JP2023182490A - 大気遮断装置及び大気非暴露搬送方法 - Google Patents
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- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 6
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 14
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 claims abstract description 14
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 claims abstract description 14
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 claims description 12
- 238000002955 isolation Methods 0.000 claims description 7
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 claims description 4
- 238000005034 decoration Methods 0.000 claims 1
- 239000007789 gas Substances 0.000 abstract description 15
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 5
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 4
- 239000000463 material Substances 0.000 description 4
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 2
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 2
- NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N novaluron Chemical compound C1=C(Cl)C(OC(F)(F)C(OC(F)(F)F)F)=CC=C1NC(=O)NC(=O)C1=C(F)C=CC=C1F NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 2
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 2
- 238000004378 air conditioning Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 1
- 238000012827 research and development Methods 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- 239000012780 transparent material Substances 0.000 description 1
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Abstract
Description
実験室内の空気は扉の開閉やエアコンなどの影響を受ける。観察・分析装置装着時に試料ホルダーの一部が大気にさらされていることにより、室内の気圧の変動や空気の動きによって試料ホルダーが押されたり引っ張られたりするため、試料位置が安定せず、観察点・分析点が動く。
試料の多くは大気に含まれる酸素や水分が吸着し、試料汚染の原因となる。また酸素や水分に反応しやすい材料も多く、その場合は元の材料と異なった観察・分析結果を示すこととなる。
接続部5とチャンバー部15が同じ圧力の置換ガスで充満された状態で、ゲートバルブ部22の駆動棒23によってゲート弁21を開け、手袋16によって試料ホルダー3のホルダーグリップ7をつかんで試料ホルダー取り付け部2から試料ホルダー3引き抜き、チャンバー部15内に移動させる。試料ホルダー3は台座18に置いて保持し、ゲート弁21を駆動棒23によって閉じ、接続部5を試料ホルダー取り付け部2から切り離す。こうして試料ホルダー3の試料4は大気に触れることなく観察・分析装置1内から取り外され、任意の場所へ搬送することができる。
2 試料ホルダー取り付け部
3 試料ホルダー
4 試料
5 接続部
6 チャンバー部
7 ホルダーグリップ
8 固定具
9 ケーブル
10 蓋
11 コネクター
12 出力ケーブル
13 電源
14 ヒーター
15 チャンバー部
16 手袋
17 フランジ
18 台座
19 真空引きバルブ
20 ガス導入バルブ
21 ゲート弁
22 ゲートバルブ部
23 駆動棒
24 真空引きバルブ
25 ガス導入バルブ
Claims (7)
- 観察・分析装置の試料ホルダー取付部に取り付けられ、カバーとなる大気遮断装置であって、
観察・分析装置の試料ホルダー取付部に密着接続・固定が可能な接続部と、
前記接続部に密着接続・固定が可能なチャンバー部と、
前記チャンバー部への脱着可能な蓋と、
から構成され、前記接続部と前記チャンバー部と前記蓋とはそれぞれ分割可能であることを特徴とする大気遮断装置 - 前記接続部、前記チャンバー部、前記蓋は観察・分析装置にあらかじめ装備されている部品及び装飾品に干渉がない、
ことを特徴とする請求項1に記載の大気遮断装置 - 前記蓋は、観察・分析装置の試料ホルダーに付属の接続ケーブルへの電力供給を可能とするコネクタを有する、
ことを特徴とする請求項1に記載の大気遮断装置 - 前記接続部、前記チャンバー部、前記蓋は観察・分析装置にあらかじめ装備されている部品及び装飾品に干渉がなく、
前記蓋は、観察・分析装置の試料ホルダーに付属の接続ケーブルへの電力供給を可能とするコネクタを有する、
ことを特徴とする請求項1に記載の大気遮断装置 - 試料ホルダーを観察・分析装置から別の場所へ搬送する際の搬送装置となる大気遮断装置であって、
前記接続部と、
前記接続部に密着接続・固定が可能なゲートバルブと、
前記ゲートバルブに密着接続・固定が可能なチャンバー部と、
前記チャンバー部への脱着可能な蓋と、
から構成され、試料ホルダー全体を前記チャンバー部内に大気遮断収納して搬送可能な特徴を有する大気遮断装置。 - 前記接続部、前記チャンバー部、前記ゲートバルブ、前記蓋は観察・分析装置にあらかじめ装備されている部品及び装飾品に干渉がない、
ことを特徴とする請求項5に記載の大気遮断装置。 - 試料ホルダーを観察・分析装置から別の場所へ搬送する際において、
前記チャンバー部の一部に大気遮断タイプの手袋を取り付け、
上記手袋によって試料ホルダーを実験容器や観察・分析装置から引き抜き、
試料ホルダー全体を前記チャンバー部内部に設置した後、
前記ゲートバルブを閉じ、前記チャンバー部を真空排気あるいは不活性ガス置換によって酸素や水分が極力排除された状態とし、
観察・分析装置から分離させて大気遮断状態のまま持ち運びを可能とする、
ことを特徴とする大気遮断装置の搬送方法
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2022105120A JP2023182490A (ja) | 2022-06-14 | 2022-06-14 | 大気遮断装置及び大気非暴露搬送方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2022105120A JP2023182490A (ja) | 2022-06-14 | 2022-06-14 | 大気遮断装置及び大気非暴露搬送方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2023182490A true JP2023182490A (ja) | 2023-12-26 |
Family
ID=89310113
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2022105120A Pending JP2023182490A (ja) | 2022-06-14 | 2022-06-14 | 大気遮断装置及び大気非暴露搬送方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2023182490A (ja) |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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JP2014116185A (ja) * | 2012-12-10 | 2014-06-26 | Jeol Ltd | 試料位置決め装置、荷電粒子線装置、および試料ホルダー |
WO2015011967A1 (ja) * | 2013-07-24 | 2015-01-29 | 株式会社 日立ハイテクノロジーズ | 荷電粒子線装置 |
-
2022
- 2022-06-14 JP JP2022105120A patent/JP2023182490A/ja active Pending
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