JP2024079914A - 樹脂シート - Google Patents
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Abstract
【課題】剥離可能な程度に熱圧着フィルムと保護フィルムとの貼り付きを確保すると共に、熱圧着フィルム又は保護フィルムから被加工物への粘着剤の転写を防止する。【解決手段】被加工物に熱圧着される熱圧着フィルムを有する樹脂シートであって、被加工物に熱圧着される一面を有する樹脂製の熱圧着フィルムと、一面に対面する内面を有し、熱圧着フィルムに対して剥離可能な態様で貼り付けられており、一面を保護する樹脂製の保護フィルムと、を備え、一面と内面の少なくとも一方には、熱圧着フィルムと保護フィルムとを貼り付ける貼付部が設けられており、平面視において、貼付部は、被加工物に熱圧着されることが予定されている一面の所定領域とは重ならない領域に配置されている樹脂シートを提供する。【選択図】図2
Description
本発明は、被加工物に熱圧着される熱圧着フィルムを有する樹脂シートに関する。
粘着剤等で形成された粘着層を有さずポリオレフィン製の基材層を有する熱圧着フィルムの一面を、半導体ウェーハ等の被加工物の一面に熱圧着により貼り付けることが提案されている(例えば、特許文献1参照)。この熱圧着フィルムを用いれば、熱圧着フィルムを剥離しても被加工物の一面に粘着剤が残留しないという利点がある。
ところで、熱圧着フィルムにおいて被加工物に貼り付けられる一面を清浄に保つために、熱圧着フィルムの一面に接する態様で保護フィルムを設けることが考えられる。しかし、熱圧着フィルムは、加熱により柔軟になることで被加工物に対する粘着性が発現するので、常温(例えば、5℃以上35℃以下の所定温度)では、粘着性が略無い。それゆえ、熱圧着フィルムに保護フィルムを貼り付けることが難しい。
そこで、例えば、保護フィルムの一面全体に粘着剤等で形成された粘着層を設けることで、熱圧着フィルムに保護フィルムを貼り付けることが考えられる。しかし、保護フィルムを熱圧着フィルムから剥離する際に保護フィルムの粘着剤が熱圧着フィルムに転写すると、熱圧着フィルムを被加工物に貼り付けた後に剥離するとき、粘着剤が、熱圧着フィルムから被加工物に転写するという問題がある。
本発明は係る問題点に鑑みてなされたものであり、熱圧着により被加工物に貼り付けられる熱圧着フィルムの一面を保護フィルムで保護する場合に、剥離可能な程度に熱圧着フィルムと保護フィルムとの貼り付きを確保すると共に、熱圧着フィルム又は保護フィルムから被加工物への粘着剤の転写を防止することを目的とする。
本発明の一態様によれば、被加工物に熱圧着される熱圧着フィルムを有する樹脂シートであって、該被加工物に熱圧着される一面を有する樹脂製の該熱圧着フィルムと、該一面に対面する内面を有し、該熱圧着フィルムに対して剥離可能な態様で貼り付けられており、該一面を保護する樹脂製の保護フィルムと、を備え、該一面と該内面の少なくとも一方には、該熱圧着フィルムと該保護フィルムとを貼り付ける貼付部が設けられており、平面視において、該貼付部は、該被加工物に熱圧着されることが予定されている該一面の所定領域とは重ならない領域に配置されている樹脂シートが提供される。
好ましくは、樹脂シートは、長尺状であり、長尺方向に直交する幅方向の両端部に該貼付部が配置されている。
また、好ましくは、樹脂シートは、長尺状であり、円柱状の巻心に対して多重に巻回された巻回体の態様である。
また、好ましくは、該貼付部は、粘着剤を有する。
また、好ましくは、該貼付部は、該熱圧着フィルムと該保護フィルムとを静電気力によって貼り付ける帯電領域を有する。
また、好ましくは、該貼付部は、該熱圧着フィルムと該保護フィルムとが熱圧着によって貼り付けられた領域を有する。
本発明の一態様に係る樹脂シートにおいて、熱圧着フィルムの一面と、当該一面に対面するように配置される保護フィルムの内面と、の少なくとも一方には、熱圧着フィルムと保護フィルムとを貼り付ける貼付部が設けられている。
貼付部は、平面視において、熱圧着フィルムの一面のうち被加工物に熱圧着されることが予定されている所定領域とは重ならない領域に配置されている。それゆえ、剥離可能な程度に熱圧着フィルムと保護フィルムとの貼り付きを確保すると共に、熱圧着フィルム又は保護フィルムから被加工物への粘着剤の転写を防止できる。
添付図面を参照して、本発明の一態様に係る実施形態について説明する。図1は、樹脂シート2の巻回体2aの斜視図である。樹脂シート2は、円柱状の巻芯4に対して多重に巻回された巻回体2aの態様(即ち、ロール状の状態)で搬送され、使用時には巻回体2aから繰り出される。
