JP2023050389A - シート貼付装置およびシート貼付方法 - Google Patents

Abstract

【課題】所定の平面形状に変形させて被着体に貼付した接着シートに貼付不良が発生することを極力防止することができるシート貼付装置およびシート貼付方法を提供すること。
【解決手段】所定のエネルギーが付与されることで変形可能または変形し易くなる接着シートＡＳを供給する供給手段１０と、供給手段１０で供給された接着シートＡＳを被着体ＷＫに押圧する押圧手段２０と、接着シートＡＳと被着体ＷＫとを相対移動させ、当該接着シートＡＳを所定の平面形状に変形させて被着体ＷＫに貼付する移動手段３０とを備えたシート貼付装置ＥＡにおいて、供給手段１０と押圧手段２０との間ＣＬに位置する接着シートＡＳに対し、所定のエネルギーを付与するエネルギー付与手段５０を備えている。
【選択図】図１

Description

本発明は、シート貼付装置およびシート貼付方法に関する。

接着シートを所定の平面形状に変形させて被着体に貼付するシート貼付装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。

特開２０１２－８４５７８号公報

特許文献１に記載されたシート貼付装置１（シート貼付装置）では、両面接着テープＳ（接着シート）の平面形状を円弧状に変形させてウェハＷ（被着体）に貼付するので、円弧内側の長さと円弧外側の長さとの差によって、被着体に貼付された接着シートの円弧内側に皺が発生したり気泡が形成されたりする貼付不良が発生する場合がある。

本発明の目的は、所定の平面形状に変形させて被着体に貼付した接着シートに貼付不良が発生することを極力防止することができるシート貼付装置およびシート貼付方法を提供することにある。

本発明は、請求項に記載した構成を採用した。

本発明によれば、所定のエネルギーが付与されることで変形または変形し易くなるものからなる接着シートを用い、供給手段と押圧手段との間に位置する接着シートに所定のエネルギーを付与し、当該接着シートを被着体に貼付するので、所定の平面形状に変形させて被着体に貼付した接着シートに貼付不良が発生することを極力防止することができる。

（Ａ）～（Ｅ）は、本発明の一実施形態に係るシート貼付装置の説明図および同装置の動作説明図。（Ｆ）、（Ｇ）は、変形例の説明図。

以下、本発明の一実施形態を図面に基づいて説明する。
なお、本実施形態におけるＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸は、それぞれが直交する関係にあり、Ｘ軸およびＹ軸は、所定平面内の軸とし、Ｚ軸は、前記所定平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、Ｙ軸と平行な図１中手前方向から観た場合を基準とし、図を指定することなく方向を示した場合、「上」がＺ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がＸ軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」がＹ軸と平行な図１中手前方向で「後」がその逆方向とする。

本発明のシート貼付装置ＥＡは、所定のエネルギーとしての熱が付与されることで変形可能または変形し易くなる接着シートＡＳを供給する供給工程を実施する供給手段１０と、供給手段１０で供給された接着シートＡＳを被着体ＷＫに押圧する押圧工程を実施する押圧手段としての押圧ローラ２０と、接着シートＡＳと被着体ＷＫとを相対移動させ、当該接着シートＡＳを所定の平面形状に変形させて被着体ＷＫに貼付する移動工程を実施する移動手段３０と、被着体ＷＫの形状を認識する形状認識工程を実施する形状認識手段４０と、供給手段１０と押圧ローラ２０との間ＣＬに位置する接着シートＡＳに対し、熱を付与するエネルギー付与工程を実施するエネルギー付与手段５０とを備えている。
なお、本実施形態のシート貼付装置ＥＡは、基準位置ＷＫＲを中心とする円形形状の被着体ＷＫの外縁部と、基準位置ＢＰＲを中心とする円形形状の支持板ＢＰとを跨ぐように、接着シートＡＳを貼付するようになっている。
また、本実施形態の接着シートＡＳは、ポリエチレン（ＰＥ）によって構成された図示しない基材に、図示しない接着剤層が積層されることで、熱が付与されることで変形が可能または変形し易くなっている。

