JP2024001195A - Fe系ナノ結晶粒合金及びこれを用いた電子部品 - Google Patents
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- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 title claims abstract description 63
- 239000000956 alloy Substances 0.000 title claims abstract description 63
- 229910052758 niobium Inorganic materials 0.000 claims abstract description 10
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims abstract description 10
- 230000005291 magnetic effect Effects 0.000 claims description 30
- 239000006249 magnetic particle Substances 0.000 claims description 15
- 230000004907 flux Effects 0.000 claims description 14
- 239000000843 powder Substances 0.000 claims description 12
- 230000002902 bimodal effect Effects 0.000 claims description 10
- 238000000113 differential scanning calorimetry Methods 0.000 claims description 10
- 239000003566 sealing material Substances 0.000 claims description 10
- 239000012212 insulator Substances 0.000 claims description 8
- 229910052796 boron Inorganic materials 0.000 claims description 5
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 238000002425 crystallisation Methods 0.000 claims description 4
- 230000008025 crystallization Effects 0.000 claims description 4
- 229910052698 phosphorus Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 claims description 2
- 238000000465 moulding Methods 0.000 claims 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 abstract description 15
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 abstract description 9
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 abstract description 7
- 229910052735 hafnium Inorganic materials 0.000 abstract description 7
- 229910052748 manganese Inorganic materials 0.000 abstract description 7
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 abstract description 7
- 229910052715 tantalum Inorganic materials 0.000 abstract description 7
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 abstract description 7
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 abstract description 7
- 229910052720 vanadium Inorganic materials 0.000 abstract description 7
- 229910052726 zirconium Inorganic materials 0.000 abstract description 7
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 abstract description 6
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 abstract description 6
- 229910052733 gallium Inorganic materials 0.000 abstract description 6
- 229910052732 germanium Inorganic materials 0.000 abstract description 6
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N nickel Substances [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 14
- 239000010955 niobium Substances 0.000 description 14
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 12
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 10
- 239000002159 nanocrystal Substances 0.000 description 10
- 239000000696 magnetic material Substances 0.000 description 7
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 6
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 6
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 6
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 5