巻芯4は、例えば、硬質の樹脂で形成されている。巻芯4の円柱の径は、例えば、50mmである。巻芯4の円柱の長さは、樹脂シート2の幅(即ち、樹脂シート2の長尺方向A1及び厚さ方向A3とそれぞれ直交する幅方向A2の長さ)と略同じである。
但し、巻芯4の円柱の長さは、樹脂シート2の幅方向A2の両側にそれぞれ略同じ長さだけ突出する様に、樹脂シート2の幅よりも所定長さだけ長くてもよい。例えば、巻芯4は、幅方向A2の一方側及び他方側の各々において樹脂シート2よりも10mm突出する。
樹脂シート2は、後述する被加工物11(図4(A)参照)に熱圧着される樹脂製の熱圧着フィルム6を有する。熱圧着フィルム6は、透光性を有する熱可塑性樹脂で形成されており、常温常圧下において粘着剤ではなく基材として機能する。
第1の実施形態の熱圧着フィルム6は、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリ(4-メチル-1-ペンテン)、ポリ(1-ブテン)等のポリオレフィンで形成されている。但し、熱圧着フィルム6は、ポリオレフィンに限定されず、他の熱可塑性樹脂で構成されてもよい。
他の熱可塑性樹脂の材料としては、具体的には、アクリル樹脂、メタクリル樹脂、ビニル樹脂、ポリアセタール、天然ゴム、ブチルゴム、イソプレンゴム、クロロプレンゴム、ポリエチレンテレフタレート,ポリブチレンテレフタレート等のポリエステル、ナイロン-6,ナイロン-66,ポリメタキシレンアジパミド等のポリアミド、ポリアクリレート、ポリメタアクリレート、ポリ塩化ビニル、ポリエーテルイミド、ポリアクリロニトリル、ポリカーボネート、ポリスチレン、ポリスルホン、ポリエーテルスルホン、ポリフェニレン、エーテルポリブタジエン樹脂、ポリカーボネート樹脂、熱可塑性ポリイミド樹脂、熱可塑性ポリウレタン樹脂、フェノキシ樹脂、ポリアミドイミド樹脂、フッ素樹脂、エチレン-不飽和カルボン酸共重合体、エチレン-酢酸ビニル共重合体、アイオノマー、エチレン-酢酸ビニル-無水マレイン酸三元共重合体、エチレン-酢酸ビニル共重合体ケン化物、エチレン-ビニルアルコール共重合体等から選択される一種又は二種以上を用いることができる。
上記のエチレン-不飽和カルボン酸共重合体を構成する不飽和カルボン酸としては、アクリル酸、メタクリル酸、マレイン酸、イタコン酸、マレイン酸モノメチル、マレイン酸モノエチル、無水マレイン酸、無水イタコン酸等が例示される。ここで、エチレン-不飽和カルボン酸共重合体は、エチレンと不飽和カルボン酸との二元共重合体のみならず、更に他の単量体が共重合された多元共重合体を包含するものである。
エチレン-不飽和カルボン酸共重合体に共重合されてもよい上記他の単量体としては、酢酸ビニル,プロピオン酸ビニル等のビニルエステルや、アクリル酸メチル,アクリル酸エチル,アクリル酸イソブチル,アクリル酸n-ブチル,メタクリル酸メチル,メタクリル酸イソブチル,マレイン酸ジメチル,マレイン酸ジエチル等の不飽和カルボン酸エステルを挙げることができる。
熱圧着フィルム6は、硬さの指標となる貯蔵弾性率が常温において1×106Pa以上1×109Pa以下であり、加熱時において1×106Pa以上1×107Pa以下であることが好ましい。但し、加熱時の貯蔵弾性率は、常温での貯蔵弾性率よりも低い(即ち、加熱時の方が柔らかい)。
熱圧着フィルム6がポリオレフィンで構成されている場合、貼付時には熱圧着フィルム6は80℃以上100℃以下の所定温度に加熱される。このとき、貯蔵弾性率は1×106Pa以上1×107Pa以下となる。
貯蔵弾性率は、固体試料に周期的な変形(例えば、引張変形)を与え、これにより生じる固体試料の変形量や変形が生じるまでの時間的な遅れに基づいて算出される。例えば、貯蔵弾性率は、株式会社日立ハイテク製の粘弾性測定装置DMA7100を用いて測定される。これを用いて貯蔵弾性率を測定する際の測定条件は、例えば、次の様に定める。
昇温速度 :2℃/min
測定温度範囲:室温以上200℃以下
周波数 :1Hz
測定温度範囲:室温以上200℃以下
周波数 :1Hz
熱圧着フィルム6の内面(一面)6aから外面(他面)6bまでの距離で規定される熱圧着フィルム6の厚さは、例えば、100μmであるが、熱圧着フィルム6の厚さはこの数値に限定されるものではない。
熱圧着フィルム6の内面6aを、不純物、微小なゴミ等の所謂コンタミネーションから保護するために、熱圧着フィルム6の内面6aには、保護フィルム8が剥離可能な態様で貼り付けられている。熱圧着フィルム6の内面6aには、樹脂製の保護フィルム8の内面8aが対面している。
保護フィルム8は、熱圧着フィルム6と同様に透光性を有し、常温常圧下において粘着剤ではなく基材として機能する。保護フィルム8は、ポリエチレンテレフタレート等のポリエステルで形成されているが、保護フィルム8は、上述の熱可塑性樹脂のうちポリエステル以外のもので形成されていてもよい。