供給手段１０は、複数のアームによって構成され、その作業範囲内において、作業部である先端アーム１１Ａで支持したものを何れの位置、何れの角度にでも変位可能な駆動機器としての所謂多関節ロボット１１と、多関節ロボット１１の先端アーム１１Ａに支持され、当該多関節ロボット１１を除く当該供給手段１０を構成する各部材、押圧ローラ２０およびエネルギー付与手段５０を直接的または間接的に支持する支持部材１２と、接着シートＡＳが帯状の剥離シートＲＬに仮着された原反ＲＳを支持する支持ローラ１３と、原反ＲＳを案内するガイドローラ１４と、剥離縁１５Ａで剥離シートＲＬを折り返し、当該剥離シートＲＬから接着シートＡＳを剥離する剥離手段としての剥離板１５と、駆動機器としての回動モータ１６Ａの図示しない出力軸に支持され、ピンチローラ１６Ｂとで剥離シートＲＬを挟み込む駆動ローラ１６と、図示しない駆動機器の出力軸に支持され、シート貼付装置ＥＡの自動運転が行われている間、ピンチローラ１６Ｂとの間に存在する剥離シートＲＬに常に所定の張力を付与し、当該剥離シートＲＬを回収する回収手段としての回収ローラ１７と、剥離板１５とで接着シートＡＳを挟み込む挟み込みローラ１８と、接着シートＡＳを切断する切断手段としての長さ調整手段１９とを備えている。
長さ調整手段１９は、駆動機器としてのエアシリンダ１９Ａと、その出力軸１９Ｂに支持されたカッター刃１９Ｃとを備えている。
なお、本実施形態では、長さ調整手段１９で切断された接着シートＡＳの平面形状は、長方形となるように構成されている。

移動手段３０は、駆動機器としてのリニアモータ３１のスライダ３１Ａに支持された駆動機器としての直動回動モータ３２と、その出力軸３２Ａに支持され、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段（保持手段）によって吸着保持が可能な保持面３３Ａを有する支持テーブル３３と、当該支持テーブル３３に対し被着体ＷＫを上方から押え付ける上押え手段３４とを備えている。なお、支持テーブル３３は、直動回動モータ３２によってテーブル中心３３Ｒを中心に回転する構成となっている。
上押え手段３４は、駆動機器としての直動モータ３４Ａと、その出力軸３４Ｂに支持され、支持テーブル３３の回転に追従して回転可能な上押え板３４Ｃとを備えている。なお、上押え板３４Ｃは、上押え板中心３４Ｒを中心に回転する構成となっている。

形状認識手段４０は、カメラや投影機等の撮像手段や、光学センサや超音波センサ等の各種センサ等で構成された検知機器４１を備えている。

エネルギー付与手段５０は、駆動機器としての回動モータ５１と、その出力軸５１Ａに支持され、コイルヒータやヒートパイプの加熱側等の図示しない加熱機器によって熱を生成し、当該熱を熱風として送風口５２Ａから送風する熱風送付機器５２とを備えている。

以上のシート貼付装置ＥＡの動作を説明する。
先ず、図１（Ａ）中実線で示す初期位置に各部材が配置されたシート貼付装置ＥＡに対し、当該シート貼付装置ＥＡの使用者（以下、単に「使用者」という）が同図のように原反ＲＳをセットした後、操作パネルやパーソナルコンピュータ等の図示しない操作手段を介して自動運転開始の信号を入力する。すると、供給手段１０が回動モータ１６Ａを駆動し、原反ＲＳを繰り出して図１（Ａ）中実線で示すように、接着シートＡＳの供給方向先端部が剥離板１５の剥離縁１５Ａで所定長さ剥離されると、回動モータ１６Ａの駆動を停止する。

次いで、使用者または多関節ロボットやベルトコンベア等の図示しない搬送手段が、図１（Ａ）に示すように、基準位置ＢＰＲ、ＷＫＲがテーブル中心３３Ｒと重なり合うように、支持板ＢＰを下側にして被着体ＷＫおよび支持板ＢＰを支持面３３Ａ上に載置すると、移動手段３０が図示しない減圧手段を駆動し、当該支持面３３Ａでの吸着保持を開始する。また、供給手段１０が回動モータ１６Ａを駆動し、原反ＲＳを繰り出して図１（Ａ）中二点鎖線で示すように、接着シートＡＳの供給方向先端縁を押圧ローラ２０の最下端部直下に位置させる。この際、接着シートＡＳの供給方向先端部は、図示しないエアノズルやイオナイザ等の付勢手段による付勢によって押圧ローラ２０の下面に接触状態とされる。

