JP2024042792A - 磁歪式トルクセンサ - Google Patents

Abstract

【課題】検出コイルの抵抗成分にバラつきがある場合であっても、検出精度を向上可能な磁歪式トルクセンサを提供する。【解決手段】磁歪特性を有する磁歪材２によって伝達されるトルクを検出するトルクセンサであって、磁歪材２の軸方向に対して所定角度傾斜した第１直線部３１ａ，３３ａを有し互いに電磁結合するように設けられた一対の第１及び第３の検出コイル３１，３３と、磁歪材２の軸方向に対して第１直線部３１ａ，３３ａと反対方向に所定角度傾斜した第２直線部３２ａ，３４ａを有し互いに電磁結合するように設けられた第２及び第４の検出コイル３２，３４とを有するセンサ部１０と、第１の検出コイル３１と第２の検出コイル３２に対して、交流の駆動電圧を印加する駆動部８と、第３の検出コイル３３と第４の検出コイル３４に電磁結合により生じた電圧を測定する電圧測定部９と、を備えた。【選択図】図４

Description

本発明は、磁歪式トルクセンサに関する。

従来、トルク（回転トルク）が付与された際に透磁率が変化する磁歪特性を有する磁歪材を用い、トルクが付与された際の磁歪材の透磁率の変化を検出コイルのインダクタンスの変化として検出することにより、磁歪材に付与されたトルクを検出する磁歪式トルクセンサが知られている。

従来の磁歪式トルクセンサでは、４つの検出コイルをブリッジ接続したセンサ部を有しており、トルクの付与による各検出コイルのインピーダンスの変化を基に、磁歪特性を有するシャフトに付与されたトルクを検出している（例えば、特許文献１参照）。

特開２０２０－１６００８８号公報

しかしながら、検出コイルには抵抗成分が含まれており、この抵抗成分にばらつきが存在している。特に、基板上に形成された配線パターンにより検出コイルを構成する場合には、配線パターンの厚さや幅にある程度の誤差が生じ、検出コイルに抵抗成分のばらつきが生じてしまうことは避けられない。検出コイルに抵抗成分のばらつきが生じると、トルクが付与されていない状態においても出力が生じてしまうオフセットと呼ばれる現象が生じてしまう。さらに、この抵抗成分のばらつきによるオフセットは、温度により大きく変化するため、検出精度が低下してしまうおそれがある。

そこで、本発明は、検出コイルの抵抗成分にバラつきがある場合であっても、検出精度を向上可能な磁歪式トルクセンサを提供することを目的とする。

本発明は、上記課題を解決することを目的として、磁歪特性を有する磁歪材によって伝達されるトルクを検出するトルクセンサであって、前記磁歪材の軸方向に対して所定角度傾斜した第１直線部を有し互いに電磁結合するように設けられた一対の第１及び第３の検出コイルと、前記磁歪材の軸方向に対して前記第１直線部と反対方向に前記所定角度傾斜した第２直線部を有し互いに電磁結合するように設けられた第２及び第４の検出コイルとを有するセンサ部と、前記第１の検出コイルと前記第２の検出コイルに対して、交流の駆動電圧を印加する駆動部と、前記第３の検出コイルと前記第４の検出コイルに電磁結合により生じた電圧を測定する電圧測定部と、を備えた、磁歪式トルクセンサを提供する。

本発明によれば、検出コイルの抵抗成分にバラつきがある場合であっても、検出精度を向上可能な磁歪式トルクセンサを提供できる。

本発明の一実施の形態に係る磁歪式トルクセンサの外観を示す斜視図である。 （ａ）は、図１において樹脂モールド部を省略した斜視図、（ｂ）はフレキシブル基板及び磁性リングの積層構造を示す断面図である。 フレキシブル基板の各配線層に形成される配線パターンの一例を示す図である。 センサ部の回路構成を示す回路図である。