保護フィルム8の内面8aから外面8bまでの距離で規定される保護フィルム8の厚さは、例えば、100μmであるが、保護フィルム8の厚さはこの数値に限定されるものではない。
熱圧着フィルム6と、保護フィルム8とは、長尺方向A1の長さが幅方向A2の長さよりも長く(即ち、長尺状であり)、後述する貼付部10(図2(A)、図2(B)等参照)で互いに貼り付けられている。
図2(A)は、第1の実施形態に係る樹脂シート2の平面図であり、図2(B)は、図2(A)のA-A断面図である。第1の実施形態の樹脂シート2では、熱圧着フィルム6の内面6aと、保護フィルム8の内面8aと、の少なくとも一方において、幅方向A2の両端部に貼付部10が設けられている。
貼付部10は、常温及び常圧でそれぞれ粘着性を有するエポキシ系、アクリル系、又は、ゴム系の粘着剤を有する。なお、図2(A)では説明の便宜上、粘着剤が設けられている領域にドットパターンを付している。
貼付部10は、幅方向A2の一方の側部2bにおける外側の略半分に設けられている。樹脂シート2の幅方向A2の長さが400mmである場合、一方の側部2bの幅方向A2の長さは約35mmであり、貼付部10の幅方向A2の長さ10aは約17.5mmである。
幅方向A2の他方の側部2cにおける外側の略半分にも、同様に貼付部10が設けられている。樹脂シート2の幅方向A2の長さが400mmである場合、他方の側部2cの幅方向A2の長さは約35mmであり、貼付部10の幅方向A2の長さ10aは約17.5mmである。
貼付部10は、長尺方向A1に沿って途切れなく設けられている。しかし、部分的に粘着剤が形成されないことで、貼付部10は、長尺方向A1に沿って周期的に配置された粘着剤や、長尺方向A1に沿って略ランダムに配置された粘着剤を有してもよい。
樹脂シート2を平面視した場合に、一方の側部2bと他方の側部2cとの間に位置する円形の所定領域12は、熱圧着フィルム6の内面6aのうち被加工物11に熱圧着されることが予定されている領域である。
樹脂シート2の幅方向A2の長さが400mmである本例では、所定領域12の径は、330mmであり、所定領域12には、300mmの径を有する被加工物11を貼り付けることが想定されている。
樹脂シート2に貼付部10を設けることで、剥離可能な程度に熱圧着フィルム6と保護フィルム8との貼り付きを確保できる。更に、第1の実施形態の貼付部10は、平面視において所定領域12とは重ならない領域に配置されている。
それゆえ、熱圧着フィルム6から保護フィルム8を剥離して、熱圧着フィルム6を被加工物11へ熱圧着により貼り付けたとしても、熱圧着フィルム6又は保護フィルム8から被加工物11への粘着剤の転写を防止できる。
図3は、樹脂シート2の製造方法の一例の概略を示す図である。樹脂シート2を製造する際には、粘着剤を有する貼付部10を保護フィルム8の内面8aに形成した後、保護フィルム8の内面8aと、熱圧着フィルム6の内面6aと、が対面する態様で両者を貼り合わせる。
図3に示す様に、製造装置20は、塗布乾燥ユニット22を有する。塗布乾燥ユニット22は、繰り出された保護フィルム8の内面8aのうち幅方向A2の両端部に粘着剤が溶解した有機溶剤を塗布する塗布ユニット22aを有する。
保護フィルム8が繰り出される繰出方向において塗布ユニット22aの先には、有機溶剤が塗布された保護フィルム8を加熱により乾燥することで有機溶剤を揮発させて貼付部10に粘着性能を発揮させる乾燥ユニット22bが設けられている。
塗布乾燥ユニット22で貼付部10を形成した後、内面6a,8aが対面する態様で、熱圧着フィルム6及び保護フィルム8を一対のローラ24により貼り合わせることで樹脂シート2を形成する。そして、ローラ26を経由して樹脂シート2をロール状に巻き取ることで、巻回体2aが形成される。
なお、図3に示す例では、保護フィルム8の内面8aにのみ貼付部10を形成するが、熱圧着フィルム6の内面6aにのみ貼付部10を形成してもよい。また、保護フィルム8の内面8aと、熱圧着フィルム6の内面6aと、に貼付部10をそれぞれ形成してもよい。
例えば、一方の側部2bにおける保護フィルム8の内面8aと、他方の側部2cにおける熱圧着フィルム6の内面6aと、に貼付部10をそれぞれ形成する。これに代えて、他方の側部2cにおける保護フィルム8の内面8aと、一方の側部2bにおける熱圧着フィルム6の内面6aと、に貼付部10をそれぞれ形成してもよい。
次に、貼付装置30(図4(A)参照)を用いて、熱圧着フィルム6をシリコンウェーハ等の被加工物11に貼り付ける方法について説明する。貼付装置30は、円板状のチャックテーブル32を有する。
チャックテーブル32は、被加工物11を負圧で吸引保持可能な保持面32aを有する。チャックテーブル32は、ボールねじ式の移動機構(不図示)により、熱圧着フィルム6の幅方向A2と直交する所定方向B(図4(B)参照)に移動可能に構成されている。