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 5
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 5
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 4
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 4
- 230000035699 permeability Effects 0.000 description 4
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N Tin Chemical compound [Sn] ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000002441 X-ray diffraction Methods 0.000 description 3
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 3
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 238000011160 research Methods 0.000 description 3
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 3
- 238000002076 thermal analysis method Methods 0.000 description 3
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000011574 phosphorus Substances 0.000 description 2
- 229920001451 polypropylene glycol Polymers 0.000 description 2
- 230000008569 process Effects 0.000 description 2
- 229910000859 α-Fe Inorganic materials 0.000 description 2
- ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N Boron Chemical compound [B] ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 101000993059 Homo sapiens Hereditary hemochromatosis protein Proteins 0.000 description 1
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005275 alloying Methods 0.000 description 1
- 229910000808 amorphous metal alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 1
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 1
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 238000011161 development Methods 0.000 description 1
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 1
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 230000005294 ferromagnetic effect Effects 0.000 description 1
- 239000003302 ferromagnetic material Substances 0.000 description 1
- 230000006698 induction Effects 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 229910052752 metalloid Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000002738 metalloids Chemical class 0.000 description 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000007709 nanocrystallization Methods 0.000 description 1
- GUCVJGMIXFAOAE-UHFFFAOYSA-N niobium atom Chemical compound [Nb] GUCVJGMIXFAOAE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000010899 nucleation Methods 0.000 description 1
- 230000006911 nucleation Effects 0.000 description 1
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- 239000000565 sealant Substances 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 1
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-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C22—METALLURGY; FERROUS OR NON-FERROUS ALLOYS; TREATMENT OF ALLOYS OR NON-FERROUS METALS
- C22C—ALLOYS
- C22C45/00—Amorphous alloys
- C22C45/02—Amorphous alloys with iron as the major constituent
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B22—CASTING; POWDER METALLURGY
- B22F—WORKING METALLIC POWDER; MANUFACTURE OF ARTICLES FROM METALLIC POWDER; MAKING METALLIC POWDER; APPARATUS OR DEVICES SPECIALLY ADAPTED FOR METALLIC POWDER
- B22F1/00—Metallic powder; Treatment of metallic powder, e.g. to facilitate working or to improve properties