［実施の形態］
以下、本発明の実施の形態を添付図面にしたがって説明する。

図１は、本実施の形態に係る磁歪式トルクセンサの外観を示す斜視図である。図２（ａ）は、図１において樹脂モールド部を省略した斜視図、図２（ｂ）はフレキシブル基板及び磁性リングの積層構造を示す断面図である。図３は、フレキシブル基板の各配線層に形成される配線パターンの一例を示す図である。

（磁歪材２）
図１～３に示すように、磁歪式トルクセンサ（以下、単にトルクセンサという）１は、磁歪材２に付与されるトルク（回転トルク）を検出するセンサであり、磁歪材２の周囲に取り付けられている。

磁歪材２は、周方向にトルクが付与される円柱状の部材である。トルクセンサ１における磁歪材２は、例えば、車両のパワートレイン系のトルク伝達に用いられるシャフト、あるいは車両のエンジンのトルク伝達に用いられるシャフトである。磁歪材２としては、例えばクロム鋼、クロムモリブデン鋼、又はニッケルクロムモリブデン鋼等のクロムを含有するクロム鋼からなる基材に、浸炭焼入れ焼戻し処理を施した後に、ショットピーニングを施したものを用いることができる。

（センサ部１０）
トルクセンサ１は、磁歪材２の周囲を覆うように設けられたセンサ部１０を備えている。センサ部１０は、磁歪材２の周囲に設けられた検出コイル３と、検出コイル３の周囲を覆うように設けられた磁性リング（磁性体リング、バックヨーク）４と、を有している。本実施の形態では、第１乃至第４の４つの検出コイル３１～３４を有している。

図１及び図２（ａ）に示すように、センサ部１０は、磁歪材２と離間して同軸に配置された円筒状のボビン５と、ボビン５の外面に巻き付けられたフレキシブル基板６と、樹脂モールド部７と、を有している。本実施の形態では、検出コイル３は、フレキシブル基板６に形成された配線パターン（後述する配線層６０）から構成されている。ボビン５は、樹脂等の非磁性体からなり、その軸方向の一端部に径方向外方に突出した鍔部５１が一体に形成されている。磁性リング４は、フレキシブル基板６の周囲を覆うように設けられている。

（樹脂モールド部７）
図１に示されるように、樹脂モールド部７は、フレキシブル基板６や磁性リング４を保護するためのものであり、ボビン５及びフレキシブル基板６及び磁性リング４の周囲を覆うように樹脂をモールドして形成される。樹脂モールド部７は、ボビン５及びフレキシブル基板６及び磁性リング４の周囲を覆う本体部７１と、本体部７１から外方に突出するように形成されたフランジ部７２と、を一体に有している。本体部７１には、磁歪材２を通すための貫通孔７１ａが形成されている。フランジ部７２には、フランジ部７２を貫通し、金属からなる短円筒状のカラー７３を保持する保持孔７４が形成されている。フランジ部７２は、ボルト等を用いて、周囲の部材（磁歪材２の回転に伴い回転しない部材）に固定される。

（フレキシブル基板６）
図２（ｂ）に示されるように、フレキシブル基板６は、第１配線層６１、第２配線層６２、第３配線層６３、第４配線層６４の４層の配線層６０を有している。ただし、配線層６０の層数はこれに限定されず、２層以上であればよい。

第１配線層６１は、ポリイミドからなる第１ベース樹脂層６５ａの表面に形成されており、第１ベース樹脂層６５ａの裏面は接着層６６ｂを介して第２配線層６２に接着固定されている。第１配線層６１の表面には、接着層６６ａを介してポリイミドからなる第１カバーレイ層６７ａが設けられ、絶縁処理が施されている。第１カバーレイ層６７ａの表面には両面テープ６８ａが貼付され、この両面テープ６８ａを介して、フレキシブル基板６がボビン５に接着固定される。