保持面32aの上方には、巻回体2aが配置されている。巻回体2aから繰り出された樹脂シート2は、一対の誘導ローラ34が配置された位置で、熱圧着フィルム6及び保護フィルム8に分離し、熱圧着フィルム6及び保護フィルム8はそれぞれ更に繰り出される(図4(A)の破線矢印参照)。
繰り出された熱圧着フィルム6の上方には、熱圧着フィルム6を被加工物11に熱圧着するための円柱状のヒートローラ36が設けられている。ヒートローラ36は、その長手方向が幅方向A2に沿って配置されている。
ヒートローラ36は、エアアクチュエータ、ボールねじ等の昇降機構により、上下方向(即ち、幅方向A2及び所定方向Bに直交する方向)に沿って移動可能に構成されている。ヒートローラ36内には電熱線等の熱発生源(不図示)が設けられている。
また、熱圧着フィルム6の上方には、カッターユニット38(図4(C)参照)も設けられている。カッターユニット38は、円柱状の回転軸38aを有する。回転軸38aは、その長手方向が上下方向に沿って配置されている。回転軸38aは、モータ等の駆動源(不図示)により回転する。
また、回転軸38aは、エアアクチュエータ、ボールねじ等の回転機構により、上下方向に沿って移動可能に構成されている。回転軸38aの下端部には、回転軸38aの長手方向に直交する様に配置されたアーム38bの基端部が固定されている。
アーム38bの先端部には、ホルダ38cが固定されている。このホルダ38cには、熱圧着フィルム6を切るための切り刃38dが、ホルダ38cから下方に突出する様に固定されている。
熱圧着フィルム6の所定領域12を被加工物11に貼り付ける際には、まず、図4(A)に示す様に、樹脂シート2を熱圧着フィルム6と保護フィルム8とに分離した後、所定方向Bにおけるチャックテーブル32の位置と、熱圧着フィルム6の所定領域12の位置と、を調整する。
これにより、裏面11bが保持面32aで吸引保持された被加工物11の所定方向Bにおける先端部の直上に、熱圧着フィルム6を介してヒートローラ36を配置する。図4(A)は、熱圧着フィルム6を被加工物11に貼り付ける貼付工程の前半部を示す図である。
次いで、所定温度に加熱されたヒートローラ36を、熱圧着フィルム6を介して被加工物11の表面11a側に所定の圧力で押し付けると共に、チャックテーブル32を所定方向Bに沿って移動させる。図4(B)は、熱圧着フィルム6を被加工物11に貼り付ける貼付工程の後半部を示す図である。
熱圧着フィルム6がポリオレフィンである本例では、ヒートローラ36を80℃以上100℃以下の所定温度に加熱し、ヒートローラ36を熱圧着フィルム6に押し付ける圧力を0.3MPa以上0.5MPa以下の所定値とする。また、チャックテーブル32の移動速度を10mm/s以上30mm/s以下の所定値とする。
図4(B)に示す様に、所定方向Bにおける被加工物11の後端部の直上までヒートローラ36を相対的に移動させた後、チャックテーブル32の移動を停止する。そして、ヒートローラ36を上方へ移動させると共に、カッターユニット38を下方へ移動させて、熱圧着フィルム6に切り込ませる。
図4(C)は、熱圧着フィルム6を円形に切り取る切取工程の概略を示す図である。切取工程では、熱圧着フィルム6と被加工物11との重なり領域の外周縁に沿って切り刃38dを移動させることで、熱圧着フィルム6を円形に切り取る。この様にして、表面11aに円形の熱圧着フィルム6が貼り付けられる。
上述の様に、第1の実施形態の貼付部10は、平面視において、被加工物11に熱圧着されることが予定されている熱圧着フィルム6の内面6aの所定領域12とは重ならない領域に配置されている。
それゆえ、剥離可能な程度に熱圧着フィルム6と保護フィルム8との貼り付きを確保すると共に、熱圧着フィルム6又は保護フィルム8から被加工物11への粘着剤の転写を防止することができる。
なお、ヒートローラ36に代えてチャックテーブル32を上記の所定温度に加熱してもよく、チャックテーブル32及びヒートローラ36の両方を上記の所定温度に加熱してもよい。チャックテーブル32の熱は、被加工物11を介して熱圧着フィルム6に伝達可能である。
(変形例)次に、第1の実施形態の変形例について説明する。図5(A)は、第1の実施形態の変形例に係る樹脂シート2の平面図であり、図5(B)は、図5(A)のB-B断面図である。
当該変形例の貼付部10は、熱圧着フィルム6と保護フィルム8とを静電気力によって(即ち、静電吸着によって)貼り付ける帯電領域を有する。帯電領域は、例えば、直流式コロナ放電処理により形成できる。
樹脂シート2を製造するためには、図3に示す製造装置20において、塗布乾燥ユニット22に代えて、放電処理ユニット(不図示)を設ければよい。放電処理ユニットは、針状電極又はワイヤー電極と、対電極と、を含む。
