JP2024049807A - Heat Treatment Equipment - Google Patents

Abstract

【課題】ヒータのＯＮ／ＯＦＦ時に、ヒータが中心軸に沿った方向に伸縮しても、パーティクル発生を抑制できる加熱処理装置を提供する。【解決手段】加熱処理装置は、ワークが収納されるチャンバと、チャンバ内に設けられる棒状の複数のヒータ３３と、チャンバ内にてヒータを支持する、第１の支持部３４、および第２の支持部のいずれかを備える。前記複数のヒータは、ヒータ中心軸交差方向に並び、前記第１の支持部は、前記ヒータの下方に設けられた第１のプレート３４ａ２と、前記ヒータと前記第１のプレートとの間に設けられ、前記ヒータと前記第１のプレートと接触し、前記ヒータ中心軸方向に移動可能な回動部３４ｂを有する。前記第２の支持部は、前記ヒータを保持する保持部と、前記保持部に接続され、前記ヒータの伸縮に応じ、前記ヒータの中心軸方向に弾性変形可能な第２のプレートと、を有する。【選択図】図８[Problem] To provide a heat treatment device capable of suppressing particle generation even when a heater expands and contracts in a direction along its central axis when the heater is turned on and off. [Solution] The heat treatment device includes a chamber in which a workpiece is stored, a plurality of rod-shaped heaters 33 provided in the chamber, and either a first support 34 or a second support that supports the heaters in the chamber. The plurality of heaters are arranged in a direction intersecting the heater central axis, and the first support has a first plate 34a2 provided below the heaters, and a rotating part 34b provided between the heaters and the first plate, in contact with the heaters and the first plate, and movable in the direction of the heater central axis. The second support has a holding part that holds the heaters, and a second plate that is connected to the holding part and is elastically deformable in the direction of the heater central axis in response to the expansion and contraction of the heaters. [Selected Figure] Figure 8

Description

本発明の実施形態は、加熱処理装置に関する。 An embodiment of the present invention relates to a heat treatment device.

ワークを加熱して、ワークの表面に膜などを形成したり、ワークの表面を処理したりする加熱処理装置がある。
例えば、内部にワークが保持されるチャンバと、チャンバの内部に設けられた板材および複数のヒータと、を有する加熱処理装置が提案されている。板材は、ワークの表面側及びワークの裏面側のそれぞれに対向するように設けられている。 2. Description of the Related Art There are heat treatment devices that heat a workpiece to form a film or the like on the surface of the workpiece or to treat the surface of the workpiece.
For example, a heat treatment apparatus has been proposed that includes a chamber in which a workpiece is held, and a plate and a plurality of heaters provided inside the chamber. The plate is provided to face both the front side and the back side of the workpiece.

複数のヒータは、棒状を呈し、板材の、ワークの側とは反対側に並べて設けられている。複数のヒータの一方の端部側は、チャンバに固定されている。複数のヒータの他方の端部は、チャンバに固定された板状のブラケットに支持されている。 The heaters are rod-shaped and arranged side by side on the opposite side of the plate from the workpiece. One end of each of the heaters is fixed to the chamber. The other end of each of the heaters is supported by a plate-shaped bracket fixed to the chamber.

ここで、ヒータへの電力の印加時（ＯＮ時）には、ヒータが高温になるため自身が膨張する。これによって、ヒータが主に中心軸に沿った方向に伸びる。ヒータへの電力の印加の停止時（ＯＦＦ時）には、ヒータが中心軸に沿った方向に縮む（元に戻る）。そのため、ヒータの端部がチャンバに固定された板状のブラケットに支持されていると、ヒータとブラケットとの接触部分に擦れが生じる。ヒータとブラケットとの接触部分に擦れが生じると、パーティクルが発生する場合がある。発生したパーティクルがワークに付着すると、ワークの品質が低下するおそれがある。
そこで、ヒータのＯＮ／ＯＦＦ時に、ヒータが伸縮したとしても、パーティクルが発生するのを抑制することができる加熱処理装置の開発が望まれていた。 Here, when power is applied to the heater (ON), the heater becomes hot and expands. This causes the heater to extend mainly in a direction along the central axis. When power application to the heater is stopped (OFF), the heater contracts in a direction along the central axis (returns to its original state). Therefore, if the end of the heater is supported by a plate-shaped bracket fixed to the chamber, friction occurs at the contact area between the heater and the bracket. When friction occurs at the contact area between the heater and the bracket, particles may be generated. If the generated particles adhere to the workpiece, the quality of the workpiece may be reduced.
Therefore, there has been a demand for the development of a heat treatment apparatus capable of suppressing the generation of particles even if the heater expands and contracts when the heater is turned on and off.

特開２０１９－１８４２２９号公報JP 2019-184229 A

本発明が解決しようとする課題は、ヒータのＯＮ／ＯＦＦ時に、ヒータが伸縮したとしても、パーティクルが発生するのを抑制することができる加熱処理装置を提供することである。 The problem that this invention aims to solve is to provide a heat treatment device that can suppress the generation of particles even if the heater expands and contracts when the heater is turned on and off.

実施形態に係る加熱処理装置は、内部にワークが収納されるチャンバと、前記チャンバの内部に設けられ、棒状を呈する複数のヒータと、前記チャンバの内部において前記ヒータを支持する、第１の支持部、および第２の支持部の少なくともいずれかと、を備えている。前記複数のヒータは、前記ヒータの中心軸と交差する方向に並んでいる。前記第１の支持部は、前記ヒータの下方に設けられた第１のプレートと、前記ヒータと前記第１のプレートとの間に設けられ、前記ヒータと前記第１のプレートと接触し、前記ヒータの中心軸に沿った方向に移動可能な回動部と、を有する。前記第２の支持部は、前記ヒータを保持する保持部と、前記保持部に接続され、前記ヒータの伸縮に応じて、前記ヒータの中心軸に沿った方向に弾性変形可能な第２のプレートと、を有する。 The heat treatment device according to the embodiment includes a chamber in which a workpiece is stored, a plurality of rod-shaped heaters provided inside the chamber, and at least one of a first support and a second support that support the heaters inside the chamber. The heaters are arranged in a direction intersecting the central axis of the heaters. The first support includes a first plate provided below the heaters, and a rotating part provided between the heaters and the first plate, in contact with the heaters and the first plate, and movable in a direction along the central axis of the heaters. The second support includes a holding part that holds the heaters, and a second plate that is connected to the holding part and is elastically deformable in a direction along the central axis of the heaters in response to the expansion and contraction of the heaters.

本発明の実施形態によれば、ヒータのＯＮ／ＯＦＦ時に、ヒータが伸縮したとしても、パーティクルが発生するのを抑制することができる加熱処理装置が提供される。 According to an embodiment of the present invention, a heat treatment device is provided that can suppress the generation of particles even if the heater expands and contracts when the heater is turned on and off.

本実施の形態に係る加熱処理装置を例示するための模式正面図である。1 is a schematic front view illustrating a heat treatment apparatus according to an embodiment of the present invention; 図１における加熱処理装置のＡ－Ａ線方向の模式断面図である。2 is a schematic cross-sectional view of the heat treatment device in FIG. 1 taken along line AA. チャンバ、およびカセットラックの模式斜視図である。FIG. 2 is a schematic perspective view of a chamber and a cassette rack. カセットを例示するための模式斜視図である。FIG. 2 is a schematic perspective view for illustrating a cassette. 保持部によるヒータの保持を例示するための模式斜視図である。10 is a schematic perspective view illustrating the holding of a heater by a holding portion. FIG. 比較例に係る支持部によるヒータの支持を例示するための模式斜視図である。11 is a schematic perspective view illustrating support of a heater by a supporting portion according to a comparative example. FIG. 本実施の形態に係る支持部によるヒータの支持を例示するための模式図である。5A to 5C are schematic views for illustrating support of a heater by a support portion according to the embodiment. 支持部を例示するための模式斜視図である。10 is a schematic perspective view illustrating a support portion. FIG. 支持部の作用を例示するための模式図である。11A to 11C are schematic diagrams for illustrating the function of the support portion. 他の実施形態に係る支持部によるヒータの支持を例示するための模式図である。10A to 10C are schematic views illustrating support of a heater by a support portion according to another embodiment. 他の実施形態に係る支持部によるヒータの支持を例示するための模式図である。10A to 10C are schematic views illustrating support of a heater by a support portion according to another embodiment. 他の実施形態に係るカセットを例示するための模式斜視図である。13A to 13C are schematic perspective views illustrating a cassette according to another embodiment.

以下、図面を参照しつつ、実施の形態について例示をする。なお、各図面中、同様の構成要素には同一の符号を付して詳細な説明は適宜省略する。
以下においては、一例として、大気圧よりも減圧された雰囲気においてワークを加熱して、ワークの表面に有機膜を形成する加熱処理装置を説明する。しかしながら、本発明は、これに限定されるわけではない。例えば、本発明は、ワークを加熱して、ワークの表面に無機膜などを形成したり、ワークの表面を処理したりする加熱処理装置にも適用することができる。 Hereinafter, an embodiment will be described with reference to the drawings. In the drawings, the same components are denoted by the same reference numerals, and detailed description thereof will be omitted as appropriate.
In the following, as an example, a heat treatment apparatus for heating a workpiece in an atmosphere reduced in pressure below atmospheric pressure to form an organic film on the surface of the workpiece will be described. However, the present invention is not limited to this. For example, the present invention can also be applied to a heat treatment apparatus for heating a workpiece to form an inorganic film or the like on the surface of the workpiece or to treat the surface of the workpiece.

また、加熱前のワークは、例えば、基板と、基板の表面に塗布された溶液とを有するものであってもよいし、基板のみであってもよい。以下においては、一例として、加熱前のワークが、基板と、基板の表面に塗布された溶液とを有する場合を説明する。 The workpiece before heating may, for example, have a substrate and a solution applied to the surface of the substrate, or may be only a substrate. In the following, as an example, a case where the workpiece before heating has a substrate and a solution applied to the surface of the substrate will be described.

本実施の形態に係る加熱処理装置１により加熱処理される前のワーク１００は、基板と、基板の表面に塗布された溶液とを有する。基板は、例えば、ガラス基板や半導体ウェーハなどである。ただし、基板は、例示をしたものに限定されるわけではない。溶液は、例えば、有機材料と溶剤を含んでいる。有機材料は、溶剤により溶解が可能なものであれば特に限定はない。溶液は、例えば、ポリアミド酸を含むワニスなどとすることができる。ただし、溶液は、例示をしたものに限定されるわけではない。また、溶液は、液体が仮焼成されて半硬化状態（流れない状態）となっているものであってもよい。 The workpiece 100 before being heat-treated by the heat treatment device 1 according to this embodiment has a substrate and a solution applied to the surface of the substrate. The substrate is, for example, a glass substrate or a semiconductor wafer. However, the substrate is not limited to the examples given. The solution contains, for example, an organic material and a solvent. There are no particular limitations on the organic material as long as it can be dissolved by the solvent. The solution can be, for example, a varnish containing polyamic acid. However, the solution is not limited to the examples given. The solution may also be a liquid that has been pre-baked to a semi-hardened state (non-flowing state).

図１は、本実施の形態に係る加熱処理装置１を例示するための模式正面図である。
なお、図１においては、煩雑となるのを避けるために、カセット５０を１つのみ描いている。
図２は、図１における加熱処理装置１のＡ－Ａ線方向の模式断面図である。
なお、図２においては、煩雑となるのを避けるために、カセット５０を省いて描いている。
図３は、チャンバ１０、およびカセットラック６０の模式斜視図である。
なお、各図中のＸ方向、Ｙ方向、およびＺ方向は、互いに直交する三方向を表している。例えば、Ｘ方向、およびＹ方向は、水平方向である。例えば、Ｚ方向は、上下方向（鉛直方向）である。 FIG. 1 is a schematic front view illustrating a heat treatment apparatus 1 according to the present embodiment.
In FIG. 1, in order to avoid complication, only one cassette 50 is illustrated.
FIG. 2 is a schematic cross-sectional view of the heat treatment apparatus 1 taken along line AA in FIG.
In FIG. 2, the cassette 50 is omitted in order to avoid complication.
FIG. 3 is a schematic perspective view of the chamber 10 and the cassette rack 60. As shown in FIG.
In each drawing, the X-direction, the Y-direction, and the Z-direction represent three directions that are mutually orthogonal. For example, the X-direction and the Y-direction are horizontal directions. For example, the Z-direction is an up-down direction (vertical direction).

図１、および図２に示すように、加熱処理装置１には、例えば、チャンバ１０、排気部２０、加熱部３０、冷却部４０、カセット５０、カセットラック６０、およびコントローラ７０が設けられている。 As shown in Figures 1 and 2, the heat treatment device 1 includes, for example, a chamber 10, an exhaust section 20, a heating section 30, a cooling section 40, a cassette 50, a cassette rack 60, and a controller 70.

コントローラ７０は、例えば、ＣＰＵ（Central Processing Unit）などの演算部と、メモリなどの記憶部とを備えている。コントローラ７０は、例えば、コンピュータなどである。コントローラ７０は、例えば、記憶部に格納されている制御プログラムに基づいて、加熱処理装置１に設けられた各要素の動作を制御する。 The controller 70 includes, for example, a calculation unit such as a CPU (Central Processing Unit) and a storage unit such as a memory. The controller 70 is, for example, a computer. The controller 70 controls the operation of each element provided in the heat treatment device 1 based on, for example, a control program stored in the storage unit.

