられているが、このグリー
ンシート供給部６は、プラスチックシート搬送部５と同
様のハンドリング水平移動機構および上下動機構を有
し、位置設定テーブル３と位置認識装置４との間にアー
ムを入れ、グリーンシートを貼付けた枠（以下シート枠
と呼ぶ）を供給し、また印刷済のシート枠を元の位置に
戻すようになっている。
【００２７】この場合、印刷する前のグリーンシートを
載置したシート枠はマガジン７ａにスタックされてお
り、印刷を終えた後のシート枠はマガジン７ｂに戻され
る。
載置したシート枠はマガジン７ａにスタックされてお
り、印刷を終えた後のシート枠はマガジン７ｂに戻され
る。
【００２８】なお、ここでは図示しないが、マガジン７
ａ，７ｂを上下移動する昇降部とグリーンシート供給部
６を水平移動して位置決めする機構、及びマガジン７ａ
からグリーンシート供給部６にグリーンシートを引き出
す（又は押し出す）機構と、マガジン７ｂにシート枠を
戻す機構とが印刷機本体のベース９に配置されている。
ａ，７ｂを上下移動する昇降部とグリーンシート供給部
６を水平移動して位置決めする機構、及びマガジン７ａ
からグリーンシート供給部６にグリーンシートを引き出
す（又は押し出す）機構と、マガジン７ｂにシート枠を
戻す機構とが印刷機本体のベース９に配置されている。
【００２９】図２は、プラスチックシート搬送部５の要
部を拡大して示す斜視図である。
部を拡大して示す斜視図である。
【００３０】図２において、プラスチックシート搬送部
５はハンドリング水平移動機構５０を主要部として構成
される。
５はハンドリング水平移動機構５０を主要部として構成
される。
【００３１】このハンドリング水平機構５０は、ハンド
上下機構５１と、これに支持されたハンド５２で構成さ
れている。ハンド５２の端部４箇所には、ピックアップ
５３が配置され、このピックアップ５３に接するように
段積みしたプラスチックシート５４が配置されている。
プラスチックシート５４は、段積み状態で位置決めの可
能なシートボックス５５に収納されている。そして、こ
のシートボックス５５は矢印方向に移動可能なように、
スライドユニット板５６に載置されている。
上下機構５１と、これに支持されたハンド５２で構成さ
れている。ハンド５２の端部４箇所には、ピックアップ
５３が配置され、このピックアップ５３に接するように
段積みしたプラスチックシート５４が配置されている。
プラスチックシート５４は、段積み状態で位置決めの可
能なシートボックス５５に収納されている。そして、こ
のシートボックス５５は矢印方向に移動可能なように、
スライドユニット板５６に載置されている。
【００３２】一方、グリーンシート供給部６は、複数の
位置決め穴８２を有するシート８１が貼付られたシート
枠８０を有している。このシート枠８０は、プラスチッ
クシート搬送部５のハンドリング水平移動機構５０と同
等なハンドにより、隣接する位置設定テーブル３にグリ
ーンシートを移載する機構を有している。
位置決め穴８２を有するシート８１が貼付られたシート
枠８０を有している。このシート枠８０は、プラスチッ
クシート搬送部５のハンドリング水平移動機構５０と同
等なハンドにより、隣接する位置設定テーブル３にグリ
ーンシートを移載する機構を有している。
【００３３】位置設定テーブル３は、Ｘ・Ｙ・θ方向に
移動可能な機構及びこの機構の上面に埋め込んだ複数の
シート保持部３１と、このシート保持部３１の上面に面
を合わせた吸盤３０で構成されている。
移動可能な機構及びこの機構の上面に埋め込んだ複数の
シート保持部３１と、このシート保持部３１の上面に面
を合わせた吸盤３０で構成されている。
【００３４】図３は、プラスチックシート搬送部５の搬
送機構を説明する部分断面図である。図において、ハン
ド５２はＬ型ハンドで構成され、４個のピックアップ５
３が下方に搬送されて来るプラスチックシートの上面に
向けて鉛直方向に固定保持されている。ピックアップ５
３は上下動作を可能とし、先端に円筒形金具５７が設け
られ、さらにその円筒形金具５７の先端には粘着力のあ
る粘着ゴム５８が一体化して設けられている。円筒形金
具５７は、この円筒形金具５７の直径より大きい径の穴
を明けた板状の分離金具５９の穴内に取付けられ、穴の
内壁に対し数mm程度のすき間を持たせて配置される。ま
た、円筒形金具５７の先端の粘着ゴム５８は、その下面
が分離金具５９の下面より数mm程度上方になるように配
置されている。なお、粘着ゴム５８は、水洗いにより粘
着力が回復するウレタンゴム等を使用する。本実施例で
は、尾高ゴム工業（株）「タッキー（ＴＡＣＫＹ）」な
る商品名で市販されるゴムを用いた。
送機構を説明する部分断面図である。図において、ハン
ド５２はＬ型ハンドで構成され、４個のピックアップ５
３が下方に搬送されて来るプラスチックシートの上面に
向けて鉛直方向に固定保持されている。ピックアップ５
３は上下動作を可能とし、先端に円筒形金具５７が設け
られ、さらにその円筒形金具５７の先端には粘着力のあ
る粘着ゴム５８が一体化して設けられている。円筒形金
具５７は、この円筒形金具５７の直径より大きい径の穴
を明けた板状の分離金具５９の穴内に取付けられ、穴の
内壁に対し数mm程度のすき間を持たせて配置される。ま
た、円筒形金具５７の先端の粘着ゴム５８は、その下面
が分離金具５９の下面より数mm程度上方になるように配
置されている。なお、粘着ゴム５８は、水洗いにより粘
着力が回復するウレタンゴム等を使用する。本実施例で
は、尾高ゴム工業（株）「タッキー（ＴＡＣＫＹ）」な
る商品名で市販されるゴムを用いた。
【００３５】一方、ハンド５２の鉛直方向下方には、プ
ラスチックシート５４を収納したシートボックス５５が
配置されている。このシートボックス５５は、スライド
ユニット板５６に載置される。また、スライドユニット
板５６の下方には、モータ６０と歯車機構６１が設けら
れ、モータ６０の回転運動を歯車機構６１によって上下
運動に変換することにより、シートボックス５５の底部
からプラスチックシート５４を押し上げてプラスチック
シート５４の上面を常に一定水平面に保持できるように
なっている。また、スライドユニット板５６およびモー
タ６０は、基台６２に支持され、この基台６２はその底