第２配線層６２は、ポリイミドからなる第２ベース樹脂層６５ｂの表面に形成されており、第２ベース樹脂層６５ｂの裏面には、第３配線層６３が形成されている。

第４配線層６４は、ポリイミドからなる第３ベース樹脂層６５ｃの裏面に形成されており、第３ベース樹脂層６５ｃの表面は接着層６６ｃを介して第３配線層６３に接着固定されている。第４配線層６４の表面には、接着層６６ｄを介してポリイミドからなる第２カバーレイ層６７ｂが設けられ、絶縁処理が施されている。第２カバーレイ層６７ｂには、両面テープ６８ｂが貼付され、この両面テープ６８ｂを介して、フレキシブル基板６と磁性リング４とが接着固定されている。

フレキシブル基板６の内層となる第２配線層６２と第３配線層６３とは、圧延銅箔からなる。フレキシブル基板６の外層となる第１配線層６１と第４配線層６４とは、電解銅箔に銅めっきを施したものからなる。詳細は後述するが、トルクセンサ１では、フレキシブル基板６にビア（スルーホール）を形成する必要があるため、外層である第１，４配線層６１，６４では、めっきを施した構成となっている。

図３は、フレキシブル基板６の各配線層６０に形成される配線パターンの一例を示す図である。図３では、フレキシブル基板６を展開して平面とした際の各配線層６０の配線パターンを模式的に示している。

図３に示すように、第１乃至第４の検出コイル３１～３４は、フレキシブル基板６の配線層６０に形成されている。第１及び第３の検出コイル３１，３３は、磁歪材２の軸方向に対して所定角度傾斜した第１直線部３１ａ，３３ａを有し、第２及び第４の検出コイル３２，３４は、磁歪材２の軸方向に対して第１直線部３１ａ，３３ａと反対方向に所定角度傾斜した第２直線部３２ａ，３４ａを有する。

トルクセンサ１では、磁歪材２にトルクが付与された際の透磁率の変化は軸方向に対して±４５度の方向で最も大きくなる。よって、第１直線部３１ａ，３３ａを軸方向に対して＋４５度傾斜するように形成し、第２直線部３２ａ，３４ａを軸方向に対して－４５度傾斜するように形成することで、検出感度を向上できる。

このトルクセンサ１では、第１の検出コイル３１を形成する配線層６０と、第４の検出コイル３４を形成する配線層６０の配線パターンを一部入れ替え、２層の配線層６０（第１及び第２配線層６１，６２）にわたって第１及び第４の検出コイル３１，３４が形成されるように構成している。同様に、第２の検出コイル３２を形成する配線層６０と、第３の検出コイル３３を形成する配線層６０の配線パターンを一部入れ替え、２層の配線層６０（第３及び第４配線層６３，６４）にわたって第２及び第３の検出コイル３２，３３が形成されるように構成している。配線層６０間はビアを介して電気的に接続される。

各検出コイル３を２層の配線層６０にわたって形成することで、２層の配線層６０の特性差による影響を抑制することが可能になる。その結果、配線層６０間の特性差に起因した測定誤差を抑制し、測定精度を向上させることが可能になる。

本実施の形態では、第１配線層６１と第３配線層６３、および、第２配線層６２と第４配線層６４に形成される配線パターンは、略同じパターンとされる。また、第１配線層６１と第３配線層６３、および、第２配線層６２と第４配線層６４に形成される配線パターンに流れる電流は、同じ向きとなるようにされる。図３では、白抜き矢印で電流の向きを示している。また、図３では、第１乃至第４の検出コイル３１～３４の入力側電極を符号３１ｂ，３２ｂ，３３ｂ，３４ｂ、出力側電極を符号３１ｃ，３２ｃ，３３ｃ，３４ｃで示している。また、図３における符号ａ～ｙ，Ａ～Ｙは、ビアによる接続関係を便宜的に表すものであり、同じ符号同士がビアを介して電気的に接続されていることを表している。なお、図３に示す各配線層６０の配線パターンはあくまで一例であり、配線パターンの具体的な構造はこれに限定されるものではない。