図１～図３に示すように、チャンバ１０は、箱状を呈している。チャンバ１０は、大気圧よりも減圧された雰囲気を維持可能な気密構造を有している。チャンバ１０の外観形状には特に限定はない。チャンバ１０の外観形状は、例えば、直方体や円筒とすることができる。チャンバ１０は、例えば、ステンレスなどの金属から形成される。 As shown in Figures 1 to 3, the chamber 10 is box-shaped. The chamber 10 has an airtight structure capable of maintaining an atmosphere at a reduced pressure below atmospheric pressure. There are no particular limitations on the external shape of the chamber 10. The external shape of the chamber 10 can be, for example, a rectangular parallelepiped or a cylinder. The chamber 10 is formed from a metal such as stainless steel.

例えば、Ｙ方向におけるチャンバ１０の両端には開口が設けられている。Ｙ方向におけるチャンバ１０の一方の端部には、フランジ１１が設けられている。フランジ１１には、Ｏリングなどのシール材１２が設けられている。チャンバ１０の、フランジ１１が設けられた側には開閉扉１３が設けられている。開閉扉１３を閉めた際には、シール材１２により、チャンバ１０の開口が気密になるように閉鎖される。開閉扉１３を開けた際には、チャンバ１０の開口を介した、カセット５０の内部へのワーク１００の搬入または搬出を行うことができる。すなわち、チャンバ１０の内部にはワーク１００が収納される。 For example, openings are provided at both ends of the chamber 10 in the Y direction. A flange 11 is provided at one end of the chamber 10 in the Y direction. A seal material 12 such as an O-ring is provided on the flange 11. An opening/closing door 13 is provided on the side of the chamber 10 where the flange 11 is provided. When the opening/closing door 13 is closed, the opening of the chamber 10 is closed by the seal material 12 so as to be airtight. When the opening/closing door 13 is opened, the workpiece 100 can be carried in or out of the cassette 50 through the opening of the chamber 10. That is, the workpiece 100 is stored inside the chamber 10.

例えば、Ｙ方向におけるチャンバ１０の他方の端部には、フランジ１４が設けられている。フランジ１４には、シール材１２が設けられている。チャンバ１０の、フランジ１４が設けられた側には蓋１５が設けられている。例えば、蓋１５は、ネジなどの締結部材を用いて、フランジ１４に着脱可能に設けられる。蓋１５を取り付けた際には、シール材１２により、チャンバ１０の開口が気密になるように閉鎖される。着脱可能な蓋１５が設けられていれば、加熱処理装置１の、フランジ１４が設けられた側からのメンテナンスが容易となる。また、メンテナンスのために蓋１５を開けた際には、ワーク１００を加熱する処理空間を有するカセット５０が、チャンバ１０の開口を介して、チャンバ１０の内部に搬入される。または、カセット５０が、チャンバ１０の開口を介して、チャンバ１０の外部に搬出される。 For example, a flange 14 is provided at the other end of the chamber 10 in the Y direction. A seal material 12 is provided on the flange 14. A lid 15 is provided on the side of the chamber 10 where the flange 14 is provided. For example, the lid 15 is detachably provided on the flange 14 using a fastening member such as a screw. When the lid 15 is attached, the opening of the chamber 10 is closed by the seal material 12 so as to be airtight. If a removable lid 15 is provided, maintenance of the heat treatment device 1 from the side where the flange 14 is provided is easy. In addition, when the lid 15 is opened for maintenance, a cassette 50 having a processing space for heating the workpiece 100 is carried into the chamber 10 through the opening of the chamber 10. Alternatively, the cassette 50 is carried out to the outside of the chamber 10 through the opening of the chamber 10.

また、チャンバ１０の外壁には図示しない冷却装置を設けることができる。冷却装置は、例えば、ウォータージャケット（Water Jacket）とすることができる。冷却装置が設けられていれば、チャンバ１０の外壁温度が所定の温度よりも高くなるのを抑制することができる。 A cooling device (not shown) can be provided on the outer wall of the chamber 10. The cooling device can be, for example, a water jacket. If a cooling device is provided, the temperature of the outer wall of the chamber 10 can be prevented from rising above a predetermined temperature.

排気部２０は、チャンバ１０の内部を排気する。
図１に示すように、排気部２０は、第１の排気部２１、および第２の排気部２２を有する。第１の排気部２１、および第２の排気部２２は、チャンバ１０の底面に設けられた排気口１６に接続されている。 The exhaust unit 20 evacuates the inside of the chamber 10 .
1, the exhaust unit 20 has a first exhaust unit 21 and a second exhaust unit 22. The first exhaust unit 21 and the second exhaust unit 22 are connected to an exhaust port 16 provided on the bottom surface of the chamber 10.

第１の排気部２１は、排気ポンプ２１ａと、圧力制御部２１ｂを有する。
排気ポンプ２１ａは、大気圧から所定の圧力まで粗引き排気を行う排気ポンプとすることができる。そのため、排気ポンプ２１ａは、後述する排気ポンプ２２ａよりも排気量が多い。排気ポンプ２１ａは、例えば、ドライ真空ポンプなどとすることができる。 The first exhaust unit 21 includes an exhaust pump 21a and a pressure control unit 21b.
The exhaust pump 21a may be an exhaust pump that performs rough exhaust from atmospheric pressure to a predetermined pressure. Therefore, the exhaust pump 21a has a larger exhaust volume than the exhaust pump 22a described later. The exhaust pump 21a may be, for example, a dry vacuum pump.

圧力制御部２１ｂは、排気口１６と排気ポンプ２１ａとの間に設けられている。圧力制御部２１ｂは、チャンバ１０の内圧を検出する図示しない真空計などの出力に基づいて、チャンバ１０の内圧が所定の圧力となるように制御する。圧力制御部２１ｂは、例えば、ＡＰＣ（Auto Pressure Controller）などとすることができる。 The pressure control unit 21b is provided between the exhaust port 16 and the exhaust pump 21a. The pressure control unit 21b controls the internal pressure of the chamber 10 to a predetermined pressure based on the output of a vacuum gauge (not shown) that detects the internal pressure of the chamber 10. The pressure control unit 21b can be, for example, an APC (Auto Pressure Controller).

第２の排気部２２は、排気ポンプ２２ａと、圧力制御部２２ｂを有する。
排気ポンプ２２ａは、排気ポンプ２１ａによる粗引き排気の後、さらに低い所定の圧力まで排気を行う。排気ポンプ２２ａは、例えば、高真空の分子流領域まで排気可能な排気能力を有する。例えば、排気ポンプ２２ａは、ターボ分子ポンプ（ＴＭＰ：Turbo Molecular Pump）などとすることができる。 The second exhaust unit 22 includes an exhaust pump 22a and a pressure control unit 22b.
The exhaust pump 22a exhausts the air to a lower predetermined pressure after the rough exhaust by the exhaust pump 21a. The exhaust pump 22a has an exhaust capacity capable of exhausting the air to a molecular flow region of a high vacuum. For example, the exhaust pump 22a may be a turbo molecular pump (TMP).

圧力制御部２２ｂは、排気口１６と排気ポンプ２２ａとの間に設けられている。圧力制御部２２ｂは、チャンバ１０の内圧を検出する図示しない真空計などの出力に基づいて、チャンバ１０の内圧が所定の圧力となるように制御する。圧力制御部２２ｂは、例えば、ＡＰＣなどとすることができる。 The pressure control unit 22b is provided between the exhaust port 16 and the exhaust pump 22a. The pressure control unit 22b controls the internal pressure of the chamber 10 to a predetermined pressure based on the output of a vacuum gauge (not shown) that detects the internal pressure of the chamber 10. The pressure control unit 22b can be, for example, an APC.

チャンバ１０の内部空間の圧力が減圧されれば、チャンバ１０の外部に放出される熱を少なくすることができる。そのため、加熱効率と蓄熱効率を向上させることができるので、後述するヒータ３３に印加する電力を低減できる。ヒータ３３に印加する電力を低減できれば、ヒータ３３の負荷が高くなるのを抑制できる。そのため、ヒータ３３の寿命を長くすることができる。 If the pressure in the internal space of the chamber 10 is reduced, the amount of heat released to the outside of the chamber 10 can be reduced. This improves the heating efficiency and heat storage efficiency, and allows the power applied to the heater 33, which will be described later, to be reduced. If the power applied to the heater 33 can be reduced, the load on the heater 33 can be prevented from becoming too high. This allows the life of the heater 33 to be extended.

加熱部３０は、例えば、第１の加熱部３１、および第２の加熱部３２を有する。第１の加熱部３１、および第２の加熱部３２は、チャンバ１０の内部に設けられている。
第１の加熱部３１は、カセット５０の上方に設けられている。
第２の加熱部３２は、カセット５０の下方に設けられている。第２の加熱部３２は、第１の加熱部３１と対向している。 The heating unit 30 includes, for example, a first heating unit 31 and a second heating unit 32. The first heating unit 31 and the second heating unit 32 are provided inside the chamber 10.
The first heating unit 31 is provided above the cassette 50 .
The second heating unit 32 is provided below the cassette 50. The second heating unit 32 faces the first heating unit 31.

後述するように、カセット５０の内部にはワーク１００が支持される。そのため、第１の加熱部３１は、カセット５０の内部に支持されたワーク１００の表面（上面）を加熱する。第２の加熱部３２は、カセット５０の内部に支持されたワーク１００の裏面（下面）を加熱する。 As described below, the workpiece 100 is supported inside the cassette 50. Therefore, the first heating unit 31 heats the front surface (top surface) of the workpiece 100 supported inside the cassette 50. The second heating unit 32 heats the back surface (bottom surface) of the workpiece 100 supported inside the cassette 50.

図１に示すように、チャンバ１０の内部において、複数のカセット５０が、Ｚ方向（鉛直方向）に並べて設けられている場合には、上側のカセット５０の下方に設けられた第２の加熱部３２を、下側のカセット５０の上方に設けられた第１の加熱部３１とすることができる。すなわち、カセット５０とカセット５０との間に設けられた第１の加熱部３１または第２の加熱部３２は、兼用することができる。
なお、便宜上、一つのカセット５０に着目したときに、そのカセット５０から見て上側を第１の加熱部３１、下側を第２の加熱部３２としているが、全てのカセット５０の上下のそれぞれに加熱部（ヒータ３３）が設けられる。 1, when a plurality of cassettes 50 are arranged in the Z direction (vertical direction) inside the chamber 10, the second heating unit 32 provided below the upper cassette 50 can serve as the first heating unit 31 provided above the lower cassette 50. In other words, the first heating unit 31 and the second heating unit 32 provided between the cassettes 50 can be used as one unit.
For convenience, when focusing on one cassette 50, the upper side as viewed from the cassette 50 is designated as the first heating section 31 and the lower side as the second heating section 32, but heating sections (heaters 33) are provided on the top and bottom of all cassettes 50.

この場合、上側のカセット５０の内部に支持されたワーク１００の裏面は、兼用される第１の加熱部３１または第２の加熱部３２により加熱される。下側のカセット５０の内部に支持されたワーク１００の表面は、兼用される第１の加熱部３１または第２の加熱部３２により加熱される。
この様にすれば、第１の加熱部３１または第２の加熱部３２の数を減らすことができる。そのため、消費電力の低減、製造コストの低減、省スペース化などを図ることができる。 In this case, the back surface of the workpiece 100 supported inside the upper cassette 50 is heated by the shared first heating unit 31 or second heating unit 32. The front surface of the workpiece 100 supported inside the lower cassette 50 is heated by the shared first heating unit 31 or second heating unit 32.
In this way, it is possible to reduce the number of first heating sections 31 or second heating sections 32. As a result, it is possible to reduce power consumption, reduce manufacturing costs, and save space.

第１の加熱部３１、および第２の加熱部３２は、例えば、ヒータ３３、支持部３４（第１の支持部の一例に相当する）、および保持部３５を有する。ヒータ３３は、少なくとも１つ設けられている。支持部３４は、例えば、１つのヒータ３３に対して１つ、または、複数のヒータ３３に対して１つ設けられている。保持部３５は、例えば、１つのヒータ３３に対して１つ、または、複数のヒータ３３に対して１つ設けられている。 The first heating section 31 and the second heating section 32 each have, for example, a heater 33, a support section 34 (corresponding to an example of a first support section), and a holding section 35. At least one heater 33 is provided. For example, one support section 34 is provided for one heater 33, or one support section 34 is provided for multiple heaters 33. For example, one holding section 35 is provided for one heater 33, or one support section 35 is provided for multiple heaters 33.