面のガイドレール６３の上を図中左右方向に移動可能に
構成されている。なお、６４は吸引パッドである。
ラスチックシート５４を収納したシートボックス５５が
配置されている。このシートボックス５５は、スライド
ユニット板５６に載置される。また、スライドユニット
板５６の下方には、モータ６０と歯車機構６１が設けら
れ、モータ６０の回転運動を歯車機構６１によって上下
運動に変換することにより、シートボックス５５の底部
からプラスチックシート５４を押し上げてプラスチック
シート５４の上面を常に一定水平面に保持できるように
なっている。また、スライドユニット板５６およびモー
タ６０は、基台６２に支持され、この基台６２はその底
面のガイドレール６３の上を図中左右方向に移動可能に
構成されている。なお、６４は吸引パッドである。
【００３６】このように構成されたプラスチックシート
搬送部５において、シートボックス５５に載置されたプ
ラスチックシート５４を取り出して搬送するに際して
は、まず、ピックアップ５３はその下端部の粘着ゴム５
８を下降させ、段積みされた最上部のプラスチックシー
ト５４の上面を押し付けて粘着させる。次に、ピックア
ップ５３を上昇させる。すると、プラスチックシート５
４はピックアップ５３の上昇に伴って上昇するが、この
際にプラスチックシート５４は、静電気により２〜３枚
付着してくることがある。しかし、その場合でも、図４
に示すように、上昇したプラスチックシート５４ａ，５
４ｂは分離金具５９に接触することにより粘着ゴム５８
への付着部位が変形され、この変形部位において下側の
プラスチックシート５４ｂとの間に隙間６５が形成され
る。すると、この隙間６５に空気が侵入し、上側のプラ
スチック５４ａと下側のプラスチックシート５４ｂとが
分離され、下側のプラスチックシート５４ｂは自重によ
ってシートボックス５５に自然落下する。これによっ
て、粘着ゴム５８に付着させたプラスチックシートは、
最上部のプラスチックシート５４ａのみの１枚に分離さ
れる。１枚になったプラスチックシート５４ａは、ピッ
クアップ５３をさらに上昇させることで粘着ゴム５８か
ら剥がされ、分離金具５９と下面をあわせた吸引パット
６４に吸着して保持される。
搬送部５において、シートボックス５５に載置されたプ
ラスチックシート５４を取り出して搬送するに際して
は、まず、ピックアップ５３はその下端部の粘着ゴム５
８を下降させ、段積みされた最上部のプラスチックシー
ト５４の上面を押し付けて粘着させる。次に、ピックア
ップ５３を上昇させる。すると、プラスチックシート５
４はピックアップ５３の上昇に伴って上昇するが、この
際にプラスチックシート５４は、静電気により２〜３枚
付着してくることがある。しかし、その場合でも、図４
に示すように、上昇したプラスチックシート５４ａ，５
４ｂは分離金具５９に接触することにより粘着ゴム５８
への付着部位が変形され、この変形部位において下側の
プラスチックシート５４ｂとの間に隙間６５が形成され
る。すると、この隙間６５に空気が侵入し、上側のプラ
スチック５４ａと下側のプラスチックシート５４ｂとが
分離され、下側のプラスチックシート５４ｂは自重によ
ってシートボックス５５に自然落下する。これによっ
て、粘着ゴム５８に付着させたプラスチックシートは、
最上部のプラスチックシート５４ａのみの１枚に分離さ
れる。１枚になったプラスチックシート５４ａは、ピッ
クアップ５３をさらに上昇させることで粘着ゴム５８か
ら剥がされ、分離金具５９と下面をあわせた吸引パット
６４に吸着して保持される。
【００３７】なお、隙間６５が形成された状態で強制的
に空気を吹き付けて強制分離を行うようにしてもよい。
に空気を吹き付けて強制分離を行うようにしてもよい。
【００３８】図５は、位置設定テーブル３の部分断面図
である。
である。
【００３９】図において、位置設定テ−ブル３の上面に
貼り付けた吸盤３０は、多孔質セラミック又は多孔質金
属板で構成されている。そして、この吸盤３０の下面
は、中央部にエアーポケット３２が形成されるように、
断面Ｕ字状の受け３３が設けられ、かつ受け３３の中央
にはエアー吸引口３４が設けられている。また、吸盤３
０の側縁にはシート保持部３１が設けられている。この
シート保持部３１は、図３のプラスチックシートのピッ
クアップ機構と同様の構成であり、上面先端部は粘着力
があり、この粘着力のある面は、吸盤３０の上面と高さ
を合わせて配置されている。
貼り付けた吸盤３０は、多孔質セラミック又は多孔質金
属板で構成されている。そして、この吸盤３０の下面
は、中央部にエアーポケット３２が形成されるように、
断面Ｕ字状の受け３３が設けられ、かつ受け３３の中央
にはエアー吸引口３４が設けられている。また、吸盤３
０の側縁にはシート保持部３１が設けられている。この
シート保持部３１は、図３のプラスチックシートのピッ
クアップ機構と同様の構成であり、上面先端部は粘着力
があり、この粘着力のある面は、吸盤３０の上面と高さ
を合わせて配置されている。
【００４０】この位置設定テーブル３にプラスチックシ
ート５４を保持させる動作を図６のと併せて説明する。
図６は、導電性ペーストの充填が終了し、シート枠８０
を持ち上げた状態を示すものであるが、シート枠８０上
のグリーンシート８１はプラスチックシート５４の上面
の導電性ペーストの粘着力により、プラスチックシート
５４が付着した状態で互いに変形しながら持上がる。し
かし、プラスチックシート５４は、吸盤３０による吸引
力と粘着ゴム３１の粘着力により吸盤３０側へ吸引され
るので、グリーンシート８１から剥がされ、吸盤３０の
上面に固定される。
ート５４を保持させる動作を図６のと併せて説明する。
図６は、導電性ペーストの充填が終了し、シート枠８０
を持ち上げた状態を示すものであるが、シート枠８０上
のグリーンシート８１はプラスチックシート５４の上面
の導電性ペーストの粘着力により、プラスチックシート
５４が付着した状態で互いに変形しながら持上がる。し
かし、プラスチックシート５４は、吸盤３０による吸引
力と粘着ゴム３１の粘着力により吸盤３０側へ吸引され
るので、グリーンシート８１から剥がされ、吸盤３０の
上面に固定される。
