JP2024079914A

JP2024079914A - 樹脂シート

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Publication number: JP2024079914A
Application number: JP2022192602A
Authority: JP
Inventors: 良典柿沼
Original assignee: Disco Corp
Current assignee: Disco Corp
Priority date: 2022-12-01
Filing date: 2022-12-01
Publication date: 2024-06-13
Also published as: DE102023211734A1; US20240181746A1; CN118126637A

Abstract

【課題】剥離可能な程度に熱圧着フィルムと保護フィルムとの貼り付きを確保すると共に、熱圧着フィルム又は保護フィルムから被加工物への粘着剤の転写を防止する。【解決手段】被加工物に熱圧着される熱圧着フィルムを有する樹脂シートであって、被加工物に熱圧着される一面を有する樹脂製の熱圧着フィルムと、一面に対面する内面を有し、熱圧着フィルムに対して剥離可能な態様で貼り付けられており、一面を保護する樹脂製の保護フィルムと、を備え、一面と内面の少なくとも一方には、熱圧着フィルムと保護フィルムとを貼り付ける貼付部が設けられており、平面視において、貼付部は、被加工物に熱圧着されることが予定されている一面の所定領域とは重ならない領域に配置されている樹脂シートを提供する。【選択図】図２

Description

本発明は、被加工物に熱圧着される熱圧着フィルムを有する樹脂シートに関する。

粘着剤等で形成された粘着層を有さずポリオレフィン製の基材層を有する熱圧着フィルムの一面を、半導体ウェーハ等の被加工物の一面に熱圧着により貼り付けることが提案されている（例えば、特許文献１参照）。この熱圧着フィルムを用いれば、熱圧着フィルムを剥離しても被加工物の一面に粘着剤が残留しないという利点がある。

ところで、熱圧着フィルムにおいて被加工物に貼り付けられる一面を清浄に保つために、熱圧着フィルムの一面に接する態様で保護フィルムを設けることが考えられる。しかし、熱圧着フィルムは、加熱により柔軟になることで被加工物に対する粘着性が発現するので、常温（例えば、５℃以上３５℃以下の所定温度）では、粘着性が略無い。それゆえ、熱圧着フィルムに保護フィルムを貼り付けることが難しい。

そこで、例えば、保護フィルムの一面全体に粘着剤等で形成された粘着層を設けることで、熱圧着フィルムに保護フィルムを貼り付けることが考えられる。しかし、保護フィルムを熱圧着フィルムから剥離する際に保護フィルムの粘着剤が熱圧着フィルムに転写すると、熱圧着フィルムを被加工物に貼り付けた後に剥離するとき、粘着剤が、熱圧着フィルムから被加工物に転写するという問題がある。

特開２０１８－１９５８０５号公報

本発明は係る問題点に鑑みてなされたものであり、熱圧着により被加工物に貼り付けられる熱圧着フィルムの一面を保護フィルムで保護する場合に、剥離可能な程度に熱圧着フィルムと保護フィルムとの貼り付きを確保すると共に、熱圧着フィルム又は保護フィルムから被加工物への粘着剤の転写を防止することを目的とする。

本発明の一態様によれば、被加工物に熱圧着される熱圧着フィルムを有する樹脂シートであって、該被加工物に熱圧着される一面を有する樹脂製の該熱圧着フィルムと、該一面に対面する内面を有し、該熱圧着フィルムに対して剥離可能な態様で貼り付けられており、該一面を保護する樹脂製の保護フィルムと、を備え、該一面と該内面の少なくとも一方には、該熱圧着フィルムと該保護フィルムとを貼り付ける貼付部が設けられており、平面視において、該貼付部は、該被加工物に熱圧着されることが予定されている該一面の所定領域とは重ならない領域に配置されている樹脂シートが提供される。

好ましくは、樹脂シートは、長尺状であり、長尺方向に直交する幅方向の両端部に該貼付部が配置されている。

また、好ましくは、樹脂シートは、長尺状であり、円柱状の巻心に対して多重に巻回された巻回体の態様である。

また、好ましくは、該貼付部は、粘着剤を有する。

また、好ましくは、該貼付部は、該熱圧着フィルムと該保護フィルムとを静電気力によって貼り付ける帯電領域を有する。

また、好ましくは、該貼付部は、該熱圧着フィルムと該保護フィルムとが熱圧着によって貼り付けられた領域を有する。

本発明の一態様に係る樹脂シートにおいて、熱圧着フィルムの一面と、当該一面に対面するように配置される保護フィルムの内面と、の少なくとも一方には、熱圧着フィルムと保護フィルムとを貼り付ける貼付部が設けられている。

貼付部は、平面視において、熱圧着フィルムの一面のうち被加工物に熱圧着されることが予定されている所定領域とは重ならない領域に配置されている。それゆえ、剥離可能な程度に熱圧着フィルムと保護フィルムとの貼り付きを確保すると共に、熱圧着フィルム又は保護フィルムから被加工物への粘着剤の転写を防止できる。