- B22F1/05—Metallic powder characterised by the size or surface area of the particles
- B22F1/054—Nanosized particles
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C22—METALLURGY; FERROUS OR NON-FERROUS ALLOYS; TREATMENT OF ALLOYS OR NON-FERROUS METALS
- C22C—ALLOYS
- C22C38/00—Ferrous alloys, e.g. steel alloys
- C22C38/002—Ferrous alloys, e.g. steel alloys containing In, Mg, or other elements not provided for in one single group C22C38/001 - C22C38/60
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C22—METALLURGY; FERROUS OR NON-FERROUS ALLOYS; TREATMENT OF ALLOYS OR NON-FERROUS METALS
- C22C—ALLOYS
- C22C38/00—Ferrous alloys, e.g. steel alloys
- C22C38/02—Ferrous alloys, e.g. steel alloys containing silicon
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C22—METALLURGY; FERROUS OR NON-FERROUS ALLOYS; TREATMENT OF ALLOYS OR NON-FERROUS METALS
- C22C—ALLOYS
- C22C38/00—Ferrous alloys, e.g. steel alloys
- C22C38/12—Ferrous alloys, e.g. steel alloys containing tungsten, tantalum, molybdenum, vanadium, or niobium
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C22—METALLURGY; FERROUS OR NON-FERROUS ALLOYS; TREATMENT OF ALLOYS OR NON-FERROUS METALS
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- C22C38/00—Ferrous alloys, e.g. steel alloys
- C22C38/18—Ferrous alloys, e.g. steel alloys containing chromium
- C22C38/20—Ferrous alloys, e.g. steel alloys containing chromium with copper
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01F—MAGNETS; INDUCTANCES; TRANSFORMERS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR MAGNETIC PROPERTIES
- H01F1/00—Magnets or magnetic bodies characterised by the magnetic materials therefor; Selection of materials for their magnetic properties
- H01F1/01—Magnets or magnetic bodies characterised by the magnetic materials therefor; Selection of materials for their magnetic properties of inorganic materials
- H01F1/03—Magnets or magnetic bodies characterised by the magnetic materials therefor; Selection of materials for their magnetic properties of inorganic materials characterised by their coercivity
- H01F1/12—Magnets or magnetic bodies characterised by the magnetic materials therefor; Selection of materials for their magnetic properties of inorganic materials characterised by their coercivity of soft-magnetic materials
- H01F1/14—Magnets or magnetic bodies characterised by the magnetic materials therefor; Selection of materials for their magnetic properties of inorganic materials characterised by their coercivity of soft-magnetic materials metals or alloys
- H01F1/147—Alloys characterised by their composition
- H01F1/153—Amorphous metallic alloys, e.g. glassy metals
- H01F1/15308—Amorphous metallic alloys, e.g. glassy metals based on Fe/Ni
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- H01F—MAGNETS; INDUCTANCES; TRANSFORMERS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR MAGNETIC PROPERTIES
- H01F1/00—Magnets or magnetic bodies characterised by the magnetic materials therefor; Selection of materials for their magnetic properties
- H01F1/01—Magnets or magnetic bodies characterised by the magnetic materials therefor; Selection of materials for their magnetic properties of inorganic materials