【００４１】プラスチックシート５４を取り外す際は、
粘着ゴム３１を降下させ、プラスチックシート５４の隅
部を図示のように変形させることにより、プラスチック
シート５４と粘着ゴム３１とを分離し、次いで吸盤３０
の吸引力を解除する。これにより、プラスチックシート
５４は保持力が解除され、自由に取り外すことが可能に
なる。
粘着ゴム３１を降下させ、プラスチックシート５４の隅
部を図示のように変形させることにより、プラスチック
シート５４と粘着ゴム３１とを分離し、次いで吸盤３０
の吸引力を解除する。これにより、プラスチックシート
５４は保持力が解除され、自由に取り外すことが可能に
なる。
【００４２】このような構成によって、従来はグリーン
シート８１の裏面に付着したまま持上がっていた薄く軽
量のプラスチックシート５４を持ち上げられるグリーン
シート８１と確実に分離することができる。
シート８１の裏面に付着したまま持上がっていた薄く軽
量のプラスチックシート５４を持ち上げられるグリーン
シート８１と確実に分離することができる。
【００４３】なお、８３はグリーンシート８１の貫通孔
に充填された導電性ペースト、８４はプラスチックシー
ト５４の上面に残った導電性ペーストである。
に充填された導電性ペースト、８４はプラスチックシー
ト５４の上面に残った導電性ペーストである。
【００４４】図７は、印刷ヘッド１の印刷機構の主要部
構成図である。
構成図である。
【００４５】図において、印刷ヘッド１は印刷フレーム
１１に取付けられ、この印刷フレ−ム１１に形成したガ
イド１２に沿って水平面でＹ（またはＸ）方向に移動可
能に構成され、下部には１３ａ，１３ｂからなるスキー
ジユニットを固定保持している。スキージユニット１３
ａ，１３ｂは、垂直駆動源１４ａ，１４ｂにより上下動
可能になっており、スキージユニット１３ａ，１３ｂを
版保持／移動部２のスクリ−ン印刷版載置面まで下降さ
せた状態で、印刷ヘッド１全体をＹ方向に移動させるこ
とにより、スキージユニット１３ａ，１３ｂの下端に取
付けたへら２０によりスクリ−ン印刷版の上面に吐出し
た導電性ペーストを版面に刷り込むようになっている。
１１に取付けられ、この印刷フレ−ム１１に形成したガ
イド１２に沿って水平面でＹ（またはＸ）方向に移動可
能に構成され、下部には１３ａ，１３ｂからなるスキー
ジユニットを固定保持している。スキージユニット１３
ａ，１３ｂは、垂直駆動源１４ａ，１４ｂにより上下動
可能になっており、スキージユニット１３ａ，１３ｂを
版保持／移動部２のスクリ−ン印刷版載置面まで下降さ
せた状態で、印刷ヘッド１全体をＹ方向に移動させるこ
とにより、スキージユニット１３ａ，１３ｂの下端に取
付けたへら２０によりスクリ−ン印刷版の上面に吐出し
た導電性ペーストを版面に刷り込むようになっている。
【００４６】この印刷ヘッド１は、ガイド１２による水
平移動方向と直交するＸ（またはＹ）方向に印刷ヘッド
１を移動させる駆動機構１５を有している。そして、こ
の駆動機構１５には、下方へのストロ−クが異なる２つ
のエアシリンダ１６，１７からなる鉛直方向への２段位
置決め機構が連結され、ストロ−クの小さい方のエアシ
リンダ１７に保持金具１８を介して取付けた注射器型の
ペースト供給ノズル１９の先端吐出口をスクリ−ン印刷
版の載置面から所定距離離れた上方位置に位置決めし、
この位置決め状態で導電性ペーストを吐出するように構
成されている。この場合、ペースト供給ノズルの位置決
めは、始めにストロ−クの大きい方のエアシリンダ１６
によって大まかな位置決めを行い、次いでストロ−クの
小さい方のエアシリンダ１７によって微細な位置決めを
行うことにより、ペースト供給ノズル１９を短時間で迅
速に所定位置に位置決めし、かつペースト供給ノズル１
９の先端とスクリ−ン印刷版上面との間の隙間を適切な
一定間隔に調整することにより、吐出口からスクリ−ン
印刷版２２の上面に吐出する導電性ペースト２１の吐出
量が図１０に示すように一定になるように構成されてい
る。尚、印刷ヘッド１の下に版保持部／移動部２が位置
決めされる。
平移動方向と直交するＸ（またはＹ）方向に印刷ヘッド
１を移動させる駆動機構１５を有している。そして、こ
の駆動機構１５には、下方へのストロ−クが異なる２つ
のエアシリンダ１６，１７からなる鉛直方向への２段位
置決め機構が連結され、ストロ−クの小さい方のエアシ
リンダ１７に保持金具１８を介して取付けた注射器型の
ペースト供給ノズル１９の先端吐出口をスクリ−ン印刷
版の載置面から所定距離離れた上方位置に位置決めし、
この位置決め状態で導電性ペーストを吐出するように構
成されている。この場合、ペースト供給ノズルの位置決
めは、始めにストロ−クの大きい方のエアシリンダ１６
によって大まかな位置決めを行い、次いでストロ−クの
小さい方のエアシリンダ１７によって微細な位置決めを
行うことにより、ペースト供給ノズル１９を短時間で迅
速に所定位置に位置決めし、かつペースト供給ノズル１
９の先端とスクリ−ン印刷版上面との間の隙間を適切な
一定間隔に調整することにより、吐出口からスクリ−ン
印刷版２２の上面に吐出する導電性ペースト２１の吐出
量が図１０に示すように一定になるように構成されてい
る。尚、印刷ヘッド１の下に版保持部／移動部２が位置
決めされる。
【００４７】この場合、導電性ペーストの吐出に際して
は、まず、ノルズ１９をスクリ−ン印刷版面に対し先端
吐出口が一定の隙間を持つよう位置決する。次に、ノズ
ル１９内のペーストを撹拌しながら導電性ペーストの吐
出動作を行い、ノズル１９を水平方向に移動する。そし
て、スクリ−ン印刷版の縁部分まで達したならば、水平
移動を停止させ、その移動停止状態で導電性ペーストの
吐出動作をやめ、エアーシリンダー１７を縮める方向に
動作させることで、ノズル１９の先端をスクリ−ン印刷
版面に押し付け、吐出したペーストとスクリ−ン印刷版
との密着力を高めた後、ノズル１９全体を上昇させるこ
とでペースト切りを行う。この後、次の充填位置までノ
ズル１９を移動させ、再び同様の吐出動作を行う。
は、まず、ノルズ１９をスクリ−ン印刷版面に対し先端
吐出口が一定の隙間を持つよう位置決する。次に、ノズ
ル１９内のペーストを撹拌しながら導電性ペーストの吐