樹脂シートの巻回体の斜視図である。図２（Ａ）は第１の実施形態に係る樹脂シートの平面図であり、図２（Ｂ）は図２（Ａ）のＡ－Ａ断面図である。樹脂シートの製造方法の一例の概略を示す図である。図４（Ａ）は貼付工程の前半部を示す図であり、図４（Ｂ）は貼付工程の後半部を示す図であり、図４（Ｃ）は切取工程の概略を示す図である。図５（Ａ）は第１の実施形態の変形例に係る樹脂シートの平面図であり、図５（Ｂ）は図５（Ａ）のＢ－Ｂ断面図である。図６（Ａ）は第２の実施形態に係る樹脂シートの平面図であり、図６（Ｂ）は図６（Ａ）のＣ－Ｃ断面図である。熱圧着フィルムを被加工物に貼り付ける貼付工程の概略を示す図である。図８（Ａ）は第２の実施形態の変形例に係る樹脂シートの平面図であり、図８（Ｂ）は図８（Ａ）のＤ－Ｄ断面図である。図９（Ａ）は第３の実施形態に係る樹脂シートの平面図であり、図９（Ｂ）は図９（Ａ）のＥ－Ｅ断面図であり、図９（Ｃ）は図９（Ａ）のＦ－Ｆ断面図である。図１０（Ａ）は第３の実施形態の変形例に係る樹脂シートの平面図であり、図１０（Ｂ）は図１０（Ａ）のＧ－Ｇ断面図であり、図１０（Ｃ）は図１０（Ａ）のＨ－Ｈ断面図である。

添付図面を参照して、本発明の一態様に係る実施形態について説明する。図１は、樹脂シート２の巻回体２ａの斜視図である。樹脂シート２は、円柱状の巻芯４に対して多重に巻回された巻回体２ａの態様（即ち、ロール状の状態）で搬送され、使用時には巻回体２ａから繰り出される。

巻芯４は、例えば、硬質の樹脂で形成されている。巻芯４の円柱の径は、例えば、５０ｍｍである。巻芯４の円柱の長さは、樹脂シート２の幅（即ち、樹脂シート２の長尺方向Ａ_１及び厚さ方向Ａ_３とそれぞれ直交する幅方向Ａ_２の長さ）と略同じである。

但し、巻芯４の円柱の長さは、樹脂シート２の幅方向Ａ_２の両側にそれぞれ略同じ長さだけ突出する様に、樹脂シート２の幅よりも所定長さだけ長くてもよい。例えば、巻芯４は、幅方向Ａ_２の一方側及び他方側の各々において樹脂シート２よりも１０ｍｍ突出する。

樹脂シート２は、後述する被加工物１１（図４（Ａ）参照）に熱圧着される樹脂製の熱圧着フィルム６を有する。熱圧着フィルム６は、透光性を有する熱可塑性樹脂で形成されており、常温常圧下において粘着剤ではなく基材として機能する。

第１の実施形態の熱圧着フィルム６は、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリ（４－メチル－１－ペンテン）、ポリ（１－ブテン）等のポリオレフィンで形成されている。但し、熱圧着フィルム６は、ポリオレフィンに限定されず、他の熱可塑性樹脂で構成されてもよい。

他の熱可塑性樹脂の材料としては、具体的には、アクリル樹脂、メタクリル樹脂、ビニル樹脂、ポリアセタール、天然ゴム、ブチルゴム、イソプレンゴム、クロロプレンゴム、ポリエチレンテレフタレート，ポリブチレンテレフタレート等のポリエステル、ナイロン－６，ナイロン－６６，ポリメタキシレンアジパミド等のポリアミド、ポリアクリレート、ポリメタアクリレート、ポリ塩化ビニル、ポリエーテルイミド、ポリアクリロニトリル、ポリカーボネート、ポリスチレン、ポリスルホン、ポリエーテルスルホン、ポリフェニレン、エーテルポリブタジエン樹脂、ポリカーボネート樹脂、熱可塑性ポリイミド樹脂、熱可塑性ポリウレタン樹脂、フェノキシ樹脂、ポリアミドイミド樹脂、フッ素樹脂、エチレン－不飽和カルボン酸共重合体、エチレン－酢酸ビニル共重合体、アイオノマー、エチレン－酢酸ビニル－無水マレイン酸三元共重合体、エチレン－酢酸ビニル共重合体ケン化物、エチレン－ビニルアルコール共重合体等から選択される一種又は二種以上を用いることができる。

上記のエチレン－不飽和カルボン酸共重合体を構成する不飽和カルボン酸としては、アクリル酸、メタクリル酸、マレイン酸、イタコン酸、マレイン酸モノメチル、マレイン酸モノエチル、無水マレイン酸、無水イタコン酸等が例示される。ここで、エチレン－不飽和カルボン酸共重合体は、エチレンと不飽和カルボン酸との二元共重合体のみならず、更に他の単量体が共重合された多元共重合体を包含するものである。