図１、および図２に例示をした第１の加熱部３１、および第２の加熱部３２のそれぞれは、複数のヒータ３３を有している。複数のヒータ３３は、例えば、Ｘ方向に延び、Ｙ方向に並んでいる。なお、複数のヒータ３３は、Ｙ方向に延び、Ｘ方向に並んでいてもよい。すなわち、複数のヒータ３３は、ヒータ３３の中心軸と交差する方向に並んでいる。複数のヒータ３３は、等間隔に並べてもよいし、ワーク１００の温度の面内分布などに応じて間隔を変化させてもよい。また、第２の加熱部３２に設けられるヒータ３３の仕様、数、間隔などは、第１の加熱部３１に設けられるヒータ３３の仕様、数、間隔などと同じであってもよいし、異なっていてもよい。ヒータ３３の仕様、数、間隔などは、加熱する溶液の組成（溶液の加熱温度）、ワーク１００の大きさなどに応じて適宜変更することができる。ヒータ３３の仕様、数、間隔などは、シミュレーションや実験などを行うことで適宜決定することができる。 1 and 2 each have a plurality of heaters 33. The plurality of heaters 33 extend in the X direction and are arranged in the Y direction. The plurality of heaters 33 may extend in the Y direction and be arranged in the X direction. That is, the plurality of heaters 33 are arranged in a direction intersecting the central axis of the heaters 33. The plurality of heaters 33 may be arranged at equal intervals, or the intervals may be changed according to the in-plane distribution of the temperature of the workpiece 100. In addition, the specifications, number, intervals, etc. of the heaters 33 provided in the second heating section 32 may be the same as or different from the specifications, number, intervals, etc. of the heaters 33 provided in the first heating section 31. The specifications, number, intervals, etc. of the heaters 33 can be appropriately changed according to the composition of the solution to be heated (heating temperature of the solution), the size of the workpiece 100, etc. The specifications, number, intervals, etc. of the heaters 33 can be appropriately determined by performing simulations, experiments, etc.

ヒータ３３は、一方向に延びる棒状のヒータとすることができる。ヒータ３３は、棒状のヒータであれば特に限定はない。ヒータ３３は、例えば、シーズヒータ、セラミックヒータ、カートリッジヒータなどとすることができる。ヒータ３３は、例えば、石英カバーを有するものであってもよい。
なお、本明細書においては、石英カバーで覆われたヒータをも含めて「棒状のヒータ」と称する。また、「棒状」の外観形状には限定がなく、例えば、円柱状や角柱状などとすることができる。 The heater 33 may be a rod-shaped heater extending in one direction. There is no particular limitation on the heater 33 as long as it is a rod-shaped heater. The heater 33 may be, for example, a sheath heater, a ceramic heater, a cartridge heater, or the like. The heater 33 may have, for example, a quartz cover.
In this specification, the term "rod-shaped heater" includes heaters covered with a quartz cover. There is no limitation on the external shape of the "rod-shaped heater", and it can be, for example, a cylindrical shape or a prismatic shape.

また、ヒータ３３は、大気圧よりも減圧された雰囲気においてワーク１００を加熱できれば、前述したものに限定されない。すなわち、ヒータ３３は、棒状を呈し、放射による熱エネルギーを利用するものであればよい。 The heater 33 is not limited to the above-mentioned type as long as it can heat the workpiece 100 in an atmosphere that is reduced in pressure below atmospheric pressure. In other words, the heater 33 may be rod-shaped and may utilize thermal energy by radiation.

後述する図５に示すように、ヒータ３３の、端子３３ａ側の端部の近傍は、チャンバ１０の外側において、保持部３５により着脱可能に保持されている。
ヒータ３３の、端子３３ａ側とは反対側の端部の近傍は、チャンバ１０の内部において、支持部３４により支持されている。
なお、保持部３５によるヒータ３３の保持、および、支持部３４によるヒータ３３の支持に関する詳細は後述する。 As shown in FIG. 5, which will be described later, the vicinity of the end of the heater 33 on the terminal 33 a side is detachably held by a holder 35 outside the chamber 10 .
The vicinity of the end of the heater 33 opposite to the terminal 33 a side is supported by a support 34 inside the chamber 10 .
The holding of the heater 33 by the holding portion 35 and the support of the heater 33 by the support portion 34 will be described in detail later.

冷却部４０は、後述するカセット５０に設けられた冷却部５７と協働してカセット５０に冷却ガスを供給する。後述する様に、カセット５０に供給された冷却ガスは、カセット５０の内部に支持されているワーク１００に供給される。また、カセット５０に供給された冷却ガスは、後述するカセット５０の均熱板（上部均熱板５２、下部均熱板５３、側部均熱板５４、側部均熱板５５）にも供給される。 The cooling section 40 cooperates with a cooling section 57 provided in the cassette 50, which will be described later, to supply cooling gas to the cassette 50. As will be described later, the cooling gas supplied to the cassette 50 is supplied to the workpiece 100 supported inside the cassette 50. The cooling gas supplied to the cassette 50 is also supplied to the heat equalizing plates (upper heat equalizing plate 52, lower heat equalizing plate 53, side heat equalizing plate 54, side heat equalizing plate 55) of the cassette 50, which will be described later.

冷却ガスがワーク１００に供給されることで、高温状態にあるワーク１００が直接冷却される。また、ワーク１００に供給された冷却ガスがカセット５０の均熱板に供給されることで、カセット５０も冷却される。カセット５０が冷却されることで、カセット５０の熱がワーク１００に伝わるのを抑制することができる。そのため、ワーク１００がカセット５０によって間接的に冷却される。 The cooling gas is supplied to the workpiece 100, so that the workpiece 100, which is in a high temperature state, is directly cooled. In addition, the cooling gas supplied to the workpiece 100 is also supplied to the heat equalizing plate of the cassette 50, so that the cassette 50 is also cooled. By cooling the cassette 50, it is possible to prevent the heat of the cassette 50 from being transferred to the workpiece 100. Therefore, the workpiece 100 is indirectly cooled by the cassette 50.

冷却部４０が設けられていれば、ワーク１００の冷却時間を短縮することができる。また、ワーク１００の冷却の際に、カセット５０からの熱で、ワーク１００の面内において温度分布のばらつきが生じるのを抑制することができる。 If the cooling section 40 is provided, the cooling time of the workpiece 100 can be shortened. In addition, when the workpiece 100 is cooled, the heat from the cassette 50 can be prevented from causing variations in the temperature distribution within the surface of the workpiece 100.

冷却部４０は、例えば、ジョイント４１、ガス源４２、およびガス制御部４３を有する。ジョイント４１、ガス源４２、およびガス制御部４３は、配管４４により接続されている。 The cooling unit 40 has, for example, a joint 41, a gas source 42, and a gas control unit 43. The joint 41, the gas source 42, and the gas control unit 43 are connected by a pipe 44.

ジョイント４１は、例えば、カセット５０に設けられた冷却部５７の、図示しないジョイントに、着脱自在に接続される。
ガス源４２は、ガス制御部４３を介して、カセット５０の冷却部５７に冷却ガスを供給する。ガス源４２は、例えば、高圧ガスボンベ、工場配管などとすることができる。
冷却ガスは、加熱されたワーク１００と反応し難いガスであれば特に限定がない。冷却ガスは、例えば、窒素ガス、希ガスなどである。希ガスは、例えば、アルゴンガスやヘリウムガスなどである。冷却ガスの温度は、例えば、室温（例えば、２５℃）以下とすることができる。 The joint 41 is detachably connected to, for example, a joint (not shown) of a cooling unit 57 provided in the cassette 50 .
The gas source 42 supplies cooling gas to the cooling unit 57 of the cassette 50 via a gas control unit 43. The gas source 42 may be, for example, a high-pressure gas cylinder, factory piping, or the like.
The cooling gas is not particularly limited as long as it is a gas that does not easily react with the heated workpiece 100. The cooling gas is, for example, nitrogen gas, rare gas, etc. The rare gas is, for example, argon gas, helium gas, etc. The temperature of the cooling gas can be, for example, room temperature (e.g., 25° C.) or lower.

ガス制御部４３は、ジョイント４１とガス源４２との間に設けられている。ガス制御部４３は、例えば、冷却ガスの供給と、供給の停止と、冷却ガスの流速および流量の少なくともいずれかの制御と、を行うことができる。 The gas control unit 43 is provided between the joint 41 and the gas source 42. The gas control unit 43 can, for example, supply the cooling gas, stop the supply, and control at least one of the flow rate and flow rate of the cooling gas.

図１に示すように、カセット５０は、チャンバ１０の内部に設けられたカセットラック６０の、一対の受け部材６２に着脱自在に設けられる。この場合、カセット５０は、第１の加熱部３１と第２の加熱部３２との間に着脱自在に設けられる。 As shown in FIG. 1, the cassette 50 is detachably mounted on a pair of receiving members 62 of a cassette rack 60 provided inside the chamber 10. In this case, the cassette 50 is detachably mounted between the first heating unit 31 and the second heating unit 32.

図４は、カセット５０を例示するための模式斜視図である。
図４に示すように、カセット５０は、箱状を呈し、内部にワーク１００が支持される処理空間を有している。カセット５０の外観形状には特に限定はない。カセット５０の外観形状は、例えば、直方体とすることができる。 FIG. 4 is a schematic perspective view illustrating the cassette 50. As shown in FIG.
4, the cassette 50 has a box shape and has a processing space therein for supporting the workpiece 100. There is no particular limitation on the external shape of the cassette 50. The external shape of the cassette 50 may be, for example, a rectangular parallelepiped.

カセット５０は、例えば、カセットフレーム５１、上部均熱板５２、下部均熱板５３、側部均熱板５４、側部均熱板５５、ワーク支持部５６、冷却部５７、および、カセット支持部５８を有する。 The cassette 50 has, for example, a cassette frame 51, an upper heat equalizer plate 52, a lower heat equalizer plate 53, a side heat equalizer plate 54, a side heat equalizer plate 55, a work support section 56, a cooling section 57, and a cassette support section 58.

カセットフレーム５１は、ワーク１００を加熱する処理空間を画する。本実施の形態においては、カセットフレーム５１は、上部均熱板５２、下部均熱板５３、側部均熱板５４、および側部均熱板５５により囲まれた空間を画する。カセットフレーム５１は、例えば、細長い板材や形鋼などを用いた骨組み構造を有する。または、カセットフレーム５１は、板金加工などで形成された枠体などであってもよい。カセットフレーム５１の外観形状には特に限定はない。カセットフレーム５１の外観形状は、例えば、直方体である。 The cassette frame 51 defines a processing space in which the workpiece 100 is heated. In this embodiment, the cassette frame 51 defines a space surrounded by the upper heat equalizing plate 52, the lower heat equalizing plate 53, the side heat equalizing plate 54, and the side heat equalizing plate 55. The cassette frame 51 has a framework structure using, for example, elongated plate material or shaped steel. Alternatively, the cassette frame 51 may be a frame formed by sheet metal processing or the like. There are no particular limitations on the external shape of the cassette frame 51. The external shape of the cassette frame 51 is, for example, a rectangular parallelepiped.

上部均熱板５２は、板状を呈し、カセットフレーム５１の上部に設けられる。上部均熱板５２は、カセットフレーム５１の上部に着脱自在に設けることができる。上部均熱板５２は、少なくとも１つ設けることができる。図４に例示をしたカセット５０には７個の上部均熱板５２が設けられている。上部均熱板５２の平面形状は、例えば、四角形とすることができる。上部均熱板５２の数と平面形状は、カセットフレーム５１の上部の大きさと形状に応じて適宜変更することができる。 The upper heat equalizing plate 52 is plate-shaped and is provided on the upper part of the cassette frame 51. The upper heat equalizing plate 52 can be provided on the upper part of the cassette frame 51 in a removable manner. At least one upper heat equalizing plate 52 can be provided. The cassette 50 illustrated in FIG. 4 is provided with seven upper heat equalizing plates 52. The planar shape of the upper heat equalizing plate 52 can be, for example, a rectangle. The number and planar shape of the upper heat equalizing plates 52 can be changed as appropriate depending on the size and shape of the upper part of the cassette frame 51.

下部均熱板５３は、板状を呈し、カセットフレーム５１の下部に設けられる。下部均熱板５３は、上部均熱板５２と同様に、カセットフレーム５１の下部に着脱自在に設けることができる。下部均熱板５３は、上部均熱板５２と対向している。下部均熱板５３は、少なくとも１つ設けることができる。下部均熱板５３の数と平面形状は、上部均熱板５２の数と平面形状と同じとすることもできるし、異なるものとすることもできる。 The lower heat equalizing plate 53 is plate-shaped and is provided at the bottom of the cassette frame 51. Like the upper heat equalizing plate 52, the lower heat equalizing plate 53 can be detachably provided at the bottom of the cassette frame 51. The lower heat equalizing plate 53 faces the upper heat equalizing plate 52. At least one lower heat equalizing plate 53 can be provided. The number and planar shape of the lower heat equalizing plates 53 can be the same as the number and planar shape of the upper heat equalizing plate 52, or can be different.

側部均熱板５４は、板状を呈している。側部均熱板５４は、一対設けることができる。一方の側部均熱板５４は、例えば、カセットフレーム５１の、互いに対向する一方の側部に設けられる。 The side heat equalizing plate 54 has a plate shape. A pair of side heat equalizing plates 54 can be provided. One side heat equalizing plate 54 is provided, for example, on one of the opposing sides of the cassette frame 51.