出動作を行い、ノズル１９を水平方向に移動する。そし
て、スクリ−ン印刷版の縁部分まで達したならば、水平
移動を停止させ、その移動停止状態で導電性ペーストの
吐出動作をやめ、エアーシリンダー１７を縮める方向に
動作させることで、ノズル１９の先端をスクリ−ン印刷
版面に押し付け、吐出したペーストとスクリ−ン印刷版
との密着力を高めた後、ノズル１９全体を上昇させるこ
とでペースト切りを行う。この後、次の充填位置までノ
ズル１９を移動させ、再び同様の吐出動作を行う。
【００４８】図８は、印刷ヘッド１を正面から見た図で
あり、エアーシリンダー１６のシャフト１６ａは、上下
ガイド部７１を介したブロック７２に連結し、このブロ
ック７２にはシリンダー１７のシャフト１７ａを連結
し、シリンダー１７は注射器形のペースト供給ノズル１
９を固定する保持金具１８に固定している。
あり、エアーシリンダー１６のシャフト１６ａは、上下
ガイド部７１を介したブロック７２に連結し、このブロ
ック７２にはシリンダー１７のシャフト１７ａを連結
し、シリンダー１７は注射器形のペースト供給ノズル１
９を固定する保持金具１８に固定している。
【００４９】図９は、注射器形のペースト供給ノズル１
９の一部断面を示す図であり、ノズル１９は、円筒形状
の中央部をくり抜いて形成したペースト保存室１９０を
有し、先端部に設けた導電性ペーストの吐出口１９１は
上部側方に設けたエアー圧供給口１９２を介し、図示し
ないエアー源に接続されている。ペースト保存室１９０
の中央部には、くり抜き径より小径の撹拌用シャフト１
９３が挿入され、この撹拌用シャフト１９３の上部はシ
ャフト保持具１９４を介して歯車１９５に連結され、こ
の歯車１９５と噛み合う歯車１９６にモ−タ１９７の回
転軸を連結することにより、モ−タ１９７の回転によっ
てシャフト１９３を回転させ、ペースト保存室１９０の
導電性ペースト２１を常時撹拌し、導電性ペースト２１
の乾燥を防ぎ、かつ金属粉体成分と添加剤成分とが分離
しないように構成されている。そして、撹拌状態の導電
性ペースト２１はエア圧供給口１９２から導入されたエ
アによって吐出口１９１から吐出される。
９の一部断面を示す図であり、ノズル１９は、円筒形状
の中央部をくり抜いて形成したペースト保存室１９０を
有し、先端部に設けた導電性ペーストの吐出口１９１は
上部側方に設けたエアー圧供給口１９２を介し、図示し
ないエアー源に接続されている。ペースト保存室１９０
の中央部には、くり抜き径より小径の撹拌用シャフト１
９３が挿入され、この撹拌用シャフト１９３の上部はシ
ャフト保持具１９４を介して歯車１９５に連結され、こ
の歯車１９５と噛み合う歯車１９６にモ−タ１９７の回
転軸を連結することにより、モ−タ１９７の回転によっ
てシャフト１９３を回転させ、ペースト保存室１９０の
導電性ペースト２１を常時撹拌し、導電性ペースト２１
の乾燥を防ぎ、かつ金属粉体成分と添加剤成分とが分離
しないように構成されている。そして、撹拌状態の導電
性ペースト２１はエア圧供給口１９２から導入されたエ
アによって吐出口１９１から吐出される。
【００５０】図１１はスクリ−ンペースト回収装置１０
を側面から見た図であり、版保持／移動部２の上方に回
収ヘッド１０１が設けられている。この回収ヘッド１０
１は、水平移動機構１０２に連結され、図中の左右方向
に移動可能になっている。また、回収ヘッド１０１の上
部には、下方に立設したスキージユニット１０４を上下
動する垂直駆動機構１０３が一体化して設けられ、この
垂直駆動機構１０３によってスキ−ジユニット１０４を
版保持／移動部２に載置したスクリ−ン印刷版の上面に
密着させ、さらに水平移動機構１０２によってスキ−ジ
ユニット１０４を版上面で水平移動することにより、ス
クリ−ン印刷版上面に残った導電性ペーストを拭き取る
形態で回収するようになっている。拭き取った導電性ペ
ーストは、版保持／移動部２の近傍に張設したワイヤ１
０５にスキ−ジユニット１０４を接触させた状態で垂直
駆動機構１０３を駆動してスキ−ジユニット１０４を上
下動させ、スキ−ジユニット１０４をワイヤ１０５でし
ごくことにより、ワイヤ１０５に付着させ、受け皿１０
８に自重で落下させて回収する。
を側面から見た図であり、版保持／移動部２の上方に回
収ヘッド１０１が設けられている。この回収ヘッド１０
１は、水平移動機構１０２に連結され、図中の左右方向
に移動可能になっている。また、回収ヘッド１０１の上
部には、下方に立設したスキージユニット１０４を上下
動する垂直駆動機構１０３が一体化して設けられ、この
垂直駆動機構１０３によってスキ−ジユニット１０４を
版保持／移動部２に載置したスクリ−ン印刷版の上面に
密着させ、さらに水平移動機構１０２によってスキ−ジ
ユニット１０４を版上面で水平移動することにより、ス
クリ−ン印刷版上面に残った導電性ペーストを拭き取る
形態で回収するようになっている。拭き取った導電性ペ
ーストは、版保持／移動部２の近傍に張設したワイヤ１
０５にスキ−ジユニット１０４を接触させた状態で垂直
駆動機構１０３を駆動してスキ−ジユニット１０４を上
下動させ、スキ−ジユニット１０４をワイヤ１０５でし
ごくことにより、ワイヤ１０５に付着させ、受け皿１０
８に自重で落下させて回収する。
【００５１】１０６は、導電性ペーストを回収する際
に、版保持／移動部２の底面を支える板であり、駆動部
１０７によって版保持／移動部２の底面に対し、上下動
できるようになっており、この板１０６は導電性ペース
トを回収する際には、版保持／移動部２の底面に密着
し、スクリ−ン印刷版を下から支える。
に、版保持／移動部２の底面を支える板であり、駆動部
１０７によって版保持／移動部２の底面に対し、上下動
できるようになっており、この板１０６は導電性ペース
トを回収する際には、版保持／移動部２の底面に密着
し、スクリ−ン印刷版を下から支える。
【００５２】図１２は全体の動作を説明するためのフロ
−チャ−トであり、図１３はスクリ−ン印刷版、プラス
チックシート、グリーンシートのシート体の供給動作を
説明するための装置の概略平面図であり、以下、これら
図１２および図１３を参照して装置全体の動作を説明す
る。この場合、複数枚のシート枠を収納しているマガジ
