JP2024019390A - エアリーク検査装置及び方法 - Google Patents
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Abstract
Description
(1)被検査体に接続される排気管と、
前記排気管から開閉弁を介して分岐し、前記排気管より細い径を有する排気細管と、
前記排気管に接続され、前記被検査体内の圧力を検出する真空計と、
前記排気管に遮断弁を介して接続された第1真空ポンプと、
前記排気細管に接続された第2真空ポンプとを備え、
前記開閉弁を閉じ、前記遮断弁を開いて、前記第1真空ポンプにより前記排気管を介して前記被検査体及び前記排気管内を排気するとともに、前記第2真空ポンプにより前記排気細管内を排気して、
前記開閉弁を開き、前記遮断弁を閉じたとき、前記真空計の検出圧力が所定の閾値を越えるとリーク有りと判定する検査工程を行う制御部を備えることを特徴とするエアリーク検査装置。
前記排気管から開閉弁を介して分岐し、前記排気管より細い径を有する排気細管と、
前記排気管に接続され、前記被検査体内の圧力を検出する真空計と、
前記排気管に遮断弁を介して接続された第1真空ポンプと、
前記排気細管に接続された第2真空ポンプとを備え、
前記開閉弁を閉じ、前記遮断弁を開いて、前記第1真空ポンプにより前記排気管を介して前記被検査体及び前記排気管内を排気するとともに、前記第2真空ポンプにより前記排気細管内を排気する排気工程と、
前記排気工程の後、前記開閉弁を開き、前記遮断弁を閉じたとき、前記真空計の検出圧力が所定の閾値を越えるとリーク有りと判定する検査工程とを有することを特徴とするエアリーク検査方法。
Q=C(P1-P0)
C=1349D4P/L
P=(10+1)/2=5.5[Pa]
D=1.0×10-3[m]
L=0.5[m]
であるから、コンダクタンスC及び流量Qは、次の通りになる。
C=1349×(1.0×10-3)4×5.5/0.5
=1.48×10-8[m3/s]
Q=1.48×10-8×(10-1)
=1.34×10-7[Pa・m3/s]
C=C1+C2
図2Aにおいて、ステップ001で遮断弁V0、第1開閉弁V1及び第2開閉弁V2を開き、ワーク弁Vw及びリーク弁VLを閉じて、ステップ002で第1真空ポンプ3a、第2真空ポンプ3bを駆動する。これにより、排気管4内の空気は、排気管4を通って第1真空ポンプ3aから外部に排気され、第1排気細管5a、第2排気細管5b内の空気は、枝管4a及び排気管4を通って第1真空ポンプ3aから外部に排気されるとともに、集合管4bを通って第2真空ポンプ3bから外部に排気される。
これに対し、本発明では、第1真空ポンプ3aにより、第1排気細管5aと第2排気細管5bの上流側の空気を排気し、第2真空ポンプ3bにより、第1排気細管5aと第2排気細管5bを含むそれらの下流側の空気を排気するので、図3中実線で示すように、従来のtjより短いtp時間で、第1排気細管5aと第2排気細管5bの上流側が2Paに達する。また、第1排気細管5aと第2排気細管5bを含む下流側は、上流側より内容積がはるかに小さいので、図3中破線で示すように、高真空ポンプである第2真空ポンプ3bにより、第1真空ポンプ3aの排気時間tp1よりも短い時間tp0で、第1排気細管5aと第2排気細管5bの下流側が1Paに達する。このため、第1排気細管5aと第2排気細管5bの上流側が2Paに達したtp1時点から、検査工程で直ちに検査を開始することができる。検査工程では、被検査体及び排気管の排気を毎回行うが、排気細管は排気しないので、tp1に相当する時間が短くなるだけである。
図2Bにおいて、ステップ101で、第1開閉弁V1及び第2開閉弁V2を閉じ、ステップ102で被検査体2を取り付けた後、ステップ103でワーク弁Vwを開く。このt0時点では、前述の準備工程で第1真空ポンプ3aと第2真空ポンプ3bの排気により排気管4と排気細管5a、5b内は既に2Paまで排気されているので、直ちに被検査体2のリーク検査を行うことができる。排気管4と排気細管5a、5b内は、引き続き第1真空ポンプ3aと第2真空ポンプ3bにより排気されるので、図4に示すように、真空計6が検出する圧力は低下してゆく。ステップ104で、ワークバルブVwを開いてからt03秒(例えば、30秒)が経過したか否かを判断し、経過していなければ第1真空ポンプ3aと第2真空ポンプ3bによる排気を継続する。