- H01F1/03—Magnets or magnetic bodies characterised by the magnetic materials therefor; Selection of materials for their magnetic properties of inorganic materials characterised by their coercivity
- H01F1/12—Magnets or magnetic bodies characterised by the magnetic materials therefor; Selection of materials for their magnetic properties of inorganic materials characterised by their coercivity of soft-magnetic materials
- H01F1/14—Magnets or magnetic bodies characterised by the magnetic materials therefor; Selection of materials for their magnetic properties of inorganic materials characterised by their coercivity of soft-magnetic materials metals or alloys
- H01F1/147—Alloys characterised by their composition
- H01F1/153—Amorphous metallic alloys, e.g. glassy metals
- H01F1/15333—Amorphous metallic alloys, e.g. glassy metals containing nanocrystallites, e.g. obtained by annealing
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- H01F—MAGNETS; INDUCTANCES; TRANSFORMERS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR MAGNETIC PROPERTIES
- H01F17/00—Fixed inductances of the signal type
- H01F17/0006—Printed inductances
- H01F17/0013—Printed inductances with stacked layers
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- H01F17/04—Fixed inductances of the signal type with magnetic core
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Abstract
【課題】本発明はFe系ナノ結晶粒合金及びこれを用いた電子部品に関する。【解決手段】本発明は、一実施形態は、(Fe(1-a)M1a)100-b-c-d-e-gM2bBcPdCueM3gの組成式で表され、ここで、M1はCo及びNiのうち少なくとも1種の元素であり、M2はNb、Mo、Zr、Ta、W、Hf、Ti、V、Cr、及びMnからなる群から選択される少なくとも1種の元素であり、M3はC、Si、Al、Ga、及びGeからなる群から選択される少なくとも1種の元素で、かつa、b、c、d、e、gは、原子%で、それぞれ、0≦a≦0.5、2≦b≦3、9≦c≦11、1≦d≦2、0.6≦e≦1.5、9≦g≦11の含量条件を有するFe系ナノ結晶粒合金を提供する。【選択図】図4
Description
本発明は、Fe系ナノ結晶粒合金及びこれを用いた電子部品に関するものである。
最近、インダクタ、トランス、モータ磁心、無線電力伝送装置などの技術分野では、小型化及び高周波数特性が向上した軟磁性材料が開発されており、特に、Fe系ナノ結晶粒合金が注目されている。
Fe系ナノ結晶粒合金は、透磁率が高く、既存のフェライトと対比して2倍以上の飽和磁束密度を有し、既存の金属に比べて高周波数で作動されるという長所がある。
しかしながら、近年では、その性能に限界が見えつつあり、飽和磁束密度の向上のために、新たなナノ結晶粒合金組成の開発が進められている。特に、磁気誘導方式の無線電力送信装備の場合は、周辺金属物から受けたEMI/EMC影響の減少及び無線電力送信効率の向上のために、磁性体を使用している。
このような磁性体としては、効率の向上及び装置の軽薄短小化、特に高速充電のために、高い飽和磁束密度を有する磁性体が用いられている。しかしながら、高飽和磁束密度を有する磁性体は、損失が高く、熱が発生するため、その適用には限界がある。
本発明の目的のうちの一つは、高い飽和磁束密度を有しながらも、損失が低いFe系ナノ結晶粒合金及びこれを用いた電子部品を提供することである。かかるFe系ナノ結晶粒合金であると、粉末の形態であってもナノ結晶粒の生成が容易であり、飽和磁束密度などのような磁気的特性に優れている。
上述した課題を解決するための方法として、本発明は、一実施形態を通じて新規なFe系ナノ結晶粒合金を提案する。具体的には、(Fe(1-a)M1
a)100-b-c-d-e-gM2
bBcPdCueM3
gの組成式で表され、ここで、M1はCo及びNiのうち少なくとも1種の元素であり、M2はNb、Mo、Zr、Ta、W、Hf、Ti、V、Cr、及びMnからなる群から選択される少なくとも1種の元素であり、M3はC、Si、Al、Ga、及びGeからなる群から選択される少なくとも1種の元素で、かつa、b、c、d、e、gは、原子%で、それぞれ、0≦a≦0.5、2≦b≦3、9≦c≦11、1≦d≦2、0.6≦e≦1.5、9≦g≦11の含量条件を有する。
一実施例において、上記Fe系ナノ結晶粒合金は、示差走査熱量(DSC)グラフにおける1次ピークがバイモーダル(bimodal)形態であることができる。
一実施例において、上記Fe系ナノ結晶粒合金は、D50が20μm以上である多数の粒子形態であることができる。
一実施例において、上記Fe系ナノ結晶粒合金は、母相が非晶質単相構造であることができる。
一実施例において、上記Fe系ナノ結晶粒合金は、1.4T以上の飽和磁束密度を有することができる。
一方、本発明の他の側面は、コイル部と、上記コイル部をシールし、絶縁体と該絶縁体に分散された多数の磁性粒子を含むシール材と、を含み、上記磁性粒子は、(Fe(1-a)M1
a)100-b-c-d-e-gM2
bBcPdCueM3
gの組成式で表され、ここで、M1はCo及びNiのうち少なくとも1種の元素であり、M2はNb、Mo、Zr、Ta、W、Hf、Ti、V、Cr、及びMnからなる群から選択される少なくとも1種の元素であり、M3はC、Si、Al、Ga、及びGeからなる群から選択される少なくとも1種の元素で、かつa、b、c、d、e、gは、原子%で、それぞれ、0≦a≦0.5、2≦b≦3、9≦c≦11、1≦d≦2、0.6≦e≦1.5、9≦g≦11の含量条件を有するFe系ナノ結晶粒合金を含む電子部品を提供する。