本実施の形態では、センサ部１０では、第１の検出コイル３１と第３の検出コイル３３とは、磁歪材２の径方向に重なるように設けられており、互いに電磁結合するように設けられている。同様に、第２の検出コイル３２と第４の検出コイル３４とは、磁歪材２の径方向に重なるように設けられており、互いに電磁結合するように設けられている。

（センサ部１０の回路構成）
図４は、センサ部１０の回路構成を示す回路図である。図４に示すように、トルクセンサ１は、第１の検出コイル３１と第２の検出コイル３２に対して、交流の駆動電圧を印加する駆動部８と、第３の検出コイル３３と第４の検出コイル３４に電磁結合により生じた電圧を測定する電圧測定部９と、を備えている。なお、図４では、第１乃至第４の検出コイル３１～３４を、Ｌ_１～Ｌ_４で表している。

本実施の形態では、第１の検出コイル３１と第２の検出コイル３２とが直列に接続されると共に、第３の検出コイル３３と第４の検出コイル３４とが直列に接続されている。ここでは、第３の検出コイル３３と第４の検出コイル３４とは、電磁結合により生じる電圧の向きが逆方向となるように、直列に接続されている。

駆動部８は、直列に接続された第１の検出コイル３１と第２の検出コイル３２に対して、交流の駆動電圧を印加するように構成されている。駆動部８としては、一定周波数の交流の駆動電圧を出力可能な発振器を用いるとよい。

電圧測定部は、直列に接続された第３の検出コイル３３と第４の検出コイル３４の全体の電圧を測定するように構成されている。電圧測定部９としては、入力インピーダンスが高いものを用いるとよく、第３及び第４の検出コイル３３，３４にほぼ電流が流れない状態とすることが望ましい。本実施の形態では、電圧測定部９としてロックインアンプを用いた。

第１及び第３の検出コイル３１，３３間の相互インダクタンスをＭ_３１、第２及び第４の検出コイル３２，３４間の相互インダクタンスをＭ_４２とし、第１及び第３の検出コイル３１，３３に流れる電流をｉ_ａ、駆動電圧の周波数をｆとすると、電磁結合により第３及び第４の検出コイル３３，３４に生じる電圧Ｖ_３，Ｖ_４は、下式（１），（２）で表される。なお、詳細は後述するが、本実施の形態では、第３及び第４の検出コイル３３，３４に生じる電圧Ｖ_３，Ｖ_４の向きが異なるようにセンサ部１０を構成しており、相互インダクタンスＭ_３１，Ｍ_４２の正負の符号が異なっている。
Ｖ_３＝２πｆ×Ｍ_３１×ｉ_ａ ・・・（１）
Ｖ_４＝２πｆ×Ｍ_４２×ｉ_ａ ・・・（２）

電圧測定部９では、これら電圧Ｖ_３，Ｖ_４を合計した電圧Ｖ（＝Ｖ_３＋Ｖ_４）が測定されることになる。ここで、本実施の形態では、入力インピーダンスが高い電圧測定部９を用いているため、第３及び第４の検出コイル３３，３４にはほぼ電流が流れない。よって、電圧測定部９で検出される電圧Ｖは、第３及び第４の検出コイル３３，３４の抵抗成分の影響を受けない。

そして、上式（１），（２）中の相互インダクタンスＭ_３１，Ｍ_４２は、磁歪材２に付与されたトルクに応じて変動する。第１及び第３の検出コイル３１，３３間の相互インダクタンスＭ_３１は、磁歪材２を通過しない磁束による成分と、磁歪材２を通過する磁束による成分とに分けられる。このうち、磁歪材２を通過する磁束による成分は、磁歪材２を通過する磁束の通路の磁気抵抗に反比例すること、すなわち磁束の通路の透磁率に比例することが知られている。つまり、相互インダクタンスＭ_３１のうち、磁歪材２を通過する磁束による成分は、磁束の通路となる磁歪材２の４５度傾斜した方向の透磁率に比例する。