t03秒が経過していれば、ステップ105で、真空計6の圧力P1を読み取る。ステップ106で圧力P1が所定の第1閾値Pth1以下であるか否かを判断する。第1閾値Pth1は、本実施形態では、1.5Paである。図4中2点鎖線xで示すように圧力P1が第1閾値Pth1を超える場合、被検査体2のリーク(漏れ)のために排気が不十分になっていると考えられ、ステップ107でリーク有り(リークレベル:L1)と判断し、当該被検査体2の検査を終了し、次の被検査体の検査に移行する。圧力P1が第1閾値Pth1以下である場合、大きな漏れがなく排気が十分に行われていることになるので、ステップ108以降において、排気細管5aと5bの微小流量によるリークテストを行う。
2…被検査体
2a…空間
2b…チップ管
3a…第1真空ポンプ
3b…第2真空ポンプ
4…排気管
4a…枝管
4b…集合管
5…排気細管
5a…第1排気細管
5b…第2排気細管
6…真空計
7…制御部
8…フィルタ
9…清浄ガス導入部
10…表示部
V0…遮断弁
V…開閉弁
V1…第1開閉弁
V2…第2開閉弁
Vw…ワーク弁
Claims (9)
- 被検査体に接続される排気管と、
前記排気管から開閉弁を介して分岐し、前記排気管より細い径を有する排気細管と、
前記排気管に接続され、前記被検査体内の圧力を検出する真空計と、
前記排気管に遮断弁を介して接続された第1真空ポンプと、
前記排気細管に接続された第2真空ポンプとを備え、
前記開閉弁を閉じ、前記遮断弁を開いて、前記第1真空ポンプにより前記排気管を介して前記被検査体及び前記排気管内を排気するとともに、前記第2真空ポンプにより前記排気細管内を排気して、
前記開閉弁を開き、前記遮断弁を閉じたとき、前記真空計の検出圧力が所定の閾値を越えるとリーク有りと判定する検査工程を行う制御部を備えることを特徴とするエアリーク検査装置。 - 前記開閉弁は、前記排気細管の排気方向の上流側に設けられていることを特徴とする請求項1に記載のエアリーク検査装置。
- 前記第2真空ポンプの到達可能圧力は、前記第1真空ポンプの到達可能圧力と同等又はそれ以下であることを特徴とする請求項1に記載のエアリーク検査装置。
- 前記排気細管は、コンダクタンスが異なる複数の排気細管が並列に接続されていることを特徴とする請求項1に記載のエアリーク検査装置。
- 前記制御部は、前記検査工程の前に、前記遮断弁及び前記開閉弁を開いて、前記第1真空ポンプにより前記排気細管及び前記排気管内を排気するとともに、前記第2真空ポンプにより前記排気細管内を排気する準備工程を行うことを特徴とする請求項1に記載のエアリーク検査装置。
- 前記制御部は、前記検査工程でリーク有と判定したとき、前記遮断弁及び前記開閉弁を開いて、前記第1真空ポンプにより前記排気細管及び前記排気管内を排気するとともに、前記第2真空ポンプにより前記排気細管内を排気する細管排気工程を行うことを特徴とする請求項1に記載のエアリーク検査装置。
- 被検査体に接続される排気管と、
前記排気管から開閉弁を介して分岐し、前記排気管より細い径を有する排気細管と、
前記排気管に接続され、前記被検査体内の圧力を検出する真空計と、
前記排気管に遮断弁を介して接続された第1真空ポンプと、
前記排気細管に接続された第2真空ポンプとを備え、
前記開閉弁を閉じ、前記遮断弁を開いて、前記第1真空ポンプにより前記排気管を介して前記被検査体及び前記排気管内を排気するとともに、前記第2真空ポンプにより前記排気細管内を排気する排気工程と、
前記排気工程の後、前記開閉弁を開き、前記遮断弁を閉じたとき、前記真空計の検出圧力が所定の閾値を越えるとリーク有りと判定する検査工程とを有することを特徴とするエアリーク検査方法。 - 前記検査工程の前に、前記遮断弁及び前記開閉弁を開いて、前記第1真空ポンプにより前記排気細管及び前記排気管内を排気するとともに、前記第2真空ポンプにより前記排気細管内を排気する準備工程を有することを特徴とする請求項7に記載のエアリーク検査方法。
- 前記検査工程でリーク有と判定したとき、前記遮断弁及び前記開閉弁を開いて、前記第1真空ポンプにより前記排気細管及び前記排気管内を排気するとともに、前記第2真空ポンプにより前記排気細管内を排気する細管排気工程を有することを特徴とする請求項7に記載のエアリーク検査方法。
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