一実施例において、上記Fe系ナノ結晶粒合金は、示差走査熱量(DSC)グラフにおける1次ピークがバイモーダル形態であることができる。
一実施例において、上記多数の磁性粒子は、D50が20μm以上であることができる。
一実施例において、上記Fe系ナノ結晶粒合金は、母相が非晶質単相構造であることができる。
一実施例において、上記Fe系ナノ結晶粒合金は、1.4T以上の飽和磁束密度を有することができる。
本発明の一実施形態によると、高い飽和磁束密度を有しながらも、損失が低いFe系ナノ結晶粒合金及びこれを用いた電子部品を実現することができる。かかるFe系ナノ結晶粒合金であると、粉末の形態であってもナノ結晶粒の生成が容易であり、飽和磁束密度などのような磁気的特性に優れている。
以下では、添付の図面を参照して本発明の好ましい実施形態について説明する。しかし、本発明の実施形態は様々な他の形態に変形されることができ、本発明の範囲は以下で説明する実施形態に限定されない。また、本発明の実施形態は、当該技術分野で平均的な知識を有する者に本発明をより完全に説明するために提供されるものである。したがって、図面における要素の形状及び大きさなどはより明確な説明のために拡大縮小表示(又は強調表示や簡略化表示)がされることがあり、図面上の同一の符号で示される要素は同一の要素である。
なお、本発明を明確に説明すべく、図面において説明と関係ない部分は省略し、様々な層及び領域を明確に表現するために厚さを拡大して示し、同一思想の範囲内において機能が同一である構成要素に対しては同一の参照符号を用いて説明する。さらに、明細書全体において、ある構成要素を「含む」というのは、特に反対である記載がない限り、他の構成要素を除去するのではなく、他の構成要素をさらに含むことができるということを意味する。
本発明の一実施形態によるFe系ナノ結晶粒合金の使用が可能な例として、無線充電システムについて説明する。図1は一般的な無線充電システムを概略的に示した外観斜視図であり、図2は図1の主要内部構成を分解して示した断面図である。
電子部品
以下、本発明の一実施形態による電子部品について説明する。代表的な例としてコイル部品を選定したが、後述するFe系ナノ結晶粒合金は、コイル部品以外にも、他の電子部品、例えば、無線充電装置、フィルタなどにも適用されることができるのは明白である。
以下、本発明の一実施形態による電子部品について説明する。代表的な例としてコイル部品を選定したが、後述するFe系ナノ結晶粒合金は、コイル部品以外にも、他の電子部品、例えば、無線充電装置、フィルタなどにも適用されることができるのは明白である。
図1は本発明の一実施形態のコイル部品の外形を概略的に示した斜視図である。また、図2は図1のI-I'線に沿った断面図である。図3は図2のコイル部品におけるシール材領域を拡大して示したものである。
図1及び図2を参照すると、本発明の一実施形態によるコイル部品100は、主に、コイル部103と、シール材101と、外部電極120、130と、を含む構造である。
シール材101は、コイル部103をシールして保護し、図3に示すように、多数の磁性粒子111を含むことができる。具体的には、磁性粒子111が樹脂などからなる絶縁体112に分散された形態であることができる。その場合、磁性粒子111はFe系ナノ結晶粒合金を含んで成ることができ、例えば、Fe-Si-B-Nb-Cu系合金からなることができるが、Fe系ナノ結晶粒合金の組成については後述する。本実施形態で提案する組成のFe系ナノ結晶粒合金を用いると、粉末の形態で製造される場合であっても、ナノ結晶粒の大きさと相(phase)などが適宜制御され、インダクタとして使用されるのに適した磁気的特性を示した。
コイル部103は、コイル部品100のコイルから発現される特性から、電子機器内で様々な機能を行う役割を果たす。例えば、コイル部品100は、パワーインダクタであることができ、この際、コイル部103は電気を磁場の形態で貯蔵し出力電圧を維持して電源を安定させる役割などを果たすことができる。この場合、コイル部103をなすコイルパターンは、支持部材102の両面上にそれぞれ積層された形態であってもよく、支持部材102を貫通する導電性ビアを介して電気的に連結されてもよい。コイル部103は螺旋(spiral)状に形成されてもよいが、このような螺旋状の最外側には、外部電極120、130との電気的な連結のために、シール材101の外部に露出する引き出し部Tを含むことができる。ここで、コイル部103をなすコイルパターンは、当該技術分野において使用されるめっき工程、例えば、パターンめっき、異方めっき、等方めっきなどの方法を用いて形成されてもよく、これらの工程のうち、複数の工程を用いて多層構造に形成されてもよい。
コイル部103を支持する支持部材102は、ポリプロピレングリコール(PPG)基板、フェライト基板、又は金属系軟磁性基板などによって形成されることができる。その場合、支持部材102の中央領域には貫通孔が形成されることができ、該貫通孔には磁性材料が充填されてコア領域Cを形成することができるが、このようなコア領域Cはシール材101の一部を構成する。このように、磁性材料により充填された形態でコア領域Cを形成することによって、コイル部品100の性能を向上させることができる。
外部電極120、130は、シール材101に形成され、引き出し部Tとそれぞれ接続される。外部電極120、130は、電気伝導性に優れた金属を含むペーストを使用して形成することができ、例えば、ニッケル(Ni)、銅(Cu)、スズ(Sn)、又は銀(Ag)などの単独又はこれらの合金などを含む伝導性ペーストであることができる。また、外部電極120、130上にめっき層(図示せず)をさらに形成することができる。この場合、上記めっき層は、ニッケル(Ni)、銅(Cu)、及びスズ(Sn)からなる群から選択されたいずれか一つ以上を含むことができ、例えば、ニッケル(Ni)層とスズ(Sn)層が順次に形成されることができる。
上述した本実施形態によると、磁性粒子111は、粉末の形態で製造される際に磁気的特性に優れたFe系ナノ結晶粒合金を含む。以下、上記合金に関する特徴について詳細に説明する。
Fe系ナノ結晶粒合金
本発明の発明者らの研究によると、特定の組成のFe系ナノ結晶粒合金では、相対的に大粒径の粒子や厚さの大きい金属リボンの形態に製造する際に、母相の非晶質性が高いことが確認できた。また、Fe系ナノ結晶粒合金の非晶質性に大きな影響を及ぼす成分がリン(P)であることが確認された。ここで、相対的に大粒径の粒子とは、D50が約20μmである場合として定義され、例えば、磁性粒子111のD50が約20~40μmである場合に該当する。また、金属リボンの形態に製造される場合には、約20μm以上の厚さを有する場合に該当するが、直径や厚さの基準は絶対的なものではなく、状況によって変更されることができる。