磁歪材２の軸方向に対して４５度傾斜した方向の透磁率をｕ₊、磁歪材２に付与されたトルクをＴとすると、透磁率をμ₊は、下式（３）のように近似することができる。
μ_＋＝μ_０＋Δμ＝μ_０＋Ｃ×Ｔ ・・・（３）
ただし、μ_０：トルクを付与しない状態での透磁率
Δμ：トルクを付与した際の透磁率の変化量
Ｃ：定数
式（３）においてΔμ（＝Ｃ×Ｔ）が十分に小さいとすると、相互インダクタンスＭ_３１を近似すると、下式（４）で表すことができる。
Ｍ_３１＝Ｍ_Ｃ＋Ａ×Ｔ ・・・（４）
ただし、Ｍ_Ｃ：トルクによる透磁率変化に依存しない定数項
Ａ：相互インダクタンスに対するトルクの１次の係数

同様に、第２及び第４の検出コイル３２，３４間の相互インダクタンスＭ_４２は下式（５）で表すことができる。なお、右辺のマイナスは、第４の検出コイル３４に生じる電圧が第３の検出コイル３３とは逆方向であることを意味している。
Ｍ_４２＝－（Ｍ_Ｃ－Ａ×Ｔ） ・・・（５）
ただし、Ｍ_Ｃ：トルクによる透磁率変化に依存しない定数項
Ａ：相互インダクタンスに対するトルクの１次の係数

式（４），（５）を上式（１），（２）に代入すると、電圧測定部９で測定される電圧Ｖは、下式（６）で表される。
Ｖ＝２πｆ×ｉ_ａ×（Ｍ_３１＋Ｍ_４２）
＝２πｆ×ｉ_ａ×（２×Ａ×Ｔ） ・・・（６）
式（６）より、電圧測定部９で測定される電圧Ｖは、トルクＴに比例したものとなる。よって、電圧Ｖを測定することで、磁歪材２に付与されたトルクＴを検出することができる。本実施の形態では、磁歪材２にトルクが付与されていない状態では電圧Ｖはゼロとなり、トルクが付与される方向によって電圧Ｖの正負が変化する。

なお、上式（４），（５）では、両相互インダクタンスＭ_３１，Ｍ_４２において定数Ａが同じとしたが、この定数Ａに差がある場合、磁歪材２にトルクが付与されていない状態での電圧Ｖはゼロとならない。よって、両相互インダクタンスＭ_３１，Ｍ_４２が同等となるように（定数Ａが同じになるように）センサ部１０を構成することがより望ましい。

（実施の形態の作用及び効果）
以上説明したように、本実施の形態に係る磁歪式トルクセンサ１では、磁歪材２の軸方向に対して所定角度傾斜した第１直線部３１ａ，３３ａを有し互いに電磁結合するように設けられた一対の第１及び第３の検出コイル３１，３３、及び、磁歪材２の軸方向に対して第１直線部３１ａ，３３ａと反対方向に所定角度傾斜した第２直線部３２ａ，３４ａを有し互いに電磁結合するように設けられた第２及び第４の検出コイル３２，３４を有するセンサ部１０と、第１の検出コイル３１と第２の検出コイル３２に対して、交流の駆動電圧を印加する駆動部８と、第３の検出コイル３３と第４の検出コイル３４に電磁結合により生じた電圧を測定する電圧測定部９と、を備えている。