その後、形状認識手段４０が検知機器４１を駆動し、被着体ＷＫや支持板ＢＰの形状や位置等を認識する。この際、被着体ＷＫおよび支持板ＢＰのうち少なくとも一方の位置がずれていることを検知機器４１が検知すると、形状認識手段４０が図示しないスピーカや電灯等の告知手段を介して音や光等でそれらのずれを使用者に伝えたり、シート貼付装置ＥＡの動作を中止したりする。次に、移動手段３０がリニアモータ３１を駆動し、支持テーブル３３を左方へ移動させ、図１（Ａ）中二点鎖線および図１（Ｂ）に示すように、テーブル中心３３Ｒ（基準位置ＷＫＲ、ＢＰＲ）が上押え板中心３４Ｒと一致すると、リニアモータ３１の駆動を停止する。

そして、供給手段１０が多関節ロボット１１を駆動し、形状認識手段４０の認識結果を基にして図１（Ｂ）に示すように、押圧ローラ２０で押圧する接着シートＡＳの位置が、被着体ＷＫの外縁部と支持板ＢＰとを跨ぐ位置となるように支持部材１２を移動させる。また、エネルギー付与手段５０が回動モータ５１を駆動し、図１（Ｃ）に示すように、接着シートＡＳの一方の外縁ＡＳ１側すなわち、被着体ＷＫに貼付された際、当該被着体ＷＫの円弧外側となる接着シートＡＳの外縁側に熱風送付機器５２の送風口５２Ａを向ける。次いで、移動手段３０が直動回動モータ３２を駆動し、支持テーブル３３を上昇させて当該支持テーブル３３と押圧ローラ２０とで接着シートＡＳ、被着体ＷＫおよび支持板ＢＰを挟み込んだ後（図１（Ｃ）参照）、直動モータ３４Ａを駆動し、上押え板３４Ｃを下降させて当該上押え板３４Ｃと支持テーブル３３とで被着体ＷＫおよび支持板ＢＰを挟み込む（図１（Ａ）中二点鎖線の図参照）。その後、エネルギー付与手段５０が熱風送付機器５２を駆動し、送風口５２Ａから熱風を送風して接着シートＡＳの一方の外縁ＡＳ１側を変形または変形し易くさせる。

次に、移動手段３０が直動回動モータ３２を駆動し、図１（Ｅ）に示すように、テーブル中心３３Ｒを中心に支持テーブル３３を反時計回転方向に回転させるとともに、供給手段１０が回動モータ１６Ａを駆動し、円弧内側基準供給を行う。この円弧内側基準供給は、接着シートＡＳにおける円弧内側となる外縁（他方の外縁ＡＳ２側）が貼付される被着体ＷＫの被貼付位置の回転速度に合わせて、接着シートＡＳを供給する方法である。これにより、接着シートＡＳが剥離シートＲＬから剥離され、当該剥離シートＲＬから剥離された接着シートＡＳは、押圧ローラ２０によって被着体ＷＫおよび支持板ＢＰに押圧されて貼付される。この際、接着シートＡＳの円弧外側（一方の外縁ＡＳ１側）がエネルギー付与手段５０によって熱が付与されつつ、円弧内側基準供給が行われるので、接着シートＡＳは、一方の外縁ＡＳ１側が引き伸ばされて変形し、さらに、円弧内側（他方の外縁ＡＳ２側）に弛みが形成されることもなく、被着体ＷＫおよび支持板ＢＰに貼付される。