図5(B)では、帯電領域を太線で示す。上述の様に、貼付部10は、保護フィルム8の内面8aにのみ形成されてもよく、熱圧着フィルム6の内面6aにのみ形成されてもよい。また、貼付部10は、保護フィルム8の内面8aと、熱圧着フィルム6の内面6aと、にそれぞれ形成されてもよい。
ところで、貼付部10は、帯電領域ではなく、熱圧着フィルム6と保護フィルム8とが熱圧着により貼り付けられた領域を有してもよい。この場合、図3に示す製造装置20において、塗布乾燥ユニット22を省略し、一対のローラ24とローラ26との間に加熱押圧ユニット(不図示)を設ける。
加熱押圧ユニットでは、常温超且つ熱圧着フィルム6及び被加工物11の貼付工程で使用される温度以下の温度と、この貼付工程で熱圧着フィルム6に印加される圧力よりも低い圧力と、により、熱圧着フィルム6と保護フィルム8とを熱圧着で貼り付ける。
押圧ユニットでは熱圧着フィルム6を70℃以上100℃以下の所定温度、より好ましくは、70℃以上90℃以下の所定温度に加熱し、熱圧着フィルム6に印加する圧力を0.08MPa以上0.15MPa以下の所定値(例えば、0.1MPa)とする。
貼付工程に比べて低い温度と、貼付工程に比べて低い圧力と、を使用することで、熱圧着フィルム6の変形が所定領域12へ及ぶことを抑制しつつ、熱圧着フィルム6と保護フィルム8とを剥離可能に貼り付けることができる。
仮に、熱圧着フィルム6の内面6a全体と、保護フィルム8の内面8a全体と、が熱圧着された後、熱圧着フィルム6を保護フィルム8から剥離すると、剥離時にしわ等が形成されるので、熱圧着フィルム6を被加工物11に十分な固定力で貼り付けられない場合がある。
それゆえ、樹脂シート2の平面視において、被加工物11に熱圧着されることが予定されている熱圧着フィルム6の内面6aの所定領域12とは重ならない領域に貼付部10を配置することは有益である。なお、貼付部10の構成以外は、第1の実施形態と同じである。
(第2の実施形態)次に、第2の実施形態の変形例について説明する。図6(A)は、第2の実施形態に係る樹脂シート42の平面図であり、図6(B)は、図6(A)のC-C断面図である。
樹脂シート42においても、図6(A)に示す様に、平面視において所定領域12と重ならない領域に貼付部10が配置されている。特に、第2の実施形態の貼付部10は、保護フィルム8の内面8aの所定領域12を除く全体に設けられている。
所定領域12は、被加工物11と略同径の円形領域であるが、被加工物11の径よりも1mmから2mm程度大きくてもよい。所定領域12のサイズを被加工物11のサイズよりも大きくすれば、熱圧着フィルム6を被加工物11に貼り付ける際に所定領域12と被加工物11との位置ずれが生じても、粘着剤の被加工物11への転写を防止できる。
なお、保護フィルム8は、熱圧着により若干伸びることもあるので、所定領域12は、被加工物11の径よりも1mmから2mm程度小さくてもよい。
第2の実施形態では、保護フィルム8の内面8aにのみ貼付部10を形成するが、熱圧着フィルム6の内面6aにのみ貼付部10を形成してもよい。また、保護フィルム8の内面8aと、熱圧着フィルム6の内面6aと、に貼付部10をそれぞれ形成してもよい。
貼付部10は、上述の粘着剤を有する。なお、図6(A)でも、説明の便宜上、粘着剤が設けられている領域にドットパターンを付している。第2の実施形態では、図6(B)に示す様に、樹脂シート42の熱圧着フィルム6は、所定領域12の外周縁に沿って予め切断されている(即ち、プリカット処理が施されている)。
それゆえ、樹脂シート42を熱圧着フィルム6と保護フィルム8とに分離して、熱圧着フィルム6を被加工物11に熱圧着する際には、貼付装置30とは異なる貼付装置40(図7参照)が使用される。
図7に示す様に、貼付装置40は、円板状のチャックテーブル44を有する。チャックテーブル44は、被加工物11を負圧で吸引保持可能な保持面44aを有する。チャックテーブル44は、ボールねじ式の移動機構(不図示)により、所定方向Cに移動可能に構成されている。
保持面44aの上方には、樹脂シート42の巻回体42aが配置されている。巻回体42aから繰り出された樹脂シート42は、一対の誘導ローラ46によって引き出された後、樹脂シート42と線接触する三角柱状の剥離部材48によって、熱圧着フィルム6のうち円形の所定領域12が樹脂シート42から剥離される。
なお、樹脂シート42の移動経路において、一対の誘導ローラ46と、剥離部材48と、の間には、樹脂シート42の移動方向(即ち、長尺方向A1)における所定領域12の先頭位置を検出するための検出部(不図示)が設けられている。