入力インピーダンスが十分に高い電圧測定部９を用いることで、第３及び第４の検出コイル３３，３４に流れる電流を極めて小さくすることができ、製造上のばらつきが大きい第３及び第４の検出コイル３３，３４の抵抗成分の影響を受けずに、トルクの検出（トルクに応じた電圧Ｖの検出）が可能になる。その結果、抵抗成分の温度変化による変動も無視することが可能になり、精度よくトルクを検出することが可能になる。すなわち、本実施の形態によれば、検出コイル３１～３４の抵抗成分にバラつきがある場合であっても、温度変動を小さくし、検出精度を向上することが可能になる。本実施の形態は、幅や厚さが変動しやすい配線パターンにより検出コイル３１～３４を構成する場合に、特に有効である。

（変形例）
上記実施の形態では、電圧測定部９としてロックインアンプを用いる場合を説明したが、これに限らず、電圧測定部９は、第３及び第４の検出コイル３３，３４の抵抗成分を無視できる程度に電流を抑えられる十分に高い入力インピーダンスを有するものであればよく、ロックインアンプに限定されない。

また、上記実施の形態では、第３の検出コイル３３と第４の検出コイル３４とが、電磁結合により生じる電圧の向きが逆方向となるように、直列に接続されている場合について説明したが、これに限らず、第３及び第４の検出コイル３３，３４で電磁結合により生じる電圧の向きが同じ方向であってもよい。この場合、トルクが付与されていない状態での電圧Ｖからの変化量に基づいて、磁歪材２に付与されたトルクを求めることになる。ただし、この場合、トルクが付与されていない状態でも常に電圧Ｖが出力されることになるため、トルクが付与されていない状態では電圧Ｖがゼロ（あるいは略ゼロ）となるように、第３及び第４の検出コイル３３，３４で電磁結合により生じる電圧の向きを逆方向とすることがより好ましい。

さらに、上記実施の形態では、直列に接続された第１及び第２の検出コイル３１，３２に対して、交流の駆動電圧を印加したが、これに限らず、第１及び第２の検出コイル３１，３２それぞれに一定の駆動電圧を印加できればよい。例えば、第１及び第２の検出コイル３１，３２それぞれに駆動部８からの駆動電圧が印加されるよう構成されていてもよく、第１及び第２の検出コイル３１，３２が直列に接続されていることは必須ではない。

さらにまた、上記実施の形態では、直列に接続された第３の検出コイル３３と第４の検出コイル３４の全体の電圧Ｖを電圧測定部９により測定したが、第３及び第４の検出コイル３３，３４に生じる電圧Ｖ_３，Ｖ_４を個別に測定し、演算により電圧Ｖを求めてもよく、第３及び第４の検出コイル３３，３４が直列に接続されていることは必須ではない。

（実施の形態のまとめ）
次に、以上説明した実施の形態から把握される技術思想について、実施の形態における符号等を援用して記載する。ただし、以下の記載における各符号等は、特許請求の範囲における構成要素を実施の形態に具体的に示した部材等に限定するものではない。

［１］磁歪特性を有する磁歪材（２）によって伝達されるトルクを検出するトルクセンサであって、前記磁歪材（２）の軸方向に対して所定角度傾斜した第１直線部（３１ａ，３３ａ）を有し互いに電磁結合するように設けられた一対の第１及び第３の検出コイル（３１，３３）と、前記磁歪材（２）の軸方向に対して前記第１直線部（３１ａ，３３ａ）と反対方向に前記所定角度傾斜した第２直線部（３２ａ，３４ａ）を有し互いに電磁結合するように設けられた第２及び第４の検出コイル（３２，３４）とを有するセンサ部（１０）と、前記第１の検出コイル（３１）と前記第２の検出コイル（３２）に対して、交流の駆動電圧を印加する駆動部（８）と、前記第３の検出コイル（３３）と前記第４の検出コイル（３４）に電磁結合により生じた電圧を測定する電圧測定部（９）と、を備えた、磁歪式トルクセンサ（１）。

