JP2023182880A - フッ素及びアルミニウム含有水の処理方法 - Google Patents
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Abstract
Description
本発明方法の処理対象水としてはFを使用する工程排水が例示されるが、中でも電子部品製造工程排水が好適である。
Ca:0~50mg/L、特に0.01~1mg/L
Fe:0~50mg/L、特に0.01~1mg/L
Mg:0~50mg/L、特に0.01~1mg/L
Mn:0~50mg/L、特に0.01~1mg/L
Si:0~100mg/L、特に0~50mg/L
NH4 +(NH4-Nとして):20~200mg/L、特に20~100mg/L
本発明では、RO給水に対しキレート剤をRO給水中のAl濃度に対し100倍以上、好ましくは100~1500倍、より好ましくは200~1500倍、特に好ましくは300~1500倍となるように添加する。
図1に示す平膜試験装置を用い、下記に示す水質の排水にEDTAを100mg/L添加して回収率75%にてRO処理した。EDTA/Al=100/0.07=1429である。
Al:0.07mg/L
Na:113mg/L
F:138mg/L
Si:7.5mg/L
pH:5.0
シリカ系スケール防止剤:20mg/L
EDTAの添加量を下記の通りとした他は、実施例1と同一条件にて試験を行った。フラックス比の経時変化を図2に示す。
実施例3:60mg/L(EDTA/Al=857)
比較例1:0mg/L(EDTA/Al=0)
図2の通り、EDTAをAlの約800~1500倍添加した実施例1~3は、EDTAを添加しなかった比較例1に比べてフラックスの低下が抑制される。
実施例2及び比較例1において、上記排水に試薬塩化アルミニウムを添加してAl濃度を0.2mg/Lとした排水を処理した。
実施例4:80mg/L(EDTA/Al=80/0.2=400)
比較例2:0mg/L(EDTA/Al=0)
である。フラックス比の経時変化を図3に示す。
2 平膜セル
2A RO膜
2B 多孔質支持板
3 スターラー
4 高圧ポンプ
5 攪拌子
6 圧力計
7 圧力調整バルブ
8 Oリング
Claims (3)
- フッ素及びアルミニウム含有水に、該フッ素及びアルミニウム含有水中のアルミニウム濃度の100倍量以上のキレート剤を添加した後、逆浸透膜装置に通水するフッ素及びアルミニウム含有水の処理方法。
- 前記フッ素及びアルミニウム含有水のpHが4~6である請求項1のフッ素及びアルミニウム含有水の処理方法。
- 前記キレート剤がEDTAである請求項1又は2のフッ素及びアルミニウム含有水の処理方法。
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