検出部は、例えば、レーザー変位センサを有し、樹脂シート42の厚さの変化点(即ち、段差位置)を検出する。なお、検出部は、レーザー変位センサに代えて、投光部及び受光部を含むカラーセンサを有し、長尺方向A1における樹脂シート42の色の変化点(即ち、色が変わる境界位置)を検出してもよい。
熱圧着フィルム6の所定領域12が剥離された樹脂シート42は、一対の誘導ローラ50によって引っ張られて、回収ローラ52に巻き取られる。剥離部材48の近傍には、上述のヒートローラ36と同様のヒートローラ54が設けられている。
ヒートローラ54も、昇降機構により上下方向(図7において幅方向A2及び所定方向Cに直交する方向)に沿って移動可能に構成されている。また、ヒートローラ54内には電熱線等の熱発生源(不図示)が設けられている。
図7は、熱圧着フィルム6の所定領域12を被加工物11に貼り付ける貼付工程の概略を示す図である。裏面11bが保持面32aで吸引保持された被加工物11は、所定方向Cにおける被加工物11の先端部の直上に熱圧着フィルム6を介してヒートローラ54が位置する様に配置される。
次いで、所定温度に加熱されたヒートローラ54を、熱圧着フィルム6を介して被加工物11の表面11a側に所定の圧力で押し付けると共に、チャックテーブル44を所定方向Cに移動させる。所定方向Cにおける被加工物11の後端部の直上までヒートローラ54が相対的に移動すれば、表面11aへの熱圧着フィルム6の熱圧着が完了する。
第2の実施形態の熱圧着フィルム6もポリオレフィンであるので、ヒートローラ54を80℃以上100℃以下の所定温度に加熱し、ヒートローラ54を熱圧着フィルム6に押し付ける圧力を0.3MPa以上0.5MPa以下の所定値とする。また、チャックテーブル44の移動速度を10mm/s以上30mm/s以下の所定値とする。
第2の本実施形態においても、貼付部10は平面視において被加工物11に熱圧着されることが予定されている熱圧着フィルム6の所定領域12とは重ならない領域に配置されている。
それゆえ、剥離可能な程度に熱圧着フィルム6と保護フィルム8との貼り付きを確保すると共に、熱圧着フィルム6又は保護フィルム8から被加工物11への粘着剤の転写を防止することができる。
なお、第2の実施形態においても、ヒートローラ54に代えてチャックテーブル44を上記の所定温度に加熱してもよく、チャックテーブル44及びヒートローラ54の両方を上記の所定温度に加熱してもよい。
(変形例)次に、第2の実施形態の変形例について説明する。図8(A)は、第2の実施形態の変形例に係る樹脂シート42の平面図であり、図8(B)は、図8(A)のD-D断面図である。
当該変形例の貼付部10は、熱圧着フィルム6と保護フィルム8とを静電気力によって貼り付ける帯電領域を有する。貼付部10は、例えば、保護フィルム8の内面8aにのみ形成される。
但し、貼付部10は、熱圧着フィルム6の内面6aにのみ形成されてもよく、保護フィルム8の内面8aと、熱圧着フィルム6の内面6aと、にそれぞれ形成されてもよい。
ところで、貼付部10は、帯電領域ではなく、熱圧着フィルム6と保護フィルム8とが熱圧着により貼り付けられた領域を有してもよい。なお、貼付部10の構成以外は、第2の実施形態と同じである。
(第3の実施形態)次に、第3の実施形態の変形例について説明する。図9(A)は、第3の実施形態に係る樹脂シート62の平面図であり、図9(B)は、図9(A)のE-E断面図であり、図9(C)は、図9(A)のF-F断面図である。
樹脂シート62においても、図9(A)に示す様に、平面視において所定領域12と重ならない領域に貼付部10が配置されている。特に、第3の実施形態の貼付部10は、保護フィルム8の内面8aにおいて、2つの所定領域12の間に配置されている。
貼付部10は、その長手部が幅方向A2に沿って配置されている。幅方向A2における貼付部10の長さは、所定領域12の径と略同じである。幅方向A2における貼付部10の両端部と、所定領域12の両端部とは、長尺方向A1に沿って配置されている。
第3の実施形態では、保護フィルム8の内面8aにのみ貼付部10を形成するが、熱圧着フィルム6の内面6aにのみ貼付部10を形成してもよい。また、保護フィルム8の内面8aと、熱圧着フィルム6の内面6aと、に貼付部10をそれぞれ形成してもよい。
貼付部10は、上述の粘着剤を有する。なお、図9(A)でも、説明の便宜上、粘着剤が設けられている領域にドットパターンを付している。図9(B)に示す様に、樹脂シート62の熱圧着フィルム6も、所定領域12の外周縁に沿って予め切断されている(即ち、プリカット処理が施されている)。
第2の実施形態と同様に、所定領域12は、被加工物11と略同径の円形領域であるが、被加工物11の径よりも1mmから2mm程度大きくてもよし、小さくてもよい。樹脂シート62を熱圧着フィルム6と保護フィルム8とに分離して、熱圧着フィルム6を被加工物11に熱圧着する際には、上述の貼付装置40が使用される。