本発明の発明者らの研究によると、特定の組成のFe系ナノ結晶粒合金では、相対的に大粒径の粒子や厚さの大きい金属リボンの形態に製造する際に、母相の非晶質性が高いことが確認できた。また、Fe系ナノ結晶粒合金の非晶質性に大きな影響を及ぼす成分がリン(P)であることが確認された。ここで、相対的に大粒径の粒子とは、D50が約20μmである場合として定義され、例えば、磁性粒子111のD50が約20~40μmである場合に該当する。また、金属リボンの形態に製造される場合には、約20μm以上の厚さを有する場合に該当するが、直径や厚さの基準は絶対的なものではなく、状況によって変更されることができる。
このように非晶質性の高い合金を熱処理すると、ナノ結晶粒の大きさを効果的に制御することができた。具体的には、本発明で提案するFe系ナノ結晶粒合金は、(Fe(1-a)M1
a)100-b-c-d-e-gM2
bBcPdCueM3
gの組成式で表され、ここで、M1はCo及びNiのうち少なくとも1種の元素であり、M2はNb、Mo、Zr、Ta、W、Hf、Ti、V、Cr、及びMnからなる群から選択される少なくとも1種の元素であり、M3はC、Si、Al、Ga、及びGeからなる群から選択される少なくとも1種の元素で、かつa、b、c、d、e、gは、原子%で、それぞれ、0≦a≦0.5、2≦b≦3、9≦c≦11、1≦d≦2、0.6≦e≦1.5、9≦g≦11の含量条件を有する。また、かかるFe系ナノ結晶粒合金を熱分析した結果、2つの1次ピークを有するバイモーダル特性が得られた。即ち、上記Fe系ナノ結晶粒合金は、示差走査熱量(DSC)グラフにおける1次ピークがバイモーダル形態であることができる。
下記表は、本発明の実施例と比較例によって組成を変えながら熱分析した結果と、母相の結晶性を分析して示したものである。それぞれの組成を有する合金を粉末に製造し、粉末の粒度分布は、D50が20~40μmとなるように調整した。具体的には、本実験では粉末を約53μm以下に分級して、D50を30μm水準とした。
下記表1と関連して、図4は実施例による合金の示差走査熱量グラフを示す。また、図5及び図6のそれぞれは、実施例及び比較例による合金の母相の結晶性を分析して得られたXRDパターンを示す。
表1の結果から分かるように、比較例と実施例では、いずれも、熱分析時にバイモーダル形態の結晶化ピークが観察され、母相は非晶質特性を有していた。特に、実施例による合金組成では、母相が非晶質のみからなる一方で、結晶粒は観察されなかった。このような非晶質特性はPの含量によって変わることが確認できた。本発明者らの実験結果、上述した組成範囲においてPの含量を、原子%で1~2水準に調整した場合、母相の非晶質特性に優れており、これを熱処理することで微細な構造を有するナノ結晶粒が得られることが確認された。
上記実験で得られた合金粉末を熱処理することでナノ結晶粒を析出させた。下記表は、熱処理後の特性(結晶粒の大きさ、透磁率、損失、Bs)を測定して示したものである。熱処理工程は、約550℃の不活性雰囲気下で1時間行った。そして、磁気的特性に対する実験では、熱処理された上記合金粉末は約80%の割合で、約1μmサイズのFe粉末は約20%の割合で、バインダー(約2~3%)とともに混合及び成形して製作した。
上記表2の結果から分かるように、比較例1、2では、Fe含量の増加によって高水準のBsが得られたが、損失が600kW/m3以上と、チップとして製作する際に効率が低減するという問題がある。これに対して、実施例では、損失が500kW/m3以下の水準であるため、高水準のBsと低水準の損失を同時に実現することができた。これは、実施例のようにPが約1~2原子%添加されると、母相が非晶質相で調製され、熱処理時に微細構造が均一に得られるためであると考えられ、比較例の場合は、母相に一部存在する結晶相によって熱処理時にナノ結晶粒の大きさが均一でないために損失が大きくなるものと考えられる。
このように、表1及び表2の結果から、Pを特定の含量で添加した上記Fe系ナノ結晶粒合金の場合、20μm以上の大きさを有する粉末の形態であっても透磁率、Bs(約1.4T以上)、及びコア損失特性に優れていることが確認できた。以下、Fe系ナノ結晶粒合金をなす元素のうち、Fe以外の主要元素について説明する。
ホウ素(Boron,B)は、非晶質を形成するための主要元素であり、非晶質相の形成を安定化させる元素である。Bは、Feなどがナノ結晶に結晶化される温度を増加させるが、磁気的特性を決定するFeなどと合金化されるエネルギーが高いために、ナノ結晶が形成される過程において合金化されないという特徴がある。よって、Fe系ナノ結晶粒合金にはBの添加が必要となる。しかしながら、B含量が過度に多くなると、ナノ結晶化ができなくなり、Bs(flux density)が低くなるという問題点がある。
シリコン(Silicon,Si)は、Bと類似した機能を有し、非晶質を形成するための主要元素で、非晶質相の形成を安定化させる元素である。Siは、Bとは異なり、ナノ結晶が形成される温度でもFeのような強磁性体と合金化されて磁気的損失を減少させることもある一方で、ナノ結晶化時に発生する熱が多くなる。特に、Fe含量が高い組成では、ナノ結晶の大きさを制御し難いことが、本発明者らの研究結果から確認された。
ニオブ(Niobium,Nb)は、ナノ結晶粒の大きさを制御する元素であり、Feなどのようなナノサイズに形成された結晶粒が、拡散によって成長しないように限定する役割を果たす。一般的にNb含量は約3at%と最適化されたが、本発明者らが行った実験では、Fe含量の増加によって既存のNb含量よりは低い状態でナノ結晶粒合金の形成を試みており、その結果、3at%よりも低い状態でもナノ結晶粒が形成され、特に、Fe含量が増加するにつれて、Nb含量も増加する必要があるという一般的な技術とは異なり、かえってFe含量が高く、ナノ結晶粒の結晶化エネルギーがバイモーダル形状に形成される組成範囲では、既存のNb含量よりも低いと、磁気的特性が向上したことが確認できた。一方、Nb含量が高いと、磁気的特性である透磁率が減少し、損失が増加したことが確認できた。
リン(Phosphor,P)は、非晶質及びナノ結晶粒合金において非晶質性を向上させる元素であり、既存のSi及びBとともに準金属(metalloid)として知られている。しかしながら、FeはBに比べて強磁性元素であるが、PはFeとの結合エネルギーが高いため、Fe+P化合物の形成時に磁気的特性の劣化が大きくなる。このような問題から、非晶質及びナノ結晶粒合金においてPが制限的に使用されていたが、最近では、High Bs組成の開発に対する要求が高まり、P添加組成に対する研究も活発に行われている。
一方、銅(Copper,Cu)は、ナノ結晶粒が形成されるための核生成エネルギーを低下させるシードの役割を果たすものであり、既存のナノ結晶粒を形成する場合との大きな有意差は認められなかった。
以上、本発明の実施形態について詳細に説明したが、本発明の範囲はこれに限定されず、特許請求の範囲に記載された本発明の技術的思想から外れない範囲内で多様な修正及び変形が可能であるということは、当技術分野の通常の知識を有する者には明らかである。
以下の項目もまた、開示される。
[項目1]