エチレン－不飽和カルボン酸共重合体に共重合されてもよい上記他の単量体としては、酢酸ビニル，プロピオン酸ビニル等のビニルエステルや、アクリル酸メチル，アクリル酸エチル，アクリル酸イソブチル，アクリル酸ｎ－ブチル，メタクリル酸メチル，メタクリル酸イソブチル，マレイン酸ジメチル，マレイン酸ジエチル等の不飽和カルボン酸エステルを挙げることができる。

熱圧着フィルム６は、硬さの指標となる貯蔵弾性率が常温において１×１０^６Ｐａ以上１×１０^９Ｐａ以下であり、加熱時において１×１０^６Ｐａ以上１×１０^７Ｐａ以下であることが好ましい。但し、加熱時の貯蔵弾性率は、常温での貯蔵弾性率よりも低い（即ち、加熱時の方が柔らかい）。

熱圧着フィルム６がポリオレフィンで構成されている場合、貼付時には熱圧着フィルム６は８０℃以上１００℃以下の所定温度に加熱される。このとき、貯蔵弾性率は１×１０^６Ｐａ以上１×１０^７Ｐａ以下となる。

貯蔵弾性率は、固体試料に周期的な変形（例えば、引張変形）を与え、これにより生じる固体試料の変形量や変形が生じるまでの時間的な遅れに基づいて算出される。例えば、貯蔵弾性率は、株式会社日立ハイテク製の粘弾性測定装置ＤＭＡ７１００を用いて測定される。これを用いて貯蔵弾性率を測定する際の測定条件は、例えば、次の様に定める。

昇温速度：２℃／ｍｉｎ
測定温度範囲：室温以上２００℃以下
周波数：１Ｈｚ

熱圧着フィルム６の内面（一面）６ａから外面（他面）６ｂまでの距離で規定される熱圧着フィルム６の厚さは、例えば、１００μｍであるが、熱圧着フィルム６の厚さはこの数値に限定されるものではない。

熱圧着フィルム６の内面６ａを、不純物、微小なゴミ等の所謂コンタミネーションから保護するために、熱圧着フィルム６の内面６ａには、保護フィルム８が剥離可能な態様で貼り付けられている。熱圧着フィルム６の内面６ａには、樹脂製の保護フィルム８の内面８ａが対面している。

保護フィルム８は、熱圧着フィルム６と同様に透光性を有し、常温常圧下において粘着剤ではなく基材として機能する。保護フィルム８は、ポリエチレンテレフタレート等のポリエステルで形成されているが、保護フィルム８は、上述の熱可塑性樹脂のうちポリエステル以外のもので形成されていてもよい。

保護フィルム８の内面８ａから外面８ｂまでの距離で規定される保護フィルム８の厚さは、例えば、１００μｍであるが、保護フィルム８の厚さはこの数値に限定されるものではない。

熱圧着フィルム６と、保護フィルム８とは、長尺方向Ａ_１の長さが幅方向Ａ_２の長さよりも長く（即ち、長尺状であり）、後述する貼付部１０（図２（Ａ）、図２（Ｂ）等参照）で互いに貼り付けられている。

図２（Ａ）は、第１の実施形態に係る樹脂シート２の平面図であり、図２（Ｂ）は、図２（Ａ）のＡ－Ａ断面図である。第１の実施形態の樹脂シート２では、熱圧着フィルム６の内面６ａと、保護フィルム８の内面８ａと、の少なくとも一方において、幅方向Ａ_２の両端部に貼付部１０が設けられている。

貼付部１０は、常温及び常圧でそれぞれ粘着性を有するエポキシ系、アクリル系、又は、ゴム系の粘着剤を有する。なお、図２（Ａ）では説明の便宜上、粘着剤が設けられている領域にドットパターンを付している。

貼付部１０は、幅方向Ａ_２の一方の側部２ｂにおける外側の略半分に設けられている。樹脂シート２の幅方向Ａ_２の長さが４００ｍｍである場合、一方の側部２ｂの幅方向Ａ_２の長さは約３５ｍｍであり、貼付部１０の幅方向Ａ_２の長さ１０ａは約１７．５ｍｍである。

幅方向Ａ_２の他方の側部２ｃにおける外側の略半分にも、同様に貼付部１０が設けられている。樹脂シート２の幅方向Ａ_２の長さが４００ｍｍである場合、他方の側部２ｃの幅方向Ａ_２の長さは約３５ｍｍであり、貼付部１０の幅方向Ａ_２の長さ１０ａは約１７．５ｍｍである。

貼付部１０は、長尺方向Ａ_１に沿って途切れなく設けられている。しかし、部分的に粘着剤が形成されないことで、貼付部１０は、長尺方向Ａ_１に沿って周期的に配置された粘着剤や、長尺方向Ａ_１に沿って略ランダムに配置された粘着剤を有してもよい。