ワーク１００は、カセットフレーム５１の側部に設けられた開口を介して、カセット５０の内部に搬入される。あるいは、ワーク１００は、カセットフレーム５１の側部に設けられた開口を介して、カセット５０の内部から搬出される。そのため、カセットフレーム５１の、側部均熱板５４が設けられる側部とは反対側の側部は、開口している。 The workpiece 100 is loaded into the cassette 50 through an opening provided in the side of the cassette frame 51. Alternatively, the workpiece 100 is loaded out of the cassette 50 through an opening provided in the side of the cassette frame 51. Therefore, the side of the cassette frame 51 opposite the side where the side heat equalizing plate 54 is provided is open.

カセットフレーム５１の開口は、他方の側部均熱板５４により開閉される。例えば、前述したチャンバ１０の開閉扉１３に側部均熱板５４を設け、開閉扉１３が閉じた際にカセットフレーム５１の開口が側部均熱板５４により閉鎖される様にすることができる。また、カセットフレーム５１の側部に開閉自在に側部均熱板５４を設け、開閉自在な側部均熱板５４により、カセットフレーム５１の開口が閉鎖される様にすることもできる。 The opening of the cassette frame 51 is opened and closed by the other side heat equalizer 54. For example, the side heat equalizer 54 can be provided on the opening and closing door 13 of the chamber 10 described above, so that the opening of the cassette frame 51 is closed by the side heat equalizer 54 when the opening and closing door 13 is closed. Also, the side heat equalizer 54 can be provided on the side of the cassette frame 51 so that it can be opened and closed freely, so that the opening of the cassette frame 51 is closed by the side heat equalizer 54 which can be opened and closed freely.

側部均熱板５５は、板状を呈しカセットフレーム５１の内部に一対設けられる。一対の側部均熱板５５は、互いに対向し、一対の側部均熱板５４の間を延びている。一対の側部均熱板５５の一方は、カセットフレーム５１の、一方の側部の近傍に設けられる。一対の側部均熱板５５の他方は、カセットフレーム５１の、他方の側部の近傍に設けられる。 The side heat equalizing plates 55 are plate-shaped and are provided in a pair inside the cassette frame 51. The pair of side heat equalizing plates 55 face each other and extend between the pair of side heat equalizing plates 54. One of the pair of side heat equalizing plates 55 is provided near one side of the cassette frame 51. The other of the pair of side heat equalizing plates 55 is provided near the other side of the cassette frame 51.

上部均熱板５２、下部均熱板５３、側部均熱板５４、および側部均熱板５５により囲まれた空間が、ワーク１００を加熱する処理空間となる。カセット５０の内部の処理空間と、チャンバ１０の内部空間とは、例えば、均熱板同士の間の隙間（均熱板間に存在するカセットの梁と均熱板との隙間）などを介して繋がっている。そのため、チャンバ１０の内部空間の圧力が減圧されると、カセット５０の内部の空間の圧力も減圧される。 The space surrounded by the upper heat equalizer plate 52, the lower heat equalizer plate 53, the side heat equalizer plate 54, and the side heat equalizer plate 55 becomes the processing space in which the workpiece 100 is heated. The processing space inside the cassette 50 and the internal space of the chamber 10 are connected, for example, via gaps between the heat equalizer plates (gaps between the cassette beams and the heat equalizer plates that exist between the heat equalizer plates). Therefore, when the pressure in the internal space of the chamber 10 is reduced, the pressure in the internal space of the cassette 50 is also reduced.

ここで、前述したように、棒状を呈する複数のヒータ３３は、所定の間隔を空けて並べて設けられている。ヒータ３３が棒状である場合、ヒータ３３の中心軸を中心として放射状に熱が放射される。そのため、ヒータ３３の中心軸と、ワーク１００の加熱される部分との間の距離が短くなるほど加熱される部分の温度が高くなる。すなわち、棒状を呈する複数のヒータ３３を用いてワーク１００を直接加熱すると、加熱されたワーク１００の面内において温度分布にばらつきが生じる。 As described above, the multiple rod-shaped heaters 33 are arranged at a predetermined interval. When the heaters 33 are rod-shaped, heat is radiated radially from the central axis of the heaters 33. Therefore, the shorter the distance between the central axis of the heater 33 and the part of the workpiece 100 to be heated, the higher the temperature of the heated part. In other words, when the workpiece 100 is directly heated using multiple rod-shaped heaters 33, the temperature distribution varies within the surface of the heated workpiece 100.

ワーク１００の面内において温度分布にばらつきが生じると、形成された有機膜の品質が低下するおそれがある。例えば、温度が高くなった部分において、泡が発生したり、有機膜の組成が変化したりするおそれがある。 If there is variation in the temperature distribution across the surface of the workpiece 100, the quality of the formed organic film may deteriorate. For example, bubbles may be generated in areas where the temperature is high, and the composition of the organic film may change.

上部均熱板５２、および下部均熱板５３が設けられていれば、複数のヒータ３３から放射された熱は、上部均熱板５２および下部均熱板５３に入射する。上部均熱板５２および下部均熱板５３に入射した熱は、これらの内部を面方向に伝搬しながらワーク１００に向けて放射される。そのため、ワーク１００の面内において温度分布にばらつきが生じるのを抑制することができる。その結果、形成される有機膜の品質を向上させることができる。 If an upper heat equalizing plate 52 and a lower heat equalizing plate 53 are provided, the heat radiated from the multiple heaters 33 is incident on the upper heat equalizing plate 52 and the lower heat equalizing plate 53. The heat incident on the upper heat equalizing plate 52 and the lower heat equalizing plate 53 is radiated toward the workpiece 100 while propagating inside them in the planar direction. This makes it possible to suppress the occurrence of variations in temperature distribution within the surface of the workpiece 100. As a result, the quality of the organic film formed can be improved.

上部均熱板５２、下部均熱板５３、および側部均熱板５４、５５は、例えば、アルミニウム、銅、ステンレスなどの金属から形成することができる。 The upper heat equalizer plate 52, the lower heat equalizer plate 53, and the side heat equalizer plates 54 and 55 can be formed from a metal such as aluminum, copper, or stainless steel.

ワーク支持部５６は、カセット５０の内部に複数設けられている。複数のワーク支持部５６は、ワーク１００を加熱する処理空間においてワーク１００の裏面を支持する。複数のワーク支持部５６は、ワーク１００が、上部均熱板５２および下部均熱板５３と対向するようにワーク１００を支持する。 Multiple workpiece support parts 56 are provided inside the cassette 50. The multiple workpiece support parts 56 support the back surface of the workpiece 100 in the processing space in which the workpiece 100 is heated. The multiple workpiece support parts 56 support the workpiece 100 so that the workpiece 100 faces the upper heat equalizer plate 52 and the lower heat equalizer plate 53.

ワーク支持部５６は、棒状体とすることができる。ワーク支持部５６は、例えば、ステンレスなどから形成される。ワーク支持部５６の数、配置、間隔などは、ワーク１００の大きさや剛性（撓み）などに応じて適宜変更することができる。 The work support portion 56 may be a rod-shaped body. The work support portion 56 may be formed, for example, from stainless steel. The number, arrangement, spacing, etc. of the work support portions 56 may be changed as appropriate depending on the size, rigidity (deflection), etc. of the work 100.

冷却部５７は、前述した冷却部４０から供給される冷却ガスをカセット５０内のワーク１００に供給する。冷却部５７は、例えば、カセットフレーム５１の側面に設けることができる。 The cooling section 57 supplies the cooling gas supplied from the cooling section 40 described above to the workpiece 100 in the cassette 50. The cooling section 57 can be provided, for example, on the side of the cassette frame 51.

冷却部５７は、例えば、いずれも図示しない配管、ノズル、およびジョイントを有する。配管は、前述した冷却部４０から供給された冷却ガスをノズルに供給する。配管は、例えば、カセット５０（カセットフレーム５１）の外部に設けられる。配管は、少なくとも１つ設けることができる。また、配管の先端を分岐させて、複数の先端を有するようにしてもよい。 The cooling unit 57 has, for example, piping, a nozzle, and a joint, none of which are shown. The piping supplies the cooling gas supplied from the cooling unit 40 described above to the nozzle. The piping is provided, for example, outside the cassette 50 (cassette frame 51). At least one pipe can be provided. In addition, the end of the pipe may be branched to have multiple ends.

ノズルは、カセット５０（カセットフレーム５１）の内部に設けられる。ノズルは、例えば、配管の先端に取り付けられる。例えば、ノズルは、カセット５０の処理空間に支持されたワーク１００の裏面に冷却ガスを供給する。ノズルは、少なくとも１つ設けることができる。
ジョイントは、前述した冷却部４０と配管とを着脱自在に接続する。 The nozzle is provided inside the cassette 50 (cassette frame 51). The nozzle is attached to, for example, the tip of a pipe. For example, the nozzle supplies cooling gas to the back surface of the workpiece 100 supported in the processing space of the cassette 50. At least one nozzle can be provided.
The joint detachably connects the cooling unit 40 and the piping described above.

カセット支持部５８は、カセットフレーム５１の、側部均熱板５４が設けられる側面と交差する側面に設けられている。カセット支持部５８は、一対設けられている。カセット支持部５８は、カセットフレーム５１の側面から外部に向けて突出し、側部均熱板５４が設けられる側面と直交する方向に延びている。 The cassette support parts 58 are provided on the side of the cassette frame 51 that intersects with the side on which the side heat equalizer plate 54 is provided. A pair of cassette support parts 58 are provided. The cassette support parts 58 protrude outward from the side of the cassette frame 51 and extend in a direction perpendicular to the side on which the side heat equalizer plate 54 is provided.

カセット支持部５８は、カセット５０の、互いに対向する一対の側面のそれぞれに設けられる。カセット支持部５８は、後述するカセットラック６０の受け部材６２に支持される。すなわち、カセット５０は、カセット支持部５８、および受け部材６２により、チャンバ１０（カセットラック６０）の内部に着脱自在に設けられる。カセット５０がチャンバ１０の内部に着脱自在に設けられていれば、メンテナンスの容易化を図ることができる。 The cassette support parts 58 are provided on each of a pair of opposing side surfaces of the cassette 50. The cassette support parts 58 are supported by a receiving member 62 of the cassette rack 60, which will be described later. That is, the cassette 50 is removably mounted inside the chamber 10 (cassette rack 60) by the cassette support parts 58 and the receiving member 62. If the cassette 50 is removably mounted inside the chamber 10, maintenance can be facilitated.

カセットラック６０は、チャンバ１０の内部に設けられている。カセットラック６０は、ヒータ３３およびカセット５０をチャンバ１０の内部において、所定の位置に保持する。 The cassette rack 60 is provided inside the chamber 10. The cassette rack 60 holds the heater 33 and the cassette 50 in a predetermined position inside the chamber 10.

カセットラック６０は、フレーム６１、受け部材６２、および反射板６３を有する。
フレーム６１は、例えば、細長い部材を用いて構成された骨組み構造を有している。フレーム６１の外観形状には特に限定はない。フレーム６１の外観形状は、例えば、直方体や円筒とすることができる。 The cassette rack 60 has a frame 61 , a receiving member 62 , and a reflecting plate 63 .
The frame 61 has, for example, a framework structure formed by using elongated members. There is no particular limitation on the external shape of the frame 61. The external shape of the frame 61 can be, for example, a rectangular parallelepiped or a cylinder.

フレーム６１の内部には、少なくとも一対の受け部材６２が設けられている（図３参照）。一対の受け部材６２は、チャンバ１０の内部において、カセット５０のカセット支持部５８を支持する。Ｚ方向において、一対の受け部材６２は、第１の加熱部３１と第２の加熱部３２との間に設けられる。一対の受け部材６２の上には、１つのカセット５０が載置される。そのため、一対の受け部材６２は、カセット５０毎に設けられる。例えば、フレーム６１の内部に１４個のカセット５０を収納可能とする場合には、一対の受け部材６２がフレーム６１の内部に１４組設けられる。 At least a pair of receiving members 62 are provided inside the frame 61 (see FIG. 3). The pair of receiving members 62 support the cassette support portion 58 of the cassette 50 inside the chamber 10. In the Z direction, the pair of receiving members 62 are provided between the first heating portion 31 and the second heating portion 32. One cassette 50 is placed on the pair of receiving members 62. Therefore, a pair of receiving members 62 is provided for each cassette 50. For example, if 14 cassettes 50 can be stored inside the frame 61, 14 pairs of receiving members 62 are provided inside the frame 61.

一対の受け部材６２のそれぞれは、例えば、Ｘ方向において、フレーム６１の、互いに対向する内壁に設けられる。一対の受け部材６２は、Ｙ方向に延びている。一対の受け部材６２を複数組設ける場合には、一対の受け部材６２をＺ方向に並べて設けることができる。 Each of the pair of receiving members 62 is provided, for example, on the inner walls of the frame 61 facing each other in the X direction. The pair of receiving members 62 extends in the Y direction. When multiple pairs of receiving members 62 are provided, the pairs of receiving members 62 can be arranged side by side in the Z direction.