(Fe(1-a)M1 a)100-b-c-d-e-gM2 bBcPdCueM3 gの組成式で表され、ここで、M1はCo及びNiのうち少なくとも1種の元素であり、M2はNb、Mo、Zr、Ta、W、Hf、Ti、V、Cr、及びMnからなる群から選択される少なくとも1種の元素であり、M3はC、Si、Al、Ga、及びGeからなる群から選択される少なくとも1種の元素で、かつa、b、c、d、e、gは、原子%で、それぞれ、0≦a≦0.5、2≦b≦3、9≦c≦11、1≦d≦2、0.6≦e≦1.5、9≦g≦11の含量条件を有するFe系ナノ結晶粒合金。
[項目2]
示差走査熱量(DSC)グラフにおける1次ピークがバイモーダル形態である、項目1に記載のFe系ナノ結晶粒合金。
[項目3]
D50が20μm以上である多数の粒子形態である、項目1又は2に記載のFe系ナノ結晶粒合金。
[項目4]
母相が非晶質単相構造である、項目1から3のいずれか一項に記載のFe系ナノ結晶粒合金。
[項目5]
1.4T以上の飽和磁束密度を有する、項目1から4のいずれか一項に記載のFe系ナノ結晶粒合金。
[項目6]
コイル部と、
前記コイル部をシールし、絶縁体と該絶縁体に分散された多数の磁性粒子を含むシール材と、を含み、
前記磁性粒子は、(Fe(1-a)M1 a)100-b-c-d-e-gM2 bBcPdCueM3 gの組成式で表され、ここで、M1はCo及びNiのうち少なくとも1種の元素であり、M2はNb、Mo、Zr、Ta、W、Hf、Ti、V、Cr、及びMnからなる群から選択される少なくとも1種の元素であり、M3はC、Si、Al、Ga、及びGeからなる群から選択される少なくとも1種の元素で、かつa、b、c、d、e、gは、原子%で、それぞれ、0≦a≦0.5、2≦b≦3、9≦c≦11、1≦d≦2、0.6≦e≦1.5、9≦g≦11の含量条件を有するFe系ナノ結晶粒合金を含む電子部品。
[項目7]
前記Fe系ナノ結晶粒合金は、示差走査熱量(DSC)グラフにおける1次ピークがバイモーダル形態である、項目6に記載の電子部品。
[項目8]
前記多数の磁性粒子は、D50が20μm以上である、項目6又は7に記載の電子部品。
[項目9]
前記Fe系ナノ結晶粒合金は、母相が非晶質単相構造である、項目6から8のいずれか一項に記載の電子部品。
[項目19]
前記Fe系ナノ結晶粒合金は、1.4T以上の飽和磁束密度を有する、項目6から9のいずれか一項に記載の電子部品。
以下の項目もまた、開示される。
[項目1]
(Fe(1-a)M1 a)100-b-c-d-e-gM2 bBcPdCueM3 gの組成式で表され、ここで、M1はCo及びNiのうち少なくとも1種の元素であり、M2はNb、Mo、Zr、Ta、W、Hf、Ti、V、Cr、及びMnからなる群から選択される少なくとも1種の元素であり、M3はC、Si、Al、Ga、及びGeからなる群から選択される少なくとも1種の元素で、かつa、b、c、d、e、gは、原子%で、それぞれ、0≦a≦0.5、2≦b≦3、9≦c≦11、1≦d≦2、0.6≦e≦1.5、9≦g≦11の含量条件を有するFe系ナノ結晶粒合金。
[項目2]
示差走査熱量(DSC)グラフにおける1次ピークがバイモーダル形態である、項目1に記載のFe系ナノ結晶粒合金。
[項目3]
D50が20μm以上である多数の粒子形態である、項目1又は2に記載のFe系ナノ結晶粒合金。
[項目4]
母相が非晶質単相構造である、項目1から3のいずれか一項に記載のFe系ナノ結晶粒合金。
[項目5]
1.4T以上の飽和磁束密度を有する、項目1から4のいずれか一項に記載のFe系ナノ結晶粒合金。
[項目6]
コイル部と、
前記コイル部をシールし、絶縁体と該絶縁体に分散された多数の磁性粒子を含むシール材と、を含み、
前記磁性粒子は、(Fe(1-a)M1 a)100-b-c-d-e-gM2 bBcPdCueM3 gの組成式で表され、ここで、M1はCo及びNiのうち少なくとも1種の元素であり、M2はNb、Mo、Zr、Ta、W、Hf、Ti、V、Cr、及びMnからなる群から選択される少なくとも1種の元素であり、M3はC、Si、Al、Ga、及びGeからなる群から選択される少なくとも1種の元素で、かつa、b、c、d、e、gは、原子%で、それぞれ、0≦a≦0.5、2≦b≦3、9≦c≦11、1≦d≦2、0.6≦e≦1.5、9≦g≦11の含量条件を有するFe系ナノ結晶粒合金を含む電子部品。
[項目7]
前記Fe系ナノ結晶粒合金は、示差走査熱量(DSC)グラフにおける1次ピークがバイモーダル形態である、項目6に記載の電子部品。
[項目8]
前記多数の磁性粒子は、D50が20μm以上である、項目6又は7に記載の電子部品。
[項目9]
前記Fe系ナノ結晶粒合金は、母相が非晶質単相構造である、項目6から8のいずれか一項に記載の電子部品。
[項目19]
前記Fe系ナノ結晶粒合金は、1.4T以上の飽和磁束密度を有する、項目6から9のいずれか一項に記載の電子部品。
100 コイル部品
101 シール材
102 支持部材
103 コイル部
111 磁性粒子
112 絶縁体
120、130 外部電極
C コア領域
101 シール材
102 支持部材
103 コイル部
111 磁性粒子
112 絶縁体
120、130 外部電極
C コア領域
Claims (4)
- Fe、Nb、B、P、Cu、Siを含み 、
示差走査熱量(DSC)グラフにおける結晶化ピークの1次ピークがバイモーダル形態である、Fe系ナノ結晶粒合金。 - コイル部と、
前記コイル部をシールし、絶縁体と該絶縁体に分散された多数の磁性粒子を含むシール材と、を含み、
前記磁性粒子は、Fe、Nb、B、P、Cu、Siを含む Fe系ナノ結晶粒合金からなり、
前記Fe系ナノ結晶粒合金は、示差走査熱量(DSC)グラフにおける結晶化ピークの1次ピークがバイモーダル形態である、電子部品。 - 前記多数の磁性粒子は、D50が20μm以上である、請求項2に記載の電子部品。
- Fe系ナノ結晶粒合金粉末を80%の割合で、1μmサイズのFe粉末を20%の割合で、バインダー2~3%とともに混合及び成形して測定したとき、前記Fe系ナノ結晶粒合金は、1.4T以上の飽和磁束密度を有する、請求項2または3に記載の電子部品。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR10-2017-0127950 | 2017-09-29 | ||
KR1020170127950A KR20190038014A (ko) | 2017-09-29 | 2017-09-29 | Fe계 나노결정립 합금 및 이를 이용한 전자부품 |
JP2018113608A JP7368053B2 (ja) | 2017-09-29 | 2018-06-14 | Fe系ナノ結晶粒合金及びこれを用いた電子部品 |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018113608A Division JP7368053B2 (ja) | 2017-09-29 | 2018-06-14 | Fe系ナノ結晶粒合金及びこれを用いた電子部品 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2024001195A true JP2024001195A (ja) | 2024-01-09 |
Family
ID=65897194