そして、支持テーブル３３の回転と接着シートＡＳの貼付とが続行される中、供給手段１０がエアシリンダ１９Ａを駆動し、カッター刃１９Ｃを進退させて、被着体ＷＫの外縁に１周に亘って接着シートＡＳを貼付できる長さとなるように、当該接着シートＡＳを切断する。次いで、カッター刃１９Ｃによる切断によって形成された接着シートＡＳの新たな供給方向先端部が、剥離板１５の剥離縁１５Ａで所定長さ剥離されると、供給手段１０が回動モータ１６Ａの駆動を停止する。その後、カッター刃１９Ｃによる切断によって形成された接着シートＡＳの供給方向後端部が被着体ＷＫおよび支持板ＢＰに貼付されて一体物ＵＰが形成されると、移動手段３０が直動回動モータ３２の駆動を停止し、支持テーブル３３の回転を停止させ、エネルギー付与手段５０が熱風送付機器５２の駆動を停止する。これにより、接着シートＡＳは、円環形状に変形されて被着体ＷＫおよび支持板ＢＰに貼付される。この際、被着体ＷＫおよび支持板ＢＰに貼付された接着シートＡＳの先端部と後端部は、相互に重なり合っていてもよいし、相互に重なり合うことなく突き合わせられるように接触していてもよい。

次に、移動手段３０が直動モータ３４Ａを駆動し、上押え板３４Ｃを初期位置に復帰させるとともに、供給手段１０が多関節ロボット１１を駆動し、支持部材１２を初期位置に復帰させる。そして、移動手段３０が直動回動モータ３２を駆動し、支持テーブル３３を下降させた後、図示しない減圧手段の駆動を停止し、支持面３３Ａでの吸着保持を解除する。次に、使用者または図示しない搬送手段が一体物ＵＰを次工程に搬送すると、移動手段３０がリニアモータ３１および直動回動モータ３２を駆動し、支持テーブル３３を初期位置に復帰させ、以降上記同様の動作が繰り返される。

以上のような実施形態によれば、熱が付与されることで変形または変形し易くなるものからなる接着シートＡＳを用い、供給手段１０と押圧ローラ２０との間ＣＬに位置する接着シートＡＳに熱を付与し、当該接着シートＡＳを被着体ＷＫに貼付するので、円環形状に変形させて被着体ＷＫに貼付した接着シートＡＳに貼付不良が発生することを極力防止することができる。

本発明における手段および工程は、それら手段および工程について説明した動作、機能または工程を果たすことができる限りなんら限定されることはなく、まして、前記実施形態で示した単なる一実施形態の構成物や工程に全く限定されることはない。例えば、供給手段は、接着シートを供給可能なものであればどんなものでもよく、出願当初の技術常識に照らし合わせてその技術範囲内のものであればなんら限定されることはない（その他の手段および工程も同じ）。

供給手段１０は、帯状の剥離シートＲＬに仮着された帯状の接着シート基材に閉ループ状または短寸幅方向全体の切込が形成されることで、その切込で仕切られた所定の領域が接着シートＡＳとされた原反ＲＳから当該接着シートＡＳを剥離して供給してもよいし、帯状の剥離シートＲＬに帯状の接着シート基材が仮着された帯状接着シート原反を採用し、当該帯状接着シート原反を繰り出す途中で、接着シート基材に閉ループ状または短寸幅方向全体の切込を切断手段としての切断刃で形成し、その切込で仕切られた所定の領域が接着シートＡＳとされた原反ＲＳから当該接着シートＡＳを剥離して供給してもよいし、帯状の剥離シートＲＬに帯状の接着シートＡＳが仮着された原反ＲＳから当該帯状の接着シートＡＳを剥離して供給してもよいし、巻回されることなく、例えばファンフォールド折りにされた原反ＲＳから接着シートＡＳを剥離して供給してもよいし、巻回することなく、例えばファンフォールド折りにしたり、シュレッダ等で切り刻んだり、無造作に集積したりして剥離シートＲＬを回収する回収手段を採用してもよいし、回収手段を採用しなくてもよいし、剥離シートＲＬに仮着されていない接着シートＡＳを繰り出して供給してもよいし、接着シートＡＳを被着体ＷＫに貼付する直前で接着シートＡＳの供給方向先端縁を押圧ローラ２０の最下端部直下に位置させることなく、例えば、接着シートＡＳの供給方向先端縁を押圧ローラ２０から離間した場所に位置させてもよいし、図示しない付勢手段が備わっていてもよいし、備わっていなくてもよいし、挟み込みローラ１８がなくてもよいし、供給手段１０と押圧ローラ２０との間ＣＬに跨っている接着シートＡＳを切断したり、被着体ＷＫ上で接着シートＡＳを切断したりする長さ調整手段１９を採用してもよいし、被着体ＷＫの大きさが一定の場合や接着シートＡＳの貼付位置に変動がない場合等において、支持部材１２が移動しない構成（多関節ロボット１１がない構成）としてもよいし、予め所定長さとされた接着シートＡＳが採用された場合や、帯状接着シート原反を繰り出す途中で所定形状の接着シートＡＳを形成する場合等において、長さ調整手段１９は、あってもよいし、なくてもよい。
長さ調整手段１９で切断された接着シートＡＳの平面形状は、カッター刃１９Ｃの形状や接着シートＡＳの供給方向の辺の形状等によって、三角形や五角形以上の多角形でもよいし、円形、楕円形、その他の形状等どのような平面形状でもよい。