反射板６３は、ヒータ３３側から入射した熱を、カセット５０側に反射する。反射板６３が設けられていれば、カセット５０の内部空間（処理空間）における蓄熱性を向上させることができる。反射板６３は、板状を呈し、フレーム６１の外周に設けられる。なお、煩雑さを避けるため、図１および図２には反射板６３は描かれていない。また、図３において、フレーム６１の、受け部材６２が取り付けられた側面に取り付けられる反射板６３のみを描いている。 The reflector 63 reflects the heat incident from the heater 33 side to the cassette 50 side. If the reflector 63 is provided, the heat storage in the internal space (processing space) of the cassette 50 can be improved. The reflector 63 is plate-shaped and is provided on the outer periphery of the frame 61. To avoid complexity, the reflector 63 is not depicted in Figures 1 and 2. Also, in Figure 3, only the reflector 63 attached to the side of the frame 61 to which the receiving member 62 is attached is depicted.

次に、保持部３５によるヒータ３３の保持、および、支持部３４によるヒータ３３の支持についてさらに説明する。
図５は、保持部３５によるヒータ３３の保持を例示するための模式斜視図である。
図５に示すように、保持部３５は、例えば、ネジなどの締結部材を用いて、チャンバ１０の外側面に設けることができる。保持部３５は、ヒータ３３の、端子３３ａ側の端部の近傍を、着脱自在に保持する。保持部３５は、例えば、挿入されたヒータ３３を締め付ける割締め機構を有する。保持部３５により、ヒータ３３の、端子３３ａ側の端部の近傍を保持した際には、ヒータ３３の端子３３ａがチャンバ１０の外側に露出する様になっている。 Next, holding of the heater 33 by the holding portion 35 and support of the heater 33 by the support portion 34 will be further described.
FIG. 5 is a schematic perspective view illustrating how the heater 33 is held by the holding portion 35. As shown in FIG.
5, the holding part 35 can be provided on the outer surface of the chamber 10 using, for example, a fastening member such as a screw. The holding part 35 detachably holds the vicinity of the end part of the heater 33 on the terminal 33a side. The holding part 35 has, for example, a split clamping mechanism that clamps the inserted heater 33. When the holding part 35 holds the vicinity of the end part of the heater 33 on the terminal 33a side, the terminal 33a of the heater 33 is exposed to the outside of the chamber 10.

ヒータ３３の端子３３ａがチャンバ１０の外側に露出していれば、ヒータ３３のメンテナンスが容易となる。また、ワーク１００に電力を印加する際に、ヒータ３３の端子３３ａにおいて、真空放電が生じるのを抑制することができる。 If the terminal 33a of the heater 33 is exposed to the outside of the chamber 10, maintenance of the heater 33 is easy. In addition, when power is applied to the workpiece 100, the occurrence of vacuum discharge at the terminal 33a of the heater 33 can be suppressed.

保持部３５は、例えば、１つのヒータ３３に対して１つ、または、複数のヒータ３３に対して１つ設けられている。図５に例示をした保持部３５は、１つのヒータ３３に対して１つ設けられている。 For example, one holding unit 35 is provided for one heater 33, or one for multiple heaters 33. The holding unit 35 illustrated in FIG. 5 is provided for one heater 33.

図６は、比較例に係る支持部１３４によるヒータ３３の支持を例示するための模式斜視図である。
図６に示すように、支持部１３４は、ヒータ３３の下方に設けられている。支持部１３４は、取付プレート１３４ａ、プレート１３４ｂ、および支持プレート１３４ｃを有する。 FIG. 6 is a schematic perspective view illustrating support of the heater 33 by a support portion 134 according to a comparative example.
6, the support portion 134 is provided below the heater 33. The support portion 134 has a mounting plate 134a, a plate 134b, and a support plate 134c.

取付プレート１３４ａは、カセットラック６０のフレーム６１に設けられている。
プレート１３４ｂは、Ｘ方向において、取付プレート１３４ａと支持プレート１３４ｃとの間に設けられている。 The mounting plate 134 a is provided on the frame 61 of the cassette rack 60 .
The plate 134b is provided between the mounting plate 134a and the support plate 134c in the X direction.

支持プレート１３４ｃは、厚み方向を貫通し、ヒータ３３を挿入可能な切欠き１３４ｃ１を有する。切欠き１３４ｃ１は、Ｕ字状の孔とすることができる。 The support plate 134c has a notch 134c1 that penetrates the thickness direction and into which the heater 33 can be inserted. The notch 134c1 can be a U-shaped hole.

ヒータ３３を切欠き１３４ｃ１の内部に挿入した際には、Ｚ方向における切欠き１３４ｃ１の内壁（切欠き１３４ｃ１の下側の内壁）にヒータ３３が接触する。そのため、ヒータ３３の、端子３３ａ側とは反対側の端部の近傍が、支持部１３４により支持される。 When the heater 33 is inserted into the notch 134c1, the heater 33 comes into contact with the inner wall of the notch 134c1 in the Z direction (the inner wall below the notch 134c1). Therefore, the vicinity of the end of the heater 33 opposite the terminal 33a side is supported by the support portion 134.

ここで、ヒータ３３への電力の印加時（ＯＮ時）には、発生した熱によりヒータ３３が加熱されるので、熱膨張によりヒータ３３が主に中心軸に沿った方向に伸びる。また、ヒータ３３への電力の印加の停止時（ＯＦＦ時）には、加熱されたヒータ３３が冷却されるので、ヒータ３３が中心軸に沿った方向に縮む。すなわち、ヒータ３３への電力の印加時（ＯＮ時）、または、ヒータ３３への電力の印加の停止時（ＯＦＦ時）には、ヒータ３３が中心軸に沿った方向に伸縮する。なお、ヒータ３３の端子３３ａ側の一端は保持部３５により固定されているため、ヒータ３３の熱膨張による伸縮は、端子３３ａ側の一端が起点となる。 When power is applied to the heater 33 (ON), the heater 33 is heated by the generated heat, and the heater 33 expands mainly in a direction along the central axis due to thermal expansion. When power application to the heater 33 is stopped (OFF), the heated heater 33 cools, and the heater 33 contracts in a direction along the central axis. That is, when power is applied to the heater 33 (ON) or when power application to the heater 33 is stopped (OFF), the heater 33 expands and contracts in a direction along the central axis. Note that one end of the heater 33 on the terminal 33a side is fixed by the holding portion 35, so the expansion and contraction due to thermal expansion of the heater 33 starts from the one end on the terminal 33a side.

この場合、ヒータ３３の、端子３３ａ側とは反対側の端部の近傍は、重力により、切欠き１３４ｃ１の下側の内壁に載置されているだけであるため、ヒータ３３が中心軸に沿った方向に伸縮したとしても、ヒータ３３が拘束されることが無い。そのため、ヒータ３３が中心軸に沿った方向に伸縮した際に、ヒータ３３が変形するのを抑制することができる。 In this case, the vicinity of the end of the heater 33 opposite the terminal 33a side is simply placed on the lower inner wall of the notch 134c1 due to gravity, so even if the heater 33 expands and contracts in a direction along the central axis, the heater 33 is not constrained. Therefore, it is possible to suppress deformation of the heater 33 when the heater 33 expands and contracts in a direction along the central axis.

ところが、重力により、ヒータ３３が切欠き１３４ｃ１の下側の内壁に載置されていると、ヒータ３３が中心軸に沿った方向に伸縮した際に、ヒータ３３と切欠き１３４ｃ１の内壁とが擦れることになる。ヒータ３３と切欠き１３４ｃ１の内壁とが擦れると、パーティクルが発生する場合がある。発生したパーティクルがワーク１００に付着すると、ワーク１００の品質が低下するおそれがある。 However, when the heater 33 is placed on the lower inner wall of the notch 134c1 due to gravity, the heater 33 rubs against the inner wall of the notch 134c1 when the heater 33 expands and contracts in a direction along the central axis. When the heater 33 rubs against the inner wall of the notch 134c1, particles may be generated. If the generated particles adhere to the workpiece 100, the quality of the workpiece 100 may be degraded.

図７は、本実施の形態に係る支持部３４によるヒータ３３の支持を例示するための模式図である。
図８は、支持部３４を例示するための模式斜視図である。
図７、および図８に示すように、支持部３４は、ガイド部３４ａ、および回動部３４ｂを有する。
ガイド部３４ａは、ヒータ３３の下方に設けられている。ガイド部３４ａは、例えば、取付プレート３４ａ１、プレート３４ａ２（第１のプレートの一例に相当する）、およびガイドプレート３４ａ３を有する。取付プレート３４ａ１、プレート３４ａ２、およびガイドプレート３４ａ３は、例えば、板材を折り曲げることで一体に形成することができる。 FIG. 7 is a schematic diagram illustrating the support of the heater 33 by the support portion 34 according to the present embodiment.
FIG. 8 is a schematic perspective view illustrating the support portion 34. As shown in FIG.
As shown in FIGS. 7 and 8, the support portion 34 has a guide portion 34a and a rotating portion 34b.
The guide portion 34a is provided below the heater 33. The guide portion 34a has, for example, a mounting plate 34a1, a plate 34a2 (corresponding to an example of a first plate), and a guide plate 34a3. The mounting plate 34a1, the plate 34a2, and the guide plate 34a3 can be integrally formed by, for example, bending a plate material.

取付プレート３４ａ１は、カセットラック６０のフレーム６１に設けられている。
プレート３４ａ２は、Ｘ方向において、取付プレート３４ａ１とガイドプレート３４ａ３との間に設けられている。Ｘ方向におけるプレート３４ａ１の一方の端部は、Ｚ方向における取付プレート３４ａ１の上側の端部に接続されている。Ｘ方向におけるプレート３４ａ２の他方の端部は、Ｚ方向におけるガイドプレート３４ａ３の下側の端部に接続されている。
また、プレート３４ａ２は、ヒータ３３の下方に所定の間隔を空けて設けられている。例えば、プレート３４ａ２は、ヒータ３３と対向し、ヒータ３３と平行となるように設けることができる。 The mounting plate 34 a 1 is provided on a frame 61 of the cassette rack 60 .
The plate 34a2 is provided between the mounting plate 34a1 and the guide plate 34a3 in the X direction. One end of the plate 34a1 in the X direction is connected to an upper end of the mounting plate 34a1 in the Z direction. The other end of the plate 34a2 in the X direction is connected to a lower end of the guide plate 34a3 in the Z direction.
The plate 34a2 is provided below the heater 33 with a predetermined distance therebetween. For example, the plate 34a2 can be provided so as to face the heater 33 and be parallel to the heater 33.

ガイドプレート３４ａ３は、Ｘ方向およびＺ方向において、取付プレート３４ａ１とは異なる位置に設けられている。この場合、ガイドプレート３４ａ３は、取付プレート３４ａ１よりも上側に設けられている。ガイドプレート３４ａ３は、Ｙ方向において、取付プレート３４ａ１と同じ位置に設けられている。ガイドプレート３４ａ３は、取付プレート３４ａ１と平行となるように設けられている。 The guide plate 34a3 is provided at a different position from the mounting plate 34a1 in the X and Z directions. In this case, the guide plate 34a3 is provided above the mounting plate 34a1. The guide plate 34a3 is provided at the same position as the mounting plate 34a1 in the Y direction. The guide plate 34a3 is provided so as to be parallel to the mounting plate 34a1.

ガイドプレート３４ａ３は、厚み方向を貫通し、ヒータ３３を挿入可能な切欠き３４ａ３ａを有する。切欠き３４ａ３ａは、Ｚ方向におけるガイドプレート３４ａ３の上側の端部に開口している。切欠き３４ａ３ａは、Ｕ字状の切欠きとすることができる。 The guide plate 34a3 has a notch 34a3a that penetrates the thickness direction and into which the heater 33 can be inserted. The notch 34a3a opens at the upper end of the guide plate 34a3 in the Z direction. The notch 34a3a can be a U-shaped notch.

図８に示すように、ヒータ３３を切欠き３４ａ３ａの内部に挿入した際には、切欠き３４ａ３ａの内壁と、ヒータ３３との間に隙間が設けられる。ガイド部３４ａ（ガイドプレート３４ａ３）は、Ｙ方向におけるヒータ３３の位置がズレるのを抑制するが、支持部１３４（支持プレート１３４ｃ）のようにヒータ３３を支持しているわけではない。 As shown in FIG. 8, when the heater 33 is inserted into the notch 34a3a, a gap is provided between the inner wall of the notch 34a3a and the heater 33. The guide portion 34a (guide plate 34a3) prevents the heater 33 from shifting in the Y direction, but does not support the heater 33 like the support portion 134 (support plate 134c).

回動部３４ｂは、ガイド部３４ａのプレート３４ａ２と、ヒータ３３との間に設けられている。回動部３４ｂは、ヒータ３３とプレート３４ａ２と接触する。回動部３４ｂがヒータ３３と接触した状態では、Ｚ方向におけるガイドプレート３４ａ３の切欠き３４ａ３ａの内壁（切欠き３４ａ３ａの下側の内壁）と、ヒータ３３とは接触しない。Ｙ方向におけるガイドプレート３４ａ３の切欠き３４ａ３ａの一方の内壁（切欠き３４ａ３ａの一方の側壁）と、ヒータ３３とは接触する場合がある。しかしながら、ヒータ３３は、重力により、切欠き３４ａ３ａの側壁に押し付けられるわけではない。
支持部３４（回動部３４ｂ）の作用については後述する。 The rotating part 34b is provided between the plate 34a2 of the guide part 34a and the heater 33. The rotating part 34b contacts the heater 33 and the plate 34a2. When the rotating part 34b contacts the heater 33, the inner wall of the notch 34a3a of the guide plate 34a3 in the Z direction (the inner wall below the notch 34a3a) does not contact the heater 33. One inner wall of the notch 34a3a of the guide plate 34a3 in the Y direction (one side wall of the notch 34a3a) may contact the heater 33. However, the heater 33 is not pressed against the side wall of the notch 34a3a by gravity.
The function of the support portion 34 (rotating portion 34b) will be described later.