ン７ａ，７ｂを一つのロットとして、マガジン単位に導
電性ペーストの充填動作を行う処理を例に挙げて説明す
る。
−チャ−トであり、図１３はスクリ−ン印刷版、プラス
チックシート、グリーンシートのシート体の供給動作を
説明するための装置の概略平面図であり、以下、これら
図１２および図１３を参照して装置全体の動作を説明す
る。この場合、複数枚のシート枠を収納しているマガジ
ン７ａ，７ｂを一つのロットとして、マガジン単位に導
電性ペーストの充填動作を行う処理を例に挙げて説明す
る。
【００５３】（ステップＳ１）グリーンシート品名に対
応したスクリ−ン印刷版を版保持／移動部２の所定位置
に位置決めし、保持する。
応したスクリ−ン印刷版を版保持／移動部２の所定位置
に位置決めし、保持する。
【００５４】（ステップＳ２）版保持／移動部２を図１
３の矢印Ａで示すように位置認識装置４向けて移動さ
せ、位置認識部位に位置決めする。
３の矢印Ａで示すように位置認識装置４向けて移動さ
せ、位置認識部位に位置決めする。
【００５５】（ステップＳ３）スクリーン印刷版の４隅
に形成されている位置決め用マークを検出し、位置決め
されている位置を記憶する。
に形成されている位置決め用マークを検出し、位置決め
されている位置を記憶する。
【００５６】（ステップＳ４）版保持／移動部２を矢印
Ｂで示すように印刷ヘッド１の印刷部位に移動し、スク
リ−ン印刷版を印刷部位に位置決めする。
Ｂで示すように印刷ヘッド１の印刷部位に移動し、スク
リ−ン印刷版を印刷部位に位置決めする。
【００５７】（ステップＳ５）シ−トボックス５５に載
置されているプラスチックシート５４をピックアップ５
３によってピックアップし、１枚に分離した後、矢印Ｃ
に示すように位置設定テ−ブル３に向けて移動し、位置
設定テ−ブル３の吸盤３０の上面に載置する。
置されているプラスチックシート５４をピックアップ５
３によってピックアップし、１枚に分離した後、矢印Ｃ
に示すように位置設定テ−ブル３に向けて移動し、位置
設定テ−ブル３の吸盤３０の上面に載置する。
【００５８】（ステップＳ６）シート搬送部６により、
グリーンシート８１を貼り付けたシート枠８０をマガジ
ン７ｂから取り出し、矢印Ｄに示すように移動して位置
設定テ−ブル３上のプラスチックシート５４の上に位置
決めする。
グリーンシート８１を貼り付けたシート枠８０をマガジ
ン７ｂから取り出し、矢印Ｄに示すように移動して位置
設定テ−ブル３上のプラスチックシート５４の上に位置
決めする。
【００５９】（ステップＳ７）プラスチックシート５４
およびシート枠８０を位置設定テ−ブル３の下方のエア
吸引口３４から吸引して吸盤３０上に固定し、グリーン
シート８１の位置認識用穴を認識し、このグリーンシー
ト８１の位置認識用穴と先に記憶していたスクリ−ン印
刷版の位置決めマークとが同一位置となるように、シー
ト枠８０全体を移動し、位置合わせを行う。
およびシート枠８０を位置設定テ−ブル３の下方のエア
吸引口３４から吸引して吸盤３０上に固定し、グリーン
シート８１の位置認識用穴を認識し、このグリーンシー
ト８１の位置認識用穴と先に記憶していたスクリ−ン印
刷版の位置決めマークとが同一位置となるように、シー
ト枠８０全体を移動し、位置合わせを行う。
【００６０】（ステップＳ８）位置設定テーブル３を矢
印Ｅに示すように印刷ヘッド１の印刷部位に移動させ、
位置決めする。
印Ｅに示すように印刷ヘッド１の印刷部位に移動させ、
位置決めする。
【００６１】（ステップＳ９）印刷ヘッド１を矢印Ｆに
示すように水平移動し、ペーストを入れたペースト供給
ノズル１９を降下させ、さらに矢印Ｇに示すように水平
方向に移動２６することで導電性ペーストをスクリ−ン
印刷版面上に供給する。
示すように水平移動し、ペーストを入れたペースト供給
ノズル１９を降下させ、さらに矢印Ｇに示すように水平
方向に移動２６することで導電性ペーストをスクリ−ン
印刷版面上に供給する。
【００６２】（ステップＳ１０）スキ−ジユニット１３
ａ，１３ｂをスクリ−ン印刷版上面で矢印Ｆ方向に移動
させることにより、版面上の導電性ペーストを加圧しな
がら移動させ、シート枠８０に貼り付けられているグリ
ーンシート８１の多数の貫通穴に導電性ペーストを充填
する（図１４の平面図参照）。
ａ，１３ｂをスクリ−ン印刷版上面で矢印Ｆ方向に移動
させることにより、版面上の導電性ペーストを加圧しな
がら移動させ、シート枠８０に貼り付けられているグリ
ーンシート８１の多数の貫通穴に導電性ペーストを充填
する（図１４の平面図参照）。
【００６３】（ステップＳ１１）導電性ペーストの充填
が完了したグリーンシート８１を載せたシート枠８０及
び位置設定テーブル３を矢印Ｅ方向に移動させ、位置認
識装置４の認識カメラ位置に戻す。
が完了したグリーンシート８１を載せたシート枠８０及
び位置設定テーブル３を矢印Ｅ方向に移動させ、位置認
識装置４の認識カメラ位置に戻す。
【００６４】（ステップＳ１２）シート枠８０は矢印
Ｈ，Ｉ方向のハンドリングによってマガジン７ａに戻
す。
Ｈ，Ｉ方向のハンドリングによってマガジン７ａに戻
す。
【００６５】（ステップＳ１３）位置設定テ−ブル３上
のプラスチックシート５４を矢印Ｃ方向、次いで矢印Ｊ
方向へのハンドリングによってプラスチックシート搬送
部５の初期位置に戻して回収する。
のプラスチックシート５４を矢印Ｃ方向、次いで矢印Ｊ
方向へのハンドリングによってプラスチックシート搬送
部５の初期位置に戻して回収する。
【００６６】（ステップＳ１４）スクリ−ン印刷版の交
換が必要か否かを判定する。
換が必要か否かを判定する。
【００６７】（ステップＳ１５）スクリ−ン印刷版の交
換を必要とした場合、スクリ−ン印刷版を版ホルダごと
印刷部位から移動させて初期位置に戻す。次に導電性ペ
ースト回収操作をおこなう。
換を必要とした場合、スクリ−ン印刷版を版ホルダごと
印刷部位から移動させて初期位置に戻す。次に導電性ペ
ースト回収操作をおこなう。
【００６８】（ステップＳ１６）スクリ−ン印刷版を版
ホルダから外す。そして、次に印刷するグリーンシート
に対しては同様の処理動作を繰り返す。すなわち、スク
リ−ン印刷版を取り外した場合は、プラスチックシート