樹脂シート２を平面視した場合に、一方の側部２ｂと他方の側部２ｃとの間に位置する円形の所定領域１２は、熱圧着フィルム６の内面６ａのうち被加工物１１に熱圧着されることが予定されている領域である。

樹脂シート２の幅方向Ａ_２の長さが４００ｍｍである本例では、所定領域１２の径は、３３０ｍｍであり、所定領域１２には、３００ｍｍの径を有する被加工物１１を貼り付けることが想定されている。

樹脂シート２に貼付部１０を設けることで、剥離可能な程度に熱圧着フィルム６と保護フィルム８との貼り付きを確保できる。更に、第１の実施形態の貼付部１０は、平面視において所定領域１２とは重ならない領域に配置されている。

それゆえ、熱圧着フィルム６から保護フィルム８を剥離して、熱圧着フィルム６を被加工物１１へ熱圧着により貼り付けたとしても、熱圧着フィルム６又は保護フィルム８から被加工物１１への粘着剤の転写を防止できる。

図３は、樹脂シート２の製造方法の一例の概略を示す図である。樹脂シート２を製造する際には、粘着剤を有する貼付部１０を保護フィルム８の内面８ａに形成した後、保護フィルム８の内面８ａと、熱圧着フィルム６の内面６ａと、が対面する態様で両者を貼り合わせる。

図３に示す様に、製造装置２０は、塗布乾燥ユニット２２を有する。塗布乾燥ユニット２２は、繰り出された保護フィルム８の内面８ａのうち幅方向Ａ_２の両端部に粘着剤が溶解した有機溶剤を塗布する塗布ユニット２２ａを有する。

保護フィルム８が繰り出される繰出方向において塗布ユニット２２ａの先には、有機溶剤が塗布された保護フィルム８を加熱により乾燥することで有機溶剤を揮発させて貼付部１０に粘着性能を発揮させる乾燥ユニット２２ｂが設けられている。

塗布乾燥ユニット２２で貼付部１０を形成した後、内面６ａ，８ａが対面する態様で、熱圧着フィルム６及び保護フィルム８を一対のローラ２４により貼り合わせることで樹脂シート２を形成する。そして、ローラ２６を経由して樹脂シート２をロール状に巻き取ることで、巻回体２ａが形成される。

なお、図３に示す例では、保護フィルム８の内面８ａにのみ貼付部１０を形成するが、熱圧着フィルム６の内面６ａにのみ貼付部１０を形成してもよい。また、保護フィルム８の内面８ａと、熱圧着フィルム６の内面６ａと、に貼付部１０をそれぞれ形成してもよい。

例えば、一方の側部２ｂにおける保護フィルム８の内面８ａと、他方の側部２ｃにおける熱圧着フィルム６の内面６ａと、に貼付部１０をそれぞれ形成する。これに代えて、他方の側部２ｃにおける保護フィルム８の内面８ａと、一方の側部２ｂにおける熱圧着フィルム６の内面６ａと、に貼付部１０をそれぞれ形成してもよい。

次に、貼付装置３０（図４（Ａ）参照）を用いて、熱圧着フィルム６をシリコンウェーハ等の被加工物１１に貼り付ける方法について説明する。貼付装置３０は、円板状のチャックテーブル３２を有する。

チャックテーブル３２は、被加工物１１を負圧で吸引保持可能な保持面３２ａを有する。チャックテーブル３２は、ボールねじ式の移動機構（不図示）により、熱圧着フィルム６の幅方向Ａ_２と直交する所定方向Ｂ（図４（Ｂ）参照）に移動可能に構成されている。

保持面３２ａの上方には、巻回体２ａが配置されている。巻回体２ａから繰り出された樹脂シート２は、一対の誘導ローラ３４が配置された位置で、熱圧着フィルム６及び保護フィルム８に分離し、熱圧着フィルム６及び保護フィルム８はそれぞれ更に繰り出される（図４（Ａ）の破線矢印参照）。

繰り出された熱圧着フィルム６の上方には、熱圧着フィルム６を被加工物１１に熱圧着するための円柱状のヒートローラ３６が設けられている。ヒートローラ３６は、その長手方向が幅方向Ａ_２に沿って配置されている。

ヒートローラ３６は、エアアクチュエータ、ボールねじ等の昇降機構により、上下方向（即ち、幅方向Ａ_２及び所定方向Ｂに直交する方向）に沿って移動可能に構成されている。ヒートローラ３６内には電熱線等の熱発生源（不図示）が設けられている。

また、熱圧着フィルム６の上方には、カッターユニット３８（図４（Ｃ）参照）も設けられている。カッターユニット３８は、円柱状の回転軸３８ａを有する。回転軸３８ａは、その長手方向が上下方向に沿って配置されている。回転軸３８ａは、モータ等の駆動源（不図示）により回転する。