貼付装置40で所定領域12の移動方向における先頭位置を検出する際には、検出部としてレーザー変位センサを設け、貼付部10を利用して樹脂シート42の厚さの変化点を検出してもよく、樹脂シート42の色の変化点を検出してもよい。
(変形例)次に、第3の実施形態の変形例について説明する。図10(A)は、第3の実施形態の変形例に係る樹脂シート62の平面図であり、図10(B)は、図10(A)のG-G断面図であり、図10(C)は、図10(A)のH-H断面図である。
当該変形例の貼付部10は、熱圧着フィルム6と保護フィルム8とを静電気力によって貼り付ける帯電領域を有する。貼付部10は、例えば、保護フィルム8の内面8aにのみ形成される。
但し、貼付部10は、熱圧着フィルム6の内面6aにのみ形成されてもよく、保護フィルム8の内面8aと、熱圧着フィルム6の内面6aと、にそれぞれ形成されてもよい。
ところで、貼付部10は、帯電領域ではなく、熱圧着フィルム6と保護フィルム8とが熱圧着により貼り付けられた領域を有してもよい。なお、貼付部10の構成以外は、第3の実施形態と同じである。
その他、上述の実施形態に係る構造、方法等は、本発明の目的の範囲を逸脱しない限りにおいて適宜変更して実施できる。熱圧着フィルム6は、表面11aに代えて被加工物11の裏面11bに貼り付けられてもよい。
また、樹脂シート2,42,62のサイズは一例である。被加工物11の形状及びサイズに応じて、所定領域12の形状及びサイズを適宜変更してもよい。被加工物11は、円板状ではなく、矩形板状であってもよい。
第1の実施形態の樹脂シート2においても、第2及び第3の実施形態の様に、所定領域12がその外周縁に沿って予め切断されていてもよい(即ち、プリカット処理が施されていてもよい)。
プリカット処理が施されている樹脂シート2,42,62では、樹脂シート2,42,62の移動方向における所定領域12の先頭位置を検出部で検出しやすい様に、所定領域12の先頭位置に目印となる所定の色が付されてもよい。
また、第2及び第3の実施形態において、第1の実施形態の様に、プリカット処理を施すことなく被加工物11よりも数十mm(例えば、30mm)大きい径を有する所定領域12を被加工物11に貼り付けた後に、熱圧着フィルム6を切り取ってもよい。
2:樹脂シート、2a:巻回体、2b,2c:側部、4:巻芯
6:熱圧着フィルム、6a:内面(一面)、6b:外面(他面)
8:保護フィルム、8a:内面、8b:外面
10:貼付部、10a:長さ、12:所定領域
11:被加工物、11a:表面、11b:裏面
20:製造装置
22:塗布乾燥ユニット、22a:塗布ユニット、22b:乾燥ユニット
24:一対のローラ、26:ローラ
30:貼付装置、32:チャックテーブル、32a:保持面
34:一対の誘導ローラ、36:ヒートローラ、38:カッターユニット
38a:回転軸、38b:アーム、38c:ホルダ、38d:切り刃
40:貼付装置
42:樹脂シート、42a:巻回体
44:チャックテーブル、44a:保持面
46:一対の誘導ローラ、48:剥離部材、50:一対の誘導ローラ
52:回収ローラ、54:ヒートローラ
62:樹脂シート
A1:長尺方向、A2:幅方向、A3:厚さ方向、B,C:所定方向
6:熱圧着フィルム、6a:内面(一面)、6b:外面(他面)
8:保護フィルム、8a:内面、8b:外面
10:貼付部、10a:長さ、12:所定領域
11:被加工物、11a:表面、11b:裏面
20:製造装置
22:塗布乾燥ユニット、22a:塗布ユニット、22b:乾燥ユニット
24:一対のローラ、26:ローラ
30:貼付装置、32:チャックテーブル、32a:保持面
34:一対の誘導ローラ、36:ヒートローラ、38:カッターユニット
38a:回転軸、38b:アーム、38c:ホルダ、38d:切り刃
40:貼付装置
42:樹脂シート、42a:巻回体
44:チャックテーブル、44a:保持面
46:一対の誘導ローラ、48:剥離部材、50:一対の誘導ローラ
52:回収ローラ、54:ヒートローラ
62:樹脂シート
A1:長尺方向、A2:幅方向、A3:厚さ方向、B,C:所定方向
Claims (6)
- 被加工物に熱圧着される熱圧着フィルムを有する樹脂シートであって、
該被加工物に熱圧着される一面を有する樹脂製の該熱圧着フィルムと、
該一面に対面する内面を有し、該熱圧着フィルムに対して剥離可能な態様で貼り付けられており、該一面を保護する樹脂製の保護フィルムと、
を備え、
該一面と該内面の少なくとも一方には、該熱圧着フィルムと該保護フィルムとを貼り付ける貼付部が設けられており、
平面視において、該貼付部は、該被加工物に熱圧着されることが予定されている該一面の所定領域とは重ならない領域に配置されていることを特徴とする樹脂シート。 - 長尺状であり、長尺方向に直交する幅方向の両端部に該貼付部が配置されていることを特徴とする請求項1に記載の樹脂シート。