押圧手段は、支持部材１２に支持されることなく直動モータ等の駆動機器に支持され、形状認識手段４０の認識結果を基にして、支持部材１２とは別に移動する構成としてもよいし、被着体ＷＫの大きさが一定の場合や接着シートＡＳの貼付位置に変動がない場合等において、移動しない構成としてもよい。

移動手段３０は、被着体ＷＫを移動させることなくまたは移動させつつ、接着シートＡＳを移動させ、当該接着シートＡＳを所定の平面形状に変形させて被着体ＷＫに貼付してもよいし、例えば、図１（Ｆ）に示すような環状の他、楕円環状、三角環状や四角環状等の多角環状に接着シートＡＳを変形させてもよいし、環状でなく例えば、Ｌ字状、Ｕ字状、Ｖ字状等に接着シートＡＳを変形させてもよく、接着シートＡＳをどのような平面形状に変形させてもよいし、直動回動モータ３２に代えて直動モータと回動モータとで構成されてもよいし、保持面３３Ａでの吸着保持ができない支持テーブル３３が採用されてもよいし、上押え手段３４を備えていてもよいし、備えていなくてもよい。

形状認識手段４０は、本発明のシート貼付装置ＥＡに備わっていてもよいし、例えば、被着体ＷＫの大きさが一定の場合や、接着シートＡＳの貼付位置に変動がない場合等において、本発明のシート貼付装置ＥＡに備わっていなくてもよい。

エネルギー付与手段５０は、図１（Ｇ）に示すように、供給手段１０と押圧ローラ２０との間ＣＬに位置する接着シートＡＳに対し、当該接着シートＡＳの供給方向ＳＤに沿う他方の外縁ＡＳ２側に熱を付与し、基準位置ＷＫＲが中心となるようにして被着体ＷＫを時計回転方向に回転させて貼付してもよいし、支持部材１２に支持されることなく直動モータ等の駆動機器に支持され、形状認識手段４０の認識結果を基にして、支持部材１２とは別に移動する構成としてもよいし、被着体ＷＫの大きさが一定の場合や接着シートＡＳの貼付位置に変動がない場合等において、移動しない構成としてもよいし、回動モータ５１がなくてもよいし、一方の外縁ＡＳ１側のみに熱を付与してもよいし、他方の外縁ＡＳ２側のみに熱を付与してもよいし、一方の外縁ＡＳ１側と他方の外縁ＡＳ２側との両方に熱を付与してもよいし、接着シートＡＳの幅方向全体に熱を付与してもよいし、接着シートＡＳの接着面側から当該接着シートＡＳに熱を付与してもよいし、接着シートＡＳの反接着面側から当該接着シートＡＳに熱を付与してもよいし、接着シートＡＳの接着面側と反接着面側との両方から当該接着シートＡＳに熱を付与してもよいし、熱風送付機器５２を複数備えていてもよい。
エネルギー付与手段５０が接着シートＡＳに付与する所定のエネルギーは、紫外線、赤外線、可視光線、音波、Ｘ線またはガンマ線等の電磁波や、熱湯や熱風等の熱を付与するものでもよく、接着シートＡＳの特性、特質、性質、材質、組成および構成等を考慮して任意に決定することができる。