また、回転軸３８ａは、エアアクチュエータ、ボールねじ等の回転機構により、上下方向に沿って移動可能に構成されている。回転軸３８ａの下端部には、回転軸３８ａの長手方向に直交する様に配置されたアーム３８ｂの基端部が固定されている。

アーム３８ｂの先端部には、ホルダ３８ｃが固定されている。このホルダ３８ｃには、熱圧着フィルム６を切るための切り刃３８ｄが、ホルダ３８ｃから下方に突出する様に固定されている。

熱圧着フィルム６の所定領域１２を被加工物１１に貼り付ける際には、まず、図４（Ａ）に示す様に、樹脂シート２を熱圧着フィルム６と保護フィルム８とに分離した後、所定方向Ｂにおけるチャックテーブル３２の位置と、熱圧着フィルム６の所定領域１２の位置と、を調整する。

これにより、裏面１１ｂが保持面３２ａで吸引保持された被加工物１１の所定方向Ｂにおける先端部の直上に、熱圧着フィルム６を介してヒートローラ３６を配置する。図４（Ａ）は、熱圧着フィルム６を被加工物１１に貼り付ける貼付工程の前半部を示す図である。

次いで、所定温度に加熱されたヒートローラ３６を、熱圧着フィルム６を介して被加工物１１の表面１１ａ側に所定の圧力で押し付けると共に、チャックテーブル３２を所定方向Ｂに沿って移動させる。図４（Ｂ）は、熱圧着フィルム６を被加工物１１に貼り付ける貼付工程の後半部を示す図である。

熱圧着フィルム６がポリオレフィンである本例では、ヒートローラ３６を８０℃以上１００℃以下の所定温度に加熱し、ヒートローラ３６を熱圧着フィルム６に押し付ける圧力を０．３ＭＰａ以上０．５ＭＰａ以下の所定値とする。また、チャックテーブル３２の移動速度を１０ｍｍ／ｓ以上３０ｍｍ／ｓ以下の所定値とする。

図４（Ｂ）に示す様に、所定方向Ｂにおける被加工物１１の後端部の直上までヒートローラ３６を相対的に移動させた後、チャックテーブル３２の移動を停止する。そして、ヒートローラ３６を上方へ移動させると共に、カッターユニット３８を下方へ移動させて、熱圧着フィルム６に切り込ませる。

図４（Ｃ）は、熱圧着フィルム６を円形に切り取る切取工程の概略を示す図である。切取工程では、熱圧着フィルム６と被加工物１１との重なり領域の外周縁に沿って切り刃３８ｄを移動させることで、熱圧着フィルム６を円形に切り取る。この様にして、表面１１ａに円形の熱圧着フィルム６が貼り付けられる。

上述の様に、第１の実施形態の貼付部１０は、平面視において、被加工物１１に熱圧着されることが予定されている熱圧着フィルム６の内面６ａの所定領域１２とは重ならない領域に配置されている。

それゆえ、剥離可能な程度に熱圧着フィルム６と保護フィルム８との貼り付きを確保すると共に、熱圧着フィルム６又は保護フィルム８から被加工物１１への粘着剤の転写を防止することができる。

なお、ヒートローラ３６に代えてチャックテーブル３２を上記の所定温度に加熱してもよく、チャックテーブル３２及びヒートローラ３６の両方を上記の所定温度に加熱してもよい。チャックテーブル３２の熱は、被加工物１１を介して熱圧着フィルム６に伝達可能である。

（変形例）次に、第１の実施形態の変形例について説明する。図５（Ａ）は、第１の実施形態の変形例に係る樹脂シート２の平面図であり、図５（Ｂ）は、図５（Ａ）のＢ－Ｂ断面図である。

当該変形例の貼付部１０は、熱圧着フィルム６と保護フィルム８とを静電気力によって（即ち、静電吸着によって）貼り付ける帯電領域を有する。帯電領域は、例えば、直流式コロナ放電処理により形成できる。

樹脂シート２を製造するためには、図３に示す製造装置２０において、塗布乾燥ユニット２２に代えて、放電処理ユニット（不図示）を設ければよい。放電処理ユニットは、針状電極又はワイヤー電極と、対電極と、を含む。

図５（Ｂ）では、帯電領域を太線で示す。上述の様に、貼付部１０は、保護フィルム８の内面８ａにのみ形成されてもよく、熱圧着フィルム６の内面６ａにのみ形成されてもよい。また、貼付部１０は、保護フィルム８の内面８ａと、熱圧着フィルム６の内面６ａと、にそれぞれ形成されてもよい。

ところで、貼付部１０は、帯電領域ではなく、熱圧着フィルム６と保護フィルム８とが熱圧着により貼り付けられた領域を有してもよい。この場合、図３に示す製造装置２０において、塗布乾燥ユニット２２を省略し、一対のローラ２４とローラ２６との間に加熱押圧ユニット（不図示）を設ける。