また、回動部３４ｂは、ヒータ３３と接触した状態で、ヒータ３３の伸縮に応じて（追従して）、ヒータ３３の中心軸に沿った方向（Ｘ方向）に移動可能となっている。回動部３４ｂは、例えば、円柱状（中実）、または円筒状（中空）を呈し、ヒータ３３の中心軸と交差する方向に延びている。 In addition, while in contact with the heater 33, the rotating part 34b can move in a direction (X direction) along the central axis of the heater 33 in response to (following) the expansion and contraction of the heater 33. The rotating part 34b is, for example, cylindrical (solid) or cylindrical (hollow) and extends in a direction intersecting the central axis of the heater 33.

回動部３４ｂは、ヒータ３３に接触するので、耐熱性を有する材料から形成される。また、回動部３４ｂは、ヒータ３３が延びる方向に移動可能となっているので、移動してもパーティクルが発生しにくい材料から形成することが好ましい。回動部３４ｂは、例えば、ステンレスなどの金属から形成することができる。 Since the rotating part 34b comes into contact with the heater 33, it is made of a heat-resistant material. In addition, since the rotating part 34b is movable in the direction in which the heater 33 extends, it is preferable to form it from a material that does not generate particles even when it moves. The rotating part 34b can be made from a metal such as stainless steel, for example.

次に、支持部３４の作用について説明する。
図９は、支持部３４の作用を例示するための模式図である。
図９において実線で示すように、ヒータ３３への電力の印加時（ＯＮ時）には、発生した熱によりヒータ３３が加熱されるので、ヒータ３３が中心軸に沿った方向に伸びる。
図９において一点鎖線で示すように、ヒータ３３への電力の印加の停止時（ＯＦＦ時）には、加熱されたヒータ３３が冷却されるので、ヒータ３３が中心軸に沿った方向に縮む。 Next, the function of the support portion 34 will be described.
FIG. 9 is a schematic diagram for illustrating the function of the support portion 34.
As shown by the solid line in FIG. 9, when power is applied to the heater 33 (when ON), the heater 33 is heated by the generated heat, so that the heater 33 expands in the direction along the central axis.
As indicated by the dashed line in FIG. 9, when the application of power to the heater 33 is stopped (OFF), the heated heater 33 is cooled, and therefore the heater 33 contracts in the direction along the central axis.

前述した様に、回動部３４ｂは、ヒータ３３を支持した状態で移動が可能となっている。そのため、図９に示すように、回動部３４ｂは、ヒータ３３の中心軸に沿った方向の伸縮に応じて移動する。この場合、回動部３４ｂは、回転移動するので、回動部３４ｂとヒータ３３との間、回動部３４ｂとプレート３４ａ２との間に擦れが生じるのを抑制することができる。 As described above, the rotating part 34b is capable of moving while supporting the heater 33. Therefore, as shown in FIG. 9, the rotating part 34b moves in response to expansion and contraction in a direction along the central axis of the heater 33. In this case, since the rotating part 34b moves in a rotational manner, it is possible to prevent friction from occurring between the rotating part 34b and the heater 33, and between the rotating part 34b and the plate 34a2.

また、回動部３４ｂがヒータ３３を支持するので、前述した様に、ガイドプレート３４ａ３の切欠き３４ａ３ａの下側の内壁と、ヒータ３３とは接触しない。そのため、ヒータ３３が中心軸に沿った方向の伸縮した際に、切欠き３４ａ３ａの下側の内壁と、ヒータ３３との間に擦れが生じることがない。 In addition, because the rotating portion 34b supports the heater 33, as described above, the lower inner wall of the notch 34a3a of the guide plate 34a3 does not come into contact with the heater 33. Therefore, when the heater 33 expands or contracts in the direction along the central axis, there is no friction between the lower inner wall of the notch 34a3a and the heater 33.

回動部３４ｂとヒータ３３との間、回動部３４ｂとプレート３４ａ２との間、および、切欠き３４ａ３ａの下側の内壁と、ヒータ３３との間に擦れが生じ無ければ、パーティクルが発生するのを抑制することができる。 If there is no friction between the rotating part 34b and the heater 33, between the rotating part 34b and the plate 34a2, and between the lower inner wall of the notch 34a3a and the heater 33, the generation of particles can be suppressed.

なお、前述した様に、ガイドプレート３４ａ３の切欠き３４ａ３ａの一方の側壁と、ヒータ３３とは接触し得るが、ヒータ３３は、切欠き３４ａ３ａの側壁に押し付けられるわけではない。そのため、ヒータ３３と、切欠き３４ａ３ａの側壁との間に擦れが生じたとしても、パーティクルの発生量は大幅に少なくなる。 As mentioned above, the heater 33 may come into contact with one side wall of the notch 34a3a of the guide plate 34a3, but the heater 33 is not pressed against the side wall of the notch 34a3a. Therefore, even if friction occurs between the heater 33 and the side wall of the notch 34a3a, the amount of particles generated is significantly reduced.

そのため、本実施の形態に係る支持部３４とすれば、ヒータ３３のＯＮ／ＯＦＦ時に、ヒータ３３が中心軸に沿った方向に伸縮したとしても、パーティクルが発生するのを抑制することができる。 Therefore, with the support portion 34 according to this embodiment, even if the heater 33 expands and contracts in a direction along the central axis when the heater 33 is turned on and off, the generation of particles can be suppressed.

また、回動部３４ｂが円筒状（中空）であれば、回動部３４ｂの軽量化を図ることができる。回動部３４ｂの軽量化を図ることができれば、回動部３４ｂの取り付けや取り外しが容易となったり、回動部３４ｂの回転移動が容易となったりする。 In addition, if the rotating part 34b is cylindrical (hollow), the weight of the rotating part 34b can be reduced. If the weight of the rotating part 34b can be reduced, the mounting and removal of the rotating part 34b becomes easier, and the rotational movement of the rotating part 34b becomes easier.

また、回動部３４ｂ直径寸法を小さくすれば、回動部３４ｂの回転移動が容易となる。例えば、回動部３４ｂ直径寸法は、ヒータ３３の直径寸法と同等か、それよりも小さくすることができる。この様にすれば、回動部３４ｂが回転移動するために必要になる力が小さくてすむため、回動部３４ｂの回転移動をさらに容易とすることができる。小さい力で回動部３４ｂが回転移動できると、ヒータ３３の伸びに応じて回動部３４ｂがスムーズに追従して移動するため、ヒータ３３と回動部３４ｂとがこすれ合うことをより確実に防止できる。 In addition, by reducing the diameter of the rotating part 34b, the rotational movement of the rotating part 34b becomes easier. For example, the diameter of the rotating part 34b can be made equal to or smaller than the diameter of the heater 33. In this way, less force is required for the rotating part 34b to rotate, making the rotational movement of the rotating part 34b even easier. If the rotating part 34b can rotate with less force, the rotating part 34b moves smoothly following the expansion of the heater 33, making it possible to more reliably prevent the heater 33 and the rotating part 34b from rubbing against each other.

回動部３４ｂは、１つのヒータ３３に対して１つ設けることもできるし、複数のヒータ３３に対して１つ設けることもできる。この場合、回動部３４ｂが、複数のヒータ３３に対して１つ設けられていれば、ヒータ３３の中心軸に沿った方向と交差する方向に回動部３４ｂが移動するのを抑制することができる。回動部３４ｂが、ヒータ３３の中心軸に沿った方向と交差する方向に移動しなければ、回動部３４ｂとヒータ３３との間、および回動部３４ｂとプレート３４ａ２との間の擦れが生じるのを抑制することができる。 One rotating part 34b can be provided for one heater 33, or one can be provided for multiple heaters 33. In this case, if one rotating part 34b is provided for multiple heaters 33, it is possible to prevent the rotating part 34b from moving in a direction intersecting the direction along the central axis of the heater 33. If the rotating part 34b does not move in a direction intersecting the direction along the central axis of the heater 33, it is possible to prevent friction between the rotating part 34b and the heater 33, and between the rotating part 34b and the plate 34a2.

例えば、ヒータ３３の中心軸に交差する方向における、回動部３４ｂの長さ（回動部３４ｂの軸方向の長さ）は、３つ以上のヒータ３３と接触する長さとすることができる。この様にすれば、ヒータ３３の中心軸に沿った方向と交差する方向に回動部３４ｂが移動するのを効果的に抑制することができる。
ここで、回動部３４ｂに対してヒータ３３の中心軸に沿った方向と交差する方向に力が働くと、回動部３４ｂの中心軸は次第にヒータ３３の中心軸と直交する方向から大幅にずれてしまう。回動部３４ｂの中心軸がヒータ３３の中心軸と直交する方向から大幅にずれると、ヒータ３３と回動部３４ｂとの接触面積が大きくなり、両者がこすれ合う面積が大きくなってしまい、パーティクルが生じる原因となる。
そのため、回動部３４ｂの長さを３つ以上のヒータ３３と接触する長さとすれば、回動部３４ｂの上に３つ分以上のヒータ３３の荷重をかけることができる。そのため、回動部３４ｂの長手方向の中央から外れた部分において、中央部分よりも荷重がかかるのを防止できるので、ヒータ３３の中心軸に沿った方向と交差する方向に力が働くことを防止することができる。 For example, the length of the rotating part 34b in a direction intersecting the central axis of the heater 33 (the axial length of the rotating part 34b) can be set to a length that makes contact with three or more heaters 33. In this way, movement of the rotating part 34b in a direction intersecting the direction along the central axis of the heater 33 can be effectively suppressed.
Here, when a force acts on the rotating part 34b in a direction intersecting the direction along the central axis of the heater 33, the central axis of the rotating part 34b gradually becomes significantly deviated from a direction perpendicular to the central axis of the heater 33. When the central axis of the rotating part 34b becomes significantly deviated from a direction perpendicular to the central axis of the heater 33, the contact area between the heater 33 and the rotating part 34b becomes large, and the area where they rub against each other also becomes large, which causes particles to be generated.
Therefore, if the length of the rotating part 34b is set to a length that allows contact with three or more heaters 33, the load of three or more heaters 33 can be applied onto the rotating part 34b. Therefore, it is possible to prevent the load from being applied to the part off the center in the longitudinal direction of the rotating part 34b more than to the central part, and therefore it is possible to prevent a force from acting in a direction intersecting the direction along the central axis of the heater 33.

また、ヒータ３３の中心軸に交差する方向における、回動部３４ｂの長さ（回動部３４ｂの軸方向の長さ）は、ヒータ３３の伸び量の２０倍以上の長さとすることができる。例えば、ヒータ３３の伸び量が２０ｍｍ程度の場合には、回動部３４ｂの軸方向の長さは、４００ｍｍ以上とすることができる。回動部３４ｂの軸方向の長さをこの様にすれば、ヒータ３３の中心軸に沿った方向と交差する方向に回動部３４ｂが移動するのを効果的に抑制することができる。この場合にも、回動部３４ｂの中心軸がヒータ３３の中心軸と直交する方向から大幅にずれることを防止することができるので、パーティクルの発生をより効果的に防止することができる。 In addition, the length of the rotating part 34b in a direction intersecting the central axis of the heater 33 (the axial length of the rotating part 34b) can be 20 times or more longer than the amount of extension of the heater 33. For example, when the amount of extension of the heater 33 is about 20 mm, the axial length of the rotating part 34b can be 400 mm or more. By setting the axial length of the rotating part 34b in this manner, it is possible to effectively prevent the rotating part 34b from moving in a direction intersecting the direction along the central axis of the heater 33. In this case, too, it is possible to prevent the central axis of the rotating part 34b from significantly deviating from the direction perpendicular to the central axis of the heater 33, so that the generation of particles can be more effectively prevented.

なお、図８に示すように、カセットフレーム６１と取付プレート３４ａ１との間に遮熱板６５を設けることができる。遮熱板６５は、ヒータ３３の熱がチャンバ１０の外部へ伝わるのを妨げ、チャンバ１０内における加熱効率と蓄熱効率を向上させるために設けられる。図９に示すように、遮熱板６５にも切欠きが設けられている。遮熱板６５に切欠きが設けられていれば、ヒータ３３が膨張して、ヒータ３３の端部が遮熱板６５の位置まで到達した場合に、ヒータ３３の端部と遮熱板６５とがこすれ合ってパーティクルが発生するのを防止することができる。後述するとおり、ヒータ３３の端部は非加熱領域となるので、遮熱板６５に切欠きが設けられていても、ヒータ３３の、回動部３４より内側部分から放射的にフレーム６１に向かって拡がる熱を十分に遮熱することができる。 As shown in FIG. 8, a heat shield 65 can be provided between the cassette frame 61 and the mounting plate 34a1. The heat shield 65 is provided to prevent the heat of the heater 33 from being transferred to the outside of the chamber 10 and to improve the heating efficiency and heat storage efficiency in the chamber 10. As shown in FIG. 9, the heat shield 65 is also provided with a notch. If the heat shield 65 has a notch, when the heater 33 expands and the end of the heater 33 reaches the position of the heat shield 65, it is possible to prevent the end of the heater 33 from rubbing against the heat shield 65 and generating particles. As will be described later, the end of the heater 33 is a non-heated area, so even if the heat shield 65 has a notch, it is possible to sufficiently shield the heat that spreads radially from the inner part of the heater 33 from the rotating part 34 toward the frame 61.