シート貼付装置ＥＡは、接着シートＡＳを被着体ＷＫに貼付する際、接着シートＡＳにおける円弧外側となる外縁が貼付される被着体ＷＫの被貼付位置の回転速度に合わせて、接着シートＡＳを供給する円弧外側基準供給を行ってもよく、円弧内側に弛みが形成されないような供給の仕方ならどのような供給方法でもよいし、上下反転して配置したり横向きに配置したりして、被着体ＷＫに接着シートＡＳを貼付してもよいし、被着体ＷＫの外縁でなく、被着体ＷＫの面内や中央部に接着シートＡＳを貼付してもよいし、支持板ＢＰが採用されなくてもよい。

接着シートＡＳは、例えば、ポリプロピレン（ＰＰ）やポリスチレン（ＰＳ）等の樹脂や、アルミや銅等の金属箔等によって構成された基材に、接着剤層が積層されたものが採用されてもよいし、所定のエネルギーとしての紫外線、赤外線、可視光線、音波、Ｘ線またはガンマ線等の電磁波や、熱湯や熱風等が付与されることで変形または変形し易くなるものでもよいし、所定のエネルギーが付与されることで変形するだけのものでもよいし、所定のエネルギーが付与されることで変形し易くなるだけのものでもよいし、所定のエネルギーが付与されることで変形し、かつ、変形し易くなるものでもよい。
接着シートＡＳは、例えば、所定のエネルギーが付与されることで収縮を伴って変形（収縮変形）するものでもよい。この場合、ポリオレフィン、フッ素ポリマー等によって構成された基材（熱収縮シート）に、図示しない接着剤層が積層されることで、熱が付与されることで収縮変形する接着シートＡＳを採用することができる。そして、エネルギー付与手段５０が熱風送付機器５２を駆動し、送風口５２Ａから熱風を送風して接着シートＡＳにおける円弧内側となる側を収縮変形させ、供給手段１０が回動モータ１６Ａを駆動し、接着シートＡＳにおける円弧外側が貼付される被着体ＷＫの被貼付位置の回転速度に合わせて原反ＲＳを繰り出す円弧外側基準繰出を行えばよい。このような構成とすることで、接着シートＡＳの円弧内側は、熱風によって収縮変形した状態で被着体ＷＫに貼付されるので、当該円弧内側に弛みが形成されることはく、上記の実施形態と同様の効果を奏することができる。
接着シートＡＳは、所定のエネルギーによって収縮を伴って変形するものでもよいし、膨張を伴って変形するものでもよいし、収縮も膨張も伴うことなく変形するものでもよい。
支持板ＢＰは、鉄板、硝子、他の接着シート等どのようなものが採用されてもよく、例えば、他の接着シートが採用された場合、供給手段１０と同等の構成で他の接着シートを被着体ＷＫに貼付する他の接着シートの貼付手段を本発明のシート貼付装置ＥＡに設けてもよい。

本発明における接着シートＡＳ、支持板ＢＰおよび被着体ＷＫの材質、種別、形状等は、特に限定されることはない。例えば、接着シートＡＳ、支持板ＢＰおよび被着体ＷＫは、円形、楕円形、三角形や四角形等の多角形、その他の形状であってもよいし、接着シートＡＳは、感圧接着性、感熱接着性等の接着形態のものであってもよく、感熱接着性の接着シートＡＳが採用された場合は、当該接着シートＡＳを加熱する適宜なコイルヒータやヒートパイプの加熱側等の加熱手段を設けるといった適宜な方法で接着されればよい。また、このような接着シートＡＳは、例えば、接着剤層だけの単層のもの、基材と接着剤層とが積層された２層のもの、基材と接着剤層との間に１または複数の中間層が積層された３層または３層以上のもの、基材の上面に１または複数のカバー層が積層された３層または３層以上のもの、基材、中間層またはカバー層が剥離可能に設けられたもの、接着剤層のみからなる単層の両面接着シート、１または複数の中間層の両最外面に接着剤層が積層された両面接着シート等、どのようなものでもよい。さらに、支持板ＢＰおよび被着体ＷＫとしては、例えば、食品、樹脂容器、シリコン半導体ウエハや化合物半導体ウエハ等の半導体ウエハ、回路基板、光ディスク等の情報記録基板、ガラス板、鋼板、陶器、木板または樹脂等の単体物であってもよいし、それら２つ以上で形成された複合物であってもよく、任意の形態の部材や物品なども対象とすることができる。なお、接着シートＡＳは、機能的、用途的な読み方に換え、例えば、情報記載用ラベル、装飾用ラベル、保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルム、ダイボンディングテープ、記録層形成樹脂シート等の任意のシート、フィルム、テープ等でもよい。