加熱押圧ユニットでは、常温超且つ熱圧着フィルム６及び被加工物１１の貼付工程で使用される温度以下の温度と、この貼付工程で熱圧着フィルム６に印加される圧力よりも低い圧力と、により、熱圧着フィルム６と保護フィルム８とを熱圧着で貼り付ける。

押圧ユニットでは熱圧着フィルム６を７０℃以上１００℃以下の所定温度、より好ましくは、７０℃以上９０℃以下の所定温度に加熱し、熱圧着フィルム６に印加する圧力を０．０８ＭＰａ以上０．１５ＭＰａ以下の所定値（例えば、０．１ＭＰａ）とする。

貼付工程に比べて低い温度と、貼付工程に比べて低い圧力と、を使用することで、熱圧着フィルム６の変形が所定領域１２へ及ぶことを抑制しつつ、熱圧着フィルム６と保護フィルム８とを剥離可能に貼り付けることができる。

仮に、熱圧着フィルム６の内面６ａ全体と、保護フィルム８の内面８ａ全体と、が熱圧着された後、熱圧着フィルム６を保護フィルム８から剥離すると、剥離時にしわ等が形成されるので、熱圧着フィルム６を被加工物１１に十分な固定力で貼り付けられない場合がある。

それゆえ、樹脂シート２の平面視において、被加工物１１に熱圧着されることが予定されている熱圧着フィルム６の内面６ａの所定領域１２とは重ならない領域に貼付部１０を配置することは有益である。なお、貼付部１０の構成以外は、第１の実施形態と同じである。

（第２の実施形態）次に、第２の実施形態の変形例について説明する。図６（Ａ）は、第２の実施形態に係る樹脂シート４２の平面図であり、図６（Ｂ）は、図６（Ａ）のＣ－Ｃ断面図である。

樹脂シート４２においても、図６（Ａ）に示す様に、平面視において所定領域１２と重ならない領域に貼付部１０が配置されている。特に、第２の実施形態の貼付部１０は、保護フィルム８の内面８ａの所定領域１２を除く全体に設けられている。

所定領域１２は、被加工物１１と略同径の円形領域であるが、被加工物１１の径よりも１ｍｍから２ｍｍ程度大きくてもよい。所定領域１２のサイズを被加工物１１のサイズよりも大きくすれば、熱圧着フィルム６を被加工物１１に貼り付ける際に所定領域１２と被加工物１１との位置ずれが生じても、粘着剤の被加工物１１への転写を防止できる。

なお、保護フィルム８は、熱圧着により若干伸びることもあるので、所定領域１２は、被加工物１１の径よりも１ｍｍから２ｍｍ程度小さくてもよい。

第２の実施形態では、保護フィルム８の内面８ａにのみ貼付部１０を形成するが、熱圧着フィルム６の内面６ａにのみ貼付部１０を形成してもよい。また、保護フィルム８の内面８ａと、熱圧着フィルム６の内面６ａと、に貼付部１０をそれぞれ形成してもよい。

貼付部１０は、上述の粘着剤を有する。なお、図６（Ａ）でも、説明の便宜上、粘着剤が設けられている領域にドットパターンを付している。第２の実施形態では、図６（Ｂ）に示す様に、樹脂シート４２の熱圧着フィルム６は、所定領域１２の外周縁に沿って予め切断されている（即ち、プリカット処理が施されている）。

それゆえ、樹脂シート４２を熱圧着フィルム６と保護フィルム８とに分離して、熱圧着フィルム６を被加工物１１に熱圧着する際には、貼付装置３０とは異なる貼付装置４０（図７参照）が使用される。

図７に示す様に、貼付装置４０は、円板状のチャックテーブル４４を有する。チャックテーブル４４は、被加工物１１を負圧で吸引保持可能な保持面４４ａを有する。チャックテーブル４４は、ボールねじ式の移動機構（不図示）により、所定方向Ｃに移動可能に構成されている。

保持面４４ａの上方には、樹脂シート４２の巻回体４２ａが配置されている。巻回体４２ａから繰り出された樹脂シート４２は、一対の誘導ローラ４６によって引き出された後、樹脂シート４２と線接触する三角柱状の剥離部材４８によって、熱圧着フィルム６のうち円形の所定領域１２が樹脂シート４２から剥離される。

なお、樹脂シート４２の移動経路において、一対の誘導ローラ４６と、剥離部材４８と、の間には、樹脂シート４２の移動方向（即ち、長尺方向Ａ_１）における所定領域１２の先頭位置を検出するための検出部（不図示）が設けられている。

検出部は、例えば、レーザー変位センサを有し、樹脂シート４２の厚さの変化点（即ち、段差位置）を検出する。なお、検出部は、レーザー変位センサに代えて、投光部及び受光部を含むカラーセンサを有し、長尺方向Ａ_１における樹脂シート４２の色の変化点（即ち、色が変わる境界位置）を検出してもよい。