ここで、例えば、ワーク１００の端部の近傍は、ワーク１００の中央よりも熱が外部に逃げやすい。そのため、ワーク１００の面内温度のバラツキを小さくするために、ワーク１００の温度制御（ヒータ３３の制御）を複数の領域に分けて行う場合がある。例えばワーク１００の両端部近傍の２つの領域と、ワーク１００の中央の１つの領域の、３つの領域に分けてヒータ３３の制御を行うと、領域毎にヒータ３３の温度設定やＯＮ／ＯＦＦのタイミングが異なる場合がある。例えば、熱が外部に逃げやすい両端部の２つの領域は中央の領域よりも温度設定を高くすることが考えられる。領域毎にヒータ３３の温度設定が異なると、領域毎にヒータ３３の伸縮量が異なる場合がある。ワーク１００の面内温度を均一に加熱するためにヒータ３３の温度設定やＯＮ／ＯＦＦのタイミングを制御するため、結果として周辺の温度も均一となり、ヒータ３３の膨張も概ね同じスピードとなることが考えられるが、正確にはこれらの温度制御によって領域毎にヒータの伸縮量が異なってしまうことがある。あるいは、熱が外部へ逃げやすい両端部の２つの領域においてヒータ３３同士の間隔を中央の領域よりも密にすることが考えられる。そうすると、回動部３４ｂのＹ方向の位置によって支持するヒータ３３の本数が変わり、回動部３４ｂの回転移動の容易さに差異が生じることがある。 Here, for example, heat is more likely to escape to the outside near the ends of the workpiece 100 than at the center of the workpiece 100. Therefore, in order to reduce the variation in the in-plane temperature of the workpiece 100, the temperature control of the workpiece 100 (control of the heater 33) may be performed in multiple regions. For example, if the heater 33 is controlled in three regions, two regions near both ends of the workpiece 100 and one region in the center of the workpiece 100, the temperature setting and ON/OFF timing of the heater 33 may differ for each region. For example, it is considered that the temperature setting is higher in the two regions at both ends where heat is more likely to escape to the outside than in the center region. If the temperature setting of the heater 33 differs for each region, the amount of expansion and contraction of the heater 33 may differ for each region. Since the temperature setting and ON/OFF timing of the heater 33 are controlled to heat the in-plane temperature of the workpiece 100 uniformly, the surrounding temperature is uniform as a result, and it is considered that the expansion and contraction of the heater 33 will be approximately the same speed, but to be precise, these temperature controls may cause the amount of expansion and contraction of the heater to differ for each region. Alternatively, the heaters 33 could be spaced closer together in the two end regions where heat is more likely to escape to the outside than in the central region. In this case, the number of heaters 33 supported by the rotating part 34b varies depending on the position of the rotating part 34b in the Y direction, which can result in differences in the ease of rotation of the rotating part 34b.

この場合、ワーク１００の温度制御（ヒータ３３の制御）を行う複数の領域に対して１つの回動部３４ｂを設けたり、複数の領域を跨いで１つの回動部３４ｂを設けたりすると、回動部３４ｂとヒータ３３との間、および回動部３４ｂとプレート３４ａ２との間の擦れが生じる場合がある。擦れが生じると、パーティクルが発生する。あるいは支持するヒータ３３の本数が異なる場合には、多くのヒータ３３を支持している領域とそうでない領域とで回動部３４ｂの回転移動の容易さが異なるため、先に述べたような回動部３４ｂの中心軸がヒータ３３の中心軸と直交する方向から大幅にずれてしまうことがある。そうすると、ヒータ３３と回動部３４ｂとの接触面積が増大し、両者がこすれ合う面積が大きくなるため、パーティクルが生じる原因となる。 In this case, if one rotating part 34b is provided for multiple regions where the temperature control (control of heater 33) of the workpiece 100 is performed, or if one rotating part 34b is provided across multiple regions, friction may occur between the rotating part 34b and the heater 33, and between the rotating part 34b and the plate 34a2. If friction occurs, particles will be generated. Alternatively, if the number of heaters 33 supported is different, the ease of rotation of the rotating part 34b will differ between the region supporting many heaters 33 and the region not supporting many heaters 33, and the central axis of the rotating part 34b as described above may be significantly deviated from the direction perpendicular to the central axis of the heater 33. This increases the contact area between the heater 33 and the rotating part 34b, and the area where they rub against each other will become larger, causing particles to be generated.

そこで、回動部３４ｂは、例えば、ワーク１００の温度制御（ヒータ３３の制御）を行う複数の領域のそれぞれに対して、１つ設けることが好ましい。ワーク１００の温度制御（ヒータ３３の制御）を行う１つの領域においては、ヒータ３３の伸縮量がほぼ同じとなる。そのため、回動部３４ｂが、ワーク１００の温度制御（ヒータ３３の制御）を行う複数の領域のそれぞれに対して、１つ設けられていれば、ヒータ３３の伸縮量の違いに起因する擦れ、ひいてはパーティクルの発生を抑制することができる。 Therefore, it is preferable to provide one rotating part 34b for each of the multiple areas where the temperature of the workpiece 100 is controlled (the heater 33 is controlled). In one area where the temperature of the workpiece 100 is controlled (the heater 33 is controlled), the heater 33 expands and contracts by approximately the same amount. Therefore, if one rotating part 34b is provided for each of the multiple areas where the temperature of the workpiece 100 is controlled (the heater 33 is controlled), it is possible to suppress friction caused by differences in the amount of expansion and contraction of the heater 33, and thus the generation of particles.

すなわち、複数のヒータ３３の温度制御が、ワーク１００における複数の領域毎に行われる場合には、回動部３４ｂは、複数の領域のそれぞれに１つ設けることが好ましい。
例えば、ワーク１００の温度制御（ヒータ３３の制御）を複数の領域に分けて行う場合には、温度制御を行う領域毎に温度センサが設けられる場合が多い。そのため、回動部３４ｂは、１つの温度センサに対して１つ設けることもできる。なお、このようにＹ方向において複数の回動部３４ｂを設ける場合においては、複数の回動部３４ｂ同士の接触を避けるため、位置決め用の僅かな突起を取付プレート３４ａ１に設けるようにしても良い。 That is, when the temperature control of the multiple heaters 33 is performed for each of multiple regions of the workpiece 100, it is preferable to provide one rotating portion 34b for each of the multiple regions.
For example, when the temperature control of the workpiece 100 (control of the heater 33) is performed in multiple regions, a temperature sensor is often provided for each region where the temperature is controlled. Therefore, one rotating part 34b can be provided for one temperature sensor. When multiple rotating parts 34b are provided in the Y direction in this way, a small protrusion for positioning may be provided on the mounting plate 34a1 to prevent the multiple rotating parts 34b from contacting each other.

温度制御の差異に基づく複数の領域それぞれに回動部３４ｂを設けるほかに、全体を単に２つの領域に分け、この領域毎に回動部３４ｂを設けることも可能である（つまり、回動部３４ｂをＹ方向において２つ設ける）。このように回動部３４ｂがＹ方向において２つに分けて設けられる場合には、一方を開閉扉１３側、他方を蓋１５側から取り出すことができ、メンテナンス等を行う際、効率的に取り外しをすることができる。 In addition to providing a rotating part 34b in each of the multiple regions based on the difference in temperature control, it is also possible to simply divide the entire unit into two regions and provide a rotating part 34b for each region (i.e., provide two rotating parts 34b in the Y direction). When the rotating part 34b is divided into two in the Y direction in this way, one can be removed from the opening/closing door 13 side and the other from the lid 15 side, allowing for efficient removal when performing maintenance, etc.

図１０、および図１１は、他の実施形態に係る支持部３６（第２の支持部の一例に相当する）によるヒータ３３の支持を例示するための模式図である。
図１０、および図１１に示すように、支持部３６は、取付プレート３６ａ、プレート３６ｂ（第２のプレートの一例に相当する）、および保持部３６ｃを有する。 10 and 11 are schematic views illustrating support of the heater 33 by a support portion 36 (corresponding to an example of a second support portion) according to another embodiment.
As shown in FIGS. 10 and 11, the support portion 36 has a mounting plate 36a, a plate 36b (corresponding to an example of a second plate), and a holding portion 36c.

取付プレート３６ａは、板状を呈している。取付プレート３６ａは、例えば、ネジなどの締結部材を用いて、カセットラック６０に設けられた梁６４などに取り付けられる（図４参照）。 The mounting plate 36a is plate-shaped. The mounting plate 36a is attached to a beam 64 or the like provided on the cassette rack 60 using a fastening member such as a screw (see FIG. 4).

プレート３６ｂは、板状を呈し、ヒータ３３側に延びている。プレート３６ｂの一方の端部は、取付プレート３６ａと接続されている。取付プレート３６ａ、およびプレート３６ｂは、例えば、板材を折り曲げることで一体に形成することができる。 Plate 36b is plate-shaped and extends toward heater 33. One end of plate 36b is connected to mounting plate 36a. Mounting plate 36a and plate 36b can be formed integrally, for example, by bending a plate material.

保持部３６ｃは、バンド状を呈し、ネジなどの締結部材を用いて、ヒータ３３を保持する。プレート３６ｂの、取付プレート３６ａ側とは反対側の端部は、例えば、ネジなどの締結部材を用いて、保持部３６ｃと接続されている。 The holding portion 36c is band-shaped and holds the heater 33 using a fastening member such as a screw. The end of the plate 36b opposite the mounting plate 36a is connected to the holding portion 36c using a fastening member such as a screw.

支持部３６（取付プレート３６ａ、プレート３６ｂ、および保持部３６ｃ）は、耐熱性を有し、パーティクルが発生しにくく、且つ、弾性変形する材料から形成される。支持部３６は、例えば、厚みが０．５ｍｍ程度のステンレスの板材から形成することができる。 The support portion 36 (mounting plate 36a, plate 36b, and holding portion 36c) is made of a material that is heat resistant, does not easily generate particles, and is elastically deformable. The support portion 36 can be made, for example, from a stainless steel plate material with a thickness of about 0.5 mm.

ヒータ３３のＯＮ／ＯＦＦ時に、ヒータ３３が中心軸に沿った方向に伸縮した場合には、保持部３６ｃを介して、プレート３６ｂに曲げ応力が働く。プレート３６ｂは、弾性変形する材料から形成されているので、板バネとして機能する。すなわち、プレート３６ｂは、保持部３６ｃに接続され、ヒータ３３の伸縮に応じて、ヒータ３３の中心軸に沿った方向に弾性変形する。 When the heater 33 expands and contracts in a direction along the central axis when the heater 33 is turned on and off, a bending stress acts on the plate 36b via the holding portion 36c. The plate 36b is made of an elastically deformable material and functions as a leaf spring. That is, the plate 36b is connected to the holding portion 36c and elastically deforms in a direction along the central axis of the heater 33 in response to the expansion and contraction of the heater 33.

プレート３６ｂがヒータ３３の中心軸に沿った方向に弾性変形すれば、ヒータ３３が伸縮したとしても、支持部３６（保持部３６ｃ）と、ヒータ３３との間に擦れが生じるのを抑制することができる。
そのため、ヒータ３３のＯＮ／ＯＦＦ時に、ヒータ３３が中心軸に沿った方向に伸縮したとしても、パーティクルが発生するのを抑制することができる。 If the plate 36b elastically deforms in a direction along the central axis of the heater 33, friction between the support portion 36 (holding portion 36c) and the heater 33 can be suppressed even if the heater 33 expands or contracts.
Therefore, even if the heater 33 expands and contracts in the direction along the central axis when the heater 33 is turned on and off, the generation of particles can be suppressed.

なお、以上においては、支持部３４、または保持部３６ｃを、ヒータ３３の軸方向の端部の近傍に設ける場合を例示した。しかしながら、１つのヒータ３３に複数の支持部３４設けたり、１つのヒータ３３に複数の支持部３６設けたり、１つのヒータ３３に支持部３４および保持部３６ｃを設けたり、前述した温度制御を行う領域毎に支持部３４と支持部３６を使い分けたりすることもできる。
すなわち、支持部３４、および保持部３６ｃの少なくともいずれかを設けることができる。 In the above, the case has been exemplified where the support portion 34 or the holding portion 36c is provided near the axial end portion of the heater 33. However, it is also possible to provide a plurality of support portions 34 for one heater 33, to provide a plurality of support portions 36 for one heater 33, to provide both the support portion 34 and the holding portion 36c for one heater 33, or to use different support portions 34 and support portions 36 for each region where the above-mentioned temperature control is performed.
That is, at least one of the support portion 34 and the holding portion 36c can be provided.