５４の供給動作から、また、スクリ−ン印刷版がそのま
まの場合は、印刷するシート枠のセット動作から処理を
続行する。
ホルダから外す。そして、次に印刷するグリーンシート
に対しては同様の処理動作を繰り返す。すなわち、スク
リ−ン印刷版を取り外した場合は、プラスチックシート
５４の供給動作から、また、スクリ−ン印刷版がそのま
まの場合は、印刷するシート枠のセット動作から処理を
続行する。
【００６９】以上、本発明を実施例にもとづき具体的に
説明したが、本発明は、前記実施例に限定されるもので
はなく、その要旨を逸脱しない範囲において種々変更可
能なことはいうまでもない。
説明したが、本発明は、前記実施例に限定されるもので
はなく、その要旨を逸脱しない範囲において種々変更可
能なことはいうまでもない。
【００７０】
【発明の効果】以上述べたように、本発明のペースト充
填装置によれば、グリーンシート載置台に、段積みした
多孔質材料からなるプラスチックシートを粘着性パッド
によって最上部のものから順次一枚づつ分離して供給す
るプラスチックシート供給部と、グリーンシート載置台
に載置されたプラスチックシートの上にグリーンシート
を供給するグリーンシート供給部と、このグリーンシー
ト供給部が供給するグリーンシートとスクリーン印刷版
とが所定の位置関係となるように位置決めする位置決め
機構とを具備させ、プラスチックシートの１枚分離と供
給を自動的に行うように構成したものである。
填装置によれば、グリーンシート載置台に、段積みした
多孔質材料からなるプラスチックシートを粘着性パッド
によって最上部のものから順次一枚づつ分離して供給す
るプラスチックシート供給部と、グリーンシート載置台
に載置されたプラスチックシートの上にグリーンシート
を供給するグリーンシート供給部と、このグリーンシー
ト供給部が供給するグリーンシートとスクリーン印刷版
とが所定の位置関係となるように位置決めする位置決め
機構とを具備させ、プラスチックシートの１枚分離と供
給を自動的に行うように構成したものである。
【００７１】このため、プラスチックであるがゆえに静
電気が発生しても確実に１枚に分離し、かつ破損するこ
となく、迅速に、所定位置に供給することができる。
電気が発生しても確実に１枚に分離し、かつ破損するこ
となく、迅速に、所定位置に供給することができる。
【００７２】また、グリーンシートの載置位置は位置決
め機構によってスクリーン印刷版と所定の位置関係とな
るように位置決めされるので、位置ずれによる孔埋め不
良が生じることがなくなる。
め機構によってスクリーン印刷版と所定の位置関係とな
るように位置決めされるので、位置ずれによる孔埋め不
良が生じることがなくなる。
【００７３】この結果、多層セラミック基板の品質の向
上と製造時の作業効率の向上を図ることができるという
極めて優れた効果が得られる。
上と製造時の作業効率の向上を図ることができるという
極めて優れた効果が得られる。
【図１】 本発明の導電性ペースト充填装置の一実施例
を示す全体構成図である。
を示す全体構成図である。
【図２】 シート供給部の要部を拡大して示す斜視図で
ある。
ある。
【図３】 プラスチックシート搬送部の主要部を示す部
分断面図である。
分断面図である。
【図４】 プラスチックシート供給動作を説明するため
の部分断面図である。
の部分断面図である。
【図５】 グリーンシートの位置設定テーブルの構成を
示す部分断面図である。
示す部分断面図である。
【図６】 位置設定テーブル，プラスチックシート，グ
リーンシートの位置決め動作を説明するための部分断面
図である。
リーンシートの位置決め動作を説明するための部分断面
図である。
【図７】 印刷ヘッドの構成を示す側面図である。
【図８】 印刷ヘッドの構成を示す正面図である。
【図９】 ペースト供給ノズルを示す部分断面図であ
る。
る。
【図１０】 ペースト供給機構の動作を示す正面図であ
る。
る。
【図１１】 ペースト回収機構の正面図である。
【図１２】 導電性ペースト印刷充填装置の動作を示す
フローチャートである。
フローチャートである。
【図１３】 スクリ−ン印刷版、グリーンシート、プラ
スチックシートの供給動作を説明するための平面図であ
る。
スチックシートの供給動作を説明するための平面図であ
る。
【図１４】 導電性ペーストの吐出と刷り込み動作を説
明するための平面図である。
明するための平面図である。
１…印刷ヘッド、２…版保持／移動部、３…位置設定テ
ーブル、４…位置認識装置、５…プラスチックシート搬
送部、６…グリーンシート供給部、７ａ，７ｂ…マガジ
ン、１０…スクリ−ンペースト回収装置、１６，１７…
エアシリンダ、１９…ペースト供給ノズル、５３…ピッ
クアップ、５４…プラスチックシート、５８…粘着ゴ
ム、８０…シート枠、８１…グリーンシート。１０４…
スキ−ジユニット、１０５…ワイヤ。
ーブル、４…位置認識装置、５…プラスチックシート搬
送部、６…グリーンシート供給部、７ａ，７ｂ…マガジ
ン、１０…スクリ−ンペースト回収装置、１６，１７…
エアシリンダ、１９…ペースト供給ノズル、５３…ピッ
クアップ、５４…プラスチックシート、５８…粘着ゴ
ム、８０…シート枠、８１…グリーンシート。１０４…
スキ−ジユニット、１０５…ワイヤ。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭63−284893（ＪＰ，Ａ) 特開 平３−61538（ＪＰ，Ａ) 特開 平１−319989（ＪＰ，Ａ) 特開 昭50−61659（ＪＰ，Ａ) 特開 平４−314545（ＪＰ，Ａ)
Claims (1)
- 【請求項１】 グリーンシート載置台の上に多孔質材料
からなるプラスチックシートを載置し、さらにこのプラ
スチックシートの上にグリーンシートを載置し、このグ
リーンシートの上に載置したスクリーン印刷版によって
グリーンシートに形成した貫通孔にスクリーン印刷によ
り導電性ペーストを充填する導電性ペースト充填装置に
おいて、 グリーンシート載置台に、段積みした多孔質プラスチッ
クシートを粘着性パッドによって上のものから一枚づつ
分離して供給するプラスチックシート供給部と、グリー