熱圧着フィルム６の所定領域１２が剥離された樹脂シート４２は、一対の誘導ローラ５０によって引っ張られて、回収ローラ５２に巻き取られる。剥離部材４８の近傍には、上述のヒートローラ３６と同様のヒートローラ５４が設けられている。

ヒートローラ５４も、昇降機構により上下方向（図７において幅方向Ａ_２及び所定方向Ｃに直交する方向）に沿って移動可能に構成されている。また、ヒートローラ５４内には電熱線等の熱発生源（不図示）が設けられている。

図７は、熱圧着フィルム６の所定領域１２を被加工物１１に貼り付ける貼付工程の概略を示す図である。裏面１１ｂが保持面３２ａで吸引保持された被加工物１１は、所定方向Ｃにおける被加工物１１の先端部の直上に熱圧着フィルム６を介してヒートローラ５４が位置する様に配置される。

次いで、所定温度に加熱されたヒートローラ５４を、熱圧着フィルム６を介して被加工物１１の表面１１ａ側に所定の圧力で押し付けると共に、チャックテーブル４４を所定方向Ｃに移動させる。所定方向Ｃにおける被加工物１１の後端部の直上までヒートローラ５４が相対的に移動すれば、表面１１ａへの熱圧着フィルム６の熱圧着が完了する。

第２の実施形態の熱圧着フィルム６もポリオレフィンであるので、ヒートローラ５４を８０℃以上１００℃以下の所定温度に加熱し、ヒートローラ５４を熱圧着フィルム６に押し付ける圧力を０．３ＭＰａ以上０．５ＭＰａ以下の所定値とする。また、チャックテーブル４４の移動速度を１０ｍｍ／ｓ以上３０ｍｍ／ｓ以下の所定値とする。

第２の本実施形態においても、貼付部１０は平面視において被加工物１１に熱圧着されることが予定されている熱圧着フィルム６の所定領域１２とは重ならない領域に配置されている。

なお、第２の実施形態においても、ヒートローラ５４に代えてチャックテーブル４４を上記の所定温度に加熱してもよく、チャックテーブル４４及びヒートローラ５４の両方を上記の所定温度に加熱してもよい。

（変形例）次に、第２の実施形態の変形例について説明する。図８（Ａ）は、第２の実施形態の変形例に係る樹脂シート４２の平面図であり、図８（Ｂ）は、図８（Ａ）のＤ－Ｄ断面図である。

当該変形例の貼付部１０は、熱圧着フィルム６と保護フィルム８とを静電気力によって貼り付ける帯電領域を有する。貼付部１０は、例えば、保護フィルム８の内面８ａにのみ形成される。

但し、貼付部１０は、熱圧着フィルム６の内面６ａにのみ形成されてもよく、保護フィルム８の内面８ａと、熱圧着フィルム６の内面６ａと、にそれぞれ形成されてもよい。

ところで、貼付部１０は、帯電領域ではなく、熱圧着フィルム６と保護フィルム８とが熱圧着により貼り付けられた領域を有してもよい。なお、貼付部１０の構成以外は、第２の実施形態と同じである。

（第３の実施形態）次に、第３の実施形態の変形例について説明する。図９（Ａ）は、第３の実施形態に係る樹脂シート６２の平面図であり、図９（Ｂ）は、図９（Ａ）のＥ－Ｅ断面図であり、図９（Ｃ）は、図９（Ａ）のＦ－Ｆ断面図である。

樹脂シート６２においても、図９（Ａ）に示す様に、平面視において所定領域１２と重ならない領域に貼付部１０が配置されている。特に、第３の実施形態の貼付部１０は、保護フィルム８の内面８ａにおいて、２つの所定領域１２の間に配置されている。

貼付部１０は、その長手部が幅方向Ａ_２に沿って配置されている。幅方向Ａ_２における貼付部１０の長さは、所定領域１２の径と略同じである。幅方向Ａ_２における貼付部１０の両端部と、所定領域１２の両端部とは、長尺方向Ａ_１に沿って配置されている。

第３の実施形態では、保護フィルム８の内面８ａにのみ貼付部１０を形成するが、熱圧着フィルム６の内面６ａにのみ貼付部１０を形成してもよい。また、保護フィルム８の内面８ａと、熱圧着フィルム６の内面６ａと、に貼付部１０をそれぞれ形成してもよい。

貼付部１０は、上述の粘着剤を有する。なお、図９（Ａ）でも、説明の便宜上、粘着剤が設けられている領域にドットパターンを付している。図９（Ｂ）に示す様に、樹脂シート６２の熱圧着フィルム６も、所定領域１２の外周縁に沿って予め切断されている（即ち、プリカット処理が施されている）。

第２の実施形態と同様に、所定領域１２は、被加工物１１と略同径の円形領域であるが、被加工物１１の径よりも１ｍｍから２ｍｍ程度大きくてもよし、小さくてもよい。樹脂シート６２を熱圧着フィルム６と保護フィルム８とに分離して、熱圧着フィルム６を被加工物１１に熱圧着する際には、上述の貼付装置４０が使用される。