また、一般的には、ヒータ３３の軸方向の端部の近傍は、非加熱領域となっている。また、ワーク１００に上方や下方に、支持部３４や支持部３６を設けると、ワーク１００の温度の面内分布がばらつくおそれがある。
そのため、支持部３４、および保持部３６ｃは、ヒータ３３の端部の近傍における非加熱部に設けることが好ましい。また、非加熱部に支持部３４および保持部３６ｃが設けられることにより、チャンバ１０内が真空下でワーク１００の加熱処理をおこなっているときには特に、ヒータ３３の輻射を妨げることがなく、ワーク１００の加熱処理を均一におこなうことができる。 Generally, the vicinity of the axial end of the heater 33 is a non-heated region. If the support parts 34 and 36 are provided above and below the workpiece 100, the in-plane temperature distribution of the workpiece 100 may vary.
Therefore, it is preferable to provide the support part 34 and the holding part 36c in a non-heated part near the end of the heater 33. Furthermore, by providing the support part 34 and the holding part 36c in the non-heated part, the radiation of the heater 33 is not hindered, and the workpiece 100 can be uniformly heated, particularly when the workpiece 100 is heated in a vacuum inside the chamber 10.

図１２は、他の実施形態に係るカセット５０ａを例示するための模式斜視図である。
図１２に示すように、カセット５０ａは、前述したカセット５０と同様に、カセットフレーム５１、上部均熱板５２、下部均熱板５３、側部均熱板５４、側部均熱板５５、ワーク支持部５６、冷却部５７、および、カセット支持部５８を有している。
また、カセット５０ａは、一対のヒータ３３をさらに備えている、なお、ヒータ３３の径寸法や長さは、カセットフレーム５１の大きさに応じて適宜変更することができる。ヒータ３３は、ワーク１００が支持される領域の外側に設けることができる。 FIG. 12 is a schematic perspective view illustrating a cassette 50a according to another embodiment.
As shown in Figure 12, the cassette 50a, similar to the cassette 50 described above, has a cassette frame 51, an upper heat equalizing plate 52, a lower heat equalizing plate 53, a side heat equalizing plate 54, a side heat equalizing plate 55, a work support portion 56, a cooling portion 57, and a cassette support portion 58.
The cassette 50a further includes a pair of heaters 33. The diameter and length of the heaters 33 can be appropriately changed according to the size of the cassette frame 51. The heaters 33 can be provided outside the area where the workpiece 100 is supported.

カセット５０ａ（カセットフレーム５１）の内部にヒータ３３を設ける場合にも、前述したものと同様に、ヒータ３３を支持する支持部３４、および保持部３６ｃの少なくともいずれかを設けることができる。
例えば、カセット５０ａのＸ方向両端において、カセット５０ａの内部にヒータ３３を設けることができる。この場合にも、図１２の紙面手前側に開閉扉１３が設けられているが、ヒータ３３はＹ方向に延びるように設けられるため、開閉扉１３側のヒータ３３端部に支持部３４ａ、回動部３４ｂを設けることができない。そこで図１０、図１１に示した支持部３６を採用することが好ましい。 When the heater 33 is provided inside the cassette 50a (cassette frame 51), at least one of the support portion 34 for supporting the heater 33 and the holding portion 36c can be provided in the same manner as described above.
For example, heaters 33 can be provided inside cassette 50a at both ends in the X direction of cassette 50a. In this case, too, door 13 is provided on the front side of the paper in Fig. 12, but since heater 33 is provided to extend in the Y direction, support part 34a and rotating part 34b cannot be provided at the end of heater 33 on the door 13 side. Therefore, it is preferable to employ support part 36 shown in Figs. 10 and 11.

この様にすれば、ヒータ３３のＯＮ／ＯＦＦ時に、ヒータ３３が中心軸に沿った方向に伸縮したとしても、カセット５０ａ（カセットフレーム５１）の内部において、パーティクルが発生するのを抑制することができる。 In this way, even if the heater 33 expands and contracts in a direction along the central axis when the heater 33 is turned on and off, the generation of particles inside the cassette 50a (cassette frame 51) can be suppressed.

以上、実施の形態について例示をした。しかし、本発明はこれらの記述に限定されるものではない。
前述の実施の形態に関して、当業者が適宜設計変更を加えたものも、本発明の特徴を備えている限り、本発明の範囲に包含される。
例えば、加熱処理装置１の形状、寸法、配置などは、例示をしたものに限定されるわけではなく適宜変更することができる。 Although the embodiments have been described above, the present invention is not limited to these descriptions.
Any modifications to the above-described embodiments made by those skilled in the art are also encompassed within the scope of the present invention as long as they incorporate the features of the present invention.
For example, the shape, dimensions, arrangement, etc. of the heat treatment device 1 are not limited to those exemplified, and can be changed as appropriate.

また、前述した各実施の形態が備える各要素は、可能な限りにおいて組み合わせることができ、これらを組み合わせたものも本発明の特徴を含む限り本発明の範囲に包含される。 Furthermore, the elements of each of the above-mentioned embodiments can be combined to the greatest extent possible, and such combinations are also included within the scope of the present invention as long as they include the features of the present invention.

１ 加熱処理装置、１０ チャンバ、２０ 排気部、３０ 加熱部、３３ ヒータ、３３ａ 端子、３４ 支持部、３４ａ ガイド部、３４ａ１ 取付プレート、３４ａ２ プレート、３４ａ３ ガイドプレート、３４ａ３ａ 切欠き、３４ｂ 回動部、３６ 支持部、３６ａ 取付プレート、３６ｂ プレート、３６ｃ 保持部、５０ カセット、５０ａ カセット、６０ カセットラック、６１ フレーム、６２ 受け部材、１００ ワーク 1 Heat treatment device, 10 Chamber, 20 Exhaust section, 30 Heating section, 33 Heater, 33a Terminal, 34 Support section, 34a Guide section, 34a1 Mounting plate, 34a2 Plate, 34a3 Guide plate, 34a3a Notch, 34b Rotating section, 36 Support section, 36a Mounting plate, 36b Plate, 36c Holding section, 50 Cassette, 50a Cassette, 60 Cassette rack, 61 Frame, 62 Receiving member, 100 Workpiece

実施形態に係る加熱処理装置は、内部にワークが収納されるチャンバと、前記チャンバの内部に設けられ、棒状を呈する複数のヒータと、前記チャンバの内部において前記ヒータを支持する、第１の支持部、および第２の支持部の少なくともいずれかと、を備え、前記複数のヒータは、前記ヒータの中心軸と交差する方向に並び、前記第１の支持部は、前記ヒータの下方に、前記複数のヒータと平行となるように設けられた第１のプレートと、前記ヒータと前記第１のプレートとの間に設けられ、前記ヒータと前記第１のプレートと接触し、前記ヒータの中心軸に沿った方向に移動可能な回動部と、を有し、前記第２の支持部は、前記ヒータを保持する保持部と、前記保持部に接続され、前記ヒータの伸縮に応じて、前記ヒータの中心軸に沿った方向に弾性変形可能な第２のプレートと、を有する。 A heat treatment apparatus according to an embodiment includes a chamber in which a workpiece is stored, a plurality of rod-shaped heaters provided inside the chamber, and at least one of a first support portion and a second support portion supporting the heaters inside the chamber, the plurality of heaters being arranged in a direction intersecting a central axis of the heaters, the first support portion including a first plate provided below the heaters and parallel to the plurality of heaters , and a rotating portion provided between the heaters and the first plate, in contact with the heaters and the first plate, and movable in a direction along the central axis of the heaters, and the second support portion including a holding portion that holds the heaters, and a second plate connected to the holding portion and elastically deformable in a direction along the central axis of the heaters in response to expansion and contraction of the heaters.

カセット５０は、例えば、カセットフレーム５１、上部均熱板５２、下部均熱板５３、側部均熱板５４、側部均熱板５５、ワーク支持部５６、冷却部５７（図１、図２参照）、および、カセット支持部５８を有する。 The cassette 50 has, for example, a cassette frame 51, an upper heat equalizing plate 52, a lower heat equalizing plate 53, a side heat equalizing plate 54, a side heat equalizing plate 55, a work support portion 56, a cooling portion 57 (see Figures 1 and 2) , and a cassette support portion 58.

図１に戻って、冷却部５７は、前述した冷却部４０から供給される冷却ガスをカセット５０内のワーク１００に供給する。冷却部５７は、例えば、カセットフレーム５１の側面に設けることができる。 1, the cooling unit 57 supplies the cooling gas supplied from the cooling unit 40 to the workpieces 100 in the cassette 50. The cooling unit 57 can be provided on a side surface of the cassette frame 51, for example.

また、回動部３４ｂがヒータ３３を支持するので、前述した様に、ガイドプレート３４ａ３の切欠き３４ａ３ａの下側の内壁と、ヒータ３３とは接触しない。そのため、ヒータ３３が中心軸に沿った方向に伸縮した際に、切欠き３４ａ３ａの下側の内壁と、ヒータ３３との間に擦れが生じることがない。 Furthermore, since the rotating portion 34b supports the heater 33, as described above, the lower inner wall of the notch 34a3a of the guide plate 34a3 does not come into contact with the heater 33. Therefore, when the heater 33 expands or contracts in the direction along the central axis, friction does not occur between the lower inner wall of the notch 34a3a and the heater 33.

図１２は、他の実施形態に係るカセット５０ａを例示するための模式斜視図である。
図１２に示すように、カセット５０ａは、前述したカセット５０と同様に、カセットフレーム５１、上部均熱板５２、下部均熱板５３、側部均熱板５４、側部均熱板５５、ワーク支持部５６、冷却部５７、および、カセット支持部５８を有している。
また、カセット５０ａは、一対のヒータ３３をさらに備えている。なお、ヒータ３３の径寸法や長さは、カセットフレーム５１の大きさに応じて適宜変更することができる。ヒータ３３は、ワーク１００が支持される領域の外側に設けることができる。 FIG. 12 is a schematic perspective view illustrating a cassette 50a according to another embodiment.
As shown in Figure 12, the cassette 50a, similar to the cassette 50 described above, has a cassette frame 51, an upper heat equalizing plate 52, a lower heat equalizing plate 53, a side heat equalizing plate 54, a side heat equalizing plate 55, a work support portion 56, a cooling portion 57, and a cassette support portion 58.
The cassette 50a further includes a pair of heaters 33. The diameter and length of the heaters 33 can be appropriately changed according to the size of the cassette frame 51. The heaters 33 can be provided outside the area where the workpiece 100 is supported.

Claims (4)

内部にワークが収納されるチャンバと、
前記チャンバの内部に設けられ、棒状を呈する複数のヒータと、
前記チャンバの内部において前記ヒータを支持する、第１の支持部、および第２の支持部の少なくともいずれかと、
を備え、
前記複数のヒータは、前記ヒータの中心軸と交差する方向に並び、
前記第１の支持部は、前記ヒータの下方に設けられた第１のプレートと、前記ヒータと前記第１のプレートとの間に設けられ、前記ヒータと前記第１のプレートと接触し、前記ヒータの中心軸に沿った方向に移動可能な回動部と、を有し、
前記第２の支持部は、前記ヒータを保持する保持部と、前記保持部に接続され、前記ヒータの伸縮に応じて、前記ヒータの中心軸に沿った方向に弾性変形可能な第２のプレートと、を有する加熱処理装置。 A chamber in which the workpiece is housed;
A plurality of heaters each having a rod shape and provided inside the chamber;
at least one of a first support and a second support that support the heater inside the chamber;
Equipped with
The plurality of heaters are arranged in a direction intersecting a central axis of the heater,
the first support portion includes a first plate provided below the heater, and a rotating portion provided between the heater and the first plate, in contact with the heater and the first plate, and movable in a direction along a central axis of the heater;
The second support portion has a holding portion that holds the heater, and a second plate that is connected to the holding portion and is elastically deformable in a direction along a central axis of the heater in response to expansion and contraction of the heater. 前記回動部は、円柱状、または円筒状を呈し、前記ヒータの中心軸と交差する方向に延び、
前記ヒータの中心軸に交差する方向における、前記回動部の長さは、
前記ヒータの伸び量の２０倍以上の長さ、
および、
３つ以上の前記ヒータと接触する長さ、
の少なくともいずれかである請求項１記載の加熱処理装置。 The rotating portion has a columnar or cylindrical shape and extends in a direction intersecting a central axis of the heater,
The length of the rotating part in a direction intersecting the central axis of the heater is
A length of at least 20 times the elongation amount of the heater,
and,
a length in contact with three or more of the heaters;
2. The heat treatment apparatus according to claim 1, wherein the heat treatment apparatus is at least one of the above. 前記チャンバの内部を排気する排気部をさらに備え、
前記回動部、および前記保持部は、前記ヒータの端部の近傍における非加熱部に設けられている請求項１または２に記載の加熱処理装置。 An exhaust unit that exhausts the inside of the chamber is further provided,
3. The heat treatment apparatus according to claim 1, wherein the rotating portion and the holding portion are provided in a non-heating portion in the vicinity of an end portion of the heater. 前記複数のヒータの温度制御は、前記ワークにおける複数の領域毎に行われ、
前記回動部は、前記複数の領域のそれぞれに１つ設けられている請求項１または２に記載の加熱処理装置。 The temperature control of the plurality of heaters is performed for each of a plurality of regions of the workpiece,
The heat treatment device according to claim 1 , wherein the rotating portion is provided for each of the plurality of regions.

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