［２］前記センサ部（１０）は、前記第１の検出コイル（３１）と前記第２の検出コイル（３２）とが直列に接続さると共に、前記第３の検出コイル（３３）と前記第４の検出コイル（３４）とが直列に接続されており、前記駆動部（８）は、直列に接続された前記第１の検出コイル（３１）と前記第２の検出コイル（３２）に対して、交流の駆動電圧を印加するように構成され、前記電圧測定部（９）は、直列に接続された前記第３の検出コイル（３３）と前記第４の検出コイル（３４）の全体の電圧を測定する、［１］に記載の磁歪式トルクセンサ（１）。

［３］前記センサ部（１０）は、前記第３の検出コイル（３３）と前記第４の検出コイル（３４）とが、電磁結合により生じる電圧の向きが逆方向となるように、直列に接続されている、［１］に記載の磁歪式トルクセンサ（１）。

［４］前記電圧測定部（９）が、ロックインアンプからなる、［１］に記載の磁歪式トルクセンサ（１）。

［５］前記所定角度が４５度である、［１］に記載の磁歪式トルクセンサ（１）。

［６］ 前記第１乃至第４の検出コイル（３１～３４）が、フレキシブル基板（６）に形成された配線パターンにより構成されている、［１］に記載の磁歪式トルクセンサ。

以上、本発明の実施の形態を説明したが、上記に記載した実施の形態は特許請求の範囲に係る発明を限定するものではない。また、実施の形態の中で説明した特徴の組合せの全てが発明の課題を解決するための手段に必須であるとは限らない点に留意すべきである。また、本発明は、その趣旨を逸脱しない範囲で適宜変形して実施することが可能である。

１…磁歪式トルクセンサ（トルクセンサ）
２…磁歪材
３…検出コイル
３１…第１の検出コイル
３２…第２の検出コイル
３３…第３の検出コイル
３４…第４の検出コイル
３１ａ，３３ａ…第１直線部
３２ａ，３４ａ…第２直線部
６…フレキシブル基板
８…駆動部
９…電圧測定部
１０…センサ部

Claims (6)

1. 磁歪特性を有する磁歪材によって伝達されるトルクを検出するトルクセンサであって、
   前記磁歪材の軸方向に対して所定角度傾斜した第１直線部を有し互いに電磁結合するように設けられた一対の第１及び第３の検出コイルと、前記磁歪材の軸方向に対して前記第１直線部と反対方向に前記所定角度傾斜した第２直線部を有し互いに電磁結合するように設けられた第２及び第４の検出コイルとを有するセンサ部と、
   前記第１の検出コイルと前記第２の検出コイルに対して、交流の駆動電圧を印加する駆動部と、
   前記第３の検出コイルと前記第４の検出コイルに電磁結合により生じた電圧を測定する電圧測定部と、を備えた、
   磁歪式トルクセンサ。
2. 前記センサ部は、前記第１の検出コイルと前記第２の検出コイルとが直列に接続さると共に、前記第３の検出コイルと前記第４の検出コイルとが直列に接続されており、
   前記駆動部は、直列に接続された前記第１の検出コイルと前記第２の検出コイルに対して、交流の駆動電圧を印加するように構成され、
   前記電圧測定部は、直列に接続された前記第３の検出コイルと前記第４の検出コイルの全体の電圧を測定する、
   請求項１に記載の磁歪式トルクセンサ。
3. 前記センサ部は、前記第３の検出コイルと前記第４の検出コイルとが、電磁結合により生じる電圧の向きが逆方向となるように、直列に接続されている、
   請求項１に記載の磁歪式トルクセンサ。
4. 前記電圧測定部が、ロックインアンプからなる、
   請求項１に記載の磁歪式トルクセンサ。
5. 前記所定角度が４５度である、
   請求項１に記載の磁歪式トルクセンサ。
6. 前記第１乃至第４の検出コイルが、フレキシブル基板に形成された配線パターンにより構成されている、
   請求項１に記載の磁歪式トルクセンサ。

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