前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、２軸または３軸以上の関節を備えた多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダおよびロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる。
前記実施形態において、ローラ等の回転部材が採用されている場合、当該回転部材を回転駆動させる駆動機器を備えてもよいし、回転部材の表面や回転部材自体をゴムや樹脂等の変形可能な部材で構成してもよいし、回転部材の表面や回転部材自体を変形しない部材で構成してもよいし、ローラの代わりに回転するまたは回転しないシャフトやブレード等の他の部材を採用してもよいし、押圧ローラや押圧ヘッド等の押圧手段や押圧部材といった被押圧物を押圧するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、ローラ、丸棒、ブレード材、ブラシ状部材の他、大気やガス等の気体の吹き付けによるものを採用してもよいし、押圧するものをゴム、樹脂、スポンジ等の変形可能な部材で構成してもよいし、金属や樹脂等の変形しない部材で構成してもよいし、剥離板や剥離ローラ等の剥離手段や剥離部材といった被剥離物を剥離するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、板状部材、丸棒、ローラ等の部材を採用してもよいし、剥離するものをゴムや樹脂等の変形可能な部材で構成してもよいし、変形しない部材で構成してもよいし、支持（保持）手段や支持（保持）部材等の被支持部材（被保持部材）を支持（保持）するものが採用されている場合、メカチャックやチャックシリンダ等の把持手段、クーロン力、接着剤（接着シート、接着テープ）、粘着剤（粘着シート、粘着テープ）、磁力、ベルヌーイ吸着、吸引吸着、駆動機器等で被支持部材を支持（保持）する構成を採用してもよいし、切断手段や切断部材等の被切断部材を切断または、被切断部材に切込や切断線を形成するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、カッター刃、レーザカッタ、イオンビーム、火力、熱、水圧、電熱線、気体や液体等の吹付け等で切断するものを採用したり、適宜な駆動機器を組み合わせたもので切断するものを移動させて切断するようにしたりしてもよいし、付勢手段が採用されている場合、ばね、ゴム、樹脂または駆動機器等で構成してもよい。

ＥＡ…シート貼付装置
１０…供給手段
２０…押圧ローラ（押圧手段）
３０…移動手段
５０…エネルギー付与手段
ＡＳ…接着シート
ＣＬ…間（供給手段と押圧手段との間）
ＷＫ…被着体

Claims (2)

1. 所定のエネルギーが付与されることで変形可能または変形し易くなる接着シートを供給する供給手段と、
   前記供給手段で供給された前記接着シートを被着体に押圧する押圧手段と、
   前記接着シートと前記被着体とを相対移動させ、当該接着シートを所定の平面形状に変形させて前記被着体に貼付する移動手段とを備えたシート貼付装置において、
   前記供給手段と前記押圧手段との間に位置する前記接着シートに対し、前記所定のエネルギーを付与するエネルギー付与手段を備えていることを特徴とするシート貼付装置。
2. 所定のエネルギーが付与されることで変形可能または変形し易くなる接着シートを供給手段で供給する供給工程と、
   前記供給手段で供給された前記接着シートを被着体に押圧手段で押圧する押圧工程と、
   前記接着シートと前記被着体とを相対移動させ、当該接着シートを所定の平面形状に変形させて前記被着体に貼付する移動工程とを実施するシート貼付方法において、
   前記供給手段と前記押圧手段との間に位置する前記接着シートに対し、前記所定のエネルギーを付与するエネルギー付与工程とをさらに行うことを特徴とするシート貼付方法。

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