貼付装置４０で所定領域１２の移動方向における先頭位置を検出する際には、検出部としてレーザー変位センサを設け、貼付部１０を利用して樹脂シート４２の厚さの変化点を検出してもよく、樹脂シート４２の色の変化点を検出してもよい。

（変形例）次に、第３の実施形態の変形例について説明する。図１０（Ａ）は、第３の実施形態の変形例に係る樹脂シート６２の平面図であり、図１０（Ｂ）は、図１０（Ａ）のＧ－Ｇ断面図であり、図１０（Ｃ）は、図１０（Ａ）のＨ－Ｈ断面図である。

ところで、貼付部１０は、帯電領域ではなく、熱圧着フィルム６と保護フィルム８とが熱圧着により貼り付けられた領域を有してもよい。なお、貼付部１０の構成以外は、第３の実施形態と同じである。

その他、上述の実施形態に係る構造、方法等は、本発明の目的の範囲を逸脱しない限りにおいて適宜変更して実施できる。熱圧着フィルム６は、表面１１ａに代えて被加工物１１の裏面１１ｂに貼り付けられてもよい。

また、樹脂シート２，４２，６２のサイズは一例である。被加工物１１の形状及びサイズに応じて、所定領域１２の形状及びサイズを適宜変更してもよい。被加工物１１は、円板状ではなく、矩形板状であってもよい。

第１の実施形態の樹脂シート２においても、第２及び第３の実施形態の様に、所定領域１２がその外周縁に沿って予め切断されていてもよい（即ち、プリカット処理が施されていてもよい）。

プリカット処理が施されている樹脂シート２，４２，６２では、樹脂シート２，４２，６２の移動方向における所定領域１２の先頭位置を検出部で検出しやすい様に、所定領域１２の先頭位置に目印となる所定の色が付されてもよい。

また、第２及び第３の実施形態において、第１の実施形態の様に、プリカット処理を施すことなく被加工物１１よりも数十ｍｍ（例えば、３０ｍｍ）大きい径を有する所定領域１２を被加工物１１に貼り付けた後に、熱圧着フィルム６を切り取ってもよい。

２：樹脂シート、２ａ：巻回体、２ｂ，２ｃ：側部、４：巻芯
６：熱圧着フィルム、６ａ：内面（一面）、６ｂ：外面（他面）
８：保護フィルム、８ａ：内面、８ｂ：外面
１０：貼付部、１０ａ：長さ、１２：所定領域
１１：被加工物、１１ａ：表面、１１ｂ：裏面
２０：製造装置
２２：塗布乾燥ユニット、２２ａ：塗布ユニット、２２ｂ：乾燥ユニット
２４：一対のローラ、２６：ローラ
３０：貼付装置、３２：チャックテーブル、３２ａ：保持面
３４：一対の誘導ローラ、３６：ヒートローラ、３８：カッターユニット
３８ａ：回転軸、３８ｂ：アーム、３８ｃ：ホルダ、３８ｄ：切り刃
４０：貼付装置
４２：樹脂シート、４２ａ：巻回体
４４：チャックテーブル、４４ａ：保持面
４６：一対の誘導ローラ、４８：剥離部材、５０：一対の誘導ローラ
５２：回収ローラ、５４：ヒートローラ
６２：樹脂シート
Ａ_１：長尺方向、Ａ_２：幅方向、Ａ_３：厚さ方向、Ｂ，Ｃ：所定方向

Claims

被加工物に熱圧着される熱圧着フィルムを有する樹脂シートであって、
該被加工物に熱圧着される一面を有する樹脂製の該熱圧着フィルムと、
該一面に対面する内面を有し、該熱圧着フィルムに対して剥離可能な態様で貼り付けられており、該一面を保護する樹脂製の保護フィルムと、
を備え、
該一面と該内面の少なくとも一方には、該熱圧着フィルムと該保護フィルムとを貼り付ける貼付部が設けられており、
平面視において、該貼付部は、該被加工物に熱圧着されることが予定されている該一面の所定領域とは重ならない領域に配置されていることを特徴とする樹脂シート。
長尺状であり、長尺方向に直交する幅方向の両端部に該貼付部が配置されていることを特徴とする請求項１に記載の樹脂シート。
長尺状であり、円柱状の巻心に対して多重に巻回された巻回体の態様であることを特徴とする請求項１に記載の樹脂シート。
該貼付部は、粘着剤を有することを特徴とする請求項１から３のいずれかに記載の樹脂シート。
該貼付部は、該熱圧着フィルムと該保護フィルムとを静電気力によって貼り付ける帯電領域を有することを特徴とする請求項１から３のいずれかに記載の樹脂シート。
該貼付部は、該熱圧着フィルムと該保護フィルムとが熱圧着によって貼り付けられた領域を有することを特徴とする請求項１から３のいずれかに記載の樹脂シート。