- 長尺状であり、円柱状の巻心に対して多重に巻回された巻回体の態様であることを特徴とする請求項1に記載の樹脂シート。
- 該貼付部は、粘着剤を有することを特徴とする請求項1から3のいずれかに記載の樹脂シート。
- 該貼付部は、該熱圧着フィルムと該保護フィルムとを静電気力によって貼り付ける帯電領域を有することを特徴とする請求項1から3のいずれかに記載の樹脂シート。
- 該貼付部は、該熱圧着フィルムと該保護フィルムとが熱圧着によって貼り付けられた領域を有することを特徴とする請求項1から3のいずれかに記載の樹脂シート。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2022192602A JP2024079914A (ja) | 2022-12-01 | 2022-12-01 | 樹脂シート |
CN202311544125.6A CN118126637A (zh) | 2022-12-01 | 2023-11-17 | 树脂片 |
US18/513,939 US20240181746A1 (en) | 2022-12-01 | 2023-11-20 | Resin sheet |
DE102023211734.7A DE102023211734A1 (de) | 2022-12-01 | 2023-11-24 | Kunststofffolie |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2022192602A JP2024079914A (ja) | 2022-12-01 | 2022-12-01 | 樹脂シート |
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Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2024079914A true JP2024079914A (ja) | 2024-06-13 |
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Family Applications (1)
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---|---|---|---|
JP2022192602A Pending JP2024079914A (ja) | 2022-12-01 | 2022-12-01 | 樹脂シート |
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Country | Link |
---|---|
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DE (1) | DE102023211734A1 (ja) |
Family Cites Families (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102017208405B4 (de) | 2017-05-18 | 2024-05-02 | Disco Corporation | Verfahren zum Bearbeiten eines Wafers und Schutzfolie |
-
2022
- 2022-12-01 JP JP2022192602A patent/JP2024079914A/ja active Pending
-
2023
- 2023-11-17 CN CN202311544125.6A patent/CN118126637A/zh active Pending
- 2023-11-20 US US18/513,939 patent/US20240181746A1/en active Pending
- 2023-11-24 DE DE102023211734.7A patent/DE102023211734A1/de active Pending
Also Published As
Publication number | Publication date |
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DE102023211734A1 (de) | 2024-06-06 |
US20240181746A1 (en) | 2024-06-06 |
CN118126637A (zh) | 2024-06-04 |
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