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018113608A Active JP7368053B2 (ja) | 2017-09-29 | 2018-06-14 | Fe系ナノ結晶粒合金及びこれを用いた電子部品 |
JP2023174109A Pending JP2024001195A (ja) | 2017-09-29 | 2023-10-06 | Fe系ナノ結晶粒合金及びこれを用いた電子部品 |
Family Applications Before (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018113608A Active JP7368053B2 (ja) | 2017-09-29 | 2018-06-14 | Fe系ナノ結晶粒合金及びこれを用いた電子部品 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US11104982B2 (ja) |
JP (2) | JP7368053B2 (ja) |
KR (2) | KR20190038014A (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20190055635A1 (en) * | 2017-08-18 | 2019-02-21 | Samsung Electro-Mechanics Co., Ltd. | Fe-based nanocrystalline alloy and electronic component using the same |
CN110241352B (zh) * | 2019-06-18 | 2021-07-16 | 河海大学 | 一种用于水轮机的耐磨蚀复合材料及其制备方法与应用 |
CN110373606B (zh) * | 2019-07-25 | 2020-07-03 | 山东济钢合金材料科技有限公司 | 一种废旧纳米晶铁芯的资源化回收方法及其应用 |
Family Cites Families (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4881989A (en) * | 1986-12-15 | 1989-11-21 | Hitachi Metals, Ltd. | Fe-base soft magnetic alloy and method of producing same |
JP2672306B2 (ja) * | 1987-09-09 | 1997-11-05 | 日立金属株式会社 | Fe基アモルファス合金 |
JPH038303A (ja) * | 1989-06-06 | 1991-01-16 | Hitachi Metals Ltd | 低周波用磁心 |
JPH05255820A (ja) * | 1992-01-09 | 1993-10-05 | Toshiba Corp | 恒透磁率性を有するFe基合金とその製造方法、およびそれを用いたFe基磁心 |
JP2004353090A (ja) * | 1999-04-15 | 2004-12-16 | Hitachi Metals Ltd | 合金薄帯並びにそれを用いた部材 |
EP1045402B1 (en) * | 1999-04-15 | 2011-08-31 | Hitachi Metals, Ltd. | Soft magnetic alloy strip, manufacturing method and use thereof |
JP3594123B2 (ja) * | 1999-04-15 | 2004-11-24 | 日立金属株式会社 | 合金薄帯並びにそれを用いた部材、及びその製造方法 |
JP4547671B2 (ja) * | 2005-03-07 | 2010-09-22 | 日立金属株式会社 | 高飽和磁束密度低損失磁性合金ならびにそれを用いた磁性部品 |
JP2009228107A (ja) * | 2008-03-25 | 2009-10-08 | Kobe Steel Ltd | 圧粉磁心用鉄基軟磁性粉末およびその製造方法ならびに圧粉磁心 |
JP4514828B2 (ja) * | 2008-08-22 | 2010-07-28 | 彰宏 牧野 | 合金組成物、Fe基ナノ結晶合金及びその製造方法、並びに磁性部品 |
WO2011122589A1 (ja) * | 2010-03-29 | 2011-10-06 | 日立金属株式会社 | 初期超微結晶合金、ナノ結晶軟磁性合金及びその製造方法、並びにナノ結晶軟磁性合金からなる磁性部品 |
JP6075117B2 (ja) * | 2013-02-28 | 2017-02-08 | セイコーエプソン株式会社 | 非晶質合金粉末、圧粉磁心、磁性素子および電子機器 |
KR101607483B1 (ko) | 2014-08-07 | 2016-03-30 | 티엠나노테크 주식회사 | 철계 비정질 합금분말 및 이를 이용한 철계 나노결정 압분자심코아 |
KR101832564B1 (ko) * | 2015-10-27 | 2018-02-26 | 삼성전기주식회사 | 코일 부품 |
US20190055635A1 (en) * | 2017-08-18 | 2019-02-21 | Samsung Electro-Mechanics Co., Ltd. | Fe-based nanocrystalline alloy and electronic component using the same |
-
2017
- 2017-09-29 KR KR1020170127950A patent/KR20190038014A/ko not_active IP Right Cessation
-
2018
- 2018-06-14 US US16/008,928 patent/US11104982B2/en active Active
- 2018-06-14 JP JP2018113608A patent/JP7368053B2/ja active Active
-
2023
- 2023-04-04 KR KR1020230044126A patent/KR102641344B1/ko active IP Right Grant
- 2023-10-06 JP JP2023174109A patent/JP2024001195A/ja active Pending
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP7368053B2 (ja) | 2023-10-24 |
KR20190038014A (ko) | 2019-04-08 |
US20190100828A1 (en) | 2019-04-04 |
KR102641344B1 (ko) | 2024-02-27 |
KR20230051448A (ko) | 2023-04-18 |
US11104982B2 (en) | 2021-08-31 |
JP2019065382A (ja) | 2019-04-25 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20231024 |