ンシート載置台に載置されたプラスチックシートの上に
グリーンシートを供給するグリーンシート供給部と、こ
のグリーンシート供給部が供給するグリーンシートと前
記スクリーン印刷版とが所定の位置関係となるように位
置決めする位置決め機構とを備えたことを特徴とする導
電性ペースト充填装置。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3211768A JP2504643B2 (ja) | 1991-08-23 | 1991-08-23 | 導電性ペ―スト充填装置 |
| US07/931,308 US5332439A (en) | 1991-08-23 | 1992-08-18 | Screen printing apparatus for filling through-holes in circuit board with paste |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3211768A JP2504643B2 (ja) | 1991-08-23 | 1991-08-23 | 導電性ペ―スト充填装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0555748A JPH0555748A (ja) | 1993-03-05 |
| JP2504643B2 true JP2504643B2 (ja) | 1996-06-05 |
Family
ID=16611267
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3211768A Expired - Fee Related JP2504643B2 (ja) | 1991-08-23 | 1991-08-23 | 導電性ペ―スト充填装置 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5332439A (ja) |
| JP (1) | JP2504643B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102744958A (zh) * | 2012-07-19 | 2012-10-24 | 东莞市科隆威自动化设备有限公司 | 一种led电路板x向smt印刷机 |
Families Citing this family (18)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5410806A (en) * | 1993-09-15 | 1995-05-02 | Lsi Logic Corporation | Method for fabricating conductive epoxy grid array semiconductors packages |
| US5522929A (en) * | 1994-08-29 | 1996-06-04 | Erdmann; Gunter | Apparatus for material deposition for circuit board manufacture |
| US5738904A (en) * | 1995-06-30 | 1998-04-14 | Hti Engineering Inc. | Method and apparatus for variable speed material deposition |
| US5871807A (en) * | 1995-08-14 | 1999-02-16 | Micron Display Technology, Inc. | Multiple level printing in a single pass |
| DE19640285C2 (de) * | 1996-09-30 | 1998-11-12 | Siemens Nixdorf Inf Syst | Vorrichtung zum Auftragen von Lötpaste auf die Kontaktelemente von Ball Grid Array-Bauteilen |
| US5779794A (en) * | 1996-12-06 | 1998-07-14 | Micron Technology, Inc. | Universal fixture for holding printed circuit boards during processing |
| US6101937A (en) * | 1997-02-12 | 2000-08-15 | Minami Co., Ltd. | Screen printing machine having paste dispensers and a squeegee unit |
| US5927193A (en) * | 1997-10-16 | 1999-07-27 | International Business Machines Corporation | Process for via fill |
| JP3344956B2 (ja) * | 1998-01-08 | 2002-11-18 | 日本特殊陶業株式会社 | 積層セラミック基板の製造方法 |
| AU2001264968A1 (en) | 2000-05-31 | 2001-12-11 | Honeywell International, Inc. | Filling device |
| WO2001093647A2 (en) | 2000-05-31 | 2001-12-06 | Honeywell International Inc. | Filling method |
| US6800232B2 (en) * | 2000-05-31 | 2004-10-05 | Ttm Advanced Circuits, Inc. | PCB support plate method for PCB via fill |
| US6506332B2 (en) * | 2000-05-31 | 2003-01-14 | Honeywell International Inc. | Filling method |
| US6855385B2 (en) * | 2000-05-31 | 2005-02-15 | Ttm Advanced Circuits, Inc. | PCB support plate for PCB via fill |
| US8122847B2 (en) * | 2009-06-29 | 2012-02-28 | Ttm Technologies, Inc. | System for filling holes in a printed circuit board with a fluid fill material |
| US8444770B2 (en) * | 2009-06-29 | 2013-05-21 | Ttm Technologies, Inc. | System for cleaning components for filling holes in a printed circuit board with a fluid fill material |
| GB201718674D0 (en) * | 2017-11-12 | 2017-12-27 | Asm Assembly Systems Singapore Pte Ltd | Isolated paste dispenser |
| CN113260162B (zh) * | 2021-04-29 | 2023-11-03 | 邹文华 | 一种组合印制电路板导电膏隔离薄膜剥离装置 |
Family Cites Families (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US2919129A (en) * | 1956-07-26 | 1959-12-29 | Robert L Sjostrom | Sheet feeding machine |
| US3083961A (en) * | 1960-06-23 | 1963-04-02 | Pfaff Ag G M | Pickup device for use in feeding mechanism and the like |
| US3251340A (en) * | 1962-04-13 | 1966-05-17 | Otafuku Wata Kabushiki Kaisha | Machine for bonding fibers of a web at given intervals |
| US3765672A (en) * | 1970-04-30 | 1973-10-16 | Stahl Urban Co | Automatic feeder for workpiece of fabric or the like |
| US3924576A (en) * | 1972-05-12 | 1975-12-09 | Gen Motors Corp | Staged combustion engines and methods of operation |
| JPS5061659A (ja) * | 1973-10-02 | 1975-05-27 | ||
| DE2643226C2 (de) * | 1976-09-25 | 1982-07-29 | Mathias 4815 Schloss Holte Mitter | Vorrichtung zum absatzweisen Bedrucken von Druckgut, insbesondere Warenbahnen mittels mehrerer bewegbarer ebener Schablonen |
| JPS5625789A (en) * | 1979-08-09 | 1981-03-12 | Nippon Electric Co | Position display system |
| US4635365A (en) * | 1983-09-09 | 1987-01-13 | Dainippon Screen Seizo Kabushiki Kaisha | Coordinate plotter with automatic punching device |
| JPH0227255B2 (ja) * | 1985-02-20 | 1990-06-15 | Kawashima Packaging Mach | Shiitobutsunokyusosochi |
| JPH0682919B2 (ja) * | 1987-05-18 | 1994-10-19 | 株式会社日立製作所 | 導体ペ−スト充填方法 |
| JPH01319989A (ja) * | 1988-06-22 | 1989-12-26 | Fujitsu Ltd | スクリーン印刷方法及び装置 |
| JP2943164B2 (ja) * | 1989-07-31 | 1999-08-30 | 松下電器産業株式会社 | スクリーン印刷機の印刷用ペースト供給装置 |
-
1991
- 1991-08-23 JP JP3211768A patent/JP2504643B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
1992
- 1992-08-18 US US07/931,308 patent/US5332439A/en not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102744958A (zh) * | 2012-07-19 | 2012-10-24 | 东莞市科隆威自动化设备有限公司 | 一种led电路板x向smt印刷机 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US5332439A (en) | 1994-07-26 |
| JPH0555748A (ja) | 1993-03-05 |
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|---|---|---|---|
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